KR20150026011A - Deposition source - Google Patents

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KR20150026011A
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evaporation source
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고성수
김재복
송원준
이관희
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

Disclosed is a deposition source. According to an embodiment of the present invention, the deposition source comprises: a main body member formed for an organic matter to be discharged to the upper side; and a heating unit having a first coil unit formed in a lower portion of the main body member and a second coil unit installed in the upper portion of the main body member and releasing relatively more heat compared to the first coil unit. According to the structure, the upper side of the main body unit maintains relatively higher temperature compared to the lower side thereof, thereby preventing the organic matter from being solidified in an opening portion. In other words, the deposition source can minimize the discontinuation of a deposition process while performing the maintenance of the deposition source as the organic matter is solidified in the opening portion. Thus, the productivity is enhanced as a maintenance cycle of the deposition source is increased.

Description

증착원{Deposition source}Deposition source

본 발명은 증착원에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 유기물을 증착하는데 사용되는 증착원에 관한 것이다.The present invention relates to an evaporation source, and more particularly, to an evaporation source used for depositing an organic material on a substrate.

증착 재료를 수용하는 용기인 증착원은 전류가 벽(부재)들을 통과할 때 온도가 증가되는 전기적 저항 재료로 만들어진다. 증착원에 전류가 인가되면, 그 내부의 증착 재료는 증착원의 벽으로부터의 방사열 및 벽과의 접촉으로부터의 전도열에 의하여 가열된다. 증착원의 상부 부재에는 기화된 재료 증기가 외부로 배출되는 증기 배출 개구가 형성되어 있다.The evaporation source, which is a container for accommodating the evaporation material, is made of an electrically resistive material whose temperature increases as the electric current passes through the walls (members). When an electric current is applied to the evaporation source, the evaporation material therein is heated by the heat radiated from the wall of the evaporation source and the conductive heat from the contact with the wall. In the upper member of the vapor deposition source, a vapor discharge opening through which vaporized material vapor is discharged to the outside is formed.

한편, 증기 배출 개구 주변의 상대적으로 낮은 온도로 인하여 개구를 통하여 배출되는 재료 증기의 일부가 개구 주변에서 응고되는 현상이 발생된다. 증착 공정이 진행됨에 따라 개구 주변에서의 재료 증기의 응고가 누적되어 재료 증기의 원활한 배출이 이루어지지 않으며, 이는 기판 표면에서의 증착막 형성에 큰 영향을 미치게 되는 문제점이 있다.On the other hand, due to the relatively low temperature around the vapor discharge opening, a phenomenon occurs in which a part of the material vapor discharged through the opening coagulates around the opening. As the deposition process progresses, the coagulation of the material vapor around the opening accumulates, so that the material vapor can not be discharged smoothly, which has a problem of greatly affecting the formation of the vapor deposition film on the substrate surface.

본 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제는 개구에 유기물이 응고되는 것을 방지할 수 있게 한 증착원을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an evaporation source that can prevent organic substances from solidifying in an opening.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착원은 상측으로 유기물이 배출되도록 형성된 몸체 부재와, 상기 몸체 부재의 하부에 형성된 제1 코일부와, 상기 몸체 부재의 상부에 형성되고, 상기 제1 코일부보다 상대적으로 더 많은 열을 방출하는 제2 코일부를 포함하는 가열 유닛을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided an evaporation source comprising: a body member formed to discharge organic matter to an upper side; a first coil portion formed at a lower portion of the body member; and a second coil portion formed at an upper portion of the body member, And a heating unit including a second coil part that emits relatively more heat.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 코일부와 제2 코일부는 서로 연결된 하나의 코일로 이루어질 수 있다.In one embodiment, the first coil portion and the second coil portion may be formed of one coil connected to each other.

일 실시예에 있어서, 상기 제2 코일부의 길이는 상기 제1 코일부의 길이보다 길게 형성될 수 있다.In one embodiment, the length of the second coil part may be longer than the length of the first coil part.

일 실시예에 있어서, 상기 제2 코일부는 상기 제1 코일부보다 조밀하게 형성될 수 있다.In one embodiment, the second coil portion may be formed more densely than the first coil portion.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 코일부는 상기 몸체 부재의 높이 방향으로 볼 때, 상기 몸체 부재의 중간 부분의 하측에 형성되고, 상기 제2 코일부는 상기 중간 부분의 상측에 형성될 수 있다.In one embodiment, the first coil portion may be formed on the lower side of the middle portion of the body member when viewed in the height direction of the body member, and the second coil portion may be formed on the upper side of the middle portion.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 코일부와 제2 코일부로 전원을 공급하는 하나의 전원부를 포함할 수 있다.In one embodiment, the power supply unit may include a power supply unit for supplying power to the first coil unit and the second coil unit.

일 실시예에 있어서, 상기 제2 코일부에서의 열 방출량은 상기 제1 코일부에서의 열 방출량의 두 배일 수 있다.In one embodiment, the heat release amount at the second coil part may be twice the heat release amount at the first coil part.

일 실시예에 있어서, 상기 제1 코일부와 제2 코일부는 상기 몸체 부재의 둘레면을 감싸도록 형성될 수 있다.In one embodiment, the first coil portion and the second coil portion may be formed to surround the circumferential surface of the body member.

일 실시예에 있어서, 상기 몸체 부재에는 내부공간이 형성되고, 상기 제1 코일부와 제2 코일부는 상기 몸체 부재의 내부공간을 둘러싸는 상기 몸체 부재의 내벽면에 형성될 수 있다.In one embodiment, an inner space is formed in the body member, and the first coil portion and the second coil portion may be formed on an inner wall surface of the body member surrounding the inner space of the body member.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착원은 몸체 부재의 상측이 하측보다 상대적으로 높은 온도를 유지하게 됨에 따라, 개구부에 유기물이 응고되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 개구부에 유기물이 응고되어 증착원의 유지보수를 실시하는 동안 증착 공정이 중단되는 것을 최소화할 수 있으므로, 증착원의 유지보수 주기가 증가되어 생산성을 향상시킬 수 있다.As the upper side of the body member maintains a relatively higher temperature than the lower side of the evaporation source according to the embodiment of the present invention, the organic material can be prevented from solidifying in the opening portion. That is, it is possible to minimize the interruption of the deposition process during the maintenance of the evaporation source due to the coagulation of the organic substance in the opening, so that the maintenance cycle of the evaporation source is increased and the productivity can be improved.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 증착원을 나타내는 단면도.
도 2는, 도 1에 도시된 증착원에 포함된 제1 코일부와 제2 코일부만 발췌하여 도시한 전개도.
도 3은, 본 발명의 제2실시예에 따른 증착원을 나타내는 단면도.
도 4는, 본 발명의 제3실시예에 따른 증착원을 나타내는 단면도.1 is a sectional view showing an evaporation source according to a first embodiment of the present invention;
FIG. 2 is an exploded view showing only the first coil part and the second coil part included in the evaporation source shown in FIG. 1; FIG.
3 is a sectional view showing an evaporation source according to a second embodiment of the present invention;
4 is a sectional view showing an evaporation source according to a third embodiment of the present invention;

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 제1실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in the various embodiments, elements having the same configuration are denoted by the same reference symbols only in the first exemplary embodiment, and in the other embodiments, only the configurations different from those of the first embodiment will be described .

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it includes not only "directly connected" but also "electrically connected" with another part in between . Also, when a part is referred to as "including " an element, it does not exclude other elements unless specifically stated otherwise.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착원을 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing an evaporation source according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 증착원(100)은 몸체 부재(110)와, 가열 유닛(120)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the evaporation source 100 includes a body member 110 and a heating unit 120.

몸체 부재(110)는 상측으로 유기물(10)이 배출되도록 형성된다. 몸체 부재(110)는 증착원(100)의 외형을 형성한다. 몸체 부재(110)의 형상의 일예로 원기둥, 사각기둥 등으로 이루어질 수 있다. 본 발명의 일실시예에서는 몸체 부재(110)의 형상이 원기둥인 것으로 가정하여 설명한다. 몸체 부재(110)의 상부(A)에는 개구부(111)가 형성될 수 있다. 개구부(111)는 특정 직경의 홀일 수 있다. 이와 다르게, 개구부(111)는 노즐일 수 있다. 이러한 개구부(111)를 통하여 기화된 유기물(10)이 외부로 배출될 수 있다.The body member 110 is formed so that the organic material 10 is discharged upward. The body member 110 forms an outer shape of the evaporation source 100. For example, the shape of the body member 110 may be a cylinder, a square column, or the like. In an embodiment of the present invention, it is assumed that the shape of the body member 110 is a cylinder. An opening 111 may be formed in the upper portion A of the body member 110. The opening 111 may be a hole of a specific diameter. Alternatively, the opening 111 may be a nozzle. The vaporized organic material 10 can be discharged to the outside through the opening 111.

가열 유닛(120)은 상기와 같은 몸체 부재(110)에 열을 공급한다. 가열 유닛(120)은 몸체 부재(110)의 전체에 걸쳐 형성될 수 있다. 이를 위한 가열 유닛(120)은 제1 코일부(121)와, 제2 코일부(122)를 포함할 수 있다. 제1 코일부(121)는 몸체 부재(110)의 하부(B)에 형성될 수 있다. 예를 들어, 제2 코일부(122)는 몸체 부재(110)에서 제1 코일부(121)가 형성되지 않은 나머지 상부(A) 부분에 형성될 수 있다. The heating unit 120 supplies heat to the body member 110 as described above. The heating unit 120 may be formed over the entire body member 110. The heating unit 120 for this purpose may include a first coil part 121 and a second coil part 122. The first coil portion 121 may be formed on the lower portion B of the body member 110. For example, the second coil part 122 may be formed on the upper part A where the first coil part 121 is not formed in the body member 110. [

이러한 가열 유닛(120)에 의해 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)에 전원이 인가되면, 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)로부터 열이 발생된다. 몸체 부재(110)의 하부(B)에는 제1 코일부(121)에서 발생되는 열이 공급되고, 몸체 부재(110)의 상부(A)에는 제2 코일부(122)에서 발생되는 열이 공급된다. 여기서, 제2 코일부(122)는 제1 코일부(121)보다 조밀하게 이루어지므로, 제2 코일부(122)가 제1 코일부(121)에서보다 더욱 많은 열이 발생될 수 있다. 이에 따라, 몸체 부재(110)의 상부(A)은 하부(B)보다 상대적으로 높은 온도를 유지하게 됨으로써, 개구부(111)에 유기물(10)이 응고되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 개구부에 유기물이 응고되어 증착원의 유지보수(maintenance)를 실시하는 동안 증착 공정이 중단되는 것이 최소화됨에 따라, 증착원(100)의 유지보수 주기가 증가되어 생산성을 향상시킬 수 있다.When power is applied to the first coil portion 121 and the second coil portion 122 by the heating unit 120, heat is generated from the first coil portion 121 and the second coil portion 122. Heat generated from the first coil part 121 is supplied to the lower part B of the body member 110 and heat generated from the second coil part 122 is supplied to the upper part A of the body part 110 do. Here, since the second coil part 122 is denser than the first coil part 121, more heat can be generated in the second coil part 122 than in the first coil part 121. [ Accordingly, the upper portion A of the body member 110 maintains a relatively higher temperature than the lower portion B, thereby preventing the organic material 10 from solidifying in the opening portion 111. That is, since the organic material is solidified in the opening to minimize the interruption of the deposition process during the maintenance of the evaporation source, the maintenance period of the evaporation source 100 is increased and the productivity can be improved.

한편, 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)의 상세한 구조의 일예로, 제1 코일부(121)는 몸체 부재(110)의 높이 방향으로 볼 때, 상기 몸체 부재의 중간 부분의 하측에 형성되고, 제2 코일부(122)는 상기 중간 부분의 상측에 형성될 수 있다. 즉, 몸체 부재(110)의 상부(A)과 하부(B)의 높이가 전체 높이의 각각 1/2이 되게 하는 기준점(미도시)으로부터 하부(B)에는 제1 코일부(121)가 형성되고, 상부(A)에는 제2 코일부(122)가 형성될 수 있다.The first coil part 121 may be formed to have the same shape as the first coil part 121 and the second coil part 122 when viewed in the height direction of the body member 110, And the second coil portion 122 may be formed on the upper side of the intermediate portion. That is, the first coil part 121 is formed in the lower part B from a reference point (not shown) in which the height of the upper part A and the lower part B of the body member 110 is 1/2 of the total height, And the second coil part 122 may be formed on the upper part A.

한편, 상기와 같은 가열 유닛(120)의 상세한 구조의 일예로, 몸체 부재(110)에는 내부공간이 형성된 상태에서, 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122) 몸체 부재(110)의 내부공간을 둘러싸는 몸체 부재(110)의 내벽면에 형성될 수 있다.The body member 110 may include a first coil part 121 and a second coil part 122 and a body member 110. The first coil part 121 and the second coil part 122 may be integrally formed with each other, The inner wall surface of the body member 110 surrounding the inner space of the body member 110 may be formed.

상기와 같은 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)는 서로 연결된 하나의 코일로 이루어질 수 있다. 이러한 구조에 의해 본 발명의 일실시예에 따른 증착원(100)의 구조를 더욱 단순화할 수 있다.The first coil part 121 and the second coil part 122 may be formed of one coil connected to each other. With this structure, the structure of the evaporation source 100 according to the embodiment of the present invention can be further simplified.

그리고 가열 유닛(120)의 구조를 더욱 상세하게 설명하면, 제2 코일부(122)는 제1 코일부(121)보다 상대적으로 조밀하게 이루어진 것일 수 있다. 여기서, 제2 코일부(122)가 제1 코일부(121)보다 상대적으로 조밀하게 이루어졌다는 것은, 제2 코일부(122)가 제1 코일부(121)보다 단위 길이당 코일이 더욱 많이 형성된 것일 수 있다. 단위 길이는 몸체 부재(110)의 상하방향을 따라 측정한 길이이다. 예를 들어, 제2 코일부(122)에는 1㎝당 코일이 4번 감긴 상태이고, 제1 코일부(121)에는 1㎝당 코일이 2번 감긴 상태일 수 있다. 즉, 다르게 표현하면, 가열 유닛(120)에서 제2 코일부(122)를 구성하는 하나의 코일의 길이는 제1 코일부(121) 를 구성하는 하나의 코일의 길이보다 길게 형성된 것일 수 있다.The structure of the heating unit 120 will be described in more detail. The second coil part 122 may be made relatively denser than the first coil part 121. Here, the fact that the second coil part 122 is relatively denser than the first coil part 121 means that the second coil part 122 has more coils per unit length than the first coil part 121 Lt; / RTI > The unit length is a length measured along the vertical direction of the body member 110. For example, the coil may be wound four times per 1 cm in the second coil part 122, and the coil may be wound twice per 1 cm in the first coil part 121. That is, in other words, the length of one coil constituting the second coil part 122 in the heating unit 120 may be longer than the length of one coil constituting the first coil part 121.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 증착원(100)은 미도시된 전원부를 포함할 수 있다. 이러한 전원부는 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)로 동일한 전원을 공급한다. 즉, 상기와 같이 본 발명에 따른 증착원(100)에서 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)는 하나의 코일로 이루어지면서, 하나의 전원부(미도시)에서 동일한 전원을 공급받는 구조이다.Meanwhile, the deposition source 100 according to an embodiment of the present invention may include a power source unit not shown. The power supply section supplies the same power to the first coil section 121 and the second coil section 122. [ That is, as described above, in the evaporation source 100 according to the present invention, the first coil part 121 and the second coil part 122 are made of one coil, and one power source (not shown) supplies the same power Receiving structure.

이에 따라, 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)가 독립적으로 구동되고, 각각의 코일부를 독립적으로 제어하기 위한 제어부 등이 추가적으로 설치되는 경우, 전체적으로 구조가 복잡해져서 제조비용이 상승할 수 있다. 그러나 본 발명의 일실시예에 따른 증착원(100)에서는 추가적인 제어부를 필요하지 않을 뿐만 아니라, 하나의 코일로 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)를 구현함으로써 구조가 단순화되어 제조 비용을 절감시킬 수 있다.Accordingly, when the first coil part 121 and the second coil part 122 are independently driven and a controller for independently controlling each coil part is additionally provided, the structure is complicated as a whole, Can rise. However, in the evaporation source 100 according to the embodiment of the present invention, the additional control part is not required and the structure is simplified by implementing the first coil part 121 and the second coil part 122 with one coil The manufacturing cost can be reduced.

한편, 상기와 같은 본 발명에 따른 증착원(100)에서 제2 코일부(122)에서의 열 방출량은 제1 코일부(121)에서의 열 방출량의 두 배일 수 있다. 이에 따라, 저장된 유기물(10)이 손상되지는 않으면서, 개구부(111)에는 유기물(10)이 응고되지 않도록 할 수 있다. 여기서, 몸체 부재(110)의 상부(A)의 온도와 하부(B)의 온도를 온도로 한정하지는 않는다.Meanwhile, in the evaporation source 100 according to the present invention, the amount of heat emitted from the second coil part 122 may be twice that of the first coil part 121. Accordingly, the organic matter 10 can be prevented from being solidified in the opening 111 without damaging the stored organic matter 10. Here, the temperature of the upper portion A and the temperature of the lower portion B of the body member 110 are not limited to the temperature.

도 2는, 도 1에 도시된 증착원에 포함된 제1 코일부와 제2 코일부만 발췌하여 도시한 전개도이고, 도 3은, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 증착원을 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is an exploded view showing only the first coil part and the second coil part included in the evaporation source shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view showing an evaporation source according to another embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 전술한 가열 유닛(120)의 상세한 구조의 일예로, 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)는 몸체 부재(110)에 대해 도면상에서 상하방향으로 형성될 수 있다. 이와 다르게, 도 3에 도시된 바와 같이, 전술한 가열 유닛(120)의 변형예로, 제1 코일부(221)와 제2 코일부(222)는 몸체 부재(110)에 대해 도면상에서 좌우방향으로 형성되는 것도 가능하다. 그리고 도시하지는 않았으나, 제1 코일부(121)와 제2 코일부(122)가 몸체 부재(110)에 대해 대각선 방향으로 형성되는 것도 가능할 수 있다.2, the first coil part 121 and the second coil part 122 are vertically arranged with respect to the body member 110 in the drawing as an example of the detailed structure of the heating unit 120 described above . 3, the first coil portion 221 and the second coil portion 222 may be formed on the body member 110 in the left and right directions in the drawing relative to the body member 110, as a modification of the heating unit 120 described above, As shown in FIG. Although not shown, it is also possible that the first coil part 121 and the second coil part 122 are formed in a diagonal direction with respect to the body member 110.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 전술한 구조와 다르게 전술한 가열 유닛(120)의 다른 변형예로, 제1 코일부(321)와 제2 코일부(322)는 몸체 부재(110)의 둘레면을 감싸도록 형성될 수 있다.4, the first coil part 321 and the second coil part 322 are formed on the side of the body member 110 in a different modification of the heating unit 120 described above, And may be formed to surround the peripheral surface.

지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are illustrative and explanatory only and are intended to be illustrative of the invention and are not to be construed as limiting the scope of the invention as defined by the appended claims. It is not. Therefore, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

10: 유기물 100, 200, 300: 증착원
110: 몸체 부재 111: 개구부
120: 가열 유닛 121,221,321: 제1 코일부10: organic material 100, 200, 300: evaporation source
110: body member 111: opening
120: heating unit 121, 221, 321:

Claims (9)

상측으로 유기물이 배출되도록 형성된 몸체 부재, 및
상기 몸체 부재의 하부에 형성된 제1 코일부와, 상기 몸체 부재의 상부에 형성되고, 상기 제1 코일부보다 상대적으로 더 많은 열을 방출하는 제2 코일부를 포함하는 가열 유닛을 포함하는 증착원.A body member formed to discharge the organic matter to the upper side, and
And a heating unit including a first coil part formed on a lower portion of the body member and a second coil part formed on an upper portion of the body member and emitting a relatively larger amount of heat than the first coil part, . 제1 항에 있어서,
상기 제1 코일부와 제2 코일부는 서로 연결된 하나의 코일로 이루어진 증착원.The method according to claim 1,
Wherein the first coil portion and the second coil portion are formed of one coil connected to each other. 제2 항에 있어서,
상기 제2 코일부의 길이는 상기 제1 코일부의 길이보다 길게 형성된 증착원.3. The method of claim 2,
And the length of the second coil part is longer than the length of the first coil part. 제2 항에 있어서,
상기 제2 코일부는 상기 제1 코일부보다 조밀하게 형성된 증착원.3. The method of claim 2,
And the second coil part is formed more densely than the first coil part. 제1 항에 있어서,
상기 제1 코일부는 상기 몸체 부재의 높이 방향으로 볼 때, 상기 몸체 부재의중간 부분의 하측에 형성되고, 상기 제2 코일부는 상기 중간 부분의 상측에 형성된 증착원.The method according to claim 1,
The first coil portion is formed on the lower side of the middle portion of the body member when viewed in the height direction of the body member and the second coil portion is formed on the upper side of the middle portion. 제1 항에 있어서,
상기 제1 코일부와 제2 코일부로 전원을 공급하는 하나의 전원부를 포함하는 증착원.The method according to claim 1,
And one power source for supplying power to the first coil part and the second coil part. 제1 항에 있어서,
상기 제2 코일부에서의 열 방출량은 상기 제1 코일부에서의 열 방출량의 두배인 증착원.The method according to claim 1,
Wherein the heat radiation amount in the second coil part is twice the heat radiation amount in the first coil part. 제1 항에 있어서,
상기 제1 코일부와 제2 코일부는 상기 몸체 부재의 둘레면을 감싸도록 형성된 증착원.The method according to claim 1,
Wherein the first coil part and the second coil part surround the circumferential surface of the body member. 제1 항에 있어서,
상기 몸체 부재에는 내부공간이 형성되고,
상기 제1 코일부와 제2 코일부는 상기 몸체 부재의 내부공간을 둘러싸는 상기몸체 부재의 내벽면에 형성된 증착원.The method according to claim 1,
An internal space is formed in the body member,
Wherein the first coil portion and the second coil portion are formed on the inner wall surface of the body member surrounding the inner space of the body member.
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