KR20150072560A - apparatus for drying of panel - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 패널 건조장치에 관한 것으로, 상세하게는 상부챔버의 개폐가 용이한 패널 건조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
더욱 상세하게 본 발명은 하부챔버의 상부에 개폐 가능하게 설치된 상부챔버를 유입실린더로 지지하여 고르게 승강되게 하였을 뿐만 아니라, 승강수단을 이용하여 승강시킴으로써 상부챔버가 견고하게 하부챔버의 상부를 밀폐시켜 열 손실을 방지할 수 있어 건조효율이 상승된 패널 건조장치에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to an apparatus and a method for operating an upper chamber, which is capable of opening and closing the upper chamber by supporting the upper chamber by an inflow cylinder, To a panel drying apparatus in which drying efficiency is improved because loss can be prevented.
전기 전자 기술이 발전함에 따라 다양한 종류의 디스플레이가 개발되어 제공되고 있으며, 최근에는 평판형 디스플레이가 많이 사용되고 있다. As electric and electronic technologies have developed, various kinds of displays have been developed and provided, and in recent years, flat panel displays have been widely used.
이러한 평판형 디스플레이는 LCD, PDP 등 다양한 종류의 것이 있고 이러한 디스플레이는 베이스가 되는 기판의 역할을 하는 패널(또는 글라스, 이하"패널"이라 통칭함)를 포함하여 구성되며, 이러한 패널를 제조하는 공정은 기판상의 이물질을 제거하는 초기세정공정 - 감광성 물질을 도포하는 PR 도포공정 - 마스크를 통해 빛을 투과하는 노광공정 - 빛에 의해 분해된 PR을 제거하는 현상공정 - 증착막을 PR형상으로 식각하는 식각공정 - STRIP 약액으로 PR을 제거하는 PR박리공정 - 공정완료 후 이상 유무를 확인하는 검사공정 - 기판 상에 박막을 증착시키는 증착공정을 거쳐 가공된다.Such a flat panel display includes various types of LCDs, PDPs, and the like. The display includes a panel (or glass, hereinafter referred to as a "panel") serving as a base substrate, An initial cleaning process for removing foreign substances on the substrate, a PR coating process for applying a photosensitive material, an exposure process for transmitting light through a mask, a development process for removing PR decomposed by light, an etching process for etching the deposition film into a PR - PR stripping process to remove PR with STRIP chemical solution - Inspection process to check whether there is abnormality after completion of the process - It is processed through a deposition process to deposit a thin film on a substrate.
이와 같은 공정 중 표면의 불순물을 제거하는 세정공정이 더 포함되는데, 상기 세정공정 후에는 세정액을 건조하여 제거시키기 위해 건조 공정이 요구된다.A cleaning process for removing impurities on the surface is further included in such a process. After the cleaning process, a drying process is required to dry and remove the cleaning liquid.
이러한 패널 건조 장치와 관련된 기술로는 특허문헌 1 내지 3이 있다.
특허문헌 1은 전기발열체에 의해 가열되어 열에너지를 전자파에너지인 원적외선으로 변환하여 피건조물을 건조하기 위한 하나 이상의 원적외선 이용 건조유니트, 하나 이상의 원적외선 이용 건조유니트를 지지하기 지지프레임, 이 지지프레임을 이동시키기 위한 이동장치 및 방사된 원적외선을 피건조물로 유도하는 가이드를 포함하여 이루어진 원적외선 방사 건조장치에 관한 것이고, 특허문헌 2는 복수의 웨이퍼들을 카세트에 적재시키는 적재 장치와, 상기 웨이퍼들이 적재된 복수의 카세트들을 수용하며 상기 카세트들을 순차적으로 이송시키면서 상기 웨이퍼들을 건조시키기 위한 드라이 오븐과, 상기 드라이오븐에서 배출된 카세트로부터 웨이퍼들을 반출시키는 반출 장치, 및 상기 적재 장치와 반출 장치에 연결되며 상기 웨이퍼들이 반출된 빈 카세트를 상기 적재 장치로 반송시키는 반송 장치를 포함하는 드라이 오븐 시스템에 관한 것이다. [0004]
이러한 종래의 건조 장치는 단순히 압축공기를 엘씨디 패널의 표면에 불어서 수분 또는 파티클을 제거할 수 있게 한 것으로, 이를 다단으로 설치한다 하더라도 엘씨디 패널의 표면에 형성된 물방울을 제거할 수는 있어도 엘씨디 패널 표면 전체에 증착된 습기를 완전히 제거한다는 것이 불가능하여 건조의 한계성에 따른 문제점이 있다. This conventional drying apparatus simply removes moisture or particles by blowing compressed air on the surface of the LCD panel. Even if it is installed in multiple stages, it is possible to remove water droplets formed on the surface of the LCD panel, It is impossible to completely remove moisture deposited on the substrate.
이러한 단점을 개선하기 위해 개발된 것으로 특허문헌 3이 있다. 이는 엘씨디 패널을 이송하는 이송 경로상에 설치되는 건조실 내부에 에어나이프(Air Knife)가 구비된 건조장치에 있어서, 이송수단을 통해 이송되는 엘씨디 패널의 상/하부에 소정의 간격을 두고 설치되는 에어나이프에 연결되는 에어에 포함된 습기를 제거하는 제습부1을 포함하는 강풍 건조부를 갖는 1차 건조실과; 1차 건조실의 다음 단에 격벽을 통해 구분 설치되는 에어에 포함된 습기를 제거하는 제습부2와, 제습부2와 연결되면서 엘씨디 패널 전체 면에 제습된 에어를 분출시키도록 건조실 상부에 설치되는 송풍팬을 포함하는 제습 건조부를 갖는 2차 건조실과; 2차 건조실의 다음 단에 격벽을 통해 구분 설치되는 이송수단을 통해 이송되는 엘씨디 패널의 상/하부에 소정의 간격을 두고 설치되는 강한 열을 발생시키는 근적외선 램프를 포함하는 가열 건조부를 갖는 3차 건조실로 구성된 것이다.
이렇게 구성된 종래의 건조장치는 다단의 건조실을 포함하여 구성되므로 구조가 복잡해지는 단점이 있다. 이에 개발된 것이 도 8에 도시한 바와 같이 구성된 상하 챔버를 구비한 건조장치이다. The conventional drying apparatus configured in this manner has a drawback that the structure is complicated because it includes a multi-stage drying chamber. A drying apparatus having upper and lower chambers configured as shown in Fig. 8 is developed.
즉, 도 8에 도시한 바와 같이, 내부에 이송롤러가 설치된 하부히터가 설치된 상부챔버(100), 하부히터가 설치된 하부챔버의 상부에 개폐 가능하게 설치된 상부챔버(200)를 포함하여 구성되고, 하부챔버의 아래에는 제어박스(300)가 설치되어 있다. That is, as shown in FIG. 8, an
이러한 종래의 패널 건조 장치는 도시한 바와 같이 상부챔버의 일단이 하부챔버의 일단에 힌지(400) 결합되어 상부챔버가 회동함에 의해 개폐되는 구조를 이루고 있다. As shown in the drawings, the conventional panel drying apparatus has a structure in which one end of the upper chamber is coupled to a
이렇게 상부챔버를 힌지 결합된 상태에서 자주 개폐될 경우 힌지(400)가 쉽게 노후되어 상부챔버의 개폐가 원활하게 이루어지지 못할 뿐만 아니라, 상부챔버가 정밀하게 하부챔버의 개구부네 밀착되지 않아 내부의 열이 외부로 누출되어 건조효율이 떨어지는 문제가 있다.
When the upper chamber is frequently opened and closed in the hinged state, the
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 장시간, 자주 상부챔버를 개폐하여도 기계적 변형이 없이 상부챔버를 개폐할 수 있는 개폐 수단을 구비한 패널 건조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a panel drying apparatus having opening and closing means capable of opening and closing an upper chamber without mechanical deformation even when the upper chamber is frequently opened and closed for a long time.
보다 상세하게 본 발명은 프레임에 상부챔버가 수평을 유지한 상태에서 승강될 수 있도록 다수의 유압실린더를 설치하여 상부챔버를 지지하고, 적어도 하나의 승강수단을 설치하여 상부챔버를 승감시킴으로써 상부챔버가 수평을 이룬 상태에서 고르게 승강하여 하부챔버의 개구부를 밀폐시킬 수 있게 한 패널 건조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
More particularly, the present invention relates to an elevator for a vehicle, comprising a plurality of hydraulic cylinders mounted on a frame so that the upper chamber can be raised and lowered with the upper chamber maintained horizontal, at least one elevating means is provided to raise and lower the upper chamber, And an object of the present invention is to provide a panel drying apparatus capable of elevating and lowering evenly in a horizontal state to seal an opening of a lower chamber.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 패널 건조 장치는 디스플레이장치용 패널 건조 장치에 있어서, 프레임에 의해 지지되고 내부에 하부히터와 이송롤러가 설치된 하부챔버; 상기 하부챔버의 상부에 승강가능하게 설치되고, 내부에 상부히터가 설치된 상부챔버; 상기 상부챔버를 상하로 승강시키는 승강수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a panel drying apparatus for a display device, comprising: a lower chamber supported by a frame and having a lower heater and a feed roller installed therein; An upper chamber vertically installed on the lower chamber and having an upper heater installed therein; And an elevating means for elevating and lowering the upper chamber upward and downward.
또한, 본 발명의 패널 건조 장치를 구성하는 승강수단은 다양하게 변형하여 실시 할 수 있으나, 바림직하게는 실린더에 공급되는 유압에 의해 신축되는 로드로 이루어지거나, 모터의 구동에 의해 회전하는 피니언기어와, 상기 상부챔버에 설치되고 피니언기어의 회전에 의해 승강하는 랙기어로 이루어질 수 있다. Further, the elevating means constituting the panel drying apparatus of the present invention can be variously modified. However, the elevating means may be a rod that is stretched or contracted by hydraulic pressure supplied to the cylinder, And a rack gear installed in the upper chamber and lifted and lowered by rotation of the pinion gear.
또한, 상기 건조 장치에는 일단이 상기 프레임에 고정되고 타단이 상기 상부챔버에 고정되어 상부챔버가 좌우로 흔들리지 않고 안정적으로 승강되게 지지하는 다수의 신축실린더를 더 구비할 수 있다. The drying apparatus may further include a plurality of stretching cylinders, one end of which is fixed to the frame, and the other end of which is fixed to the upper chamber so that the upper chamber can be stably lifted without being shaken from side to side.
상기 상부챔버에는 내부를 관찰하기 위한 관찰창이 더 설치되는 것이 바람직하다.
And the upper chamber is further provided with an observation window for observing the inside thereof.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 패널 건조 장치에 의하면, 상부챔버를 승강수단으로 승강시켜 보다 안정적으로 상부챔버를 개폐할 수 있는 효과가 있다. As described above, according to the panel drying apparatus of the present invention, there is an effect that the upper chamber can be raised and lowered by the elevating means to more reliably open and close the upper chamber.
더욱이, 상부챔버를 안정적으로 지지하기 위한 신축실린더를 구비하여 상부챔버가 측방으로 기울어지지 않고 상하로만 승강하여 하부챔버의 개구부를 개폐할 수 있고, 상부챔버의 일측에 관찰창을 구비하여 챔버 내부를 관찰 할 수 있어 건조 과정을 보다 쉽게 육안으로 확인할 수 있는 것이다.
Further, the upper and lower chambers are provided with a stretching cylinder for stably supporting the upper chamber, so that the upper chamber can be vertically moved up and down without being tilted sideways to open and close the opening of the lower chamber, and an observation window is provided on one side of the upper chamber, So that the drying process can be visually confirmed more easily.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 패널 건조 장치의 일예의 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 패널 건조 장치의 일예의 측면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 패널 건조 장치를 구성하는 승강장치의 일예의 사시도
도 4은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 패널 건조 장치를 구성하는 승강장치의 다른 일예의 사시도
도 5는 종래 패널 건조 장치의 일예의 측면도1 is a perspective view of an example of a panel drying apparatus according to a preferred embodiment of the present invention;
2 is a side view of an example of a panel drying apparatus according to a preferred embodiment of the present invention
3 is a perspective view of an example of a lift device constituting a panel drying device according to a preferred embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of another example of a lift device constituting a panel drying device according to a preferred embodiment of the present invention.
5 is a side view of an example of a conventional panel drying apparatus
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 패널 건조 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a panel drying apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 패널 건조 장치의 상부챔버의 개폐를 보다 용이하게 할 수 있게 하기 위한 것으로서, 상부챔버(2)를 상하로 승강시켜 개폐하는 승강수단(3)을 구비한 것을 특징으로 한다. The present invention is intended to facilitate the opening and closing of the upper chamber of the panel drying apparatus. The present invention is characterized by including elevating means (3) for opening and closing the upper chamber (2) up and down.
이러한 본 발명에 따른 패널 건조 장치는 종래기술에서 설명한 바와 같이, 프레임(10)에 의해 지지되고 내부에 하부히터와 이송롤러가 설치된 하부챔버(1); 상기 하부챔버의 상부에 승강가능하게 설치되고, 내부에 상부히터가 설치된 상부챔버(2)를 포함하고 있다. As described in the background art, the panel drying apparatus according to the present invention includes a
상기 하부챔버(1)는 도 1에 도시한 바와 같이 프레임(10)에 의해 지지되는 지지판의 상부에 설치되어 있고, 내부에는 열을 발생시키는 하부히터(미도시)가 구비되어 있을 뿐만 아니라. 투입된 패널을 이송시키기 위한 이송롤러들이 설치되어 있다. 또한, 일측에는 하부챔버(1)의 내부로 패널이 들어가도록 입구(1h)가 형성되고 타측에는 출구가 형성되어 있으며, 상기 각각의 출입구에는 에어커튼(air curtain)이 설치되어 내부의 열기가 외부로 누출되는 것을 방지하였다. As shown in FIG. 1, the
또한, 상기 하부챔버(1)에는 도 1에 도시한 바와 같이 구동수단에 의해 회전하는 다수의 이송롤러(1r)가 설치되어 하부챔버의 일측에 형성된 입구(1h)를 통해 하부챔버(1)의 내부로 투입된 패널을 이송시켜 출구(미도시)로 배출한다. 또한, 상기 하부챔버(1)의 아래에는 히터에 전원을 공급하거나 상기 이송롤러(1r)를 구동시키는 구동수단에 전원을 공급하기 위한 제어수단과, 다수의 롤러(1r)에 동력을 전달하는 동력전달수단이 설치된 전장박스를 구비하고 있다. As shown in FIG. 1, the
상기 하부챔버(1)에 구비된 하부히터에 의해서 발생된 열만으로는 패널이 충분히 건조될 수 없다. 즉, 하부챔버에서 발생된 열은 패널의 하부에 집중적으로 가해지므로 패널의 상부는 건조가 덜 이루어질 수 있으므로 상부챔버(2)에도 상부히터(미도시)를 더 구비하고 있으며, 이러한 상부챔버(2)가 하부챔버(1) 상부의 개구부에 밀착되게 덮혀 두 개의 챔버(1, 2)가 하나의 공간을 이루게 된다. The panel can not be sufficiently dried by the heat generated by the lower heater provided in the
이렇게 하부챔버(1)에 대응되게 개폐되는 상부챔버(2)의 개폐를 용이하게 하기 위하여 상기 승강수단(3)을 구비한 것이다. The elevating means (3) is provided to facilitate opening and closing of the upper chamber (2) opened and closed corresponding to the lower chamber (1).
상기 승강수단(3)은 상부챔버(2)를 수직 방향으로 들어올리거나 낮출 수 있는 장치이면 어떠한 것이라도 사용할 수 있으나, 구조를 단순화할 수 있고 작동이 용이한 것으로 구성하는 것이 바람직하므로 그 일예로는 아래와 같은 승강수단(3)이 사용될 수 있다. The elevating
상기 승강수단(3)은 도 3에 도시한 바와 같이 유압실린더를 사용할 수 있다. 즉, 도시한 바와 같이 실린더(4s)에 공급되는 유압에 의해 신축되는 로드(4r)를 상부챔버(2)의 일측에 연결하여 실린더에 공급되는 유체의 흐름을 제어함에 의해 상부챔버(2)를 승강시키는 것이다. The elevating
다른 일예의 승강수단(3)은 도 4에 도시한 바와 같이, 모터(31)의 구동에 의해 회전하는 피니언기어(31g)와, 상기 상부챔버에 설치되고 피니언기어의 회전에 의해 승강하는 랙기어(31r)로 이루어진 것이다. 즉, 상기 랙기어(31r)의 일단을 상기 상부챔버(2)의 일측에 고정시켜 설치하고, 랙기어(31r)과 치합되는 피니언기어(31g)를 모터로 회전시키는 방향을 조절함에 의해 상부챔버(2)가 승강하여 개폐되는 것이다. As shown in Fig. 4, the
상기 승강수단은 이 밖에 다양하게 변형하여 실시 할 수 있는 것으로 이러한 설명이 본 발명의 청구범위를 제한하는 것은 아니다. The elevating means may be modified in various ways, and the description does not limit the scope of the claims of the present invention.
또한 본 발명에 따른 건조 장치에는 일단이 상기 프레임에 고정되고 타단이 상기 상부챔버에 고정되어 상부챔버가 좌우로 흔들리지 않고 안정적으로 승강되게 지지하는 다수의 신축실린더(4)를 더 구비하는 것이 바람직하다. Further, the drying apparatus according to the present invention may further include a plurality of extensible cylinders (4), one end of which is fixed to the frame and the other end is fixed to the upper chamber so that the upper chamber can be stably lifted .
상기 승강수단(3)이 상부챔버(2)를 승강시키는 수단이라면, 상기 신축실린더(4)는 상기 상부챔버(2)가 수평 방향으로 흔들리지 않게 지지하는 역할을 한다. 즉, 상기 신축실린더(4)는 유압이 작용하는 것이 아니라 서로 다른 지름을 갖는 두 개의 파이프를 텔레스코프(telescope)식으로 연결한 것으로 하단의 파이프는 프레임이나 하부챔버에 고정되고 상부 파이프는 상부챔버에 고정되어 하부파이프의 내부로 상부파이프가 신축되어 상부챔버가 상하로만 이동되게 하는 것이다. If the lifting means 3 is a means for lifting the
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 널 건조 장치를 구성하는 상부챔버(2)에는 관찰창(2w)이 더 구비되어 있어 상부챔버(2)를 개방하지 않은 상태에서도 챔버의 내부를 관찰할 수 있게 하였다. The
물론, 상기 관찰창(2w)에는 개폐 가능하게 도어가 설치되어 관찰하지 않을 때에는 닫아 내부의 열기가 외부로 누출되는 것을 방지하는 것이 바람직하다.
Of course, it is preferable that the
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 패널 건조 장치는 상기 하부챔버(1)의 상부에 상부챔버(2)가 덮힌 상태에서 하부챔버(1)의 일측에 형성된 입구(1h)를 통해 패널이 챔버의 내부로 투입되고, 투입된 패널은 하부챔버(1)의 내부에 설치된 다수의 이송롤러(1r)의 회전에 의해 출구측으로 이동한다. In the panel drying apparatus according to the present invention configured as described above, the
이렇게 패널이 이동되는 과정에서 상부챔버(2) 및 하부챔버(1)에 각각 설치된 히터에서 열이 발생하고, 이 열에 의해 패널의 상부면은 물론 하부면의 수분이 건조되고, 건조가 이루어진 페널은 하부챔버(1)의 출구로 배출되는 것이다. In the process of moving the panel, heat is generated in the heaters provided in the
이렇게 상부챔버(2)와 하부챔버(1)에 의해 밀폐된 내부 공간으로 외부의 공기가 유입되면 열 효율이 떨어질 뿐만 아니라 외부의 습기가 내부로 유입될 수 있으므로 입구와 출구에는 각각 에어커튼을 설치하여 외기를 차단하는 것이 바람직하다.
If outside air is introduced into the internal space sealed by the
1: 하부챔버 1h: 입구 1r: 이송롤러
2: 상부챔버
3: 승강수단 3r: 신축로드 3s: 실린더
31: 모터 31g: 피어언기어 31r: 래크기어
4: 신축실린더1:
2: upper chamber
3: lifting means 3r: stretching
31:
4: Extension cylinder
Claims (6)
프레임(10)에 의해 지지되고 내부에 하부히터와 이송롤러가 설치된 하부챔버(1);
상기 하부챔버의 상부에 승강가능하게 설치되고, 내부에 상부히터가 설치된 상부챔버(2);
상기 상부챔버를 상하로 승강시키는 승강수단(3)을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.A panel drying apparatus for a display apparatus,
A lower chamber (1) supported by the frame (10) and provided with a lower heater and a conveying roller therein;
An upper chamber (2) installed on the upper portion of the lower chamber so as to be able to move up and down and having an upper heater installed therein;
And elevating means (3) for elevating and lowering the upper chamber upward and downward.
상기 승강수단(3)은 실린더(3s)에 공급되는 유압에 의해 신축되는 로드(3r)로 이루어진 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.The method according to claim 1,
Wherein the elevating means (3) comprises a rod (3r) that is expanded and contracted by hydraulic pressure supplied to the cylinder (3s).
상기 승강수단(3)은 모터(31)의 구동에 의해 회전하는 피니언기어(31g)와, 상기 상부챔버에 설치되고 피니언기어의 회전에 의해 승강하는 랙기어(31r)로 이루어진 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.The method according to claim 1,
The elevating means 3 includes a pinion gear 31g rotated by driving of a motor 31 and a rack gear 31r mounted on the upper chamber and lifted and lowered by the rotation of the pinion gear. Drying device.
상기 승강수단(3)은 모터(32)의 구동에 의해 회전하는 볼스크류(32b)와, 상기 상부챔버에 설치되고 볼스크류의 회전에 의해 승강하는 승강가이드(32g)로 이루어진 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.The method according to claim 1,
The elevating means 3 includes a ball screw 32b rotated by the driving of the motor 32 and an elevation guide 32g installed on the upper chamber and lifted and lowered by the rotation of the ball screw. Drying device.
상기 건조 장치에는 일단이 상기 프레임에 고정되고 타단이 상기 상부챔버에 고정되어 상부챔버가 좌우로 흔들리지 않고 안정적으로 승강되게 지지하는 다수의 신축실린더(4)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.The method according to claim 1,
The drying apparatus according to claim 1, further comprising a plurality of extensible cylinders (4) which are fixed to the frame and the other end is fixed to the upper chamber so that the upper chamber can be stably lifted up and down without staggering from side to side. .
상기 상부챔버(2)에는 내부를 관찰하기 위한 관찰창(2w)이 더 설치된 것을 특징으로 하는 패널 건조 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the upper chamber (2) is further provided with an observation window (2w) for observing the inside thereof.
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