KR20140117997A - 유기 화합물 검출 장치 및 이를 구비한 표시 장치의 제조 설비 - Google Patents

유기 화합물 검출 장치 및 이를 구비한 표시 장치의 제조 설비 Download PDF

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Abstract

상압 설비에서 공정 가스로 사용되는 유기 화합물의 농도를 실시간으로 측정할 수 있는 유기 화합물 검출 장치 및 이를 구비한 표시 장치의 제조 설비를 제공한다. 유기 화합물 검출 장치는 유기 화합물을 향해 적외선을 조사하는 적외선 발광부와, 유기 화합물과 적외선 발광부를 차단시키는 제1 윈도우와, 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하는 적외선 검출부와, 유기 화합물과 적외선 검출부를 차단시키는 제2 윈도우를 포함한다. 제1 윈도우와 제2 윈도우는 실리카 계열의 물질로 형성되고, 유기 화합물의 적외선 흡광 영역에 대해 높은 적외선 투과도를 나타낸다.

Description

유기 화합물 검출 장치 및 이를 구비한 표시 장치의 제조 설비 {DETECTING APPARATUS FOR ORGANIC COMPOUNDS AND MANUFACTURING EQUIPMENT FOR DISPLAY DEVICE}
본 기재는 유기 화합물 검출 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상압 공정 설비에 사용되는 기체 상태의 유기 화합물을 실시간으로 검출할 수 있는 유기 화합물 검출 장치 및 이를 구비한 표시 장치의 제조 설비에 관한 것이다.
평판 표시 장치로서 액정 표시 장치(LCD)와 유기 발광 표시 장치(OLED)가 널리 사용되고 있다. 액정 표시 장치와 유기 발광 표시 장치는 공통적으로 화소 회로를 구성하는 박막 트랜지스터와 커패시터, 화소의 구동을 제어하는 주사 구동부와 데이터 구동부, 화소 회로와 구동부를 연결하는 게이트 배선과 데이터 배선 등을 포함한다.
표시 장치를 제조하기 위한 공정에는 상압 설비 내에서 진행되며 기체 상태의 유기 화합물을 공정 가스로 사용하는 공정들이 포함되어 있다. 예를 들어, 습식 식각과 같은 습식 공정 후 진행되는 세정 또는 건조 공정에서 이소프로필 알코올과 같은 알코올계 물질을 용매로 사용하고 있다.
현재의 상압 설비들은 유기 화합물의 농도 측정이 실시간으로 이루어지지 않고 있다. 다만 일부의 설비에서 화재 발생에 대비하여 설비에서 누출되는 유기 화합물을 검출하기 위한 자외선 센서 등을 구비하고 있을 뿐이다. 따라서 상압 설비들의 가동 중 공정 가스가 공급되지 않거나 공정 가스의 농도가 저하되는 현상이 발생하여도 이를 확인할 수 없으므로 공정 불량으로 이어질 수 있다.
본 기재는 상압 공정 설비에서 사용되는 기체 상태의 유기 화합물에 대해 농도를 실시간으로 측정함으로써 공정 가스의 미공급 또는 농도 저하에 따른 공정 불량을 방지할 수 있는 유기 화합물 검출 장치 및 이를 구비한 표시 장치의 제조 설비를 제공하고자 한다.
본 기재의 일 실시예에 따른 유기 화합물 검출 장치는 상압 설비에서 공정 가스로 사용되는 기체 상태의 유기 화합물을 향해 적외선을 조사하는 적외선 발광부와, 유기 화합물과 적외선 발광부를 차단시키는 제1 윈도우와, 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하는 적외선 검출부와, 유기 화합물과 적외선 검출부를 차단시키는 제2 윈도우를 포함한다. 제1 윈도우와 제2 윈도우의 적외선 흡광 영역은 유기 화합물의 적외선 흡광 영역과 상이하다.
유기 화합물은 알코올 계열의 물질을 포함하고, 제1 윈도우와 제2 윈도우는 실리카 계열의 물질을 포함할 수 있다. 제1 윈도우와 제2 윈도우는 유리와 석영 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 제1 윈도우와 제2 윈도우는 2800cm-1 내지 3000cm-1의 파수 범위에서 0.7 이상의 적외선 투과도를 가질 수 있다.
제2 윈도우는 유리와 석영 중 어느 하나를 포함하는 한 쌍의 지지판과, 한 쌍의 지지판 사이에 위치하는 필터를 포함할 수 있다. 필터는 탄산칼슘을 포함하는 유리로 형성될 수 있다. 필터의 적외선 흡광 영역은 수분의 적외선 흡광 영역에 대응할 수 있다.
적외선 발광부와 적외선 검출부는 상압 설비의 제1 파트를 사이에 두고 서로 반대측에 위치할 수 있다. 제1 윈도우와 제2 윈도우는 밀폐 부재를 매개로 제1 파트의 양측에 설치될 수 있다.
다른 한편으로, 적외선 발광부와 적외선 검출부는 상압 설비의 제1 파트의 일측에 나란히 위치하고, 제1 파트의 타측에 반사판이 설치될 수 있다. 제1 윈도우와 제2 윈도우는 밀폐 부재를 매개로 제1 파트의 일측에 나란히 설치되고, 반사판은 제1 윈도우 및 제2 윈도우를 향한 내면을 오목하게 형성할 수 있다.
본 기재의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 설비는 기판을 세정 또는 건조하기 위한 주 장치와, 기체 상태의 알코올계 유기 화합물을 주 장치로 공급하는 공급관과, 세정에 사용된 유기 화합물을 배출하는 배출관과, 배출관에 설치되는 유기 화합물 검출 장치와, 유기 화합물 검출 장치와 전기적으로 연결된 설비 제어 회로를 포함한다. 유기 화합물 검출 장치는 석영과 유리 중 어느 하나를 포함하는 제1 윈도우와 제2 윈도우, 제1 윈도우를 통해 배출관 내부의 유기 화합물로 적외선을 조사하는 적외선 발광부, 제2 윈도우를 통해 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하는 적외선 검출부를 포함한다.
제2 윈도우는 탄산칼슘을 포함하는 유리로 형성된 필터를 더 포함할 수 있다. 공급관에 유량 조절 밸브가 설치되고, 설비 제어 회로는 유량 조절 밸브와 전기적으로 연결되어 유기 화합물 검출 장치에서 제공받은 유기 화합물의 농도 정보에 따라 유량 조절 밸브의 작동을 제어할 수 있다.
본 기재의 다른 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 설비는 내부 공간에 기체 상태의 알코올계 유기 화합물을 포함하며 고분자 물질을 경화시키기 위한 공정 챔버와, 공정 챔버에 설치되는 유기 화합물 검출 장치와, 유기 화합물 검출 장치와 전기적으로 연결된 설비 제어 회로를 포함한다. 유기 화합물 검출 장치는 석영과 유리 중 어느 하나를 포함하는 제1 윈도우와 제2 윈도우, 제1 윈도우를 통해 공정 챔버 내부의 유기 화합물로 적외선을 조사하는 적외선 발광부, 제2 윈도우를 통해 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하는 적외선 검출부를 포함한다.
제2 윈도우는 탄산칼슘을 포함하는 유리로 형성된 필터를 더 포함할 수 있다. 설비 제어 회로는 설비 인터락 장치와 전기적으로 연결되고, 유기 화합물 검출 장치에서 제공받은 유기 화합물의 농도 정보에 따라 설비 인터락 장치의 작동을 제어할 수 있다.
유기 화합물 검출 장치를 이용하여 상압 공정 설비에서 사용되는 기체 상태의 유기 화합물에 대해 농도 변화를 실시간으로 검출할 수 있다. 따라서 공정 가스의 미공급 또는 농도 저하에 따른 공정 불량을 방지할 수 있다. 유기 화합물 검출 장치에 구비된 제1 윈도우와 제2 윈도우는 유기 화합물에 대해 높은 내화학성을 가지며, 유기 화합물의 적외선 흡광 영역에 대해 높은 적외선 투과도를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 화합물 검출 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시한 제1 윈도우의 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시한 제2 윈도우의 단면도이다.
도 4는 이소프로필 알코올의 적외선 흡광 특성을 나타낸 그래프이다.
도 5는 유리의 적외선 흡광 특성을 나타낸 그래프이다.
도 6은 수분의 적외선 흡광 특성을 나타낸 그래프이다.
도 7은 탄산칼슘의 적외선 흡광 특성을 나타낸 그래프이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 화합물 검출 장치의 개략도이다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 표시 장치 제조 설비의 개략도이다.
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 표시 장치 제조 설비의 개략도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “상에” 또는 “위에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 “바로 위에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, “~ 상에” 또는 “~ 위에”라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 화합물 검출 장치의 개략도이고, 도 2와 도 3은 각각 도 1에 도시한 제1 윈도우와 제2 윈도우의 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 제1 실시예의 유기 화합물 검출 장치(100)는 적외선 발광부(10), 제1 윈도우(21), 적외선 검출부(30), 및 제2 윈도우(22)를 포함한다. 유기 화합물 검출 장치(100)는 상압 설비의 내부에 위치하는 유기 화합물을 향해 적외선을 조사하고, 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하여 유기 화합물의 농도를 실시간으로 검출한다.
유기 화합물 검출 장치(100)가 설치되는 상압 설비는 기체 상태의 유기 화합물을 공정 가스로 사용하는 설비로서, 예를 들어 이소프로필 알코올과 같은 알코올계 물질을 공정 가스로 사용하는 세정, 건조, 오븐, 노(furnace), 또는 그 이외의 제조 설비일 수 있다.
유기 화합물 검출 장치(100)는 상압 설비의 제1 파트에 설치된다. 제1 파트는 세정기 또는 건조기와 연결된 배기관이거나, 오븐 또는 노(furnace)와 같은 공정 챔버일 수 있다. 도 1에서는 유기 화합물이 배출되는 배기관(41)에 유기 화합물 검출 장치(100)가 설치된 경우를 예로 들어 도시하였다.
적외선 발광부(10)는 배기관(41)의 내부에 위치하는 유기 화합물을 향해 적외선을 조사하고, 적외선 검출부(30)는 적외선을 조사받은 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정한다. 적외선 발광부(10)와 적외선 검출부(30)는 배기관(41)을 사이에 두고 서로 반대측에 위치할 수 있다. 제1 윈도우(21)는 유기 화합물을 향한 적외선 발광부(10)의 일측에 위치하며, 제2 윈도우(22)는 유기 화합물을 향한 적외선 검출부(30)의 일측에 위치한다.
제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)는 배기관(41)에 직접 설치될 수 있다. 예를 들어, 배기관(41)에 제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22) 설치를 위한 두 개의 개구부가 형성되고, 오-링(O-ring)과 같은 밀폐 부재(42)를 매개로 제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)가 배기관(41)의 개구부에 설치될 수 있다. 밀폐 부재(42)는 배기관(41) 내부의 유기 화합물이 배기관(41) 바깥으로 누출되는 것을 방지한다.
적외선 발광부(10)는 적외선 발광소자(11)와 전원부(12) 및 제1 제어 회로(13)를 포함한다. 전원부(12)는 적외선 발광소자(11)의 작동에 필요한 전원을 제공하며, 제1 제어 회로(13)는 전원부(12)의 작동을 제어한다.
적외선 검출부(30)는 적외선 검지기(31)와 교류/직류 변환기(32) 및 제2 제어 회로(33)를 포함한다. 적외선 검지기(31)는 양자형 검지기 또는 열형 검지기로 구성될 수 있다. 양자형 검지기는 광기전력 효과 또는 광도전 효과를 이용하여 적외선을 검출하며, 열형 검지기는 열기전력 효과, 초전 효과, 또는 열도전 효과를 이용하여 적외선을 검출한다.
제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)는 유기 화합물로부터 적외선 발광부(10)와 적외선 검출부(30)를 격리시킴과 아울러 적외선을 투과시키는 창으로 기능한다. 따라서 제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)는 유기 화합물에 대한 높은 내화학성을 가지면서 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하는데 영향을 미치지 않아야 한다.
제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)는 유기 화합물의 적외선 흡광 영역과 상이한 적외선 흡광 영역을 가지는 물질로 형성된다. 구체적으로 유기 화합물 검출 장치(100)는 알코올 계열의 유기 화합물을 검출하기 위한 것이며, 제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)는 알코올 계열 유기 화합물의 흡광 영역과 상이한 적외선 흡광 영역을 가지는 실리카 계열의 물질, 예를 들어 유리 또는 석영으로 형성된다.
도 4는 이소프로필 알코올의 적외선 흡광 특성을 나타낸 그래프이다. 도 4에서 그래프의 가로축은 파장과 역관계를 가지는 단위인 파수(wavenumber)이고, 세로축은 적외선 투과도(transmittance)로서 적외선 흡광도(absorbance)와 반비례한다.
도 4를 참고하면, 이소프로필 알코올의 경우 대략 2800cm-1 내지 3000cm-1의 영역에서 최대의 적외선 흡광도를 나타낸다. 본 실시예의 유기 화합물 검출 장치가 적용되는 상압 설비에서 공정 가스로 사용되는 알코올 계열의 유기 화합물은 도 4와 유사한 적외선 흡광도를 나타낸다.
도 5는 제1 윈도우와 제2 윈도우로 사용되는 유리의 적외선 흡광 특성을 나타낸 그래프이다.
도 5를 참고하면, 유리의 경우 대략 1000cm-1 내지 1200cm-1의 영역에서 최대의 적외선 흡광도를 나타낸다. 도 4와 도 5의 그래프로부터 유리의 적외선 흡광 영역과 알코올 계열 유기 화합물의 적외선 흡광 영역이 서로 다른 것을 확인할 수 있다.
또한, 유리의 경우 1200cm-1보다 높은 파수에서 0.5 이상의 투과도를 나타내며, 특히 2800cm-1 내지 3000cm- 1 의 영역에서 0.7 정도의 높은 투과도를 나타낸다. 이와 같이 유리로 제작된 제1 윈도우와 제2 윈도우는 유기 화합물의 적외선 흡광 영역에서 높은 투과도를 나타내므로, 유기 화합물의 검출에 영향을 미치지 않는다.
다시 도 1 내지 도 3을 참고하면, 적외선 발광부(10)는 제1 윈도우(21)를 통해 배기관(41) 내부의 유기 화합물로 적외선을 조사한다. 적외선 검출부(30)는 제2 윈도우(22)를 통해 유기 화합물의 적외선 흡수 파장을 측정하여 유기 화합물의 농도를 실시간으로 검출한다.
분자가 적외선을 흡수하면 진동 및 회전이 일어나는데, 특정한 작용기마다 분자의 진동과 회전에 따른 적외선 흡수 파장이 각각 다르다. 적외선 분광법은 어느 파장에서 빛의 흡수가 일어나는 지를 관찰하여 그 화합물이 가진 작용기를 알아내는 분광법으로서 고분자와 유기 화합물의 구조(종류)를 분석할 수 있다. 또한, 적외선 흡수 세기(흡광도)는 구성 성분의 농도와 관계가 있으므로, 적외선 흡광도에 따라 유기 화합물의 농도를 분석할 수 있다.
따라서 유기 화합물 검출 장치(100)는 상압 설비들의 가동 중 공정 가스가 공급되지 않거나 공정 가스의 농도가 저하되는 현상에 관한 정보를 작업자에게 신속하게 제공하여 공정 불량을 방지할 수 있다. 또한, 유기 화합물 검출 장치(100)는 상압 설비의 설비 제어 회로와 연결되어 상압 설비의 가동을 중지시키거나, 유기 화합물의 공급량을 조절하는데 사용될 수 있다.
전술한 유기 화합물 검출 장치(100)에서 실리카 계열의 물질로 형성된 제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)는 알코올 계열의 유기 화합물에 대해 높은 내화학성을 가진다. 따라서 유기 화합물 검출 장치(100)의 내구성과 사용 수명을 높일 수 있다.
또한, 제2 윈도우(22)는 적외선 검출부(30)의 민감도를 높이는 적어도 하나의 필터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 윈도우(22)는 실리카 계열의 물질로 형성된 한 쌍의 지지판(221)과, 한 쌍의 지지판(221) 사이에 배치된 적어도 하나의 필터(222)를 포함할 수 있다. 도 3에서는 한 쌍의 지지판(221) 사이에 하나의 필터(222)가 배치된 경우를 예로 들어 도시하였다.
필터(222)는 차단하고자 하는 물질의 적외선 흡광 영역에 대응하는 적외선 흡광 영역을 가지며, 알코올 계열 유기 화합물의 적외선 흡광 영역(대략 2800cm-1 내지 3000cm-1)에 대해서는 높은 투과도를 나타낸다. 따라서 필터(222)는 알코올 계열 유기 화합물의 검출에 영향을 미치지 않으면서 특정 파장을 차단하여 적외선 검출부(30)의 민감도를 높인다.
알코올 계열의 유기 화합물을 공정 가스로 사용하는 상압 설비에서, 유기 화합물 이외에 관측되는 물질로는 수분(H2O)이 있다. 필터(222)는 탄산칼슘(calcium carbonate)을 포함할 수 있으며, 수분의 적외선 흡광 영역에 대응하는 파장을 차단하는 역할을 한다. 필터(222)는 탄산칼슘을 포함하는 유리로 형성될 수 있다.
도 6은 수분의 적외선 흡광 특성을 나타낸 그래프이고, 도 7은 탄산칼슘의 적외선 흡광 특성을 나타낸 그래프이다.
도 6을 참고하면, 수분의 경우 대략 1400cm-1 내지 1600cm-1의 영역과, 3400cm-1 내지 3600cm-1의 영역에서 최대의 적외선 흡광도를 나타낸다. 도 7을 참고하면, 탄산칼슘의 경우 대략 1400cm-1 내지 1500cm-1의 영역에서 최대의 적외선 흡광도를 나타내며, 알코올 계열 유기 화합물의 적외선 흡광 영역(대략 2800cm-1 내지 3000cm-1)에 대해서는 0.8 정도의 높은 투과도를 나타낸다.
다시 도 1 내지 도 3을 참고하면, 필터(222)의 적외선 흡광 영역이 수분의 적외선 흡광 영역에 속함에 따라, 수분의 적외선 흡광 영역의 일부는 필터(222)에 의해 차단된다. 따라서 필터(222)는 알코올 계열 유기 화합물의 적외선 흡광 영역은 대부분 투과시키면서 수분의 적외선 흡광 영역의 일부를 차단하여 적외선 검출부(30)의 민감도를 높인다.
전술한 필터(222)는 통상의 적외선 분광기에 구비되는 단색화 장치(monochromator)를 대체한다. 종래의 단색화 장치는 부피가 큰 회절 광학 장치로 구성되므로, 유기 화합물 검출 장치에 적용 시 장치 구성을 복잡하게 하고 부피를 확대시킨다. 반면 전술한 필터(222)는 구성이 매우 단순하므로 설치가 용이하고, 유기 화합물 검출 장치(100)의 구성을 간소화시킨다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 화합물 검출 장치의 개략도이다.
도 8을 참고하면, 제2 실시예의 유기 화합물 검출 장치(200)는 적외선 발광부(10)와 적외선 검출부(30)가 배기관(41)의 일측 바깥에 나란히 위치함과 아울러 배기관(41)의 타측에 반사판(25)이 위치하는 것을 제외하고 전술한 제1 실시예와 유사한 구성으로 이루어진다. 제1 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 도면 부호를 사용한다.
제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22) 및 반사판(25)은 배기관(41)에 직접 설치될 수 있다. 예를 들어, 배기관(41)의 일측에 두 개의 개구부가 형성되고, 밀폐 부재(도 2 및 도 3에서 부호 42 참조)를 매개로 제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)가 각각의 개구부에 설치될 수 있다. 그리고 배기관(41)의 내벽에 반사판(25)이 고정될 수 있다.
제1 윈도우(21)와 제2 윈도우(22)는 유기 화합물의 흐름 방향과 나란하게 위치하며, 제1 및 제2 윈도우(21, 22)와 반사판(25)이 마주하는 방향은 유기 화합물의 흐름 방향과 직교할 수 있다.
적외선 발광부(10)는 제1 윈도우(21)를 통해 배기관(41) 내부의 유기 화합물로 적외선을 조사하고, 유기 화합물로 조사된 적외선은 반사판(25)에 의해 반사된다. 그리고 적외선 검출부(30)는 제2 윈도우(22)를 통해 유기 화합물의 적외선 흡수 파장을 측정하여 유기 화합물의 농도를 실시간으로 검출한다.
반사판(25)은 제1 윈도우(21) 및 제2 윈도우(22)를 향한 내면을 오목하게 형성할 수 있다. 이 경우 반사판(25)의 오목한 내면에 의해 제2 윈도우(22)로 적외선이 집광되므로 적외선 검출부(30)의 성능을 높일 수 있다.
도 1과 도 8에 도시한 배기관(41)은 오븐 또는 노(furnace)와 같은 공정 챔버의 벽 또는 도어로 대체될 수 있다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 표시 장치 제조 설비의 개략도이다.
도 9를 참고하면, 제3 실시예의 표시 장치 제조 설비(300)는 기판을 세정 또는 건조하기 위한 주 장치(51), 공급관(52) 및 배출관(53), 유기 화합물 검출 장치(100, 200), 및 설비 제어 회로(54)를 포함한다.
주 장치(51)는 세정기 또는 건조기로 이루어지며, 공급관(52)과 배출관(53)은 주 장치(51)와 연결된다. 기체 상태의 알코올계 유기 화합물로 이루어진 공정 가스가 공급관(52)을 통해 주 장치(51)로 공급되고, 세정에 사용된 공정 가스는 배출관(53)을 통해 배출된다. 전술한 제1 실시예 또는 제2 실시예의 유기 화합물 검출 장치(100, 200)가 배출관(53)에 설치되어 배출관(53) 내부를 흐르는 유기 화합물의 농도를 실시간으로 측정한다.
설비 제어 회로(54)는 유기 화합물 검출 장치(100, 200) 및 공급관(52)에 설치된 유량 조절 밸브(55)와 전기적으로 연결된다. 유기 화합물 검출 장치(100, 200)는 실시간으로 측정한 유기 화합물의 농도 정보를 설비 제어 회로(54)에 전송하고, 설비 제어 회로(54)는 제공받은 농도 정보에 기초하여 유량 조절 밸브(55)를 제어함으로써 공정 가스의 공급량을 정밀하게 조절한다.
기판 상에 박막 트랜지스터와 커패시터로 구성된 화소 회로를 형성하는 과정에서 특정 막의 패터닝을 위해 습식 식각 공정이 적용된다. 습식 식각을 거친 기판은 주 장치(51)에 투입되어 세정 또는 건조가 이루어진다.
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 표시 장치 제조 설비의 개략도이다.
도 10을 참고하면, 제4 실시예의 표시 장치 제조 설비(400)는 공정 챔버(61), 유기 화합물 검출 장치(100, 200), 설비 제어 회로(62), 및 설비 인터락 장치(63)를 포함한다.
공정 챔버(61)는 캐리어 기판 상에 폴리이미드와 같은 고분자 물질을 스핀 코팅 후 경화시키는 오븐 또는 노(furnace)일 수 있다. 공정 챔버(61)에서 경화된 고분자층은 표시 장치의 가요성(flexible) 기판으로 사용된다.
전술한 제1 실시예 또는 제2 실시예의 유기 화합물 검출 장치(100, 200)가 공정 챔버(61)의 벽 또는 도어에 설치된다. 도 10에서는 공정 챔버(61)의 도어(64)에 유기 화합물 검출 장치(100, 200)가 설치된 경우를 예로 들어 도시하였다.
제1 실시예의 유기 화합물 검출 장치(100)의 경우 공정 챔버(61)를 사이에 두고 적외선 발광부(10)와 적외선 검출부(30)가 서로 반대측에 위치한다. 제2 실시예의 유기 화합물 검출 장치(200)의 경우 공정 챔버(61)의 일측에 적외선 발광부(10)와 적외선 검출부(30)가 나란히 위치하고, 공정 챔버(61)의 내벽에 반사판(25)이 위치한다.
유기 화합물 검출 장치(100, 200)는 공정 챔버(61)의 내부에 위치하는 유기 화합물의 농도를 실시간으로 측정하며, 설비 제어 회로(62)와 전기적으로 연결되어 유기 화합물의 농도 정보를 설비 제어 회로(62)에 전송한다.
설비 제어 회로(62)는 설비 인터락 장치(63)와 전기적으로 연결되고, 유기 화합물의 농도값이 미리 입력된 기준값보다 낮은 경우 설비 인터락 장치(63)로 제어 신호를 전송한다. 설비 인터락 장치(63)는 표시부 또는 경광등과 같은 알림 장치와, 공정 챔버(61)의 전원을 차단하는 전원 차단부 등을 구비할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100, 200: 유기 화합물 검출 장치 300, 400: 표시 장치 제조 설비
10: 적외선 발광부 11: 적외선 발광소자
21: 제1 윈도우 22: 제2 윈도우
30: 적외선 검출부 31: 적외선 검지기
51: 주 장치 61: 공정 챔버

Claims (17)

  1. 상압 설비에서 공정 가스로 사용되는 기체 상태의 유기 화합물을 향해 적외선을 조사하는 적외선 발광부;
    상기 유기 화합물과 상기 적외선 발광부를 차단시키는 제1 윈도우;
    상기 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하는 적외선 검출부; 및
    상기 유기 화합물과 상기 적외선 검출부를 차단시키는 제2 윈도우
    를 포함하며,
    상기 제1 윈도우와 상기 제2 윈도우의 적외선 흡광 영역은 상기 유기 화합물의 적외선 흡광 영역과 상이한 유기 화합물 검출 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유기 화합물은 알코올 계열의 물질을 포함하고,
    상기 제1 윈도우와 상기 제2 윈도우는 실리카 계열의 물질을 포함하는 유기 화합물 검출 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 윈도우와 상기 제2 윈도우는 유리와 석영 중 어느 하나를 포함하는 유기 화합물 검출 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 윈도우와 상기 제2 윈도우는 2800cm-1 내지 3000cm-1의 파수 범위에서 0.7 이상의 적외선 투과도를 가지는 유기 화합물 검출 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제2 윈도우는,
    유리와 석영 중 어느 하나를 포함하는 한 쌍의 지지판; 및
    상기 한 쌍의 지지판 사이에 위치하는 필터
    를 포함하는 유기 화합물 검출 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 필터는 탄산칼슘을 포함하는 유리로 형성되는 유기 화합물 검출 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 필터의 적외선 흡광 영역은 수분의 적외선 흡광 영역에 대응하는 유기 화합물 검출 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적외선 발광부와 상기 적외선 검출부는 상기 상압 설비의 제1 파트를 사이에 두고 서로 반대측에 위치하는 유기 화합물 검출 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 윈도우와 상기 제2 윈도우는 밀폐 부재를 매개로 상기 제1 파트의 양측에 설치되는 유기 화합물 검출 장치.
  10. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적외선 발광부와 상기 적외선 검출부는 상기 상압 설비의 제1 파트의 일측에 나란히 위치하고,
    상기 제1 파트의 타측에 반사판이 설치되는 유기 화합물 검출 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 윈도우와 상기 제2 윈도우는 밀폐 부재를 매개로 상기 제1 파트의 일측에 나란히 설치되고,
    상기 반사판은 상기 제1 윈도우 및 상기 제2 윈도우를 향한 내면을 오목하게 형성하는 유기 화합물 검출 장치.
  12. 기판을 세정 또는 건조하기 위한 주 장치;
    기체 상태의 알코올계 유기 화합물을 상기 주 장치로 공급하는 공급관;
    세정에 사용된 유기 화합물을 배출하는 배출관;
    상기 배출관에 설치되며 석영과 유리 중 어느 하나를 포함하는 제1 윈도우와 제2 윈도우, 제1 윈도우를 통해 상기 배출관 내부의 유기 화합물로 적외선을 조사하는 적외선 발광부, 제2 윈도우를 통해 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하는 적외선 검출부를 구비하는 유기 화합물 검출 장치; 및
    상기 유기 화합물 검출 장치와 전기적으로 연결된 설비 제어 회로
    를 포함하는 표시 장치의 제조 설비.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제2 윈도우는 탄산칼슘을 포함하는 유리로 형성된 필터를 더 포함하는 표시 장치의 제조 설비.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 공급관에 유량 조절 밸브가 설치되고,
    상기 설비 제어 회로는 상기 유량 조절 밸브와 전기적으로 연결되어 상기 유기 화합물 검출 장치에서 제공받은 상기 유기 화합물의 농도 정보에 따라 상기 유량 조절 밸브의 작동을 제어하는 표시 장치의 제조 설비.
  15. 내부 공간에 기체 상태의 알코올계 유기 화합물을 포함하며, 고분자 물질을 경화시키기 위한 공정 챔버;
    상기 공정 챔버에 설치되며 석영과 유리 중 어느 하나를 포함하는 제1 윈도우와 제2 윈도우, 제1 윈도우를 통해 상기 공정 챔버 내부의 유기 화합물로 적외선을 조사하는 적외선 발광부, 제2 윈도우를 통해 유기 화합물의 적외선 흡광도를 측정하는 적외선 검출부를 구비하는 유기 화합물 검출 장치; 및
    상기 유기 화합물 검출 장치와 전기적으로 연결된 설비 제어 회로
    를 포함하는 표시 장치의 제조 설비.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제2 윈도우는 탄산칼슘을 포함하는 유리로 형성된 필터를 더 포함하는 표시 장치의 제조 설비.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 설비 제어 회로는 설비 인터락 장치와 전기적으로 연결되고, 상기 유기 화합물 검출 장치에서 제공받은 상기 유기 화합물의 농도 정보에 따라 상기 설비 인터락 장치의 작동을 제어하는 표시 장치의 제조 설비.
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