KR20150047817A - Laser soldering apparatus for Semiconductor chip and PCB components - Google Patents

Laser soldering apparatus for Semiconductor chip and PCB components Download PDF

Info

Publication number
KR20150047817A
KR20150047817A KR1020130127757A KR20130127757A KR20150047817A KR 20150047817 A KR20150047817 A KR 20150047817A KR 1020130127757 A KR1020130127757 A KR 1020130127757A KR 20130127757 A KR20130127757 A KR 20130127757A KR 20150047817 A KR20150047817 A KR 20150047817A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
soldering
semiconductor chip
laser
base
pcb
Prior art date
Application number
KR1020130127757A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101548425B1 (en
Inventor
남기중
Original Assignee
주식회사 넥스뷰티엑스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 넥스뷰티엑스 filed Critical 주식회사 넥스뷰티엑스
Priority to KR1020130127757A priority Critical patent/KR101548425B1/en
Publication of KR20150047817A publication Critical patent/KR20150047817A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101548425B1 publication Critical patent/KR101548425B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

The present invention relates to a laser soldering device for a semiconductor chip and a PCB device. The soldering device according to an embodiment of the present invention includes: a base which includes a support stand; a semiconductor chip and PCB device supplying unit which is formed on one side of the upper side of the base, receives a plurality of semiconductor chips and PCB devices on a tray, and transfers the semiconductor chips and the PCB devices; a soldering stage which solders the semiconductor chip and the PCB device with laser; a griper unit which is installed on the front side of the support stand of the base and is composed of a guide rail, a first moving element, and a finger; a laser assembly; and a camera module which monitors location determination control signals of the laser assembly, the gripper unit, and a location determination soldering stage on a control unit. The present invention maximizes productivity.

Description

반도체 칩 및 PCB 소자용 레이저 솔더링 장치{Laser soldering apparatus for Semiconductor chip and PCB components}Technical Field [0001] The present invention relates to a laser soldering apparatus for semiconductor chips and PCB elements,

본 발명은 반도체 칩 및 PCB 소자용 레이저 솔더링 장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 반도체 칩 및 PCB 소자(resistor, capacitor 등) 공급이송에 따른 반도체 칩 및 PCB 소자를 안정된 홀딩과 함께 이송하는 핑거의 정확한 위치제어, 반도체 칩 및 PCB 소자가 안착되는 솔더링 스테이지(stage)위치결정제어 및 레이저 열원을 통한 솔더볼 땜납 부분의 정확한 포지션 위치제어로서 균일한 솔더링이 이루어질 수 있도록 하여 반도체 칩 및 PCB 소자의 레이저 솔더링 공정시 발생하는 불량률을 최소화할 수 있도록 한 반도체 칩 및 PCB 소자용 레이저 솔더링 장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser soldering apparatus for a semiconductor chip and a PCB element, and more particularly to a laser soldering apparatus for a semiconductor chip and a PCB element, Position control, positioning of soldering stage where semiconductor chips and PCB elements are mounted, and precise position control of solder ball solder part through laser heat source enables laser soldering process of semiconductor chips and PCB devices And to a laser soldering apparatus for a semiconductor chip and a PCB element.

일반적으로 표면 실장 기술(Surface Mounted Technology : SMT)은 표면 실장 형 전자 부품을 인쇄회로기판(PCB) 표면에 장착하고 이를 솔더링(Soldering) 하는 기술이다.In general, Surface Mounted Technology (SMT) is a technology for mounting surface mount electronic components on a printed circuit board (PCB) surface and soldering them.

표면 실장 기술은 전자 부품의 간격을 조밀하게 할 수 있고, 기판의 양면을 사용할 수 있으며, 인쇄회로기판의 면적을 축소할 수 있는 여러 가지 장점을 가지고 있어 오늘날 폭 넓게 이용되고 있다.Surface mount technology has been widely used today because it has many advantages that can narrow the spacing of electronic components, use both sides of the substrate, and reduce the area of the printed circuit board.

현재 보편화 되어 있는 표면 실장 형 부품의 솔더링 기술로는 열전도나 적외선을 이용하는 리플로우 솔더링 (Reflow Soldering)이 있다.Currently, there are reflow soldering using heat conduction or infrared ray as the soldering technology of the surface mounting type component which is widely used.

리플로우 솔더링은 상기 SMT방식으로서, 인쇄회로기판의 랜드(Land)에 미리 솔더(Solder)를 공급하여 두고, 외부의 열원으로 상기 솔더를 재용융하여 표면 실장 형 부품의 리드와 인쇄회로기판상의 회로 패턴을 접합하는 것이며, 리드의 밀도가 높은 부품을 접할 할 때 리드 사이에 브리지가 일어나는 결함을 가져올 수 있고, 기판과 부품의 서로 다른 열팽창 계수 때문에 접합부에 열적 스트레스가 쌓이게 되는 문제점이 있다.The reflow soldering is a SMT method in which solder is supplied in advance to a land of a printed circuit board and the solder is remelted by an external heat source to form a lead on the surface- There is a problem that thermal stress is accumulated in the junction due to different thermal expansion coefficients of the substrate and the components.

특히, 하나의 반도체 패키지에 다수개의 전력 소자용 칩과 컨트롤 소자용 칩을 탑재하는 인텔리전트 전력용 반도체 모듈에 있어, 다수개의 전력 소자용 칩이 실장되는 파워 보드와 컨트롤 소자용 칩이 실장되는 드라이브 보드의 경우, 열적 스트레스에 의해 각종 소자가 열화되는 문제점이 있다.Particularly, in an intelligent power semiconductor module in which a plurality of power device chips and control device chips are mounted on one semiconductor package, a power board on which a plurality of power device chips are mounted and a drive board There is a problem that various elements are deteriorated by thermal stress.

구체적으로 상기 리플로우 솔더링은 프린트 배선기판의 제조공정에서 접합하려고 하는 부분에 미리 크림상의 땜납을 인쇄하고 난 후, 땜납을 용융 처리하여 접합시키는 땜납의 방법으로서, 기판의 랜드(Land)에 미리 디스펜서장치를 통해 이용한 솔더(Solder)를 공급하여 두고 외부의 열원으로 이 솔더를 재용융하여 접속하는 것이다.Specifically, the reflow soldering is a solder method for soldering a cream-like solder in advance to a portion to be bonded in a manufacturing process of a printed wiring board, and then melting and bonding the solder, The solder used in the apparatus is supplied and the solder is re-melted and connected to the external heat source.

보다 정밀도 높은 솔더링 작업되는 반도체 칩 및 PCB 소자의 경우, 솔더링이 이루어지는 스테이지까지 반도체 칩 및 PCB 소자를 홀딩하고, 이를 설정된 위치로 이송함에 있어, 핑거를 통해 홀딩되는 반도체 칩 및 PCB 소자의 기울기에 대한 보정 및 제어가 제대로 이루어지지 않는 이유에서 솔더링 불량이 발생하는 문제점이 있었다.In the case of a semiconductor chip and a PCB element which are soldered with higher precision, the semiconductor chip and the PCB element are held until the stage where soldering is performed, and in transferring the semiconductor chip and the PCB element to the set position, the slope of the semiconductor chip and the PCB element held by the finger There is a problem that soldering failure occurs because the correction and control are not performed properly.

가령, 정확히 반도체 칩 및 PCB 소자가 솔더링 스테이지에 안착이 된 경우라 할지라도, 일일이 솔더링이 이루어지는 구간별 국부 가열방식 열원 제공은 작업이 느리게 이루어지고, 이 또한 솔더링에 대한 열화의 편차를 제공하여 최종적으로는 불량이 발생할 우려가 매우 높다.For example, even when the semiconductor chip and the PCB element are correctly seated on the soldering stage, provision of the local heating type heat source for each section in which the soldering is performed is performed slowly, which also provides a variation in deterioration with respect to soldering, There is a high possibility that defects will occur.

즉, 리플로우 솔더링장치에서 구간별로 예열도 하고 크림솔더를 녹여 솔더링을 하게 되지만, 솔더링이 이루어지는 정확한 포지션 제어는 단일 열원의 위치제어만으로는 편차를 가지게 되어 특히 소형화되는 반도체 칩(Chip) 및 PCB 소자의 솔더링 불량이 발생케 된다.
That is, in reflow soldering apparatus, preheating is performed by intervals and soldering is performed by melting cream solder. However, the accurate position control where soldering is performed has a deviation due to the position control of a single heat source, Soldering failure occurs.

본 발명은 상기와 같이 제반되는 종래의 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 반도체 칩 및 PCB 소자 공급이송에 따른 반도체 칩 및 PCB 소자를 안정된 홀딩과 함께 이송하는 핑거의 정확한 위치제어, 반도체 칩 및 PCB 소자가 안착되는 솔더링 스테이지(stage)위치결정제어 및 레이저 열원을 통한 솔더볼 땜납 부분의 정확한 포지션 위치제어로서 균일한 솔더링이 이루어질 수 있도록 하고, 솔더링 품질 재현성에 영향을 미치는 레이저 출력 안정 자동제어, 실시간 솔더링 온도 자동 제어, 솔더링 단자 크기에 따른 레이저 빔 크기 변동, 여러 솔더링 부위를 고속으로 레이저 빔조사가 이루어 질수 있도록 함으로써 반도체 칩 및 PCB 소자의 솔더링 공정시 발생하는 불량률을 최소화하고 품질의 재현성 확보를 할 수 있도록 한 반도체 칩 및 PCB 소자용 레이저 솔더링 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor chip and a semiconductor device, Soldering stage positioning control for device placement and precise position control of solder ball solder part through laser heat source enables uniform soldering, automatic control of laser output stability affecting soldering quality reproducibility, real time soldering Temperature automatic control, variation of laser beam size according to soldering terminal size, laser beam irradiation at various soldering sites can be performed, thereby minimizing the defective rate in the soldering process of semiconductor chips and PCB devices and ensuring reproducibility of quality For semiconductor chips and PCB devices And to provide a soldering apparatus.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의하면, 반도체 칩 및 PCB 소자용 레이저 솔더링 장치에 있어서, According to an aspect of the present invention, there is provided a laser soldering apparatus for a semiconductor chip and a PCB element,

상기 솔더링장치는, 상부와 평행하는 지지대가 마련된 베이스; 베이스 상부 일측에 구비되어 다수의 반도체 칩 및 PCB 소자를 트레이에 안착시켜 이송하는 반도체 칩 및 PCB 소자 공급수단; 베이스의 상부로부터 전후좌우 및 회전가능하게 위치 가변가능하게 설치되며, 상면에는 다수개의 반도체 칩 및 PCB 소자 안착홀이 구비되어 안착된 반도체 칩 및 PCB 소자를 레이저 솔더링하기 위한 솔더링 스테이지; 베이스의 지지대 전면에 설치되는 가이드레일과, 가이드레일상에 좌우 수평이동가능하게 설치되는 제1이동체와, 제1이동체로부터 회전 및 승강 가능하게 설치되어 반도체 칩 및 PCB 소자를 홀딩 이송하는 핑거로 이루어진 그립퍼수단; 베이스의 지지대로부터 좌우 이동가능하게 설치되는 제2이동체와, 제2이동체 하부 양측에는 양측으로 각도 조정가능하게 위치조정가능하게 설치되어 상기 스테이지에 안착된 반도체 칩 및 PCB 소자의 솔더링 부위에 빔을 조사하여 예열하기 위한 레이저 어셈블리; 제2이동체에 승강 가능하게 설치되어 스테이지에 안착된 반도체 칩 및 PCB 소자의 솔더링 부위를 영상으로 디스플레이도록 촬영하여 위치결정 솔더링 스테이지, 그립퍼수단, 레이저 어셈블리의 위치결정 제어신호를 제어부에 모니터링하기 위한 카메라모듈;로 이루어진 것을 특징으로 한다.The soldering apparatus includes a base having a support parallel to the upper portion; A semiconductor chip and a PCB element supply unit provided on one side of the base to mount and transfer a plurality of semiconductor chips and PCB elements on a tray; A semiconductor chip mounted on the upper surface of the semiconductor chip and having a plurality of semiconductor device mounting holes, and a soldering stage for laser soldering the PCB device; A first movable body horizontally movable on the guide rails, and a finger mounted on the first movable body so as to be capable of rotating and lifting and holding and transferring the semiconductor chip and the PCB element Gripper means; A second moving body installed to be movable in a left and right direction from a support of the base; a semiconductor chip mounted on both sides of the second moving body so as to be angularly adjustable to both sides thereof, A laser assembly for preheating; A camera for monitoring the positioning control signal of the positioning soldering stage, the gripper means, and the laser assembly to the control section by photographing the soldering portion of the semiconductor element and the PCB element mounted on the stage, And a module.

본 발명에 따른 상기 솔더링 스테이지는 좌우 이송가능한 제1테이블과 연결 설치되어 회전가능하게 설치되고, 상기 제1테이블의 하부를 받쳐 전후 제1테이블과 함께 솔더링 스테이지를 전후 이송하는 제2테이블이 베이스 상에 구비된 것을 특징으로 한다.The soldering stage according to the present invention is connected to the first table capable of being moved left and right and is rotatably installed. A second table supporting the lower portion of the first table and transferring the soldering stage back and forth together with the front and rear first tables, Is provided.

본 발명에 따른 상기 레이저 어셈블리는 제어부와 전기적으로 연결되어 레이저를 빔을 조사하기 위한 조사부와, 조사부와 포커싱 렌즈사이에 레이저 빔 일부를 측정하여 레이저 빔세기 출력 감소를 보상하는 자동 출력 제어부와, 조사부로부터 조사되는 빔을 포커싱하여 솔더링 부위를 예열하는 포커싱렌즈와, 조사부와 포커싱 렌즈 사이에 전후 이송가능하게 설치되어 조사되는 빔의 조사영역을 조절하기 위한 콜리메이션렌즈와, 포커싱렌즈를 통해 조사되는 빔의 조사각도를 각 솔더링 부위에 맞게 설정하는 틸트미러를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The laser assembly according to the present invention may further include an irradiation unit electrically connected to the control unit to irradiate the laser beam, an automatic output control unit that measures a part of the laser beam between the irradiation unit and the focusing lens to compensate for the reduction of the laser beam intensity output, A focusing lens for focusing the beam irradiated from the focusing lens to pre-heat the soldering portion, a collimation lens for adjusting the irradiation region of the beam irradiated and provided to be transferred back and forth between the irradiating portion and the focusing lens, And a tilt mirror for setting an irradiation angle of the tilt mirror to each soldering portion.

본 발명에 따른 상기 레이저 어셈블리에는 포커싱렌즈를 통해 솔더링 부위에 조사되는 빔의 예열온도를 감지하는 적외선 온도센서와, 적외선 온도센서와 전기적으로 연결 설치되어 적외선온도 센서에서 감지된 신호를 AD컨버터 및 제어부로 피드백시켜 레이저 파워를 컨트롤하여 솔더링 부위의 국부 예열온도를 제어하는 구조로 연결 설치된 것을 특징으로 한다.
The laser assembly according to the present invention may further include an infrared ray temperature sensor for detecting a preheating temperature of the beam irradiated to the soldering portion through a focusing lens, a signal electrically connected to the infrared ray temperature sensor for detecting a signal detected by the infrared ray temperature sensor, And the laser power is controlled to control the local preheating temperature of the soldering part.

본 발명의 반도체 칩 및 PCB 소자용 레이저 솔더링 장치는 반도체 칩 및 PCB 소자의 공급이송과, 그립퍼수단을 통한 반도체 칩 및 PCB 소자의 안정된 홀딩과 더불어 솔더링 스테이지로 이송시켜 3축방향으로 반도체 칩 및 PCB 소자의 기울기에 대한 보정을 실행하고, 또한 솔더링 스테이지에서도 회전, 전후 좌우로 조정되도록 하여 반도체 칩 및 PCB 소자의 안착을 안정화시킴은 물론, 지지대로부터 좌우 이송가능한 레이저 모듈을 통해 반도체 칩 및 PCB 소자의 솔더링 부위의 예열을 일정하면서 고속으로 실시하여 반도체 칩 및 PCB 소자의 솔더링작업 이루어지도록 함으로써, 위치보정, 레이저로부터 조사되는 빔의 각도 및 예열온도의 편차에 따라 발생할 수 있는 반도체 칩 및 PCB 소자의 솔더링 불량을 최소화하여 생산성을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.
The semiconductor chip and the laser soldering apparatus for a PCB element of the present invention are fed to a soldering stage along with feeding and feeding of a semiconductor chip and a PCB element and stable holding of a semiconductor chip and a PCB element through the gripper means, It is possible to stabilize the seating of the semiconductor chip and the PCB element by adjusting the inclination of the semiconductor chip and the PCB element by adjusting the rotation of the soldering stage and the longitudinal and transverse directions of the semiconductor chip and the PCB element, The soldering operation of the semiconductor chip and the PCB element can be performed by performing the preheating of the soldering part at a high speed with constant preheating so as to perform the soldering work of the semiconductor chip and the PCB element, Thereby minimizing defects and maximizing productivity.

도 1은 본 발명인 반도체 칩 및 PCB 소자 레이저 솔더링 장치를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 칩 및 PCB 소자 공급수단을 발췌하여 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 솔더링 스테이지를 발췌하여 도시한 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 그립퍼수단을 발췌하여 도시한 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 레이저 어셈블리를 발췌하여 도시한 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 카메라모듈을 발췌하여 도시한 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 레이저 빔의 조사와 레이저 빔 세기 측정 및 솔더링 부위에서 나오는 광 측정 상태를 예시한 개념도,
도 8은 본 발명에 따른 레이저 빔 세기 자동 조절 상태를 예시한 개념도,
도 9는 도 7에서 레이저 빔의 조사 영역에서 빔 크기 조절을 위한 렌즈 초점 조절 상태 예시한 개략도,
도 10은 도 7에서 솔더링 부위가 여러 위치에 대한 2축 고속 회전가능한 틸트미러를 이용한 조사를 도시한 개념도이다.
1 is a perspective view showing a semiconductor chip and a PCB element laser soldering apparatus according to the present invention,
FIG. 2 is a perspective view illustrating a semiconductor chip and a PCB element supply unit according to the present invention,
FIG. 3 is a perspective view showing a soldering stage according to the present invention,
4 is a perspective view illustrating gripper means according to the present invention,
FIG. 5 is a perspective view illustrating the laser assembly according to the present invention,
FIG. 6 is a perspective view illustrating a camera module according to the present invention,
FIG. 7 is a conceptual diagram illustrating irradiation of a laser beam according to the present invention, measurement of a laser beam intensity, and light measurement state at a soldering site,
FIG. 8 is a conceptual diagram illustrating an automatic adjustment of laser beam intensity according to the present invention,
FIG. 9 is a schematic view illustrating a lens focus adjustment state for adjusting the beam size in the irradiation region of the laser beam in FIG. 7;
FIG. 10 is a conceptual view showing an investigation using a tilt mirror capable of two-axis high-speed rotation of soldering sites at various positions in FIG.

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms, and the inventor should appropriately interpret the concepts of the terms appropriately It should be interpreted in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들은 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only the most preferred embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are described. Therefore, It should be understood that various equivalents and modifications may be present.

본 발명에 따른 반도체 칩 및 PCB 소자자(R)용 레이저 솔더링 장치(100)는, 베이스(110), 반도체 칩 및 PCB 소자자(R) 공급수단(200), 솔더링 스테이지(300), 그립퍼수단(400), 레이저 어셈블리(500), 카메라모듈(600)로 구성된다.The semiconductor chip and the laser element soldering apparatus 100 for a PCB element R according to the present invention include a base 110, a semiconductor chip and a PCB element R supply means 200, a soldering stage 300, (400), a laser assembly (500), and a camera module (600).

베이스(110)는 바닥에 안착되며, 상부 일측에는 상면과 평행하는 지지대(112)가 수직되는 형태로 마련된다.The base 110 is mounted on a floor, and a support 112, which is parallel to the upper surface, is provided on one side of the upper portion.

상기 반도체 칩 및 PCB 소자자(R) 공급수단(200)은 베이스(110) 상부 일측에 구비되어 다수의 반도체 칩(S)및 PCB 소자자(R)를 트레이(T)에 안착시켜 이송하는 수단으로, 상기 솔더링 스테이지(300) 일측에 구비되어 그립퍼수단(400)을 통해 반도체 칩 및 PCB 소자자(R)를 이송하는 구조로 설치되는 것으로 이송레일과 이송레일의 상부에는 상기 트레이(T)가 탈착가능하게 안착되는 구조로 설치되어 반도체 칩 및 PCB 소자자(R) 공급라인측과 왕복 이송가능하게 설치된 것이다.The semiconductor chip and the PCB element R supply means 200 are provided on one side of the base 110 to mount a plurality of semiconductor chips S and a PCB element R on the tray T And is installed at one side of the soldering stage 300 to transfer the semiconductor chip and the PCB element R through the gripper means 400. The tray T is mounted on the upper part of the transfer rail and the transfer rail. And is installed so as to be capable of being reciprocally transported to the semiconductor chip and the PCB element R supply line side.

상기 솔더링 스테이지(300)는 원판형으로 베이스(110)의 상부로부터 전후좌우 및 회전가능하게 위치 가변가능하게 설치되며, 상면에는 다수개의 반도체 칩 및 PCB 소자자(R) 안착홀(301)이 구비되어 안착된 반도체 칩 및 PCB 소자자(R)를 레이저 솔더링하기 위한 것이다.The soldering stage 300 is mounted on the upper surface of the base 110 so as to be rotatable in the front, rear, left, and right directions, and has a plurality of semiconductor chips and a PCB element R mounting hole 301 And is for laser-soldering the mounted semiconductor chip and the PCB element R.

상기 솔더링 스테이지(300)는 좌우 이송가능한 제1테이블(310)과 연결 설치되어 회전가능하게 설치되고, 상기 제1테이블(310)의 하부를 받쳐 전후 제1테이블과 함께 솔더링 스테이지를 전후 이송하는 제2테이블(320)이 베이스(110) 상에 구비된다.The soldering stage 300 is connected to the first table 310 that can be moved to the left and right and is rotatably installed. The soldering stage 300 supports the lower portion of the first table 310, 2 table 320 is provided on the base 110. [

상기 솔더링 스테이지(300)의 조정은 도면에서 미도시된 스텝모터의 회전에 따라 각각 작동하는 제1테이블, 제2테이블의 전후좌우 조정으로서 미세한 위치조정이 가능하도록 한 것이다.The adjustment of the soldering stage 300 can be performed by adjusting the front and rear sides of the first table and the second table, respectively, which are operated in accordance with the rotation of the step motor (not shown).

한편, 상기 그립퍼수단(400)은 베이스(110)의 지지대 전면에 설치되는 가이드레일(401)과, 가이드레일상에 좌우 수평이동가능하게 설치되는 제1이동체(410)와, 제1이동체(410)로부터 회전 및 승강 가능하게 설치되어 반도체 칩(S) 및 PCB 소자자(R)를 홀딩 이송하는 핑거(420)로 이루어진다.The gripper means 400 includes a guide rail 401 installed on the front surface of the base 110, a first moving body 410 installed horizontally horizontally on the guide rail, a first moving body 410 And a finger 420 for holding and transferring the semiconductor chip S and the PCB element R.

상기 레이저 어셈블리(500)는 베이스(110)의 지지대로부터 좌우 이동가능하게 설치되는 제2이동체(510)와, 제2이동체(510) 하부 양측에는 양측으로 각도 조정가능하게 위치조정가능하게 설치되어 상기 솔더링 스테이지(300)에 안착된 반도체 칩(S)의 솔더링 부위에 빔을 조사하여 예열하기 위한 것이다.The laser assembly 500 includes a second moving body 510 installed to be movable left and right from a support of the base 110 and a second moving body 510 installed on both sides of the lower portion of the second moving body 510, To irradiate a soldering portion of the semiconductor chip (S) placed on the soldering stage (300) to preheat the beam.

상기 카메라모듈(600)은 레이저 어셈블리(500)를 이루는 제2이동체(510)에 승강 가능하게 설치되어 스테이지에 안착된 반도체 칩 및 PCB 소자자(R)의 솔더링 부위를 영상으로 디스플레이도록 촬영하여 위치결정 및 솔더링 스테이지, 그립퍼수단, 레이저 어셈블리의 위치결정 제어신호를 제어부(10)에 모니터링하기 위한 것이다.The camera module 600 is movably mounted on a second moving body 510 constituting a laser assembly 500 so as to photograph the soldered parts of the semiconductor chip and the PCB element R mounted on the stage, And to monitor the positioning control signal of the crystal and soldering stage, the gripper means, and the laser assembly to the control unit 10. [

즉, 상기 카메라모듈(600)를 통해 반도체 칩 및 PCB 소자(R)의 솔더링 포지션 촬영은 미 도시된 모니터와 연결 설치되어 포지션에 대한 위치결정이 제대로 이루어지고 있는지, 위치결정이 이루어지는 신호결과에 따라 각 부의 동작이 이루어질 수 있게 한 것이다.That is, the soldering position photographing of the semiconductor chip and the PCB element R is established through the camera module 600 and is connected to a monitor (not shown) to determine whether the position is properly positioned or not, So that the operation of each part can be performed.

한편, 상기 레이저 어셈블리(500)는 제어부(10)와 전기적으로 연결되어 레이저를 빔을 조사하기 위한 조사부(501)와, 레이저 빔의 일부를 측정하는 광센서와 광센서와 전기적으로 연결 설치되어 광센서에서 측정된 신호를 AD 컨버터 및 제어부로 피드백시켜 레이저 파워가 감소시 다시 원래의 세기로 제어하는 자동 출력제어부(PD)와, 조사부(501)로부터 조사되는 빔을 포커싱하여 솔더링 부위를 예열하는 포커싱렌즈(502)와, 조사부와 포커싱 렌즈 사이에 전후 이송가능하게 설치되어 조사되는 빔의 조사영역을 조절하기 위한 콜리메이션렌즈(503)와, 포커싱렌즈를 통해 조사되는 빔의 조사각도 및 여러 부위를 솔더링할 수 있는 틸트미러(504)를 포함하여 구성된다.The laser assembly 500 includes an irradiation unit 501 electrically connected to the controller 10 to irradiate a laser beam, an optical sensor that measures a part of the laser beam, and an optical sensor that is electrically connected to the optical sensor, An automatic power control unit (PD) that feeds back the measured signal from the sensor to the AD converter and the control unit to control the laser power again to the original intensity when the laser power is decreased; a focusing unit that focuses the beam irradiated from the irradiation unit 501 to pre- A collimation lens 503 for adjusting the irradiation area of a beam to be irradiated and installed between the irradiation part and the focusing lens so as to be able to be transferred back and forth and an irradiation angle and various parts of the beam irradiated through the focusing lens And a tilt mirror 504 that can be soldered.

또한, 상기 레이저 어셈블리(500)에는 포커싱렌즈(502)를 통해 솔더링 부위에 조사되는 빔의 예열온도를 감지하는 적외선 온도센서(20)와, 적외선 온도센서와 전기적으로 연결 설치되어 적외선 온도센서에서 감지된 신호를 AD컨버터(30) 및 제어부(10)로 피드백시켜 레이저 파워를 컨트롤하여 솔더링 부위의 국부 예열온도를 제어하는 구조로 연결 설치된다.The laser assembly 500 further includes an infrared ray temperature sensor 20 for detecting a preheating temperature of the beam irradiated to the soldering portion through a focusing lens 502, an infrared ray temperature sensor 20 electrically connected to the infrared ray temperature sensor, The signal is fed back to the AD converter 30 and the control unit 10 to control the laser power so as to control the local preheating temperature of the soldering region.

도면 중 미설명 부호 D는 솔더링부위에 솔더볼을 형성시켜 주기 위한 디스펜서를 나타낸다.In the drawing, reference character D denotes a dispenser for forming a solder ball at a soldering portion.

이와 같이 구성된 본 발명인 반도체 칩 및 PCB 소자용 레이저 솔더링 장치의 작동에 따른 작용을 설명하면 다음과 같다.The operations of the semiconductor chip and the laser soldering apparatus for a PCB element according to the present invention will be described as follows.

반도체 칩 및 PCB 소자자(R) 공급수단(200)을 통해 트레이(T)에 다수개 안치된 반도체 칩(S)은 베이스(110)의 지지대(112)로부터 좌우 이송가능하게 설치된 그립퍼수단(400)을 통해 홀딩하여 레이저 솔더링을 위해 솔더링 스테이지(300)의 반도체 칩(S)및 PCB 소자자(R) 안착홀(301)에 안착시킨 상태에서 솔더링 작업이 이루어진다.A plurality of semiconductor chips S placed on a tray T through a semiconductor chip and a PCB element R supply means 200 are gripped by gripper means 400 And is mounted on the semiconductor chip S of the soldering stage 300 and the PCB mounting recess 301 of the soldering stage 300 for laser soldering.

참고로 솔더링 작업이 이루어지기 전 상기 그립퍼수단(400)의 일측에 별도로 설치되어 일정량의 디스펜서액 즉, 솔더볼은 디스펜서(D)를 통해 솔더링 부위에 묻힌 상태에서 이루어진다.A dispenser liquid, that is, a solder ball, which is separately installed on one side of the gripper means 400 before the soldering operation is performed, is embedded in the soldering region via the dispenser D.

상기 트레이에 반도체 칩(S) 및 PCB 소자자(R)를 홀딩하는 핑거(420)는 좌우 파지부분이 좌우 이송가능하게 설치된 것으로, 이때 반도체 칩 및 PCB 소자자(R)를 홀딩하고, 상기와 같이 솔더링 스테이지(300)로 이동함에 있어, 지지대(112)를 통해 가이드레일(401)를 따라 수평이동가능하게 설치된 제1이동체(410) 및 제1이동체(410)로부터 회전 및 승강 가능하여 홀딩한 반도체 칩(S) 및 PCB 소자자(R)의 홀딩된 상태, 즉, 기울기 등을 핑거(420) 부분이 자체 조정하여 상기 반도체 입 안착홀(301)에 정확하게 수평이 되게 안착시켜 준다.The finger 420 for holding the semiconductor chip S and the PCB element R in the tray is provided with right and left grip portions to be movable in the left and right direction and holds the semiconductor chip and the PCB element R at this time, The first moving body 410 and the first moving body 410 which are horizontally movable along the guide rail 401 through the support base 112 can be rotated and lifted and moved from the first moving body 410 to the holding stage 112, The fingers 420 themselves adjust the holding state of the semiconductor chip S and the PCB element R so that the semiconductor chip S and the PCB element R are accurately aligned horizontally with respect to the semiconductor socket 301.

즉, 상기 핑거(420)는 3축 방향으로 조정 가능하여 미세하게 기울어진 반도체 칩 및 PCB 소자자(R)를 안정적으로 홀딩하거나 상기와 같이 안착시킬 수 있는 것이다.That is, the finger 420 can be adjusted in three axial directions so that the finely tilted semiconductor chip and the PCB element R can be stably held or seated as described above.

아울러, 상기 솔더링 스테이지는 자체 회전은 물론, 제1테이블, 제2테이블의 전후 좌우 방향을 미세하게 조정할 수 있게 된다.In addition, the soldering stage is capable of finely adjusting the front, rear, and left and right directions of the first and second tables as well as the self-rotation.

따라서 반도체 칩을 솔더링 스테이지에 안정된 상태로 위치시켜 정밀한 리츨로우 솔더링작업을 완수할 수 있게 된다.Therefore, the semiconductor chip can be positioned in a stable state on the soldering stage, thereby achieving a precise retouch soldering operation.

한편, 상기와 같은 솔더링 작업은 베이스(110)의 지지대(112)로부터 좌우 이동가능하게 설치되는 제2이동체(510)에 설치된 레이저 어셈블리(500)를 통해 이루어지는바, 안착된 반도체 칩(S) 및 PCB 소자자(R)의 솔더링 부위에 빔을 조사하여 예열이 필수적이다.The soldering operation is performed through the laser assembly 500 mounted on the second moving body 510 installed to be movable from the support base 112 of the base 110 to the left and right. Preheating is necessary by irradiating the soldering part of the PCB element (R) with a beam.

상기와 같은 예열이 필수적으로 이루어지기 위해 레이저 어셈블리(500)을 구성하는 조사부(501)로부터 조사되어 솔더링 부위를 예열하는 빔은 첨부된 도 7 및 도 8을 참조하면 다음과 같다.7 and 8, the beam irradiated from the irradiating unit 501 constituting the laser assembly 500 to pre-heat the soldering region is essentially as follows.

제어부(10)와 전기적으로 연결되어 레이저를 빔을 조사하기 빔이 콜리메이션렌즈(503)와 포커싱렌즈(502)를 통과하여 솔더링 부위를 예열하는 것으로, 이는 조사부와 포커싱 렌즈 사이에 전후 이송가능하게 설치되어 조사되는 빔의 조사영역을 조절하면서 예열을 할 수 있고, 최종 조사되는 빔의 입사각은 틸트미러(504)를 통해 솔더링 부위에 맞게 위치를 신속하게 제어하면서 예열할 수 있게 된다.A beam that is electrically connected to the control unit 10 and that emits a laser beam passes through the collimation lens 503 and the focusing lens 502 to preheat the soldering region, The preheating can be performed while adjusting the irradiation area of the irradiated beam and the incident angle of the finally irradiated beam can be preheated while quickly controlling the position of the beam irradiated by the tilt mirror 504 to the soldering site.

상기와 같이 조사되는 빔의 세기는 도 8에서와 같이, 시간이 지남에 따라 레이저 출력의 세기가 감소하면, 자동 출력 제어부(PD)에서 측정된 일부 레이저 빔의 세기 측정을 통해 감자하여 감속된 만큼 다시 레이저 출력을 올려주어 일정한 레이저 세기를 유지한다. As shown in FIG. 8, when the intensity of the laser output decreases with time, the intensity of the laser beam irradiated by the automatic output controller PD is measured by measuring the intensity of the laser beam, The laser output is raised again to maintain a constant laser intensity.

상기 자동 출력제어부(PD)는 포도다이드를 이용한다.The automatic output control unit (PD) uses a grained die.

포커싱렌즈(502)를 통해 솔더링 부위에 조사되는 빔의 예열온도를 적외선 온도센서(20)가 감지하고, 적외선 온도센서와 전기적으로 연결 설치되어 적외선 온도센서에서 감지된 신호를 AD컨버터(30) 및 제어부(10)로 피드백시켜 레이저 파워를 컨트롤하여 솔더링 부위의 국부 예열온도를 제어함으로써 설정온도 이상으로 하여금 발생하는 열적 현상으로 반도체 칩(S) 및 PCB 소자(R)의 손상을 방지하면서 안정된 솔더링을 구현할 수 있게 된다.
The infrared ray temperature sensor 20 senses the preheating temperature of the beam irradiated to the soldering region through the focusing lens 502 and is electrically connected to the infrared ray temperature sensor and outputs a signal sensed by the infrared ray temperature sensor to the AD converter 30 and / By controlling the local preheating temperature of the soldering region by controlling the laser power by feeding back to the control unit 10, it is possible to prevent the semiconductor chip S and the PCB element (R) from being damaged by stable thermal soldering .

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, the present invention has been described with reference to particular embodiments, such as specific elements, and specific embodiments and drawings. However, it should be understood that the present invention is not limited to the above- And various modifications and changes may be made thereto by those skilled in the art to which the present invention pertains.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
Accordingly, the spirit of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described, and all of the equivalents or equivalents of the claims, as well as the following claims, belong to the scope of the present invention .

10: 제어부 20: 적외선 온도센서
30: AD컨버터 100: 솔더링 장치
110: 베이스 112: 지지대
200: 반도체 칩 공급수단 300: 솔더링 스테이지
301: 반도체 칩 안착홀 310: 제1테이블
320: 제2테이블 400: 그립퍼수단
401: 가이드레일 410: 제1이동체
420: 핑거 500: 레이저 어셈블리
501: 조사부 502: 포커싱렌즈
503: 콜리메이션렌즈 504: 틸트미러
510: 제2이동체 600: 카메라모듈
PD: 자동 출력 제어부 S: 반도체 칩
R: PCB 소자 T: 트레이
10: control unit 20: infrared temperature sensor
30: AD converter 100: Soldering device
110: base 112: support
200: semiconductor chip supply means 300: soldering stage
301: semiconductor chip seating hole 310: first table
320: second table 400: gripper means
401: Guide rail 410: First moving body
420: Finger 500: Laser assembly
501: illuminating unit 502: focusing lens
503: collimation lens 504: tilt mirror
510: second moving body 600: camera module
PD: Automatic output control section S: Semiconductor chip
R: PCB element T: Tray

Claims (4)

반도체 칩 및 PCB 소자자용 레이저 솔더링 장치에 있어서,
상기 솔더링장치(100)는,
상부와 평행하는 지지대(112)가 마련된 베이스(110);
베이스(110) 상부 일측에 구비되어 다수의 반도체 칩(S) 및 PCB 소자자(R)를 트레이(T)에 안착시켜 이송하는 반도체 칩 공급수단(200);
베이스(110)의 상부로부터 전후좌우 및 회전가능하게 위치 가변가능하게 설치되며, 상면에는 다수개의 반도체 칩 안착홀(301)이 구비되어 안착된 반도체 칩 및 PCB 소자자(R)를 레이저로 솔더링하기 위한 솔더링 스테이지(300);
베이스(110)의 지지대 전면에 설치되는 가이드레일(401)과, 가이드레일상에 좌우 수평이동가능하게 설치되는 제1이동체(410)와, 제1이동체(410)로부터 회전 및 승강 가능하게 설치되어 반도체 칩(S) 및 PCB 소자자(R)를 홀딩 이송하는 핑거(420)로 이루어진 그립퍼수단(400);
베이스(110)의 지지대(112)로부터 좌우 이동가능하게 설치되는 제2이동체(510)와, 제2이동체(510) 하부 양측에는 양측으로 각도 조정가능하게 위치조정가능하게 설치되어 상기 솔더링 스테이지(300)에 안착된 반도체 칩(S) 및 PCB 소자자(R)의 솔더링 부위에 빔을 조사하여 예열하기 위한 레이저 어셈블리(500);
제2이동체(510)에 승강 가능하게 설치되어 스테이지에 안착된 반도체 칩 및 PCB 소자자(R)의 솔더링 부위를 영상으로 디스플레이도록 촬영하여 위치결정 솔더링 스테이지, 그립퍼수단, 레이저 어셈블리의 위치결정 제어신호를 제어부(10)에 모니터링하기 위한 카메라모듈(600);로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 칩 및 PCB 소자자용 레이저 솔더링 장치.
A laser soldering apparatus for a semiconductor chip and a PCB element,
The soldering apparatus (100)
A base 110 provided with a support 112 parallel to the top;
A semiconductor chip supply means 200 provided on one side of the base 110 for receiving and transporting a plurality of semiconductor chips S and a PCB element R to the tray T;
A plurality of semiconductor chip mounting holes 301 are provided on the upper surface of the base 110 so as to be rotatable in the front, rear, left, and right directions from the upper portion of the base 110. Soldering the semiconductor chip and the PCB element R, A soldering stage 300;
A first moving body 410 installed horizontally and horizontally on the guide rail and a guide rail 401 installed on the front surface of the base 110. The first moving body 410 is installed to be rotatable and liftable from the first moving body 410 Gripper means (400) comprising a finger (420) for holding and transferring the semiconductor chip (S) and the PCB element ruler (R);
A second moving body 510 installed to be movable left and right from a support base 112 of the base 110 and a second moving body 510 installed on both sides of the lower portion of the second moving body 510 to be adjustable in both sides, A laser assembly 500 for irradiating and preheating a soldering portion of the semiconductor chip S and the PCB element R,
The semiconductor chip mounted on the second movable body 510 so as to move up and down and to photograph the soldering portion of the semiconductor element R and the PCB element R to display an image, And a camera module (600) for monitoring the controller module (10).
제1항에 있어서,
상기 솔더링 스테이지(300)는 좌우 이송가능한 제1테이블(310)과 연결 설치되어 회전가능하게 설치되고, 상기 제1테이블(310)의 하부를 받쳐 전후 제1테이블과 함께 솔더링 스테이지를 전후 이송하는 제2테이블(320)이 베이스(110) 상에 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 칩 및 PCB 소자자용 레이저 솔더링 장치.
The method according to claim 1,
The soldering stage 300 is connected to the first table 310 that can be moved to the left and right and is rotatably installed. The soldering stage 300 supports the lower portion of the first table 310, 2. A laser soldering apparatus for a semiconductor chip and a PCB element, wherein a table (320) is provided on a base (110).
제1항에 있어서,
상기 레이저 어셈블리(500)는 제어부(10)와 전기적으로 연결되어 레이저를 빔을 조사하기 위한 조사부(501)와, 조사부와 포커싱 렌즈사이에 레이저 빔 일부를 측정하여 레이저 빔세기 출력 감소를 보상하는 자동 출력 제어부(PD)와, 조사부로부터 조사되는 빔을 포커싱하여 솔더링 부위를 예열하는 포커싱렌즈(502)와, 조사부와 포커싱 렌즈 사이에 전후 이송가능하게 설치되어 조사되는 빔의 조사영역을 조절하기 위한 콜리메이션렌즈(503)와, 포커싱렌즈를 통해 조사되는 빔의 조사각도를 각각의 솔더링 부위에 맞게 설정하는 고속 틸트미러(504)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 칩 및 PCB 소자자용 레이저 솔더링 장치.
The method according to claim 1,
The laser assembly 500 includes an irradiation unit 501 electrically connected to the control unit 10 to irradiate a laser beam, and an automatic control unit 506 for measuring a part of the laser beam between the irradiation unit and the focusing lens, A focusing lens 502 for focusing the beam irradiated from the irradiating unit to pre-heat the soldering region, and a collimating lens 502 for adjusting the irradiation region of the beam to be irradiated, And a high-speed tilt mirror (504) for setting an irradiation angle of the beam irradiated through the focusing lens to each soldering site. 2. The laser soldering apparatus for a semiconductor chip and PCB element according to claim 1,
제3항에 있어서,
상기 레이저 어셈블리(500)에는 포커싱렌즈(502)를 통해 솔더링 부위에 조사되는 빔의 예열온도를 감지하는 적외선 온도센서(20)와, 적외선 온도센서와 전기적으로 연결 설치되어 적외선 온도센서에서 감지된 신호를 AD컨버터(30) 및 제어부(10)로 피드백시켜 레이저 파워를 컨트롤하여 솔더링 부위의 국부 예열온도를 제어하는 구조로 연결 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 칩 및 PCB 소자자용 레이저 솔더링 장치.
The method of claim 3,
The laser assembly 500 is provided with an infrared ray temperature sensor 20 for detecting a preheating temperature of a beam irradiated to a soldering portion through a focusing lens 502, Is connected to the AD converter (30) and the control unit (10) to control the laser power to control the local preheating temperature of the soldering region.
KR1020130127757A 2013-10-25 2013-10-25 Laser soldering apparatus for Semiconductor chip and PCB components KR101548425B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130127757A KR101548425B1 (en) 2013-10-25 2013-10-25 Laser soldering apparatus for Semiconductor chip and PCB components

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130127757A KR101548425B1 (en) 2013-10-25 2013-10-25 Laser soldering apparatus for Semiconductor chip and PCB components

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150047817A true KR20150047817A (en) 2015-05-06
KR101548425B1 KR101548425B1 (en) 2015-08-28

Family

ID=53386606

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130127757A KR101548425B1 (en) 2013-10-25 2013-10-25 Laser soldering apparatus for Semiconductor chip and PCB components

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101548425B1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017034172A1 (en) * 2015-08-25 2017-03-02 (주)이오테크닉스 Laser soldering device
CN109570758A (en) * 2019-01-10 2019-04-05 合肥邦立电子股份有限公司 A kind of the chip sweat soldering tooling and technique of vehicle ABS sensor
CN110116287A (en) * 2019-05-09 2019-08-13 四川九州光电子技术有限公司 Chip feeding welding system
CN116441800A (en) * 2023-04-28 2023-07-18 东莞平晶微电子科技有限公司 Lead welding device for TOLL packaging processing
CN118060653A (en) * 2024-04-18 2024-05-24 湖南健坤精密科技有限公司 Environment-friendly smokeless multifunctional laser tin ball welding machine

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102038521B1 (en) * 2017-11-28 2019-10-30 주식회사 코세스 Apparatus and method of reworking led element in led display substrate
KR101994622B1 (en) 2018-10-10 2019-07-02 변성경 Apparatus for transferring component
KR101994624B1 (en) 2018-10-10 2019-10-01 변성경 Apparatus for inspection component

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017034172A1 (en) * 2015-08-25 2017-03-02 (주)이오테크닉스 Laser soldering device
TWI670132B (en) * 2015-08-25 2019-09-01 南韓商Eo科技股份有限公司 Laser soldering apparatus
CN109570758A (en) * 2019-01-10 2019-04-05 合肥邦立电子股份有限公司 A kind of the chip sweat soldering tooling and technique of vehicle ABS sensor
CN109570758B (en) * 2019-01-10 2023-11-24 合肥邦立电子股份有限公司 Chip hot-melt welding tool and technology of vehicle ABS sensor
CN110116287A (en) * 2019-05-09 2019-08-13 四川九州光电子技术有限公司 Chip feeding welding system
CN116441800A (en) * 2023-04-28 2023-07-18 东莞平晶微电子科技有限公司 Lead welding device for TOLL packaging processing
CN116441800B (en) * 2023-04-28 2023-10-13 东莞平晶微电子科技有限公司 Lead welding device for TOLL packaging processing
CN118060653A (en) * 2024-04-18 2024-05-24 湖南健坤精密科技有限公司 Environment-friendly smokeless multifunctional laser tin ball welding machine

Also Published As

Publication number Publication date
KR101548425B1 (en) 2015-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101548425B1 (en) Laser soldering apparatus for Semiconductor chip and PCB components
US5235407A (en) System for placement and mounting of fine pitch integrated circuit devices
US5251266A (en) System for placement and mounting of fine pitch integrated circuit devices using a split mirror assembly
JP7062703B2 (en) Laser welding equipment and methods for semiconductor devices
JP2011216503A (en) Soldering method, method for manufacturing mounting substrate and soldering apparatus
JP4575526B2 (en) Method for manufacturing printed wiring board on which surface mount components are mounted
JP6227992B2 (en) Soldering apparatus and method
US10588251B2 (en) Mounting target working device
CN114325351A (en) Laser chip testing device and laser chip testing method
EP4406687A1 (en) Laser soldering device with adjustable laser irradiation position and soldering method comprising same
CN210908430U (en) Laser soldering device
KR20200142953A (en) Laser bonding apparatus
US5741410A (en) Apparatus for forming spherical electrodes
KR102228432B1 (en) Laser pressure head module of laser reflow equipment
WO2012165261A1 (en) Solder mark setting method and solder mark setting device
KR20170017044A (en) Soldering device for camera module
CN116944676A (en) Laser welding process method for LED flip chip
CN116994971A (en) Laser assisted bonding apparatus and method
US20220226934A1 (en) Electrode welding method and electrode welding apparatus
JP2020061571A (en) Control device and control method for component mounter
CN114273779B (en) Surface laser welding grain equipment and welding process thereof
KR20220022365A (en) Three-dimensional molded sculptures moving unit of surface mount apparatus
CN210231849U (en) Laser galvanometer controllable temperature self-positioning device for soldering tin
JP5946998B2 (en) Image processing apparatus and electronic component mounting machine
KR101090131B1 (en) Fpcb bonding system using laser and method of bonding fpcb

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
R401 Registration of restoration