KR20140121574A - 디스플레이패널 제조용 증착장치 및 이를 이용한 디스플레이패널 제조방법 - Google Patents

디스플레이패널 제조용 증착장치 및 이를 이용한 디스플레이패널 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 디스플레이패널을 제조하기 위한 패널기판 및 상기 패널기판에 결합된 캐리어기판을 지지하기 위한 지지부, 상기 지지부에 지지된 패널기판에 박막을 증착하기 위한 증착부, 상기 지지부에 지지된 패널기판 및 상기 증착부 사이에 위치되게 설치되는 실드마스크, 및 상기 실드마스크 및 상기 캐리어기판 사이에 위치되어 상기 캐리어기판에서 상기 패널기판으로부터 돌출된 돌출부를 가리는 차단기구를 포함하는 디스플레이패널 제조용 증착장치 및 이를 이용한 디스플레이패널 제조방법에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 캐리어기판이 재사용될 수 있도록 캐리어기판에 박막이 증착되는 것을 방지함으로써, 캐리어기판에 대한 소모량을 줄일 수 있고, 이에 따라 디스플레이패널을 제조하는데 드는 공정비용을 절감하는데 기여할 수 있다.

Description

디스플레이패널 제조용 증착장치 및 이를 이용한 디스플레이패널 제조방법{Deposition Apparatus for Manufacturing Display Panel Device and Method for Manufacturing Display Panel Device}
본 발명은 디스플레이패널을 제조하기 위한 디스플레이패널 제조용 증착장치 및 디스플레이패널 제조방법에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 디스플레이패널을 제조하기 위한 패널기판에 박막 트랜지스터 등을 형성하기 위한 증착공정이 포함된다.
최근 업계에서는 디스플레이장치에 대한 중량 감소, 배치 용이성, 디자인적 측면 강조 등을 위해 얇은 두께로 제조된 슬림(Slim) 디스플레이장치에 대한 수요가 증가하고 있다. 슬림 디스플레이장치를 제조하기 위해서는, 디스플레이장치를 구성하는 디스플레이패널의 두께를 줄인 슬림 디스플레이 패널을 제조하여야 한다.
이와 같이 디스플레이패널의 두께를 얇게 제조하는 방안으로, 얇은 두께로 형성된 패널기판을 이용하는 방법이 제안되었으나, 패널기판이 얇은 두께로 형성됨에 따라 패널기판이 갖는 내구성이 저하되므로, 상기 증착공정 등의 제조공정이 이루어지는 과정에서 패널기판이 쉽게 손상되는 문제가 있다.
이를 해결하기 위해, 최종적으로 디스플레이장치에 구비되는 패널기판에 비해 두꺼운 두께로 형성된 패널기판을 이용하여 디스플레이패널을 제조한 후에, 패널기판의 일부를 식각함으로써 슬림 디스플레이패널을 제조하는 방안이 제안되었다. 이러한 종래 기술은 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0119368호(2011년 11월 2일 공개)에 개시되어 있다. 그러나, 이와 같은 종래 기술은 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 종래 기술은 패널기판 전체를 식각하기 위해 많은 양의 식각액이 소모될 뿐만 아니라, 패널기판을 식각함에 따라 발생하는 이물질 등으로 인해 식각액이 오염되므로 식각액을 주기적으로 교체하여야 한다. 따라서, 종래 기술은 식각액 사용으로 인해 소모품에 대한 공정 비용을 상승시키고, 이에 따라 디스플레이패널에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.
둘째, 종래 기술은 패널기판을 식각하는 공정이 이루어지는 챔버 내부가 식각액, 패널기판을 식각함에 따라 발생하는 이물질 등으로 인해 오염되므로, 챔버 내부를 주기적으로 세정하는 작업이 필요하다. 따라서, 종래 기술은 주기적인 세정 작업 수행으로 인해 공정 비용이 상승할 뿐만 아니라, 세정 작업이 이루어지는 동안 디스플레이패널을 제조하는 공정을 중지하여야 하므로, 공정 시간에 손실이 발생함에 따라 디스플레이패널에 대한 생산성을 저하시키는 문제가 있다.
셋째, 종래 기술은 식각액으로 불화수소(HF, Hydrogen Fluoride) 등과 같은 환경 오염 물질을 사용함에 따라, 환경 오염 문제를 발생시킬 우려가 있는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고 안출된 것으로, 슬림 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 패널기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 디스플레이패널 제조용 증착장치 및 이를 이용한 디스플레이패널 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 식각액을 이용하지 않고도 슬림 디스플레이패널을 제조할 수 있는 디스플레이패널 제조용 증착장치 및 이를 이용한 디스플레이패널 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치는 디스플레이패널을 제조하기 위한 패널기판 및 상기 패널기판에 결합된 캐리어기판을 지지하기 위한 지지부; 상기 지지부에 지지된 패널기판에 박막을 증착하기 위한 증착부; 상기 지지부에 지지된 패널기판 및 상기 증착부 사이에 위치되게 설치되는 실드마스크; 및 상기 캐리어기판에 박막이 증착되는 것을 방지하기 위해 상기 지지부에 결합되는 차단기구를 포함할 수 있다. 상기 차단기구는 상기 실드마스크 및 상기 캐리어기판 사이에 위치되어 상기 캐리어기판에서 상기 패널기판으로부터 돌출된 돌출부를 가리는 차단부재를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 디스플레이패널을 제조하기 위한 패널기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계; 패널기판에 결합된 캐리어기판을 지지부에 안착시키는 단계; 상기 캐리어기판에서 상기 패널기판으로 돌출된 돌출부가 차단부재에 의해 가려진 상태에서 상기 패널기판에 박막을 증착하는 단계; 및 상기 패널기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 캐리어기판이 재사용될 수 있도록 캐리어기판에 박막이 증착되는 것을 방지함으로써, 캐리어기판에 대한 소모량을 줄일 수 있고, 이에 따라 디스플레이패널을 제조하는데 드는 공정비용을 절감하는데 기여할 수 있다.
본 발명은 제조과정에서 패널기판이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있도록 구현됨으로써, 박막이 증착된 패널기판에 대한 수율 및 품질을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 슬림 디스플레이패널에 대한 수율 및 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 디스플레이패널 제조 과정에서 식각액이 이용되지 않고도 패널기판이 손상되는 것을 방지할 수 있도록 구현됨으로써, 공정 비용을 줄일 수 있고, 세정 작업으로 인해 공정 시간에 손실이 발생하는 것을 방지함으로써 박막이 증착된 패널기판 및 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 디스플레이패널 제조 과정에서 환경 오염 물질인 식각액이 이용되지 않도록 구현됨으로써, 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 박막이 증착된 패널기판 및 디스플레이패널을 제조하기 위한 제조공정을 친환경적으로 구현하는데 기여할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 있어서 캐리어기판을 이용하여 디스플레이패널을 제조함에 따른 작용 효과를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치에 대한 개략적인 측단면도
도 6은 도 4의 A 부분에 대한 부분 확대 단면도
도 7은 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치에 있어서 차단기구의 개략도
도 8은 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치에 있어서 차단프레이들의 개략도
도 9 및 도 10은 도 8의 Ⅱ-Ⅱ선을 기준으로 차단부재가 이동하는 상태를 나타낸 작동상태도
도 11은 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법의 개략적인 순서도
도 12는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법에 있어서 패널기판에 캐리어기판을 결합시키는 결합장치의 일례에 대한 개략적인 단면도
도 13은 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법에 있어서 패널기판으로부터 캐리어기판을 분리하는 분리장치의 일례에 대한 개략적인 단면도
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치에 관해 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 디스플레이패널을 제조하기 위한 패널기판(100)에 캐리어기판(200)이 결합된 상태에서 상기 패널기판(100)에 박막을 증착하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)를 설명하기에 앞서, 상기 패널기판(100) 및 상기 캐리어기판(200)에 대해 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 상기 패널기판(100)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치가 갖는 디스플레이패널을 제조하기 위한 것이다. 상기 패널기판(100)에는 증착공정 등을 통해 소정의 박막이 형성된다. 예컨대, 상기 패널기판(100)에는 상기 증착공정을 통해 박막 트랜지스터 어레이 등이 형성됨으로써 디스플레이패널로 제조될 수 있다. 상기 패널기판(100)은 글래스(Glass)로 형성될 수 있다. 상기 패널기판(100)은 플라스틱(Plastic), 메탈(Metal) 등으로 형성될 수도 있다. 상기 패널기판(100)은 상기 증착공정 등을 거친 후에 다른 패널기판(300)과 합착될 수 있다. 상기 패널기판(100)과 다른 패널기판(300) 사이에는 중간층(310)이 형성된다. 상기 중간층(310)은 디스플레이장치의 종류에 따라 서로 다른 구성을 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 디스플레이장치가 LCD인 경우, 상기 중간층(310)은 액정(Liquid Crystal) 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 OLED인 경우, 상기 중간층(310)은 형광성 유기화합물 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 PDP인 경우, 상기 중간층(310)은 불활성기체 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 EPD인 경우, 상기 중간층(310)은 전기영동 분산액 등을 포함할 수 있다.
다음, 상기 캐리어기판(200)은 상기 패널기판(100)에 결합됨으로써, 상기 패널기판(100)의 내구성을 보강한다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 패널기판(100)에 비해 큰 크기로 형성된다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 패널기판(100)에 비해 두꺼운 두께로 형성될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 패널기판(100)에 비해 얇거나 상기 패널기판(100)과 대략 일치하는 두께로 형성될 수도 있다. 상기 캐리어기판(200)은 글래스, 플라스틱, 메탈 등으로 형성될 수 있다.
이러한 캐리어기판(200)은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 완료되기 이전에 상기 패널기판(100)으로부터 분리됨으로써, 슬림 디스플레이패널 및 이를 이용한 슬림 디스플레이장치가 구현될 수 있도록 한다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 지지하기 위한 지지부(2), 패널기판(100)에 박막을 증착하기 위한 증착부(3), 상기 패널기판(100) 및 상기 증착부(3) 사이에 위치되게 설치되는 실드마스크(4), 및 상기 캐리어기판(200)에 박막이 증착되는 것을 방지하기 위한 차단기구(5)를 포함한다.
상기 차단기구(5)는 상기 캐리어기판(200)의 돌출부(210, 도 1에 도시됨)를 가리는 차단부재(51)를 포함한다. 상기 돌출부(210)는 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)에서 상기 패널기판(100)으로부터 돌출된 부분을 의미한다. 상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210)를 가림으로써, 상기 증착공정이 수행되는 과정에서 상기 돌출부(210)에 박막이 증착되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 차단기구(5)가 상기 돌출부(210)에 박막이 증착되는 것을 차단함으로써, 상기 캐리어기판(200) 전체에 박막이 증착되는 것을 차단할 수 있다. 상기 캐리어기판(200)에서 상기 돌출부(210)를 제외한 나머지 부분은 상기 패널기판(100)에 가려져 박막이 증착되지 않기 때문이다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 패널기판(100)으로부터 분리되면, 분리된 캐리어기판(200)이 다른 패널기판을 이용하여 디스플레이패널을 제조하는데 재사용되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)을 이용하여 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 상기 캐리어기판(200)에 대한 소모량을 줄임으로써, 디스플레이패널을 제조하는데 드는 공정비용을 절감하는데 기여할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 캐리어기판(200) 전체에 박막이 증착되는 것을 차단함으로써, 상기 패널기판(100)으로부터 분리되는 캐리어기판(200)에 대해 별도의 박막 제거공정 없이도 다른 패널기판(100)을 이용하여 디스플레이패널을 제조하는데 해당 캐리어기판(200)이 재사용되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제조용 증착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)을 재사용하기 위해 드는 비용을 줄임으로써, 디스플레이패널을 제조하는데 드는 공정비용을 더 줄일 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 패널기판(100)이 상기 캐리어기판(200)에 의해 내구성이 보강된 상태로 상기 증착공정을 수행한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 패널기판(100)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도, 상기 증착공정을 수행하는 과정에서 상기 패널기판(100)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 증착공정을 수행하는 과정에서 상기 패널기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있으므로, 슬림 디스플레이패널에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
셋째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 종래 기술과 같이 식각액을 이용하지 않고도, 상기 패널기판(100)이 손상되는 것을 방지하면서 슬림 디스플레이패널이 제조되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 종래 기술과 비교할 때, 디스플레이패널 제조 과정에서 소모품인 식각액이 사용되지 않도록 함으로써, 슬림 디스플레이패널에 대한 제조 단가를 낮출 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 종래 기술과 같이 식각액 사용으로 인한 챔버 세정 작업이 생략되도록 구현되므로, 공정 비용을 더 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 세정 작업으로 인해 공정 시간에 손실이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
넷째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 종래 기술과 같이 디스플레이패널 제조 과정에서 환경 오염 물질인 식각액이 사용되지 않도록 구현됨으로써, 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 디스플레이패널을 제조하기 위한 공정라인을 친환경적으로 구현하는데 기여할 수 있다.
이하에서는 상기 지지부(2), 상기 증착부(3), 상기 실드마스크(4), 및 상기 차단기구(5)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 지지부(2)는 상기 패널기판(100) 및 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 지지한다. 상기 지지부(2)는 상기 증착부(3)로부터 소정 거리 이격되게 설치된다. 상기 지지부(2)는 상기 패널기판(100)이 상기 증착부(3) 쪽을 향하도록 상기 캐리어기판(200)을 지지한다. 이 경우, 상기 캐리어기판(200)은 상기 지지부(2)에 접촉된다. 상기 패널기판(100) 및 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)은 별도의 이송장치(미도시)에 의해 이송됨으로써, 상기 지지부(2)에 안착될 수 있다.
상기 지지부(2)는 챔버유닛(10) 내부에 위치되게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 패널기판(100)에 박막을 증착하는 증착공정은, 상기 챔버유닛(10) 내부에서 이루어질 수 있다. 상기 챔버유닛(10)은 전체적으로 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 증착공정이 이루어질 수 있는 작업공간을 제공할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
여기서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 도 3에 도시된 바와 같이, 수평상태의 패널기판(100)에 대해 상기 증착공정을 수행할 수 있다. 이 경우, 상기 지지부(2)는 상기 패널기판(100)이 수평상태로 유지되도록 상기 캐리어기판(200)을 지지한다. 상기 증착부(3)는 상기 지지부(2)의 상측에 위치되게 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 도 4에 도시된 바와 같이, 수직상태의 패널기판(100)에 대해 상기 증착공정을 수행할 수도 있다. 이 경우, 상기 지지부(2)는 상기 패널기판(100)이 수직상태로 유지되도록 상기 캐리어기판(200)을 지지한다. 상기 패널기판(100)은 상기 캐리어기판(200)이 상기 차단기구(5)에 지지됨으로써 상기 지지부(2)에 수직상태로 지지될 수 있다. 상기 이송장치에 의해 상기 패널기판(100) 및 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)이 상기 지지부(2)에 안착될 때, 상기 지지부(2)는 수평상태일 수 있다. 상기 이송장치에 의해 상기 패널기판(100) 및 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)이 상기 지지부(2)에 안착된 후에, 상기 지지부(2)는 상기 패널기판(100)이 수직상태로 되도록 회전할 수 있다. 이를 위해, 상기 지지부(2)는 회전력을 제공하는 회전기구(20)에 결합될 수 있다. 상기 회전기구(20)는 회전력을 발생시키는 모터일 수 있다. 상기 모터는 상기 지지부(2)의 회전축에 직접 결합되어 상기 지지부(2)를 회전시킬 수 있다. 상기 모터와 상기 지지부(2)의 회전축이 소정 거리 이격된 경우, 상기 회전기구(20)는 상기 모터의 회전력을 상기 지지부(2)의 회전축에 전달하는 전달수단(미도시)을 더 포함할 수 있다. 상기 전달수단은 풀리, 벨트 등일 수 있다. 도 4에 도시된 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 클러스터 방식의 제조시스템에 이용될 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 도 5에 도시된 바와 같이, 인라인 방식의 제조시스템에서 상기 증착공정을 수행하도록 구현될 수도 있다. 이 경우, 상기 지지부(2)는 상기 패널기판(100)이 수직상태로 유지되도록 상기 캐리어기판(200)을 지지한다. 상기 패널기판(100)은 상기 캐리어기판(200)이 상기 차단기구(5)에 지지됨으로써 상기 지지부(2)에 수직상태로 지지될 수 있다. 상기 지지부(2)는 이송기구(30)에 의해 인라인 방식의 제조시스템이 갖는 공정챔버들 간에 이송될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(2)에 지지된 패널기판(100)은 수직상태로 상기 공정챔버들 간에 이송되면서 디스플레이패널을 제조하기 위한 공정들이 수행될 수 있다. 상기 이송기구(30)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식 등을 이용하여 상기 지지부(2)를 이동시킬 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 증착부(3)는 상기 지지부(2)에 지지된 패널기판(100)에 대해 박막을 증착함으로써, 상기 증착공정을 수행한다. 상기 증착부(3)는 상기 지지부(3)로부터 소정 거리 이격되게 설치된다. 상기 증착부(3)는 상기 챔버유닛(10) 내부에 위치되게 설치될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)가 수평상태의 패널기판(100)에 대해 증착공정을 수행하는 경우, 상기 증착부(3)는 상기 지지부(2)로부터 수직방향으로 상측에 위치되게 설치된다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)가 수직상태의 패널기판(100)에 대해 증착공정을 수행하는 경우, 상기 증착부(3)는 상기 지지부(2)로부터 수평방향으로 소정 거리 이격되게 설치된다.
상기 증착부(3)는 플라즈마를 이용하여 상기 패널기판(100)에 박막을 증착할 수 있다. 예컨대, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)가 스퍼터인 경우, 상기 증착부(3)는 박막물질로 형성되는 타겟(31), 상기 타겟(31)과 결합되는 캐소드(Cathode, 32), 상기 캐소드(32)와 결합되는 마그넷(Magnet, 33), 및 상기 챔버유닛(10) 내부에 불활성기체를 공급하는 기체공급부(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 캐소드(32)는 상기 타겟(31)과 상기 마그넷(33) 사이에 위치되게 설치된다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 상기 실드마스크(4)는 상기 지지부(2)에 지지된 패널기판(100) 및 상기 증착부(3) 사이에 위치되게 설치된다. 상기 실드마스크(4)는 상기 증착부(3)에 대해 상기 패널기판(100)의 일부를 가림으로써, 상기 패널기판(100)의 일부에 박막이 증착되는 것을 차단한다. 상기 실드마스크(4)는 상기 패널기판(100)의 외곽영역(110, 도 6에 도시됨)을 가릴 수 있다. 상기 외곽영역(110)은 디스플레이패널에서 영상이 표시되지 않는 비표시영역에 해당할 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 돌출부(210)가 상기 외곽영역(110)으로부터 돌출되게 상기 패널기판(100)에 결합된다. 상기 실드마스크(4)는 전체적으로 사각고리 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 패널기판(100)의 외곽영역(110)을 가릴 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 실드마스크(4)는 상기 챔버유닛(10) 내부에 위치되게 설치될 수 있다.
상기 실드마스크(4)는 상기 지지부(2)에 지지된 패널기판(100)으로부터 소정 거리 이격된 위치에서 상기 패널기판(100)의 외곽영역(110)을 가린다. 상기 실드마스크(4)가 상기 지지부(2)에 지지된 패널기판(100)에 접촉된 상태에서 상기 증착공정이 수행되면, 상기 증착공정이 완료된 후에 상기 실드마스크(4)가 상기 패널기판(100)으로부터 이격될 때 정전기가 발생함에 따라 상기 패널기판(100)이 손상 내지 파손될 위험이 있기 때문이다. 따라서, 상기 증착부(3)로부터 제공되는 박막물질은, 상기 실드마스크(4)와 상기 패널기판(100) 사이의 틈새를 통해 상기 외곽영역(110)으로부터 돌출된 돌출부(210)까지 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 돌출부(210)에는 박막이 증착될 수 있다. 이와 같이, 상기 돌출부(210)에 박막이 증착되는 것을 방지하기 위해, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)에 박막이 증착되는 것을 방지하기 위한 차단기구(5)를 포함한다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 상기 차단기구(5)는 상기 지지부(2)에 결합된다. 상기 차단기구(5)는 상기 돌출부(210)를 가림으로써, 상기 실드마스크(4)와 상기 패널기판(100) 사이의 틈새로 들어온 박막물질이 상기 돌출부(210)로 이동하는 것을 차단할 수 있다. 이에 따라, 상기 차단기구(5)는 상기 돌출부(210)에 박막이 증착되는 것을 방지할 수 있다. 상기 차단기구(5)는 상기 챔버유닛(10) 내부에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 차단기구(5)는 상기 증착공정이 수직상태의 패널기판(100)에 대해 수행되는 경우, 상기 패널기판(100)이 상기 지지부(2)에 수직상태로 유지되도록 상기 캐리어기판(200)을 지지할 수 있다. 상기 차단기구(5)는 상기 돌출부(210)를 가리기 위한 차단부재(51)를 포함한다.
상기 차단부재(51)는 상기 실드마스크(4) 및 상기 캐리어기판(200) 사이에 위치됨으로써, 상기 돌출부(210)를 가릴 수 있다. 상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210)의 전면(全面)을 가림으로써, 상기 돌출부(210) 전체에 박막이 증착되는 것을 차단할 수 있다. 이를 위해, 상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210)와 대략 일치하는 크기로 형성될 수 있다. 상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210)에 비해 큰 크기로 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210)를 포함하여 상기 패널기판(100)의 외곽영역(110) 일부를 가릴 수 있는 크기로 형성될 수 있다. 상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210) 외측에서 상기 지지부(2)에 결합될 수 있다. 상기 차단부재(51)는 상기 증착공정이 수직상태의 패널기판(100)에 대해 수행되는 경우, 상기 패널기판(100)이 상기 지지부(2)에 수직상태로 유지되도록 상기 캐리어기판(200)을 지지할 수 있다.
상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210)로부터 소정 거리 이격된 위치에서 상기 돌출부(210)를 가릴 수 있다. 상기 차단부재(51)가 상기 돌출부(210)에 접촉된 상태에서 상기 증착공정이 수행되면, 상기 증착공정이 완료된 후에 상기 차단부재(51)가 상기 돌출부(210)로부터 이격될 때 정전기가 발생함에 따라 상기 캐리어기판(200)이 손상 내지 파손될 위험이 있기 때문이다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 돌출부(210)에 박막이 증착되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 증착공정이 완료된 후에 정전기에 의해 캐리어기판(200)이 손상 내지 파손되는 것을 방지함으로써, 상기 캐리어기판(200)에 대한 재사용률을 높일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)에 대한 소모량을 더 줄임으로써, 디스플레이패널을 제조하는데 드는 공정비용을 더 줄일 수 있다.
상기 차단부재(51)가 상기 패널기판(100)의 외곽영역(110) 및 상기 돌출부(210)를 가리는 경우, 상기 차단부재(51)는 상기 패널기판(100)으로부터 소정 거리 이격된 위치에서 상기 돌출부(210)를 가릴 수 있다. 이 경우, 상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210)를 향하는 일면(511, 도 6에 도시됨)이 상기 패널기판(100)으로부터 0.1 mm 이상 0.5 mm 이하의 거리(511D, 도 6에 도시됨)로 이격되게 위치될 수 있다. 상기 차단부재(51)가 일면(511)이 상기 패널기판(100)으로부터 0.1 mm 미만의 거리(511D)로 이격되게 위치되는 경우, 상기 패널기판(100)은 상기 증착공정이 완료된 후에 정전기에 의해 손상 내지 파손된다. 상기 차단부재(51)가 일면(511)이 상기 패널기판(100)으로부터 0.5 mm 초과의 거리(511D)로 이격되게 위치되는 경우, 상기 돌출부(210)에는 박막이 증착된다. 상기 차단부재(51)가 일면(511)이 상기 패널기판(100)으로부터 0.1 mm 이상 0.5 mm 이하의 거리(511D)로 이격되게 위치됨으로써, 본 발명에 따른 디스플레이 제조용 증착장치(1)는 상기 패널기판(100)이 정전기에 의해 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있음과 동시에 상기 돌출부(210)에 박막이 증착되는 것을 차단할 수 있다. 상기 차단부재(51)는 일면(511)이 상기 패널기판(100)으로부터 0.3 mm의 거리(511D)로 이격되게 위치되는 것이 바람직하다.
상기 차단부재(51)가 상기 돌출부(210)를 가리는 경우, 상기 실드마스크(4)는 상기 차단부재(51)가 위치되는 삽입홈(41, 도 6에 도시됨)을 포함할 수 있다. 상기 차단부재(51)는 상기 삽입홈(41)에 삽입된 상태로 상기 돌출부(210)를 가릴 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 삽입홈(41)이 없는 경우에 비해 상기 실드마스크(4)를 상기 패널기판(100)의 외곽영역(110)에 더 가깝게 위치시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 실드마스크(4)가 상기 패널기판(100)의 외곽영역(110)에 박막이 증착하는 것을 방지하는 기능을 강화할 수 있다.
도 3 내지 도 7을 참고하면, 상기 차단기구(5)는 상기 증착부(3)로부터 제공되는 박막물질을 상기 패널기판(100) 쪽으로 통과시키기 위한 통과공(52, 도 7에 도시됨)을 포함할 수 있다.
상기 통과공(52)은 상기 차단부재(51)를 관통하여 형성된다. 이에 따라, 상기 차단부재(51)가 상기 돌출부(210)를 가린 상태에서도, 상기 패널기판(100)에는 박막이 증착될 수 있다. 상기 차단부재(51)는 상기 통과공(52)에 의해 가운데가 뚫린 형태로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 차단부재(51)는 사각판형의 통과공(52)이 형성된 사각고리 형태로 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 캐리어기판(200)은 상기 돌출부(210)가 상기 패널기판(100)으로부터 사각고리 형태로 돌출되도록 상기 패널기판(100)에 결합될 수 있다.
상기 차단부재(51)는 상기 통과공(52) 쪽을 향할수록 상기 실드마스크(4)를 향하는 타면(512)이 상기 일면(511)에 가까워지도록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 차단부재(51) 및 상기 실드마스크(4) 간에 기구적인 간섭이 발생하는 정도를 줄일 수 있다.
여기서, 상기 차단부재(51)의 타면(512)가 모서리가 있는 경우, 박막물질은 해당 모서리 부분이 전자를 끌어당기는 힘에 의해 상기 차단부재(51)에 증착될 수 있다. 이를 방지하기 위해, 상기 차단부재(51)는 상기 실드마스크(4)를 향하는 타면(512)이 곡면을 이루도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 차단부재(51)의 타면(512)에 박막물질이 증착되는 것을 방지함으로써, 상기 차단부재(51)가 도체화되어 증착공정에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)는 상기 차단부재(51)의 타면(512)에 박막물질이 증착되어 박막물질에 대한 손실이 발생하는 것을 방지함으로써, 상기 패널기판(100)에 대한 증착률을 증대시킬 수 있고, 상기 증착공정이 완료된 패널기판(100)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
도 3 내지 도 9를 참고하면, 상기 차단기구(5)는 상기 차단부재(51)를 이동시키는 이동기구(53, 도 9에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 이동기구(53)는 상기 차단부재(51)가 상기 돌출부(210)의 전면(全面)을 가리도록 상기 차단부재(51)를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이동기구(53)는 상기 돌출부(210)의 전면(全面)이 상기 차단부재(51)에 가려지도록 함으로써, 상기 돌출부(210) 전체에 박막이 증착되는 것을 차단할 수 있다. 상기 이동기구(53)는 상기 차단부재(51)의 일면(511, 도 9에 도시됨)이 상기 패널기판(100)으로부터 0.1 mm 이상 0.5 mm 이하의 거리(511D, 도 6에 도시됨)로 이격되게 위치되도록 상기 차단부재(51)를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이동기구(53)는 상기 패널기판(100)이 정전기에 의해 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있음과 동시에 상기 돌출부(210)에 박막이 증착되는 것을 차단할 수 있다.
상기 이동기구(53)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식 등을 이용하여 상기 이동기구(53)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동기구(53)는 상기 지지부(2) 또는 상기 챔버유닛(10)에 결합될 수 있다. 상기 이동기구(53)에는 상기 차단부재(51)가 결합될 수 있다.
상기 이동기구(53)는 상기 차단부재(51)를 차단위치 및 이격위치 간에 이동시킬 수 있다. 상기 차단위치는 상기 차단부재(51)가 상기 돌출부(210)의 전면(全面)을 가리는 위치이다. 상기 차단부재(51)는 상기 차단위치에 위치되면, 상기 실드마스크(4) 및 상기 돌출부(210) 사이에 위치된다. 상기 이격위치는 상기 차단부재(51)가 상기 돌출부(210)로부터 이격되는 위치로, 상기 돌출부(210)를 가리지 않는 위치이다.
상기 이동기구(53)는 상기 이송장치가 상기 패널기판(100) 및 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시키기 전에, 상기 차단부재(51)를 상기 이격위치로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이동기구(53)는 상기 패널기판(100) 및 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시키는 작업에 상기 차단부재(51)가 방해되는 것을 방지할 수 있다. 상기 이동기구(53)는 상기 이송장치가 상기 패널기판(100) 및 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시키면, 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치로 이동시킬 수 있다.
상기 이동기구(53)는 상기 차단부재(51)가 하나의 몸체로 형성되는 경우, 상기 차단부재(51)를 제1축방향으로 이동시킴으로써 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치 또는 상기 이격위치에 위치시킬 수 있다. 이 경우, 상기 이동기구(53)는 상기 차단부재(51)를 상기 챔버유닛(10) 외측으로 이동시킴으로써, 상기 차단부재(51)를 상기 이격위치에 위치시킬 수 있다.
상기 이동기구(53)는 상기 차단부재(51)가 복수개의 차단프레임들(51a, 51b, 51c, 51d)을 포함하는 경우, 상기 차단프레임들(51a, 51b, 51c, 51d)을 상기 차단위치 및 상기 이격위치 간에 이동시킬 수 있다. 상기 차단프레임들(51a, 51b, 51c, 51d)은 상기 이동기구(53)에 의해 서로 다른 방향으로 이동됨으로써, 상기 차단위치 또는 상기 이격위치에 위치될 수 있다. 상기 차단프레임들(51a, 51b, 51c, 51d)은 도 8에 실선으로 도시된 바와 같이 상기 차단위치에 위치되면, 상기 돌출부(210, 도 9에 도시됨)의 전면(全面)을 가릴 수 있다. 이 경우, 상기 차단프레임들(51a, 51b, 51c, 51d)은 서로 접촉되어 액자 형태를 이룸으로써, 상기 돌출부(210, 도 9에 도시됨)의 전면(全面)을 가릴 수 있다. 상기 차단프레임들(51a, 51b, 51c, 51d)은 도 8에 점선으로 도시된 바와 같이 상기 이격위치에 위치되면, 서로 이격됨으로써 상기 돌출부(210, 도 9에 도시됨)를 가리지 않게 된다.
상기 이동기구(53)는 도 9에 도시됨 바와 같이 상기 차단부재(51)를 직선 이동시킴으로써, 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치 및 상기 이격위치 간에 이동시킬 수 있다. 상기 이동기구(53)는 도 10에 도시된 바와 같이 상기 차단부재(51)를 회전 이동시킴으써, 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치 및 상기 이격위치 간에 이동시킬 수도 있다. 이 경우, 상기 차단부재(51)는 상기 지지부(2)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이동기구(53)는 상기 지지부(2)에 회전 가능하게 결합된 차단프레임들(51a, 51b, 51c, 51d)(도 8에 도시됨)을 회전 이동시킴으로써, 상기 차단프레임들(51a, 51b, 51c, 51d)(도 8에 도시됨)을 상기 차단위치 및 상기 이격위치 간에 이동시킬 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상술한 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 증착장치(1)를 이용하여 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
우선, 상기 패널기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 결합시킨다(S10). 이러한 공정(S10)은 상기 패널기판(100) 및 상기 캐리어기판(200)을 결합시키기 위한 결합장치(400, 도 12에 도시됨)에 의해 수행될 수 있다.
예컨대, 상기 결합장치(400)는 도 12에 도시된 바와 같이, 챔버기구(410), 제1정반(420), 제2정반(430), 및 압력조절부(440)를 포함할 수 있다. 상기 패널기판(100)은 상기 제1정반(420)에 지지되고, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제2정반(430)에 흡착력, 정전력, 점착력 중 적어도 하나를 이용하여 부착된다. 이 상태에서 상기 결합장치(400)는 상기 패널기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 결합시킬 수 있다.
이 경우, 상기 패널기판(100)에 캐리어기판(200)을 결합시키는 공정(S10)은, 상기 챔버기구(410) 내부에서 상기 패널기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 접촉시키는 공정, 및 상기 챔버기구(410) 내부의 압력을 낮추는 공정을 포함할 수 있다.
상기 패널기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 접촉시키는 공정은, 상기 제2정반(430)에 부착되어 있던 캐리어기판(200)을 상기 제2정반(430)으로부터 이격시킴으로써 이루어질 수 있다. 이는 상기 결합장치(400)가 상기 캐리어기판(200)을 상기 제2정반(430)에 부착시키고 있던 부착력을 제거함으로써 이루어질 수 있다. 예컨대, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제2정반(430)으로부터 제공되는 흡착력, 정전력, 점착력 등이 제거됨으로써, 상기 제2정반(430)으로부터 자중에 의해 낙하된 후에 상기 제1정반(420)에 지지된 패널기판(100)에 접촉될 수 있다.
상기 챔버기구(410) 내부의 압력을 낮추는 공정은, 상기 캐리어기판(200)이 상기 제2정반(430)으로부터 이격되어 상기 패널기판(100)에 접촉되면, 상기 압력조절부(440)가 상기 챔버기구(410) 내부의 압력을 소정의 진공압력으로 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(440)는 상기 패널기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하는 기체 등을 상기 패널기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 배출시킴으로써, 상기 패널기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 실런트 등과 같은 접착제 없이 분자 결합을 이용하여 결합시킬 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 패널기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 결합시키기 위해 실런트를 도포하는 공정, 실런트를 경화시키는 공정 등을 생략할 수 있으므로, 상기 패널기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 결합시키기 위한 공정 수를 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 패널기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 결합시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써 디스플레이패널을 제조하는 공정에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 패널기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 결합시키데 필요한 장치 수를 줄일 수 있으므로, 상기 패널기판(100)을 제조하는 공정에 대한 공정비용 및 운영비용을 절감할 수 있다.
다음, 도 1 내지 도 11을 참고하면 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시킨다(S20). 이러한 공정(S20)은 상기 이송장치가 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시키는 공정(S20)은, 상기 증착공정이 수직상태의 패널기판(100)에 대해 수행되는 경우, 상기 캐리어기판(200)이 상기 차단부재(51)에 지지되도록 상기 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시킴으로써 이루어질 수 있다.
다음, 상기 패널기판(100)에 박막을 증착한다(S30). 이러한 공정(S30)은 상기 차단부재(51)가 상기 돌출부(210)를 가린 상태에서, 상기 증착부(3)가 상기 패널기판(100)에 박막을 증착함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 차단부재(51)를 이용하여 상기 캐리어기판(200) 전체에 박막이 증착되는 것을 차단함으로써, 상기 캐리어기판(200)이 다른 패널기판을 이용하여 디스플레이패널을 제조하는데 재사용되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 캐리어기판(200)을 이용하여 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 상기 캐리어기판(200)에 대한 소모량을 줄임으로써, 디스플레이패널을 제조하는데 드는 공정비용을 절감할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 캐리어기판(200) 전체에 박막이 증착되는 것을 차단함으로써, 상기 패널기판(100)으로부터 분리되는 캐리어기판(200)에 대해 별도의 박막 제거공정 없이도 다른 패널기판(100)을 이용하여 디스플레이패널을 제조하는데 해당 캐리어기판(200)이 재사용되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 제조방법은 상기 캐리어기판(200)을 재사용하기 위해 드는 비용을 줄임으로써, 디스플레이패널을 제조하는데 드는 공정비용을 더 줄일 수 있다.
다음, 상기 패널기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리한다(S40). 상기 패널기판(100)으로부터 분리된 캐리어기판(200)은 다른 패널기판을 이용하여 디스플레이패널을 제조하는데 재사용될 수 있다. 상기 패널기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정(S40)은, 상기 패널기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리시키기 위한 분리장치(500, 도 13에 도시됨)에 의해 수행될 수 있다.
예컨대, 상기 분리장치(500)는 도 13에 도시된 바와 같이, 챔버모듈(510), 제1스테이지(520), 제2스테이지(530), 및 흡착기구(540)를 포함할 수 있다. 상기 패널기판(100)은 상기 캐리어기판(200)이 상기 제2스테이지(530)를 향하도록 상기 제1스테이지(520)에 지지된다. 이 상태에서 상기 분리장치(500)는 상기 패널기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리할 수 있다.
이 경우, 상기 패널기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정(S40)은, 상기 캐리어기판(200)에 상기 제2스테이지(530)에 결합된 밀폐부재(미도시)를 접촉시키는 공정, 및 상기 흡착기구(540)가 유체를 흡입하여 상기 캐리어기판(200)을 상기 제2스테이지(530)에 흡착시키는 공정을 포함할 수 있다.
상기 캐리어기판(200)에 상기 밀폐부재를 접촉시키는 공정은, 상기 제2스테이지(530)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 밀폐부재는 중공의 사각고리 형태로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 밀페부재가 상기 캐리어기판(200)에 접촉되면, 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2스테이지(530) 사이의 공간은 밀폐된다.
상기 캐리어기판(200)을 상기 제2스테이지(530)에 흡착시키는 공정은, 상기 흡착기구(540)가 상기 밀폐부재에 의해 밀폐된 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2스테이지(530) 사이의 공간으로부터 유체를 흡입함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 패널기판(100)으로부터 이격되어 상기 제2스테이지(530)에 흡착됨으로써, 상기 패널기판(100)으로부터 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 패널기판(100)은 상기 제1스테이지(520)로부터 제공되는 흡착력, 정전력, 점착력 등에 의해 상기 제1스테이지(520)에 고정된 상태일 수 있다.
상기 패널기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정(S40)은, 상기 패널기판(100) 및 다른 패널기판(300, 도 2에 도시됨)을 합착시키는 합착공정이 완료된 후에 수행될 수도 있다.
도 1 내지 도 11을 참고하면, 상기 패널기판(100)에 박막을 증착하는 공정(S30)은, 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치로 이동시키는 공정(S31), 및 상기 차단부재(51)가 상기 차단위치에 위치되면 상기 패널기판(100)에 박막을 증착하는 공정(S32)을 포함할 수 있다.
상기 차단부재(51)를 상기 차단위치로 이동시키는 공정(S31)은, 상기 이동기구(53)가 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치로 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 이러한 공정(S31)에 따라, 상기 차단부재(51)는 상기 돌출부(210)의 전면(全面)을 가리게 위치될 수 있다. 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치로 이동시키는 공정(S31)은, 상기 차단부재(51)의 일면(511)이 상기 패널기판(100)으로부터 0.1 mm 이상 0.5 mm 이하의 거리(511D, 도 6에 도시됨)로 이격되도록 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치에 위치시킴으로써 이루어질 수 있다.
상기 차단부재(51)가 상기 차단위치에 위치되면 상기 패널기판(100)에 박막을 증착하는 공정(S32)은, 상기 차단부재(51)가 상기 차단위치에 위치된 상태에서, 상기 증착부(3)가 상기 패널기판(100)에 박막을 증착함으로써 이루어질 수 있다.
상기 패널기판(100)에 박막을 증착하는 공정(S30)은, 상기 패널기판(100)에 박막이 증착되면, 상기 차단부재(51)를 상기 이격위치로 이동시키는 공정을 포함할 수 있다. 이러한 공정은, 상기 이동기구(53)가 상기 차단부재(51)를 상기 이격위치로 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 차단부재(51)를 상기 이격위치로 이동시키는 공정은, 상기 증착공정이 수직상태의 패널기판(100)에 대해 수행된 경우, 상기 패널기판(100)이 수평상태로 전환된 후에 수행될 수 있다. 상기 차단부재(51)를 상기 이격위치로 이동시키는 공정은, 디스플레이패널을 제조하기 위한 시스템이 인라인 방식으로 구현된 경우, 해당 시스템에 연결된 공정장치들에 의해 모든 공정들이 완료된 후에 수행될 수 있다.
도 1 내지 도 11을 참고하면, 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시키는 공정(S20)은, 상기 차단부재(51)를 상기 이격위치로 이동시키는 공정(S21), 및 상기 차단부재(51)가 상기 이격위치에 위치되면 상기 지지부(2)에 상기 캐리어기판(200)을 안착시키는 공정(S22)을 포함할 수 있다.
상기 차단부재(51)를 상기 이격위치로 이동시키는 공정(S21)은, 상기 이동기구(53)가 상기 차단부재(51)를 상기 이격위치로 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 패널기판(100) 및 상기 패널기판(100)에 결합된 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시키는 작업에 상기 차단부재(51)가 방해되는 것을 방지할 수 있다.
상기 차단부재(51)가 상기 이격위치에 위치되면 상기 지지부(2)에 상기 캐리어기판(200)을 안착시키는 공정(S22)은, 상기 이송장치가 상기 캐리어기판(200)을 상기 지지부(2)에 안착시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 지지부(2)에 상기 캐리어기판(200)이 안착되면, 상기 차단부재(51)를 상기 차단위치로 이동시키는 공정(S31)이 수행될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 디스플레이패널 제조용 증착장치 2 : 지지부
3 : 증착부 4 : 실드마스크
5 : 차단기구 100 : 패널기판
200 : 캐리어기판 210 : 돌출부

Claims (10)

  1. 디스플레이패널을 제조하기 위한 패널기판 및 상기 패널기판에 결합된 캐리어기판을 지지하기 위한 지지부;
    상기 지지부에 지지된 패널기판에 박막을 증착하기 위한 증착부;
    상기 지지부에 지지된 패널기판 및 상기 증착부 사이에 위치되게 설치되는 실드마스크(Shield Mask); 및
    상기 캐리어기판에 박막이 증착되는 것을 방지하기 위해 상기 지지부에 결합되는 차단기구를 포함하고,
    상기 차단기구는 상기 실드마스크 및 상기 캐리어기판 사이에 위치되어 상기 캐리어기판에서 상기 패널기판으로부터 돌출된 돌출부를 가리는 차단부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 증착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 차단부재는 상기 돌출부를 향하는 일면이 상기 패널기판으로부터 0.1 mm 이상 0.5 mm 이하의 거리로 이격되게 위치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 증착장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 차단기구는 상기 차단부재를 이동시키는 이동기구, 및 상기 증착부로부터 제공되는 박막물질을 상기 패널기판 쪽으로 통과시키기 위한 통과공을 포함하고;
    상기 이동기구는 상기 차단부재가 상기 돌출부의 전면(全面)을 가리는 차단위치 및 상기 차단부재가 상기 돌출부로부터 이격되는 이격위치 간에 상기 차단부재를 이동시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 증착장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 차단부재는 복수개의 차단프레임을 포함하고,
    상기 차단기구는 상기 차단프레임들을 이동시키는 이동기구를 포함하며,
    상기 이동기구는 상기 차단프레임들이 상기 돌출부의 전면(全面)을 가리는 차단위치 및 상기 차단프레임들이 상기 돌출부로부터 이격되는 이격위치 간에 상기 차단프레임들을 이동시키고,
    상기 차단프레임들은 상기 차단위치에 위치되면 서로 접촉되어 액자 형태를 이루는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 증착장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 실드마스크는 상기 돌출부를 가린 차단부재가 위치되는 삽입홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 증착장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 차단기구는 상기 증착부로부터 제공되는 박막물질을 상기 패널기판 쪽으로 통과시키기 위한 통과공을 포함하며,
    상기 차단부재는 일면이 상기 돌출부를 향하도록 설치되되, 상기 통과공 쪽을 향할수록 상기 실드마스크를 향하는 타면이 상기 돌출부를 향하는 일면에 가까워지도록 크기가 감소되게 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 증착장치.
  7. 디스플레이패널을 제조하기 위한 패널기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계;
    패널기판에 결합된 캐리어기판을 지지부에 안착시키는 단계;
    상기 캐리어기판에서 상기 패널기판으로 돌출된 돌출부가 차단부재에 의해 가려진 상태에서 상기 패널기판에 박막을 증착하는 단계; 및
    상기 패널기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하는 단계를 포함하는 디스플레이패널 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 패널기판에 결합된 캐리어기판을 지지부에 안착시키는 단계는, 상기 차단부재를 이격위치로 이동시키는 단계, 및 상기 차단부재가 상기 이격위치에 위치되면 상기 지지부에 상기 캐리어기판을 안착시키는 단계를 포함하고;
    상기 패널기판에 박막을 증착하는 단계는, 상기 돌출부의 전면(全面)이 상기 차단부재에 의해 가려지는 차단위치로 상기 차단부재를 이동시키는 단계, 및 상기 차단부재가 상기 차단위치에 위치되면 상기 패널기판에 박막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제조방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 패널기판에 박막을 증착하는 단계는, 상기 차단부재에서 상기 돌출부를 향하는 일면이 상기 패널기판으로부터 0.1 mm 이상 0.5 mm 이하의 거리로 이격되게 위치시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제조방법.
  10. 제7항에 있어서, 상기 패널기판에 박막을 증착하는 단계는,
    상기 돌출부의 전면(全面)이 상기 차단부재에 의해 가려지는 차단위치로 상기 차단부재를 이동시키는 단계;
    상기 차단부재가 상기 차단위치에 위치되면, 상기 패널기판에 박막을 증착하는 단계; 및
    상기 패널기판에 박막이 증착되면, 상기 차단부재가 상기 돌출부로부터 이격되는 이격위치로 상기 차단부재를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 제조방법.
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