KR20150002422A - Organic light emitting display device and manufacturing method of the same - Google Patents
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Abstract
Description
본원은 신뢰도를 향상시킬 수 있는 유기발광표시장치 및 그를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device capable of improving reliability and a method of manufacturing the same.
본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라, 전기적 정보신호를 시각적으로 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전하고 있다. 이에, 여러 가지 다양한 평판표시장치(Flat Display Device)에 대해 박형화, 경량화 및 저소비전력화 등의 성능을 개발시키기 위한 연구가 계속되고 있다.As the era of informationization becomes full-scale, the display field for visually displaying electrical information signals is rapidly developing. Accordingly, studies have been continuing to develop performance such as thinning, lightening, and low power consumption for various flat display devices.
이 같은 평판표시장치의 대표적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro Luminescence Display device: ELD), 전기습윤표시장치(Electro-Wetting Display device: EWD) 및 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Display device: OLED) 등을 들 수 있다. Typical examples of such flat panel display devices include a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED) An electroluminescence display device (ELD), an electro-wetting display device (EWD), and an organic light emitting display device (OLED).
이와 같은 평판표시장치들은 공통적으로, 영상을 구현하기 위한 평판표시패널을 필수적으로 포함한다. 여기서, 평판표시패널은 고유의 발광물질 또는 편광물질을 사이에 둔 한 쌍의 기판이 대면 합착된 구조이고, 표시영역과 그의 외곽인 비표시영역이 정의되는 표시면을 포함한다. 그리고, 표시영역은 복수의 화소영역으로 정의된다.Such flat panel display devices commonly include flat panel display panels for realizing images. Here, the flat panel display panel has a structure in which a pair of substrates sandwiching an intrinsic light emitting material or a polarizing material is in a face-to-face relationship, and includes a display area in which a display area and a non- The display region is defined as a plurality of pixel regions.
이 중 유기발광표시장치(OLED)는 자체 발광형 소자인 유기발광소자를 이용하여, 화상을 표시한다. 즉, 유기발광표시장치는 복수의 화소영역에 대응하는 복수의 유기발광소자를 포함한다.Among them, the organic light emitting display OLED displays an image by using an organic light emitting element which is a self light emitting type element. That is, the organic light emitting display includes a plurality of organic light emitting elements corresponding to a plurality of pixel regions.
유기발광소자는 상호 대향하는 제 1 및 제 2 전극, 및 제 1 및 제 2 전극 사이의 유기물질로 형성되고 제 1 및 제 2 전극 사이의 구동전류에 기초하여 루미네선스(Electro Luminescence)를 발생시키는 유기층을 포함한다.The organic light emitting device is formed of organic materials between first and second electrodes facing each other and between the first and second electrodes and generates an electroluminescence based on a driving current between the first and second electrodes Lt; / RTI >
제 1 및 제 2 전극 중 어느 하나(이하, "제 1 전극"이라 가정함)는 각 화소영역에 대응하도록 형성되고, 다른 하나(이하, "제 2 전극"이라 가정함)는 복수의 화소영역에 공통으로 대응하도록 형성된다. One of the first and second electrodes (hereinafter referred to as "first electrode") is formed to correspond to each pixel region, and the other one (hereinafter, As shown in FIG.
이와 같이, 제 2 전극은 각 화소영역에 대응하도록 형성되는 제 1 전극과 달리, 복수의 화소영역 전체에 대응하도록 형성됨에 따라, 제 1 전극에 비해 높은 저항을 갖는다. 특히, 유기발광표시장치가 제 2 전극을 투과하는 경로로 광을 방출하는 형태인 경우, 각 화소영역의 광 방출 효율, 즉 휘도를 높이기 위하여, 제 2 전극은 되도록 얇은 두께의 투명도전성재료로 형성될 수 있고, 그로 인해, 더 높은 저항을 가질 수 있다.As described above, unlike the first electrode formed to correspond to each pixel region, the second electrode is formed to correspond to the entire plurality of pixel regions, and thus has a higher resistance than the first electrode. In particular, in the case where the organic light emitting display device emits light in a path through which the second electrode passes, in order to increase light emission efficiency, i.e., brightness, of each pixel region, the second electrode is formed of a transparent conductive material And thus can have a higher resistance.
그런데, 제 2 전극의 저항이 높을수록, 더 큰 폭의 전압강하(voltage drop: IR drop)가 발생되므로, 전원과의 거리에 따라 각 화소영역의 휘도가 달라질 수 있다. 즉, 제 2 전극의 높은 저항으로 인해, 각 화소영역의 휘도에 대한 균일도가 저하되는 문제점이 있다. 또한, 제 2 전극의 높은 저항으로 인한 전압 강하에도 불구하고, 임계 이상의 휘도를 확보하기 위해, 유기발광표시장치의 소비전력이 상승하는 문제점이 있다. However, as the resistance of the second electrode is higher, a voltage drop (IR drop) of a larger width is generated, so that the brightness of each pixel region can be changed according to the distance from the power source. That is, due to the high resistance of the second electrode, there is a problem that the uniformity of the luminance of each pixel region is lowered. Further, in spite of the voltage drop due to the high resistance of the second electrode, the power consumption of the organic light emitting display device is increased in order to secure a luminance of more than a critical value.
특히, 유기발광표시장치가 대면적일수록, 제 2 전극의 높은 저항으로 인한 휘도 균일도의 저하 및 소비전력의 상승이 더욱 심화됨에 따라, 유기발광표시장치의 대면적화에 한계가 있는 문제점이 있다.Particularly, the larger the area of the organic light emitting display device, the lower the luminance uniformity and the higher the power consumption due to the high resistance of the second electrode, and thus, there is a problem that the size of the organic light emitting display device is limited.
이러한 문제점을 해소하기 위해서는 제 2 전극의 저항을 낮출 필요가 있으며, 이를 위해, 일반적인 유기발광표시장치는 제 2 전극보다 낮은 저항을 갖는 재료로 형성되는 별도의 보조전극을 더 포함할 수 있다. In order to solve this problem, it is necessary to lower the resistance of the second electrode. To this end, the general organic light emitting display may further include a separate auxiliary electrode formed of a material having a resistance lower than that of the second electrode.
이때, 보조전극은 유기층을 사이에 두고 제 2 전극과 대향하도록 형성됨에 따라, 제 2 전극과 연결되기 위해, 보조전극의 적어도 일부는 유기층이 형성되지 않고 노출되어야 한다. At this time, since the auxiliary electrode is formed to face the second electrode with the organic layer therebetween, at least a part of the auxiliary electrode must be exposed without forming the organic layer in order to be connected to the second electrode.
일 예로, 보조전극의 적어도 일부를 노출시키기 위해, 유기층을 선택적으로 식각할 수 있는데, 이와 같이 하면, 유기층이 전반적으로 손상될 뿐만 아니라, 식각된 유기물질이 불순물로 남아있을 수 있어, 유기발광표시장치의 신뢰도가 저하되는 문제점이 있다.For example, in order to expose at least a part of the auxiliary electrode, the organic layer may be selectively etched. In this case, not only the organic layer is entirely damaged but also the etched organic material may remain as an impurity, There is a problem that the reliability of the apparatus is lowered.
다른 예로, 미세마스크를 이용하여, 보조전극의 적어도 일부를 가린 상태로 유기층을 형성할 수 있는데, 이와 같이 하면, 유기층 형성 공정 내내 미세마스크만을 이용해야 하므로, 높은 비용이 소모되고, 공정 시 높은 주의를 요하는 문제점이 있다.As another example, it is possible to form an organic layer in a state where at least a part of the auxiliary electrode is masked using a fine mask. In this case, since only a fine mask needs to be used throughout the organic layer forming process, high cost is consumed, .
본원은 유기층을 선택적으로 식각하거나 유기층 형성 시 미세마스크를 사용하지 않고서도, 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결시킬 수 있어, 제조공정이 더욱 용이해질 수 있고, 신뢰도가 향상될 수 있는 유기발광표시장치 및 제조방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention can connect the auxiliary electrode and the second electrode to each other without the use of a fine mask when the organic layer is selectively etched or when an organic layer is formed. Thus, the manufacturing process can be facilitated and reliability can be improved. Apparatus and a method of manufacturing the same.
이와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본원은 표시영역에서, 발광영역과 비발광영역을 각각 포함하는 복수의 화소영역이 정의되는 유기발광표시장치에 있어서, 상기 적어도 하나의 화소영역의 비발광영역 중 일부에 형성되는 보조전극; 상기 각 화소영역의 상기 발광영역에 형성되는 제 1 전극; 상기 표시영역의 전면에 형성되고, 상기 제 1 전극 및 상기 보조전극을 덮는 유기층; 상기 유기층 상의 전면에 형성되는 제 2 전극; 및 상기 보조전극의 적어도 일부가 상기 유기층을 관통하여 상기 제 2 전극으로 확산되어 형성되고, 상기 보조전극과 상기 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 포함하는 유기발광표시장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an OLED display device including a plurality of pixel regions each including a light emitting region and a non-light emitting region in a display region, An auxiliary electrode formed on the substrate; A first electrode formed in the light emitting region of each pixel region; An organic layer formed on a front surface of the display region and covering the first electrode and the auxiliary electrode; A second electrode formed on a front surface of the organic layer; And at least a part of the auxiliary electrode is formed by diffusing into the second electrode through the organic layer and connecting the auxiliary electrode and the second electrode.
그리고 본원은 표시영역에서, 발광영역과 비발광영역을 각각 포함하는 복수의 화소영역이 정의되는 유기발광표시장치를 제조하는 방법에 있어서, 기판 상에 게이트라인을 형성하고, 기판 상의 전면에 게이트절연막을 형성하며, 게이트절연막 상에 데이터라인을 형성하고, 상기 비발광영역 중 일부에 제 1 보조전극층을 포함하는 보조전극을 형성하는 단계; 상기 게이트절연막 상의 전면에 상기 데이터라인과 상기 제 1 보조전극층을 덮는 오버코트층을 형성하는 단계; 적어도 상기 오버코트층을 관통하여, 상기 제 1 보조전극층의 적어도 일부를 노출하는 보조콘택홀을 형성하는 단계; 상기 오버코트층 상의 상기 발광영역에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 오버코트층 상에 상기 제 1 전극의 테두리에 적어도 일부 오버랩하는 뱅크를 형성하는 단계; 상기 오버코트층 상의 전면에, 상기 제 1 전극과 상기 뱅크와 상기 보조전극을 덮는 유기층을 형성하는 단계; 상기 유기층 상의 전면에 제 2 전극을 형성하는 단계; 상기 제 2 전극에 대향하는 밀봉층을 형성하는 단계; 및 상기 보조전극의 적어도 일부를 상기 제 2 전극으로 확산시켜, 상기 보조전극과 상기 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광표시장치의 제조방법을 제공한다.A method of manufacturing an organic light emitting display in which a plurality of pixel regions each including a light emitting region and a non-light emitting region are defined in a display region, the method comprising: forming a gate line on a substrate; Forming a data line on the gate insulating layer, and forming an auxiliary electrode including a first auxiliary electrode layer in a part of the non-emission region; Forming an overcoat layer covering the data line and the first auxiliary electrode layer on the entire surface of the gate insulating layer; Forming an auxiliary contact hole through at least the overcoat layer to expose at least a part of the first auxiliary electrode layer; Forming a first electrode in the light emitting region on the overcoat layer; Forming a bank on the overcoat layer at least partially overlapping the rim of the first electrode; Forming an organic layer covering the first electrode, the bank, and the auxiliary electrode on the entire surface of the overcoat layer; Forming a second electrode on the entire surface of the organic layer; Forming a sealing layer opposite to the second electrode; And diffusing at least a portion of the auxiliary electrode to the second electrode to form a contact weld connecting the auxiliary electrode and the second electrode.
본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치는 전면에 형성되는 제 2 전극과 연결되는 보조전극을 포함함으로써, 제 2 전극의 저항을 낮출 수 있어, 제 2 전극의 높은 저항에 의한 휘도 저하 및 소비전력 증가를 방지할 수 있으므로, 대면적화에 더욱 유리해질 수 있다.Since the organic light emitting display according to an embodiment of the present invention includes the auxiliary electrode connected to the second electrode formed on the front surface, the resistance of the second electrode can be lowered, It is possible to prevent an increase in electric power, and thus it can be more advantageous in large-area.
그리고, 보조전극의 적어도 일부가 유기층을 관통하여 제 2 전극으로 확산되어 형성되는 콘택웰딩을 더 포함함으로써, 유기층을 선택적으로 식각하거나, 유기층 형성 시 미세마스크를 이용하지 않더라도, 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결시킬 수 있다. 그러므로, 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결하기 위해, 유기층이 손상되는 것이 방지됨에 따라, 유기발광표시장치의 신뢰도 및 수명이 더욱 향상될 수 있고, 유기층 형성 시 높은 비용 및 높은 주의가 소모되는 것이 방지될 수 있어, 제조공정이 더욱 간단해질 수 있다. Further, by further including the contact welding in which at least a part of the auxiliary electrode is formed by diffusing into the second electrode through the organic layer, the organic layer can be selectively etched or the auxiliary electrode can be selectively etched, Respectively. Therefore, since the organic layer is prevented from being damaged due to the connection between the auxiliary electrode and the second electrode, the reliability and lifetime of the organic light emitting display can be further improved, and a high cost and high attention And the manufacturing process can be further simplified.
이 뿐만 아니라, 콘택웰딩은 일반적인 콘택홀보다 작은 공정마진을 포함하므로, 유기발광표시장치의 개구율이 향상될 수 있다.In addition, since the contact welding includes a process margin smaller than a general contact hole, the aperture ratio of the organic light emitting display device can be improved.
또한, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 밀봉층을 형성한 후, 콘택웰딩을 형성함에 따라, 콘택웰딩 형성 시에 진공챔버가 불필요하므로, 공정이 더욱 용이해지고, 제조비용이 저감될 수 있다.In addition, the method of manufacturing an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention is advantageous in that since a contact layer is formed after a sealing layer is formed, a vacuum chamber is not required in forming a contact well, Can be reduced.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 나타낸 등가회로도이다.
도 2a 및 도 2b는 본원의 제 1 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본원의 제 2 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본원의 제 3 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본원의 제 4 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본원의 제 5 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 본원의 제 6 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 본원의 제 7 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 9a 및 도 9b는 본원의 제 8 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 10은 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
도 11a 내지 도 11i는 도 10의 각 단계를 나타낸 공정도이다.1 is an equivalent circuit diagram illustrating an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 2A and 2B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the first embodiment of the present invention and cross-sectional views showing any one pixel region.
FIGS. 3A and 3B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the second embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions.
FIGS. 4A and 4B are a plan view showing a part of the OLED display device of FIG. 1 according to the third embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions.
FIGS. 5A and 5B are a plan view showing a part of the OLED display of FIG. 1 according to the fourth embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions.
FIGS. 6A and 6B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the fifth embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions.
FIGS. 7A and 7B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the sixth embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions.
8A and 8B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the seventh embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions.
9A and 9B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to an eighth embodiment of the present invention, and sectional views showing any one of the pixel regions.
10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an OLED display according to an embodiment of the present invention.
11A to 11I are process drawings showing respective steps of Fig.
이하, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치 및 그의 제조방법에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an organic light emitting diode display and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 도 1, 도 2a, 도 2b, 도 3a, 도 3b, 도 4a, 도 4b, 도 5a, 도 5b, 도 6a, 도 6b, 도 7a, 도 7b, 도 8a, 도 8b, 도 9a 및 도 9b를 참조하여, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치에 대해 설명한다.First, as shown in Figs. 1, 2A, 2B, 3A, 3B, 4A, 4B, 5A, 5B, 6A, 6B, 7A, 7B, 8A, 8B, Referring to FIG. 9B, an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention will be described.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 나타낸 등가회로도이다. 도 2a 및 도 2b는 본원의 제 1 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 3a 및 도 3b는 본원의 제 2 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 4a 및 도 4b는 본원의 제 3 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 5a 및 도 5b는 본원의 제 4 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 6a 및 도 6b는 본원의 제 5 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 7a 및 도 7b는 본원의 제 6 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 8a 및 도 8b는 본원의 제 7 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 9a 및 도 9b는 본원의 제 8 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.1 is an equivalent circuit diagram illustrating an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention. FIGS. 2A and 2B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the first embodiment of the present invention and cross-sectional views showing any one pixel region. FIGS. 3A and 3B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the second embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions. FIGS. 4A and 4B are a plan view showing a part of the OLED display device of FIG. 1 according to the third embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions. FIGS. 5A and 5B are a plan view showing a part of the OLED display of FIG. 1 according to the fourth embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions. FIGS. 6A and 6B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the fifth embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions. FIGS. 7A and 7B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the sixth embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions. 8A and 8B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to the seventh embodiment of the present invention, and cross-sectional views showing any one of the pixel regions. 9A and 9B are a plan view showing a part of the organic light emitting diode display of FIG. 1 according to an eighth embodiment of the present invention, and sectional views showing any one of the pixel regions.
도 1에 도시한 바와 같이, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치(100)는 복수의 화소영역(PA)이 정의되도록 상호 교차하여 형성되는 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL), 복수의 화소영역(PA)에 대응하는 복수의 박막트랜지스터(TFT), 및 복수의 화소영역(PA) 각각의 발광영역에 형성되는 복수의 유기발광소자(ED)를 포함한다.1, an
복수의 유기발광소자(ED)는 어느 하나의 박막트랜지스터(TFT)와 연결되고, 기준전원(Vdd)에 연결된다. 이에, 각 유기발광소자(ED)는 각 박막트랜지스터(TFT)와 기준전원(Vdd) 사이의 전위차에 대응한 구동전류에 기초하여, 광을 방출한다.The plurality of organic light emitting devices ED are connected to one of the thin film transistors TFT and to the reference power source Vdd. Thus, each organic light emitting element ED emits light based on the driving current corresponding to the potential difference between each thin film transistor TFT and the reference power supply Vdd.
도 2a, 도 3a, 도 4a, 도 5a, 도 6a, 도 7a, 도 8a 및 도 9a에 도시한 바와 같이, 각 실시예에 따르면, 복수의 화소영역(PA) 각각은 표시를 위한 광을 방출하는 발광영역(EA)과, 그 이외의 비발광영역(NEA)을 포함한다.As shown in Figs. 2A, 3A, 4A, 5A, 6A, 7A, 8A and 9A, according to each embodiment, each of the plurality of pixel regions PA emits light for display And a non-emission region NEA other than the emission region EA.
그리고, 각 실시예에 따른 유기발광표시장치(100a~100h)는 기판(111) 상의 각 화소영역(PA)에 형성되는 박막트랜지스터(TFT), 기판(111) 상에 형성되는 게이트라인(도 1의 GL), 기판(111) 상의 전면에 형성되고 게이트라인(GL)을 덮는 게이트절연막(112), 게이트절연막(112) 상에 형성되고 복수의 화소영역(PA)이 정의되도록 게이트라인(GL)에 교차하는 데이터라인(도 1의 DL), 비발광영역(NEA) 중 일부에 형성되는 보조전극(120), 및 게이트절연막(112) 상의 전면에 형성되고 박막트랜지스터(TFT)와 게이트전극(GL)과 데이터라인(DL)과 보조전극(120)을 덮는 오버코트층(113)을 포함한다.The organic light emitting
그리고, 각 실시예에 따른 유기발광표시장치(100a~100h)는 오버코트층(113) 상의 발광영역(EA)에 형성되고, 박막트랜지스터(TFT)와 연결되는 제 1 전극(131), 오버코트층(113) 상의 발광영역(EA) 외곽에 형성되고 제 1 전극(131)의 테두리 상에 적어도 일부 오버랩하는 뱅크(132), 오버코트층(113) 상의 전면에 형성되어, 제 1 전극(131)과 뱅크(132)를 덮는 유기층(133), 유기층(133) 상의 전면에 형성되는 제 2 전극(134), 보조전극(120)의 일부가 유기층(133)을 관통하여 제 2 전극(134)으로 확산되도록 형성되어, 보조전극(120)과 제 2 전극(134) 사이를 연결하는 콘택웰딩(140), 및 제 2 전극(134)에 대향하는 밀봉층(150)을 더 포함한다.The organic light emitting
각 화소영역(PA)에 대응한 박막트랜지스터(TFT)는 게이트전극(161), 액티브층(162), 소스전극(163) 및 드레인전극(164)을 포함한다.The thin film transistor TFT corresponding to each pixel region PA includes a
게이트전극(161)은 게이트라인(GL)과 마찬가지로, 기판(111) 상에 형성된다. 그리고, 게이트라인(GL)으로부터 분기된 형태로 이루어져서, 게이트라인(GL)과 연결된다.The
액티브층(162)은 게이트절연막(112) 상에, 게이트전극(161)의 적어도 일부와 오버랩하도록 형성된다. 여기서, 액티브층(162)은 산화물반도체(Oxide Semiconductor), 폴리실리콘(poly Silicon: 결정질 실리콘) 및 아몰포스 실리콘(amorphous Silicon: a-Si: 비결정질 실리콘) 중 어느 하나로 형성될 수 있다.The
소스전극(163)과 드레인전극(164)는 데이터라인(DL)과 마찬가지로, 게이트절연막(112) 상에 상호 이격하도록 형성된다. 그리고, 소스전극(163)과 드레인전극(164)는 액티브층(162)의 양측 상에 오버랩한다. The
여기서, 소스전극(163)과 드레인전극(164) 중 어느 하나(예를 들면, 소스전극(163)일 수 있음)는 데이터라인(DL)으로부터 분기된 형태로 이루어져서, 데이터라인(DL)과 연결된다. 그리고, 소스전극(163)과 드레인전극(164) 중 데이터라인(DL)과 연결되지 않는 다른 하나(예를 들면, 드레인전극(164)일 수 있음)는 오버코트층(113)을 관통하는 메인콘택홀(CT1)을 통해 적어도 일부 노출되어, 제 1 전극(131)과 연결된다.Here, any one of the
또한, 액티브층(162)이 산화물반도체로 형성되는 경우, 박막트랜지스터(TFT)는 액티브층(162) 상에 형성되는 에치스토퍼층(165)을 더 포함할 수 있고, 이때, 소스전극(163) 및 드레인전극(164)은 에치스토퍼(165)의 양측 상에 오버랩한다.When the
제 1 전극(131)은 적어도 각 화소영역(PA)의 발광영역(EA: Emitting Area)에 대응하고, 오버코트층(113) 상에 형성된다. 그리고, 제 1 전극(131)은 오버코트층(113)을 관통하는 메인콘택홀(CT1)을 통해, 박막트랜지스터(TFT)의 소스전극(163)과 드레인전극(164) 중 데이터라인(DL)에 연결되지 않은 다른 하나(예를 들면, 드레인전극(164)임)와 연결된다.The
뱅크(132)는 각 화소영역(PA)의 발광영역(EA) 외곽에 대응하고, 오버코트층(112) 상에 형성된다. 그리고, 뱅크(132)는 제 1 전극(131)의 테두리에 적어도 일부 오버랩한다.The
이러한 뱅크(132)에 의해 제 1 전극(131)의 단차영역이 가려져서, 제 1 전극(131)의 단차에 집중되는 전류흐름에 의해 유기층(133)이 더 신속하게 열화되는 것을 방지할 수 있다.It is possible to prevent the
유기층(133)은 표시영역 전면, 즉 복수의 화소영역(PA) 전체에 대응하여, 오버코트층(113) 상의 전면에 형성된다. 이에, 유기층(133)은 제 1 전극(131) 및 뱅크(132)를 덮도록 형성된다. The
이러한 유기층(133)은 표시영역에 대응하는 오픈마스크를 이용하여 형성될 수 있다.The
상세히 도시되어 있지 않으나, 유기층(133)은 서로 다른 성분 또는 조성을 갖는 유기물질로 이루어진 다중층 구조로 이루어질 수 있다. 일 예로, 유기층(133)은 유기발광재료로 이루어진 발광층을 포함하고, 전자주입층, 전자수송층, 정공수송층 및 정공주입층 중 적어도 하나를 더 포함하는 구조일 수 있다. Although not shown in detail, the
제 2 전극(134)은 유기층(133) 상의 전면에 형성된다. The
이로써, 각 화소영역(PA)의 발광영역(EA)에, 상호 대향하는 제 1 및 제 2 전극(131, 134), 그리고 이들 사이에 개재된 유기층(133)을 포함하는 유기발광소자(ED)가 형성된다.The organic light emitting device ED including the first and
밀봉층(150)은 제 2 전극(134)에 대향하여 형성된다. 이러한 밀봉층(150)은 복수의 유기발광소자(ED)를 외부로부터 격리하여, 복수의 유기발광소자(ED)에 수분 또는 산소가 침투하는 것을 차폐함으로써, 수분 또는 산소에 의한 복수의 유기발광소자(ED)의 열화를 지연시킨다.The
도 2a 및 도 2b에 도시한 바와 같이, 본원의 제 1 실시예에 따르면, 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 중 어느 하나의 신호라인과 동일층에 형성되고, 하나의 신호라인으로부터 절연되는 단일의 보조전극층(121)으로 이루어진다. 2A and 2B, according to the first embodiment of the present invention, the
즉, 보조전극층(121)은 게이트절연막(112) 상에 데이터라인(DL), 소스전극(163) 및 드레인전극(164)과 함께 형성되고, 데이터라인(DL), 소스전극(163) 및 드레인전극(164) 각각으로부터 절연되는 아일랜드 패턴(ISLAND PATTERN)일 수 있다. 이러한 보조전극층(121)은 데이터라인(DL)에 평행한 라인 형태일 수도 있다.That is, the
또는, 별도로 도시하고 있지 않으나, 보조전극층(미도시)은 기판(111) 상에 게이트라인(GL) 및 게이트전극(161)과 함께 형성되고, 게이트라인(GL) 및 게이트전극(161) 각각으로부터 절연되는 아일랜드 패턴일 수 있다. 이 경우, 보조전극층(미도시)은 게이트라인(GL)에 평행한 라인 형태일 수도 있다. 그리고, 보조전극(120)의 일부를 노출시키기 위한 보조콘택홀(CT2)은 오버코트층(113)뿐만 아니라, 게이트절연막(112)을 더 관통하여 형성된다.An auxiliary electrode layer (not shown) is formed on the
이러한 보조전극(120) 중 보조콘택홀(CT2)에 의해 노출된 일부는 유기층(133)을 사이에 두고서 제 2 전극(134)과 대향한다.A portion of the
그리고, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2)에 의해 보조전극층(121)의 일부가 노출되는 영역 내에 형성된다. Then, the
구체적으로, 콘택웰딩(140)은 기판(111) 배면 밖에 위치한 레이저를 이용하여 보조전극(120)의 일부를 제 2 전극(134)으로 확산시킨 것이다. 즉, 기판(111) 배면 밖에 위치한 레이저 장비로부터 방출되고 기판(111)을 투과한 레이저를 보조전극(120)의 일부에 조사한다. 이로 인해, 보조전극(120)의 일부가 용융하고, 유기층(133)을 관통하여, 제 2 전극(134)으로 확산됨으로써, 콘택웰딩(140)이 형성된다. Specifically, the
이상과 같이, 본원의 제 1 실시예에 따르면, 보조콘택홀(CT2)을 통해 유기층(133)을 사이에 두고 상호 적어도 일부 대향하는보조전극(120)과 제 2 전극(134)이 콘택웰딩(140)으로 상호 연결된다. 이에, 제 2 전극(134)의 저항이 낮아질 수 있으면서도, 유기층(133)의 손상을 방지할 수 있으며, 보조전극(120)과 제 2 전극(134)의 연결이 보다 용이하고 간단한 공정으로 실시될 수 있다.As described above, according to the first embodiment of the present invention, the
달리 설명하면, 보조전극(120)과 제 2 전극(134) 사이를 연결하기 위하여, 유기층(133)의 일부를 선택적으로 제거하여 보조전극(120)을 노출하거나, 유기층(133) 형성 시에 보조전극(120)의 일부를 가리는 미세마스크를 이용할 필요가 없다. A part of the
이로써, 유기층(133)의 손상 및 불순물의 발생이 미연에 방지될 수 있으므로, 유기발광표시장치(100a)의 신뢰도 및 수명이 향상될 수 있다. As a result, damage to the
그리고, 유기층(133)의 형성 시, 미세마스크가 아닌 오픈마스크를 이용함에 따라, 공정이 단순해질 수 있고, 공정비용의 증가, 마스크 정렬을 위한 높은 수준의 주의, 공정시간의 증가 등이 방지될 수 있다.When the
또한, 콘택웰딩(140)은 일반적인 콘택홀보다 공정마진이 작으므로, 유기발광표시장치(100a)의 개구율이 향상될 수 있다.In addition, since the process margin of the contact well 140 is smaller than that of a general contact hole, the aperture ratio of the
더불어, 콘택웰딩(140) 형성 시, 기판(111) 배면 밖에 위치한 레이저를 이용함에 따라, 밀봉층(150)을 형성한 후 진공챔버 밖에서도 충분히 가능하다. 그러므로, 레이저 등을 장착할 수 있을 정도의 대형 진공챔버가 불필요하므로, 제조비용이 절감될 수 있다.In addition, when the
한편, 제 1 실시예에 따르면, 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 중 어느 하나의 신호라인과 동일층, 즉 기판(111) 상에 형성되거나, 또는 게이트절연막(112) 중 어느 하나 상에 형성되는 단일의 보조전극층(121)을 포함하여 이루어진다.According to the first embodiment, the
그러나, 제 1 실시예와 달리, 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 중 어느 하나의 신호라인과 동일층이 아닌 다른 층에 형성된 보조전극층을 포함하여 이루어질 수 있다.However, unlike the first embodiment, the
일 예로, 도 3a에 도시한 바와 같이, 제 2 실시예에 따른 보조전극(120)은 제 1 전극(131)과 동일층에 형성되고 제 1 전극(131)으로부터 절연되는 단일의 보조전극층(122)으로 이루어진다.3A, the
그리고, 도 3b에 도시한 바와 같이, 제 2 실시예에 따른 보조전극층(122)은 제 1 전극(131)으로부터 소정 간격 이격된 메쉬형태의 패턴(MESH PATTERN)일 수 있다.3B, the
이와 같이, 제 2 실시예에 유기발광표시장치(100b)는 보조전극(120)이 오버코트층(113) 상에 형성되는 단일의 보조전극층(122)으로 이루어진다는 점을 제외하면, 도 2a 및 도 2b에 도시한 제 1 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.As described above, in the second embodiment, the organic light emitting
한편, 제 1 및 제 2 실시예에 따르면 보조전극(120)은 단일의 보조전극층으로 이루어지는데, 이와 달리, 보조전극(120)은 서로 다른 층에 형성된 두 개의 전극층을 포함하여 이루어질 수도 있다.According to the first and second embodiments, the
도 4a에 도시한 바와 같이, 제 3 실시예에 따른 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 중 어느 하나의 신호라인과 동일층(도 4a에서 데이터라인(DL)과 동일층임)에 형성되는 제 1 보조전극층(121), 및 제 1 전극(131)과 동일층에 형성되는 제 2 보조전극층(122)을 포함한다.4A, the
즉, 보조전극(120)은 기판(111) 및 게이트절연막(112) 중 어느 하나 상에 형성되는 제 1 보조전극층(121)과, 오버코트층(113) 상에 형성되는 제 2 보조전극층(122)을 포함한다.That is, the
여기서, 제 2 보조전극층(122)은 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121) 상에 접하여, 제 1 보조전극층(121)과 연결된다.The second
이 경우, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 내에서 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122)이 상호 오버랩하는 부분을 확산시켜서 형성될 수 있다.In this case, the
그리고, 콘택웰딩(140)은 둘 이상의 화소영역(PA)에 대응한 간격으로 형성될 수 있다.The contact well 140 may be formed at intervals corresponding to the two or more pixel regions PA.
이러한 제 3 실시예에 따른 유기발광표시장치(100c)는 보조전극(120)이 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122)을 포함한다는 점을 제외하면, 도 2a, 도 2b, 도 3a 및 도 3b에 도시한 제 1 및 제 2 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.The organic light emitting
한편, 제 3 실시예에 따르면, 제 2 보조전극층(122)은 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부에 모두 접하도록 형성되나, 본원은 이에 국한되지 않는다.Meanwhile, according to the third embodiment, the second
즉, 도 5a 및 도 5b에 도시한 바와 같이, 제 4 실시예에 따르면, 제 1 보조전극층(121)의 일부는 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된다. 그리고, 제 2 보조전극층(122')은 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부에 전체적으로 접하지 않고, 부분적으로 접하도록 형성된다. 그리고, 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부 중 제 1 보조전극층(122')과 접하지 않는 나머지는 유기층(133)과 접한다.That is, as shown in Figs. 5A and 5B, according to the fourth embodiment, a part of the first
더불어, 제 4 실시예에 따르면, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2)에 의해 제 1 보조전극층(121)의 일부가 노출되는 영역 내에서, 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122')과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수 있다.In addition, according to the fourth embodiment, the
이와 같이, 본원의 제 4 실시예에 따른 유기발광표시장치(100d)는 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122)이 보조콘택홀(CT2) 내에서 전체적으로 접하는 것이 아니라, 부분적으로 접하는 것이고, 콘택웰딩(140)이 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122')과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성된다는 점을 제외하면, 도 4a 및 도 4b에 도시한 제 3 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.As described above, the organic light emitting
또는, 도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이, 제 5 실시예에 따르면, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2)에 의해 제 1 보조전극층(121)의 일부가 노출되는 영역 내에서, 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122') 중 어느 하나와 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수도 있다. 6A and 6B, according to the fifth embodiment, the contact well 140 is formed in a region where a part of the first
즉, 제 2 보조전극층(122')은 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부에 부분적으로 접하도록 형성되므로, 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부 중 제 2 보조전극층(122')과 접하지 않는 나머지는 유기층(133)과 접한다. 이에, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 내에서 제 1 보조전극층(121)과 제 2 전극(134)이 유기층(133)을 사이에 두고 상호 대향하는 영역에, 형성될 수도 있다.That is, since the second auxiliary electrode layer 122 'is formed to partially contact the part of the first
이와 같이, 본원의 제 5 실시예에 따른 유기발광표시장치(100e)는 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122') 중 어느 하나와 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성된다는 점을 제외하면, 도 5a 및 도 5b에 도시한 제 4 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.As described above, the organic light emitting
한편, 제 3, 제 4 및 제 5 실시예와 달리, 보조전극(120)은 서로 다른 층에 형성된 세 개의 전극층을 포함하여 이루어질 수도 있다.On the other hand, unlike the third, fourth, and fifth embodiments, the
도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이, 제 6 실시예에 따르면, 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 동일층에 형성되는 제 1 보조전극층(121a), 데이터라인(DL)과 동일층에 형성되는 제 3 보조전극층(121b) 및 제 1 전극(131)과 동일층에 메쉬 형태의 패턴으로 형성되는 제 2 보조전극층(122)을 포함한다.7A and 7B, according to the sixth embodiment, the
이때, 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b)은 게이트절연막(112)을 관통하는 프리콘택홀(CT3)을 통해 상호 연결될 수 있다.The first and third
그리고, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 내에서, 제 1, 제 2 및 제 3 보조전극층(121a, 121b 122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수 있다.The
이상과 같이, 보조전극(120)이 다중층으로 형성되면, 그만큼 제 2 전극(134)의 저항을 더 많이 낮출 수 있다.As described above, if the
이와 같이, 제 6 실시예에 따른 유기발광표시장치(100f)는 보조전극(120)이 서로 다른 층에 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 전극층으로 이루어진다는 점을 제외하면, 도 4a 및 도 4b에 도시한 제 3 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.4A and 4B, except that the
한편, 제 1 내지 제 6 실시예와 달리, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2)에 대응하지 않는 영역에 형성될 수도 있다.On the other hand, unlike the first to sixth embodiments, the
즉, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이, 제 7 실시예에 따르면, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 주변에서, 제 2 보조전극층(122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수 있다.8A and 8B, according to the seventh embodiment, the
이와 같이 하면, 콘택웰딩(140)이 형성될 영역이 보조콘택홀(CT2) 이내로 한정되지 않으므로, 공정오차를 줄일 수 있다.In this case, since the region where the
이러한 제 7 실시예에 따른 유기발광표시장치(100g)는 콘택웰딩(140)이 보조콘택홀(CT2) 주변 중 제 2 보조전극층(122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성된다는 점을 제외하면, 도 7a 및 도 7b에 도시한 제 6 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.The organic light emitting
한편, 제 7 실시예와 달리, 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b)을 상호 연결하기 위한 프리콘택홀(CT3)이 생략될 수도 있다.Unlike the seventh embodiment, the free contact holes CT3 for interconnecting the first and third
즉, 도 9a 및 도 9b에 도시한 바와 같이, 제 8 실시예에 따른 유기발광표시장치(100h)는 제 1 보조전극층(121a)과 제 3 보조전극층(121b) 각각의 일부를 노출하는 제 1 및 제 2 보조콘택홀(CT2', CT2)을 포함할 수 있다. 이때, 제 1 및 제 2 보조콘택홀(CT2', CT2)을 통해, 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b) 각각과 제 2 보조전극층(122)이 상호 연결된다. 9A and 9B, the organic light emitting
그리고, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 주변에서, 제 2 보조전극층(122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수 있다.The
이와 같이 하면, 프리콘택홀(도 8a의 CT3)을 형성하기 위한 마스크공정을 생략할 수 있어, 제조비용 및 제조시간이 절감될 수 있다. In this case, the mask process for forming the free contact hole (CT3 in FIG. 8A) can be omitted, and manufacturing cost and manufacturing time can be reduced.
이러한 제 8 실시예에 따른 유기발광표시장치(100h)는 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b)을 상호 연결시키기 위한 프리콘택홀(CT3)을 포함하지 않고 그 대신 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b) 각각과 제 2 보조전극층(122)이 상호 연결시키기 위한 제 1 및 제 2 보조콘택홀(CT2', CT2)을 포함한다는 점을 제외하면, 제 7 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.The
다음, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i를 참조하여, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법에 대해 설명한다. 참고로, 이하에서는 도 4 및 도 5에 도시한 제 3 실시예에 따른 유기발광표시장치(100c)를 일 예로 들어, 유기발광표시장치의 제조방법에 대해 설명한다.Next, a method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 and 11A to 11I. FIG. Hereinafter, a method of manufacturing an OLED display will be described with reference to the organic
도 10에 도시한 바와 같이, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 기판 상에 게이트라인을 형성하고, 기판 상의 전면에 게이트절연막을 형성하며, 게이트절연막 상에 데이터라인을 형성하고, 비발광영역 중 일부에 제 1 보조전극층을 포함하는 보조전극을 형성하는 단계(S110), 게이트절연막 상의 전면에 데이터라인과 제 1 보조전극층을 덮는 오버코트층을 형성하는 단계(S120), 적어도 오버콘택층을 관통하여 제 1 보조전극층의 적어도 일부를 노출하는 보조콘택홀을 형성하는 단계(S130), 오버코트층 상의 발광영역에 제 1 전극을 형성하고, 오버코트층 상의 비발광영역 중 일부에 제 2 보조전극층을 형성하는 단계(S140), 오버코트층 상의 발광영역 외곽에 제 1 전극의 테두리에 적어도 일부 오버랩하는 뱅크를 형성하는 단계(S150), 오버코트층 상의 전면에 제 1 전극과 뱅크와 보조전극을 덮는 유기층을 형성하는 단계(S160), 유기층 상의 전면에 제 2 전극을 형성하는 단계(S170), 제 2 전극에 대향하는 밀봉층을 형성하는 단계(S180), 및 보조전극의 적어도 일부를 제 2 전극으로 확산시켜서 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 형성하는 단계(S190)를 포함한다.As shown in FIG. 10, a method of manufacturing an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention includes forming a gate line on a substrate, forming a gate insulating film on the entire surface of the substrate, forming a data line on the gate insulating film (S110) forming an auxiliary electrode including a first auxiliary electrode layer in a part of the non-emission region, forming an overcoat layer covering the data line and the first auxiliary electrode layer on the entire surface of the gate insulating layer (S120) Forming an auxiliary contact hole through the over-contact layer to expose at least a part of the first auxiliary electrode layer (S130); forming a first electrode in a light emitting region on the overcoat layer; Forming an auxiliary electrode layer (S140) on the overcoat layer; forming a bank at least partially overlapping a periphery of the first electrode at a periphery of the light emitting region on the overcoat layer (S150) (S160) forming an organic layer covering the first electrode, the bank and the auxiliary electrode on the entire surface of the layer, forming a second electrode on the entire surface of the organic layer (S170), forming a sealing layer opposed to the second electrode (S180), and diffusing at least a portion of the auxiliary electrode to the second electrode to form a contact weld connecting the auxiliary electrode and the second electrode (S190).
도 11a에 도시한 바와 같이, 기판(111) 상에 복수의 박막트랜지스터(TFT)와, 게이트라인(도 1의 GL)과, 데이터라인(도 1의 DL)과, 제 1 보조전극층(121)과, 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 사이를 절연시키는 게이트절연막(112)을 형성한다. (S110) 여기서, 제 1 보조전극층(121)은 게이트라인(GL) 및 데이터라인(DL) 중 어느 하나와 동일층에 형성된다. 11A, a plurality of thin film transistors (TFT), a gate line (GL in Fig. 1), a data line (DL in Fig. 1), a first
구체적으로, 기판(111) 상의 도전층을 패터닝하여, 게이트라인(GL)과 게이트라인(GL)으로부터 분기되는 게이트전극(161)을 형성한다. 여기서, 제 1 보조전극층(미도시)이 게이트라인(GL)과 동일층인 경우, 제 1 보조전극층(미도시)도 함께 형성한다.Specifically, the conductive layer on the
이어서, 기판(111) 상의 전면에 게이트라인(GL), 게이트전극(161)을 덮는 게이트절연막(112)을 형성한다.Next, a
게이트절연막(112) 상에 게이트전극(161)의 적어도 일부와 오버랩하는 액티브층(162)을 형성한다.An
액티브층(162)이 식각공정에 노출 시 용이하게 반도체 성질을 상실할 수 있는 산화물반도체인 경우, 액티브층(162) 상에 에치스토퍼층(165)을 형성할 수 있다.The
게이트절연막(112) 상의 도전층을 패터닝하여, 게이트라인(GL)과 교차하는 데이터라인(DL), 액티브층(162)의 양측 상에 오버랩하는 소스전극(163)과 드레인전극(164)을 형성한다. 여기서, 제 1 보조전극층(121)이 데이터라인(DL)과 동일층인 경우, 제 1 보조전극층(121)도 함께 형성한다.The conductive layer on the
이로써, 게이트전극(161), 액티브층(162), 소스전극(163) 및 드레인전극(164)을 포함하는 박막트랜지스터(TFT)가 형성된다.As a result, a thin film transistor (TFT) including the
도 11b에 도시한 바와 같이, 게이트절연막(112) 상의 전면에 박막트랜지스터(TFT) 및 제 1 보조전극층(121)을 덮는 오버코트층(113)을 형성한다. (S120)The
도 11c에 도시한 바와 같이, 오버코트층(113)을 패터닝하여, 메인콘택홀(CT1)과 보조콘택홀(CT2)을 형성한다. (S130)The
메인콘택홀(CT1)은 오버코트층(113)을 관통하여, 소스전극(163)과 드레인전극(164) 중 데이터라인(DL)과 연결되지 않은 어느 하나의 일부를 노출한다. The main contact hole CT1 penetrates the
보조콘택홀(CT2)은 적어도 오버코트층(113)을 관통하여 제 1 보조전극층(121)의 일부를 노출한다. 여기서, 제 1 보조전극층(121)이 게이트라인(GL)과 동일층, 즉 기판(111) 상에 형성되는 경우, 보조콘택홀(CT2)은 게이트절연막(112)을 더 관통하여 형성된다.The auxiliary contact hole CT2 exposes at least a part of the first
도 11d에 도시한 바와 같이, 오버코트층(113) 상의 도전층을 패터닝하여, 제 1 전극(131)을 형성한다. (S140)The
제 1 전극(131)은 각 화소영역(PA)의 발광영역(EA)에 형성되고, 메인콘택홀(CT1)을 통해 박막트랜지스터(TFT)와 연결된다.The
그리고, 보조전극(120)이 제 1 전극(131)과 동일층에 형성되는 제 2 보조전극층(122)을 더 포함하는 경우, 제 1 전극(131)을 형성하는 단계(S140)에서 제 2 보조전극층(122)을 더 형성한다.In the case where the
제 2 보조전극층(122)은 비발광영역(NEA)에 형성되고, 보조콘택홀(CT2)을 통해 제 1 보조전극층(121)의 적어도 일부 상에 오버랩한다.The second
이로써, 보조콘택홀(CT2)을 통해 상호 연결되는 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122)을 포함하는 보조전극(120)이 형성된다.Thereby, the
도 11e에 도시한 바와 같이, 오버코트층(113) 상의 발광영역(EA) 외곽에 제 1 전극(131)의 테두리 상에 오버랩하는 뱅크(132)를 형성한다. (S150) 여기서, 뱅크(132)는 제 2 보조전극층(122)의 테두리 상에 더 오버랩할 수 있다.A
도 11f에 도시한 바와 같이, 오버코트층(113) 상의 전면에 유기층(133)을 형성한다. (S160) The
이때, 유기층(133)은 제 1 전극(131), 뱅크(132) 및 보조전극(120) 각각을 덮는다.At this time, the
더불어, 유기층(133)을 형성하는 단계(S160)는 진공챔버 내에서 실시된다.In addition, the step of forming the organic layer 133 (S160) is carried out in the vacuum chamber.
도 11g에 도시한 바와 같이, 유기층(133) 상의 전면에 제 2 전극(134)을 형성한다. (S170)The
도 11h에 도시한 바와 같이, 제 2 전극(134)에 대향하는 밀봉층(150)을 형성한다. (S180)The
이와 같이 밀봉층(150)을 형성한 후, 제조물을 진공챔버 밖으로 이송한다.After the
이어서, 도 11i에 도시한 바와 같이, 기판(111) 배면에 출광되어 기판(111)을 투과한 레이저(LASER)를 보조전극(120)에 조사하여, 보조전극(120)을 제 2 전극(134)으로 확산시켜서, 콘택웰딩(140)을 형성한다. (S190)Then, as shown in FIG. 11I, a laser LASER, which is emitted on the back surface of the
이때, 콘택웰딩(140)에 의해, 보조전극(120)과 제 2 전극(134)이 상호 연결된다.At this time, the
이상과 같이, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 밀봉층(150)을 형성한 후에(S180), 진공챔버 밖에서, 보조전극(120)과 제 2 전극(134) 사이를 연결하는 콘택웰딩(140)을 형성한다. (S190) 이로써, 유기층(133)의 손상을 방지하면서도, 공정이 더욱 용이해질 수 있다.As described above, in the method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, after the
한편, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i는 본원의 제 3 실시예에 따른 유기발광표시장치(100c)를 제조하는 방법을 예시로 들어 설명하고 있으나, 본원은 이에 국한되지 않는다.10 and 11A to 11I illustrate a method of manufacturing the
구체적으로, 본원의 제 1 실시예에 따른 유기발광표시장치(100a)의 제조방법은 제 1 전극을 형성하는 단계(S140)에서 보조전극층을 형성하지 않는다는 점을 제외하면, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i에 도시한 제 3 실시예와 동일하다.Specifically, the method of manufacturing the organic
본원의 제 2 실시예에 따른 유기발광표시장치(100b)의 제조방법은 게이트라인, 게이트절연막 및 데이터라인을 형성하는 단계(S110)에서 보조전극층을 형성하지 않는다는 점을 제외하면, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i에 도시한 제 3 실시예와 동일하다.The manufacturing method of the
본원의 제 4 실시예에 따른 유기발광표시장치(100d)의 제조방법은 제 1 전극을 형성하는 단계(S140)에서 제 2 보조전극층(122')이 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부에 부분적으로 접하도록 형성되고, 콘택웰딩(140)을 형성하는 단계(S190)에서 콘택웰딩(140)이 보조콘택홀(CT2) 내에서 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122')과 제 2 전극(134)가 상호 오버랩하는 영역에 형성된다는 점을 제외하면, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i에 도시한 제 3 실시예와 동일하다.In the method of manufacturing the organic
본원의 제 5 실시예에 따른 유기발광표시장치(100e)의 제조방법은 콘택웰딩(140)을 형성하는 단계(S190)에서 콘택웰딩(140)이 보조콘택홀(CT2) 내에서 제 2 보조전극층(122')과 제 2 전극(134)만이 상호 오버랩하는 영역에 형성된다는 점을 제외하면, 제 4 실시예와 동일하다.The manufacturing method of the
본원의 제 6 실시예에 따른 유기발광표시장치(100f)의 제조방법은 게이트라인, 게이트절연막 및 데이터라인을 형성하는 단계(S110)에서 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b)을 형성하고, 게이트절연막을 형성한 후에 제 1 보조전극층(121a)의 일부를 노출하는 프리콘택홀(CT3)을 형성한다는 점을 제외하면, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i에 도시한 제 3 실시예와 동일하다.In the method of manufacturing the organic light emitting
본원의 제 7 실시예에 따른 유기발광표시장치(100g)의 제조방법은 콘택웰딩(140)을 형성하는 단계(S190)에서 콘택웰딩(140)이 보조콘택홀(CT2)의 주변에서 제 2 보조전극층(122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 점을 제외하면, 제 6 실시예와 동일하다.The manufacturing method of the
그리고, 본원의 제 8 실시예에 따른 유기발광표시장치(100h)의 제조방법은 보조콘택홀을 형성하는 단계(S130)에서, 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b) 각각의 일부를 노출하는 제 1 및 제 2 보조콘택홀(CT2', CT2)을 형성한다는 점을 제외하면, 제 7 실시예와 동일하다.In the method of manufacturing the organic light emitting
이에, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Therefore, redundant description will be omitted.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.
100, 100a~100h: 유기발광표시장치
GL: 게이트라인 DL: 데이터라인
TFT: 박막트랜지스터 ED: 유기발광소자
PA: 화소영역 EA: 발광영역
NEA: 비발광영역
111: 기판 112: 게이트절연막
113: 오버코트층 120: 보조전극
121, 121a: 제 1 보조전극층층
121b: 제 3 보조전극층
122, 122': 제 2 보조전극
CT1: 메인콘택홀 CT2: 보조콘택홀
131: 제 1 전극 132: 뱅크
133: 유기층 134: 제 2 전극
140: 콘택웰딩 150: 밀봉층100, 100a to 100h: organic light emitting display
GL: gate line DL: data line
TFT: thin film transistor ED: organic light emitting element
PA: pixel area EA: light emitting area
NEA: non-emission area
111: substrate 112: gate insulating film
113: overcoat layer 120: auxiliary electrode
121, 121a: first auxiliary electrode layer
121b: third auxiliary electrode layer
122, 122 ': a second auxiliary electrode
CT1: main contact hole CT2: auxiliary contact hole
131: first electrode 132: bank
133: organic layer 134: second electrode
140: contact welding 150: sealing layer
Claims (16)
상기 적어도 하나의 화소영역의 비발광영역 중 일부에 형성되는 보조전극;
상기 각 화소영역의 상기 발광영역에 형성되는 제 1 전극;
상기 표시영역의 전면에 형성되고, 상기 제 1 전극 및 상기 보조전극을 덮는 유기층;
상기 유기층 상의 전면에 형성되는 제 2 전극; 및
상기 보조전극의 적어도 일부가 상기 유기층을 관통하여 상기 제 2 전극으로 확산되어 형성되고, 상기 보조전극과 상기 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 포함하는 유기발광표시장치.In an organic light emitting display in which a plurality of pixel regions each including a light emitting region and a non-light emitting region are defined in a display region,
An auxiliary electrode formed in a part of the non-emission region of the at least one pixel region;
A first electrode formed in the light emitting region of each pixel region;
An organic layer formed on a front surface of the display region and covering the first electrode and the auxiliary electrode;
A second electrode formed on a front surface of the organic layer; And
Wherein at least a portion of the auxiliary electrode is formed by diffusing into the second electrode through the organic layer and connecting the auxiliary electrode and the second electrode.
기판;
상기 기판 상에 형성되는 게이트라인;
상기 기판 상의 전면에 형성되고, 상기 게이트라인을 덮는 게이트절연막; 및
상기 게이트절연막 상에 형성되고, 복수의 화소영역이 정의되도록 상기 게이트라인에 교차하는 데이터라인을 더 포함하고,
상기 보조전극은
상기 게이트라인과 상기 데이터라인 중 어느 하나의 신호라인과 동일층에, 상기 하나의 신호라인으로부터 절연되도록 아일랜드 패턴으로 형성된 제 1 보조전극층을 포함하는 것인 유기발광표시장치.The method according to claim 1,
Board;
A gate line formed on the substrate;
A gate insulating film formed on the front surface of the substrate and covering the gate line; And
Further comprising a data line formed on the gate insulating film and intersecting the gate line so that a plurality of pixel regions are defined,
The auxiliary electrode
And a first auxiliary electrode layer formed in an island pattern so as to be isolated from the one signal line in the same layer as any one of the gate line and the data line.
상기 표시영역의 전면에 형성되고, 상기 게이트라인과 상기 데이터라인과 상기 제 1 보조전극층을 덮는 오버코트층; 및
적어도 상기 오버코트층을 관통하는 보조콘택홀을 더 포함하고,
상기 제 1 전극은 상기 오버코트층 상에 형성되는 유기발광표시장치.3. The method of claim 2,
An overcoat layer formed on the entire surface of the display region and covering the gate line, the data line, and the first auxiliary electrode layer; And
Further comprising an auxiliary contact hole passing through at least the overcoat layer,
Wherein the first electrode is formed on the overcoat layer.
상기 보조전극은
상기 제 1 전극과 동일층에, 상기 제 1 전극으로부터 절연되도록 형성되고, 상기 보조콘택홀을 통해 상기 제 1 보조전극층의 적어도 일부 상에 접하는 제 2 보조전극층을 더 포함하는 유기발광표시장치.The method of claim 3,
The auxiliary electrode
And a second auxiliary electrode layer formed on the same layer as the first electrode so as to be insulated from the first electrode and in contact with at least a portion of the first auxiliary electrode layer through the auxiliary contact hole.
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀에 의해 상기 제 1 보조전극층의 일부가 노출되는 영역 내에서, 제 1 및 제 2 보조전극층과 상기 제 2 전극이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 유기발광표시장치.5. The method of claim 4,
Wherein the contact welding is formed in a region where the first and second auxiliary electrode layers and the second electrode overlap with each other within a region where a part of the first auxiliary electrode layer is exposed by the auxiliary contact hole.
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀에 의해 상기 제 1 보조전극층의 일부가 노출되는 영역 내에서, 제 1 및 제 2 보조전극층 중 상기 제 1 보조전극층을 제외한 상기 제 2 보조전극층과 상기 제 2 전극이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 유기발광표시장치.5. The method of claim 4,
The contact welding may be performed in a region where a part of the first auxiliary electrode layer is exposed by the auxiliary contact hole, the second auxiliary electrode layer excluding the first auxiliary electrode layer and the second electrode among the first and second auxiliary electrode layers, Wherein the organic light emitting display is formed in a region where mutually overlapping.
상기 제 1 보조전극층은 상기 게이트라인과 동일층에, 상기 게이트라인과 평행한 라인 패턴으로 형성되고,
상기 보조전극은
상기 데이터라인과 동일층에 형성되고, 상기 게이트절연막을 관통하는 프리콘택홀을 통해 상기 제 1 보조전극층과 연결되는 제 3 보조전극층을 더 포함하며,
상기 제 2 보조전극층은 상기 보조콘택홀을 통해 상기 제 3 보조전극층의 적어도 일부 상에 접하는 유기발광표시장치.5. The method of claim 4,
The first auxiliary electrode layer is formed in the same layer as the gate line and in a line pattern parallel to the gate line,
The auxiliary electrode
And a third auxiliary electrode layer formed on the same layer as the data line and connected to the first auxiliary electrode layer through a free contact hole passing through the gate insulating layer,
And the second auxiliary electrode layer is in contact with at least a part of the third auxiliary electrode layer through the auxiliary contact hole.
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀에 의해 상기 제 3 보조전극층의 일부가 노출되는 영역 내에서, 상기 제 1, 제 2 및 제 3 보조전극층과 상기 제 2 전극이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 유기발광표시장치.8. The method of claim 7,
The contact welding may be performed in a region where a portion of the third auxiliary electrode layer is exposed by the auxiliary contact hole, and the organic electroluminescent layer is formed in a region where the first, second and third auxiliary electrode layers and the second electrode overlap each other. Display device.
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀 주변에서, 상기 제 2 보조전극층과 상기 제 2 전극이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 유기발광표시장치.8. The method of claim 7,
Wherein the contact welding is formed in a region where the second auxiliary electrode layer and the second electrode overlap each other around the auxiliary contact hole.
상기 제 1 보조전극층은 상기 게이트라인과 동일층에, 상기 게이트라인과 평행한 라인 패턴으로 형성되고,
상기 보조전극은
상기 데이터라인과 동일층에, 상기 데이터라인과 평행한 라인 패턴으로 형성되는 제 3 보조전극층을 더 포함하며,
상기 제 2 보조전극층은 상기 게이트절연막과 상기 오버코트층을 관통하는 제 1 보조콘택홀을 통해 상기 제 1 보조전극층의 적어도 일부 상에 접하고, 상기 오버코트층을 관통하는 제 2 보조콘택홀을 통해 상기 제 3 보조전극층의 적어도 일부 상에 접하며,
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀 주변에서, 상기 제 2 보조전극층과 상기 제 2 전극이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 유기발광표시장치.5. The method of claim 4,
The first auxiliary electrode layer is formed in the same layer as the gate line and in a line pattern parallel to the gate line,
The auxiliary electrode
And a third auxiliary electrode layer formed in the same layer as the data line and in a line pattern parallel to the data line,
Wherein the second auxiliary electrode layer contacts at least a portion of the first auxiliary electrode layer through the first auxiliary contact hole passing through the gate insulating layer and the overcoat layer and through the second auxiliary contact hole passing through the overcoat layer, 3 auxiliary electrode layer,
Wherein the contact welding is formed in a region where the second auxiliary electrode layer and the second electrode overlap each other around the auxiliary contact hole.
상기 보조전극은 상기 제 1 전극과 동일층에 형성되고, 상기 제 1 전극으로부터 절연되도록 형성되는 제 1 보조전극층을 포함하는 유기발광표시장치.The method according to claim 1,
Wherein the auxiliary electrode includes a first auxiliary electrode layer formed on the same layer as the first electrode and formed to be insulated from the first electrode.
기판 상에 게이트라인을 형성하고, 기판 상의 전면에 게이트절연막을 형성하며, 게이트절연막 상에 데이터라인을 형성하고, 상기 비발광영역 중 일부에 제 1 보조전극층을 포함하는 보조전극을 형성하는 단계;
상기 게이트절연막 상의 전면에 상기 데이터라인과 상기 제 1 보조전극층을 덮는 오버코트층을 형성하는 단계;
적어도 상기 오버코트층을 관통하여, 상기 제 1 보조전극층의 적어도 일부를 노출하는 보조콘택홀을 형성하는 단계;
상기 오버코트층 상의 상기 발광영역에 제 1 전극을 형성하는 단계;
상기 오버코트층 상에 상기 제 1 전극의 테두리에 적어도 일부 오버랩하는 뱅크를 형성하는 단계;
상기 오버코트층 상의 전면에, 상기 제 1 전극과 상기 뱅크와 상기 보조전극을 덮는 유기층을 형성하는 단계;
상기 유기층 상의 전면에 제 2 전극을 형성하는 단계;
상기 제 2 전극에 대향하는 밀봉층을 형성하는 단계; 및
상기 보조전극의 적어도 일부를 상기 제 2 전극으로 확산시켜, 상기 보조전극과 상기 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광표시장치의 제조방법.A method for manufacturing an organic light emitting display in which a plurality of pixel regions each including a light emitting region and a non-light emitting region are defined in a display region,
Forming a gate line on the substrate, forming a gate insulating film on the entire surface of the substrate, forming a data line on the gate insulating film, and forming an auxiliary electrode including a first auxiliary electrode layer in a part of the non-emitting region;
Forming an overcoat layer covering the data line and the first auxiliary electrode layer on the entire surface of the gate insulating layer;
Forming an auxiliary contact hole through at least the overcoat layer to expose at least a part of the first auxiliary electrode layer;
Forming a first electrode in the light emitting region on the overcoat layer;
Forming a bank on the overcoat layer at least partially overlapping the rim of the first electrode;
Forming an organic layer covering the first electrode, the bank, and the auxiliary electrode on the entire surface of the overcoat layer;
Forming a second electrode on the entire surface of the organic layer;
Forming a sealing layer opposite to the second electrode; And
And diffusing at least a portion of the auxiliary electrode to the second electrode to form a contact weld connecting the auxiliary electrode and the second electrode.
상기 게이트라인과 상기 데이터라인과 상기 게이트절연막과 상기 제 1 보조전극층을 형성하는 단계에서,
상기 제 1 보조전극은 상기 게이트라인과 데이터라인 중 어느 하나의 신호라인과 동일층에, 상기 하나의 신호라인으로부터 절연되도록 아일랜드 패턴으로 형성되는 유기발광표시장치의 제조방법.13. The method of claim 12,
In the step of forming the gate line, the data line, the gate insulating film, and the first auxiliary electrode layer,
Wherein the first auxiliary electrode is formed in an island pattern so as to be isolated from the one signal line on the same layer as any one of the gate line and the data line.
상기 제 1 전극을 형성하는 단계에서, 상기 오버코트층 상에 상기 제 1 전극으로부터 절연되고, 상기 보조콘택홀을 통해 상기 제 1 보조전극층의 적어도 일부 상에 오버랩하는 제 2 보조전극층을 더 형성하는 유기발광표시장치의 제조방법.14. The method of claim 13,
Forming a second auxiliary electrode layer on the overcoat layer, the auxiliary electrode layer being insulated from the first electrode and overlapping at least a part of the first auxiliary electrode layer through the auxiliary contact hole, A method of manufacturing a light emitting display device.
상기 콘택웰딩을 형성하는 단계에서, 상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀에 의해 상기 제 1 보조전극층의 일부가 노출되는 영역에 형성되는 유기발광표시장치의 제조방법.15. The method of claim 14,
Wherein the contact welding is performed in a region where a part of the first auxiliary electrode layer is exposed by the auxiliary contact hole.
상기 콘택웰딩을 형성하는 단계에서, 상기 기판을 투과한 레이저를 상기 보조전극에 조사하여, 상기 콘택웰딩을 형성하는 유기발광표시장치의 제조방법.13. The method of claim 12,
Wherein the step of forming the contact welding comprises irradiating the auxiliary electrode with a laser transmitted through the substrate to form the contact welding.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20130076030 | 2013-06-28 | ||
KR1020130076030 | 2013-06-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20150002422A true KR20150002422A (en) | 2015-01-07 |
KR102113616B1 KR102113616B1 (en) | 2020-06-05 |
Family
ID=52475845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020130144602A KR102113616B1 (en) | 2013-06-28 | 2013-11-26 | Organic light emitting display device and manufacturing method of the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102113616B1 (en) |
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