KR20140139225A - 단층 또는 다층 단층 또는 다층 반사체 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 단위섬광체(10)의 표면에 반사체(12)를 증착하기 위한 단층 또는 다층 반사체 증착장치에 관한 것으로, 본 발명은 구동원과 연결되는 메인회전축(100)과, 상기 메인회전축(100)에 연결되어 회전되고 상기 메인회전축(100)으로부터 경사진 방향으로 연장되는 종동회전축(150)을 중심으로 증착공간 내부에서 회전되며 적어도 하나 이상의 단위섬광체(10)를 고정하는 고정어셈블리(300)를 포함하여 구성되고, 상기 고정어셈블리(300)는 상기 종동회전축(150)을 중심으로 회전되고 상기 단위섬광체(10)의 진동을 방지하기 위한 완충장치(400)가 구비되며, 상기 단위섬광체(10)에는 금속 또는 금속산화물의 반사체(12)가 단층 혹은 다층의 박막형태로 직접 증착하여 구성된다. 이와 같은 본 발명에서는 단위섬광체(10)를 고정하는 고정어셈블리(300)가 증착장치 내부에서 회전되면서 증착이 이루어지므로, 단위섬광체(10) 외면에 증착되는 반사체(12)의 균일도가 향상되고, 결과적으로 방사선 측정 모듈의 완성도가 높아지는 장점이 있다.

Description

단층 또는 다층 단층 또는 다층 반사체 증착장치 및 이를 이용한 방사선 측정 모듈{Thin film deposition device and radiation detected module using this}
본 발명은 박막 방사선 검출모듈을 제작하기 위한 코팅증착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내부에서 단위섬광체를 회전시키며 그 표면에 반사체를 증착시키는 단층 또는 다층 반사체 증착장치에 관한 것이다.
방사선 검출을 위한 모듈에는 섬광체가 이용되는데, 섬광체(Scintillator)는 높은 유효원자번호로 이루어진 무기섬광체(Inorganic scintillator)와 낮은 원자번호로 이루어진 유기섬광체(Organic scintillator)로 나누어진다.
무기섬광체는 에너지가 높고 투과력이 강한 감마선(Gamma ray)의 검출에 유리하고 유기섬광체는 투과력이 낮은 알파선(Alpha ray), 베타선(Beta ray)의 검출에 주로 사용이 된다.
그리고, 무기섬광체를 사용한 방사선 검출기는 갑상선, 유방암 등 인체의 종양을 진단할 때 쓰이는 감마카메라와 인체의 생리, 화학적 기능적 영상을 3차원으로 나타낼 수 있는 양전자단층촬영기기(PET, Positron Emission Thomography) 등의 의료분야, 보안검사, 유전탐사, 원자력발전소 방사선량 측정, 환경방사선량 측정 등 산업분야, 입자 및 천체물리 등 기초과학 연구 분야 등에서 다양하게 응용되어 사용되고 있다.
그러나 현대 의·과학 기술에서는 더 높은 방사선 에너지 검출 효율 및 에너지 분해능, 정확하고 빠른 방사선 영상 이미지의 획득이 요구되며 그에 따른 방사선 측정 모듈의 고집적화·소형화 개발 및 다품종 대량생산 기술이 필요하다.
방사선 측정 모듈의 고집적화·소형화를 현실화하기 위해서는 크기가 작은 다량의 단위 섬광체(Scintillator)를 도 1과 같이 격자구조로 배열해야 하기 때문에 얇고 높은 반사율을 갖는 반사체를 사용해야 하며, 또한 이러한 반사체를 사용한 섬광체 배열모듈을 대량생산 하기 위해서는 단위 섬광체 표면에 반사효율이 뛰어난 금속 혹은 금속산화물 등의 물질을 진공증착 장비를 사용하여 박막 코팅을 해야 한다.
그리고 이러한 박막코팅을 위해서 진공증착(Vacuum evaporation, 眞空蒸着) 기술이 널리 사용되고 있다. 일반적으로 진공증착이라 함은 금속 또는 비금속 물질을 진공 속에서 가열하여 그 증기를 물체 표면에 박막 형태로 응착 시키는 일 또는 화학적 방법에 의해 피막을 형성시켜 부착하는 공정 등을 의미한다.
이처럼 하나의 진공 장비 내에서 다량의 증착 시료를 균일한 증착 두께로 유지하며 증착하는 것이 중요한데, 증착 소스의 위치 및 각도에 따라 각각 증착 상태가 달라져 품질이 저하되는 문제점이 있다.
특히, 다수개의 코팅면을 갖는 구조에서는, 섬광체 표면에 반사체를 균일하게 증착하는 것이 더욱 어려운 면이 있다.
그리고, 이와 같이 크기가 작은 다량의 단위 섬광체를 사용한 섬광체 배열모듈의 경우에는 불량 픽셀 발생 시에 전체 모듈을 교체해야 하므로 방사선 측정 모듈의 유지보수성이 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명은 섬광체의 표면을 금속 혹은 금속산화물 반사체를 이용하여 단층 혹은 다층으로 코팅함에 있어서 균일한 코팅이 이루어지도록 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 다수개의 단위섬광체로 구성되는 방사선 측정 모듈 에서 어느 하나의 단위섬광체가 손상된 경우에 손상된 단위섬광체만을 교체가능하도록 하는 것이다.
이와 같은 과제를 해결 하기 위하여, 본 발명은 단위섬광체의 표면에 반사체를 증착하기 위한 단층 또는 다층 반사체 증착장치에 있어서, 구동원과 연결되는 메인회전축과, 상기 메인회전축에 연결되어 회전되고 상기 메인회전축으로부터 경사진 방향으로 연장되는 종동회전축을 중심으로 증착공간 내부에서 회전되며 적어도 하나 이상의 단위섬광체를 고정하는 고정어셈블리를 포함하여 구성되고, 상기 고정어셈블리는 상기 종동회전축을 중심으로 회전되고 상기 단위섬광체의 진동을 방지하기 위한 완충장치가 구비되며, 상기 단위섬광체에는 금속 또는 금속산화물의 반사체가 단층 혹은 다층의 박막형태로 직접 증착하여 구성되고, 상기 단위 섬광체의 표면에 단층 반사체를 박막형태로 증착 코팅하는 경우 상기 반사체는 1～5㎛ 두께의 Al, Au, Ag, Pt, Ti, 또는 Cu 중 어느 하나이며, 상기 단위 섬광체의 표면에 다층 반사체를 박막형태로 증착 코팅하는 경우 상기 반사체는 5～15㎛ 두께의 SiO2, TiO2, MgF2 또는 Al2O3 중 어느 하나이다.
그리고, 상기 완충장치는 하우징과, 상기 하우징 내외부로 입출되고 그 일단이 상기 단위섬광체에 접하는 입출피스톤과, 상기 하우징 내부에 구비되어 상기 입출피스톤에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하여 구성된다.
상기 고정어셈블리는 상기 종동회전축에 연결되는 원판형상의 상부플레이트와, 상기 상부플레이트와 이격되어 구비되는 원판형상의 하부플레이트와, 상기 상부플레이트 및 하부플레이트 사이에 위치되는 단위섬광체의 양단과 상기 상부플레이트 및 하부플레이트를 각각 연결하는 완충장치를 포함하여 구성된다.
상기 메인회전축에는 작동플레이트가 연결되어 회전되고, 상기 고정어셈블리에는 회전플레이트가 구비되며, 상기 작동플레이트와 상기 회전플레이트는 링크부에 의해 연결되어 상기 회전플레이트는 상기 작동플레이트에 연동되어 회전된다.
상기 작동플레이트, 회전플레이트 및 상기 링크부는 서로 맞물리는 기어로 구성된다.
방사선 측정 모듈에 있어서, 상기 방사선 측정 모듈은 각각 독립된 육면체 형상의 단위 섬광체(Scintillator)에 금속 또는 금속산화물의 반사체를 단층 혹은 다층의 박막형태로 직접 증착하여 구성되고, 상기 단위 섬광체의 표면에 단층 반사체를 박막형태로 증착 코팅하는 경우 상기 반사체는 1～5㎛ 두께의 Al, Au, Ag, Pt, Ti, 또는 Cu 중 어느 하나이며, 상기 단위 섬광체의 표면에 다층 반사체를 박막형태로 증착 코팅하는 경우 상기 반사체는 5～15㎛ 두께의 SiO2, TiO2, MgF2 또는 Al2O3 중 어느 하나이고, 상기 단위 섬광체는 단층 또는 다층 반사체 증착장치에 의해 반사체가 증착 코팅되며, 상기 단층 또는 다층 반사체 증착장치는 구동원과 연결되는 메인회전축과, 상기 메인회전축에 연결되어 회전되고 상기 메인회전축으로부터 경사진 방향으로 연장되는 종동회전축을 중심으로 증착공간 내부에서 회전되며 적어도 하나 이상의 단위섬광체를 고정하는 고정어셈블리를 포함하여 구성되고, 상기 고정어셈블리는 상기 종동회전축을 중심으로 회전되고 상기 단위섬광체의 진동을 방지하기 위한 완충장치가 구비된다.
상기 단층 혹은 다층의 반사체가 코팅된 상기 단위 섬광체는 복수개가 서로 인접하도록 배열되어 하나의 방사선 측정 모듈을 구성하며, 상기 단위 섬광체에 증착되는 다층 반사체는 SiO2, TiO2, MgF2 또는 Al2O3 중에서 상대적으로 굴절률이 낮은 SiO2, MgF2 또는 Al2O3과, 상대적으로 굴절률이 높은 TiO2가 번갈아 증착된다.
상기 메인회전축에는 작동플레이트가 연결되어 회전되고, 상기 고정어셈블리에는 회전플레이트가 구비되며, 상기 작동플레이트와 상기 회전플레이트는 링크부에 의해 연결되어 상기 회전플레이트는 상기 작동플레이트에 연동되어 회전된다.
상기 단층 혹은 다층의 반사체가 코팅된 상기 단위 섬광체는 복수개가 서로 인접하도록 배열되어 하나의 방사선 측정 모듈을 구성하며, 상기 단위 섬광체에 증착되는 다층 반사체는 SiO2, TiO2, MgF2 또는 Al2O3 중에서 상대적으로 굴절률이 낮은 SiO2, MgF2 또는 Al2O3과, 상대적으로 굴절률이 높은 TiO2가 번갈아 증착된다.
상기 복수개의 단위 섬광체를 배열하기 위한 배열틀은 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA, Polymethy Methacrylate), 탄소섬유, 알루미늄 중 어느 하나의 재질로 형성된다.
상기 단위 섬광체는 LYSO, LSO, BGO, YAG, CsI:Na, NaI:TI, 또는 CsI:TI 중 어느 하나 또는 복수개로 구성된다.
본 발명에 의한 단층 또는 다층 반사체 증착장치 및 이를 이용한 방사선 측정 모듈에 의하면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.
본 발명에서는 단위섬광체를 고정하는 고정어셈블리가 증착장치 내부에서 회전되면서 증착이 이루어지므로, 단위섬광체 외면에 증착되는 반사체의 균일도가 향상되고, 결과적으로 방사선 측정 모듈의 완성도가 높아지는 효과가 있다.
특히, 일정 각도 경사진 상태로 회전되는 고정어셈블리로 인하여 다수개의 단위섬광체를 하나의 증착장치 내에서 증착작업하더라도 다수개의 단위섬광체의 품질이 균일하게 유지될 수 있다.
그리고, 본 발명에서는 고정어셈블리의 회전과 동시에 각각의 단위섬광체가 개별적으로 회전되므로, 단위섬광체의 모든 외면에 고른 증착이 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에서는 단위 섬광체에 증착되는 반사체 두께를 1～5㎛로 줄이고 90％ 이상의 반사율을 얻을 수 있어, 고분해능 방사선 영상장치에 적합한 방사선 측정 모듈의 제작이 가능하며, 반사체를 섬광체의 5면에 증착함으로써 검출 효율이 증가되는 효과가 있다.
특히, 단위 섬광체에 단층 박막 반사체를 적용할 경우 약 90～92％까지의 반사율을 획득할 수 있고, 다층 박막 반사체를 18층 이상 증착하였을 경우 96％ 이상의 반사율을 갖게 되며 26층 이상 증착하였을 경우 98％ 이상의 반사율을 갖게 된다.
또한, 반사체가 증착된 섬광체를 배열틀에 넣어서 섬광체 모듈을 제작할 경우 제조공정상에 불량률을 낮출 수 있으며 고선량 노출 시 발생하는 방사선 피로, 충격에 의한 파손 등 섬광배열이 변형되어도 손상되지 않은 섬광체를 재사용 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 의한 단층 또는 다층 반사체 증착장치를 이용하여 단위섬광체의 표면에 반사체가 다층 박막 코팅된 모습을 보인 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 단층 또는 다층 반사체 증착장치를 이용하여 제조된 방사선 측정 모듈의 구성을 보인 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 단층 또는 다층 반사체 증착장치의 바람직한 실시예의 구성을 보인 개념도.
도 4는 본 발명에 의한 단층 또는 다층 반사체 증착장치를 구성하는 케이스가 생략된 모습을 보인 개념도.
도 5는 본 발명 실시예를 구성하는 작동플레이트의 구성을 보인 분해도.
도 6은 본 발명 실시예를 구성하는 회전플레이트의 구성을 보인 분해도.
도 7은 본 발명 실시예를 구성하는 링크부의 구성을 보인 분해도.
도 8은 본 발명 실시예를 구성하는 고정어셈블리의 구성을 보인 개념도.
도 9는 본 발명 실시예를 구성하는 완충장치의 구성을 보인 구조도.
도 10은 도 9의 완충장치를 구성하는 입출피스톤 및 탄성부재의 구성을 보인 분해도.
도 1에는 기본섬광체(11) 표면에 단층 또는 다층 반사체 증착장치를 이용하여 금속산화물(SiO2, TiO2, AlO3 등)로된 반사체(12)가 다층으로 박막 코팅된 단위섬광체(10)가 도시되어 있다. 이때, 상기 단위섬광체(10) 표면에는 단층 또는 다층 반사체 증착장치를 이용하여 금속(Al, Au, Ag, Pt, Ti, Cu 등)으로된 단층의 반사체(12)가 박막 증착될 수도 있다.
도 1에서 보듯이, 반사체(12)가 다층인 경우 반사물질은 굴절률이 낮은 물질(MgF2, SiO2, Al2O3)과 굴절률이 높은 물질(TiO2)을 번갈아가며 다층으로 증착하여 고반사율 필름을 형성한다.
그리고, 단층 박막 반사체(12) 코팅 시 금속의 코팅 두께는 가시광선에 대한 표면깊이(Skin Depth)를 계산하여 90～92％의 반사율을 갖게 하며 박막 두께는 1～5㎛로 제작하며, 다층 박막 반사체(12) 코팅 시 96～99％의 반사율을 갖게 하기 위해 18층～26층 이상의 박막을 증착함이 바람직하다.
이때, 단위섬광체(10) 중 GSO(Gd2SiO5, Gadolinium oxyorthsilicate), LuYAP(Ce)((Lux - Y1-x )AlO3(Ce), Cerium doped Lutetium Yttrium Perovskite), LSO(Lu2SiO5,Lutetium Oxyorthosilicate), LYSO(Lu(2-x)YxSiO5, Lutetium Yttrium Orthosilicate)는 18층 이상의 박막을 증착하고 BGO(Bi4Ge3O12, Bismuth germanate), YAG(Ce)(Y3Al5O12, Yttrium aluminium garnet), CsI(TI)(Thallium doped cesium iodide)는 26층 이상의 박막을 증착 하여야 한다. 또한 박막의 총 두께는 10～15㎛가 됨이 바람직하다.
도 2에서 보듯이, 반사체(12)가 코팅된 단위섬광체(10) 들은 어떤 형태로든 복수개의 섬광체가 모여 하나의 배열 섬광체를 형성할 수 있으며, 배열된 단위섬광체(10) 중 불량 섬광체 발생 시 언제든지 쉽게 분해하여 새로운 코팅된 단위섬광체(10)로 교체가 가능하다.
이하에서는 이와 같은 본 발명에 의한 단층 또는 다층 반사체 증착장치를 살펴보기로 한다.
도 3에서 보듯이, 단층 또는 다층 반사체 증착장치는 케이스(C)와 상기 케이스(C) 내부에 위치되는 고정어셈블리(300)를 포함하고, 상기 고정어셈블리(300)는 메인회전축(100)의 회전력을 전달받아 회전되면서 다수개의 단위섬광체(10) 외면에 반사체(12)가 증착될 수 있도록 한다.
보다 구체적으로는, 상기 단층 또는 다층 반사체 증착장치는 회전력을 제공하는 구동원(미도시)과 연결되는 메인회전축(100)과, 상기 메인회전축(100)에 연결되어 회전되고 상기 메인회전축(100)으로부터 경사진 방향으로 연장되는 고정하는 종동회전축(150)을 중심으로 증착공간 내부에서 회전되며 적어도 하나 이상의 단위섬광체(10)를 고정어셈블리(300)를 포함하여 구성된다.
여기서 상기 고정어셈블리(300)는 상기 종동회전축(150)을 중심으로 회전되고 상기 단위섬광체(10)의 진동을 방지하기 위한 완충장치(400)가 구비되는데, 이는 아래에서 다시 상세하게 설명하기로 한다.
상기 고정어셈블리(300)는 상기 종동회전축(150)에 연결되는 원판형상의 상부플레이트(310)와, 상기 상부플레이트(310)와 이격되어 구비되는 원판형상의 하부플레이트(320), 그리고 상기 상부플레이트(310) 및 하부플레이트(320) 사이에 위치되는 완충장치(400)를 포함한다.
상기 상부플레이트(310)와 하부플레이트(320) 사이에는 다수개의 단위섬광체(10)가 위치하여 상기 고정어셈블리(300)와 함께 회전하게 되며, 경우에 따라 상기 메인회전축(100)의 회전력을 전달받아 각각의 단위섬광체(10)가 독립적으로 회전될 수도 있다.
한편, 상기 메인회전축(100)에는 작동플레이트(130)가 연결되어 회전되고, 상기 고정어셈블리(300)에는 회전플레이트(160)가 구비되며, 상기 작동플레이트(130)와 상기 회전플레이트(160)는 링크부(200)에 의해 연결되어 상기 회전플레이트(160)는 상기 작동플레이트(130)에 연동되어 회전된다.
그리고, 상기 작동플레이트(130), 회전플레이트(160) 및 상기 링크부(200)는 서로 맞물리는 기어로 구성될 수 있다. 보다 정확하게는, 도 5 내지 도 7에서 보듯이, 상기 작동플레이트(130)는 작동축(120)을 회전중심으로 회전되고, 상기 회전플레이트(160)는 종동축(150)을 중심으로 경사지게 회전되며, 이들 사이는 링크부(200)에 의해 연결된다.
여기서, 상기 링크부(200)는 링크축(210)을 회전중심으로 하여 각각 제1기어부(220)와 제2기어부(230)를 포함한다. 상기 제1기어부(220)는 상기 작동플레이트(130)와 맞물리고, 상기 제2기어부(230)는 상기 회전플레이트(160)와 맞물려, 이들 사이에 회전력을 전달하게 된다. 미설명부호 170 및 180은 보호캡부를 나타낸다.
이와 같은 구조를 통하여, 메인회전축(100)은 고정어셈블리(300)를 포함하는 전체 구조를 회전시키게 되고, 고정어셈블리(300)는 상기 작동플레이트(130), 회전플레이트(160) 및 상기 링크부(200)의 연동을 통해 독자적으로 회전(자전)하면서 단위섬광체(10)에 증착이 이루어질 수 있도록 한다.
한편, 상기 완충장치(400)는 상기 단위섬광체(10)의 양단과 상기 상부플레이트(310) 및 하부플레이트(320)를 각각 연결하여 완충기능을 수행한다. 도 9 및 도 10에서 보듯이, 상기 완충장치(400)는 하우징(410)과, 상기 하우징(410) 내외부로 입출되고 그 일단이 상기 단위섬광체(10)에 접하는 입출피스톤(430), 그리고 상기 하우징(410) 내부에 구비되어 상기 입출피스톤(430)에 탄성력을 제공하는 탄성부재(480)를 포함하여 구성된다. 본 발명 실시예에서 상기 탄성부재(480)는 스프링으로 구성된다.
그리고, 상기 입출피스톤(430)에는 탄성부재(480)가 걸어지는 스토퍼(438)가 구비되며, 상기 입출피스톤(430)의 일단에 형성된 헤드부(435)에는 상기 단위섬광체(10)가 결합된다.
이와 같은 완충장치(400)는 외부의 충격이나 고정어셈블리(300)의 회전과정에서 발생될 수 있는 외력이 상기 단위섬광체(10)에 전달되는 것을 방지하여 안정적이고 정교한 증착이 이루어질 수 있도록 한다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
10: 단위섬광체 100: 메인회전축
300: 고정어셈블리 400: 완충장치

Claims (10)

  1. 단위섬광체의 표면에 반사체를 증착하기 위한 단층 또는 다층 반사체 증착장치에 있어서,
    구동원과 연결되는 메인회전축과,
    상기 메인회전축에 연결되어 회전되고 상기 메인회전축으로부터 경사진 방향으로 연장되는 종동회전축을 중심으로 증착공간 내부에서 회전되며 적어도 하나 이상의 단위섬광체를 고정하는 고정어셈블리를 포함하여 구성되고,
    상기 고정어셈블리는 상기 종동회전축을 중심으로 회전되고 상기 단위섬광체의 진동을 방지하기 위한 완충장치가 구비되며,
    상기 단위섬광체에는 금속 또는 금속산화물의 반사체가 단층 혹은 다층의 박막형태로 직접 증착하여 구성되고,
    상기 단위 섬광체의 표면에 단층 반사체를 박막형태로 증착 코팅하는 경우 상기 반사체는 1～5㎛ 두께의 Al, Au, Ag, Pt, Ti, 또는 Cu 중 어느 하나이며,
    상기 단위 섬광체의 표면에 다층 반사체를 박막형태로 증착 코팅하는 경우 상기 반사체는 5～15㎛ 두께의 SiO2, TiO2, MgF2 또는 Al2O3 중 어느 하나임을 특징으로 하는 단층 또는 다층 반사체 증착장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 완충장치는
    하우징과,
    상기 하우징 내외부로 입출되고 그 일단이 상기 단위섬광체에 접하는 입출피스톤과,
    상기 하우징 내부에 구비되어 상기 입출피스톤에 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 단층 또는 다층 반사체 증착장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 고정어셈블리는
    상기 종동회전축에 연결되는 원판형상의 상부플레이트와,
    상기 상부플레이트와 이격되어 구비되는 원판형상의 하부플레이트와,
    상기 상부플레이트 및 하부플레이트 사이에 위치되는 단위섬광체의 양단과 상기 상부플레이트 및 하부플레이트를 각각 연결하는 완충장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 단층 또는 다층 반사체 증착장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 메인회전축에는 작동플레이트가 연결되어 회전되고, 상기 고정어셈블리에는 회전플레이트가 구비되며, 상기 작동플레이트와 상기 회전플레이트는 링크부에 의해 연결되어 상기 회전플레이트는 상기 작동플레이트에 연동되어 회전됨을 특징으로 하는 단층 또는 다층 반사체 증착장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 작동플레이트의 회전과 동시에, 상기 작동플레이트와 상기 회전플레이트의 연동을 통해 상기 각각의 단위섬광체는 개별적으로 회전됨을 특징으로 하는 단층 또는 다층 반사체 증착장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 작동플레이트, 회전플레이트 및 상기 링크부는 서로 맞물리는 기어로 구성됨을 특징으로 하는 단층 또는 다층 반사체 증착장치.
  7. 방사선 측정 모듈에 있어서,
    상기 방사선 측정 모듈은 각각 독립된 육면체 형상의 단위 섬광체(Scintillator)에 금속 또는 금속산화물의 반사체를 단층 혹은 다층의 박막형태로 직접 증착하여 구성되고,
    상기 단위 섬광체의 표면에 단층 반사체를 박막형태로 증착 코팅하는 경우 상기 반사체는 1～5㎛ 두께의 Al, Au, Ag, Pt, Ti, 또는 Cu 중 어느 하나이며,
    상기 단위 섬광체의 표면에 다층 반사체를 박막형태로 증착 코팅하는 경우 상기 반사체는 5～15㎛ 두께의 SiO2, TiO2, MgF2 또는 Al2O3 중 어느 하나이고,
    상기 단위 섬광체는 단층 또는 다층 반사체 증착장치에 의해 반사체가 증착 코팅되며,
    상기 단층 또는 다층 반사체 증착장치는
    구동원과 연결되는 메인회전축과,
    상기 메인회전축에 연결되어 회전되고 상기 메인회전축으로부터 경사진 방향으로 연장되는 종동회전축을 중심으로 증착공간 내부에서 회전되며 적어도 하나 이상의 단위섬광체를 고정하는 고정어셈블리를 포함하여 구성되고,
    상기 고정어셈블리는 상기 종동회전축을 중심으로 회전되고 상기 단위섬광체의 진동을 방지하기 위한 완충장치가 구비됨을 특징으로 하는 방사선 측정 모듈.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 단층 혹은 다층의 반사체가 코팅된 상기 단위 섬광체는 복수개가 서로 인접하도록 배열되어 하나의 방사선 측정 모듈을 구성하며,
    상기 단위 섬광체에 증착되는 다층 반사체는 SiO2, TiO2, MgF2 또는 Al2O3 중에서 상대적으로 굴절률이 낮은 SiO2, MgF2 또는 Al2O3과, 상대적으로 굴절률이 높은 TiO2가 번갈아 증착됨을 특징으로 하는 방사선 측정 모듈.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 메인회전축에는 작동플레이트가 연결되어 회전되고, 상기 고정어셈블리에는 회전플레이트가 구비되며, 상기 작동플레이트와 상기 회전플레이트는 링크부에 의해 연결되어 상기 회전플레이트는 상기 작동플레이트에 연동되어 회전됨을 특징으로 하는 방사선 측정 모듈.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 단위 섬광체는 LYSO, LSO, BGO, YAG, CsI:Na, NaI:TI, 또는 CsI:TI 중 어느 하나 또는 복수개로 구성됨을 특징으로 하는 방사선 측정 모듈.
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