KR20150083682A - Suction apparatus for transfering - Google Patents

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KR20150083682A
KR20150083682A KR1020140003528A KR20140003528A KR20150083682A KR 20150083682 A KR20150083682 A KR 20150083682A KR 1020140003528 A KR1020140003528 A KR 1020140003528A KR 20140003528 A KR20140003528 A KR 20140003528A KR 20150083682 A KR20150083682 A KR 20150083682A
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dam
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vacuum
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KR1020140003528A
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김광전
류지현
송종배
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삼성전기주식회사
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    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/911—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with air blasts producing partial vacuum

Abstract

An adsorption apparatus for transferring is disclosed. According to one aspect of the present invention, the adsorption apparatus for transferring comprises: a pad where an opened portion formed on one surface to vacuum-adsorb a product is closely attached to the product; a cylinder installed in the pad to control internal pressure of the pad; and a dam protruding from the pad and pressurizing the product with an elastic force when the pad and the product are vacuum-adsorbed.

Description

이송용 흡착 장치{SUCTION APPARATUS FOR TRANSFERING}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a suction apparatus for transfer,

본 발명은 이송용 흡착 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a suction apparatus for transfer.

일반적으로, 진공 흡착장치는 기판, LCD 글라스, 태양광 셀 등과 같은 기판을 진공 흡착한 다음, 원하는 장소로 신속하고 안전하게 이송하기 위한 것이다. 이러한 진공 흡착장치는 진공발생기와 에어라인을 매개로 연결된다.In general, a vacuum adsorption apparatus is for vacuum adsorbing a substrate such as a substrate, an LCD glass, a solar cell or the like, and then quickly and safely transporting the substrate to a desired place. Such a vacuum adsorption apparatus is connected to the vacuum generator through an air line.

그러나, 진공 흡착장치의 경우 제품에 대한 흡입 상태가 양호하지 않거나, 흡착력을 제거하여도 제품의 일부분이 진공 흡착장치에 달라 붙는 경우에, 제품을 정확한 위치에 놓지 못하여 제품의 가공 과정에서 불량이 발생할 수 있고, 이송 도중의 제품이 떨어지는 현상 등에 의하여 제품이 파손될 수 있다.However, in the case of the vacuum adsorption apparatus, if the suction state of the product is not good, or if a part of the product adheres to the vacuum adsorption apparatus even when the suction force is removed, the product may not be placed in the correct position, And the product may be damaged due to the phenomenon that the product falls during transportation.

이로 인해, 기판 등의 제품 가공 과정에서 안착 불량에 따른 낙하 제품을 별도로 수거하거나 제품을 재정렬하여야 하는 과정과 같은 추가 공정이 발생하는 등, 시간 및 비용 적인 면에서 손실이 발생하는 문제점이 있는 실정이다.
Therefore, there is a problem in that time and cost are lost, for example, additional processes such as a process of separately picking up dropped products due to poor mounting in a product processing process of a substrate and rearranging the products .

한국공개특허 제10-2013-0066257호 (2013. 06. 20. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2013-0066257 (published on June 20, 2013)

본 발명의 실시예는, 흡착력이 제거된 경우에 제품이 밀착되는 패드로부터 제품이 원활하게 분리되도록 하여, 제품 안착상의 불량을 방지할 수 있는 이송용 흡착 장치를 제공하기 위한 것이다.
An embodiment of the present invention is to provide a transfer adsorption device capable of smoothly separating a product from a pad to which the product adheres when the suction force is removed, thereby preventing defective image on the product.

본 발명의 일 측면에 따르면, 제품을 진공 흡착하도록 일면에 형성된 개구부가 제품과 밀착되는 패드, 패드의 내부 기압을 조절하도록 패드에 설치되는 실린더 및 패드로부터 돌출되어 패드와 제품의 진공 흡착 시 탄성력에 의해 제품을 가압 가능한 댐을 포함하는 이송용 흡착 장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, an opening formed on one surface of the product for evacuating the product is provided with a pad which is in close contact with the product, a cylinder provided on the pad to adjust the internal pressure of the pad, There is provided a transfer adsorption apparatus including a dam capable of being pressed by a product.

여기서, 패드는 제품의 외곽부를 따라서 제품에 밀착될 수 있다.Here, the pad can be brought into close contact with the product along the outer edge of the product.

패드는 제품과 밀착되는 개구부가 직사각형 형상으로 형성되고, 댐은 개구부의 각 모서리에는 형성될 수 있다.The pad may be formed in a rectangular shape with the opening to be brought into close contact with the product, and the dam may be formed at each corner of the opening.

댐은 개구부의 모서리 형상에 대응되도록 절곡되어 형성될 수 있다.The dam may be formed by bending so as to correspond to the corner shape of the opening.

댐은 불소고무를 포함하는 재질로 이루어질 수 있다.The dam may be made of a material containing fluorine rubber.

그리고, 실린더는 패드의 평면상 중심에 설치될 수 있다.
And, the cylinder can be installed in the center of the plane of the pad.

본 발명의 실시예에 따르면, 흡착력이 제거된 경우에 제품이 밀착되는 패드로부터 제품이 원활하게 분리되도록 하여, 제품 안착상의 불량을 방지할 수 있는 이송용 흡착 장치를 구현할 수 있다.
According to the embodiment of the present invention, a product can be smoothly separated from a pad to which the product is adhered when the suction force is removed, thereby realizing a conveying adsorption device capable of preventing defects on the product installation.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송용 흡착 장치를 나타내는 도면.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송용 흡착 장치를 사용하는 상태의 일례를 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a suction apparatus for transfer according to an embodiment of the present invention. Fig.
Fig. 2 and Fig. 3 are views showing an example of a state in which the adsorption apparatus for transportation according to the embodiment of the present invention is used. Fig.

본 발명에 따른 이송용 흡착 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the adsorption apparatus for transfer according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, Is omitted.

또한, 이하 사용되는 제1, 제2 등과 같은 용어는 동일 또는 상응하는 구성 요소들을 구별하기 위한 식별 기호에 불과하며, 동일 또는 상응하는 구성 요소들이 제1, 제2 등의 용어에 의하여 한정되는 것은 아니다.It is also to be understood that the terms first, second, etc. used hereinafter are merely reference numerals for distinguishing between identical or corresponding components, and the same or corresponding components are defined by terms such as first, second, no.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.
In addition, the term " coupled " is used not only in the case of direct physical contact between the respective constituent elements in the contact relation between the constituent elements, but also means that other constituent elements are interposed between the constituent elements, Use them as a concept to cover each contact.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송용 흡착 장치를 나타내는 도면이다. 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송용 흡착 장치를 사용하는 상태의 일례를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a suction apparatus for transfer according to an embodiment of the present invention. 2 and 3 are views showing an example of a state in which the adsorption apparatus for transport according to the embodiment of the present invention is used.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)는 패드(100), 실린더(200) 및 댐(300)을 포함한다.1 to 3, a transfer adsorption apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention includes a pad 100, a cylinder 200, and a dam 300.

패드(100)는 제품(10)을 진공 흡착하도록 일면에 형성된 개구부(110)가 제품(10)과 밀착되는 부분으로, 본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)의 주요 몸체를 구성할 수 있다.The pad 100 is a part in which the opening 110 formed on one side of the product 10 is brought into close contact with the product 10 so as to vacuum adsorb the product 10 and can constitute the main body of the adsorption apparatus 1000 for transport according to this embodiment have.

구체적으로, 패드(100)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 내부에 일정 공간이 형성되고 일면이 개방된 형상으로 형성되어, 제품(10)이 개구부(110)에 밀착된 경우에 내부 공간의 기압을 조절하여 제품(10)을 흡착할 수 있다.1 to 3, the pad 100 may have a predetermined space formed therein and an open side thereof. When the product 10 is in close contact with the opening 110, The product 10 can be adsorbed by controlling the air pressure of the space.

이 경우, 제품(10)은 패키지 기판 등과 같이 패드(100)에 흡착된 상태로 소정의 위치로 이송 가능한 물체로서, 제품(10)의 종류에 따라 패드(100)의 규격 내지 형상 등의 구조가 다양하게 변형될 수 있다.In this case, the product 10 is an object which can be transferred to a predetermined position in a state of being adsorbed on the pad 100, such as a package substrate, and the structure such as the size and shape of the pad 100, And can be variously modified.

실린더(200)는 패드(100)의 내부 기압을 조절하도록 패드(100)에 설치되는 부분으로, 패드(100)의 내부 공간에 존재하는 공기를 외부로 배출시킬 수 있다.The cylinder 200 is installed in the pad 100 to adjust the internal pressure of the pad 100 and can discharge the air existing in the internal space of the pad 100 to the outside.

구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 제품(10)을 패드(100)에 흡착시키고자 하는 경우, 제품(10)을 개구부(110)에 밀착시킨 후 실린더(200)를 통해 패드(100) 내부의 공기를 배출시킬 수 있다.2, when the product 10 is to be attracted to the pad 100, the product 10 is brought into close contact with the opening 110, and then the pad 100 is passed through the cylinder 200, The air inside can be discharged.

이로 인해, 패드(100) 내부의 기압이 외부의 기압보다 낮아져 제품(10)이 패드(100)에 흡착될 수 있다. 이 경우, 후술할 댐(300)은 패드(100)에 흡착되는 제품(10)에 의해 눌려지면서, 탄성력을 저장하며 수축될 수 있다.As a result, the air pressure inside the pad 100 becomes lower than the external air pressure, and the product 10 can be adsorbed to the pad 100. In this case, the dam 300, which will be described later, can be retracted while being held down by the product 10 that is attracted to the pad 100. [

댐(300)은 패드(100)로부터 돌출되어 패드(100)와 제품(10)의 진공 흡착 시 탄성력에 의해 제품(10)을 가압 가능한 부분으로, 진공 흡착력이 제거되었을 때 탄성력을 통해 제품(10)을 패드(100)로부터 밀어낼 수 있다.The dam 300 protrudes from the pad 100 and is capable of pressing the product 10 by the elastic force of the pad 100 and the product 10 when the product 10 is vacuum-adsorbed. When the vacuum attraction force is removed, Can be pushed out of the pad 100.

구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 제품(10)을 패드(100)로부터 분리시키고자 하는 경우, 실린더(200)를 개방하여 패드(100)의 내외부 기압이 같아지도록 하여 진공 흡착력을 제거할 수 있다. 이 때, 탄성력을 저장하며 수축되어있던 댐(300)이 원상 복구되며 제품(10)을 패드(100)로부터 밀어낼 수 있다.3, when the product 10 is to be separated from the pad 100, the cylinder 200 is opened to equalize the internal and external pressures of the pad 100 to remove the vacuum attraction force . At this time, the dam 300 which has been retracted due to the elastic force is restored to the original state, and the product 10 can be pushed out of the pad 100.

만약, 제품(10)이 패드(100)에 흡착되었을 때, 제품(10)과 패드(100)간의 순간적인 접착 등이 일어난다면 진공 흡착력을 제거하여도 제품(10)의 일부 또는 전부가 패드(100)로부터 분리되지 않는 경우가 발생할 수 있다. 이로 인해, 제품(10)이 요구되는 위치에 정확하게 안착하지 못하여 불량이 발생할 수 있다.If instantaneous adhesion or the like occurs between the product 10 and the pad 100 when the product 10 is adsorbed to the pad 100, even if the vacuum attraction force is removed, 100). ≪ / RTI > As a result, the product 10 can not be accurately seated at a desired position, and a defect may occur.

따라서, 본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)는, 댐(300)을 통해 흡착력이 제거된 경우에 제품(10)이 밀착되는 패드(100)로부터 제품(10)이 원활하게 분리되도록 하여, 제품(10) 안착상의 불량을 방지할 수 있다.Accordingly, the suction apparatus 1000 for transfer according to the present embodiment allows the product 10 to be smoothly separated from the pad 100 to which the product 10 adheres when the suction force is removed through the dam 300 , It is possible to prevent defective mounting of the product (10).

본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)에서, 패드(100)는 제품(10)의 외곽부를 따라서 제품(10)에 밀착될 수 있다.In the adsorption apparatus 1000 for transfer according to the present embodiment, the pad 100 can be brought into close contact with the product 10 along the outer frame of the product 10. [

제품(10)과 패드(100)가 보다 강하게 흡착되기 위해서는 보다 넓은 면적의 패드(100) 부분이 제품(10)에 밀착되는 것이 바람직할 수도 있으나, 제품(10)과 패드(100)의 접촉 면적이 커질수록 이물질이 개재될 확률이 높아질 수 있다.In order for the product 10 and the pad 100 to be attracted more strongly, it is preferable that a larger area of the pad 100 is closely adhered to the product 10, but the contact area between the product 10 and the pad 100 The greater the probability that the foreign matter is intervened.

이러한 이물질은 제품(10)과 패드(100)간의 흡착력을 저하시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제품(10)의 가공 공정에서 여러 불량을 야기시킬 수 있다.These foreign substances not only lower the adsorption force between the product 10 and the pad 100 but also cause various defects in the process of manufacturing the product 10.

따라서, 본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)는 패드(100)가 제품(10)의 외곽부를 따라서 제품(10)에 밀착되도록 하여, 제품(10)과 패드(100)의 접촉 면적에 이물질이 개재되는 것을 최소화할 수 있다.Therefore, the suction apparatus 1000 for transfer according to the present embodiment allows the pad 100 to be brought into close contact with the product 10 along the outer frame of the product 10, so that the contact area between the product 10 and the pad 100 The presence of foreign matter can be minimized.

본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)에서, 패드(100)는 제품(10)과 밀착되는 개구부(110)가 직사각형으로 형성되고, 댐(300)은 개구부(110)의 각 모서리에 형성될 수 있다.The pad 100 is formed such that the opening 110 in contact with the product 10 is rectangular and the dam 300 is formed at each corner of the opening 110. In this case, .

패드(100)를 통해 제품(10)을 안정적으로 흡착하고 분리하기 위해서는, 제품(10)에 보다 균일한 흡착력 및 탄성력이 가해질 필요가 있다. 이에 따라, 패드(100)는 제품(10)과 밀착되는 개구부(110)가 직사각형으로 형성되도록 하여, 상대적으로 균일한 흡착력이 제품(10)에 가해지도록 할 수 있다.In order to stably adsorb and separate the product 10 through the pad 100, a more uniform attraction force and elastic force must be applied to the product 10. [ Accordingly, the pad 100 may have a rectangular shape in which the opening 110 is in close contact with the product 10, so that a relatively uniform attraction force can be applied to the product 10.

그리고, 댐(300)이 개구부(110)의 각 모서리에 형성되어 제품(10)을 패드(100)로부터 분리시킬 때, 상하 및 좌우 균일한 탄성력으로 제품(10)을 밀어낼 수 있다. 또한, 댐(300)이 개구부(110)의 둘레를 따라 전체적으로 형성될 필요 없이 각 모서리에 형성되는 것만으로도 충분하므로, 본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)의 제작 및 유지관리가 보다 용이할 수 있다.When the dam 300 is formed at each corner of the opening 110 to separate the product 10 from the pad 100, the product 10 can be pushed out with a uniform vertical, Since it is sufficient that the dam 300 is formed at each corner without being formed entirely along the periphery of the opening 110, the manufacturing and maintenance of the adsorption apparatus 1000 for conveyance according to the present embodiment is more preferable. It can be easy.

여기서, 댐(300)은 개구부(110)의 모서리 형상에 대응되도록 절곡되어 형성될 수 있다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 댐(300)은 개구부(110)의 모서리에 ㄱ자 형상으로 형성될 수 있다.Here, the dam 300 may be formed to be bent so as to correspond to the corner shape of the opening 110. That is, as shown in FIG. 1, the dam 300 may be formed in a lattice shape at an edge of the opening 110.

이와 같이, 절곡된 형상의 댐(300)은 단순한 직선형으로 형성되었을 때보다 상대적으로 큰 내구성 및 탄성력을 발휘할 수 있다.Thus, the dam 300 having a bent shape can exhibit relatively greater durability and elasticity than when it is formed in a simple linear shape.

한편, 댐(300)은 불소고무를 포함하는 재질로 이루어질 수 있다. 여기서, 불소고무는 불화 비닐리덴과 6불화 플로필렌의 공중합체로 이루어지는 고무로서, 내열성이 특히 뛰어나고, 내유성 및 내약품성에도 뛰어난 특성 있다.Meanwhile, the dam 300 may be made of a material including fluorine rubber. Here, the fluororubber is a rubber composed of a copolymer of vinylidene fluoride and hexafluorophosphorane, which is excellent in heat resistance and excellent in oil resistance and chemical resistance.

이와 같이, 본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)는, 댐(300)이 불소고무를 포함하는 재질로 이루어져, 일반 고무 재질에 비하여 이물질 부착이 적으며, 유분이 생성되지 않는 등 보다 큰 내구성을 발휘할 수 있다.As described above, the transfer adsorption apparatus 1000 according to the present embodiment is configured such that the dam 300 is made of a material including fluorine rubber, so that adhesion of foreign matter is less than that of a general rubber material, Durability can be demonstrated.

본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)에서, 실린더(200)는 패드(100)의 평면상 중심에 설치될 수 있다. 실린더(200)를 통해 제품(10)을 패드(100)에 흡착하는 경우, 실린더가 어느 한 부분으로 편중되게 설치되어 있다면, 흡착을 위한 공기 배출에 불균형이 일어나 편심된 흡착력이 발생할 수 있다.In the adsorption apparatus 1000 for transfer according to the present embodiment, the cylinder 200 may be installed at the center of the plane of the pad 100. When the product 10 is adsorbed to the pad 100 through the cylinder 200, if the cylinder is installed in a partially distributed manner, an unbalanced air discharge for adsorption may occur and eccentric adsorption may occur.

이로 인해, 제품(10)이 패드(100)에 균일하게 흡착되지 않는 등 제품(10)의 이송 및 안착이 불안정해질 수 있다.As a result, the transfer and seating of the product 10 may become unstable such that the product 10 is not uniformly adsorbed to the pad 100.

따라서, 본 실시예에 따른 이송용 흡착 장치(1000)는 실린더(200)가 패드(100)의 평면상 중심에 설치되도록 하여, 보다 균일한 흡착력을 제품(10)에 가할 수 있다.
Therefore, the suction apparatus 1000 for transfer according to the present embodiment can apply a more uniform attraction force to the product 10 by allowing the cylinder 200 to be installed in the center of the plane of the pad 100.

이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10: 제품
100: 패드
110: 개구부
200: 실린더
300: 댐
1000: 이송용 흡착 장치10: Products
100: Pad
110: opening
200: Cylinder
300: Dam
1000: Adsorption device for transfer

Claims (6)

제품을 진공 흡착하도록 일면에 형성된 개구부가 상기 제품과 밀착되는 패드;
상기 패드의 내부 기압을 조절하도록 상기 패드에 설치되는 실린더; 및
상기 패드로부터 돌출되어 상기 패드와 상기 제품의 진공 흡착 시 탄성력에 의해 상기 제품을 가압 가능한 댐;
을 포함하는 이송용 흡착 장치.
A pad having an opening formed in one surface thereof to be in close contact with the product so as to vacuum adsorb the product;
A cylinder installed in the pad to adjust an internal air pressure of the pad; And
A dam protruding from the pad and capable of pressing the product by elastic force when the pad and the product are vacuum-adhered;
And an adsorbing device for adsorbing the adsorbed adsorbent.
제1항에 있어서,
상기 패드는 상기 제품의 외곽부를 따라서 상기 제품에 밀착되는 것을 특징으로 하는 이송용 흡착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the pad is in close contact with the product along an outer frame of the product.
제2항에 있어서,
상기 패드는 상기 제품과 밀착되는 상기 개구부가 직사각형 형상으로 형성되고,
상기 댐은 상기 개구부의 각 모서리에는 형성되는 것을 특징으로 하는 이송용 흡착 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the pad has a rectangular shape in which the opening is in close contact with the product,
Wherein the dam is formed at each corner of the opening.
제3항에 있어서,
상기 댐은 상기 개구부의 모서리 형상에 대응되도록 절곡되어 형성되는 것을 특징으로 하는 이송용 흡착 장치.
The method of claim 3,
Wherein the dam is formed by bending so as to correspond to a corner shape of the opening.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 댐은 불소고무를 포함하는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이송용 흡착 장치.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Characterized in that the dam is made of a material containing fluorine rubber.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 실린더는 상기 패드의 평면상 중심에 설치되는 것을 특징으로 하는 이송용 흡착 장치.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
And the cylinder is installed at the center of the plane of the pad.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108288601A (en) * 2018-01-29 2018-07-17 环维电子(上海)有限公司 A kind of suction nozzle, component suction nozzle and discharge method

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