KR20140126799A - 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법 - Google Patents

오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법 Download PDF

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Abstract

오토 프로브 검사 장치가 개시되며, 상기 오토 프로브 검사 장치는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널이 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블이 장착되는 워크 스테이지; 상기 워크 테이블에 수납된 패널 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛; 상기 프로브 유닛이 상기 패드부과와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 프로브 스테이지; 상기 프로브 유닛과 상기 패드부가 접촉되는 부분에 대응하는 패널의 상면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름지그; 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름지그를 Z축 방향으로 이동시키는 지그 스테이지; 및 상기 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지를 실장하는 베이스부를 포함한다.

Description

오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법{AUTO PROBE INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD OF ORGANIC LIGHT EMMITING PANNEL USING THE SAME}
본원은 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(organic light emitting panel)은 유기 전계 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED)를 사용한 표시 장치로서, 유기 전계 발광 소자의 RGB화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 디스플레이 영상을 출력한다. 그런데, 유기 전계 발광 소자는 배면 발광하는바, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널은 배면이 상측을 향하고 패드부는 하측을 향하도록 뒤집어진 상태에서 점등 검사가 수행된다.
이러한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사를 위해, 대한민국 공개특허공보 2013-0020475호에는 워크 테이블에 수납된 패널의 하측에 위치하는 프로브 블록이 상측 방향으로 구동하여 패널의 패드부에 접촉하는 오토 프로브 검사 장치가 개시되었다.
그러나 개시된 오토 프로브 검사 장치를 이용하여 패널 검사를 수행할 경우, 프로브 유닛과 패드부의 접촉 시에, 패널이 상측 방향으로 들뜨거나, 수납된 위치에서 벗어남으로써, 검사가 제대로 이루어지지 않거나, 검사 속도가 느려지는 문제점이 있었다.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사가 안정적으로 이루어지게 하는 오토 프로브 검사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 오토 프로브 검사 장치는, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널이 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블이 장착되는 워크 스테이지; 상기 워크 테이블에 수납된 패널 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛; 상기 프로브 유닛이 상기 패드부와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 프로브 스테이지; 상기 프로브 유닛과 상기 패드부가 접촉되는 부분에 대응하는 패널의 상면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름지그; 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름지그를 Z축 방향으로 이동시키는 지그 스테이지; 및 상기 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지를 실장하는 베이스부를 포함할 수 있다.
한편, 본원의 제2 측면에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은, (a) 상기 패널이 상기 워크 테이블에 로딩되는 단계; (b) 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉되는 단계; (c) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계; (d) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부로부터 접촉 해제되는 단계; (e) 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부로부터 접촉 해제되는 단계; 및 (f) 상기 패널이 상기 워크 테이블로부터 언로딩되는 단계를 포함할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 프로브 유닛과 패드부가 접촉되는 부분에 대응하는 패널의 상면 테두리부에 접촉되는 누름지그를 통해 프로브 유닛과 패드부의 접촉 시에 발생하는 패널의 상향 이동을 제한할 수 있어 안정적인 패널 검사가 실현될 수 있으며, 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지가 베이스부에 실장되는 바 패널 검사에 있어 안정성이 극대화될 수 있다.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 사시도이다.
도 2 내지 도 5는 프로브 유닛, 누름지그, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지의 배치를 설명하기 위해 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 일부 구성을 생략 도시한 도면이다.
도 6 내지 도 8은 프로브 유닛 및 누름지그의 Z축 방향으로의 이동을 설명하기 위한 개념도이다.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.
본원 명세서 전체에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 “이들의 조합”의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.
참고로, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 상면, 하측, 하면, X축, Y축, Z축 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예시적으로, 도 7을 보았을 때, 12시 방향이 상측, 12시 방향을 향한 면 또는 단부가 상면, 6시 방향이 하측, 6시 방향을 향한 면 또는 단부가 하면이 될 수 있으며, 도 1을 보았을 때, X축 방향은 5시-11시 방향, Y축 방향은 2시-8시 방향, Z축 방향은 12시-6시 방향 등이 될 수 있다. 참고로, Z축 방향은 도 7을 보았을 때, 상측 및 하측 방향(높이 방향)이 될 수 있다.
다만, 본원의 실시예의 다양한 실제적인 적용에 있어서는, 상면이 수평 방향을 바라보거나, 또는 수평 방향보다 약간 위를 바라보도록 비스듬하게 배치되는 등 다양한 방향으로 배치될 수 있을 것이다. 이러한 본원 장치의 배치 높이나 각도는 검사자가 점등 상태 등을 수동 검사할 때의 편의성을 고려하여 설정함이 바람직하다.
본원은 오토 프로브 검사 장치에 관한 것이다.
우선, 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치(이하 '본 오토 프로브 검사 장치'라 함)에 대해 설명한다.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 사시도이고, 도 2 내지 도 5는 프로브 유닛, 누름지그, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지의 배치를 설명하기 위해 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치의 일부 구성을 생략 도시한 도면이며, 도 6 내지 도 8은 프로브 유닛 및 누름지그의 Z축 방향으로의 이동을 설명하기 위한 개념도이다.
도 2에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 워크 스테이지(1)를 포함한다.
워크 스테이지(1)에는 워크 테이블(11)이 장착된다.
도 5, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 워크 테이블(11)에는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(organic electroluminescence panel)(9)이 배면이 상측을 향하도록 안착된다.
패널(9)은 발광 방향이 상측을 향하도록 워크 테이블(11)에 장착될 수 있다. 일반적으로, 유기 전계 발광 표시 타입의 패널(9)은 유기 전계 발광 소자가 배면 발광하므로 배면이 상측을 향하도록 워크 테이블(11)에 안착될 수 있다. 워크 테이블(11)에 안착되는 패널(9)이 전면 발광할 경우, 패널(9)은 전면이 상측을 향하도록 안착될 수 있다.
또한, 도 1을 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는 복수의 프로브 유닛(2)을 포함한다.
도면에 명확하게 도시되지는 않았으나, 프로브 유닛(2)은 복수의 프로브 니들을 포함할 수 있다. 프로브 유닛(2)은 프로브 니들을 통해 패널(9)의 패드부(91)에 전기적 신호를 인가함으로써 검사를 수행할 수 있다. 검사는 예시적으로, 패널의 신호 라인(데이터 라인, 게이트 라인)의 단선 검사, 점등 검사 등일 수 있다. 프로브 유닛(2)에 관한 구성 및 기능은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 8을 참조하면, 프로브 유닛(2)은 워크 테이블(11)에 수납된 패널(9) 전면에 형성된 패드부(91)에 접촉되어 패널(9)에 대한 검사를 수행한다.
전술한 바와 같이, 패널(9)이 배면이 상측을 향하도록 워크 테이블(11)에 안착된 바, 도 7 및 도 8에 나타난 바와 같이, 패널(9)의 전면에 형성된 패드부(91)는 하측을 향하게 된다. 도 4 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(2)은 하측을 향하는 패드부(91)에 접촉될 수 있도록, 워크 테이블(11)에 안착된 패널(9)의 패드부(91)보다 하측에 위치할 수 있다.
그리고, 프로브 유닛(2)은 패널(9)에 대한 검사가 수행될 때, 도 7 및 도 8을 함께 참조하면, Z축(높이) 방향으로 승강 이동됨으로써 패드부(91)에 접촉되어 검사를 수행할 수 있다. 검사가 수행된 후에는 패드부(91)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다.
도 1 및 도 4를 함께 참조하면, 복수 개의 프로브 유닛(2)과 패드부(91)의 접촉은 패널(9)의 테두리(모서리측)를 따라 이루어진다.
또한, 본 오토 프로브 검사 장치는 프로브 스테이지(3)를 포함한다. 참고로, 도 1에는 4개의 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 도시되어 있다.
프로브 스테이지(3)는 프로브 유닛(2)이 패드부(91)와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 프로브 유닛(2)을 Z축 방향으로 이동시킨다.
도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 프로브 스테이지(3)는 프로브 유닛 장착부(32)를 포함한다. 도 4를 참조하여 설명하면, 프로브 유닛(2)은 프로브 유닛 장착부(32)에 폭 방향(패널(9)의 모서리와 대략 평행한 방향)을 따라 정렬되어 장착될 수 있다. 도 1에 도시된 제4 프로브 스테이지(3d)를 참조하여 설명하면, 프로브 유닛(2)은 제4 프로브 스테이지(3d)의 폭 방향(X축 방향)을 따라 장착될 수 있다.
또한, 도 5를 참조하면, 프로브 스테이지(3)는 연직구동부(31)를 포함할 수 있다. 도 7에 나타난 바와 같이, 연직구동부(31)는 가이드 레일(311) 및 가이드 레일(311)을 따라 이동하는 가이드 유닛(312)을 포함할 수 있다.
도 7에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛 장착부(32)는 가이드유닛(312)과 연결되고, 가이드 유닛(312)이 가이드 레일(311)을 따라 이동함으로써 프로브 유닛 장착부(32)는 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
즉, 가이드 유닛(312)이 Z축 방향으로 승강 이동하면, 프로브 유닛(2)은 Z축 방향으로 승강 이동되어 패드부(91)에 접촉될 수 있고, 가이드 유닛(312)이 Z축 방향으로 하강 이동하면, 프로브 유닛(2)은 Z축 방향으로 하강 이동되어 패드부(91)로부터 접촉 해제될 수 있다.
한편, 도면에는 명확하게 도시되지 않지만, 가이드 유닛(312)은 모터 등에 의해 가이드 레일(311)을 따라 이동될 수 있다.
또한, 본 오토 프로브 검사 장치는 누름지그(4)를 포함한다. 도 1에는 4개의 누름지그(4a, 4b, 4c, 4d)가 도시되어 있다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 누름지그(4)는 프로브 유닛(2)과 패드부(91)가 접촉되는 부분에 대응하는 패널(9)의 상면 테두리부(92)에 접촉되어 패널(9)의 상향 이동을 제한한다.
상면 테두리부(92)라 함은, 패널(9)에서 패드부(91)가 형성된 하면 부분의 반대면(상면) 부분을 의미할 수 있다.
프로브 유닛(2)이 상측 방향으로 이동되어 패드부(91)에 접촉하게 되면, 패널(9)에는 상측 방향으로 소정의 외력이 작용하게 된다. 외력에 의해 패널(9)은 상향으로 이동될 수 있는데, 예시적으로, 상향으로 들뜨게 될 수 있다. 도 7에 나타난 바와 같이, 누름지그(4)는 프로브 유닛(2)과 패드부(91)가 접촉되기 전에 패널(9)의 상면 테두리부(92)에 접촉되어 있음으로써 이러한 상향 이동을 제한할 수 있다.
도 5에 나타난 바와 같이, 누름지그(4)는 패널(9)의 상면 테두리부(92)에 접촉되는 누름부(41) 및 누름부(41)로부터 하측 방향으로 절곡 연장되고, 후술할 지그 스테이지(5)에 Z축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 지지부(42)를 포함할 수 있다.
도 1, 도 4 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 누름지그(4)는 누름부(41)가 패널(9)의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 그리고 누름지그(4)는 도 6 및 도 7을 함께 살펴 보면, 누름부(41)가 상면 테두리부(92)에 접촉되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다. 또한, 누름지그(4)는 누름부(41)가 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 승강 이동함으로써 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제될 수 있다.
도 5 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 지지부(42)의 절곡된 부분의 내측에는, 누름부(42)에 상하 방향에 대한 완충이 이루어지도록, 지지부(42)의 폭 방향을 따라 절개된 홈부(421)가 형성될 수 있다.
상하 방향에 대한 완충이라 함은, 프로브 유닛(2)이 패드부(91)에 접촉하였을 때 작용하는 외력으로 인하여 누름지그(4)에 상향으로 작용하는 충격을 완화시키는 것을 의미할 수 있다. 이에 따라, 누름지그(4)는 외력으로 인한 손상이 최소화될 수 있어 수명이 연장될 수 있다.
또한, 여기에서 폭 방향이라 함은, 도 4를 참조하면, 패널(9)의 상면 테두리부(92)가 형성된 방향(패널(9)의 모서리가 형성된 방향)과 대략 평행한 방향을 의미할 수 있다. 즉, 홈부(421)는 누름지그(4)와 상면 테두리부(92)의 접촉 시 접촉된 부분 전체에 대하여 완충이 이루어지도록 형성될 수 있다.
또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 오토 프로브 검사 장치는 지그 스테이지(5)를 포함한다.
지그 스테이지(5)는 누름지그(4)가 상면 테두리부(92)에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 누름지그(4)를 Z축 방향으로 이동시킨다.
도 5에 나타난 바와 같이, 지그 스테이지(5)는 연직구동부(51)를 포함할 수 있다. 연직구동부(51)는 가이드 레일(511) 및 가이드 레일을 따라 이동하는 가이드 유닛(512)를 포함할 수 있다. 가이드 유닛(512)이 Z축 방향으로 이동함으로써 누름지그(4)를 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다. 가이드 유닛(512)이 Z축 방향으로 하강 이동하면, 누름지그(4)는 Z축 방향으로 하강 이동되어 상면 테두리부(92)에 접촉될 수 있고, 가이드 유닛(512)이 Z축 방향으로 승강 이동하면, 누름지그(4)는 Z축 방향으로 승강 이동되어 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제될 수 있다.
한편, 도면에는 명확하게 도시되지 않지만, 가이드 유닛(512)은 모터 등에 의해 가이드 레일(511)을 따라 이동될 수 있다.
또한, 도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 프로브 스테이지(3)는 패널(9)에 대하여 지그 스테이지(5)보다 외측에 배치될 수 있다. 그리고, 도 2 내지 도 8을 참조하면, 지지부(42)에는 패드부(91)에 접촉되는 복수의 프로브 유닛(2) 각각의 선단부가 내측 방향으로 삽입 돌출되도록 개구된 윈도우(422)가 형성될 수 있다.
여기에서, 외측이라 함은 패널(9)로부터 멀어지는 방향을 향하는 쪽을 의미할 수 있다. 또한, 내측이라 함은 패널(9)에 가까워지는 방향을 향하는 쪽을 의미할 수 있다. 이러한 내외측은 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)가 패널(9)에 대한 위치 방향에 따라 달라질 수 있다. 예시적으로, 도 1을 참조하여 설명하면, 제1 프로브 스테이지(3a)에 있어서, 내측은 11시 방향, 외측은 5시 방향이 될 수 있다. 또 다른 예로 제2 프로브 스테이지(3b)에 있어서, 내측은 8시 방향, 외측은 2시 방향이 될 수 있다.
도 2 에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(2)이 장착된 프로브 스테이지(3a, 3b)가 누름지그(4a, 4b) 및 지그 스테이지(5a, 5b)보다 패널에 대하여 외측에 배치되어 있지만, 도 4 내지 도 8에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(2)은 패드부(91)에 접촉 가능하도록 윈도우(422)를 통해 내측 방향으로 돌출되어 배치될 수 있다. 또한, 프로브 유닛(2)은 윈도우(422) 내에서 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
윈도우(422)는 복수의 프로브 유닛(2)의 Z축 방향 이동 범위 내에서 간섭 발생이 방지되는 높이를 가질 수 있다.
이것은, 윈도우(422)가, 전술한 누름지그(4)의 Z축 방향으로의 이동 및 프로브 유닛(2)의 Z축 방향으로의 이동이 서로에 대한 간섭 없이 수행되게 하는 높이를 갖는 다는 것을 의미한다.
윈도우(422)는 복수의 프로브 유닛(2)에 대응하는 복수의 윈도우(422)로 형성될 수 있다.
도 3에는 윈도우(422) 하나에 하나의 프로브 유닛(2)이 삽입된 것과 윈도우(422) 하나에 두개의 프로브 유닛(2)이 삽입된 것이 도시되어 있다. 즉, 윈도우(422)는 프로브 유닛(2) 각각과 일대일 대응되게 형성될 수도 있겠지만, 경우에 따라서는 둘 이상의 프로브 유닛(2)이 군을 이루어 하나의 윈도우(422) 상에 배치될 수도 있다. 지지부(42)에 형성되는 윈도우(422)의 크기 및 개수, 윈도우(422) 사이마다 형성되는 기둥의 단면 크기 등에 따라 지지부(42)의 강성이 결정될 수 있기 때문에, 이러한 대응관계는 지지부(42)의 강성을 고려하여 적정히 설정됨이 바람직하다.
프로브 스테이지(3)는 패널(9)에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.
도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 프로브 스테이지(3)의 하측에는 레일(35)이 배치될 수 있다. 프로브 스테이지(3)는 배치된 레일(35)을 따라 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 이러한 이동은 도면에는 명확하게 도시되지 않았지만, 예시적으로 모터 등에 의해 수행될 수 있다.
또한, 프로브 스테이지(3)의 내외측 방향으로의 이동에 의해, 프로브 유닛(2)도 내외측 방향으로 이동 가능할 수 있다.
또한, 지그 스테이지(5)는 패널(9)에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.
도 5에 나타난 바와 같이, 지그 스테이지(5)의 하측에는 레일(55)이 배치될 수 있다. 지그 스테이지(5)는 레일(5)을 따라 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 이러한 이동은 도면에는 명확하게 도시되지 않았지만, 예시적으로 모터 등에 의해 수행될 수 있다.
또한, 지그 스테이지(5)의 내외측 방향으로의 이동에 의해 누름지그(4)도 내외측 방향으로 이동 가능할 수 있다.
프로브 유닛(2) 및 누름지그(4)는 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되면, 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)에 의해 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동됨으로써 도 6에 도시된 상태가 될 수 있다. 패널 검사가 수행된 후, 프로브 유닛(2)이 Z축 방향으로 하강 이동되어 패드부(91)로부터 접촉 해제되고, 누름지그(4)가 Z 축 방향으로 승강 이동되어 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제되면, 프로브 유닛(2) 및 누름지그(4)는 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)에 의해 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)의 내외측 방향으로의 이동을 통해 패널 검사 시에, 패널(9)의 규격이 달라져도 용이하게 대처할 수 있다. 예시적으로, 패널(9)의 규격이 증가한 경우, 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)는 패널(9)의 규격이 증가하기 전보다 내측으로 덜 이동할 수 있으며, 패널(9)의 규격이 감소한 경우, 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)는 패널(9)의 규격이 감소하기 전보다 내측으로 더 이동할 수 있다.
또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 워크 스테이지(1), 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)를 실장하는 베이스부(6)를 포함한다.
워크 스테이지(1), 프로브 스테이지(3) 및 지그 스테이지(5)가 모두 베이스부(6)에 실장되어 있는 바, 패널 검사에 있어 안정성이 극대화될 수 있다.
베이스부(6)는 Z축 방향으로 이동 가능할 수 있다. 이에 따라, 베이스부(6)는 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되기 전에, 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착될 수 있도록 높이가 조절될 수 있다.
한편, 도 1에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 복수 개의 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)를 포함할 수 있다. 복수 개의 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)는 제1 프로브 스테이지(3a), 제2 프로브 스테이지(3b), 제3 프로브 스테이지(3c) 및 제4 프로브 스테이지(3d)일 수 있다.
또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 복수 개의 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)를 포함할 수 있다. 복수 개의 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)는 제1 지그 스테이지(5a)(제1 누름지그(4a)의 하측에 위치), 제2 지그 스테이지(5b)(제2 누름지그(4b)의 하측에 위치), 제3 지그 스테이지(5c)(제3 누름지그(3b)의 하측에 위치) 및 제4 지그 스테이지(5d)(제4 누름지그(4d)의 하측에 위치)일 수 있다.
제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d) 및 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)는 도 1에 나타난 바와 같이, 워크 스테이지(1)의 네 측면에 각각 대응하여 배치될 수 있다.
이때, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 프로브 스테이지(3a)와 제3 프로브 스테이지(3c)는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.
도 1에 나타난 바와 같이, 제2 프로브 스테이지(3b)와 제4 프로브 스테이지(3d)는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.
또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 지그 스테이지(5a)와 제3 지그 스테이지(5c)는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.
도 1에 나타난 바와 같이, 제2 지그 스테이지(5b)와 제4 지그 스테이지(5d)는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.
즉, 예시적으로, 도 1에서 패널(9)을 기준으로, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제1 프로브 스테이지(3a)는 5시 방향에, 제2 지그 스테이지(5b) 및 제2 프로브 스테이지(3b)는 2시 방향에, 제3 지그 스테이지(5c) 및 제3 프로브 스테이지(3c)는 11시 방향에, 제4 지그 스테이지(5d) 및 제4 프로브 스테이지(3d)는 8시 방향에 배치될 수 있다. 이때, 전술한 바와 같이, 각 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)는 패널(9)에 대하여 각 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)보다 외측에 배치(도 1 참조)될 수 있다.
또한, 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d), 제2 지그 스테이지(5b) 및 제4 지그 스테이지(5d)는, 베이스부(6) 상에 장착될 수 있다.
이에 따라, 도 1을 참조하여 설명하면, 제1 및 제3 프로브 스테이지(3a, 3c)는 베이스부(6) 상에서 전술한 레일(35)을 통해 X축 방향(전술한 내외측 방향)을 따라 이동될 수 있다. 제2 및 제4 프로브 스테이지(3b, 3c)는 베이스부(6) 상에서 전술한 레일(35)을 따라 Y축 방향(전술한 내외측 방향)을 따라 이동될 수 있다. 또한, 제2 및 제4 지그 스테이지(5b, 5d)는 베이스부(6) 상에서 전술한 레일(55)를 따라 Y축 방향(전술한 내외측 방향)을 따라 이동될 수 있다.
제2 및 제4 지그 스테이지(5b, 5d)의 레일(55)과 제2 및 제4 프로브 스테이지(3b, 3d)의 레일(35)은 도 3 내지 도 5에 나타난 바와 같이, 베이스부(6) 상, 즉, 같은 높이에 위치할 수 있다.
한편, 도 2를 참조하면, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제3 지그 스테이지(5c)는 워크 스테이지(1) 상에 장착될 수 있다.
도 2에 나타난 바와 같이, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제1 지그 스테이지(5a)의 하측에 배치되는 레일(55)은 워크 스테이지(1) 상에 장착될 수 있다. 이에 따라, 제1 지그 스테이지(5a)는 워크 스테이지(1) 상에서 레일(55)을 따라 X축 방향(내외측 방향)으로 이동할 수 있다. 도면에는 도시되지 않았지만, 제3 지그 스테이지(5c)도 워크 스테이지(1) 상에서 레일(55)을 따라 X축 방향(내외측 방향)으로 이동할 수 있다.
제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)의 레일(55)(워크 스테이지(1) 상에 장착)과 제1 및 제3 프로브 스테이지(3a, 3c)의 레일(35)(베이스부(6) 상에 장착)은 다른 높이에 위치할 수 있다.
워크 스테이지(1)는 베이스부(6)에 대하여 3축 방향 조절이 가능할 수 있다.
워크 스테이지(1)가 조절되는 3축은 예시적으로, 도 1에 도시된, 베이스부(6)가 갖는 3축 즉, X축, Y축 및 Z축을 의미할 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니며, 워크 스테이지(1)는 베이스부(6)가 갖는 3축과는 별개로 자체적인 3개의 축을 가질 수 있다.
워크 스테이지(1)가 3축 방향 조절이 가능함으로써, 워크 스테이지(1) 상에 장착된 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)도 워크 스테이지(1)와 연동되어 3축 방향 조절이 가능할 수 있다.
이하에서는, 전술한 본 오토 프로브 검사 장치의 구성을 통한 본 오토 프로브 검사 장치의 구동에 대한 일 구현예를 설명하겠다.
본 오토 프로브 검사 장치에 있어서, 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되기 전에 베이스부(6)는 Z축 방향으로 구동되어 패널(9)이 안착될 수 있는 높이로 설정될 수 있다.
워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되면, 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d) 및 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 레일(55, 35)을 통해 내측 방향으로 이동함으로써 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)이 도 6에 나타난 바와 같이, 패널(9)에 가까워질 수 있다. 그 후에, 도 7에 나타난 바와 같이, 누름지그(4)가 Z축 방향으로 하강 이동되어 상면 테두리부(92)에 접촉될 수 있다. 그 후에, 도 8에 나타난 바와 같이, 프로브 유닛(2)이 Z축 방향으로 승강 이동되어 패드부(91)에 접촉해 검사를 수행하게 된다. 이에 따라, 프로브 유닛(2)과 패드부(91)의 접촉 시에도 패널(9)의 상향 이동이 제한될 수 있어 안정적인 패널 검사가 이루어질 수 있다.
또한, 패널(9)이 안착되면, 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d) 및 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 내측 방향으로 이동하기 전에, 워크 스테이지(1) 및 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5b)는 얼라인될 수 있다. 여기에서 얼라인된다는 것은 안착된 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우, 패널(9)의 위치를 재조정하기 위해 패널(9)이 안착된 워크 테이블(11) 과 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)가 장착된 워크 스테이지(1)가 3축 구동을 하는 것을 의미할 수 있다. 패널(9)의 위치는 얼라인 카메라를 통해 파악되어 얼라인이 수행될 수 있다.
또한, 워크 스테이지(1)의 3축 구동을 통해 워크 스테이지(1)와 연계되어 3축 구동되는 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)와 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)의 윈도우(422)에 삽입되어 있는 프로브 유닛(2) 사이에 간섭이 생기지 않도록 조정할 수 있다.
패널(9)이 안착된 후, 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합 할 경우, 얼라인을 통해 패널(9)의 위치는 재조정될 수 있고, 패널(9)의 위치가 재조정된 후에 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d) 및 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 내측 방향으로 이동하여 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)이 패널(9)에 접촉할 수 있다.
검사가 수행된 후, 프로브 유닛(2)은 Z축 방향으로 하강 이동하여 패드부(91)로부터 접촉 해제되고, 누름지그(4)가 Z축 방향으로 승강 이동됨으로써 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제된다. 그 후에 지그 스테이지(5) 및 프로브 스테이지(3)가 외측 방향으로 이동함으로써 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)은 외측 방향으로 이동될 수 있다. 그리고 패널(9)은 워크 테이블(11)로부터 언로딩될 수 있다.
또한, 전술한 본 오토 프로브 검사 장치의 구성을 통한 본 오토 프로브 검사 장치의 구동에 대한 다른 구현예로서, 워크 테이블(11)에 패널(9)이 안착되면, 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)가 내측 방향으로 이동하고 누름지그(4)가 Z축 방향으로 하강 이동되어 상면 테두리부(92)에 접촉되면, 그 후에, 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)가 내측 방향으로 이동되고 프로브 유닛(2)이 Z축 방향으로 승강 이동되어 패드부(91)에 접촉돼 패널 검사가 수행될 수 있다.
이러한 본 오토 프로브 검사 장치의 구동에 대한 다른 구현예에 있어서, 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우 일 구현예와 마찬가지로 얼라인이 동일하게 수행될 수 있고, 패널 검사가 수행된 후의 본 오토 프로브 검사 장치의 구동은 일 구현예와 같을 수 있다.
한편, 이하에서는 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치를 이용한 본원의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법(이하 '본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법'이라 함)에 관하여 살핀다. 다만, 앞서 살핀 구성과 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 9를 참조하면, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 패널(9)이 워크 테이블(11)에 로딩되는 단계(S100)를 포함한다.
S100 단계는 패널(9)이 로딩된 후 워크 스테이지(1)가 얼라인(align)되는 단계를 포함할 수 있다.
전술한 바와 같이, 얼라인된다는 것은, 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우 패널(9)의 위치를 재조정하기 위해 워크 스테이지(1)가 3축 구동을 하는 것을 의미할 수 있다. 구체적으로 다음과 같을 수 있다.
전술한 바와 같이, 본원의 일 실시예에 따른 오토 프로브 검사 장치는 도 1에 나타난 바와 같이, 복수 개의 프로브 스테이지(3)를 포함할 수 있다. 복수 개의 프로브 스테이지(3)는 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)일 수 있다.
또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 본 오토 프로브 검사 장치는 복수 개의 지그 스테이지(5)를 포함할 수 있다. 복수 개의 지그 스테이지(5)는 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)일 수 있다.
제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d) 및 제1 내지 제4 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)는 도 1에 나타난 바와 같이, 워크 스테이지(1)의 네 측면에 각각 대응하여 배치될 수 있다.
이때, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 프로브 스테이지(3a)와 제3 프로브 스테이지(3c)는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다. 또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제2 프로브 스테이지(3b)와 제4 프로브 스테이지(3d)는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다. 또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제1 지그 스테이지(5a)와 제3 지그 스테이지(5c)는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다. 또한, 도 1에 나타난 바와 같이, 제2 지그 스테이지(5b)와 제4 지그 스테이지(5d)는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치될 수 있다.
즉, 도 1에서 패널(9)을 기준으로, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제1 프로브 스테이지(3a)는 5시 방향에, 제2 지그 스테이지(5b) 및 제2 프로브 스테이지(3b)는 2시 방향에, 제3 지그 스테이지(5c) 및 제3 프로브 스테이지(3c)는 11시 방향에, 제4 지그 스테이지(5d) 및 제4 프로브 스테이지(3d)는 8시 방향에 배치될 수 있다. 이때, 전술한 바와 같이, 각 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d)는 패널(9)에 대하여 각 지그 스테이지(5a, 5b, 5c, 5d)보다 외측에 배치(도 1 참조)될 수 있다.
또한, 제1 내지 제4 프로브 스테이지(3a, 3b, 3c, 3d), 제2 지그 스테이지(5b) 및 제4 지그 스테이지(5d)는, 베이스부(6) 상에 장착될 수 있다. 또한, 도 2를 참조하면, 제1 지그 스테이지(5a) 및 제3 지그 스테이지(5c)는 워크 스테이지(1) 상에 장착될 수 있다.
또한, 워크 스테이지(1)는 베이스부(6)에 대하여 3축 방향 조절이 가능할 수 있다.
이에 따라, 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)는 워크 스테이지(1)와 연동되어 3축 방향 조절이 가능할 수 있다.
즉, 안착된 패널(9)의 위치가 패널 검사에 부적합할 경우, 패널(9)이 안착된 워크 테이블(11) 과 제1 및 제3 지그 스테이지(5a, 5c)가 장착된 워크 스테이지(1)가 3축 구동함으로써 패널(9)의 위치가 재조정될 수 있다.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 누름지그(4)가 상면 테두리부(92)에 접촉되는 단계(S200)를 포함한다.
S200 단계에서, 누름지그(4)는 상면 테두리부(92)에 접촉되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 프로브 유닛(2)이 패드부(91)에 접촉되어 검사를 수행하는 단계(S300)를 포함한다.
S300 단계에서, 프로브 유닛(2)은 패드부(91)에 접촉되도록 Z축 방향으로 승강 이동될 수 있다.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S100 단계 및 S200 단계 사이에, 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)이 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 도 6에 나타난 바와 같이, 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)은 패널(9)에 접촉 가능하도록 패널(9)에 가까워질 수 있다.
또는 다른 구현예로, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S100 단계 및 S200 단계 사이에, 누름지그(4)가 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 포함하고, S200 단계 및 S300 단계 사이에 프로브 유닛(2)이 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다.
누름지그(4)는 지그 스테이지(5)가 레일(55)을 따라 패널(9)에 대하여 내측 방향으로 이동함으로써 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 프로브 유닛(2)은 프로브 스테이지(3)가 레일(35)을 따라 패널(9)에 대하여 내측 방향으로 이동함으로써 패널(9)에 가까워지는 내측 방향으로 이동될 수 있다.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 프로브 유닛(2)이 패드부(91)로부터 접촉 해제되는 단계(S400)를 포함한다.
검사가 수행된 후 프로브 유닛(2)은 패드부(91)로부터 접촉 해제될 수 있다.
S400 단계에서, 프로브 유닛(2)은 패드부(91)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 하강 이동될 수 있다.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 누름지그(4)가 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제되는 단계(S500)를 포함한다.
S500 단계에서, 누름지그(4)는 상면 테두리부(92)로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 승강 이동될 수 있다.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 패널(9)이 워크 테이블(11)로부터 언로딩되는 단계(S600)를 포함할 수 있다.
또한, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S500 단계와 S600단계 사이에 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)이 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다.
또는 다른 구현예로, 본 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법은 S400 단계 및 S500 단계 사이에 프로브 유닛(2)이 패널(9) 로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계 및 S500 단계 및 S600 단계 사이에, 누름지그(4)가 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 포함할 수 있다.
프로브 유닛(2)은 프로브 스테이지(3)가 레일(35)을 따라 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동됨으로써 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 누름지그(4)는 지그 스테이지(5)가 레일(55)을 따라 패널(5)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동됨으로써 패널(9)로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동될 수 있다.
한편, 누름지그(4) 및 프로브 유닛(2)의 내외측 방향으로의 이동에 있어서, 지그 스테이지(5) 및 프로브 스테이지(3)는 연동되어 내외측 방향으로 이동할 수 있다. 여기에서, 연동된다는 것은 지그 스테이지(5) 및 프로브 스테이지(3)가 동시에 내외측 방향으로 이동하는 것을 의미할 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 워크 스테이지 11: 워크 테이블
2: 프로브 유닛 3: 프로브 스테이지
31: 연직 구동부 311: 가이드 레일
312: 가이드 유닛 32: 프로브 유닛 장착부
35: 레일 4: 누름지그
41: 누름부 42: 지지부
421: 홈부 422: 윈도우
5: 지그 스테이지 51: 연직구동부
511: 가이드 레일 512: 가이드 유닛
55: 레일 6: 베이스부
9: 패널 91: 패드부
92: 상면 테두리부 3a: 제1 프로브 스테이지
3b: 제2 프로브 스테이지 3c: 제3 프로브 스테이지
3d: 제4 프로브 스테이지 4a: 제1 누름지그
4b: 제2 누름지그 4c: 제3 누름지그
4d: 제4 누름지그 5a: 제1 지그 스테이지
5b: 제2 지그 스테이지 5c: 제3 지그 스테이지
5d: 제4 지그 스테이지

Claims (20)

  1. 오토 프로브 검사 장치에 있어서,
    유기 전계 발광 표시 타입의 패널이 배면이 상측을 향하도록 안착되는 워크 테이블이 장착되는 워크 스테이지;
    상기 워크 테이블에 수납된 패널 전면에 형성된 패드부에 접촉되어 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 복수의 프로브 유닛;
    상기 프로브 유닛이 상기 패드부과와 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 프로브 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 프로브 스테이지;
    상기 프로브 유닛과 상기 패드부가 접촉되는 부분에 대응하는 패널의 상면 테두리부에 접촉되어 상기 패널의 상향 이동을 제한하는 누름지그;
    상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉 또는 접촉 해제될 수 있도록 상기 누름지그를 Z축 방향으로 이동시키는 지그 스테이지; 및
    상기 워크 스테이지, 프로브 스테이지 및 지그 스테이지를 실장하는 베이스부를 포함하는 오토 프로브 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 누름지그는, 상기 패널의 상면 테두리부에 접촉되는 누름부 및 상기 누름부로부터 하측 방향으로 절곡 연장되고, 상기 지그 스테이지에 Z축 방향으로 이동 가능하게 장착되는 지지부를 포함하는 것인 오토 프로브 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지부의 절곡된 부분의 내측에는, 상기 누름부에 상하 방향에 대한 완충이 이루어지도록, 상기 지지부의 폭 방향을 따라 절개된 홈부가 형성되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지는 상기 패널에 대하여 상기 지그 스테이지보다 외측에 배치되고,
    상기 지지부에는 상기 패드부에 접촉되는 상기 복수의 프로브 유닛 각각의 선단부가 내측 방향으로 삽입 돌출되도록 개구된 윈도우가 형성되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 윈도우는 상기 복수의 프로브 유닛의 Z축 방향 이동 범위 내에서 간섭 발생이 방지되는 높이를 갖는 것인 오토 프로브 검사 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 윈도우는 상기 복수의 프로브 유닛에 대응하는 복수의 윈도우로 형성되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지와 상기 지그 스테이지 각각은 상기 패널에 대하여 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지는 4개로로 구비되되, 상기 4개의 프로브 스테이지는 제1 내지 제4 프로브 스테이지이고,
    상기 지그 스테이지는 4개로로 구비되되, 상기 4개의 지그 스테이지는 제1 내지 제4 지그 스테이지이며,
    상기 워크 스테이지의 네 측면에 각각 대응하여 상기 제1 내지 제4 프로브 스테이지 및 상기 제1 내지 제4 지그 스테이지가 배치되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 프로브 스테이지와 제3 프로브 스테이지는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되고,
    상기 제2 프로브 스테이지와 제4 프로브 스테이지는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되며,
    상기 제1 지그 스테이지와 제3 지그 스테이지는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되고,
    상기 제2 지그 스테이지와 제4 지그 스테이지는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되며,
    상기 제1 내지 제4 프로브 스테이지, 제2 지그 스테이지 및 제4 지그 스테이지는, 상기 베이스부 상에 장착되고,
    상기 제1 지그 스테이지 및 제3 지그 스테이지는 상기 워크 스테이지 상에 장착되는 것인 오토 프로브 검사 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 워크 스테이지는 상기 베이스부에 대해 3축 방향 조절이 가능한 것인 오토 프로브 검사 장치.
  11. 제1항에 따른 오토 프로브 검사 장치를 이용한 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법에 있어서,
    (a) 상기 패널이 상기 워크 테이블에 로딩되는 단계;
    (b) 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부에 접촉되는 단계;
    (c) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부에 접촉되어 검사를 수행하는 단계;
    (d) 상기 프로브 유닛이 상기 패드부로부터 접촉 해제되는 단계;
    (e) 상기 누름지그가 상기 상면 테두리부로부터 접촉 해제되는 단계; 및
    (f) 상기 패널이 상기 워크 테이블로부터 언로딩되는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 (a) 단계와 상기 (b) 단계 사이에,
    상기 누름지그가 상기 패널에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하고,
    상기 (a) 단계와 상기 (c) 단계 사이에,
    상기 프로브 유닛이 상기 패널에 가까워지는 내측 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 (d) 단계와 상기 (f) 단계 사이에,
    상기 프로브 유닛이 상기 패널로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하고,
    상기 (e) 단계와 상기 (f) 단계 사이에,
    상기 누름지그가 상기 패널로부터 멀어지는 외측 방향으로 이동되는 단계를 더 포함하는 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서,
    상기 누름지그는 상기 상면 테두리부에 접촉되도록 Z축 방향으로 하강 이동되는 것인 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 (c) 단계에서,
    상기 프로브 유닛은 상기 패드부에 접촉되도록 Z축 방향으로 승강 이동되는 것인 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 (d) 단계에서,
    상기 프로브 유닛은 상기 패드부로부터 접촉 해제되도록 Z축 방향으로 하강 이동되는 것인 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 (e) 단계에서,
    상기 누름지그는 상기 상면 테두리부로부터 접촉 해제되도록 상기 패널에 대하여 Z축 방향으로 승강 이동되는 것인 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 (a) 단계는, 상기 패널이 로딩된 후 상기 워크 스테이지가 얼라인(align)되는 단계를 포함하는 것인 유기전계발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 프로브 스테이지는 4개로 구비되되, 상기 4개의 프로브 스테이지는 제1 내지 제4 프로브 스테이지이고,
    상기 지그 스테이지는 4개로 구비되되, 상기 4개의 지그 스테이지는 제1 내지 제4 지그 스테이지이며,
    상기 워크 스테이지의 네 측면에 각각 대응하여 상기 제1 내지 제4 프로브 스테이지 및 상기 제1 내지 제4 지그 스테이지가 배치되되, 상기 제1 프로브 스테이지와 제3 프로브 스테이지는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되고,
    상기 제2 프로브 스테이지와 제4 프로브 스테이지는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되며,
    상기 제1 지그 스테이지와 제3 지그 스테이지는 X축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되고,
    상기 제2 지그 스테이지와 제4 지그 스테이지는 Y축 방향에 대하여 서로 마주하게 배치되며,
    상기 제1 내지 제4 프로브 스테이지, 제2 지그 스테이지 및 제4 지그 스테이지는, 상기 베이스부 상에 장착되고,
    상기 제1 지그 스테이지 및 제3 지그 스테이지는 상기 워크 스테이지 상에 장착되는 것인 유기전계발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 워크 스테이지는 상기 베이스부에 대해 3축 방향 조절이 가능하고,
    상기 (a) 단계는 상기 패널이 로딩된 후 상기 워크 스테이지가 얼라인되는 단계를 포함하는 것인 유기전계발광 표시 타입의 패널 검사 방법.
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