KR20140107160A - Anisotropic conductive film used for connecting wiring and manufacturing method for the same - Google Patents

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Abstract

The invention provides a spherical nickel-phosphorous (NiP) particle having excellent self-particle monodispersity and a preparing method thereof. The reduction-precipitation spherical NiP particle includes nickel (Ni) as a main body, and phosphorous (P) (preferably 1 to 15 wt%) and copper (Cu) (preferably 0.01-18 wt%), or further includes Sn (preferably 0.05-10 wt%). The preparing method of the reduction-precipitation spherical NiP particle prepares the reduction-precipitation spherical NiP particle including Ni as the main body and P, by mixing a mixed water solution composed of a water solution of nickel salt, a pH regulator, and a pH buffer with a phosphorous water solution of a reductant, and by reducing and precipitating the mixture, wherein the water solution of the nickel salt includes the Cu (preferable mol ratio of Ni/Cu= 4.0-10000), or further includes the Sn (preferable mol ratio of Ni/Sn=2.0-2000), and mixes the materials to make the pH value exceed 7 when the reduction-precipitation begins.

Description

배선 접속에 사용되는 이방성 도전 필름 및 그의 제조 방법{ANISOTROPIC CONDUCTIVE FILM USED FOR CONNECTING WIRING AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an anisotropic conductive film used for wiring connection, and an anisotropic conductive film used for wiring connection.

본 발명은, 예를 들면, 이방성 도전 필름용 도전 입자로서 사용되는 금속 미소립자일 뿐 아니라 기판 등의 배선 형성에 사용되는 재료로서도 바람직한 금속 미소입자, 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to, for example, metal microparticles which are not only fine metal particles used as conductive particles for anisotropic conductive films but also used as a material for wiring formation of substrates and the like, and a method for producing the same.

지상 디지털 방송의 보급에 수반하여, LCD(Liquid Crystal Display), 또는 PDP(Plasma Display Panel) 등의 FPD(Flat Panel Display)가 급격하게 신장되고 있다. 그것의 드라이버 IC나 미세한 배선 회로를 전기적으로 접속하는 데에는, 이방성 도전 필름이 많이 사용되고 있다. 2. Description of the Related Art With the spread of terrestrial digital broadcasting, FPD (Flat Panel Display) such as LCD (Liquid Crystal Display) or PDP (Plasma Display Panel) is rapidly expanding. Anisotropic conductive films are widely used for electrically connecting driver ICs and fine wiring circuits.

이방성 도전 필름은 열경화성 또는 열가소성인 절연성 수지 필름 중에 도전 입자를 분산시킨 접착제로서, 서로 대면하는 배선의 사이에 배치한 후 열압착함으로써, 도전 입자를 통해서 배선간을 도통(導通)시키고, 면 방향의 인접한 배선간에는 전기적 절연성을 유지하는 접속 재료이다. 그 도전 입자에는, 폴리스티렌이나 아크릴 등의 수지 볼(ball)의 표면에 Ni, Au 등의 금속 재료를 도금하여 도전성을 갖도록 한 도전성 수지 볼, Ni, Cu, A1, Au, Ag 등의 금속 분말, 또는 그것의 표면에 금속을 도금한 분말 등이 널리 이용되고 있다. The anisotropic conductive film is an adhesive in which conductive particles are dispersed in a thermosetting or thermoplastic insulating resin film. The anisotropic conductive film is placed between wires facing each other, and then thermocompression-bonded to conduct the wires through the conductive particles. It is a connecting material that maintains electrical insulation between adjacent wirings. The conductive particles include a conductive resin ball which is made by plating a metal material such as Ni or Au on the surface of a resin ball such as polystyrene or acrylic to make it conductive, a metal powder such as Ni, Cu, Al, Au, Ag, Or powders obtained by plating a metal on the surface thereof are widely used.

이방성 도전 필름의 도전 입자로서 일반적으로 이용되고 있는 도전성 수지 볼은, 열압착 시의 압력과 온도에 의해 수지 볼이 탄성변형되기 때문에, 배선과의 접촉 면적을 크게 할 수 있는 등의 이점을 가진다. 그러나, 수지 볼이 절연체이기 때문에 양호한 도통을 얻기 어려울 뿐 아니라, 특별한 처리에 의해 표면에 금속을 도금하지 않으면 안되기 때문에, 비용이 매우 높아진다고 하는 결점이 있다. The conductive resin balls generally used as the conductive particles of the anisotropic conductive film are advantageous in that the resin balls are elastically deformed by the pressure and the temperature at the time of thermocompression bonding so that the contact area with the wiring can be increased. However, since the resin ball is an insulator, it is difficult to obtain good conduction, and a metal must be plated on the surface by a special treatment, which is a drawback that the cost is extremely high.

한편, Ni 분말 등의 금속 분말은 TCP(Tape Carrier Package)와 FPC(Flexible Printed Circuit)의 접속, TCP와 PWB(Printed Wiring Board)의 접속 등의 이방성 도전 필름에 사용되고 있다. TCP나 FPC, PWB 등의 회로 기판은, Cu 또는 그 위에 Sn 도금 등이 실행된, 비교적 부드럽고 산화막을 형성하기 쉬운 재질에 의해 미세한 배선 회로가 형성되어 있다. 금속 분말을 이용한 이방성 도전 필름은, 상기 배선 회로상의 산화막을 돌파하여 도통을 확보할 수 있는 등의 특징이 있다. 그러나, 예를 들면 가스 분무(gas atomize)법에 의해 얻어진 금속 분말을 이방성 도전 필름용 도전 입자로 할 경우, 입도분포가 첨예한 입자를 얻는 것이 매우 어렵다. 고르지 않은 크기의 입자로부터, 분급 처리에 의해 이방성 도전 필름의 규격을 충족시킬 수 있는 입자 크기로 만드는 것은, 비용이 높아지는 문제가 있다. On the other hand, metal powder such as Ni powder is used for anisotropic conductive films such as TCP (Tape Carrier Package), FPC (Flexible Printed Circuit) connection, TCP and PWB (Printed Wiring Board) connection. Circuit boards such as TCP, FPC, and PWB are formed with a fine wiring circuit by Cu or a material on which Sn plating is performed, and which is relatively soft and easy to form an oxide film. The anisotropic conductive film using the metal powder has characteristics such as breaking the oxide film on the wiring circuit and securing conductivity. However, when the metal powder obtained by the gas atomization method is used as the conductive particles for the anisotropic conductive film, it is very difficult to obtain particles with sharp particle size distribution. There is a problem in that it is costly to make particles of unequal size from a particle size capable of satisfying the specification of an anisotropic conductive film by classifying treatment.

상기의 과제를 감안하여, 본 발명자는 회로 기판의 미세배선 접속에 사용하는 이방성 도전 필름에 대해서, 그것에 분산시키는 도전 입자를 제안하고 있다(특허문헌 1). 이 도전 입자는, 우수한 도전 특성을 가지는 한편, 경도가 높으면서도 균일한 형상 및 입도분포를 가지므로, 이방성 도전 필름에 적합한 것이 된다. In view of the above problems, the present inventors have proposed a conductive particle dispersed in an anisotropic conductive film used for fine wiring of a circuit board (Patent Document 1). These conductive particles have excellent conductive properties and have a uniform shape and particle size distribution while having high hardness, and thus are suitable for anisotropic conductive films.

또 , FPC 또는 유리 기판 등에의 미세한 회로 배선의 형성에는, Ag 페이스트에 의한 스크린 인쇄법 등이 채용되고 있다. 이 방법은, 기판 상에 전기 도전성이 높은 Ag 페이스트로 배선을 인쇄한 후에, Ag의 전자이동(electromigration)을 방지하기 위해서, Ag 배선을 코팅하는 방식으로 카본 페이스트를 적층 인쇄하고, 소성하여 회로 배선을 형성하는 방법이다. 이 방법에 의하면, 저렴하게 대량으로 기판 등을 제조할 수 있다. For formation of fine circuit wiring on an FPC or a glass substrate, a screen printing method using an Ag paste or the like is employed. In this method, after a wiring is printed with a high-conductivity Ag paste on a substrate, a carbon paste is laminated and printed by a method of coating an Ag wiring so as to prevent electromigration of Ag, . According to this method, a substrate or the like can be manufactured inexpensively in a large amount.

일본국 특개 2006-131978호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-131978

상기 배경기술에 있어서는, 예를 들면 이방성 도전 필름용 도전 입자에 주시할 때, 특허문헌 1의 방법은, 상기 과제에 어느 정도 효과를 나타내는 유효한 방법이지만, 이러한 종류의 NiP 미소입자에서는, 도전성 수지 볼과 비교한 경우, 입자 크기가 불균일하여, 개선의 여지가 있었다. In the above background art, for example, when observing conductive particles for an anisotropic conductive film, the method of Patent Document 1 is an effective method showing some effect to the above problem. In this kind of NiP microparticles, , There was a room for improvement because the particle size was uneven.

FPC나 기판 등에의 배선 형성용 재료로서 평가하면, 예컨대 배선 간격이 0.2mm 이하인, 보다 미세한 배선을 형성하는 경우에는, 스크린 인쇄의 정밀도, 즉 Ag 배선과 그것에 적층되는 전자이동 방지용의 카본 페이스트를 인쇄할 때 위치가 어긋나기 때문에, 정밀도가 높은 배선 회로를 형성하기 어렵다고 하는 문제가 있다. 그래서, 배선 형성용 재료에 있어서는, 이 전자이동의 과제로부터 초래되는 회로 배선의 정밀도 저하를 해소하기 위해, Ag 페이스트를 대체하는 도전 입자가 요구된다. When a finer wiring with a wiring interval of 0.2 mm or less is formed, the accuracy of screen printing, that is, the Ag wiring and the carbon paste for preventing electron migration laminated thereon are printed There is a problem that it is difficult to form a wiring circuit with high precision because the position is shifted. Therefore, in the wiring forming material, conductive particles replacing the Ag paste are required in order to solve the deterioration in the accuracy of the circuit wiring resulting from the electron transfer problem.

본 발명의 목적은, 특히 이방성 도전 필름의 도전 입자에 사용하는 데에 최적이고, 단분산성(單分散性)과 도전 특성이 우수한 구형 NiP 미소입자 및 그것의 제조 방법을 제공하는 것이다. 또 이것에 추가하여, FPC 또는 유리 기판 등의 회로 배선을 형성하는 데에 최적이고, 전자이동 내성과 도전 특성, 및 저온 소결성도 우수한 구형 NiP 미소입자 및 그것의 제조 방법을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide spherical NiP microparticles, which are most suitable for use in conductive particles of an anisotropic conductive film, and which are excellent in single dispersibility and conductivity, and a method for producing the same. In addition, the present invention provides spherical NiP microparticles, which are optimum for forming circuit wiring such as FPC or glass substrate, excellent in electron migration resistance, conductivity, and low temperature sintering property, and a method for producing the same.

본 발명자는, 고정밀도의 미세회로에 적용가능한 이방성 도전 필름용 도전 입자에 관해 상세히 검토했다. 그리고, 기판 등에 대한 회로 배선을 미세하고도 높은 정밀도로 형성할 수 있는 재료로서도, 그것에 적합한 도전 입자를 검토했다. 그 결과, 앞서 제안한 특허문헌 1의 이방성 도전 필름용 도전 입자에 Cu를 포함하는 조성을 제공하고, 나아가서는 이것에 Sn도 포함하는 조성을 제공함으로써, 입자 크기의 불균일성을 억제하는 것이 가능하고, 또한 입자 자체의 도전 특성을 향상시키는 결과를 얻었다.The present inventors have studied in detail the conductive particles for an anisotropic conductive film which can be applied to a fine circuit of high precision. Also, as a material capable of forming a circuit wiring for a substrate or the like with a high degree of precision, a conductive particle suitable for the circuit wiring has been studied. As a result, it is possible to suppress the non-uniformity of the particle size by providing a composition containing Cu to the conductive particles for an anisotropic conductive film of the above-mentioned Patent Document 1 and further providing a composition containing Sn therein, And the conductive property of the conductive layer is improved.

즉, 본 발명은, Ni를 주체로 P를 포함하는 성분 조성, 예를 들면 1∼15 질량%의 P를 포함하는 성분 조성으로 이루어지는 구형 NiP 미소입자에 있어서, 그 성분 조성에 Cu를 포함하는 것을 특징으로 하는 환원 석출형 구형 NiP 미소입자이다. 또한, 상기 성분 조성에, 0.01∼18 질량%의 Cu를 포함하는 것을 특징으로 하는 환원 석출형 구형 NiP 미소입자이다. That is, the present invention is a spherical NiP microparticle mainly composed of Ni and composed of a component composition including P, for example, a component composition containing P in an amount of 1 to 15 mass% It is a spherical NiP microparticle of reduced precipitation type. Further, it is a reduced precipitation-type spherical NiP microparticle characterized by containing 0.01 to 18 mass% of Cu in the above composition.

또한, 본 발명은, 상기의 Cu를 포함하는 성분 조성에 추가하여, Sn을 포함하는 것을 특징으로 하는 환원 석출형 구형 NiP 미소입자이며, 예를 들면 0.05∼10 질량%의 Sn을 포함하는 것을 특징으로 하는 환원 석출형 구형 NiP 미소입자이다. Further, the present invention is a spheroidal NiP microparticle of reduced precipitation type characterized by containing Sn in addition to the above-mentioned composition including Cu, and it is characterized by containing, for example, 0.05 to 10 mass% of Sn In the form of spherical NiP microparticles.

본 발명의 환원 석출형 구형 NiP 미소입자는 바람직하게는, 평균 입경 d50이 O.1∼7O㎛이며, 동시에 그것의 입도분포가 [(d90-d10)/d50]≤O.8(d90, d10, d50: 적산 분포 곡선에서, 9O 체적%, 1O 체적%, 5O 체적%를 나타내는 입자 직경)이다. 이것에 있어서는, 상기의 Cu를 포함함으로써, 특히 평균 입경 d50이 1∼7O㎛인 대경(大徑)측에서의 상기 입도분포 조정에 유리하다. 그리고, 추가로 Sn을 포함함으로써, 특히 평균 입경 d50이 0.1∼lO㎛인 소경(小徑)측에서의 상기 입도분포 조정에 유리하다. The spherical NiP microparticles of reduced precipitation type of the present invention preferably have an average particle diameter d 50 of 0.1 to 70 탆 and a particle size distribution of [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] ≤0.8 (d 90 , d 10 , d 50 : particle diameter representing 90% by volume, 10% by volume, and 50% by volume in the cumulative distribution curve). In this case, by including Cu, it is advantageous to adjust the particle size distribution particularly on the large-diameter side having an average particle diameter d 50 of 1 to 70 μm. Further, by further containing Sn, it is advantageous for adjusting the particle size distribution on the small-diameter side having an average particle diameter d 50 of 0.1 to 10 μm.

본 발명은, 니켈염의 수용액, pH 조제제 및 pH 완충제의 혼합 수용액, 그리고 인을 포함하는 환원제 수용액을 혼합하여 환원 석출시키고, Ni를 주체로 P를 포함하는 구형 NiP 미소입자를 제조하는 방법으로서, 상기 니켈염의 수용액은 Cu를 포함하고, 혼합하여 환원 석출을 개시시킬 때의 pH가 7보다 높은 알카리성이 되도록 조제하는 것을 특징으로 하는 환원 석출형 구형 NiP 미소입자의 제조 방법이다. 상기 니켈염의 수용액은, 몰비로 Ni/Cu=4.0∼10,000이 되도록 Cu를 포함하는 것이 바람직하다. The present invention relates to a method for producing spherical NiP microparticles containing P by reducing and precipitating an aqueous solution of a nickel salt, a mixed aqueous solution of a pH adjusting agent and a pH buffer, and a reducing agent aqueous solution containing phosphorus, Wherein the aqueous solution of the nickel salt contains Cu and is mixed and adjusted so that the pH at the time of initiating the reduction precipitation becomes higher than 7 in alkalinity. The aqueous solution of the nickel salt preferably contains Cu so that Ni / Cu = 4.0 to 10,000 at a molar ratio.

또한, 상기 환원 석출시킬 때의 니켈염의 수용액은, 상기의 Cu에 추가하여, Sn을 포함하고, 환원 석출을 개시시킬 때의 pH가 7보다 높은 알카리성이 되도록 조제하는 것을 특징으로 하는 환원 석출형 구형 NiP의 제조 방법이다. 이 때의 니켈염의 수용액은, 몰비로 Ni/Sn=2.0∼2,000이 되는 Sn을 포함하는 것이 바람직하다. Further, the aqueous solution of the nickel salt at the time of the reduction precipitation is prepared in such a manner that the aqueous solution contains Sn in addition to the above-mentioned Cu and has an alkaline pH higher than 7 at the time of starting reduction precipitation. NiP. ≪ / RTI > The aqueous solution of the nickel salt at this time preferably contains Sn at a molar ratio of Ni / Sn = 2.0 to 2,000.

본 발명의 Cu, 또는 추가로 Sn을 포함하는 환원 석출형 구형 NiP 미소입자는, 그 입자가 구형으로 되어 있으므로, 열경화성 또는 열가소성인 절연성 수지 필름 중에 배합한 경우, 입자의 응집이 적고 분산성이 양호해서, 이방성 도전 필름의 도전 입자에 사용했을 때에 전극간의 단락이 억제된다. 또한, 이와 함께, 종래 양호한 접속 신뢰성을 얻기 어려웠던 재질인 Al이나 Cr 전극 등의 산화 피막을 형성하기 쉬운 금속 전극간의 접속에 있어서도, 낮은 접속 저항과 높은 접속 신뢰성을 얻는 것이 가능하다. The spherical NiP microparticles of reduced precipitation type containing Cu or Sn of the present invention have a spherical shape, so that when they are incorporated into a thermosetting or thermoplastic insulating resin film, the aggregation of the particles is small and the dispersibility is good Therefore, short-circuiting between the electrodes is suppressed when the conductive particles of the anisotropic conductive film are used. In addition, it is also possible to obtain a low connection resistance and a high connection reliability even in connection between metal electrodes which are easy to form an oxide film such as an Al or Cr electrode, which is a material which is difficult to obtain good connection reliability in the past.

또한, 본 발명의 상기 구형 NiP 미소입자는, 그 성분 조성이 Ni기의 금속 입자이기 때문에, 전자이동 내성과 도전 특성이 우수할 뿐 아니라, 미세하고 균일한 입자 크기를 가지고 있으므로, FPC 또는 유리 기판 등의 회로 배선을 형성할 경우에, 저온에서의 소결성이 양호해서, 기판에 대한 손상을 적게 하는 것이 가능하다.The spherical NiP microparticles of the present invention are not only excellent in electron migration resistance and conductivity, but also have a fine and uniform particle size because their component compositions are Ni-based metal particles. Therefore, the FPC or glass substrate , It is possible to reduce the damage to the substrate because the sintering property at low temperature is good.

도 1은 본 발명의 구형 NiP 미소입자의 일례를 나타내는 전자현미경 사진이다.
도 2는 본 발명의 구형 NiP 미소입자의 일례를 나타내는 전자현미경 사진이다.
도 3은 본 발명의 구형 NiP 미소입자의 단면 구조의 일례를 나타내는 전자현미경 사진이다.
도 4는 도 3의 단면에서 관찰되는, Ni 농도 분포의 맵핑 사진이다.
도 5는 도 3의 단면에서 관찰되는, Cu 농도 분포의 맵핑 사진이다.
도 6은 도 3의 단면에서 관찰되는, P 농도 분포의 맵핑 사진이다.
도 7은 본 발명의 구형 NiP 미소입자의 일례를 나타내는 전자현미경 사진이다.
도 8은 본 발명의 구형 NiP 미소입자의 일례를 나타내는 전자현미경 사진이다.
도 9는 본 발명의 구형 NiP 미소입자의 단면구조의 일례를 나타내는, 전자현미경 사진이다.
도 10은 도 9의 단면에서 관찰되는, Ni 농도 분포의 맵핑 사진이다.
도 11은 도 9의 단면에서 관찰되는, Cu 농도 분포의 맵핑 사진이다.
도 12는 도 9의 단면에서 관찰되는, Sn 농도 분포의 맵핑 사진이다.
도 13은 도 9의 단면에서 관찰되는, P 농도 분포의 맵핑 사진이다.
1 is an electron micrograph showing an example of spherical NiP microparticles of the present invention.
2 is an electron micrograph showing an example of spherical NiP microparticles of the present invention.
3 is an electron micrograph showing an example of the cross-sectional structure of spherical NiP microparticles of the present invention.
4 is a mapping photograph of the Ni concentration distribution observed in the cross section of Fig.
Fig. 5 is a mapping photograph of the Cu concentration distribution observed in the cross section of Fig. 3; Fig.
FIG. 6 is a mapping picture of the P concentration distribution observed in the cross section of FIG. 3; FIG.
7 is an electron micrograph showing an example of spherical NiP microparticles of the present invention.
8 is an electron micrograph showing an example of spherical NiP microparticles of the present invention.
9 is an electron micrograph showing an example of the cross-sectional structure of spherical NiP microparticles of the present invention.
10 is a mapping photograph of the Ni concentration distribution observed in the cross section of Fig.
11 is a mapping photograph of the Cu concentration distribution observed in the cross section of Fig.
12 is a mapping picture of the Sn concentration distribution observed in the section of FIG.
13 is a mapping picture of the P concentration distribution observed in the cross section of Fig.

본 발명의 특징은, Ni를 주체로, 적어도 반금속인 P를 필수로 함유하여 구성된, 예를 들면 특허문헌 1에 제시된 것과 같은 환원 석출형 구형 NiP 미소입자 중에서, 이것에 Cu가 함유된 것이 입자 크기의 불균일성 억제에 효과가 있다는 것을 명백히 밝힌 점에 있다. 구체적으로는, 그것의 Cu 함유량이 0.01∼18 질량%인 성분 조성으로 한 점에 있다. It is a feature of the present invention that, among reduced-precipitation-type spherical NiP microparticles constituted mainly of Ni and containing at least a semi-metal P as essential elements, for example, as disclosed in Patent Document 1, It is clear that it is effective in suppressing non-uniformity of size. Concretely, the Cu content is 0.01 to 18% by mass.

또, 본 발명의 특징은, 상기의 Cu를 포함하는 구형 NiP 미립자에 Sn을 함유시켜도, 동일한 불균일성 억제 효과를 발휘할 수 있다는 것을 명백히 밝힌 점에 있다. It is a feature of the present invention that it is clear that even when Sn is contained in spherical NiP microparticles containing Cu, the same nonuniformity suppressing effect can be exerted.

이와 같은 Cu 또는 Cu와 Sn 두 원소를 포함한 구형 NiP 미소입자는, 그것의 평균 입경 d50이 O.1∼7O㎛이고, 입도분포가 [(d90-d10)/d50]≤O.8인, 입자 크기가 고른 구형 NiP 미소입자이다. 이 때, 두 함유 원소에 있어서 Cu를 선택한 구형 NiP 미소입자는, 평균 입경이 1∼70㎛인 대경측에서의 상기 불균일 억제 효과가 우수하다. Cu와 Sn을 동시에 함유한 구형 NiP 미립자는, 특히 평균 입경이 O.1∼1O㎛인 소경측에서의 상기 불균일 억제 효과가 우수하다. The spherical NiP microparticles containing such Cu or two elements of Cu and Sn have an average particle diameter d 50 of 0.1 to 70 μm and a particle size distribution of [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] ≦ 0. 8, spherical NiP microparticles having a uniform particle size. At this time, the spherical NiP microparticles having Cu selected in the two elements are excellent in the effect of suppressing the unevenness on the large diameter side having an average particle diameter of 1 to 70 mu m. The spherical NiP fine particles containing Cu and Sn at the same time are particularly excellent in the effect of suppressing the unevenness on the small-diameter side having an average particle diameter of 0.1 to 10 占 퐉.

본 발명의 구형 NiP 미소입자를 제조하는 데 있어서, 예를 들면, Cu 또는 Cu와 Sn을 포함하는 니켈염의 수용액, pH 조제제 및 pH 완충제의 혼합 수용액, 그리고 인을 포함하는 환원제 수용액을 혼합해서 환원 석출시키는 무전해 환원법에 의해 제조하는 방법으로서, 상기 환원 석출을 개시하는 혼합 수용액의 pH가 7보다 높은 알카리성이 되도록 조제하는 것이 바람직하다. 상기 Cu를 포함하는 니켈염의 수용액은, 몰비로, Ni/Cu = 4.0∼10,000이 되도록, Cu 양이 조절되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 Cu를 포함하는 니켈염의 수용액에 Sn을 가하는 것이라면, 몰비로, Ni/Sn=2.0∼2,000이 되도록 Sn 양이 조절되어 있는 것이 바람직하다. In the production of the spherical NiP microparticles of the present invention, for example, an aqueous solution of a nickel salt containing Cu or Cu and Sn, a mixed aqueous solution of a pH adjusting agent and a pH buffer, and a reducing agent aqueous solution containing phosphorus are mixed and reduced Wherein the pH of the mixed aqueous solution for initiating the reduction precipitation is adjusted to be alkaline with a pH of higher than 7. It is preferable that the amount of Cu is controlled such that the aqueous solution of the nickel salt containing Cu is in a molar ratio of Ni / Cu = 4.0 to 10,000. If Sn is added to the aqueous solution of the nickel salt containing Cu, it is preferable that the amount of Sn is controlled so that Ni / Sn = 2.0 to 2,000 at a molar ratio.

우선, 본 발명의 구형 NiP 미소입자는, Ni를 주체로 P를 필수적으로 포함하는, 예를 들면 1∼15 질량%의 P를 포함하는 성분 조성이 기본이 된다. 이것에 대해서는, 이방성 도전 필름용의 도전 입자로서 이용할 경우, 그것의 필요한 경도와 도전성을 부여하는 유효한 방법으로서, 본 발명자는 입자의 중심 부분에서는 결정 구조를 가지고, 표층 부분에서는 비결정으로 금속간 화합물을 분산시킨 구조의 구형 NiP 미소입자를, 특허문헌 1에서 제안하고 있다. First, the spherical NiP microparticle of the present invention is based on a composition including P, for example, 1 to 15 mass% of P, which essentially contains Ni as a main component. As an effective method for imparting necessary hardness and conductivity when used as conductive particles for anisotropic conductive films, the present inventors have found that the particles have a crystal structure in the central portion and an intermetallic compound in amorphous form in the surface layer portion A spherical NiP microparticle having a dispersed structure is proposed in Patent Document 1.

특허문헌 1의 방법에 따르면, 이것은 입도분포의 균일성 확보에 어느 정도 효과를 나타내는 유효한 방법이지만, 본 발명자는 연구를 거듭한 결과, 특허문헌 1의 구형 NiP 미소입자 중에서도, 특히 Cu를 첨가한 것이야말로 입자의 불균일성이 더욱 억제되어, 도전성도 향상시킬 수 있다는 것을 입증했다. According to the method of Patent Document 1, this is an effective method showing some effect in securing the uniformity of the particle size distribution. However, as a result of repeated research, the present inventors have found that among the spherical NiP microparticles of Patent Document 1, Proving that the nonuniformity of the particles is further suppressed, and the conductivity can also be improved.

본 발명의 환원 석출형 구형 NiP 미소입자에 있어서의 Cu 함유량은, 0.01∼18 질량%인 것이 바람직하다. Cu의 함유량을 O.01 질량% 미만으로 한 경우에는, 입자의 불균일성을 억제하는 효과를 얻기 어렵다. 또, Cu 함유량이 18 질량%를 넘으면, 입자끼리 응집하기 쉬워져서 단분산성이 나빠지기 쉬울 뿐 아니라, 예를 들면 이방성 도전 필름에 적용한 경우, 그것에 의해 접속되는 회로 기판의 미세 배선에 적응할 수 있는, 예를 들면 20㎛ 이하 크기의 입자를 얻기 어렵다. 또한 바람직하게는, 0.40∼17 질량%의 Cu를 포함하는 성분 조성으로 함으로써, 입자 크기에 불균일성이 적고, 도전성이 우수한 금속 미소입자를 얻는 것이 용이해진다. The Cu content of the reduced precipitation type spherical NiP fine particles of the present invention is preferably 0.01 to 18 mass%. When the content of Cu is less than 0.01% by mass, it is difficult to obtain an effect of suppressing the unevenness of the particles. When the Cu content exceeds 18 mass%, the particles tend to agglomerate easily and the single dispersibility tends to deteriorate. In addition, when the Cu content is applied to, for example, an anisotropic conductive film, It is difficult to obtain particles having a size of 20 탆 or less, for example. In addition, it is preferable that the component composition containing 0.40 to 17 mass% of Cu makes it easy to obtain metal fine particles having less uniformity in particle size and excellent conductivity.

또한, 상기 Cu를 포함하는 환원 석출형 NiP 미소입자에 추가로, Sn을 첨가해도 동일하게 입자 크기의 불균일 억제에 효과가 있다. 이 경우, 본 발명의 구형 NiP 미소입자에 관한 Sn 함유량은, 0.05∼10 질량%인 것이 바람직하다. Sn의 함유량을 0.05 질량% 미만으로 한 경우에는, 입자의 불균일성을 억제하는 효과가 얻어지기 어렵고, 특히 후술하는 소경측에서의 상기 효과의 이점을 얻기 어렵다. 또, Sn 함유량이 1O 질량%를 넘으면, 입자가 부정형(不定形)으로 될 뿐 아니라, 단분산성의 입자를 얻기 어렵다. 또한 바람직하게는, 0.25∼5 질량%의 Sn을 포함하는 성분 조성으로 함으로써, 입자 크기에 불균일성이 적고, 도전성이 우수한 금속 미소입자를 얻는 것이 용이해진다. Further, in addition to the above-mentioned Cu-containing precipitated NiP microparticles, addition of Sn also has the effect of suppressing unevenness of the particle size. In this case, the Sn content of the spherical NiP fine particles of the present invention is preferably 0.05 to 10% by mass. When the content of Sn is less than 0.05 mass%, it is difficult to obtain the effect of suppressing the unevenness of the particles, and in particular, it is difficult to obtain the advantage of the above-described effect on the small-diameter side described later. When the Sn content exceeds 10% by mass, the particles are not only amorphous but also monodisperse particles are difficult to obtain. In addition, it is preferable that the component composition containing Sn in an amount of 0.25 to 5% by mass makes it easy to obtain metal fine particles having small particle size unevenness and excellent conductivity.

본 발명의 Cu, 또는 Cu와 Sn 두 원소를 포함하는 환원 석출형 구형 NiP 미소입자의 평균 입경은, d50의 수치를 O.1∼7O㎛으로 하는 것이 바람직하지만(d50: 적산 분포 곡선에서, 50 체적%를 나타내는 입경), 이 입경은 용도에 따라 선정할 필요가 있다. 그러나, 이 입경이 O.1㎛ 미만인 경우에는, 입자가 응집하기 쉬워지기 때문에, 취급이 매우 어려워진다. 한편, 평균 입경 d50이 7O㎛을 넘으면, 입자를 성장시키는 데에 많은 시간이 걸리고, 효율적으로 균일한 입자를 얻는 것이 어려워진다. 바람직하게는, 50㎛ 이하, 나아가서는 30㎛ 이하로 한다. 한편, 20㎛을 넘으면, 이방성 도전 필름용의 도전 입자나 FPC, 기판 등의 배선 형성에 사용되는 재료로서는 기능상의 사용이 어려워진다. Cu, or the average particle size of the reduced precipitated NiP-type spherical fine particles containing Cu and Sn two elements of the present invention, it is preferable that a value of d 50 to O.1~7O㎛ but (d 50: in the accumulated distribution curve , And 50% by volume), and the particle diameter needs to be selected according to the application. However, when the particle diameter is less than 0.1 mu m, the particles tend to aggregate, which makes handling very difficult. On the other hand, when the average particle diameter d 50 exceeds 70 탆, it takes a long time to grow the particles, and it becomes difficult to obtain uniform particles efficiently. Preferably 50 mu m or less, more preferably 30 mu m or less. On the other hand, if it exceeds 20 탆, it becomes difficult to use functional materials as conductive particles for anisotropic conductive films, and materials used for wiring such as FPC and substrate.

여기에서, 본 발명의 구형 NiP 미소입자를, 예를 들면 이방성 도전 필름용 도전 입자로서 이용할 경우에는, d50의 수치를 1∼2O㎛으로 하는 것이 바람직하다. 이 입경이 1㎛ 미만이면, 이방성 도전 접속되었을 때에, TCP나 FPC, PWB 등의 회로 기판에 형성되어 있는 미세 배선의 높이 불균일을 완충할 수 없어 접촉이 불안정해지고, 접속 신뢰성이 저하된다. 한편, d50이 2O㎛을 넘으면, 배선 간격이 수십 ㎛인 좁은 피치의 미세 배선의 접속에 있어서, 절연성이 저하되어 안정한 접속 신뢰성을 확보할 수 없게 될 가능성이 있다. 따라서, 본 발명의 구형 NiP 미소입자는, 특히 이방성 도전 필름용 도전 입자로서 최적이 되도록 하기 위해서는, d50의 값은 1∼2O㎛이 바람직하고, 1∼1O㎛이 더욱 바람직하지만, 이 입경은 이방성 도전 필름에 의해 접속되는 배선 간격 및 전극의 형상에 맞추어 임의로 선정하는 것이 바람직하다. Here, when the spherical NiP microparticles of the present invention are used, for example, as conductive particles for anisotropic conductive films, it is preferable to set the value of d 50 to 1 to 20 탆. If the particle diameter is less than 1 占 퐉, the height unevenness of the fine wiring formed on the circuit board such as TCP, FPC, PWB or the like can not be buffered when anisotropically conductive connection is made, so that the contact becomes unstable and the connection reliability is lowered. On the other hand, when d 50 is more than 20 m, there is a possibility that the insulating property deteriorates and the stable connection reliability can not be ensured in the connection of fine wirings having a narrow pitch with a wiring interval of several tens of micrometers. Therefore, in order to make the spherical NiP microparticles of the present invention particularly optimum as the conductive particles for the anisotropic conductive film, the value of d 50 is preferably 1 to 20 탆, more preferably 1 to 10 탆, It is preferable to arbitrarily select it according to the wiring interval and the shape of the electrode connected by the anisotropic conductive film.

이 d50이 0.1∼70㎛의 범위에 있는 본 발명의 환원 석출형 구형 NiP 미소입자에 있어서는, d50을 상기 1㎛ 이상, 나아가서는 5㎛ 이상의 대경측으로 조정하고, 또한 그 때의 입자 크기의 불균일 억제 효과가 우수한 것은, Cu 또는 Sn 두 함유 원소 중의 Cu를 단독 함유시켰을 때이다. In the reduced-precipitation spherical NiP microparticle of the present invention wherein the d 50 is in the range of 0.1 to 70 탆, d 50 is adjusted to the diameter of 1 탆 or more, further 5 탆 or more, and the particle size The effect of suppressing the unevenness is excellent when Cu in the element containing both of Cu and Sn is contained alone.

다음으로, 본 발명의 구형 NiP 미소입자를, FPC 또는 유리 기판 등의 회로 배선을 형성하는 재료로서 이용하는 경우에도, 그것의 평균 입경 d50은 용도에 맞추어 임의로 선정되지만, O.1∼1O㎛으로 하는 것이 바람직하다. d50이 1O㎛을 넘으면, 미세한 배선 간격에 적용할 수 없는 경우가 있고, 또 회로 배선을 형성할 때의 소결 온도가 상승하여, 기판을 손상시킬 우려가 있다. 한편, d50이 O.1㎛ 미만이면, 입자의 취급이 매우 어려워질 뿐 아니라, 입자 자체가 고가이기 때문에, 대량 생산에 대응하기 어려워진다. Next, even when the spherical NiP microparticle of the present invention is used as a material for forming a circuit wiring such as an FPC or a glass substrate, the average particle diameter d 50 thereof is arbitrarily selected in accordance with the application, but is preferably 0.1 to 10 μm . If d 50 exceeds 10 μm, it may not be possible to apply to minute wiring intervals, and the sintering temperature at the time of forming the circuit wiring may increase, and the substrate may be damaged. On the other hand, if d 50 is less than 0.1 탆, handling of the particles becomes very difficult, and since the particles themselves are expensive, it is difficult to cope with mass production.

상기 d50이 0.1∼70㎛의 범위에 있는 본 발명의 환원 석출형 구형 NiP 미소입자에 있어서는, d50을 상기 1O㎛ 이하, 나아가서는 5㎛ 미만의 소경측으로 조정하고, 동시에 그 때의 입자 크기의 불균일 억제 효과가 우수한 것은 Cu와 Sn 두 원소를 함유시켰을 때이다. In the spheroidal NiP microparticles of reduced precipitation type of the present invention, in which the d 50 is in the range of 0.1 to 70 탆, d 50 is adjusted to the small-diameter side of 10 탆 or less, further, less than 5 탆, Is superior when the two elements Cu and Sn are contained.

다음으로, 본 발명의 환원 석출형 구형 NiP 미소입자는, 균일한 입도분포를 나타내는 점에도 특징이 있다. 입도분포가 [(d90-d10)/d50]>O.8인 경우에는(d90, d10: 적산 분포 곡선에 있어서, 90 체적%, 10 체적%를 나타내는 입경), 예를 들면 이방성 도전 접속되었을 때에, 도통에 관여하는 입자가 적어지기 때문에, 접속 신뢰성이 낮아질 가능성이 있다. 따라서, 상기 식으로 주어지는 입도분포는 가능한 한 작은 값을 가지는 것이 바람직하지만, 이 값을 작게 하기 위한 분급 처리 등에는 많은 비용이 들기 때문에, 입도분포의 [(d90-d10)/d50]은 0.8 이하인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는, 0.7 이하이다. Next, the spherical NiP microparticles of reduced precipitation type of the present invention are also characterized in that they exhibit a uniform particle size distribution. In the case where the particle size distribution is [(d 90 -d 10 ) / d 50 ]> 0.8 (d 90 , d 10 : particle size indicating 90 volume% and 10 volume% in the cumulative distribution curve) When anisotropic conductive connection is made, the number of particles involved in conduction is reduced, which may lower the connection reliability. Therefore, it is preferable that the particle size distribution given by the above formula is as small as possible. However, since the classification process for reducing this value is expensive, [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] Is preferably 0.8 or less. More preferably, it is 0.7 or less.

본 발명의 구형 NiP 미소입자의 바람직한 제조 방법에 대하여 설명한다. 우선, 본 발명자는 특허문헌 1에 있어서 니켈염 수용액과 P를 포함하는 환원제 수용액을 혼합해서 환원 석출시킴으로써, Ni를 주체로 P를 포함하는 구형 NiP 미소입자를 제조하는 방법, 즉 무전해 환원법을 제안했다. 이 환원 석출의 기본 원리는, 본 발명의 구형 NiP 미소입자의 제조에도 이용할 수 있지만, 이 경우, 본 발명에서 중요한 것은, 상기 니켈염 수용액 중에 Cu 이온을 첨가하는 것이다. 즉, 환원제의 산화 반응에 의해 방출된 자유 전자에 의해, Ni 이온이 환원되는 동시에 Cu가 환원 석출되고, 입자 크기의 불균일이 작은 Cu를 포함한 NiP 미소입자를 얻을 수 있게 된다. A preferred method for producing spherical NiP microparticles of the present invention will be described. First, the inventors of the present invention propose a method for producing spherical NiP microparticles containing P mainly composed of Ni by mixing a nickel salt aqueous solution and a reducing agent aqueous solution containing P in a reducing atmosphere, and proposing an electroless reduction method did. The basic principle of this reduction precipitation can be used in the production of spherical NiP microparticles of the present invention. In this case, however, it is important in the present invention that Cu ions are added to the nickel salt aqueous solution. That is, free electrons released by the oxidation reaction of the reducing agent can reduce Ni ions and reduce and precipitate Cu, and NiP microparticles containing Cu with small particle size irregularity can be obtained.

이에 더해서, 본 발명의 중요한 특징은, 필요에 따라서 상기 Cu 이온을 첨가한 니켈염 수용액 중에 Sn 이온을 첨가하는 점이다. 이에 따라, 환원 석출 반응시에는, Sn도 함께 석출되고, 입자 크기의 불균일이 작은 Sn을 포함한 NiP 미소입자를 얻을 수 있게 된다. In addition, an important feature of the present invention is that Sn ions are added to an aqueous nickel salt solution to which the Cu ions are added as needed. Accordingly, at the time of the reduction precipitation reaction, Sn also precipitates together, and NiP microparticles containing Sn with small particle size irregularity can be obtained.

상기 반응 메커니즘에 대해서 상세히 설명한다. 본 발명에서 채용하는 무전해 환원법에서는, 니켈염의 수용액과 인을 포함하는 환원제 수용액을 혼합한 직후인, 반응의 초기 과정에 있어서, 우선 인을 포함하는 환원제, 즉 포스핀산의 산화 반응이 일어난다. 상기 산화 반응의 진행에 수반하여, 용액 내에 생성된 포스폰산 이온이 축적되고, 그것의 한계 농도에 도달하면, 포스폰산 이온과 유리 Ni 이온이 결합하여, 구형 NiP 미소입자의 핵이 되는 포스폰산니켈을 생성한다. 그리고, 상기 핵의 표면, 즉 Ni 표면에 있어서 포스핀산 이온은 촉매 활성을 나타내고, 반응의 근본 과정인 수소의 이탈 반응을 거쳐 산화 반응을 일으킨다. 상기 산화 반응 시에 방출된 자유 전자에 의해, Ni, Cu, 및/또는 Sn의 금속 이온이 연속해서 환원 석출되어, 목표로 하는 구형 NiP 미소입자를 형성한다. The reaction mechanism will be described in detail. In the electroless reduction method adopted in the present invention, an oxidation reaction of a reducing agent, that is, phosphinic acid including phosphorous, occurs in the initial stage of the reaction immediately after the aqueous solution of the nickel salt and the reducing agent aqueous solution containing phosphorus are mixed. As the oxidation reaction progresses, phosphonic acid ions generated in the solution are accumulated. When the concentration reaches the limit, phosphonic acid ions and free Ni ions are combined to form nickel phosphonate . On the surface of the nucleus, that is, the surface of Ni, the phosphinic acid ion exhibits catalytic activity and causes an oxidation reaction through elimination reaction of hydrogen, which is the fundamental process of the reaction. The metal ions of Ni, Cu, and / or Sn are continuously reduced and precipitated by the free electrons released during the oxidation reaction to form target spherical NiP microparticles.

그런데, 일반적인 무전해 Ni-P 도금에 있어서는, 피도금물 이외에 도금 피막이 석출되거나, 도금액이 자연 분해되는 것을 방지하기 위해, 티오우레아 등의 황화합물 또는 Pb, Bi, Tl, Sb 등의 중금속 이온 등이 안정제로서 이용된다. 상기 안정제는, 도금액의 자연 분해의 원인이 되는 침전물에, Ni 보다 우선적으로 흡착되어 촉매독으로서 작용하는 것이다. Sn 및 Cu는 상기 중금속에 이어서, 촉매 활성을 저하시키는 원소로서 알려져 있다. 본 발명의 구형 NiP 미소입자를 제조하는 데 있어서는, 니켈염의 수용액에 Cu, 또는 Cu와 Sn을 첨가함으로써, 무전해 환원법의 반응 도중에, 그것의 촉매독의 작용에 의해, 뒤에 발생되는 포스폰산니켈의 생성을 억제할 수 있다고 판단된다. 이 결과로서는, 본 발명의 제조 방법에 의해 얻어진 구형 NiP 미소입자의, 그 단면에 있어서의 성분 분포를 분석한 바, 그 중심부에는 Cu, 또는 Cu와 Sn의 두 이온이 조밀하게 분포되어 있는 것이 확인된다(후술하는 도 3∼6 및 9∼13의 FE-SEM(전계방출형 주사 전자 현미경)상과 같음). However, in general electroless Ni-P plating, in order to prevent the plating film from being deposited or spontaneously decomposed in addition to the object to be plated, sulfur compounds such as thiourea or heavy metal ions such as Pb, Bi, Tl and Sb And is used as a stabilizer. The stabilizer is preferentially adsorbed on the precipitate causing the spontaneous decomposition of the plating solution and acts as a catalyst poison. Sn and Cu are known as the elements that lower the catalytic activity, following the heavy metal. In the production of the spherical NiP microparticles of the present invention, by adding Cu or Sn to an aqueous solution of a nickel salt, it is possible to reduce the amount of nickel phosphonate produced later by the action of the catalyst poison during the reaction of the electroless reduction method Generation can be suppressed. As a result, the distribution of the component in the cross section of the spherical NiP fine particles obtained by the production method of the present invention was analyzed. It was confirmed that Cu or Cu and Sn ions were densely distributed in the center portion (Same as the FE-SEM (field emission scanning electron microscope) image of Figs. 3 to 6 and 9 to 13 described later).

또한, 상기의 작용에 있어서, 특히 입자 크기의 불균일 억제에 적당한 조건으로서는, 상기 니켈염의 수용액에, 몰비로 Ni/Cu = 4.0∼10,000이 되도록 Cu를 조제 첨가했을 때를 설정했다. Ni/Cu 비가 낮아지면, 각각의 입자 크기 자체는 크게 조제할 수 있는 한편, 입도분포로서의 불균일은 작아지는 경향이 확인된다. 또, 상기 비가 높아지면, 각각의 입자 크기 자체는 작게 조제할 수 있는 한편, 역시 입도분포로서의 불균일은 작아지는 경향이 확인된다. 상기 몰비에 있어서는 Ni/Cu = 약 4.56으로 조제한 니켈염의 수용액을 사용했을 때의 환원 석출 반응이 100% 완수되면, 얻어진 구형 NiP 미소입자에 포함되는 이론적인 Cu 양은, 동 P 함유량이 약 7 질량%일 때로서 18 질량%이다. 또, Ni/Cu = 약 9,999로 조제한 니켈염의 수용액을 사용했을 때의 환원 석출 반응이 100% 완수되면, 얻어진 구형 NiP 미소입자에 포함되는 이론적 Cu 양은, 동 P 함유량이 약 7 질량%일 때로서 0.01 질량%이다. In the above-mentioned operation, particularly suitable conditions for suppressing the unevenness of the particle size are set when the Cu is prepared and added so as to have a molar ratio of Ni / Cu = 4.0 to 10,000 in the aqueous solution of the nickel salt. When the Ni / Cu ratio is low, it is confirmed that each particle size itself can be largely prepared, while the unevenness as the particle size distribution tends to be small. It is also confirmed that, when the above ratio is increased, the respective particle sizes themselves can be made small, while the unevenness as the particle size distribution tends to be reduced. In the molar ratio, when the reduction precipitation reaction is 100% completed when an aqueous solution of a nickel salt prepared with Ni / Cu = about 4.56 is used, the theoretical amount of Cu contained in the obtained spherical NiP microparticles is about 7 mass% And is 18% by mass. When the reduction precipitation reaction is 100% completed when an aqueous solution of a nickel salt prepared with Ni / Cu = about 9,999 is used, the theoretical amount of Cu contained in the spherical NiP microparticles obtained is about 7 mass% 0.01% by mass.

또, Cu를 포함하는 니켈염의 수용액에, 추가로 Sn을 첨가했을 때에는, Cu의 단독 첨가에 비해, 소경측에서의 입자 크기의 불균일 억제 효과가 우수하지만, 이 작용은, 몰비로 Ni/Sn = 2.0∼2,000이 되도록 Sn을 조제 첨가했을 때를 설정했다. Ni/Sn 비가 낮아지면, 각각의 입자 크기 자체는 작게 조제할 수 있는 한편, 입도분포로서의 불균일은 작아지는 경향이 확인된다. 또, 상기 비가 높아지면, 각각의 입자 크기 자체는 크게 조제할 수 있는 한편, 역시 입도분포로서의 불균일은 작아지는 경향이 확인된다. Further, when Sn is additionally added to an aqueous solution of a nickel salt containing Cu, the effect of suppressing the unevenness of the particle size on the small diameter side is superior to the case where only Cu is added. 2,000 of Sn was added. When the Ni / Sn ratio is low, it is confirmed that each particle size itself can be prepared small, while the unevenness as the particle size distribution tends to be small. It is also confirmed that when the above-mentioned ratio is increased, each particle size itself can be largely prepared, while the unevenness as the particle size distribution tends to be reduced.

이러한 방법에 있어서, 또 하나 중요한 것은, 환원 석출을 개시시킬 때의 pH의 조제이다. 이것이 7보다 높은 알카리성이 되게 조제함으로써, 석출 반응을 신속하게 진행시키고, Cu, 또는 Cu와 Sn을 포함한 NiP 미소입자를 양호한 효율로 얻을 수 있게 된다. 또, 이 작용 효과와 함께, 본 미소입자의 반응 초기에서의 중심부의 P 농도를 낮추는 것도 가능해진다(도 3∼6 및 9∼13과 같음). 이것에 대해서는, 본 미소입자의 도전성 및 경도를 향상시키기 위한 유리한 방법으로서, 특허문헌 1에도 설명되어 있다. In this method, another important point is the preparation of pH at the time of starting reduction precipitation. By preparing this so as to be alkaline more than 7, the precipitation reaction can be rapidly promoted and NiP microparticles containing Cu or Sn and Sn can be obtained with good efficiency. In addition to this action effect, it is also possible to lower the concentration of P in the center portion of the microparticles in the initial stage of the reaction (same as in Figs. 3 to 6 and 9 to 13). This is also described in Patent Document 1 as an advantageous method for improving the conductivity and hardness of the fine particles.

한편, 상기 방법에 의해 제공되는, 본 발명의 Cu, 또는 Cu와 Sn을 포함하는 환원 석출형 NiP 미소입자더라도, 특허문헌 1에서와 같이, 그것은 경도 부여를 위한 가열 처리 및/또는 접속 저항을 낮추기 위한 Au 등의 표면 피복 처리를 실시할 수도 있다.On the other hand, even in the case of the Cu of the present invention or the reduced-precipitation-type NiP microparticles containing Cu and Sn provided by the above method, as in Patent Document 1, it is preferable that the heat treatment for hardening and / A surface coating treatment such as Au may be performed.

[실시예][Example]

(실시예 1)(Example 1)

황산니켈 6수화물과 황산동 5수화물을, Ni와 Cu의 몰비가 Ni/Cu=239이 되도록 조제하고, 순수에 용해하여 금속염 수용액 15(dm3)를 제조했다. 다음으로, 아세트산나트륨을 순수에 용해하고, 1.0(kmol/m3)의 농도로 만들고, 추가로 수산화나트륨을 가해서 pH 조제 수용액 15(dm3)를 제조했다. 상기 금속염 수용액과 pH 조제 수용액을 교반 혼합하고, 30(dm3)의 혼합 수용액으로 만들고, pH를 측정한 결과 8.1의 값을 나타냈다. 상기 혼합 수용액을 N2 가스로 기포 발생시키면서 외부 히터에 의해 343(K)로 가열 유지하고, 교반을 계속했다. The nickel sulfate hexahydrate and the copper sulfate pentahydrate were prepared so that the molar ratio of Ni and Cu was Ni / Cu = 239 and dissolved in pure water to prepare a metal salt aqueous solution 15 (dm 3 ). Subsequently, sodium acetate was dissolved in purified water to a concentration of 1.0 (kmol / m 3 ), and further sodium hydroxide was added to prepare a pH-adjusting aqueous solution of 15 (dm 3 ). The metal salt aqueous solution and the pH adjusting aqueous solution were mixed with stirring to prepare a mixed aqueous solution of 30 (dm 3 ). The pH value was 8.1, as a result. The mixed aqueous solution was heated and maintained at 343 (K) by an external heater while bubbling with N 2 gas, and stirring was continued.

다음으로, 순수에 1.8(kmo1/m3)의 농도로 포스핀산나트륨을 용해한 환원제 수용액 15(dm3)를 제조하고, 이것도 외부 히터에 의해 343(K)로 가열했다. 상기 30(dm3)의 혼합 수용액과 15(dm3)의 환원제 수용액을, 온도가 343±1(K)이 되도록 조제한 후 혼합하고, 무전해 환원법에 의해 미소입자를 얻었다. Next, a reducing agent aqueous solution 15 (dm 3 ) in which sodium phosphinate was dissolved in purified water at a concentration of 1.8 (kmol / m 3 ) was prepared and heated to 343 (K) by an external heater. The mixed aqueous solution of 30 (dm 3 ) and 15 (dm 3 ) of the reducing agent was prepared so as to have a temperature of 343 ± 1 (K) and then mixed to obtain fine particles by electroless reduction.

상기와 같이 해서 얻어진 미소입자를 건조시킨 후, 레이저 회절 산란법에 의한 입도분포계로 입자 크기를 측정했다. 평균 입경 d50의 값은 3.7㎛이고, d90과 d10은 각각 5.3㎛ 및 2.8㎛이고, [(d90-d10)/d50]의 식으로 주어지는 입도분포는 O.68이었다. 입자의 형상을 SEM(주사 전자 현미경)으로 관찰한 결과는 도 1과 같이, 단분산의 구형인 것으로 확인되었다. 미소입자의 성분 조성을 분석한 결과는, 하기 표 1에 나타낸 바와 같이, Cu가 0.40 질량% 포함된 NiP 미소입자였다. After the microparticles thus obtained were dried, the particle size was measured by a particle size distribution meter by laser diffraction scattering method. The value of the average particle diameter d 50 was 3.7 탆, d 90 and d 10 were 5.3 탆 and 2.8 탆, respectively, and the particle size distribution given by the formula [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] was 0.68. The shape of the particle was observed by SEM (scanning electron microscope), and it was confirmed that it was a monodisperse spherical shape as shown in Fig. As a result of analyzing the composition of the fine particles, the composition was NiP microparticles containing 0.40 mass% of Cu as shown in Table 1 below.

(실시예 2)(Example 2)

황산니켈 6수화물과 황산동 5수화물의 비율을, Ni과 Cu의 몰비가 Ni/Cu = 5가 되도록 조제하고, 금속염 수용액, pH 조제 수용액과 환원제 수용액의 액량을, 각각 0.25(dm3)로 한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법으로, 무전해 환원법에 의해 미소입자를 제조했다. 한편, 혼합 수용액의 pH는 9.0이었다. The ratio of the nickel sulfate hexahydrate and the copper sulfate pentahydrate was adjusted so that the molar ratio of Ni to Cu was 5, and the liquid amount of the metal salt aqueous solution, the pH adjusting aqueous solution and the reducing agent aqueous solution was 0.25 (dm 3 ), respectively In the same manner as in Example 1 except for the above, microparticles were produced by the electroless reduction method. On the other hand, the pH of the mixed aqueous solution was 9.0.

레이저 회절 산란법에 의해, 입경의 분포를 확인한 바, 평균 입경 d50 값이 8.9㎛, [(d90-d10)/d50] 값이 0.58이며, 도 2의 SEM 사진에 나타내는 구형 NiP 미소입자를 얻었다. 또, 입자의 단면 관찰 시료를 제조하고, FE-SEM(전계 방출형 주사 전자 현미경)에 의해 각 원소의 분포를 관찰한 바, 도 3∼6과 같이 입자 중심으로부터 외측을 향해서 약 2/3보다 내측에 , Cu가 조밀하게 분포되어 있는 것이 확인되었다. 한편, 성분 조성의 분석 결과는, 표 1에 나타낸 바와 같이, Cu가 14.36 질량%인 것이 확인되었다. When the distribution of particle diameters was confirmed by the laser diffraction scattering method, the value of the average particle diameter d 50 was 8.9 μm, the value of [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] was 0.58, and the spherical NiP smile Particles were obtained. The distribution of each element was observed by FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope), and as a result, it was found that the average particle size was about 2/3 It was confirmed that Cu was densely distributed on the inner side. On the other hand, as a result of analysis of the composition of the components, as shown in Table 1, it was confirmed that Cu was 14.36% by mass.

(실시예 3)(Example 3)

황산니켈 6수화물과 황산동 5수화물의 비율을, 몰비로 Ni/Cu=39가 되도록 조제하고, pH 완충제를 아세트산나트륨과 말레산 2나트륨으로 하고, 각각의 농도를 0.65(kmol/m3), 0.175(kmo1/m3)로 변경해서 pH 조제 수용액을 조제한 것 이외에는, 실시예 1과 동일한 방법으로, 무전해 환원법에 의해 미소입자를 제조했다. 한편, 혼합 수용액의 pH는 8.2였다. The concentrations of nickel sulfate hexahydrate and copper sulfate pentahydrate were adjusted to be Ni / Cu = 39 at a molar ratio of 0.65 (kmol / m 3 ) and 0.175 (kmo1 / m < 3 >) to prepare a pH-adjusting aqueous solution, fine particles were prepared by the electroless reduction method in the same manner as in Example 1. On the other hand, the pH of the mixed aqueous solution was 8.2.

얻어진 미소입자의 입경을, 레이저 회절 산란법의 입도분포계에 의해 측정한 결과, 평균 입경 d50 값은 67.1㎛이고, [(d90-d10)/d50] 값은 O.5l이었다. 또, 상기 미소입자를 SEM에 의해 관찰한 결과는 도 7과 같이, 단분산의 구형인 것으로 확인되었다. 한편, 성분 조성의 분석 결과는 표 1에 나타내는 바와 같이 Cu가 2.750 질량%인 것으로 확인되었다. The particle diameter of the obtained fine particles was measured by a particle size distribution meter of the laser diffraction scattering method. As a result, the average particle size d 50 value was 67.1 μm and the value of [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] was 0.5 l. The result of observation of the fine particles by SEM was confirmed to be a monodisperse spherical shape as shown in Fig. On the other hand, as a result of the analysis of the composition of the components, it was confirmed that Cu was 2.750 mass% as shown in Table 1.

(실시예 4)(Example 4)

특허문헌 1을 따라, Cu를 첨가하지 않은 니켈염 수용액과, 수산화나트륨 0.9(kmo1/m3) 및 아세트산트륨 1.O(kmol/m3) 혼합 수용액을, 각각 0.25(dm3) 제조하고, 외부에서 가열하면서 교반을 실시하고, 2액을 혼합해서 혼합 수용액을 만들고 N2 가스를 흘려서 기포를 발생시키고, 혼합 수용액의 온도가 343±1(K)이 되도록 조제했다. According to Patent Document 1, 0.25 (dm 3 ) of a nickel salt aqueous solution not containing Cu and a mixed aqueous solution of sodium hydroxide 0.9 (kmol / m 3 ) and 1.00 (kmol / m 3 ) The mixture was stirred while heating from the outside, and two solutions were mixed to prepare a mixed aqueous solution. N 2 gas was flowed to generate bubbles, and the mixed aqueous solution was adjusted to have a temperature of 343 ± 1 (K).

한편, 1.8(kmol/m3)의 농도로 포스핀산나트륨을 순수에 용해한 환원제 수용액을 0.25(dm3) 제조하고, 여기서도 외부 히터에 의해 343(K)로 가열하고, 실시예 1과 동일한 방법에 의해, 구형 NiP 미소입자를 얻었다. 레이저 회절 산란법에 의해 입도분포를 확인한 바, 평균 입경 d50 값이 2.9㎛, [(d90-d10)/d50] 값은 O.76이었다. 그리고, 표 1의 성분 조성의 분석 결과로부터, Cu는 불순물 수준(0.001 질량% 미만)으로 밖에 확인되지 않았다. On the other hand, 0.25 (dm 3 ) of a reducing agent aqueous solution in which sodium phosphinate was dissolved in pure water at a concentration of 1.8 (kmol / m 3 ) was also heated by an external heater at 343 (K) Thereby obtaining spherical NiP microparticles. When the particle size distribution was confirmed by the laser diffraction scattering method, the value of the average particle diameter d 50 was 2.9 μm and the value of [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] was 0.76. From the analysis results of the composition of Table 1, Cu was found only at an impurity level (less than 0.001 mass%).

(실시예 5) (Example 5)

황산니켈 6수화물, 황산동 5수화물과 주석산나트륨 3수화물을 이용하여, Ni/Cu가 몰비로 24, Ni/Sn이 몰비로 4.8이 되도록 조제한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 무전해 환원법에 의해 미소입자를 제조했다. 한편, 혼합 수용액의 pH는 9.6이었다. Nickel sulfate hexahydrate, sodium sulfate tetrahydrate and sodium tartrate trihydrate were used so that the molar ratio of Ni / Cu was 24 and the molar ratio of Ni / Sn was 4.8. Particles were prepared. On the other hand, the pH of the mixed aqueous solution was 9.6.

레이저 회절 산란법에 의해, 입경의 분포를 확인한 바, 평균 입경 d50 값이 1.2㎛, [(d90-d10)/d50] 값이 O.67이며, 도 8의 SEM 사진에 나타내는 구형 NiP 미소입자를 얻었다. 또, 입자의 단면 관찰 시료를 제조하고, FE-SEM에 의해 각 원소의 분포를 관찰한 바, 도 9∼l3과 같이, Cu와 Sn이 분포되어 있는 것이 확인되었다. 한편, 성분 조성의 분석 결과는, 표 1에 나타낸 바와 같이, Cu가 3.96 질량%이고, Sn이 0.67 질량%인 것으로 확인되었다. When the distribution of particle diameters was confirmed by the laser diffraction scattering method, the value of the average particle diameter d 50 was 1.2 탆, the value of [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] was 0.67, NiP microparticles were obtained. Samples of cross-section observation of the particles were prepared and the distribution of each element was observed by FE-SEM. As shown in Figs. 9 to 13, it was confirmed that Cu and Sn were distributed. On the other hand, as shown in Table 1, the analysis results of the composition of the components were 3.96% by mass of Cu and 0.67% by mass of Sn.

미소입자의 성분 조성 (질량%)Component composition (mass%) of fine particles 비고Remarks CuCu SnSn PP Ni*Ni * 실시예 1Example 1 0.4020.402 <0.01<0.01 7.07.0 잔여residual
본 발명예

The present invention
실시예 2Example 2 14.36314.363 <0.01<0.01 6.76.7 잔여residual 실시예 3Example 3 2.7502.750 <0.01<0.01 6.06.0 잔여residual 실시예 4Example 4 <0.001<0.001 <0.01<0.01 7.57.5 잔여residual 참고예(특허문헌1)Reference Example (Patent Document 1) 실시예 5Example 5 3.9603.960 0.670.67 10.310.3 잔여residual 본 발명예The present invention

* 불순물을 포함* Contains impurities

[산업상 이용가능성][Industrial applicability]

균일한 입자 크기를 가지는 본 발명의 구형 NiP 미소입자는, 이방성 도전 필름용의 도전 입자의 이외에는, 동일한 특성을 필요로 하는 이방성 도전 페이스트나 히트 실 커넥터 등의 도전 입자로서도 적용할 수 있다. The spherical NiP microparticles of the present invention having a uniform particle size can be used as conductive particles such as anisotropic conductive paste or heat seal connector requiring the same characteristics as the conductive particles for the anisotropic conductive film.

Claims (6)

도전 입자를 절연성 수지 필름 중에 분산시킨 이방성 도전 필름으로서,
상기 도전 입자는, Ni를 주체(主體)로 P를 포함하는 성분 조성으로 이루어지는 구형 NiP 미소입자이며, 상기 성분 조성에 0.01∼18 질량%의 Cu를 포함하고,
상기 도전 입자는, 평균 입경 d50이 1∼2O㎛이고, 입도분포가 [(d90-d10)/d50]≤O.8(d90, d10, d50: 적산 분포 곡선에 있어서, 9O 체적%, 1O 체적%, 5O 체적%를 나타내는 입자 직경)인 구형 NiP 미소입자인,
배선 접속에 사용되는 이방성 도전 필름.
As an anisotropic conductive film in which conductive particles are dispersed in an insulating resin film,
Wherein the conductive particles are spherical NiP microparticles composed of Ni as a main component and having a composition of P, and the composition contains 0.01 to 18 mass% of Cu,
Wherein the conductive particles have an average particle diameter d 50 of 1 to 20 μm and a particle size distribution of [(d 90 -d 10 ) / d 50 ] ≦ 0.8 (d 90 , d 10 , d 50 : , 90% by volume, 10% by volume, and 50% by volume) of spherical NiP microparticles,
Anisotropic conductive film used for wiring connection.
제1항에 있어서,
상기 구형 NiP 미소입자는, Ni를 주체로 1∼l5 질량%의 P를 포함하는 성분 조성으로 이루어지는 배선 접속에 사용되는 이방성 도전 필름.
The method according to claim 1,
Wherein said spherical NiP microparticles are used for wire connection mainly composed of Ni with a composition of component containing P of 1 to 15 mass%.
도전 입자를 절연성 수지 필름 중에 분산시킨 이방성 도전 필름의 제조 방법으로서,
니켈염의 수용액과, pH 조제제 및 pH 완충제의 혼합 수용액과, 인을 포함하는 환원제 수용액을 혼합해서 환원 석출 반응시켜, Ni를 주체로 P를 포함하는 구형 NiP 미소입자를 제조하고,
상기 니켈염의 수용액은 Cu를 포함하고, 혼합해서 환원 석출 반응을 개시시킬 때의 pH가 7보다 높은 알카리성이 되도록 조제하고,
상기 구형 NiP 미소입자를 도전 입자로 하여 절연성 수지 필름 중에 분산시킨,
배선 접속에 사용되는 이방성 도전 필름의 제조 방법.
A method for producing an anisotropic conductive film in which conductive particles are dispersed in an insulating resin film,
Mixing an aqueous solution of a nickel salt, a mixed aqueous solution of a pH adjusting agent and a pH buffer and a reducing agent aqueous solution containing phosphorus to perform reduction-precipitation reaction to prepare spherical NiP microparticles containing P mainly composed of Ni,
The aqueous solution of the nickel salt contains Cu and is mixed and prepared so that the pH at the time of initiating the reduction precipitation reaction becomes alkaline higher than 7,
Wherein the spherical NiP microparticles are dispersed in an insulating resin film as conductive particles,
A method for producing an anisotropic conductive film used for wiring connection.
제3항에 있어서,
상기 구형 NiP 미소입자가, Ni를 주체로 1∼l5 질량%의 P를 포함하는 성분 조성으로 이루어지는, 배선 접속에 사용되는 이방성 도전 필름의 제조 방법.
The method of claim 3,
Wherein the spherical NiP microparticles consist of a composition of P containing 1 to 15 mass% of P, mainly Ni.
제3항에 있어서,
상기 니켈염의 수용액은, 몰비로 Ni/Cu=4.0∼10,000이 되는 Cu를 포함하는, 배선 접속에 사용되는 이방성 도전 필름의 제조 방법.
The method of claim 3,
Wherein the aqueous solution of the nickel salt includes Cu having a molar ratio of Ni / Cu = 4.0 to 10,000.
제4항에 있어서,
상기 니켈염의 수용액은, 몰비로 Ni/Cu=4.0∼10,000이 되는 Cu를 포함하는, 배선 접속에 사용되는 이방성 도전 필름의 제조 방법.
5. The method of claim 4,
Wherein the aqueous solution of the nickel salt includes Cu having a molar ratio of Ni / Cu = 4.0 to 10,000.
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