KR102113616B1 - Organic light emitting display device and manufacturing method of the same - Google Patents

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Abstract

본원의 일 실시예는 신뢰도를 향상시킬 수 있는 유기발광표시장치에 관한 것으로, 표시영역에서, 발광영역과 비발광영역을 각각 포함하는 복수의 화소영역이 정의되는 유기발광표시장치는 기판 상에서 게이트 절연막을 사이에 두고 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인; 기판 상에서 화소영역에 배치되는 박막트랜지스터; 기판 상에서 박막트랜지스터를 덮는 오버코트층; 기판 상에서 비발광영역에 배치되는 보조전극; 오버코트층 상의 발광영역에 배치되는 제 1 전극; 제 1 전극 및 보조전극 상에 배치되는 유기층; 유기층 상에 배치되는 제 2 전극; 및 유기층을 관통하여 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 포함하고; 보조 전극은 오버코트층의 아래에 배치되는 제 1 보조전극층과, 오버코트층 상에 배치되고 오버코트층을 관통하는 보조콘택홀을 통해 제 1 보조전극층과 연결되는 제 2 보조전극층을 포함하고, 제 2 보조전극층은 게이트 라인 및 데이터 라인과 오버랩하는 매트릭스 구조를 갖고 게이트 라인보다 넓으며 데이터 라인보다 넓은 폭을 갖는다.An exemplary embodiment of the present application relates to an organic light emitting display device capable of improving reliability, wherein an organic light emitting display device in which a plurality of pixel areas each including a light emitting area and a non-light emitting area are defined in a display area is a gate insulating film on a substrate. A crossing gate line and a data line; A thin film transistor disposed in the pixel area on the substrate; An overcoat layer covering the thin film transistor on the substrate; An auxiliary electrode disposed on a non-emission region on the substrate; A first electrode disposed in the light emitting region on the overcoat layer; An organic layer disposed on the first electrode and the auxiliary electrode; A second electrode disposed on the organic layer; And a contact welding penetrating through the organic layer to connect between the auxiliary electrode and the second electrode; The auxiliary electrode includes a first auxiliary electrode layer disposed under the overcoat layer, and a second auxiliary electrode layer disposed on the overcoat layer and connected to the first auxiliary electrode layer through an auxiliary contact hole passing through the overcoat layer, and the second auxiliary electrode. The electrode layer has a matrix structure overlapping the gate line and the data line, and is wider than the gate line and wider than the data line.

Description

유기발광표시장치 및 그의 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}Organic light emitting display device and its manufacturing method {ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}

본원은 신뢰도를 향상시킬 수 있는 유기발광표시장치 및 그를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device capable of improving reliability and a method for manufacturing the same.

본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라, 전기적 정보신호를 시각적으로 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전하고 있다. 이에, 여러 가지 다양한 평판표시장치(Flat Display Device)에 대해 박형화, 경량화 및 저소비전력화 등의 성능을 개발시키기 위한 연구가 계속되고 있다.With the advent of the full-fledged information age, the display field for visually displaying electrical information signals is rapidly developing. Accordingly, research is being conducted to develop performance of thinning, lightening, and low power consumption for various flat display devices.

이 같은 평판표시장치의 대표적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro Luminescence Display device: ELD), 전기습윤표시장치(Electro-Wetting Display device: EWD) 및 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Display device: OLED) 등을 들 수 있다. Typical examples of such a flat panel display device are a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel device (PDP), a field emission display device (FED), and an electroluminescent display device. (Electro Luminescence Display device: ELD), Electro-Wetting Display device (EWD), and Organic Light Emitting Display device (OLED).

이와 같은 평판표시장치들은 공통적으로, 영상을 구현하기 위한 평판표시패널을 필수적으로 포함한다. 여기서, 평판표시패널은 고유의 발광물질 또는 편광물질을 사이에 둔 한 쌍의 기판이 대면 합착된 구조이고, 표시영역과 그의 외곽인 비표시영역이 정의되는 표시면을 포함한다. 그리고, 표시영역은 복수의 화소영역으로 정의된다.These flat panel display devices commonly include a flat panel display panel for realizing an image. Here, the flat panel display panel is a structure in which a pair of substrates having a unique luminescent material or a polarizing material interposed therebetween, and includes a display surface in which a display area and a non-display area outside thereof are defined. Further, the display area is defined as a plurality of pixel areas.

이 중 유기발광표시장치(OLED)는 자체 발광형 소자인 유기발광소자를 이용하여, 화상을 표시한다. 즉, 유기발광표시장치는 복수의 화소영역에 대응하는 복수의 유기발광소자를 포함한다.Among them, an organic light emitting display device (OLED) displays an image using an organic light emitting device, which is a self-emission type device. That is, the organic light emitting display device includes a plurality of organic light emitting elements corresponding to a plurality of pixel areas.

유기발광소자는 상호 대향하는 제 1 및 제 2 전극, 및 제 1 및 제 2 전극 사이의 유기물질로 형성되고 제 1 및 제 2 전극 사이의 구동전류에 기초하여 루미네선스(Electro Luminescence)를 발생시키는 유기층을 포함한다.The organic light emitting device is formed of organic materials between the first and second electrodes that face each other, and the first and second electrodes, and generates electroluminescence based on driving current between the first and second electrodes. It contains an organic layer.

제 1 및 제 2 전극 중 어느 하나(이하, "제 1 전극"이라 가정함)는 각 화소영역에 대응하도록 형성되고, 다른 하나(이하, "제 2 전극"이라 가정함)는 복수의 화소영역에 공통으로 대응하도록 형성된다. One of the first and second electrodes (hereinafter referred to as "first electrode") is formed to correspond to each pixel region, and the other (hereinafter, referred to as "second electrode") is a plurality of pixel regions It is formed to correspond in common.

이와 같이, 제 2 전극은 각 화소영역에 대응하도록 형성되는 제 1 전극과 달리, 복수의 화소영역 전체에 대응하도록 형성됨에 따라, 제 1 전극에 비해 높은 저항을 갖는다. 특히, 유기발광표시장치가 제 2 전극을 투과하는 경로로 광을 방출하는 형태인 경우, 각 화소영역의 광 방출 효율, 즉 휘도를 높이기 위하여, 제 2 전극은 되도록 얇은 두께의 투명도전성재료로 형성될 수 있고, 그로 인해, 더 높은 저항을 가질 수 있다.As described above, unlike the first electrode formed to correspond to each pixel region, the second electrode has a higher resistance than the first electrode as it is formed to correspond to the entire plurality of pixel regions. In particular, when the organic light emitting display device emits light through a path through the second electrode, in order to increase light emission efficiency of each pixel region, that is, brightness, the second electrode is formed of a transparent conductive material as thin as possible. Can be, and thereby, can have a higher resistance.

그런데, 제 2 전극의 저항이 높을수록, 더 큰 폭의 전압강하(voltage drop: IR drop)가 발생되므로, 전원과의 거리에 따라 각 화소영역의 휘도가 달라질 수 있다. 즉, 제 2 전극의 높은 저항으로 인해, 각 화소영역의 휘도에 대한 균일도가 저하되는 문제점이 있다. 또한, 제 2 전극의 높은 저항으로 인한 전압 강하에도 불구하고, 임계 이상의 휘도를 확보하기 위해, 유기발광표시장치의 소비전력이 상승하는 문제점이 있다. However, the higher the resistance of the second electrode, the larger the voltage drop (IR drop) occurs, so the luminance of each pixel area may vary depending on the distance from the power source. That is, due to the high resistance of the second electrode, there is a problem in that the uniformity of the luminance of each pixel region is lowered. In addition, despite the voltage drop due to the high resistance of the second electrode, there is a problem in that the power consumption of the organic light emitting display device increases in order to secure luminance above a threshold.

특히, 유기발광표시장치가 대면적일수록, 제 2 전극의 높은 저항으로 인한 휘도 균일도의 저하 및 소비전력의 상승이 더욱 심화됨에 따라, 유기발광표시장치의 대면적화에 한계가 있는 문제점이 있다.Particularly, as the organic light emitting display device has a larger area, a decrease in luminance uniformity due to a high resistance of the second electrode and an increase in power consumption become more severe, and thus there is a problem that there is a limit to the large area of the organic light emitting display device.

이러한 문제점을 해소하기 위해서는 제 2 전극의 저항을 낮출 필요가 있으며, 이를 위해, 일반적인 유기발광표시장치는 제 2 전극보다 낮은 저항을 갖는 재료로 형성되는 별도의 보조전극을 더 포함할 수 있다. In order to solve this problem, it is necessary to lower the resistance of the second electrode. To this end, the general organic light emitting display device may further include a separate auxiliary electrode formed of a material having a lower resistance than the second electrode.

이때, 보조전극은 유기층을 사이에 두고 제 2 전극과 대향하도록 형성됨에 따라, 제 2 전극과 연결되기 위해, 보조전극의 적어도 일부는 유기층이 형성되지 않고 노출되어야 한다. At this time, as the auxiliary electrode is formed to face the second electrode with the organic layer interposed therebetween, in order to be connected to the second electrode, at least a portion of the auxiliary electrode must be exposed without forming the organic layer.

일 예로, 보조전극의 적어도 일부를 노출시키기 위해, 유기층을 선택적으로 식각할 수 있는데, 이와 같이 하면, 유기층이 전반적으로 손상될 뿐만 아니라, 식각된 유기물질이 불순물로 남아있을 수 있어, 유기발광표시장치의 신뢰도가 저하되는 문제점이 있다.For example, in order to expose at least a portion of the auxiliary electrode, the organic layer may be selectively etched. In this way, not only the organic layer may be damaged overall, but the etched organic material may remain as an impurity, indicating organic emission. There is a problem that the reliability of the device is lowered.

다른 예로, 미세마스크를 이용하여, 보조전극의 적어도 일부를 가린 상태로 유기층을 형성할 수 있는데, 이와 같이 하면, 유기층 형성 공정 내내 미세마스크만을 이용해야 하므로, 높은 비용이 소모되고, 공정 시 높은 주의를 요하는 문제점이 있다.As another example, by using a micromask, an organic layer may be formed in a state where at least a part of the auxiliary electrode is covered. In this case, since only the micromask must be used throughout the organic layer formation process, high cost is consumed and high caution is used during the process. There is a problem that requires.

본원은 유기층을 선택적으로 식각하거나 유기층 형성 시 미세마스크를 사용하지 않고서도, 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결시킬 수 있어, 제조공정이 더욱 용이해질 수 있고, 신뢰도가 향상될 수 있는 유기발광표시장치 및 제조방법을 제공하기 위한 것이다.The present application can be connected between the auxiliary electrode and the second electrode without selectively etching the organic layer or using a micromask when forming the organic layer, so that the manufacturing process can be more easily performed and the organic light emitting display can be improved in reliability. It is to provide an apparatus and a manufacturing method.

이와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본원은 기판; 기판 상에서 게이트 절연막을 사이에 두고 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인; 기판 상에서 화소영역에 배치되는 박막트랜지스터; 기판 상에서 박막트랜지스터를 덮는 오버코트층; 기판 상에서 비발광영역에 배치되는 보조전극; 오버코트층 상의 발광영역에 배치되는 제 1 전극; 제 1 전극 및 보조전극 상에 배치되는 유기층; 유기층 상에 배치되는 제 2 전극; 및 유기층을 관통하여 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 포함하고; 보조 전극은 오버코트층의 아래에 배치되는 제 1 보조전극층과, 오버코트층 상에 배치되고 오버코트층을 관통하는 보조콘택홀을 통해 제 1 보조전극층과 연결되는 제 2 보조전극층을 포함하고, 제 2 보조전극층은 게이트 라인 및 데이터 라인과 오버랩하는 매트릭스 구조를 갖고 게이트 라인보다 넓으며 데이터 라인보다 넓은 폭을 갖는 유기발광표시장치를 제공한다.In order to solve this problem, the present application is a substrate; A gate line and a data line intersecting the gate insulating film on the substrate; A thin film transistor disposed in the pixel area on the substrate; An overcoat layer covering the thin film transistor on the substrate; An auxiliary electrode disposed on a non-emission region on the substrate; A first electrode disposed in the light emitting region on the overcoat layer; An organic layer disposed on the first electrode and the auxiliary electrode; A second electrode disposed on the organic layer; And a contact welding penetrating through the organic layer to connect between the auxiliary electrode and the second electrode; The auxiliary electrode includes a first auxiliary electrode layer disposed under the overcoat layer, and a second auxiliary electrode layer disposed on the overcoat layer and connected to the first auxiliary electrode layer through an auxiliary contact hole passing through the overcoat layer, and the second auxiliary electrode. The electrode layer provides an organic light emitting display device having a matrix structure overlapping with the gate line and the data line, and having a wider width than the gate line and a wider width than the data line.

본원은 긴판 상에 게이트라인을 형성하고, 기판 상의 전면에 게이트절연막을 형성하며, 게이트절연막 상에 데이터라인을 형성하고, 화소영역에 박막트랜지스터를 형성하고, 비발광영역에 제 1 보조전극층을 형성하는 단계; 게이트절연막 상에 데이터라인과 박막트랜지스터와 제 1 보조전극층을 덮는 오버코트층을 형성하는 단계; 적어도 오버코트층을 관통하는 메인콘택홀 및 보조콘택홀을 형성하는 단계; 오버코트층 상의 발광영역에 메인콘택홀을 통해 박막트랜지스터와 연결되는 제 1 전극을 형성하고, 오버코트층 상의 비발광영역에 보조컨택홀을 통해 제 1 보조전극층과 연결되는 제 2 보조전극층을 형성하는 단계; 오버코트층 상에 제 1 전극의 테두리에 오버랩하고 제 2 보조전극층의 일부와 오버랩하는 뱅크를 형성하는 단계; 오버코트층 상에, 제 1 전극과 뱅크와 제 2 보조전극층을 덮는 유기층을 형성하는 단계; 유기층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계; 제 2 전극에 대향하는 밀봉층을 형성하는 단계; 및 제 1 보조전극층 및 제 2 보조전극층을 포함하는 보조전극의 적어도 일부에 레이저를 조사하여, 유기층을 관통하여 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 형성하는 단계를 포함하고; 제 2 보조전극층은 게이트 라인 및 데이터 라인과 오버랩하는 매트릭스 구조를 갖고 게이트 라인보다 넓으며 데이터 라인보다 넓은 폭을 갖는 유기발광표시장치의 제조방법을 제공한다.Herein, a gate line is formed on a long plate, a gate insulating film is formed on a front surface of a substrate, a data line is formed on a gate insulating film, a thin film transistor is formed in a pixel region, and a first auxiliary electrode layer is formed in a non-emission region. To do; Forming an overcoat layer covering the data line, the thin film transistor, and the first auxiliary electrode layer on the gate insulating film; Forming a main contact hole and an auxiliary contact hole penetrating at least the overcoat layer; Forming a first electrode connected to the thin film transistor through the main contact hole in the light-emitting region on the overcoat layer, and forming a second auxiliary electrode layer connected to the first auxiliary electrode layer through the auxiliary contact hole in the non-light-emitting region on the overcoat layer ; Forming a bank on the overcoat layer, overlapping the edge of the first electrode and overlapping a portion of the second auxiliary electrode layer; Forming an organic layer on the overcoat layer to cover the first electrode, the bank, and the second auxiliary electrode layer; Forming a second electrode on the organic layer; Forming a sealing layer facing the second electrode; And irradiating a laser to at least a portion of the auxiliary electrode including the first auxiliary electrode layer and the second auxiliary electrode layer to form a contact welding through the organic layer to connect between the auxiliary electrode and the second electrode; The second auxiliary electrode layer provides a method of manufacturing an organic light emitting display device having a matrix structure overlapping with a gate line and a data line, and having a wider width than the gate line and a wider width than the data line.

본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치는 전면에 형성되는 제 2 전극과 연결되는 보조전극을 포함함으로써, 제 2 전극의 저항을 낮출 수 있어, 제 2 전극의 높은 저항에 의한 휘도 저하 및 소비전력 증가를 방지할 수 있으므로, 대면적화에 더욱 유리해질 수 있다.The organic light emitting display device according to the exemplary embodiment of the present application includes an auxiliary electrode connected to a second electrode formed on the front surface, so that the resistance of the second electrode can be lowered, resulting in lower luminance and consumption due to high resistance of the second electrode. Since the increase in power can be prevented, it can be more advantageous for large area.

그리고, 보조전극의 적어도 일부가 유기층을 관통하여 제 2 전극으로 확산되어 형성되는 콘택웰딩을 더 포함함으로써, 유기층을 선택적으로 식각하거나, 유기층 형성 시 미세마스크를 이용하지 않더라도, 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결시킬 수 있다. 그러므로, 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결하기 위해, 유기층이 손상되는 것이 방지됨에 따라, 유기발광표시장치의 신뢰도 및 수명이 더욱 향상될 수 있고, 유기층 형성 시 높은 비용 및 높은 주의가 소모되는 것이 방지될 수 있어, 제조공정이 더욱 간단해질 수 있다. In addition, by further including contact welding formed by diffusion of at least a portion of the auxiliary electrode through the organic layer to the second electrode, even if the organic layer is selectively etched or a micromask is not used when forming the organic layer, the auxiliary electrode and the second electrode You can connect them. Therefore, in order to connect the auxiliary electrode and the second electrode, as the organic layer is prevented from being damaged, the reliability and life of the organic light emitting display device can be further improved, and high cost and high attention are consumed when forming the organic layer. Since it can be prevented, the manufacturing process can be further simplified.

이 뿐만 아니라, 콘택웰딩은 일반적인 콘택홀보다 작은 공정마진을 포함하므로, 유기발광표시장치의 개구율이 향상될 수 있다.In addition, since contact welding includes a process margin smaller than that of a general contact hole, the aperture ratio of the organic light emitting display device may be improved.

또한, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 밀봉층을 형성한 후, 콘택웰딩을 형성함에 따라, 콘택웰딩 형성 시에 진공챔버가 불필요하므로, 공정이 더욱 용이해지고, 제조비용이 저감될 수 있다.In addition, the method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present application forms a sealing layer and then forms a contact welding, so that a vacuum chamber is not required at the time of forming the contact welding, so the process becomes easier and the manufacturing cost This can be reduced.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 나타낸 등가회로도이다.
도 2a 및 도 2b는 본원의 제 1 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본원의 제 2 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본원의 제 3 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본원의 제 4 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본원의 제 5 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 본원의 제 6 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 본원의 제 7 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 9a 및 도 9b는 본원의 제 8 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.
도 10은 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
도 11a 내지 도 11i는 도 10의 각 단계를 나타낸 공정도이다.
1 is an equivalent circuit diagram showing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present application.
2A and 2B are plan views illustrating a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a first embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.
3A and 3B are plan views illustrating a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a second embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.
4A and 4B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a third embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.
5A and 5B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a fourth embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.
6A and 6B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a fifth embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.
7A and 7B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a sixth embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.
8A and 8B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a seventh embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.
9A and 9B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to an eighth embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.
10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present application.
11A to 11I are process diagrams showing each step of FIG. 10.

이하, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치 및 그의 제조방법에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an organic light emitting display device and a manufacturing method according to an embodiment of the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1, 도 2a, 도 2b, 도 3a, 도 3b, 도 4a, 도 4b, 도 5a, 도 5b, 도 6a, 도 6b, 도 7a, 도 7b, 도 8a, 도 8b, 도 9a 및 도 9b를 참조하여, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치에 대해 설명한다.First, FIGS. 1, 2A, 2B, 3A, 3B, 4A, 4B, 5A, 5B, 6A, 6B, 7A, 7B, 8A, 8B, 9A, and An organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present application will be described with reference to FIG. 9B.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치를 나타낸 등가회로도이다. 도 2a 및 도 2b는 본원의 제 1 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 3a 및 도 3b는 본원의 제 2 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 4a 및 도 4b는 본원의 제 3 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 5a 및 도 5b는 본원의 제 4 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 6a 및 도 6b는 본원의 제 5 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 7a 및 도 7b는 본원의 제 6 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 8a 및 도 8b는 본원의 제 7 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다. 도 9a 및 도 9b는 본원의 제 8 실시예에 따른 도 1의 유기발광표시장치 중 일부를 나타낸 평면도와, 어느 하나의 화소영역을 나타낸 단면도이다.1 is an equivalent circuit diagram showing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present application. 2A and 2B are plan views illustrating a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a first embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area. 3A and 3B are plan views illustrating a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a second embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area. 4A and 4B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a third embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area. 5A and 5B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a fourth embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area. 6A and 6B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a fifth embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area. 7A and 7B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a sixth embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area. 8A and 8B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to a seventh embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area. 9A and 9B are plan views showing a part of the organic light emitting display device of FIG. 1 according to an eighth embodiment of the present application, and a cross-sectional view showing one pixel area.

도 1에 도시한 바와 같이, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치(100)는 복수의 화소영역(PA)이 정의되도록 상호 교차하여 형성되는 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL), 복수의 화소영역(PA)에 대응하는 복수의 박막트랜지스터(TFT), 및 복수의 화소영역(PA) 각각의 발광영역에 형성되는 복수의 유기발광소자(ED)를 포함한다.As illustrated in FIG. 1, the organic light emitting display device 100 according to an exemplary embodiment of the present application includes gate lines GL and data lines DL formed to cross each other so that a plurality of pixel areas PA are defined, It includes a plurality of thin film transistors (TFT) corresponding to the plurality of pixel areas (PA), and a plurality of organic light emitting device (ED) formed in each light emitting area of the plurality of pixel areas (PA).

복수의 유기발광소자(ED)는 어느 하나의 박막트랜지스터(TFT)와 연결되고, 기준전원(Vdd)에 연결된다. 이에, 각 유기발광소자(ED)는 각 박막트랜지스터(TFT)와 기준전원(Vdd) 사이의 전위차에 대응한 구동전류에 기초하여, 광을 방출한다.The plurality of organic light emitting devices ED is connected to any one thin film transistor TFT and is connected to a reference power source Vdd. Accordingly, each organic light emitting element ED emits light based on a driving current corresponding to a potential difference between each thin film transistor TFT and the reference power source Vdd.

도 2a, 도 3a, 도 4a, 도 5a, 도 6a, 도 7a, 도 8a 및 도 9a에 도시한 바와 같이, 각 실시예에 따르면, 복수의 화소영역(PA) 각각은 표시를 위한 광을 방출하는 발광영역(EA)과, 그 이외의 비발광영역(NEA)을 포함한다.2A, 3A, 4A, 5A, 6A, 7A, 8A, and 9A, according to each embodiment, each of the plurality of pixel areas PA emits light for display. And a non-emission region NEA.

그리고, 각 실시예에 따른 유기발광표시장치(100a~100h)는 기판(111) 상의 각 화소영역(PA)에 형성되는 박막트랜지스터(TFT), 기판(111) 상에 형성되는 게이트라인(도 1의 GL), 기판(111) 상의 전면에 형성되고 게이트라인(GL)을 덮는 게이트절연막(112), 게이트절연막(112) 상에 형성되고 복수의 화소영역(PA)이 정의되도록 게이트라인(GL)에 교차하는 데이터라인(도 1의 DL), 비발광영역(NEA) 중 일부에 형성되는 보조전극(120), 및 게이트절연막(112) 상의 전면에 형성되고 박막트랜지스터(TFT)와 게이트전극(GL)과 데이터라인(DL)과 보조전극(120)을 덮는 오버코트층(113)을 포함한다.In addition, the organic light emitting display devices 100a to 100h according to each embodiment include a thin film transistor (TFT) formed in each pixel area PA on the substrate 111 and a gate line formed on the substrate 111 (FIG. 1) GL), the gate insulating layer 112 formed on the front surface of the substrate 111 and covering the gate line GL, and the gate line GL formed on the gate insulating layer 112 and defining a plurality of pixel areas PA. The data line (DL in FIG. 1), the auxiliary electrode 120 formed on a part of the non-emission area NEA, and the gate insulating layer 112 formed on the front surface of the thin film transistor TFT and the gate electrode GL ) And an overcoat layer 113 covering the data line DL and the auxiliary electrode 120.

그리고, 각 실시예에 따른 유기발광표시장치(100a~100h)는 오버코트층(113) 상의 발광영역(EA)에 형성되고, 박막트랜지스터(TFT)와 연결되는 제 1 전극(131), 오버코트층(113) 상의 발광영역(EA) 외곽에 형성되고 제 1 전극(131)의 테두리 상에 적어도 일부 오버랩하는 뱅크(132), 오버코트층(113) 상의 전면에 형성되어, 제 1 전극(131)과 뱅크(132)를 덮는 유기층(133), 유기층(133) 상의 전면에 형성되는 제 2 전극(134), 보조전극(120)의 일부가 유기층(133)을 관통하여 제 2 전극(134)으로 확산되도록 형성되어, 보조전극(120)과 제 2 전극(134) 사이를 연결하는 콘택웰딩(140), 및 제 2 전극(134)에 대향하는 밀봉층(150)을 더 포함한다.In addition, the organic light emitting display devices 100a to 100h according to each embodiment are formed in the light emitting region EA on the overcoat layer 113, and are connected to the first electrode 131 and the overcoat layer (TFT). 113) is formed on the outer portion of the light emitting region EA and overlaps at least partly on the edge of the first electrode 131, the bank 132 is formed on the entire surface of the overcoat layer 113, and the first electrode 131 and bank The organic layer 133 covering the 132, the second electrode 134 formed on the front surface on the organic layer 133, and a portion of the auxiliary electrode 120 penetrate the organic layer 133 to diffuse to the second electrode 134 It is formed, and further includes a contact welding 140 connecting the auxiliary electrode 120 and the second electrode 134, and a sealing layer 150 facing the second electrode 134.

각 화소영역(PA)에 대응한 박막트랜지스터(TFT)는 게이트전극(161), 액티브층(162), 소스전극(163) 및 드레인전극(164)을 포함한다.The thin film transistor TFT corresponding to each pixel area PA includes a gate electrode 161, an active layer 162, a source electrode 163 and a drain electrode 164.

게이트전극(161)은 게이트라인(GL)과 마찬가지로, 기판(111) 상에 형성된다. 그리고, 게이트라인(GL)으로부터 분기된 형태로 이루어져서, 게이트라인(GL)과 연결된다.The gate electrode 161 is formed on the substrate 111, like the gate line GL. Then, it is formed in a branched form from the gate line GL, and is connected to the gate line GL.

액티브층(162)은 게이트절연막(112) 상에, 게이트전극(161)의 적어도 일부와 오버랩하도록 형성된다. 여기서, 액티브층(162)은 산화물반도체(Oxide Semiconductor), 폴리실리콘(poly Silicon: 결정질 실리콘) 및 아몰포스 실리콘(amorphous Silicon: a-Si: 비결정질 실리콘) 중 어느 하나로 형성될 수 있다.The active layer 162 is formed on the gate insulating layer 112 to overlap at least a portion of the gate electrode 161. Here, the active layer 162 may be formed of any one of oxide semiconductor, poly silicon (crystalline silicon), and amorphous silicon (a-Si: amorphous silicon).

소스전극(163)과 드레인전극(164)는 데이터라인(DL)과 마찬가지로, 게이트절연막(112) 상에 상호 이격하도록 형성된다. 그리고, 소스전극(163)과 드레인전극(164)는 액티브층(162)의 양측 상에 오버랩한다. The source electrode 163 and the drain electrode 164 are formed to be spaced apart from each other on the gate insulating layer 112, like the data line DL. Then, the source electrode 163 and the drain electrode 164 overlap on both sides of the active layer 162.

여기서, 소스전극(163)과 드레인전극(164) 중 어느 하나(예를 들면, 소스전극(163)일 수 있음)는 데이터라인(DL)으로부터 분기된 형태로 이루어져서, 데이터라인(DL)과 연결된다. 그리고, 소스전극(163)과 드레인전극(164) 중 데이터라인(DL)과 연결되지 않는 다른 하나(예를 들면, 드레인전극(164)일 수 있음)는 오버코트층(113)을 관통하는 메인콘택홀(CT1)을 통해 적어도 일부 노출되어, 제 1 전극(131)과 연결된다.Here, one of the source electrode 163 and the drain electrode 164 (for example, may be the source electrode 163) is formed in a branched form from the data line DL, and is connected to the data line DL do. In addition, the other of the source electrode 163 and the drain electrode 164 that is not connected to the data line DL (for example, may be the drain electrode 164) is a main contact passing through the overcoat layer 113. At least partially exposed through the hole CT1, the first electrode 131 is connected.

또한, 액티브층(162)이 산화물반도체로 형성되는 경우, 박막트랜지스터(TFT)는 액티브층(162) 상에 형성되는 에치스토퍼층(165)을 더 포함할 수 있고, 이때, 소스전극(163) 및 드레인전극(164)은 에치스토퍼(165)의 양측 상에 오버랩한다.In addition, when the active layer 162 is formed of an oxide semiconductor, the thin film transistor (TFT) may further include an etch stopper layer 165 formed on the active layer 162, wherein the source electrode 163 And the drain electrode 164 overlaps on both sides of the etch stopper 165.

제 1 전극(131)은 적어도 각 화소영역(PA)의 발광영역(EA: Emitting Area)에 대응하고, 오버코트층(113) 상에 형성된다. 그리고, 제 1 전극(131)은 오버코트층(113)을 관통하는 메인콘택홀(CT1)을 통해, 박막트랜지스터(TFT)의 소스전극(163)과 드레인전극(164) 중 데이터라인(DL)에 연결되지 않은 다른 하나(예를 들면, 드레인전극(164)임)와 연결된다.The first electrode 131 corresponds to at least an emission area (EA) of each pixel area PA, and is formed on the overcoat layer 113. In addition, the first electrode 131 is connected to the data line DL of the source electrode 163 and the drain electrode 164 of the thin film transistor TFT through the main contact hole CT1 passing through the overcoat layer 113. It is connected to another one that is not connected (for example, the drain electrode 164).

뱅크(132)는 각 화소영역(PA)의 발광영역(EA) 외곽에 대응하고, 오버코트층(112) 상에 형성된다. 그리고, 뱅크(132)는 제 1 전극(131)의 테두리에 적어도 일부 오버랩한다.The bank 132 corresponds to the outside of the emission area EA of each pixel area PA, and is formed on the overcoat layer 112. In addition, the bank 132 overlaps at least a part of the edge of the first electrode 131.

이러한 뱅크(132)에 의해 제 1 전극(131)의 단차영역이 가려져서, 제 1 전극(131)의 단차에 집중되는 전류흐름에 의해 유기층(133)이 더 신속하게 열화되는 것을 방지할 수 있다.The step region of the first electrode 131 is covered by the bank 132, so that the organic layer 133 may be prevented from deteriorating more rapidly due to a current flow concentrated in the step of the first electrode 131.

유기층(133)은 표시영역 전면, 즉 복수의 화소영역(PA) 전체에 대응하여, 오버코트층(113) 상의 전면에 형성된다. 이에, 유기층(133)은 제 1 전극(131) 및 뱅크(132)를 덮도록 형성된다. The organic layer 133 is formed on the entire surface of the display area, that is, on the overcoat layer 113 corresponding to the entire plurality of pixel areas PA. Accordingly, the organic layer 133 is formed to cover the first electrode 131 and the bank 132.

이러한 유기층(133)은 표시영역에 대응하는 오픈마스크를 이용하여 형성될 수 있다.The organic layer 133 may be formed using an open mask corresponding to the display area.

상세히 도시되어 있지 않으나, 유기층(133)은 서로 다른 성분 또는 조성을 갖는 유기물질로 이루어진 다중층 구조로 이루어질 수 있다. 일 예로, 유기층(133)은 유기발광재료로 이루어진 발광층을 포함하고, 전자주입층, 전자수송층, 정공수송층 및 정공주입층 중 적어도 하나를 더 포함하는 구조일 수 있다. Although not shown in detail, the organic layer 133 may be formed of a multi-layer structure made of organic materials having different components or compositions. For example, the organic layer 133 may include a light emitting layer made of an organic light emitting material, and may further include at least one of an electron injection layer, an electron transport layer, a hole transport layer, and a hole injection layer.

제 2 전극(134)은 유기층(133) 상의 전면에 형성된다. The second electrode 134 is formed on the front surface of the organic layer 133.

이로써, 각 화소영역(PA)의 발광영역(EA)에, 상호 대향하는 제 1 및 제 2 전극(131, 134), 그리고 이들 사이에 개재된 유기층(133)을 포함하는 유기발광소자(ED)가 형성된다.Accordingly, the organic light emitting device ED including the first and second electrodes 131 and 134 facing each other in the light emitting area EA of each pixel area PA, and the organic layer 133 interposed therebetween. Is formed.

밀봉층(150)은 제 2 전극(134)에 대향하여 형성된다. 이러한 밀봉층(150)은 복수의 유기발광소자(ED)를 외부로부터 격리하여, 복수의 유기발광소자(ED)에 수분 또는 산소가 침투하는 것을 차폐함으로써, 수분 또는 산소에 의한 복수의 유기발광소자(ED)의 열화를 지연시킨다.The sealing layer 150 is formed to face the second electrode 134. The sealing layer 150 isolates the plurality of organic light emitting elements ED from the outside and shields moisture or oxygen from penetrating the plurality of organic light emitting elements ED, thereby allowing the plurality of organic light emitting elements by moisture or oxygen. Delay deterioration of (ED).

도 2a 및 도 2b에 도시한 바와 같이, 본원의 제 1 실시예에 따르면, 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 중 어느 하나의 신호라인과 동일층에 형성되고, 하나의 신호라인으로부터 절연되는 단일의 보조전극층(121)으로 이루어진다. 2A and 2B, according to the first embodiment of the present application, the auxiliary electrode 120 is formed on the same layer as one of the signal lines of the gate line GL and the data line DL, It consists of a single auxiliary electrode layer 121 insulated from one signal line.

즉, 보조전극층(121)은 게이트절연막(112) 상에 데이터라인(DL), 소스전극(163) 및 드레인전극(164)과 함께 형성되고, 데이터라인(DL), 소스전극(163) 및 드레인전극(164) 각각으로부터 절연되는 아일랜드 패턴(ISLAND PATTERN)일 수 있다. 이러한 보조전극층(121)은 데이터라인(DL)에 평행한 라인 형태일 수도 있다.That is, the auxiliary electrode layer 121 is formed on the gate insulating layer 112 together with the data line DL, the source electrode 163 and the drain electrode 164, and the data line DL, the source electrode 163 and the drain It may be an island pattern (ISLAND PATTERN) insulated from each of the electrodes 164. The auxiliary electrode layer 121 may be in the form of a line parallel to the data line DL.

또는, 별도로 도시하고 있지 않으나, 보조전극층(미도시)은 기판(111) 상에 게이트라인(GL) 및 게이트전극(161)과 함께 형성되고, 게이트라인(GL) 및 게이트전극(161) 각각으로부터 절연되는 아일랜드 패턴일 수 있다. 이 경우, 보조전극층(미도시)은 게이트라인(GL)에 평행한 라인 형태일 수도 있다. 그리고, 보조전극(120)의 일부를 노출시키기 위한 보조콘택홀(CT2)은 오버코트층(113)뿐만 아니라, 게이트절연막(112)을 더 관통하여 형성된다.Alternatively, although not separately illustrated, the auxiliary electrode layer (not shown) is formed on the substrate 111 together with the gate line GL and the gate electrode 161, and is formed from each of the gate line GL and the gate electrode 161. It may be an isolated island pattern. In this case, the auxiliary electrode layer (not shown) may have a line shape parallel to the gate line GL. In addition, the auxiliary contact hole CT2 for exposing a portion of the auxiliary electrode 120 is formed through the gate insulating layer 112 as well as the overcoat layer 113.

이러한 보조전극(120) 중 보조콘택홀(CT2)에 의해 노출된 일부는 유기층(133)을 사이에 두고서 제 2 전극(134)과 대향한다.A portion of the auxiliary electrode 120 exposed by the auxiliary contact hole CT2 faces the second electrode 134 with the organic layer 133 therebetween.

그리고, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2)에 의해 보조전극층(121)의 일부가 노출되는 영역 내에 형성된다. In addition, the contact welding 140 is formed in an area where a portion of the auxiliary electrode layer 121 is exposed by the auxiliary contact hole CT2.

구체적으로, 콘택웰딩(140)은 기판(111) 배면 밖에 위치한 레이저를 이용하여 보조전극(120)의 일부를 제 2 전극(134)으로 확산시킨 것이다. 즉, 기판(111) 배면 밖에 위치한 레이저 장비로부터 방출되고 기판(111)을 투과한 레이저를 보조전극(120)의 일부에 조사한다. 이로 인해, 보조전극(120)의 일부가 용융하고, 유기층(133)을 관통하여, 제 2 전극(134)으로 확산됨으로써, 콘택웰딩(140)이 형성된다. Specifically, the contact welding 140 diffuses a portion of the auxiliary electrode 120 to the second electrode 134 using a laser located outside the rear surface of the substrate 111. That is, a part of the auxiliary electrode 120 is irradiated with the laser emitted from the laser equipment located outside the rear surface of the substrate 111 and transmitted through the substrate 111. Therefore, a part of the auxiliary electrode 120 is melted, penetrates the organic layer 133, and diffuses into the second electrode 134, thereby forming the contact welding 140.

이상과 같이, 본원의 제 1 실시예에 따르면, 보조콘택홀(CT2)을 통해 유기층(133)을 사이에 두고 상호 적어도 일부 대향하는보조전극(120)과 제 2 전극(134)이 콘택웰딩(140)으로 상호 연결된다. 이에, 제 2 전극(134)의 저항이 낮아질 수 있으면서도, 유기층(133)의 손상을 방지할 수 있으며, 보조전극(120)과 제 2 전극(134)의 연결이 보다 용이하고 간단한 공정으로 실시될 수 있다.As described above, according to the first embodiment of the present application, the auxiliary electrode 120 and the second electrode 134 facing at least a part of the organic layer 133 through the auxiliary contact hole CT2 between the contact welding ( 140). Accordingly, while the resistance of the second electrode 134 may be lowered, damage to the organic layer 133 may be prevented, and the connection between the auxiliary electrode 120 and the second electrode 134 may be performed in a simpler and simpler process. Can be.

달리 설명하면, 보조전극(120)과 제 2 전극(134) 사이를 연결하기 위하여, 유기층(133)의 일부를 선택적으로 제거하여 보조전극(120)을 노출하거나, 유기층(133) 형성 시에 보조전극(120)의 일부를 가리는 미세마스크를 이용할 필요가 없다. In other words, in order to connect between the auxiliary electrode 120 and the second electrode 134, a portion of the organic layer 133 is selectively removed to expose the auxiliary electrode 120 or when the organic layer 133 is formed. It is not necessary to use a micromask that covers a part of the electrode 120.

이로써, 유기층(133)의 손상 및 불순물의 발생이 미연에 방지될 수 있으므로, 유기발광표시장치(100a)의 신뢰도 및 수명이 향상될 수 있다. Accordingly, damage to the organic layer 133 and generation of impurities can be prevented in advance, so that the reliability and life of the organic light emitting display device 100a can be improved.

그리고, 유기층(133)의 형성 시, 미세마스크가 아닌 오픈마스크를 이용함에 따라, 공정이 단순해질 수 있고, 공정비용의 증가, 마스크 정렬을 위한 높은 수준의 주의, 공정시간의 증가 등이 방지될 수 있다.And, when the organic layer 133 is formed, an open mask rather than a micromask is used, so that the process can be simplified, an increase in process cost, a high level of attention for mask alignment, an increase in process time, and the like can be prevented. Can be.

또한, 콘택웰딩(140)은 일반적인 콘택홀보다 공정마진이 작으므로, 유기발광표시장치(100a)의 개구율이 향상될 수 있다.In addition, since the contact welding 140 has a smaller process margin than a general contact hole, the aperture ratio of the organic light emitting display device 100a may be improved.

더불어, 콘택웰딩(140) 형성 시, 기판(111) 배면 밖에 위치한 레이저를 이용함에 따라, 밀봉층(150)을 형성한 후 진공챔버 밖에서도 충분히 가능하다. 그러므로, 레이저 등을 장착할 수 있을 정도의 대형 진공챔버가 불필요하므로, 제조비용이 절감될 수 있다.In addition, when the contact welding 140 is formed, a laser positioned outside the rear surface of the substrate 111 is used, and thus it is sufficiently possible outside the vacuum chamber after the sealing layer 150 is formed. Therefore, since a large vacuum chamber that is large enough to mount a laser or the like is unnecessary, manufacturing cost can be reduced.

한편, 제 1 실시예에 따르면, 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 중 어느 하나의 신호라인과 동일층, 즉 기판(111) 상에 형성되거나, 또는 게이트절연막(112) 중 어느 하나 상에 형성되는 단일의 보조전극층(121)을 포함하여 이루어진다.Meanwhile, according to the first embodiment, the auxiliary electrode 120 is formed on the same layer as one of the signal lines of the gate line GL and the data line DL, that is, on the substrate 111, or the gate insulating film ( 112) comprises a single auxiliary electrode layer 121 formed on any one of.

그러나, 제 1 실시예와 달리, 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 중 어느 하나의 신호라인과 동일층이 아닌 다른 층에 형성된 보조전극층을 포함하여 이루어질 수 있다.However, unlike the first embodiment, the auxiliary electrode 120 may include an auxiliary electrode layer formed on a layer other than the same layer as one of the signal lines of the gate line GL and the data line DL.

일 예로, 도 3a에 도시한 바와 같이, 제 2 실시예에 따른 보조전극(120)은 제 1 전극(131)과 동일층에 형성되고 제 1 전극(131)으로부터 절연되는 단일의 보조전극층(122)으로 이루어진다.For example, as illustrated in FIG. 3A, the auxiliary electrode 120 according to the second embodiment is formed on the same layer as the first electrode 131 and is a single auxiliary electrode layer 122 insulated from the first electrode 131. ).

그리고, 도 3b에 도시한 바와 같이, 제 2 실시예에 따른 보조전극층(122)은 제 1 전극(131)으로부터 소정 간격 이격된 메쉬형태의 패턴(MESH PATTERN)일 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 3B, the auxiliary electrode layer 122 according to the second embodiment may be a mesh pattern (MESH PATTERN) spaced apart from the first electrode 131 by a predetermined distance.

이와 같이, 제 2 실시예에 유기발광표시장치(100b)는 보조전극(120)이 오버코트층(113) 상에 형성되는 단일의 보조전극층(122)으로 이루어진다는 점을 제외하면, 도 2a 및 도 2b에 도시한 제 1 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.As described above, the organic light emitting display device 100b in the second embodiment is shown in FIGS. 2A and 2 except that the auxiliary electrode 120 is formed of a single auxiliary electrode layer 122 formed on the overcoat layer 113. Since it is the same as the first embodiment shown in 2b, a duplicate description will be omitted below.

한편, 제 1 및 제 2 실시예에 따르면 보조전극(120)은 단일의 보조전극층으로 이루어지는데, 이와 달리, 보조전극(120)은 서로 다른 층에 형성된 두 개의 전극층을 포함하여 이루어질 수도 있다.Meanwhile, according to the first and second embodiments, the auxiliary electrode 120 is formed of a single auxiliary electrode layer. Alternatively, the auxiliary electrode 120 may include two electrode layers formed on different layers.

도 4a에 도시한 바와 같이, 제 3 실시예에 따른 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 중 어느 하나의 신호라인과 동일층(도 4a에서 데이터라인(DL)과 동일층임)에 형성되는 제 1 보조전극층(121), 및 제 1 전극(131)과 동일층에 형성되는 제 2 보조전극층(122)을 포함한다.As shown in FIG. 4A, the auxiliary electrode 120 according to the third embodiment is the same layer as any one of the signal lines of the gate line GL and the data line DL (the data line DL in FIG. 4A). It includes a first auxiliary electrode layer 121 formed on the same layer), and a second auxiliary electrode layer 122 formed on the same layer as the first electrode 131.

즉, 보조전극(120)은 기판(111) 및 게이트절연막(112) 중 어느 하나 상에 형성되는 제 1 보조전극층(121)과, 오버코트층(113) 상에 형성되는 제 2 보조전극층(122)을 포함한다.That is, the auxiliary electrode 120 includes a first auxiliary electrode layer 121 formed on any one of the substrate 111 and the gate insulating layer 112 and a second auxiliary electrode layer 122 formed on the overcoat layer 113. It includes.

여기서, 제 2 보조전극층(122)은 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121) 상에 접하여, 제 1 보조전극층(121)과 연결된다.Here, the second auxiliary electrode layer 122 is in contact with the first auxiliary electrode layer 121 exposed through the auxiliary contact hole CT2 and is connected to the first auxiliary electrode layer 121.

이 경우, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 내에서 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122)이 상호 오버랩하는 부분을 확산시켜서 형성될 수 있다.In this case, the contact welding 140 may be formed by diffusing the overlapping portions of the first and second auxiliary electrode layers 121 and 122 in the auxiliary contact hole CT2.

그리고, 콘택웰딩(140)은 둘 이상의 화소영역(PA)에 대응한 간격으로 형성될 수 있다.Also, the contact welding 140 may be formed at intervals corresponding to two or more pixel areas PA.

이러한 제 3 실시예에 따른 유기발광표시장치(100c)는 보조전극(120)이 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122)을 포함한다는 점을 제외하면, 도 2a, 도 2b, 도 3a 및 도 3b에 도시한 제 1 및 제 2 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.The organic light emitting display device 100c according to the third embodiment is illustrated in FIGS. 2A, 2B, 3A, and 2 except that the auxiliary electrode 120 includes first and second auxiliary electrode layers 121 and 122. Since it is the same as the first and second embodiments illustrated in FIG. 3B, a duplicate description will be omitted below.

한편, 제 3 실시예에 따르면, 제 2 보조전극층(122)은 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부에 모두 접하도록 형성되나, 본원은 이에 국한되지 않는다.On the other hand, according to the third embodiment, the second auxiliary electrode layer 122 is formed to contact all of the first auxiliary electrode layer 121 exposed through the auxiliary contact hole CT2, but the present application is not limited thereto.

즉, 도 5a 및 도 5b에 도시한 바와 같이, 제 4 실시예에 따르면, 제 1 보조전극층(121)의 일부는 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된다. 그리고, 제 2 보조전극층(122')은 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부에 전체적으로 접하지 않고, 부분적으로 접하도록 형성된다. 그리고, 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부 중 제 1 보조전극층(122')과 접하지 않는 나머지는 유기층(133)과 접한다.That is, as shown in FIGS. 5A and 5B, according to the fourth embodiment, a part of the first auxiliary electrode layer 121 is exposed through the auxiliary contact hole CT2. In addition, the second auxiliary electrode layer 122 ′ is formed to not partially contact the part of the first auxiliary electrode layer 121 exposed through the auxiliary contact hole CT2, but partially. Then, among the portions of the first auxiliary electrode layer 121 exposed through the auxiliary contact hole CT2, the remainder that does not contact the first auxiliary electrode layer 122' contacts the organic layer 133.

더불어, 제 4 실시예에 따르면, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2)에 의해 제 1 보조전극층(121)의 일부가 노출되는 영역 내에서, 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122')과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수 있다.In addition, according to the fourth embodiment, the contact welding 140 in the region where a portion of the first auxiliary electrode layer 121 is exposed by the auxiliary contact hole CT2, the first and second auxiliary electrode layers 121 and 122 ') and the second electrode 134 may be formed at portions overlapping each other.

이와 같이, 본원의 제 4 실시예에 따른 유기발광표시장치(100d)는 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122)이 보조콘택홀(CT2) 내에서 전체적으로 접하는 것이 아니라, 부분적으로 접하는 것이고, 콘택웰딩(140)이 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122')과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성된다는 점을 제외하면, 도 4a 및 도 4b에 도시한 제 3 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.As described above, in the organic light emitting display device 100d according to the fourth embodiment of the present application, the first and second auxiliary electrode layers 121 and 122 do not entirely contact the auxiliary contact hole CT2, but partially contact the organic light emitting display device 100d. The third embodiment illustrated in FIGS. 4A and 4B, except that the contact welding 140 is formed at portions where the first and second auxiliary electrode layers 121 and 122' and the second electrode 134 overlap each other. Since it is the same as the example, a duplicate description will be omitted below.

또는, 도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이, 제 5 실시예에 따르면, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2)에 의해 제 1 보조전극층(121)의 일부가 노출되는 영역 내에서, 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122') 중 어느 하나와 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수도 있다. Alternatively, as shown in FIGS. 6A and 6B, according to the fifth embodiment, the contact welding 140 is within an area where a portion of the first auxiliary electrode layer 121 is exposed by the auxiliary contact hole CT2, One of the first and second auxiliary electrode layers 121 and 122 ′ and the second electrode 134 may be formed at overlapping portions.

즉, 제 2 보조전극층(122')은 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부에 부분적으로 접하도록 형성되므로, 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부 중 제 2 보조전극층(122')과 접하지 않는 나머지는 유기층(133)과 접한다. 이에, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 내에서 제 1 보조전극층(121)과 제 2 전극(134)이 유기층(133)을 사이에 두고 상호 대향하는 영역에, 형성될 수도 있다.That is, since the second auxiliary electrode layer 122 ′ is formed to partially contact the part of the first auxiliary electrode layer 121 exposed through the auxiliary contact hole CT2, the first auxiliary electrode layer 122 ′ is exposed through the auxiliary contact hole CT2. The rest of the portion of the auxiliary electrode layer 121 that is not in contact with the second auxiliary electrode layer 122' is in contact with the organic layer 133. Accordingly, the contact welding 140 may be formed in a region in which the first auxiliary electrode layer 121 and the second electrode 134 face each other with the organic layer 133 therebetween in the auxiliary contact hole CT2.

이와 같이, 본원의 제 5 실시예에 따른 유기발광표시장치(100e)는 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122') 중 어느 하나와 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성된다는 점을 제외하면, 도 5a 및 도 5b에 도시한 제 4 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.As described above, the organic light emitting display device 100e according to the fifth embodiment of the present application is formed at a portion where one of the first and second auxiliary electrode layers 121 and 122' and the second electrode 134 overlap each other. Except for the point, since it is the same as the fourth embodiment shown in Figs. 5A and 5B, a duplicate description will be omitted below.

한편, 제 3, 제 4 및 제 5 실시예와 달리, 보조전극(120)은 서로 다른 층에 형성된 세 개의 전극층을 포함하여 이루어질 수도 있다.Meanwhile, unlike the third, fourth, and fifth embodiments, the auxiliary electrode 120 may include three electrode layers formed on different layers.

도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이, 제 6 실시예에 따르면, 보조전극(120)은 게이트라인(GL)과 동일층에 형성되는 제 1 보조전극층(121a), 데이터라인(DL)과 동일층에 형성되는 제 3 보조전극층(121b) 및 제 1 전극(131)과 동일층에 메쉬 형태의 패턴으로 형성되는 제 2 보조전극층(122)을 포함한다.7A and 7B, according to the sixth embodiment, the auxiliary electrode 120 is the same as the first auxiliary electrode layer 121a and the data line DL formed on the same layer as the gate line GL. The third auxiliary electrode layer 121b formed on the layer and the second auxiliary electrode layer 122 formed on the same layer as the first electrode 131 in a mesh-like pattern are included.

이때, 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b)은 게이트절연막(112)을 관통하는 프리콘택홀(CT3)을 통해 상호 연결될 수 있다.In this case, the first and third auxiliary electrode layers 121a and 121b may be interconnected through a pre-contact hole CT3 penetrating the gate insulating layer 112.

그리고, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 내에서, 제 1, 제 2 및 제 3 보조전극층(121a, 121b 122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수 있다.In addition, the contact welding 140 may be formed in the auxiliary contact hole CT2 where the first, second and third auxiliary electrode layers 121a, 121b 122 and the second electrode 134 overlap each other. .

이상과 같이, 보조전극(120)이 다중층으로 형성되면, 그만큼 제 2 전극(134)의 저항을 더 많이 낮출 수 있다.As described above, when the auxiliary electrode 120 is formed of multiple layers, the resistance of the second electrode 134 can be lowered more.

이와 같이, 제 6 실시예에 따른 유기발광표시장치(100f)는 보조전극(120)이 서로 다른 층에 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 전극층으로 이루어진다는 점을 제외하면, 도 4a 및 도 4b에 도시한 제 3 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.4A and 4B, except that the organic light emitting display device 100f according to the sixth embodiment includes first, second, and third electrode layers in which the auxiliary electrodes 120 are formed on different layers. Since it is the same as the third embodiment shown in the description, the overlapping description will be omitted below.

한편, 제 1 내지 제 6 실시예와 달리, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2)에 대응하지 않는 영역에 형성될 수도 있다.Meanwhile, unlike the first to sixth embodiments, the contact welding 140 may be formed in an area that does not correspond to the auxiliary contact hole CT2.

즉, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이, 제 7 실시예에 따르면, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 주변에서, 제 2 보조전극층(122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수 있다.That is, as illustrated in FIGS. 8A and 8B, according to the seventh embodiment, the contact welding 140 includes the second auxiliary electrode layer 122 and the second electrode 134 around the auxiliary contact hole CT2. It may be formed in portions overlapping each other.

이와 같이 하면, 콘택웰딩(140)이 형성될 영역이 보조콘택홀(CT2) 이내로 한정되지 않으므로, 공정오차를 줄일 수 있다.In this way, since the region where the contact welding 140 is to be formed is not limited to within the auxiliary contact hole CT2, process error can be reduced.

이러한 제 7 실시예에 따른 유기발광표시장치(100g)는 콘택웰딩(140)이 보조콘택홀(CT2) 주변 중 제 2 보조전극층(122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성된다는 점을 제외하면, 도 7a 및 도 7b에 도시한 제 6 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.In the organic light emitting display device 100g according to the seventh embodiment, the contact welding 140 is formed in a portion where the second auxiliary electrode layer 122 and the second electrode 134 overlap each other around the auxiliary contact hole CT2. Except that, since it is the same as the sixth embodiment shown in FIGS. 7A and 7B, redundant description will be omitted below.

한편, 제 7 실시예와 달리, 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b)을 상호 연결하기 위한 프리콘택홀(CT3)이 생략될 수도 있다.Meanwhile, unlike the seventh embodiment, the pre-contact hole CT3 for interconnecting the first and third auxiliary electrode layers 121a and 121b may be omitted.

즉, 도 9a 및 도 9b에 도시한 바와 같이, 제 8 실시예에 따른 유기발광표시장치(100h)는 제 1 보조전극층(121a)과 제 3 보조전극층(121b) 각각의 일부를 노출하는 제 1 및 제 2 보조콘택홀(CT2', CT2)을 포함할 수 있다. 이때, 제 1 및 제 2 보조콘택홀(CT2', CT2)을 통해, 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b) 각각과 제 2 보조전극층(122)이 상호 연결된다. That is, as illustrated in FIGS. 9A and 9B, the organic light emitting display device 100h according to the eighth embodiment is a first exposing a portion of each of the first auxiliary electrode layer 121a and the third auxiliary electrode layer 121b. And second auxiliary contact holes CT2' and CT2. At this time, through the first and second auxiliary contact holes CT2' and CT2, each of the first and third auxiliary electrode layers 121a and 121b and the second auxiliary electrode layer 122 are interconnected.

그리고, 콘택웰딩(140)은 보조콘택홀(CT2) 주변에서, 제 2 보조전극층(122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 부분에 형성될 수 있다.In addition, the contact welding 140 may be formed in a portion where the second auxiliary electrode layer 122 and the second electrode 134 overlap each other around the auxiliary contact hole CT2.

이와 같이 하면, 프리콘택홀(도 8a의 CT3)을 형성하기 위한 마스크공정을 생략할 수 있어, 제조비용 및 제조시간이 절감될 수 있다. By doing this, the mask process for forming the pre-contact hole (CT3 in FIG. 8A) can be omitted, and manufacturing cost and manufacturing time can be reduced.

이러한 제 8 실시예에 따른 유기발광표시장치(100h)는 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b)을 상호 연결시키기 위한 프리콘택홀(CT3)을 포함하지 않고 그 대신 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b) 각각과 제 2 보조전극층(122)이 상호 연결시키기 위한 제 1 및 제 2 보조콘택홀(CT2', CT2)을 포함한다는 점을 제외하면, 제 7 실시예와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명을 생략하기로 한다.The organic light emitting display device 100h according to the eighth embodiment does not include a pre-contact hole CT3 for interconnecting the first and third auxiliary electrode layers 121a and 121b, and instead, instead of the first and third auxiliary Since each of the electrode layers 121a and 121b and the second auxiliary electrode layer 122 includes first and second auxiliary contact holes CT2' and CT2 for interconnection, it is the same as the seventh embodiment. Hereinafter, a duplicate description will be omitted.

다음, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i를 참조하여, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법에 대해 설명한다. 참고로, 이하에서는 도 4 및 도 5에 도시한 제 3 실시예에 따른 유기발광표시장치(100c)를 일 예로 들어, 유기발광표시장치의 제조방법에 대해 설명한다.Next, a method for manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present application will be described with reference to FIGS. 10 and 11A to 11I. For reference, hereinafter, the organic light emitting display device 100c according to the third embodiment shown in FIGS. 4 and 5 will be described as an example, and a method of manufacturing the organic light emitting display device will be described.

도 10에 도시한 바와 같이, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 기판 상에 게이트라인을 형성하고, 기판 상의 전면에 게이트절연막을 형성하며, 게이트절연막 상에 데이터라인을 형성하고, 비발광영역 중 일부에 제 1 보조전극층을 포함하는 보조전극을 형성하는 단계(S110), 게이트절연막 상의 전면에 데이터라인과 제 1 보조전극층을 덮는 오버코트층을 형성하는 단계(S120), 적어도 오버콘택층을 관통하여 제 1 보조전극층의 적어도 일부를 노출하는 보조콘택홀을 형성하는 단계(S130), 오버코트층 상의 발광영역에 제 1 전극을 형성하고, 오버코트층 상의 비발광영역 중 일부에 제 2 보조전극층을 형성하는 단계(S140), 오버코트층 상의 발광영역 외곽에 제 1 전극의 테두리에 적어도 일부 오버랩하는 뱅크를 형성하는 단계(S150), 오버코트층 상의 전면에 제 1 전극과 뱅크와 보조전극을 덮는 유기층을 형성하는 단계(S160), 유기층 상의 전면에 제 2 전극을 형성하는 단계(S170), 제 2 전극에 대향하는 밀봉층을 형성하는 단계(S180), 및 보조전극의 적어도 일부를 제 2 전극으로 확산시켜서 보조전극과 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 형성하는 단계(S190)를 포함한다.As shown in FIG. 10, in the method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present application, a gate line is formed on a substrate, a gate insulating film is formed on a front surface of the substrate, and a data line is formed on the gate insulating film And forming an auxiliary electrode including a first auxiliary electrode layer in a part of the non-emission region (S110), forming an overcoat layer covering the data line and the first auxiliary electrode layer on the entire surface of the gate insulating layer (S120). Forming an auxiliary contact hole penetrating the over contact layer to expose at least a portion of the first auxiliary electrode layer (S130), forming a first electrode in the light emitting region on the overcoat layer, and removing some of the non-emission regions on the overcoat layer. 2 forming an auxiliary electrode layer (S140), forming a bank at least partially overlapping the edge of the first electrode outside the light emitting region on the overcoat layer (S150), the first electrode, the bank and the auxiliary electrode on the front surface on the overcoat layer Forming an organic layer covering the organic layer (S160), forming a second electrode on the front surface on the organic layer (S170), forming a sealing layer facing the second electrode (S180), and removing at least a portion of the auxiliary electrode And forming a contact welding connecting the auxiliary electrode and the second electrode by diffusing them into two electrodes (S190).

도 11a에 도시한 바와 같이, 기판(111) 상에 복수의 박막트랜지스터(TFT)와, 게이트라인(도 1의 GL)과, 데이터라인(도 1의 DL)과, 제 1 보조전극층(121)과, 게이트라인(GL)과 데이터라인(DL) 사이를 절연시키는 게이트절연막(112)을 형성한다. (S110) 여기서, 제 1 보조전극층(121)은 게이트라인(GL) 및 데이터라인(DL) 중 어느 하나와 동일층에 형성된다. As shown in FIG. 11A, a plurality of thin film transistors (TFT), a gate line (GL in FIG. 1 ), a data line (DL in FIG. 1 ), and a first auxiliary electrode layer 121 on the substrate 111. In addition, a gate insulating layer 112 is formed to insulate between the gate line GL and the data line DL. (S110) Here, the first auxiliary electrode layer 121 is formed on the same layer as any one of the gate line GL and the data line DL.

구체적으로, 기판(111) 상의 도전층을 패터닝하여, 게이트라인(GL)과 게이트라인(GL)으로부터 분기되는 게이트전극(161)을 형성한다. 여기서, 제 1 보조전극층(미도시)이 게이트라인(GL)과 동일층인 경우, 제 1 보조전극층(미도시)도 함께 형성한다.Specifically, the conductive layer on the substrate 111 is patterned to form a gate line GL and a gate electrode 161 branched from the gate line GL. Here, when the first auxiliary electrode layer (not shown) is the same layer as the gate line GL, the first auxiliary electrode layer (not shown) is also formed.

이어서, 기판(111) 상의 전면에 게이트라인(GL), 게이트전극(161)을 덮는 게이트절연막(112)을 형성한다.Subsequently, a gate insulating layer 112 covering the gate line GL and the gate electrode 161 is formed on the entire surface of the substrate 111.

게이트절연막(112) 상에 게이트전극(161)의 적어도 일부와 오버랩하는 액티브층(162)을 형성한다.An active layer 162 overlapping at least a portion of the gate electrode 161 is formed on the gate insulating layer 112.

액티브층(162)이 식각공정에 노출 시 용이하게 반도체 성질을 상실할 수 있는 산화물반도체인 경우, 액티브층(162) 상에 에치스토퍼층(165)을 형성할 수 있다.When the active layer 162 is an oxide semiconductor that can easily lose semiconductor properties when exposed to an etching process, the etch stopper layer 165 may be formed on the active layer 162.

게이트절연막(112) 상의 도전층을 패터닝하여, 게이트라인(GL)과 교차하는 데이터라인(DL), 액티브층(162)의 양측 상에 오버랩하는 소스전극(163)과 드레인전극(164)을 형성한다. 여기서, 제 1 보조전극층(121)이 데이터라인(DL)과 동일층인 경우, 제 1 보조전극층(121)도 함께 형성한다.A conductive layer on the gate insulating layer 112 is patterned to form a data line DL intersecting the gate line GL and source electrodes 163 and drain electrodes 164 overlapping on both sides of the active layer 162. do. Here, when the first auxiliary electrode layer 121 is the same layer as the data line DL, the first auxiliary electrode layer 121 is also formed.

이로써, 게이트전극(161), 액티브층(162), 소스전극(163) 및 드레인전극(164)을 포함하는 박막트랜지스터(TFT)가 형성된다.Accordingly, a thin film transistor (TFT) including a gate electrode 161, an active layer 162, a source electrode 163, and a drain electrode 164 is formed.

도 11b에 도시한 바와 같이, 게이트절연막(112) 상의 전면에 박막트랜지스터(TFT) 및 제 1 보조전극층(121)을 덮는 오버코트층(113)을 형성한다. (S120)11B, an overcoat layer 113 covering the thin film transistor (TFT) and the first auxiliary electrode layer 121 is formed on the entire surface of the gate insulating layer 112. (S120)

도 11c에 도시한 바와 같이, 오버코트층(113)을 패터닝하여, 메인콘택홀(CT1)과 보조콘택홀(CT2)을 형성한다. (S130)11C, the overcoat layer 113 is patterned to form a main contact hole CT1 and an auxiliary contact hole CT2. (S130)

메인콘택홀(CT1)은 오버코트층(113)을 관통하여, 소스전극(163)과 드레인전극(164) 중 데이터라인(DL)과 연결되지 않은 어느 하나의 일부를 노출한다. The main contact hole CT1 penetrates the overcoat layer 113 to expose a portion of the source electrode 163 and the drain electrode 164 that is not connected to the data line DL.

보조콘택홀(CT2)은 적어도 오버코트층(113)을 관통하여 제 1 보조전극층(121)의 일부를 노출한다. 여기서, 제 1 보조전극층(121)이 게이트라인(GL)과 동일층, 즉 기판(111) 상에 형성되는 경우, 보조콘택홀(CT2)은 게이트절연막(112)을 더 관통하여 형성된다.The auxiliary contact hole CT2 penetrates at least the overcoat layer 113 to expose a portion of the first auxiliary electrode layer 121. Here, when the first auxiliary electrode layer 121 is formed on the same layer as the gate line GL, that is, on the substrate 111, the auxiliary contact hole CT2 is further formed through the gate insulating layer 112.

도 11d에 도시한 바와 같이, 오버코트층(113) 상의 도전층을 패터닝하여, 제 1 전극(131)을 형성한다. (S140)11D, the conductive layer on the overcoat layer 113 is patterned to form the first electrode 131. (S140)

제 1 전극(131)은 각 화소영역(PA)의 발광영역(EA)에 형성되고, 메인콘택홀(CT1)을 통해 박막트랜지스터(TFT)와 연결된다.The first electrode 131 is formed in the emission area EA of each pixel area PA, and is connected to the thin film transistor TFT through the main contact hole CT1.

그리고, 보조전극(120)이 제 1 전극(131)과 동일층에 형성되는 제 2 보조전극층(122)을 더 포함하는 경우, 제 1 전극(131)을 형성하는 단계(S140)에서 제 2 보조전극층(122)을 더 형성한다.In addition, when the auxiliary electrode 120 further includes a second auxiliary electrode layer 122 formed on the same layer as the first electrode 131, the second auxiliary in the step of forming the first electrode 131 (S140 ). The electrode layer 122 is further formed.

제 2 보조전극층(122)은 비발광영역(NEA)에 형성되고, 보조콘택홀(CT2)을 통해 제 1 보조전극층(121)의 적어도 일부 상에 오버랩한다.The second auxiliary electrode layer 122 is formed in the non-emission area NEA and overlaps on at least a portion of the first auxiliary electrode layer 121 through the auxiliary contact hole CT2.

이로써, 보조콘택홀(CT2)을 통해 상호 연결되는 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122)을 포함하는 보조전극(120)이 형성된다.Thus, the auxiliary electrodes 120 including the first and second auxiliary electrode layers 121 and 122 interconnected through the auxiliary contact hole CT2 are formed.

도 11e에 도시한 바와 같이, 오버코트층(113) 상의 발광영역(EA) 외곽에 제 1 전극(131)의 테두리 상에 오버랩하는 뱅크(132)를 형성한다. (S150) 여기서, 뱅크(132)는 제 2 보조전극층(122)의 테두리 상에 더 오버랩할 수 있다.As shown in FIG. 11E, an overlapping bank 132 is formed on the edge of the first electrode 131 on the outer side of the emission area EA on the overcoat layer 113. (S150) Here, the bank 132 may further overlap on the edge of the second auxiliary electrode layer 122.

도 11f에 도시한 바와 같이, 오버코트층(113) 상의 전면에 유기층(133)을 형성한다. (S160) As shown in FIG. 11F, an organic layer 133 is formed on the entire surface of the overcoat layer 113. (S160)

이때, 유기층(133)은 제 1 전극(131), 뱅크(132) 및 보조전극(120) 각각을 덮는다.At this time, the organic layer 133 covers each of the first electrode 131, the bank 132, and the auxiliary electrode 120.

더불어, 유기층(133)을 형성하는 단계(S160)는 진공챔버 내에서 실시된다.In addition, the step of forming the organic layer 133 (S160) is performed in a vacuum chamber.

도 11g에 도시한 바와 같이, 유기층(133) 상의 전면에 제 2 전극(134)을 형성한다. (S170)11G, the second electrode 134 is formed on the entire surface of the organic layer 133. (S170)

도 11h에 도시한 바와 같이, 제 2 전극(134)에 대향하는 밀봉층(150)을 형성한다. (S180)11H, a sealing layer 150 facing the second electrode 134 is formed. (S180)

이와 같이 밀봉층(150)을 형성한 후, 제조물을 진공챔버 밖으로 이송한다.After forming the sealing layer 150 in this way, the product is transferred out of the vacuum chamber.

이어서, 도 11i에 도시한 바와 같이, 기판(111) 배면에 출광되어 기판(111)을 투과한 레이저(LASER)를 보조전극(120)에 조사하여, 보조전극(120)을 제 2 전극(134)으로 확산시켜서, 콘택웰딩(140)을 형성한다. (S190)Subsequently, as illustrated in FIG. 11I, the secondary electrode 120 is irradiated with the laser LASER that is emitted on the rear surface of the substrate 111 and passes through the substrate 111, and the secondary electrode 120 is applied to the second electrode 134. ) To form contact welding 140. (S190)

이때, 콘택웰딩(140)에 의해, 보조전극(120)과 제 2 전극(134)이 상호 연결된다.At this time, the auxiliary electrode 120 and the second electrode 134 are interconnected by the contact welding 140.

이상과 같이, 본원의 일 실시예에 따른 유기발광표시장치의 제조방법은 밀봉층(150)을 형성한 후에(S180), 진공챔버 밖에서, 보조전극(120)과 제 2 전극(134) 사이를 연결하는 콘택웰딩(140)을 형성한다. (S190) 이로써, 유기층(133)의 손상을 방지하면서도, 공정이 더욱 용이해질 수 있다.As described above, the method of manufacturing the organic light emitting display device according to the exemplary embodiment of the present application is after forming the sealing layer 150 (S180), outside the vacuum chamber, between the auxiliary electrode 120 and the second electrode 134. The contact welding 140 to be connected is formed. (S190) Thus, while preventing the damage to the organic layer 133, the process may be easier.

한편, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i는 본원의 제 3 실시예에 따른 유기발광표시장치(100c)를 제조하는 방법을 예시로 들어 설명하고 있으나, 본원은 이에 국한되지 않는다.Meanwhile, FIGS. 10 and 11A to 11I illustrate a method of manufacturing the organic light emitting display device 100c according to the third embodiment of the present application, but the present application is not limited thereto.

구체적으로, 본원의 제 1 실시예에 따른 유기발광표시장치(100a)의 제조방법은 제 1 전극을 형성하는 단계(S140)에서 보조전극층을 형성하지 않는다는 점을 제외하면, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i에 도시한 제 3 실시예와 동일하다.Specifically, the manufacturing method of the organic light emitting display device 100a according to the first embodiment of the present application, except that the auxiliary electrode layer is not formed in the step of forming the first electrode (S140), FIGS. 10 and 11A to This is the same as the third embodiment shown in Fig. 11I.

본원의 제 2 실시예에 따른 유기발광표시장치(100b)의 제조방법은 게이트라인, 게이트절연막 및 데이터라인을 형성하는 단계(S110)에서 보조전극층을 형성하지 않는다는 점을 제외하면, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i에 도시한 제 3 실시예와 동일하다.The manufacturing method of the organic light emitting display device 100b according to the second embodiment of the present application is illustrated in FIGS. 10 and 10, except that the auxiliary electrode layer is not formed in step S110 of forming a gate line, a gate insulating layer, and a data line. It is the same as that of the third embodiment shown in 11a to 11i.

본원의 제 4 실시예에 따른 유기발광표시장치(100d)의 제조방법은 제 1 전극을 형성하는 단계(S140)에서 제 2 보조전극층(122')이 보조콘택홀(CT2)을 통해 노출된 제 1 보조전극층(121)의 일부에 부분적으로 접하도록 형성되고, 콘택웰딩(140)을 형성하는 단계(S190)에서 콘택웰딩(140)이 보조콘택홀(CT2) 내에서 제 1 및 제 2 보조전극층(121, 122')과 제 2 전극(134)가 상호 오버랩하는 영역에 형성된다는 점을 제외하면, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i에 도시한 제 3 실시예와 동일하다.The manufacturing method of the organic light emitting display device 100d according to the fourth embodiment of the present application is a method in which the second auxiliary electrode layer 122' is exposed through the auxiliary contact hole CT2 in step S140 of forming the first electrode. 1 is formed to partially contact the part of the auxiliary electrode layer 121, the contact welding 140 in the step S190 of forming the contact welding 140, the first and second auxiliary electrode layers in the auxiliary contact hole CT2 It is the same as the third embodiment illustrated in FIGS. 10 and 11A to 11I, except that (121, 122') and the second electrode 134 are formed in overlapping regions.

본원의 제 5 실시예에 따른 유기발광표시장치(100e)의 제조방법은 콘택웰딩(140)을 형성하는 단계(S190)에서 콘택웰딩(140)이 보조콘택홀(CT2) 내에서 제 2 보조전극층(122')과 제 2 전극(134)만이 상호 오버랩하는 영역에 형성된다는 점을 제외하면, 제 4 실시예와 동일하다.The manufacturing method of the organic light emitting display device 100e according to the fifth embodiment of the present application includes the second welding electrode 140 in the auxiliary contact hole CT2 in the step S190 of forming the contact welding 140. It is the same as the fourth embodiment, except that only the 122' and the second electrode 134 are formed in overlapping regions.

본원의 제 6 실시예에 따른 유기발광표시장치(100f)의 제조방법은 게이트라인, 게이트절연막 및 데이터라인을 형성하는 단계(S110)에서 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b)을 형성하고, 게이트절연막을 형성한 후에 제 1 보조전극층(121a)의 일부를 노출하는 프리콘택홀(CT3)을 형성한다는 점을 제외하면, 도 10 및 도 11a 내지 도 11i에 도시한 제 3 실시예와 동일하다.The manufacturing method of the organic light emitting display device 100f according to the sixth embodiment of the present application forms the first and third auxiliary electrode layers 121a and 121b in step S110 of forming a gate line, a gate insulating layer, and a data line. , Except for forming a pre-contact hole CT3 exposing a portion of the first auxiliary electrode layer 121a after forming the gate insulating film, the same as the third embodiment shown in FIGS. 10 and 11A to 11I Do.

본원의 제 7 실시예에 따른 유기발광표시장치(100g)의 제조방법은 콘택웰딩(140)을 형성하는 단계(S190)에서 콘택웰딩(140)이 보조콘택홀(CT2)의 주변에서 제 2 보조전극층(122)과 제 2 전극(134)이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 점을 제외하면, 제 6 실시예와 동일하다.In the manufacturing method of the organic light emitting display device 100g according to the seventh embodiment of the present application, in the step of forming the contact welding 140 (S190), the contact welding 140 assists the second in the vicinity of the auxiliary contact hole CT2. It is the same as the sixth embodiment except that the electrode layer 122 and the second electrode 134 are formed in regions overlapping each other.

그리고, 본원의 제 8 실시예에 따른 유기발광표시장치(100h)의 제조방법은 보조콘택홀을 형성하는 단계(S130)에서, 제 1 및 제 3 보조전극층(121a, 121b) 각각의 일부를 노출하는 제 1 및 제 2 보조콘택홀(CT2', CT2)을 형성한다는 점을 제외하면, 제 7 실시예와 동일하다.In addition, in the manufacturing method of the organic light emitting display device 100h according to the eighth embodiment of the present application, in the step of forming an auxiliary contact hole (S130), a portion of each of the first and third auxiliary electrode layers 121a and 121b is exposed. It is the same as the seventh embodiment except that the first and second auxiliary contact holes CT2' and CT2 are formed.

이에, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Therefore, redundant description will be omitted.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications and changes are possible within the scope of the present invention without departing from the technical spirit of the present invention. It will be obvious to those who have the knowledge of

100, 100a~100h: 유기발광표시장치
GL: 게이트라인 DL: 데이터라인
TFT: 박막트랜지스터 ED: 유기발광소자
PA: 화소영역 EA: 발광영역
NEA: 비발광영역
111: 기판 112: 게이트절연막
113: 오버코트층 120: 보조전극
121, 121a: 제 1 보조전극층층
121b: 제 3 보조전극층
122, 122': 제 2 보조전극
CT1: 메인콘택홀 CT2: 보조콘택홀
131: 제 1 전극 132: 뱅크
133: 유기층 134: 제 2 전극
140: 콘택웰딩 150: 밀봉층
100, 100a~100h: organic light emitting display device
GL: Gate line DL: Data line
TFT: Thin film transistor ED: Organic light emitting device
PA: Pixel area EA: Light emitting area
NEA: Non-emission area
111: substrate 112: gate insulating film
113: overcoat layer 120: auxiliary electrode
121, 121a: first auxiliary electrode layer layer
121b: third auxiliary electrode layer
122, 122': second auxiliary electrode
CT1: Main contact hole CT2: Secondary contact hole
131: first electrode 132: bank
133: organic layer 134: second electrode
140: contact welding 150: sealing layer

Claims (16)

표시영역에서, 발광영역과 비발광영역을 각각 포함하는 복수의 화소영역이 정의되는 유기발광표시장치에 있어서,
기판;
상기 기판 상에서 게이트 절연막을 사이에 두고 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인;
상기 기판 상에서 상기 화소영역에 배치되는 박막트랜지스터;
상기 기판 상에서 상기 박막트랜지스터를 덮는 오버코트층;
상기 기판 상에서 상기 비발광영역에 배치되는 보조전극;
상기 오버코트층 상의 상기 발광영역에 배치되는 제 1 전극;
상기 제 1 전극 및 상기 보조전극 상에 배치되는 유기층;
상기 유기층 상에 배치되는 제 2 전극; 및
상기 유기층을 관통하여 상기 보조전극과 상기 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 포함하고;
상기 보조 전극은
상기 오버코트층의 아래에 배치되는 제 1 보조전극층과,
상기 오버코트층 상에 배치되고 상기 오버코트층을 관통하는 보조콘택홀을 통해 상기 제 1 보조전극층과 연결되는 제 2 보조전극층을 포함하고,
상기 제 2 보조전극층은 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인과 오버랩하는 매트릭스 구조를 갖고 상기 게이트 라인보다 넓으며 상기 데이터 라인보다 넓은 폭을 갖는 유기발광표시장치.
In the organic light emitting display device in which a plurality of pixel areas each including a light emitting area and a non-light emitting area are defined in the display area,
Board;
A gate line and a data line intersecting the gate insulating film on the substrate;
A thin film transistor disposed in the pixel area on the substrate;
An overcoat layer covering the thin film transistor on the substrate;
An auxiliary electrode disposed on the substrate on the non-emission region;
A first electrode disposed in the light emitting region on the overcoat layer;
An organic layer disposed on the first electrode and the auxiliary electrode;
A second electrode disposed on the organic layer; And
And contact welding penetrating the organic layer to connect between the auxiliary electrode and the second electrode;
The auxiliary electrode
A first auxiliary electrode layer disposed under the overcoat layer,
A second auxiliary electrode layer disposed on the overcoat layer and connected to the first auxiliary electrode layer through an auxiliary contact hole penetrating the overcoat layer,
The second auxiliary electrode layer has a matrix structure overlapping the gate line and the data line, and is an organic light emitting display device having a wider width than the gate line and a wider width than the data line.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 보조전극층은 상기 게이트라인과 상기 데이터라인 중 어느 하나의 신호라인과 동일층에 배치되고,
상기 제 2 보조전극층은 상기 제 1 전극과 동일층에 배치되며;
상기 콘택웰딩은 상기 유기층과 접하는 상기 제 1 보조전극층 및 상기 제 2 보조전극층 중 어느 하나와 상기 제 2 전극을 연결하는 유기발광표시장치.
According to claim 1,
The first auxiliary electrode layer is disposed on the same layer as any one of the gate line and the data line,
The second auxiliary electrode layer is disposed on the same layer as the first electrode;
The contact welding is an organic light emitting display device that connects any one of the first auxiliary electrode layer and the second auxiliary electrode layer and the second electrode contacting the organic layer.
제 2 항에 있어서,
상기 오버코트층을 관통하는 상기 보조콘택홀 내에서, 상기 제 1 보조전극층과 접하는 상기 제 2 보조전극층과, 상기 유기층과, 상기 제 2 전극이 적층되어 상호 오버랩하는 유기발광표시장치.
According to claim 2,
An organic light emitting display device in which the second auxiliary electrode layer contacting the first auxiliary electrode layer, the organic layer, and the second electrode are stacked and overlap each other in the auxiliary contact hole penetrating the overcoat layer.
제 3 항에 있어서,
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀 내에서, 상기 유기층이 접하는 상기 제 2 보조전극층과 상기 제 2 전극을 연결하는 유기발광표시장치.
The method of claim 3,
The contact welding is an organic light emitting display device that connects the second auxiliary electrode layer and the second electrode, which are in contact with the organic layer, in the auxiliary contact hole.
제 3 항에 있어서,
상기 보조콘택홀 내에서 상기 유기층이 상기 제 1 보조전극층 및 상기 제 2 전극과 접하는 부분을 더 포함하고,
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀 내에서 상기 유기층이 접하는 상기 제 1 보조전극층과 상기 제 2 전극을 연결하는 유기발광표시장치.
The method of claim 3,
In the auxiliary contact hole, the organic layer further includes a portion in contact with the first auxiliary electrode layer and the second electrode,
The contact welding is an organic light emitting display device that connects the first auxiliary electrode layer and the second electrode that the organic layer contacts in the auxiliary contact hole.
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
상기 보조콘택홀 내에 위치하는 상기 콘택웰딩과 상기 기판과의 거리는, 상기 제 1 전극이 배치되는 상기 오버코트층의 상면과 상기 기판과의 거리보다 작은 유기발광표시장치.
The method of claim 4 or 5,
The distance between the contact welding and the substrate positioned in the auxiliary contact hole is less than the distance between the upper surface of the overcoat layer on which the first electrode is disposed and the substrate.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 보조전극층은 상기 게이트라인과 동일층에, 상기 게이트라인과 평행한 라인 패턴으로 형성되고,
상기 보조전극은
상기 데이터라인과 동일층에 형성되고, 상기 게이트절연막을 관통하는 프리콘택홀을 통해 상기 제 1 보조전극층과 연결되는 제 3 보조전극층을 더 포함하며,
상기 제 2 보조전극층은 상기 보조콘택홀을 통해 상기 제 3 보조전극층의 적어도 일부 상에 접하는 유기발광표시장치.
The method of claim 3,
The first auxiliary electrode layer is formed on the same layer as the gate line, in a line pattern parallel to the gate line,
The auxiliary electrode
A third auxiliary electrode layer formed on the same layer as the data line and connected to the first auxiliary electrode layer through a pre-contact hole penetrating the gate insulating layer,
The second auxiliary electrode layer is an organic light emitting display device in contact with at least a portion of the third auxiliary electrode layer through the auxiliary contact hole.
제 7 항에 있어서,
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀에 의해 상기 제 3 보조전극층의 일부가 노출되는 영역 내에서, 상기 제 1, 제 2 및 제 3 보조전극층과 상기 제 2 전극이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 유기발광표시장치.
The method of claim 7,
The contact welding is an organic emission formed in an area where a portion of the third auxiliary electrode layer is exposed by the auxiliary contact hole, and the first, second and third auxiliary electrode layers and the second electrode overlap each other. Display device.
제 7 항에 있어서,
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀 주변에서, 상기 제 2 보조전극층과 상기 제 2 전극이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 유기발광표시장치.
The method of claim 7,
The contact welding is an organic light emitting display device formed around an area of the auxiliary contact hole, in a region where the second auxiliary electrode layer and the second electrode overlap each other.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 보조전극층은 상기 게이트라인과 동일층에, 상기 게이트라인과 평행한 라인 패턴으로 형성되고,
상기 보조전극은
상기 데이터라인과 동일층에, 상기 데이터라인과 평행한 라인 패턴으로 형성되는 제 3 보조전극층을 더 포함하며,
상기 제 2 보조전극층은 상기 게이트절연막과 상기 오버코트층을 관통하는 제 1 보조콘택홀을 통해 상기 제 1 보조전극층의 적어도 일부 상에 접하고, 상기 오버코트층을 관통하는 제 2 보조콘택홀을 통해 상기 제 3 보조전극층의 적어도 일부 상에 접하며,
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀 주변에서, 상기 제 2 보조전극층과 상기 제 2 전극이 상호 오버랩하는 영역에 형성되는 유기발광표시장치.
The method of claim 3,
The first auxiliary electrode layer is formed on the same layer as the gate line, in a line pattern parallel to the gate line,
The auxiliary electrode
On the same layer as the data line, further comprising a third auxiliary electrode layer formed in a line pattern parallel to the data line,
The second auxiliary electrode layer contacts the at least a portion of the first auxiliary electrode layer through a first auxiliary contact hole passing through the gate insulating layer and the overcoat layer, and the second auxiliary electrode layer passes through the second auxiliary contact hole passing through the overcoat layer. 3 abutting on at least a portion of the auxiliary electrode layer,
The contact welding is an organic light emitting display device formed around an area of the auxiliary contact hole, in a region where the second auxiliary electrode layer and the second electrode overlap each other.
삭제delete 표시영역에서, 발광영역과 비발광영역을 각각 포함하는 복수의 화소영역이 정의되는 유기발광표시장치를 제조하는 방법에 있어서,
기판 상에 게이트라인을 형성하고, 기판 상의 전면에 게이트절연막을 형성하며, 게이트절연막 상에 데이터라인을 형성하고, 상기 화소영역에 박막트랜지스터를 형성하고, 상기 비발광영역에 제 1 보조전극층을 형성하는 단계;
상기 게이트절연막 상에 상기 데이터라인과 상기 박막트랜지스터와 상기 제 1 보조전극층을 덮는 오버코트층을 형성하는 단계;
적어도 상기 오버코트층을 관통하는 메인콘택홀 및 보조콘택홀을 형성하는 단계;
상기 오버코트층 상의 상기 발광영역에 상기 메인콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터와 연결되는 제 1 전극을 형성하고, 상기 오버코트층 상의 상기 비발광영역에 상기 보조콘택홀을 통해 상기 제 1 보조전극층과 연결되는 제 2 보조전극층을 형성하는 단계;
상기 오버코트층 상에 상기 제 1 전극의 테두리에 오버랩하고 상기 제 2 보조전극층의 일부와 오버랩하는 뱅크를 형성하는 단계;
상기 오버코트층 상에 상기 제 1 전극과 상기 뱅크와 상기 제 2 보조전극층을 덮는 유기층을 형성하는 단계;
상기 유기층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계;
상기 제 2 전극에 대향하는 밀봉층을 형성하는 단계; 및
상기 제 1 보조전극층 및 상기 제 2 보조전극층을 포함하는 보조전극의 적어도 일부에 레이저를 조사하여, 상기 유기층을 관통하여 상기 보조전극과 상기 제 2 전극 사이를 연결하는 콘택웰딩을 형성하는 단계를 포함하고;
상기 제 2 보조전극층은 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인과 오버랩하는 매트릭스 구조를 갖고 상기 게이트 라인보다 넓으며 상기 데이터 라인보다 넓은 폭을 갖는 유기발광표시장치의 제조방법.
A method for manufacturing an organic light emitting display device in which a plurality of pixel areas each including a light emitting area and a non-light emitting area are defined in a display area,
A gate line is formed on the substrate, a gate insulating film is formed on the entire surface of the substrate, a data line is formed on the gate insulating film, a thin film transistor is formed in the pixel region, and a first auxiliary electrode layer is formed in the non-emission region. To do;
Forming an overcoat layer covering the data line, the thin film transistor, and the first auxiliary electrode layer on the gate insulating layer;
Forming at least a main contact hole and an auxiliary contact hole penetrating the overcoat layer;
A first electrode connected to the thin film transistor is formed in the light emitting region on the overcoat layer through the main contact hole, and the first auxiliary electrode layer is connected to the non-emission region on the overcoat layer through the auxiliary contact hole. Forming a second auxiliary electrode layer;
Forming a bank on the overcoat layer that overlaps a rim of the first electrode and overlaps a portion of the second auxiliary electrode layer;
Forming an organic layer on the overcoat layer to cover the first electrode, the bank, and the second auxiliary electrode layer;
Forming a second electrode on the organic layer;
Forming a sealing layer facing the second electrode; And
And irradiating a laser to at least a portion of the auxiliary electrode including the first auxiliary electrode layer and the second auxiliary electrode layer to form a contact welding that penetrates the organic layer and connects between the auxiliary electrode and the second electrode. and;
The second auxiliary electrode layer has a matrix structure overlapping the gate line and the data line, and has a wider width than the gate line and a wider width than the data line.
제 12 항에 있어서,
상기 제 1 보조전극층은 상기 게이트라인과 데이터라인 중 어느 하나의 신호라인과 동일층에 형성되고,
상기 콘택웰딩은 상기 유기층과 접하는 상기 제 1 보조전극층 및 상기 제 2 보조전극층 중 어느 하나와 상기 제 2 전극을 연결하는 유기발광표시장치의 제조방법.
The method of claim 12,
The first auxiliary electrode layer is formed on the same layer as any one of the gate line and the data line,
The contact welding is a method of manufacturing an organic light emitting display device connecting any one of the first auxiliary electrode layer and the second auxiliary electrode layer and the second electrode in contact with the organic layer.
제 13 항에 있어서,
상기 오버코트층을 관통하는 상기 보조콘택홀 내에서, 상기 제 1 보조전극층과 접하는 상기 제 2 보조전극층과, 상기 유기층과, 상기 제 2 전극이 적층되어 상호 오버랩하는 유기발광표시장치의 제조방법.
The method of claim 13,
A method of manufacturing an organic light emitting display device in which the second auxiliary electrode layer, the organic layer, and the second electrode overlap with each other in the auxiliary contact hole penetrating the overcoat layer, in contact with the first auxiliary electrode layer.
제 14 항에 있어서,
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀 내에서, 상기 유기층이 접하는 상기 제 2 보조전극층과 상기 제 2 전극을 연결하는 유기발광표시장치의 제조방법.
The method of claim 14,
The contact welding is a method of manufacturing an organic light emitting display device that connects the second auxiliary electrode layer and the second electrode, which are in contact with the organic layer, in the auxiliary contact hole.
제 12 항에 있어서,
상기 보조콘택홀 내에서 상기 유기층이 상기 제 1 보조전극층 및 상기 제 2 전극과 접하는 부분을 더 포함하고,
상기 콘택웰딩은 상기 보조콘택홀 내에서 상기 유기층이 접하는 상기 제 1 보조전극층과 상기 제 2 전극을 연결하는 유기발광표시장치의 제조방법.
The method of claim 12,
In the auxiliary contact hole, the organic layer further includes a portion in contact with the first auxiliary electrode layer and the second electrode,
The contact welding is a method of manufacturing an organic light emitting display device that connects the first auxiliary electrode layer and the second electrode that the organic layer contacts in the auxiliary contact hole.
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