KR20140114584A - Glass align provision equipment and align method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 글라스 정렬공급장치 및 그 정렬방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 글라스의 반송과정에서 글라스를 정렬시키는 데 사용되는 글라스 정렬공급장치 및 그 정렬방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass alignment supply apparatus and an alignment method thereof, and more particularly, to a glass alignment supply apparatus used for aligning a glass in a glass transfer process and an alignment method therefor.
OLED(Organic Light-Emitting Diode;유기 발광 다이오드)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는'자체발광형 유기물질'을 말한다. OLED는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있으며, 넓은 시야각과 빠른 응답 속도를 갖고 있어 현재의 LCD를 대체할 수 있는 차세대 디스플레이 장치로 각광받고 있다.OLED (Organic Light-Emitting Diode) refers to a 'self-emitting organic material' that emits light by using electroluminescence that emits light when a fluorescent organic compound is energized. OLEDs can be driven at low voltages and can be made thinner, have a wide viewing angle, and have a fast response time, making them a next-generation display device that can replace current LCDs.
이러한 OLED의 제조공정은 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정이 있다.The manufacturing process of the OLED includes a pattern forming process, an organic thin film deposition process, a sealing process, and a bonding process in which a substrate having an organic thin film deposited thereon and a sealing process are attached to the substrate.
OLED 제조공정에 사용되는 캐리어(carrier)는 글라스(glass)를 붙여 다음 공정으로 이동하는 기구 물인데, 글라스(glass)와 접촉하는 부분은 정전척(ESC, Electrostatic Chuck)로 구성되어 있다. 정전척은 정전기력을 이용하여 글라스(glass)를 붙여주는 장치로서, 글라스(glass)와 정전척의 거리가 대략 2mm 정도까지, 글라스가 정전척에 안정적으로 붙여져 있을 수 있다.The carrier used in the OLED manufacturing process is a mechanism that moves the glass to the next process by attaching a glass. The portion contacting the glass is composed of an electrostatic chuck (ESC). The electrostatic chuck is a device for attaching a glass using an electrostatic force, and the glass may be stably stuck to the electrostatic chuck until the distance between the glass and the electrostatic chuck is approximately 2 mm.
글라스는 이러한 정전척이 설치된 캐리어 상에 부착되어 증착공정으로 이동될 수 있는데, 글라스가 캐리어 상에 정확하게 합착되어야만 에러 없이 증착공정에 반입되어 증착패턴이 형성될 수 있다.The glass can be adhered to a carrier provided with such an electrostatic chuck and moved to a deposition process. If the glass is precisely adhered to the carrier, the deposition process can be carried out without any error, and a deposition pattern can be formed.
이러한 글라스는 캐리어 상으로 이동된 후 얼라인 마크가 촬영된 후, 캐리어의 얼라인 마크에 맞추어 위치정렬이 이루어지는데, 이러한 얼라인 마크의 촬영 중에 처짐이 발생하면, 글라스 상의 얼라인 마크도 글라스와 함께 기울어져 보이므로 얼라인 카메라에서 정확한 위치를 측정할 수 없게 되고, 이로 인해 얼라인 유닛에 의한 정밀한 위치 보정이 어렵게 된다.After the alignment mark is photographed after the glass is moved onto the carrier, the alignment is performed in accordance with the alignment mark of the carrier. If deflection occurs during photographing of the alignment mark, It is difficult to accurately measure the position of the alignment unit by the alignment unit because the alignment unit is tilted together.
또한, 글라스가 얼라인된 이후 캐리어의 글라스 배치부에 글라스가 부착되므로 글라스 로딩을 위한 기구의 오차정도 및 글라스와 글라스 배치부의 슬립 등의 인자가 위치 오차를 추가로 발생시킬 소지가 있다.Further, since the glass is attached to the glass arrangement part of the carrier after the glass is aligned, factors such as the error of the mechanism for loading the glass and the slip of the glass and the arrangement part of the glass may further cause a position error.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 증착공정에 글라스를 반송하는 캐리어 상의 글라스 배치부에 글라스를 부착시켜 정확한 위치로 정렬시킬 수 있는 글라스 정렬공급장치 및 그 정렬방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a glass alignment supply device and a method of aligning the glass alignment device capable of attaching a glass to a glass arrangement portion on a carrier for transporting the glass in the deposition process and aligning the glass to an accurate position.
본 발명의 일 측면에 따르면, 글라스 배치부가 이동가능하게 설치되는 캐리어 유닛; 상기 글라스 배치부 상으로 반입된 글라스를 지지하되, 상기 글라스를 하강시켜 상기 글라스 배치부에 로딩시키는 글라스 로딩유닛; 및 상기 캐리어 유닛의 상부에 설치되어 상기 캐리어 유닛의 기준점과 상기 글라스의 기준점을 촬영하는 카메라 유닛을 포함하며, 상기 캐리어 유닛은, 상기 카메라 유닛으로부터 제공되는 상기 캐리어 유닛의 기준점과 상기 글라스의 기준점의 위치를 기초로 상기 글라스 배치부를 이동시켜, 상기 글라스를 정해진 위치로 정렬시키는 얼라이너를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus comprising: a carrier unit in which a glass arrangement is movably installed; A glass loading unit for supporting the glass carried on the glass arrangement unit, the glass loading unit lowering the glass and loading the glass onto the glass arrangement unit; And a camera unit mounted on the carrier unit for capturing a reference point of the carrier unit and a reference point of the glass, wherein the carrier unit is configured to detect a reference point of the carrier unit and a reference point of the glass provided from the camera unit, And an aligner for moving the glass arrangement part based on the position and aligning the glass to a predetermined position.
상기 얼라이너는, 상기 글라스 배치부의 하부에 설치되는 구동모듈; 및 상기 글라스 배치부와 상기 구동모듈 사이에 설치되되, 상기 글라스 배치부의 선형이동과 회전을 허용하는 복수의 모션 아이들모듈을 포함할 수 있다.Wherein the aligner comprises: a driving module provided below the glass arrangement part; And a plurality of motion idle modules disposed between the glass arrangement and the drive module, the plurality of motion idle modules allowing linear movement and rotation of the glass arrangement.
상기 구동모듈은, 상기 글라스 배치부의 저면에 설치되는 한 쌍의 리니어 모터를 포함할 수 있다.The driving module may include a pair of linear motors provided on a bottom surface of the glass arrangement part.
상기 복수의 모션 아이들모듈은, 상기 한 쌍의 리니어 모터 중 어느 하나의 리니어 모터에 설치되되, 상기 글라스 배치부에 대해 상기 리니어 모터의 작동방향에 교차하는 X축과 상기 X축에 교차하는 Y축에 따른 이동, 및 XY평면에 직교하는 Z축에 따른 라인을 중심으로 하는 회전을 허용할 수 있는 제1 모션 아이들모듈; 및 상기 한 쌍의 리니어 모터 중 다른 하나의 리니어 모터에 설치되되, 상기 글라스 배치부에 대해 상기 Y축에 따른 이동 및 상기 XY평면에 직교하는 Z축에 따른 라인을 중심으로 하는 회전을 허용할 수 있는 제2 모션 아이들모듈을 포함할 수 있다.Wherein the plurality of motion idle modules are mounted on any one linear motor of the pair of linear motors, wherein the X axis intersecting the operating direction of the linear motor and the Y axis intersecting the X axis A first motion idle module capable of permitting movement along a Z-axis and a rotation about a line along a Z-axis orthogonal to the XY plane; And a linear motor which is provided in the other of the pair of linear motors and is capable of allowing movement about the Y axis and rotation about a line along the Z axis orthogonal to the XY plane with respect to the glass arrangement part Lt; RTI ID = 0.0 > a < / RTI > second motion idle module.
상기 제1 모션 아이들모듈은, 상기 글라스 배치부의 저면에 결합되어 상기 글라스 배치부의 회전을 허용하는 로터리 크로스 롤러; 상기 로터리 크로스 롤러에 결합되되, 상기 글라스 배치부의 상기 X축에 따른 이동을 허용할 수 있는 X축 이동부; 및 상기 X축 이동부의 상부에 결합되어 상기 Y축에 따른 이동을 허용할 수 있는 Y축 이동부를 포함할 수 있다.The first motion idle module may include a rotary cross roller coupled to a bottom surface of the glass arrangement part to allow rotation of the glass arrangement part; An X-axis moving unit coupled to the rotary cross roller, the X-axis moving unit allowing movement of the glass arrangement along the X-axis; And a Y-axis moving unit coupled to an upper portion of the X-axis moving unit to allow movement along the Y-axis.
상기 제2 모션 아이들모듈은, 상기 글라스 배치부의 저면에 결합되어 상기 글라스 배치부의 회전을 허용하는 로터리 크로스 롤러; 및 상기 로터리 크로스 롤러에 결합되되, 상기 글라스 배치부의 상기 Y축에 따른 이동을 허용하는 Y축 이동부를 포함할 수 있다.The second motion idler module includes: a rotary cross roller coupled to a bottom surface of the glass arrangement part to allow rotation of the glass arrangement part; And a Y-axis moving part coupled to the rotary cross roller, the Y-axis moving part allowing movement of the glass arrangement part along the Y-axis.
상기 구동모듈은, 상기 캐리어 유닛에 설치되어 상기 한 쌍의 리니어 모터에 전원을 공급하는 배터리 셀을 더 포함할 수 있다.The driving module may further include a battery cell installed in the carrier unit and supplying power to the pair of linear motors.
상기 글라스 로딩유닛은, 상기 캐리어 유닛에 설치되어 상기 글라스 배치부 상으로 이송된 상기 글라스를 지지하는 글라스 지지부; 및 상기 글라스 지지부에 결합되어 상기 글라스 지지부를 승강시키는 리프트부를 포함할 수 있다.Wherein the glass loading unit comprises: a glass supporting part installed on the carrier unit and supporting the glass transferred onto the glass arrangement part; And a lift unit coupled to the glass support unit to elevate the glass support unit.
상기 글라스 지지부는, 지지 베이스; 및 상기 지지 베이스 상에 설치되어 상기 글라스를 지지하는 지지대를 포함할 수 있다.The glass support portion includes: a support base; And a support table installed on the support base and supporting the glass.
상기 리프트부는, 상기 글라스 지지부의 하부에 결합되는 글라스 승강로드; 상기 글라스 승강로드에 결합되는 승강 베이스; 상기 승강 베이스의 승강을 안내하는 승강 가이드; 및 상기 승강 베이스에 설치되어 상기 승강 베이스를 승강시키는 승강 볼 스크류; 상기 승강 볼 스크류를 구동시키는 승강구동모터를 포함할 수 있다.The lift part may include a glass lifting rod coupled to a lower portion of the glass supporting part; A lifting base coupled to the glass lifting rod; A lifting guide for guiding the lifting and lowering of the lifting base; And an elevating ball screw installed on the elevating base to elevate the elevating base; And an elevation driving motor for driving the elevation ball screw.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 캐리어 유닛의 기준점을 촬영하여 상기 캐리어 유닛의 기준점의 위치를 저장하는 단계; 상기 캐리어 유닛의 글라스 배치부 상으로 로봇핸드에 의해 글라스를 반입하는 단계; 리프트부에 의해 상승되는 글라스 지지부에 의해 상기 글라스를 상기 로봇핸드로부터 이격시켜 상기 글라스 배치부에 로딩하는 단계; 상기 글라스의 기준점을 촬영하여 상기 글라스의 기준점의 위치를 저장하는 단계; 및 상기 캐리어 유닛에 설치되는 얼라이너에 의해 상기 글라스 배치부를 움직여 상기 캐리어 유닛의 기준점의 위치로 상기 글라스의 기준점을 정렬시키는 단계를 포함하는 글라스 정렬공급방법이 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: recording a reference point of a carrier unit and storing a position of a reference point of the carrier unit; Carrying a glass onto a glass arrangement part of the carrier unit by a robot hand; Loading the glass into the glass arrangement part by separating the glass from the robot hand by a glass supporting part raised by a lift part; Capturing a reference point of the glass and storing a position of the reference point of the glass; And aligning the reference point of the glass with the position of the reference point of the carrier unit by moving the glass arrangement unit by an aligner provided on the carrier unit.
상기 얼라이너는, 상기 글라스 배치부의 하부에 설치되는 구동모듈; 및 상기 글라스 배치부와 상기 구동모듈 사이에 설치되되, 상기 구동모듈의 이동에 따른 상기 글라스 배치부의 선형이동과 회전을 허용하는 복수의 모션 아이들모듈을 포함하며, 상기 캐리어 유닛의 기준점의 위치로 상기 글라스의 기준점을 정렬시키는 단계는, 상기 구동모듈을 가동시켜 상기 복수의 모션 아이들모듈 중 적어도 어느 하나를 중심으로 상기 글라스 배치부를 회전시키는 단계를 포함할 수 있다.Wherein the aligner comprises: a driving module provided below the glass arrangement part; And a plurality of motion idle modules provided between the glass arrangement part and the drive module, the plurality of motion idle modules allowing the linear movement and rotation of the glass arrangement part according to the movement of the drive module, The step of aligning the reference points of the glass may include rotating the glass arrangement part around at least one of the plurality of motion idle modules by operating the drive module.
본 발명에 따르면, 글라스를 반송하는 캐리어 유닛 상의 위치정렬 시에 글라스의 처짐 및 글라스 로딩의 기구오차에 의한 글라스의 위치정렬오차를 글라스 배치부 상에 글라스를 부착한 상태에서 글라스의 얼라인을 실시함으로써 해소할 수 있는 글라스 정렬공급장치 및 그 정렬방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, the glass alignment error due to the sagging of the glass and the mechanism error of the glass loading at the time of alignment on the carrier unit for transporting the glass is corrected by aligning the glass with the glass on the glass arrangement part It is possible to provide a glass alignment supply device and an alignment method thereof which can be eliminated.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치의 정면도이다.
도 2는 도 1의 글라스가 글라스 로딩유닛에 의해 글라스 배치부 상에 지지되는 상태도이다.
도 3은 도 1의 글라스 배치부 상에 부착된 글라스가 카메라 유닛에 의해 촬영되는 상태도이다.
도 4는 도 1의 캐리어의 평면도이다.
도 5는 도 1의 캐리어의 확대도이다.
도 6은 도 1의 글라스 배치부에 결합되는 제1 모션 아이들모듈의 사시도이다.
도 7은 도 1의 글라스 배치부에 결합되는 제2 모션 아이들모듈의 사시도이다.1 is a front view of a glass alignment and supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a state in which the glass of Fig. 1 is supported on a glass arrangement part by a glass loading unit.
FIG. 3 is a state view in which a glass attached on the glass arrangement part of FIG. 1 is photographed by a camera unit.
Figure 4 is a top view of the carrier of Figure 1;
Figure 5 is an enlarged view of the carrier of Figure 1;
Figure 6 is a perspective view of a first motion idle module coupled to the glass arrangement of Figure 1;
7 is a perspective view of a second motion idle module coupled to the glass arrangement of FIG.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. 이하, 증착공정에 사용되는 기판으로는 글라스(glass) 기판뿐만 아니라 플렉서블 기판 등 OLED 디스플레이 패널 및 태양광 패널과 같은 대면적 패널의 제작을 위한 다양한 재질이 사용될 수 있다. 글라스는 도면 상에서 "g"로 지시된다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements. Hereinafter, a variety of materials for manufacturing a large-area panel such as an OLED display panel and a solar panel, such as a flexible substrate, can be used as the substrate used in the deposition process. The glass is indicated by "g"
본 실시 예에 따르면 글라스 정렬공급장치는, 글라스를 캐리어 유닛이라는 이동장치에 붙여 다음 공정으로 이동시키기 위한 것으로서, 글라스와 캐리어 유닛은 정밀한 영상정렬(Vision Align)을 통하여 캐리어 유닛의 정전척(ESC)에 붙여지게 된다. 이러한 정전척(ESC, Electrostatic Chuck )은 정전기의 힘을 사용해 기판을 하부전극에 고정해주는 부품이다.According to the present embodiment, the glass aligning and feeding device is for moving a glass to a moving device called a carrier unit and moving it to the next step. The glass and the carrier unit are connected to an electrostatic chuck (ESC) of the carrier unit through a precise image alignment (vision alignment) . This electrostatic chuck (ESC) is a component that fixes the substrate to the lower electrode using the static electricity.
진공 챔버유닛 내부에서 캐리어 유닛의 정전척(ESC)에 글라스를 정렬하여 붙이는 일이 생산성 향상 및 시스템의 안정성 등을 위하여 꼭 필요한 기술로서, 본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 후술하는 바와 같이 진공 내에서 글라스를 들어 올리고 내리는 장치가 필요하고, 진공 내에서 얼라인 마크(Align Mark)를 인식하여 정렬할 수 있는 영상장치(Vision) 및 이를 보정하기 위한 스테이지(Stage)를 주요 구성요소로 포함할 수 있다.It is an indispensable technique for improving productivity and system stability in order to align and attach the glass to the electrostatic chuck (ESC) of the carrier unit inside the vacuum chamber unit. The glass alignment and supply apparatus according to this embodiment, as described later, (Vision) that can recognize and align an Align Mark in a vacuum and a stage for correcting it are included as main components. can do.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치의 정면도이며, 도 2는 도 1의 글라스가 글라스 로딩유닛에 의해 글라스 배치부 상에 지지되는 상태도이며, 도 3은 도 1의 글라스 배치부 상에 부착된 글라스가 카메라 유닛에 의해 촬영되는 상태도이며, 도 4는 도 1의 캐리어의 평면도이며, 도 5는 도 1의 캐리어의 확대도이며, 도 6은 도 1의 글라스 배치부에 결합되는 제1 모션 아이들모듈의 사시도이며, 도 7은 도 1의 글라스 배치부에 결합되는 제2 모션 아이들모듈의 사시도이다.1 is a front view of a glass alignment and supply apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a state in which the glass of FIG. 1 is supported on a glass arrangement by a glass loading unit, Fig. 4 is a plan view of the carrier of Fig. 1, Fig. 5 is an enlarged view of the carrier of Fig. 1, Fig. 6 is an enlarged view of the carrier of Fig. Fig. 7 is a perspective view of a second motion idle module coupled to the glass arrangement of Fig. 1; Fig. 7 is a perspective view of a second motion idle module coupled to the glass arrangement of Fig.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 글라스 배치부(105)가 이동가능하게 설치되는 캐리어 유닛(100)과, 글라스 배치부(105) 상으로 반입된 글라스를 지지하되 글라스를 하강시켜 글라스 배치부(105)에 로딩시키는 글라스 로딩유닛(110)과, 캐리어 유닛(100)의 상부에 설치되어 캐리어 유닛(100)의 기준점과 글라스의 기준점을 촬영하는 카메라 유닛(140)을 포함한다.1 to 3, a glass alignment and supply apparatus according to an embodiment of the present invention includes a
이러한 본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 도시되진 않았으나 증착공정라인에 설치되는 진공 챔버유닛의 내부에 설치되며, 진공상태에서 캐리어 유닛(100)에 대한 글라스의 부착 및 정렬을 수행할 수 있다. 글라스는 도시되진 않았으나 반송로봇의 포크핸드에 의해 진공 챔버유닛의 내부로 반입된 후, 글라스 로딩유닛(110)에 의해 지지되어 캐리어 유닛(100)의 글라스 배치부(105) 상으로 로딩될 수 있다. 이때 글라스는 글라스 상의 미리 지정된 기준점의 위치가 카메라 유닛(140)에 의해 촬영되어 수집되고, 캐리어 유닛(100)에 지정되어 있는 기준점에 위치정렬이 이루어질 수 있다.The glass alignment supply apparatus according to this embodiment is installed inside a vacuum chamber unit not shown, but installed in a deposition process line, and can perform attachment and alignment of the glass with respect to the
이때 캐리어 유닛(100) 및 글라스의 기준점은 마킹 및 다른 방식에 의해 복수의 위치에 표시될 수 있는 것으로서, 평면에 투영되는 상호 간의 배치가 일치될 때 정렬되었다고 볼 수 있다.In this case, the reference point of the
즉 글라스는, 캐리어 유닛(100) 상으로 이동될 수 있는 로봇핸드에 의해 진공 챔버유닛의 내부로 반입되어 후술되는 바와 같이, 리프트부(120)의 승강작동에 의해 글라스 지지부(115)와 함께 상승된 후, 다시 하강되어 글라스 배치부(105) 상으로 배치될 수 있으며, 미세정렬을 수행할 수 있는 얼라이너(150)에 의해 마이크로미터 단위의 오차로 캐리어 유닛(100) 상에서 정렬될 수 있다.That is, the glass is carried into the interior of the vacuum chamber unit by a robot hand which can be moved onto the
이를 위해 캐리어 유닛(100)은, 캐리어 유닛(100)의 기준점과 글라스의 기준점의 위치를 기초로 글라스 배치부(105)를 이동시켜, 글라스를 정해진 위치로 정렬시킬 수 있는 얼라이너(150)를 포함할 수 있다. 즉 캐리어 유닛(100)의 내부에는 글라스 배치부(105)에 결합되어 위치정렬을 수행할 있는 얼라이너(150)가 설치될 수 있다.To this end, the
얼라이너(150)는, 카메라 유닛(140)으로부터 캐리어 유닛(100)의 기준점과 글라스의 기준점의 위치를 미리 수집하여 위치오차를 계산하고, 위치오차에 해당하는 좌표만큼 얼라이너(150)에 구동신호를 제공할 수 있는 미도시된 제어유닛에 의해 작동되며, 이에 따라 글라스 배치부(105)가 움직임으로써 글라스 배치부(105) 상에 부착된 글라스는 위치정렬이 이루어질 수 있다.The aligner 150 collects the position of the reference point of the
이러한 본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 글라스가 글라스 배치부(105) 상에 지지 및 부착된 상태에서 얼라이너(150)에 의해 정렬이 이루어짐으로써 글라스 기준점의 촬영 시에 글라스의 휨에 따른 글라스 기준점의 위치오차가 해소되어 정밀한 글라스의 위치정렬을 수행할 수 있다. 즉 글라스가 글라스 지지부(115)에 의해 지지될 때, 글라스의 테두리부로부터 중앙부까지 처짐량이 증가하게 되고, 이로 인한 영향으로 테두리부도 같은 레벨 상에 위치하지 못하고, 각 모서리부 사이의 높이가 다르게 될 수 있지만, 글라스가 글라스 배치부(105) 상에 지지된 상태에서 카메라 유닛(140)에 의한 촬영이 이루어지므로, 글라스의 처짐에 의한 위치오차가 해소된 상태에서 글라스 기준점의 위치가 수집되고, 이를 기초로 글라스의 위치정렬이 이루어질 수 있다.The glass alignment and supply apparatus according to this embodiment aligns the glass with the aligner 150 in a state that the glass is supported and attached on the
도 1 내지 도 7을 참조하여 본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치의 구성요소들을 상세하게 설명하면 다음과 같다.The constituent elements of the glass alignment and supply apparatus according to this embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 7. FIG.
도 1 내지 도 3을 참조하여 글라스가 진공 챔버유닛의 내부로 반입될 때, 글라스를 캐리어 유닛(100) 상에 로딩시킬 수 있는 글라스 로딩유닛(110)을 살펴본다.1 to 3, a
글라스 로딩유닛(110)은, 캐리어 유닛(100)을 관통하도록 설치되어 글라스 배치부(105) 상으로 이송된 글라스를 지지하는 글라스 지지부(115)와, 글라스 지지부(115)에 결합되어 글라스 지지부(115)를 승강시키는 리프트부(120)를 포함할 수 있다.The
본 실시 예에 따른 글라스 지지부(115)는, 리프트부(120)에 설치되는 지지 베이스(116)와, 지지 베이스(116) 상에 설치되어 글라스를 지지하는 지지대(117)를 포함할 수 있다. 지지대(117)는, 글라스를 지지할 수 있도록 캐리어 유닛(100)을 관통하여 설치되며, 캐리어 유닛(100)에는 지지대(117)가 관통한 상태에서 움직일 수 있도록 관통공이 마련될 수 있다. 관통공은 도시되진 않았으나 캐리어 유닛(100)의 상하방향으로 형성되어 있으며, 지지대(117)가 움직일 수 있는 유격공간을 제공할 수 있다.The
본 실시 예에 따른 리프트부(120)는, 글라스 지지부(115)의 하부에 결합되는 글라스 승강로드(121)와, 글라스 승강로드(121)에 결합되는 승강 베이스(122)와, 승강 베이스(122)의 승강을 안내하는 승강 가이드(125)와, 승강 베이스(122)에 설치되어 승강 베이스(122)를 승강시키는 승강 볼 스크류(130)와, 승강 볼 스크류(130)를 구동시키는 승강구동모터(133)를 포함할 수 있다.The
승강구동모터(133)는 구동 베이스(134)에 설치되어 있는데, 커플러(131)에 의해 승강 볼 스크류(130)의 스크류 환봉(132)에 연결될 수 있다. 이러한 승강구동모터(133)는 스크류 환봉(132)을 회전시킬 수 있고, 스크류 환봉(132)의 회전에 따라 암 스크류(134)가 회전되어 승강 베이스(122)를 승강시킬 수 있다. 암 스크류(134)는 구동 베이스(134) 상에 설치된 승강지지 브라켓(135) 상에서 스크류 환봉(132)에 의해 승강될 수 있다.The elevating
또한 본 실시 예에 따르면, 스크류 환봉(132)의 상단부 및 하단부는 각각 스크류 고정판(137)과 승강지지 브라켓(135)에 회전가능하게 설치되는데, 스크류 고정판(137)은 구동 베이스(134) 상에 쌍으로 대향하게 설치되어 있는 승강 가이드(125)의 상단부에 결합될 수 있다.The upper end and the lower end of the
이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여 글라스 배치부(105) 상에 부착된 글라스를 정렬시킬 수 있는 얼라이너(150)를 살펴본다.Hereinafter, an aligner 150 capable of aligning the glass adhered on the
얼라이너(150)는, 글라스 배치부(105)의 하부에 설치되는 구동모듈(155)과, 글라스 배치부(105)와 구동모듈(155) 사이에 설치되되 글라스 배치부(105)의 선형이동과 회전을 허용하는 복수의 모션 아이들모듈(161, 162)을 포함할 수 있다.The aligner 150 includes a
이러한 구동모듈(155)은, 글라스 배치부(105)의 저면에 설치되는 한 쌍의 리니어 모터(151, 152)를 포함할 수 있다. 또한 구동모듈(155)은, 캐리어 유닛(100)에 설치되어 한 쌍의 리니어 모터(151, 152)에 전원을 공급하는 배터리 셀(156)을 더 포함할 수 있다. 이러한 본 실시 예에 따른 구동모듈(155)은, 배터리 셀(156)에 의해 리니어 모터(151, 152)가 가동되도록 구성될 수 있으므로, 캐리어 유닛(100)의 컴팩트한 공간에 쉽게 설치될 수 있으며, 외부전원 없이 글라스 배치부(105)를 움직일 수 있다. 본 실시 예에 따르면, 배터리 셀(156)은 리니어 모터(151, 152) 사이에 설치되어 있으나, 이러한 위치로 한정되진 않으며, 리니어 모터(151, 152)의 작동을 방해하지 않는 캐리어 유닛(100)의 어느 위치라도 가능하다.The
복수의 모션 아이들모듈(161, 162)은, 한 쌍의 리니어 모터(151, 152) 중 어느 하나의 리니어 모터에 설치되되, 글라스 배치부(105)에 대해 리니어 모터(151, 152)의 작동방향에 교차하는 X축과 X축에 교차하는 Y축에 따른 이동, 및 XY평면에 직교하는 Z축에 따른 라인을 중심으로 하는 회전을 글라스 배치부(105)에 허용할 수 있는 제1 모션 아이들모듈(161)과, 한 쌍의 리니어 모터(151, 152) 중 다른 하나의 리니어 모터에 설치되되, 글라스 배치부(105)에 대해 Y축에 따른 이동 및 XY평면에 직교하는 Z축에 따른 라인을 중심으로 하는 회전을 허용하는 제2 모션 아이들모듈(162)을 포함할 수 있다.The plurality of motion
본 실시 예에 따르면, 제1 모션 아이들모듈(161)이 글라스 배치부(105)의 좌측에 배치되는 제1 리니어 모터(151)에 설치되며, 제2 모션 아이들모듈(162)이 글라스 배치부(105)의 우측에 배치되는 제2 리니어 모터(152)에 설치될 수 있다.The first motion
도 6에 도시된 바와 같이 제1 모션 아이들모듈(161)은, 글라스 배치부(105)의 저면에 결합되어 글라스 배치부(105)의 회전을 허용하는 로터리 크로스 롤러(165)와, 로터리 크로스 롤러(165)에 결합되되 글라스 배치부(105)의 X축에 따른 이동을 허용할 수 있는 X축 이동부(166)와, X축 이동부(166)의 상부에 결합되어 Y축에 따른 이동을 허용할 수 있는 Y축 이동부(167)를 포함할 수 있다.6, the first motion
또한 도 7에 도시된 바와 같이, 제2 모션 아이들모듈(162)은, 제1 모션 아이들모듈(161)과 동일한 글라스 배치부(105)의 저면에 결합되어 글라스 배치부(105)의 회전을 허용하는 로터리 크로스 롤러(165)와, 로터리 크로스 롤러(165)에 결합되되 글라스 배치부(105)의 Y축에 따른 이동을 허용하는 Y축 이동부(167)를 포함할 수 있다.7, the second motion
본 실시 예에 따른 글라스 배치부(105)는, 한 쌍의 리니어 모터(151, 152)가 작동될 때, 제1 모션 아이들모듈(161)과 제2 모션 아이들모듈(162)의 Y축 이동부(167)에 의해 Y축 이동이 가능하다.The
또한, 글라스 배치부(105)는 한 쌍의 리니어 모터(151, 152) 중 우측에 배치된 제2 리니어 모터(152)가 고정된 상태이고, 좌측에 배치된 제1 리니어 모터(151)만 가동될 때, 좌측 제1 리니어 모터(151) 상에 배치된 제1 모션 아이들모듈(161)의 로터리 크로스 롤러(165) 및 X축 이동부(166)와 Y축 이동부(167)에 의해서, 제2 모션 아이들모듈(162)의 로터리 크로스 롤러(165)를 중심으로 회전될 수 있다. 이러한 글라스 배치부(105)의 움직임을 가능케하는 한 쌍의 리니어 모터(151, 152) 및 제1, 2 모션 아이들모듈(161, 162)에 의해 글라스 배치부(105) 상에 부착된 글라스의 기준점이 캐리어 유닛(100)의 기준점으로 정렬될 수 있다.In the
한편 얼라이너(150)는, 도시되진 않았으나 본 실시 예와 달리 글라스 배치부(105)를 정렬할 수 있는 UVW 방식의 얼라인 작동요소를 포함할 수 있다. 이러한 UVW의 얼라인 작동요소를 갖춘 얼라인 방식은, 3축의 모터를 사용하며, U축은 X축이며, VW를 같은 수치로 움직이면 Y축의 움직임이 일어나는 방식으로서, XY평면 수직하는 Z축 회전 즉 Theta 회전은 UVW를 일정수치만큼 이동시키면 가능하다. 이러한 UVW의 얼라인 작동요소를 사용하는 얼라인 방식은 디스플레이 제작공정에서 두 물체를 정렬시키는 데 자주 사용하는 공지의 기술로서 자세한 설명은 생략하기로 한다.On the other hand, the aligner 150 may include a UVW-type aligned operation element, which is not shown, but which can arrange the
도 1 내지 도 7에 도시된 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치는, 다음과 같은 순서에 의해 글라스 정렬을 수행할 수 있다. 본 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치에 의해 글라스를 캐리어 유닛(100)에 붙여 정렬하는 과정은, 반송로봇(TM Robot)의 로봇핸드에 의해 공급된 글라스를 핀업(Pin Up)장치 즉 리프트부(120)의 지지대(117) 상승 즉 핀업에 의해 로봇핸드에서 분리하고, 다시 핀다운(Pin Down)에 의해 글라스 배치부(105)에 부착 및 지지하며, 카메라 유닛(140)에 의한 영상정렬(Vision Align)에 의해 위치를 보정하는 방식으로 진행될 수 있다.The glass alignment and supply apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 7 can perform glass alignment by the following procedure. The process of attaching and aligning the glass to the
즉, 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급방법은, 먼저 캐리어 유닛(100)의 기준점을 촬영하여 캐리어 유닛(100)의 기준점의 위치를 저장하는 단계와, 캐리어 유닛(100)의 글라스 배치부(105) 상으로 로봇핸드에 의해 글라스를 반입하는 단계와, 리프트부(120)에 의해 상승되는 글라스 지지부(115)에 의해 글라스를 로봇핸드로부터 이격시켜 글라스 배치부(105)에 로딩하는 단계와, 글라스의 기준점을 촬영하여 글라스의 기준점의 위치를 저장하는 단계와, 캐리어 유닛(100)에 설치되는 얼라이너(150)에 의해 글라스 배치부(105)를 움직여 캐리어 유닛(100)의 기준점의 위치로 글라스의 기준점을 정렬시키는 단계를 포함한다.That is, according to an embodiment of the present invention, the glass alignment supply method may include: a step of photographing a reference point of the
전술한 바와 같이 본 실시 예에 따른 얼라이너(150)는, 글라스 배치부(105)의 하부에 설치되는 한 쌍의 리니어 모터(151, 152)를 포함하는 구동모듈(155)과, 글라스 배치부(105)와 구동모듈(155) 사이에 설치되되 한 쌍의 리니어 모터(151, 152)의 가동에 따른 글라스 배치부(105)의 선형이동과 회전을 허용하는 제1, 2 모션 아이들모듈(161, 162)을 포함할 수 있으며, 이에 따라 캐리어 유닛(100)의 기준점의 위치로 글라스의 기준점을 정렬시키는 단계는, 한 쌍의 리니어 모터(151, 152) 중 어느 하나를 작동시켜 제1, 2 모션 아이들모듈(161, 162) 중 적어도 어느 하나를 중심으로 글라스 배치부(105)를 회전시키는 단계를 포함할 수 있다. 본 실시 예에 따르면, 좌측에 배치된 제1 리니어 모터(161)만 가동될 때, 제2 모션 아이들모듈(162)을 중심으로 글라스 배치부(105)가 회전될 수 있다.As described above, the aligner 150 according to the present embodiment includes a
이상과 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 정렬공급장치 및 그 공급시스템에 대해 설명하였지만, 본 발명의 권리범위가 이러한 증착공정에 한정되는 것은 아니며, 캐리어에 대한 글라스의 정렬이 필요한 공정에는 모두 적용이 가능하다.As described above, the glass alignment supply apparatus and the supply system according to the embodiment of the present invention have been described. However, the scope of the present invention is not limited to such a deposition process, and all processes requiring alignment of the glass with respect to the carrier It is applicable.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.
100: 캐리어 유닛 105: 글라스 배치부
110: 글라스 로딩유닛 115: 글라스 지지부
116: 지지 베이스 117: 지지대
120: 리프트부 121: 글라스 승강로드
122: 승강 베이스 125: 승강 가이드
130: 승강 볼 스크류 131: 커플러
132: 스크류 환봉 133: 승강구동모터
135: 승강지지 브라켓 137: 스크류 고정판
140: 카메라 유닛 150: 얼라이너
155: 구동모듈 151, 152: 리니어 모터
155: 배터리 셀 161, 162: 모션 아이들모듈
165: 로터리 크로스 롤러 166: X축 이동부
167: Y축 이동부100: Carrier unit 105: Glass arrangement part
110: glass loading unit 115: glass support
116: support base 117: support base
120: lift part 121: glass lifting rod
122: elevating base 125: elevating guide
130: lifting and lowering ball screw 131: coupler
132: screw round bar 133: lift motor
135: lifting support bracket 137: screw fixing plate
140: camera unit 150: aligner
155: Driving
155:
165: rotary cross roller 166: X-axis moving part
167: Y-axis moving part
Claims (12)
상기 글라스 배치부 상으로 반입된 글라스를 지지하되, 상기 글라스를 하강시켜 상기 글라스 배치부에 로딩시키는 글라스 로딩유닛; 및
상기 캐리어 유닛의 상부에 설치되어 상기 캐리어 유닛의 기준점과 상기 글라스의 기준점을 촬영하는 카메라 유닛을 포함하며,
상기 캐리어 유닛은,
상기 카메라 유닛으로부터 제공되는 상기 캐리어 유닛의 기준점과 상기 글라스의 기준점의 위치를 기초로 상기 글라스 배치부를 이동시켜, 상기 글라스를 정해진 위치로 정렬시키는 얼라이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.A carrier unit in which a glass arrangement part is movably installed;
A glass loading unit for supporting the glass carried on the glass arrangement unit, the glass loading unit lowering the glass and loading the glass onto the glass arrangement unit; And
And a camera unit installed at an upper portion of the carrier unit to photograph a reference point of the carrier unit and a reference point of the glass,
Wherein the carrier unit comprises:
And an aligner for moving the glass arrangement part based on a reference point of the carrier unit and a reference point of the glass provided from the camera unit and aligning the glass to a predetermined position.
상기 얼라이너는,
상기 글라스 배치부의 하부에 설치되는 구동모듈; 및
상기 글라스 배치부와 상기 구동모듈 사이에 설치되되, 상기 글라스 배치부의 선형이동과 회전을 허용하는 복수의 모션 아이들모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method according to claim 1,
The above-
A drive module installed below the glass arrangement part; And
And a plurality of motion idle modules installed between the glass arrangement part and the drive module, the plurality of motion idle modules allowing linear movement and rotation of the glass arrangement part.
상기 구동모듈은, 상기 글라스 배치부의 저면에 설치되는 한 쌍의 리니어 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.3. The method of claim 2,
Wherein the drive module includes a pair of linear motors provided on a bottom surface of the glass arrangement part.
상기 복수의 모션 아이들모듈은,
상기 한 쌍의 리니어 모터 중 어느 하나의 리니어 모터에 설치되되, 상기 글라스 배치부에 대해 상기 리니어 모터의 작동방향에 교차하는 X축과 상기 X축에 교차하는 Y축에 따른 이동, 및 XY평면에 직교하는 Z축에 따른 라인을 중심으로 하는 회전을 허용할 수 있는 제1 모션 아이들모듈; 및
상기 한 쌍의 리니어 모터 중 다른 하나의 리니어 모터에 설치되되, 상기 글라스 배치부에 대해 상기 Y축에 따른 이동 및 상기 XY평면에 직교하는 Z축에 따른 라인을 중심으로 하는 회전을 허용할 수 있는 제2 모션 아이들모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method of claim 3,
Wherein the plurality of motion idle modules comprise:
A linear motor which is provided in any one of the pair of linear motors and is movable with respect to the glass arrangement part along an X axis intersecting with an operating direction of the linear motor and a Y axis intersecting with the X axis, A first motion idle module capable of allowing rotation about a line along an orthogonal Z axis; And
A linear motor which is provided in the other one of the pair of linear motors and is capable of allowing movement about the Y axis and rotation about a line along the Z axis orthogonal to the XY plane with respect to the glass arrangement part And a second motion idle module.
상기 제1 모션 아이들모듈은,
상기 글라스 배치부의 저면에 결합되어 상기 글라스 배치부의 회전을 허용하는 로터리 크로스 롤러;
상기 로터리 크로스 롤러에 결합되되, 상기 글라스 배치부의 상기 X축에 따른 이동을 허용할 수 있는 X축 이동부; 및
상기 X축 이동부의 상부에 결합되어 상기 Y축에 따른 이동을 허용할 수 있는 Y축 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.5. The method of claim 4,
The first motion idle module comprising:
A rotary cross roller coupled to a bottom surface of the glass arrangement part to allow rotation of the glass arrangement part;
An X-axis moving unit coupled to the rotary cross roller, the X-axis moving unit allowing movement of the glass arrangement along the X-axis; And
And a Y-axis moving unit coupled to an upper portion of the X-axis moving unit to allow movement along the Y-axis.
상기 제2 모션 아이들모듈은,
상기 글라스 배치부의 저면에 결합되어 상기 글라스 배치부의 회전을 허용하는 로터리 크로스 롤러; 및
상기 로터리 크로스 롤러에 결합되되, 상기 글라스 배치부의 상기 Y축에 따른 이동을 허용하는 Y축 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.5. The method of claim 4,
Wherein the second motion idle module comprises:
A rotary cross roller coupled to a bottom surface of the glass arrangement part to allow rotation of the glass arrangement part; And
And a Y-axis moving unit coupled to the rotary cross roller to allow movement of the glass arrangement unit along the Y-axis.
상기 구동모듈은, 상기 캐리어 유닛에 설치되어 상기 한 쌍의 리니어 모터에 전원을 공급하는 배터리 셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method of claim 3,
Wherein the driving module further comprises a battery cell installed in the carrier unit and supplying power to the pair of linear motors.
상기 글라스 로딩유닛은,
상기 캐리어 유닛에 설치되어 상기 글라스 배치부 상으로 이송된 상기 글라스를 지지하는 글라스 지지부; 및
상기 글라스 지지부에 결합되어 상기 글라스 지지부를 승강시키는 리프트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.The method according to claim 1,
Wherein the glass loading unit comprises:
A glass supporting part installed on the carrier unit and supporting the glass transferred onto the glass arrangement part; And
And a lift part coupled to the glass supporting part to elevate the glass supporting part.
상기 글라스 지지부는,
지지 베이스; 및
상기 지지 베이스 상에 설치되어 상기 글라스를 지지하는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.9. The method of claim 8,
The glass-
A support base; And
And a support base provided on the support base and supporting the glass.
상기 리프트부는,
상기 글라스 지지부의 하부에 결합되는 글라스 승강로드;
상기 글라스 승강로드에 결합되는 승강 베이스;
상기 승강 베이스의 승강을 안내하는 승강 가이드; 및
상기 승강 베이스에 설치되어 상기 승강 베이스를 승강시키는 승강 볼 스크류;
상기 승강 볼 스크류를 구동시키는 승강구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬공급장치.9. The method of claim 8,
The lift unit includes:
A glass lifting rod coupled to a lower portion of the glass supporting portion;
A lifting base coupled to the glass lifting rod;
A lifting guide for guiding the lifting and lowering of the lifting base; And
A lifting ball screw installed on the lifting base and lifting the lifting base;
And an elevation driving motor for driving the elevation ball screw.
상기 캐리어 유닛의 글라스 배치부 상으로 로봇핸드에 의해 글라스를 반입하는 단계;
리프트부에 의해 상승되는 글라스 지지부에 의해 상기 글라스를 상기 로봇핸드로부터 이격시켜 상기 글라스 배치부에 로딩하는 단계;
상기 글라스의 기준점을 촬영하여 상기 글라스의 기준점의 위치를 저장하는 단계; 및
상기 캐리어 유닛에 설치되는 얼라이너에 의해 상기 글라스 배치부를 움직여 상기 캐리어 유닛의 기준점의 위치로 상기 글라스의 기준점을 정렬시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬방법.Capturing a reference point of the carrier unit and storing the position of the reference point of the carrier unit;
Carrying a glass onto a glass arrangement part of the carrier unit by a robot hand;
Loading the glass into the glass arrangement part by separating the glass from the robot hand by a glass supporting part raised by a lift part;
Capturing a reference point of the glass and storing a position of the reference point of the glass; And
And aligning the reference point of the glass with the position of the reference point of the carrier unit by moving the glass arrangement part by an aligner provided on the carrier unit.
상기 얼라이너는,
상기 글라스 배치부의 하부에 설치되는 구동모듈; 및
상기 글라스 배치부와 상기 구동모듈 사이에 설치되되, 상기 구동모듈의 가동에 따른 상기 글라스 배치부의 선형이동과 회전을 허용하는 복수의 모션 아이들모듈을 포함하며,
상기 캐리어 유닛의 기준점의 위치로 상기 글라스의 기준점을 정렬시키는 단계는, 상기 구동모듈을 가동시켜 상기 복수의 모션 아이들모듈 중 적어도 어느 하나를 중심으로 상기 글라스 배치부를 회전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 정렬방법.12. The method of claim 11,
The above-
A drive module installed below the glass arrangement part; And
And a plurality of motion idle modules disposed between the glass arrangement and the drive module to permit linear movement and rotation of the glass arrangement along with the drive module,
Wherein the step of aligning the reference point of the glass with the position of the reference point of the carrier unit comprises rotating the glass arrangement part around at least one of the plurality of motion idle modules by operating the drive module .
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