KR20140132877A - 동축 조명 장치 - Google Patents

동축 조명 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20140132877A
KR20140132877A KR1020130051985A KR20130051985A KR20140132877A KR 20140132877 A KR20140132877 A KR 20140132877A KR 1020130051985 A KR1020130051985 A KR 1020130051985A KR 20130051985 A KR20130051985 A KR 20130051985A KR 20140132877 A KR20140132877 A KR 20140132877A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
led
coaxial
target object
variable resistor
coaxial illumination
Prior art date
Application number
KR1020130051985A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101803791B1 (ko
Inventor
이춘곤
Original Assignee
삼성테크윈 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성테크윈 주식회사 filed Critical 삼성테크윈 주식회사
Priority to KR1020130051985A priority Critical patent/KR101803791B1/ko
Publication of KR20140132877A publication Critical patent/KR20140132877A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101803791B1 publication Critical patent/KR101803791B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21K—NON-ELECTRIC LIGHT SOURCES USING LUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING ELECTROCHEMILUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING CHARGES OF COMBUSTIBLE MATERIAL; LIGHT SOURCES USING SEMICONDUCTOR DEVICES AS LIGHT-GENERATING ELEMENTS; LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21K9/00—Light sources using semiconductor devices as light-generating elements, e.g. using light-emitting diodes [LED] or lasers
    • F21K9/20—Light sources comprising attachment means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
    • F21S2/00—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction
    • F21S2/005—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction of modular construction
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21W—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO USES OR APPLICATIONS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS
    • F21W2131/00—Use or application of lighting devices or systems not provided for in codes F21W2102/00-F21W2121/00
    • F21W2131/40—Lighting for industrial, commercial, recreational or military use
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2115/00—Light-generating elements of semiconductor light sources
    • F21Y2115/10—Light-emitting diodes [LED]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

대상객체의 외관 검사를 위해 동축 조명을 조사하는 동축 조명 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 동축 조명 장치는, 대상객체의 외관 검사를 위해 동축 조명을 조사하는 동축 조명 장치에 있어서, 소정 간격으로 배치된 복수의 LED 열을 포함하며, 각각의 LED 열이 복수의 LED를 포함하는 LED 조명부; 및 상기 LED 조명부로부터 조사된 빛을 상기 대상객체로 투과시키고, 상기 대상객체로부터 반사되어 오는 빛을 굴절시키는 하프미러(half-mirror)를 포함하되, 상기 LED 조명부는, 상기 각각의 LED 열마다 밝기를 조절하기 위한 가변저항 또는 고정저항을 포함한다.

Description

동축 조명 장치{COAXIAL ILLUMINATION APPARATUS}
본 발명은 동축 조명 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 동축 조명을 조사하기 위한 LED의 배열에서 각각의 열단위로 인가 전류를 달리하여 빔스플릿의 역할을 하는 하프미러(half-mirror)에 의한 조명 불균일성을 해소할 수 있는 동축 조명 장치에 관한 것이다.
최근 기술의 급속한 발전에 따른 전기, 전자 제품의 소형화 추세는 전자 부품의 고집적화, 초소형화를 가속화시키고 있으며, 고밀도, 초소형의 부품을 인쇄회로기판에 실장하는 표면실장기술에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
일반적으로, 반도체 칩과 같은 전자 부품은 칩마운터를 이용하여 웨이퍼에서 픽업되어 인쇄회로기판에 실장된다. 이러한 웨이퍼(wafer)는 실리콘의 결정체를 반도체 칩으로 제조하기 위하여 원기둥 형상의 실리콘 봉을 얇게 절단하여 원판형으로 제작한 것이다.
그리고, 웨이퍼(wafer) 상에는 이물질이나 균열 또는 스크래치와 같은 불량이 있어, 이의 효과적인 검사가 품질 관리에 중요 요소가 된다. 이를 위해 웨이퍼에 빛을 조사하여 카메라로 촬영하여 웨이퍼의 불량 여부를 검사한다.
그리하여, 웨이퍼의 효과적인 검사를 위해 영상 획득에 의한 검사 시스템이 도입되어 사용되고 있으며, 이러한 검사 시스템에 웨이퍼의 측면에서 빛을 조사하는 측면 조명 외에, 카메라와 동축에서 빛을 조사하는 동축 조명이 함께 사용되고 있다.
도 1은 일반적인 검사 시스템의 구조를 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1의 검사 시스템의 구조를 도시한 단면도이다. 또한, 도 3은 도 1의 검사 시스템의 동축 조명을 조사하기 위한 동축 조명 LED의 배열을 도시한 도면이다. 그리고, 도 4는 도 1의 검사 시스템으로 획득한 영상이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 검사 시스템(10)은, 웨이퍼(5)의 측면에 빛을 조사하는 측면조명 LED(14), 웨이퍼(5)의 상부에 위치하여 웨이퍼(5)와 45도 정도의 각도로 기울어진 하프미러(13)를 통해 이미지 센서(18)와 동축에서 빛을 조사하는 동축조명 LED(11), 프레임(16)에 설치되어 웨이퍼(5)에 대한 영상 이미지를 촬상하는 이미지 센서(18)를 포함한다. 또한, 동축조명 LED (11) 및 측면조명 LED (11)의 전단에는 각각 디퓨저(12, 15)를 배치될 수 있다.
여기에서, 동축조명 LED(11)는 일렬로 배치된 복수의 LED(21)가 소정 간격으로 다수의 열로 배열될 수 있으며, 동축조명 LED(11)와 웨이퍼(5) 사이에 위치한 하프미러(13)에 의해, 동축조명 LED(11)에서 발광된 빛이 하프미러(13)를 통과하여 웨이퍼(5)에서 반사되고, 웨이퍼(5)에서 반사된 빛이 하프미러(13)에서 굴절되어 렌즈(17)로 입사되어 이미지 센서(18)에 의해 영상 이미지를 획득하게 된다. 일례로, 도 3에서, 동축조명 LED(11)가 7개의 열로 배치될 수 있다.
그런데, 동축조명 LED(11)에서 하프미러(13)와 먼 쪽을 통과하는 빛이 가까운 곳을 통과하는 빛보다 광 손실이 많은 문제가 발생한다. 도 2의 경우, 1열에 배치된 LED(21)에 의해 웨이퍼(5)에 약한 빛이 조사되는데 반해, 7열에 배치된 LED(21)에 의해서는 웨이퍼(5)에 강한 빛이 조사되게 된다. 그리하여, 도 4에서, 검사 시스템(10)으로 획득한 영상이 아래쪽이 밝아 비전 인식에 어려움이 있을 수 있다.
밝기의 편차는 상하의 경우가 가장 심하고, 좌우 편차는 거의 평탄한 수준이며, 이는 카메라모듈(16, 17, 18)이 하프미러(13) 방향으로 더 접근하여야 하는데 구조적으로 공간적인 제약이 발생하여 조명 불균일을 야기하기 때문이다. 이러한 현상에 의해, 웨이퍼 칩이 조명의 편차나 기울기에 민감한 경우와, 웨이퍼의 작업 시 평탄도 유지에 문제가 있을 수 있다.
그러므로, 빔스플릿(beam-split) 역할을 하는 하프미러(13)에 의한 조명 불균성을 해소하기 위해, 동축조명의 밝기를 순차적으로 가변 시킬 필요가 있다. 즉, 카메라모듈(16, 17, 18)에서 획득하는 영상의 균일도를 높이기 위해, 동축조명 LED(11)에서 각 열당 LED(21)의 밝기 조정이 요구된다.
대한민국 공개특허 2010-0121250호 (2010.11.17. 공개)
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 동축 조명을 조사하기 위한 LED의 배열에서 각각의 열별로 LED의 밝기를 제어하기 위한 가변저항 또는 고정저항을 구비하여 동일 전압 인가시에도 각 열 단위로 인가 전류를 달리하여, 각 열 단위로 각기 다른 밝기로 발광하여 영상의 균일도를 높일 수 있는 동축 조명 장치를 제공한다.
또한, 동축 조명을 조사하기 위한 LED의 배열에서 각각의 열별로 LED의 밝기를 제어하기 위한 가변저항 또는 고정저항을 구비하여 각 열 단위로 밝기를 순차적으로 가변시킬 수 있는 동축 조명 장치를 제공한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 동축 조명 장치는, 대상객체의 외관 검사를 위해 동축 조명을 조사하는 동축 조명 장치에 있어서, 소정 간격으로 배치된 복수의 LED 열을 포함하며, 각각의 LED 열이 복수의 LED를 포함하는 LED 조명부; 및 상기 LED 조명부로부터 조사된 빛을 상기 대상객체로 투과시키고, 상기 대상객체로부터 반사되어 오는 빛을 굴절시키는 하프미러(half-mirror)를 포함하되, 상기 LED 조명부는, 상기 각각의 LED 열마다 밝기를 조절하기 위한 가변저항 또는 고정저항 을 포함한다.
상기 LED 조명부는, 상기 하프미러와 상기 LED 열 간의 거리에 따라 상기 가변저항의 크기가 가변되며, 상기 하프미러와의 거리가 가장 먼 제1 LED 열에 연결된 가변저항의 크기가 가장 작은 제1 저항값이고, 상기 제1 LED 열 다음의 제2 LED 열의 가변저항의 크기가 상기 제1 저항값보다 큰 제2 저항값이고, 상기 제1 및 제2 LED 열을 제외한 나머지 LED 열들에 연결된 가변저항들의 크기가 가장 큰 제3 저항값이 된다.
상기 LED 조명부는, 상기 각각의 LED 열마다 동일한 전압이 인가된다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 따르면, 동축 조명을 조사하기 위한 LED의 배열에서 각각의 열별로 LED의 밝기를 제어하기 위한 가변저항을 구비하여 각각의 열단위로 인가 전류를 달리함으로써, 빔스플릿의 역할을 하는 하프미러(half-mirror)에 의한 조명 불균일성을 해소할 수 있다.
또한, 동축 조명을 조사하기 위한 LED의 배열에서 각각의 열별로 LED의 밝기를 제어하기 위한 가변저항을 구비하여 각 열 단위로 밝기를 순차적으로 가변시킬 수 있어, 조명 불균일성을 해소하여 영상의 균일도를 높일 수 있다.
도 1은 일반적인 검사 시스템의 구조를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 검사 시스템의 구조를 도시한 단면도이다.
도 3은 도 1의 검사 시스템의 동축 조명을 조사하기 위한 동축 조명 LED의 배열을 도시한 도면이다.
도 4는 도 1의 검사 시스템으로 획득한 영상이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 동축 조명 장치의 구성을 도시한 개념도이다.
도 6은 도 5의 동축 조명 장치의 LED 조명부 배치 구조의 일 실시예를 도시한 회로도이다.
도 7은 도 5의 동축 조명 장치의 LED 조명부 LED 배열의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 8은 도 5의 동축 조명 장치가 적용된 검사 시스템으로 획득한 영상이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 본 발명에 대하여 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 동축 조명 장치의 구성을 도시한 개념도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 동축 조명 장치(100)는 대상객체의 외관 검사를 위해 동축 조명을 조사하는 역할을 한다. 이를 위해, 동축 조명 장치(100)는, 소정 간격으로 배치된 복수의 LED 열을 포함하며, 각각의 LED 열이 복수의 LED(115)를 포함하는 LED 조명부(110) 및 상기 LED 조명부(110)로부터 조사된 빛을 상기 대상객체로 투과시키고, 상기 대상객체로부터 반사되어 오는 빛을 굴절시키는 하프미러(half-mirror, 120)를 포함할 수 있다. 이때 LED 조명부(110)는 각각의 LED 열마다 밝기를 조절하기 위한 가변저항(117) 또는 고정저항을 포함할 수 있다. 여기에서, 대상객체는 웨이퍼(5)가 일반적이나, 이에만 제한되지 않음은 당업자에게 자명하다 할 것이다.
예를 들어, LED 조명부(110)의 각 열에 가변저항(117)이 각각 연결되어, 하프미러(120)에서 가장 먼 1열의 가변저항(117)인 R1은 저항값을 가장 작게 하고, 순차적으로 가변저항(117)의 저항값을 크게 하면서, 하프미러(120)에서 가장 가까운 7열의 가변저항(117)인 R7의 저항값을 가장 크게 설정하여 LED 조명부(110)의 LED(117)와 하프미러(120)와의 거리에 상관 없이, 동일한 세기의 빛이 대상객체에 입사하도록 할 수 있다. 그리하여, 대상객체, 예를 들어 웨이퍼(5)에서 반사된 빛이 하프미러(120)에서 굴절되어 카메라(200)에 동일한 세기로 입사되어 영상의 균일도를 높일 수 있다. 이때, 도 5에서, LED 열이 7개이고, 각 열당 8개의 LED(115)가 배열되어 있으나, 이에만 제한되지 않음은 당업자에게 자명하다 할 것이다. 이때, 가변저항(117)의 저항값을 지정하는 대신에 소정 크기의 저항값을 가진 고정저항을 각각의 LED 열에 연결하여 미리 LED 조명부(110)의 각각의 LED 열마다 밝기를 조절할 수도 있다.
또한, LED 조명부(110)의 앞에는 LED(115)에서 출사되는 빛이 확산되어 카메라(200)에 의해 획득되는 대상객체의 영상 이미지가 보다 부드럽게 연출되도록 디퓨저(13)가 위치할 수 있다. 이러한 디퓨저(130)를 통해 보다 정교한 영상 이미지를 얻어 불량 검출 효과를 높일 수 있다. 그리고, 도면에 도시하지는 않았으나, 영상의 선명도를 높이기 위해, 동축 조명 장치(100)는 적어도 1장 이상의 폴라라이저(polarizer)를 더 포함할 수 있다.
특히, LED 조명부(110)는 하프미러(120)와 LED 열 간의 거리에 따라 각 LED 열에 연결된 가변저항(117)의 크기가 가변될 수 있으므로, 각 LED 열 단위로 인가되는 인가 전류를 달리하여 하프미러(120)에 의한 조명 불균일성을 해소하게 된다. 즉, LED 조명부(110)에 각각의 LED 열마다 동일한 전압이 인가되며, 동일한 전압이 인가되는 각각의 LED 열마다 하프미러(120)와의 거리에 따라 연결된 가변저항(117)의 크기가 가변된다. 그리하여, 카메라(200)에서 획득한 영상이 불균일할 경우, 각각의 LED 열마다 연결된 가변저항(117)의 크기를 조정하여 밝기를 조정하게 된다.
또한, 특정 LED 열의 가변저항(117)만 크기를 바꿔 적용할 수도 있다. 즉, 모든 LED 열에서 순차적으로 가변저항(117)의 크기를 바꾸지 않고, 일부 LED 열에서만 가변저항(117)의 저항값을 변경할 수 있다. 예를 들어, 도 5에서 R1, R2의 저항값을 달리 설정하여 적용하고, R3 내지 R7은 동일한 저항값을 지정할 수 있다. 그리하여, 하프미러(120)와의 거리가 가장 먼 제1 LED 열에 연결된 R1의 저항값이 가장 작은 제1 저항값을 가지고, 상기 제1 LED 열 다음에 배열된 제2 LED 열에 연결된 R2의 저항값이 중간인 제2 저항값을 가지고, 상기 제1 및 제2 LED 열에 연결된 R1 및 R2를 제외한 제3 내지 제7 LED 열에 각각 연결된 R3 내지 R7가 가장 큰 제3 저항값을 가질 수 있다(R1<R2<R3=R4=R5=R6=R7).
도 6은 도 5의 동축 조명 장치의 LED 조명부 배치 구조의 일 실시예를 도시한 회로도이며, 도 7은 도 5의 동축 조명 장치의 LED 조명부 LED 배열의 일 실시예를 도시한 도면이다. 또한, 도 8은 도 5의 동축 조명 장치가 적용된 검사 시스템으로 획득한 영상이다.
도 6에 도시한 바와 같이, 전원(111)에 연결된 복수의 LED(115)를 다수의 LED 열로 배치하며, 각각의 LED 열마다 부하저항(119) 외에 저항값의 조정이 가능한 가변저항(117)을 연결하여 각 LED 열마다 흐르는 전류를 조정한다.
도 6의 배치에 따라, 도 7에 도시한 바와 같이, x방향으로 가변저항(117)인 R1부터 R7까지의 밝기를 순차적으로 제어하여 밝기가 균일한 영상을 획득하게 된다. 도 7에서, LED(115)와 하프미러(120) 사이의 거리가 동일한 y방향의 밝기는 균일하고, LED(115)와 하프미러(120) 사이의 거리가 상이한 x방향의 밝기를 조정하여 전체적으로 균일한 밝기를 가진 영상을 얻게 되는 것이다.
도 8에 각각의 LED 열마다 가변저항(117)의 크기를 조정하여 획득한 영상이 도시되어 있다. 도 8에서, 하프미러(120)와의 거리에 따라 LED 열에 연결된 가변저항(117)의 크기를 조정하여 영상을 촬상함으로써, 전체적으로 균일한 영상을 얻을 수 있음을 확인할 수 있다. 도 8에서 볼 수 있듯이, 영상의 균일도 문제 발생시, 각 LED 열에 연결된 가변저항(117)을 조정하여 간단하게 영상의 균일도를 조정할 수 있다.
종래 칩 인식 정도를 향상시키기 위해 동축조명을 사용하나, 동축조명 환경에서는 영상의 균일도가 떨어지는, 즉 화면의 상하 조명세기 편차가 발생하는 문제점이 존재하였는데, 본 발명의 일 실시예에 따른 동축 조명 장치(100)는, 각 열당 LED(115)의 밝기를 제어하기 위한 가변저항(117) 또는 고정저항을 구비하여 동일 전압 인가 시에도 각 열 단위로 인가 전류를 달리하여, LED 열당 각각의 밝기로 발광하여 전 화면의 균일도를 높일 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 동축 조명 장치
110: LED 조명부
115: LED
117: 가변 저항
120: 하프미러
130: 디퓨저
200: 카메라

Claims (3)

  1. 대상객체의 외관 검사를 위해 동축 조명을 조사하는 동축 조명 장치에 있어서,
    소정 간격으로 배치된 복수의 LED 열을 포함하며, 각각의 LED 열이 복수의 LED를 포함하는 LED 조명부; 및
    상기 LED 조명부로부터 조사된 빛을 상기 대상객체로 투과시키고, 상기 대상객체로부터 반사되어 오는 빛을 굴절시키는 하프미러(half-mirror)를 포함하되,
    상기 LED 조명부는, 상기 각각의 LED 열마다 밝기를 조절하기 위한 가변저항 또는 고정저항을 포함하는, 동축 조명 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 LED 조명부는, 상기 하프미러와 상기 LED 열 간의 거리에 따라 상기 가변저항의 크기가 가변되며,
    상기 하프미러와의 거리가 가장 먼 제1 LED 열에 연결된 가변저항의 크기가 가장 작은 제1 저항값이고, 상기 제1 LED 열 다음의 제2 LED 열의 가변저항의 크기가 상기 제1 저항값보다 큰 제2 저항값이고, 상기 제1 및 제2 LED 열을 제외한 나머지 LED 열들에 연결된 가변저항들의 크기가 가장 큰 제3 저항값인, 동축 조명 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 LED 조명부는, 상기 각각의 LED 열마다 동일한 전압이 인가되는, 동축 조명 장치.
KR1020130051985A 2013-05-08 2013-05-08 동축 조명 장치 KR101803791B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130051985A KR101803791B1 (ko) 2013-05-08 2013-05-08 동축 조명 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130051985A KR101803791B1 (ko) 2013-05-08 2013-05-08 동축 조명 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140132877A true KR20140132877A (ko) 2014-11-19
KR101803791B1 KR101803791B1 (ko) 2017-12-04

Family

ID=52453672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130051985A KR101803791B1 (ko) 2013-05-08 2013-05-08 동축 조명 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101803791B1 (ko)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002221468A (ja) 2001-01-25 2002-08-09 Ricoh Co Ltd 半導体レーザユニットの特性測定装置
JP2012185270A (ja) 2011-03-04 2012-09-27 Hitachi High-Technologies Corp 位置ずれ検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101803791B1 (ko) 2017-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6161941A (en) Light array system and method for illumination of objects imaged by imaging systems
KR101334081B1 (ko) 광원의 평면 어레이에 의해 방출된 수렴 광선을 달성하는 방법 및 장치
US20040141175A1 (en) Method and apparatus for uniform lighting source
JP2015145869A (ja) 照明モジュール及びこれを用いる外観検査システム
JP2006250656A (ja) 発光素子アレイの照度むら測定方法及び装置
KR101550263B1 (ko) 광학검사장치
JP2013152207A5 (ko)
JPWO2018127971A1 (ja) 撮像用照明装置
KR102174950B1 (ko) 검사 정확성을 높인 비전검사장치
KR20140012342A (ko) Ｌｅｄ모듈 검사장치
US20130120557A1 (en) Part inspection system
JP2012234081A (ja) 照明装置および光学装置
US10908020B2 (en) Light source device and method for driving light source device
KR101803791B1 (ko) 동축 조명 장치
JP3243385B2 (ja) 物体の形状検査装置
TWI638222B (zh) 相機檢測裝置及檢測相機之方法
KR102670700B1 (ko) 배율 가변 기능을 갖는 칩 온 필름 검사장치
KR101471984B1 (ko) 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치
US10863597B1 (en) Surface light source device and system for monitoring uniformity of light from surface light source device
JPH08105722A (ja) デバイス外観検査用照明器及びこの照明器を用いたデバイス外観自動検査装置
KR101015792B1 (ko) 측면 발광 엘이디 어레이용 검사 지그
KR101410037B1 (ko) Ｌｅｄ어레이의 검사방법
WO2021099680A1 (en) An led matrix lighting device
JP2007315982A (ja) 測定装置および検査装置
KR100268251B1 (ko) 부품 실장기의 조명 밝기 제어장치 및 그의 제어방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant