KR20150077727A

KR20150077727A - 피팅 어셈블리

Info

Publication number: KR20150077727A
Application number: KR1020130166497A
Authority: KR
Inventors: 이문학; 이상화
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2013-12-30
Filing date: 2013-12-30
Publication date: 2015-07-08
Also published as: KR102188346B1

Abstract

본 발명은 피팅이 정상적으로 이루어졌는지를 확인할 수 있는 피팅 어셈블리에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 피팅 어셈블리는, 일단에 개구부를 갖는 관 형상의 바디와, 링 형상의 내측벽과 외측벽을 가지며, 상기 내측벽은 상기 바디의 일단의 외주연에 결합되고, 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에는 링 형상의 홈이 형성되는 플랜지와, 상기 플랜지에 결합되어 상기 개구부를 닫는 마개와, 상기 홈의 상단에 배치되어 상기 마개가 상기 플랜지에 결합시 상기 홈에 삽입되며 마크를 갖는 확인 부재를 포함하되, 상기 외측벽에는 원주 방향을 따라 확인홀이 다수 형성되고, 상기 확인홀을 통해 상기 확인 부재의 삽입된 위치를 확인할 수 있다.

Description

피팅 어셈블리{fitting assembly}

본 발명은 피팅 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피팅이 정상적으로 이루어졌는지를 확인할 수 있는 피팅 어셈블리에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 공정 설비에 사용되는 피팅(fitting)은 제공되는 체결 스펙이나 한계 조임을 확인할 수 있는 방안이 있다. 그러나, 작업 인력에 대한 교육 및 전수 검사를 진행함에도 피팅 미체결 포인트로 인한 리크(leak)가 계속적으로 발생되고 있어 설비 신뢰성 확보에 어려움이 있는 실정이다. 리크 발생시 인명 및 장비 수명 단축 등 큰 문제가 발생될 소지가 있으며, 피팅 위치에 따라 지그(jig)의 사용이 불가하기도 하면서 검수자의 눈에 잘 보이지 않기도 한다.

종래의 피팅은 슬리브 작업 후 캡을 바디에 체결할 시 캡의 돌기와 게이지 링의 돌기가 부딪혀 '딱' 소리가 발생된다. 이는 작업자가 체결 여부를 쉽게 알 수 있도록 하여 널리 이용되고 있다. 하지만 제작 환경 및 피팅 체결 위치에 따라, 작업자에 의한 체결 여부를 판단하기 어려운 경우가 많고, 검사 단계에서도 얼마만큼 체결되었는지 확인하기 위해 가까이서 보거나 숙련자에 의해서만 확인이 되기 때문에 실수가 발생될 소지가 많다.

즉, 피팅 위치에 따른 측정 및 확인이 불가하여 리크 발생 소지 있으므로 피팅 체결 포인트에 대한 신뢰성을 확보하기 위한 방안이 요구된다.

본 발명은 피팅이 정상적으로 체결되었는지 여부를 별도의 추가 과정없이 직관적으로 확인할 수 있는 피팅 어셈블리를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 미숙련자라도 쉽고 빠르면서도 정확하게 피팅 체결의 상태를 확인할 수 있는 피팅 어셈블리를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 피팅 어셈블리를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 피팅 어셈블리는, 일단에 개구부를 갖는 관 형상의 바디와, 링 형상의 내측벽과 외측벽을 가지며, 상기 내측벽은 상기 바디의 일단의 외주연에 결합되고, 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에는 링 형상의 홈이 형성되는 플랜지와, 상기 플랜지에 결합되어 상기 개구부를 닫는 마개와, 상기 홈의 상단에 배치되어 상기 마개가 상기 플랜지에 결합시 상기 홈에 삽입되며 마크를 갖는 확인 부재를 포함하되, 상기 외측벽에는 원주 방향을 따라 확인홀이 다수 형성되고, 상기 확인홀을 통해 상기 확인 부재의 삽입된 위치를 확인할 수 있다.

일 예에 의하면, 상기 마크는 상기 바디와 구별되는 색채를 가진 색채부이다.

일 예에 의하면, 상기 확인 부재의 삽입된 위치는 상기 확인홀에 보여지는 색채의 종류 또는 면적을 통해 확인할 수 있다.

일 예에 의하면, 상기 홈의 깊이와 상기 확인 부재의 높이는 동일하게 형성되고, 상기 확인홀은 상기 외측벽의 중간 높이에 형성된다.

일 예에 의하면, 상기 확인 부재는 외주연을 그 높이 방향으로 삼등분하여, 가장 낮은 제1 높이와 가장 높은 제3 높이의 외주연은 동일한 색채를 갖고, 중간의 제2 높이의 외주연은 다른 색채를 갖는다.

일 예에 의하면, 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이의 외주연은 모두 다른 색채를 갖는다.

일 예에 의하면, 상기 확인홀에 상기 확인 부재의 제1 높이의 색채가 전부 또는 일부라도 보여지면 상기 마개는 상기 플랜지에 미체결된 상태이다.

일 예에 의하면, 상기 확인홀에 상기 확인 부재의 제2 높이의 색채가 전부 보여지면 상기 마개는 상기 플랜지에 정상체결된 상태이다.

일 예에 의하면, 상기 확인홀에 상기 확인 부재의 제3 높이의 색채가 전부 또는 일부라도 보여지면 상기 마개는 상기 플랜지에 과체결된 상태이다.

본 발명의 실시예에 따른 피팅 어셈블리는 피팅이 정상적으로 체결되었는지 여부를 별도의 수고로움 없이 직관적으로 확인할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 피팅 어셈블리는 미숙련자라도 쉽고 빠르면서도 정확하게 현재의 피팅 체결 상태를 확인할 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 피팅 어셈블리의 사시도이다.
도 2는 도 1의 플랜지와 확인 부재를 분리한 사시도이다.
도 3은 도 2의 확인 부재의 일실시예에 따른 측면도이다.
도 4는 도 2의 확인 부재의 다른 실시예에 따른 측면도이다.
도 5는 도 1의 피팅 어셈블리가 미체결된 상태의 사시도이다.
도 6은 도 1의 피팅 어셈블리가 정상 체결된 상태의 사시도이다.
도 7은 도 1의 피팅 어셈블리가 과체결된 상태의 사시도이다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 따라서 도면에서의 도시된 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 피팅 어셈블리의 사시도이고, 도 2는 도 1의 플랜지와 확인 부재를 분리한 사시도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 피팅 어셈블리(10)는 바디(100), 플랜지(200), 마개(300), 그리고 확인 부재(400)를 포함한다. 이하, 각 구성에 대하여 설명한다.

바디(100)는 일단의 개구부(120)를 갖는 관 형상으로 형성된다. 즉, 바디(100)는 일종의 배관 형태를 갖는다.

플랜지(200)는 내측벽(220)과 외측벽(240)을 갖는다. 내측벽(220)과 외측벽(240)은 링 형상으로 형성된다. 내측벽(220)은 바디(100)의 일단의 외주연에 결합된다. 내측벽(220)과 외측벽(240)의 사이에는 링 형상의 홈(230)이 형성된다. 외측벽(240)에는 원주 방향을 따라 일정 간격마다 확인홀(242)이 다수 형성된다.

마개(300)는 플랜지(200)에 결합되어 개구부(120)를 닫는다. 마개(300)는 바디(100)의 일단이 일정 부분 삽입될 수 있는 구조로 형성된다.

확인 부재(400)는 홈(230)의 상단에 배치된다. 확인 부재(400)는 링 형상으로 형성된다. 확인 부재(400)는 체결용 링 혹은 리크 방지 링일 수 있다. 확인 부재(400)는 마개(300)가 플랜지(200)에 결합시 홈(230)의 내부로 삽입된다. 확인 부재(400)는 식별용 마크를 갖는다. 마개(300)가 플랜지(200)에 결합될 때, 플랜지(200)와 맞닿는 마개(300)의 둘레에는 다수의 돌기(320)가 형성된다. 돌기(320)는 확인 부재(400)를 홈(230)의 내부로 밀어넣는다. 확인 부재(400)의 삽입된 위치 또는 정도는 확인홀(242)을 통해 확인할 수 있다.

상기 마크는 바디(100)와 구별되는 색채를 가진 색채부일 수 있다. 확인 부재(400)의 삽입된 위치 혹은 정도는 확인홀(242)에 보여지는 색채의 종류 또는 면적을 통해 확인할 수 있다. 즉, 확인 부재(400)가 홈(230)에 얼마나 삽입되었는지 여부는 확인홀(242)에 어떠한 색채가 확인되는지 또는 그 색채의 면적이나 비율 등을 통해 체크할 수 있다. 색채는 육안 식별이 용이한 색상을 선택한다. 또한, 상기 마크는 바디(100)와 구별되는 특정의 무늬나 문양을 가진 무늬부일 수도 있다.

홈(230)의 깊이와 확인 부재(400)의 높이는 동일하게 형성될 수 있다. 다시 말해, 홈(230)의 높이와 확인 부재(400)의 수직길이는 같게 형성되어, 확인 부재(400)는 홈(230)에 삽입되어 같은 높이로 안착될 수 있다. 확인홀(242)은 외측벽(240)의 중간 높이에 형성된다.

도 3은 도 2의 확인 부재의 일실시예에 따른 측면도이고, 도 4는 도 2의 확인 부재의 다른 실시예에 따른 측면도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 확인 부재(400)는 외주연을 그 높이 방향으로 삼등분하여 각각 다른 색채를 갖는다. 확인 부재는 가장 낮은 높이(410)와 가장 높은 높이의 외주연은 동일한 제1 색채를 갖고, 중간의 제2 높이(420)의 외주연은 상기 제1 색채와는 다른 제2 색채를 갖는다. 예를 들어, 제1 색채는 가시성이 높은 붉은색일 수 있고, 제2 색채는 흰색일 수 있다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 확인 부재(400)의 제1 높이(410), 제2 높이(420) 및 제3 높이(430)는 마크로서 모두 다른 색채를 가질 수도 있다.

본 설명에서는 색채를 예시하였으나, 상기한 바와 같이 색채는 무늬나 문양 등 식별 가능한 마크로서의 기능을 할 수 있는 것이라면 어떤 것이든 가능하다.

도 5는 도 1의 피팅 어셈블리가 미체결된 상태의 사시도이고, 도 6은 도 1의 피팅 어셈블리가 정상 체결된 상태의 사시도이고, 도 7은 도 1의 피팅 어셈블리가 과체결된 상태의 사시도이다.

상기한 바와 같이, 확인 부재(400)는 마개(300)가 플랜지(200)에 결합시 홈(230)의 내부로 삽입된다. 도 5를 참조하면, 확인 부재(400)가 홈(230)에 삽입되는 과정에서 확인홀(242)에 확인 부재(400)의 제1 높이(410)의 색채가 전부 또는 일부라도 보여지면 마개(300)는 플랜지(200)에 미체결된 상태로 판단할 수 있다.

예를 들어, 제1 높이(410)와 제3 높이(430)의 색채가 붉은색이고, 제2 높이(420)의 색채가 흰색인 경우, 확인홀(242)의 하부에 붉은색이 보이고 확인홀(242)의 상부에 흰색이 보이게 되면 확인 부재(400)는 홈(230)에 정상보다 덜 삽입된 상태로 볼 수 있다. 따라서, 마개(300)는 플랜지(200)에 정상 체결보다 부족하게 체결된 상태를 의미 또는 포함하는 미체결된 상태로 판단한다.

또한, 도 6을 참조하면, 확인홀(242)에 확인 부재(400)의 제2 높이(420)의 색채가 전부 보여지면 마개(300)는 플랜지(200)에 정상 체결된 상태인 것으로 볼 수 있다. 상기 예에서 확인홀(242)에 붉은색이 보이는 영역 없이 모두 흰색이 보이는 경우 확인 부재(400)는 홈(230)에 정상적으로 삽입된 상태로 볼 수 있다. 따라서, 마개(300)는 플랜지(200)에 정상적으로 체결되었다고 판단한다.

또한, 도 7을 참조하면, 확인홀(242)에 확인 부재(400)의 제3 높이(430)의 색채가 전부 또는 일부라도 보여지면 마개(300)는 플랜지(200)에 과체결된 상태로 판단할 수 있다. 상기 예에서 확인홀(242)의 하부에 흰색이 보이고 확인홀(242)의 상부에 붉은색이 보이게 되면 확인 부재(400)는 홈(230)에 정상보다 지나치게 삽입된 상태로 볼 수 있다. 따라서, 마개(300)는 플랜지(200)에 정상 체결보다 지나치게 체결된 상태를 의미 또는 포함하는 과체결된 상태로 판단한다.

상기한 예에서 확인홀(242)에 모두 붉은색이 확인되면, 확인되는 붉은색이 어느 높이의 색채인지, 즉 제1 높이나 제3 높이의 색채 중 어느 높이의 색채인지 헷갈릴 수 있다. 그러나, 이는 어느 높이의 색채라도 마개(300)가 정상 체결된 상태로 볼 수 없으므로 별도의 조작을 가해야 함은 필수적이다. 더불어, 상기와 같은 단점은 확인 부재(400)의 제1 내지 제3 높이(410,420,430)의 색채를 모두 다르게 함으로써 극복될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 피팅이 정상적으로 체결되었는지 여부를 별도의 수고로움 없이 직관적으로 확인할 수 있다. 또한, 본 발명은 미숙련자라도 쉽고 빠르면서도 정확하게 현재의 피팅 체결 상태를 확인하여 리크 발생을 미연에 방지하고 피팅 체결 포인트에 대한 신뢰성을 확보할 수 있는 장점이 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10 : 피팅 어셈블리 100 : 바디
120 : 개구부 200 : 플랜지
220 : 내측벽 230 : 홈
240 : 외측벽 242 : 확인홀
300 : 마개 320 : 돌기
400 : 확인 부재 410 : 제1 높이
420 : 제2 높이 430 : 제3 높이

Claims

일단에 개구부를 갖는 관 형상의 바디와,
링 형상의 내측벽과 외측벽을 가지며, 상기 내측벽은 상기 바디의 일단의 외주연에 결합되고, 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에는 링 형상의 홈이 형성되는 플랜지와,
상기 플랜지에 결합되어 상기 개구부를 닫는 마개와,
상기 홈의 상단에 배치되어 상기 마개가 상기 플랜지에 결합시 상기 홈에 삽입되며 마크를 갖는 확인 부재를 포함하되,
상기 외측벽에는 원주 방향을 따라 확인홀이 다수 형성되고, 상기 확인홀을 통해 상기 확인 부재의 삽입된 위치를 확인할 수 있는 피팅 어셈블리.
제 1항에 있어서,
상기 마크는 상기 바디와 구별되는 색채를 가진 색채부인 피팅 어셈블리.