KR20140102948A - Coating apparatus and fabricating apparatus for coating film having the same - Google Patents

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KR20140102948A
KR20140102948A KR1020130016491A KR20130016491A KR20140102948A KR 20140102948 A KR20140102948 A KR 20140102948A KR 1020130016491 A KR1020130016491 A KR 1020130016491A KR 20130016491 A KR20130016491 A KR 20130016491A KR 20140102948 A KR20140102948 A KR 20140102948A
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권상호
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Abstract

A coating apparatus comprises a storage tank, a fiber filter, a mesh filter, a syringe pump, and a nozzle. The storage tank stores a coating solution, and the fiber filter filters foreign materials of the coating solution supplied from the storage tank. The coating solution filtered from the fiber filter passes the mesh filter, which strains the fiber pieces generated when the fiber filter is damaged.

Description

코팅장치 및 이를 포함하는 코팅부재 제조장치{COATING APPARATUS AND FABRICATING APPARATUS FOR COATING FILM HAVING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a coating apparatus,

본 발명은 코팅장치 및 이를 포함하는 코팅부재 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a coating apparatus and a coating member manufacturing apparatus including the same.

표시장치 또는 반도체 디바이스는 베이스 상에 배치된 유기막들 또는 무기막들을 포함한다. 상기 유기막들 또는 무기막들은 코팅 공정을 통해 형성된다.The display device or the semiconductor device includes organic films or inorganic films disposed on the base. The organic films or inorganic films are formed through a coating process.

상기 유기막들 또는 상기 무기막들을 형성하는 코팅장치는 상기 유기물 또는 무기물의 이물질 또는 응고된 덩어리를 제거하기 위해 필터를 구비한다. 상기 필터가 손상되면, 불량한 유기막들 또는 무기막들이 형성된다. 또한, 상기 유기물 또는 무기물이 이송되는 이송관이 막힌다. The coating apparatus for forming the organic films or the inorganic films is provided with a filter for removing foreign matters or solidified lumps of the organic or inorganic substances. If the filter is damaged, poor organic films or inorganic films are formed. In addition, the transport pipe through which the organic substance or the inorganic substance is transported is clogged.

본 발명은 효율이 향상되고, 불량이 방지된 코팅장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a coating apparatus with improved efficiency and prevention of defects.

본 발명은 상기 코팅장치를 포함하는 코팅부재 제조장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a coating member manufacturing apparatus including the coating apparatus.

본 발명의 일 실시예에 따른 코팅부재 제조장치는 세정부, 코팅부, 용매 제거부, 및 건조부를 포함한다. 상기 세정부는 베이스 부재를 세정하고, 상기 코팅부는 상기 베이스 부재 상에 코팅층을 형성한다. 상기 용매 제거부는 상기 코팅층의 용매를 제거하고, 상기 건조부는 상기 용매가 제거된 상기 코팅층을 건조시킨다.An apparatus for manufacturing a coating member according to an embodiment of the present invention includes a cleaning unit, a coating unit, a solvent removing unit, and a drying unit. The cleaning part cleans the base member, and the coating part forms a coating layer on the base member. The solvent removing unit removes the solvent of the coating layer, and the drying unit dries the coating layer from which the solvent has been removed.

상기 코팅부재 제조장치는 상기 베이스 부재를 상기 세정부로부터 상기 코팅부, 상기 용매 제거부, 및 상기 건조부로 운반하는 이송부를 더 포함할 수 있다.The coating member manufacturing apparatus may further include a transferring unit for transferring the base member from the cleaning unit to the coating unit, the solvent removing unit, and the drying unit.

상기 코팅부는 저장탱크, 섬유 필터, 메쉬 필터, 실린지 펌프, 및 노즐을 포함한다. 상기 저장탱크는 코팅액을 저장하고, 상기 섬유 필터는 상기 저장탱크로부터 공급된 상기 코팅액의 이물질을 여과한다. 상기 섬유 필터에서 여과된 상기 코팅액은 상기 메쉬 필터를 통과한다. 상기 메쉬 필터는 상기 섬유 필터가 손상된 경우 상기 손상된 상기 섬유 필터 조각을 걸러낸다. 상기 코팅액은 폴리 이미드를 포함한다.The coating portion includes a storage tank, a fiber filter, a mesh filter, a syringe pump, and a nozzle. The storage tank stores a coating liquid, and the fiber filter filters foreign matter of the coating liquid supplied from the storage tank. The coating solution filtered through the fiber filter passes through the mesh filter. The mesh filter filters out the damaged fiber filter piece if the fiber filter is damaged. The coating liquid includes a polyimide.

상기 실린지 펌프는 상기 메쉬 필터를 통과한 상기 코팅액을 수용하고, 상기 수용된 코팅액을 배출시킨다. 상기 노즐은 상기 실리지 펌프로부터 배출된 상기 코팅액을 베이스 부재에 제공한다.The syringe pump receives the coating solution passed through the mesh filter, and discharges the received coating solution. The nozzle provides the coating liquid discharged from the discharge pump to the base member.

상기 섬유 필터의 여과구의 지름은 0.1㎛ 내지 0.3㎛이다. 상기 메쉬 필터는 상기 섬유 필터보다 큰 지름의 여과구를 갖는다. 상기 메쉬 필터의 여과구의 지름은 8㎛ 내지 12㎛ 일 수 있다. 상기 메쉬 필터는 스테인레스 스틸로 구성된다.The diameter of the filtration port of the fiber filter is 0.1 탆 to 0.3 탆. The mesh filter has a filter having a diameter larger than that of the fiber filter. The diameter of the filtration port of the mesh filter may be 8 탆 to 12 탆. The mesh filter is made of stainless steel.

상기 메쉬 필터는, 서로 결합되어 내측에 상기 코팅액의 이동통로를 제공하는 제1 바디부재 및 제2 바디부재를 포함한다. 또한 상기 메쉬 필터는 상기 결합된 상기 제1 바디부재 및 상기 제2 바디부재에 의해 고정되고, 상기 이동통로를 가로지르게 배치된 제1 지지부재, 제2 지지부재 및 상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재 사이에 배치된 메쉬망을 포함한다.The mesh filter includes a first body member and a second body member which are coupled to each other to provide a moving passage of the coating liquid on the inside. And the mesh filter is fixed by the first body member and the second body member coupled to each other, and the first support member, the second support member, and the first support member and the second body member, And a mesh network disposed between the two support members.

상술한 바에 따르면, 상기 섬유 필터는 상기 코팅액에 포함된 이물질 또는 응고된 덩어리를 여과한다. 상기 메쉬 필터는 상기 섬유 필터를 통과한 상기 코팅액을 2차적으로 여과한다. 또한, 상기 메쉬 필터는 상기 섬유 필터가 손상된 경우를 대비한다. 예컨대, 상기 섬유 필터가 찢어진 경우, 상기 찢어진 섬유 필터 조각은 상기 메쉬 필터에서 여과된다.According to the above description, the fiber filter filters foreign matters or solidified lumps contained in the coating liquid. The mesh filter secondarily filters the coating solution that has passed through the fiber filter. Further, the mesh filter is prepared for the case where the fiber filter is damaged. For example, when the fiber filter is torn, the torn fiber filter piece is filtered in the mesh filter.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅부재 제조장치의 블럭도이다.
도 2는 코팅부재 제조공정의 순서도이다.
도 3은 도 1에 도시된 코팅부의 블럭도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 메쉬 필터의 단면도이다.
도 4b는 도 4a에 도시된 메쉬 필터의 분해 사시도이다.1 is a block diagram of an apparatus for manufacturing a coating material according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a flow chart of a coating member manufacturing process.
3 is a block diagram of the coating portion shown in Fig.
4A is a cross-sectional view of a mesh filter according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4B is an exploded perspective view of the mesh filter shown in FIG. 4A. FIG.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 고안의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged from the actual size in order to clarify the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅부재 제조장치의 블럭도이고, 도 2는 코팅부재 제조공정의 순서도이다.FIG. 1 is a block diagram of a coating member manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart of a coating member manufacturing process.

도 1에 도시된 것과 같이, 코팅부재 제조장치는 세정부(10), 코팅부(20), 용매 제거부(30), 및 건조부(40)를 포함한다. 또한, 상기 코팅부재 제조장치는 상기 세정부(10), 상기 코팅부(20), 상기 용매 제거부(30), 및 건조부(40) 사이에 배치된 적어도 하나의 버퍼부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 버퍼부는 대기공간이다.1, the coating member manufacturing apparatus includes a cleaning section 10, a coating section 20, a solvent removing section 30, and a drying section 40. As shown in FIG. The coating member manufacturing apparatus includes at least one buffer unit (not shown) disposed between the cleaning unit 10, the coating unit 20, the solvent removing unit 30, and the drying unit 40 . The buffer unit is a standby space.

상기 코팅부재 제조장치는 베이스 부재(SUB)를 이송하는 이송부(RA)를 포함한다. 상기 이송부(RA)는 상기 베이스 부재(SUB)를 상기 세정부(10)로부터 상기 코팅부(20), 상기 용매 제거부(30), 및 상기 건조부(40)로 운반한다. 상기 이송부(RA)는 상기 세정부(10), 상기 코팅부(20), 상기 용매 제거부(30), 및 상기 건조부(40) 각각에 상기 베이스 부재(SUB)를 반입 및 반출시킨다. 상기 이송부(RA)는 로봇암 및 컨베이어 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 한편, 상기 이송부(RA)는 생략될 수 있다.The coating material production apparatus includes a transfer unit (RA) for transferring a base member (SUB). The transfer unit RA transfers the base member SUB from the cleaning unit 10 to the coating unit 20, the solvent removing unit 30 and the drying unit 40. The transfer unit RA transfers the base member SUB to and from the cleaning unit 10, the coating unit 20, the solvent removing unit 30, and the drying unit 40, respectively. The transfer unit RA may include at least one of a robot arm and a conveyor. Meanwhile, the transfer unit RA may be omitted.

도 2에 도시된 것과 같이, 상기 코팅부재 제조공정은 세정 단계(S10), 코팅 단계(S20), 용매 제거 단계(S30), 및 건조 단계(S40)를 포함한다.As shown in FIG. 2, the coating member manufacturing process includes a cleaning step S10, a coating step S20, a solvent removing step S30, and a drying step S40.

상기 세정 단계(S10)는 상기 세정부(10)에서 수행된다. 상기 세정부(10)에 투입되는 베이스 부재(SUB)는 최종적으로 표시패널 또는 반도체 디바이스의 일부를 이룬다. The cleaning step (S10) is performed in the cleaning section (10). The base member SUB, which is inserted into the cleaning part 10, finally forms a part of the display panel or the semiconductor device.

상기 베이스 부재(SUB)는 유리기판, 실리콘기판, 또는 필름일 수 있다. 상기 베이스 부재(SUB)는 이전 공정에서 형성된 금속층 및 반도체층 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다. 상기 세정부(10)에서 세정된 베이스 부재(SUB)는 상기 이송부(RA)에 의해 반출된다. The base member SUB may be a glass substrate, a silicon substrate, or a film. The base member SUB may further include at least one of a metal layer and a semiconductor layer formed in a previous process. The base member (SUB) cleaned by the cleaning section (10) is carried out by the transfer section (RA).

상기 코팅 단계(S20)는 상기 코팅부(20)에서 수행된다. 상기 베이스 부재(SUB)의 적어도 일면에 코팅액이 제공된다. 예컨대, 코팅액은 스크린 코팅, 롤 코팅, 스핀 코팅, 잉크젯 코팅, 노즐 코팅 방식 등으로 상기 베이스 부재(SUB)에 형성될 수 있다. 코팅층이 형성된 베이스 부재(SUB)는 상기 이송부(RA)에 의해 반출된다. 한편, 상기 세정된 상기 베이스 부재(SUB)에 코팅층이 형성되기 이전에 상기 베이스 부재(SUB)는 건조될 수 있다.The coating step S20 is performed in the coating part 20. [ A coating liquid is provided on at least one surface of the base member (SUB). For example, the coating liquid may be formed on the base member SUB by screen coating, roll coating, spin coating, ink jet coating, nozzle coating, or the like. The base member SUB on which the coating layer is formed is carried out by the transferring unit RA. Meanwhile, the base member (SUB) may be dried before the coating layer is formed on the cleaned base member (SUB).

상기 용매 제거 단계(S30)은 상기 용매 제거부(30)에서 수행된다. 상기 용매 제거부(30)는 진공 챔버를 포함하고, 상기 베이스 부재(SUB)의 일면에 복사열을 제공한다. 상기 복사열에 의해 상기 코팅층의 용매는 증발된다. 상기 증발된 용매는 상기 진공 챔버의 외부로 배출된다. The solvent removal step (S30) is performed in the solvent removal unit (30). The solvent removing unit 30 includes a vacuum chamber and provides radiant heat to one surface of the base member SUB. The solvent of the coating layer is evaporated by the radiant heat. The evaporated solvent is discharged to the outside of the vacuum chamber.

상기 건조 단계(S40)은 상기 건조부(40)에서 수행된다. 상기 건조부(40)는 오븐을 포함한다. 상기 건조부(40)에서 상기 코팅층에 포함된 잔여 용매가 증발되고, 상기 코팅층이 경화된다. 상기 코팅층의 두께는 얇아진다.The drying step (S40) is performed in the drying unit (40). The drying unit 40 includes an oven. The remaining solvent contained in the coating layer is evaporated in the drying unit 40, and the coating layer is cured. The thickness of the coating layer becomes thin.

도 3은 도 1에 도시된 코팅부의 블럭도이다. 도 4a는 도 3에 도시된 메쉬 필터의 단면도이고, 도 4b는 도 3에 도시된 메쉬 필터의 분해 사시도이다. 이하, 도 3 내지 도 4b를 참조하여 상기 코팅부(이하, 코팅장치)에 대해 상세히 설명한다.3 is a block diagram of the coating portion shown in Fig. FIG. 4A is a cross-sectional view of the mesh filter shown in FIG. 3, and FIG. 4B is an exploded perspective view of the mesh filter shown in FIG. Hereinafter, the coating unit (coating apparatus) will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 4B.

도 3에 도시된 것과 같이, 상기 코팅장치는 저장탱크(100), 제1 밸브(200), 섬유 필터(300), 메쉬 필터(400), 실린지 펌프(500), 제2 밸브(600), 노즐(700), 및 스테이지(800)를 포함한다. 상기 저장탱크(100), 상기 제1 밸브(200), 상기 섬유 필터(300), 상기 메쉬 필터(400), 상기 실린지 펌프(500), 상기 제2 밸브(600), 및 상기 노즐(700)들은 상기 코팅액을 이송하는 이송관에 의해 연결된다. 또한, 도 3에는 2개의 밸브들(200, 600)이 도시되어 있으나, 상술한 구성들 사이에는 밸브들이 선택적으로 더 배치될 수 있다.3, the coating apparatus includes a storage tank 100, a first valve 200, a fiber filter 300, a mesh filter 400, a syringe pump 500, a second valve 600, A nozzle 700, and a stage 800 as shown in FIG. The storage tank 100, the first valve 200, the fiber filter 300, the mesh filter 400, the syringe pump 500, the second valve 600, and the nozzle 700 Are connected by a transfer tube for transferring the coating liquid. In addition, although two valves 200 and 600 are shown in FIG. 3, valves may alternatively be further disposed between the configurations described above.

상기 저장탱크(100)는 코팅액을 저장한다. 상기 코팅액은 고 점성을 갖는 폴리 이미드를 포함한다. 한편, 상기 코팅액을 이루는 물질은 이에 제한되지 않는다. 상기 제1 밸브(200)는 상기 저장탱크(100)로부터 배출되는 상기 코팅액의 유량을 조절한다. 상기 제1 밸브(200)는 생략될 수 있다.The storage tank 100 stores a coating liquid. The coating liquid includes a polyimide having high viscosity. On the other hand, the material constituting the coating liquid is not limited thereto. The first valve (200) regulates the flow rate of the coating liquid discharged from the storage tank (100). The first valve 200 may be omitted.

상기 섬유 필터(300)는 상기 저장탱크(100)로부터 공급된 상기 코팅액의 이물질 또는 상기 코팅액의 응고된 덩어리를 여과한다. 상기 코팅액은 약 0.1㎫의 유압으로 제공된다. 상기 섬유 필터(300)는 지름이 0.1㎛ 내지 0.3㎛ 인 여과구를 갖는다. 즉, 지름이 0.1㎛ 내지 0.3㎛ 이상인 이물질 및 응고된 덩어리는 상기 섬유 필터(300)에서 여과된다.The fiber filter 300 filters a foreign matter of the coating liquid supplied from the storage tank 100 or a solidified lump of the coating liquid. The coating liquid is supplied at an oil pressure of about 0.1 MPa. The fiber filter 300 has a filtration port having a diameter of 0.1 mu m to 0.3 mu m. That is, the foreign matter having a diameter of 0.1 탆 to 0.3 탆 or more and the solidified lumps are filtered in the fiber filter 300.

상기 메쉬 필터(400)는 상기 섬유 필터(300)를 통과한 상기 코팅액을 여과한다. 상기 메쉬 필터(400)는 상기 섬유 필터(300)가 손상된 경우를 대비한다. 예컨대, 고 점성의 상기 코팅액을 여과하는 과정에서 상기 섬유 필터(300)가 찢어진 경우, 상기 찢어진 섬유 필터(300)의 조각은 상기 메쉬 필터(400)에서 여과된다.The mesh filter 400 filters the coating solution that has passed through the fiber filter 300. The mesh filter 400 is prepared for the case where the fiber filter 300 is damaged. For example, when the fiber filter 300 is torn in the process of filtering the coating liquid having a high viscosity, the pieces of the torn fiber filter 300 are filtered in the mesh filter 400.

상기 메쉬 필터(400)는 상기 섬유 필터(300)보다 큰 지름의 여과구를 갖는다. 상기 코탱액의 유속이 감소되는 것을 방지하기 위함이다. 상기 메쉬 필터(400)의 여과구의 지름은 8㎛ 내지 12㎛이다. The mesh filter 400 has a filter having a larger diameter than the fiber filter 300. Thereby preventing the flow rate of the coarse fluid from being reduced. The diameter of the filtration port of the mesh filter 400 is 8 μm to 12 μm.

상기 실린지 펌프(500)는 상기 메쉬 필터(400)를 통과한 상기 코팅액을 수용한다. 상기 실린지 펌프(500)는 일시적으로 수용된 코팅액을 배출시킨다. 상기 실린지 펌프(500)는 상기 배출되는 상기 코팅액의 유량을 조절할 수 있다.The syringe pump 500 receives the coating liquid that has passed through the mesh filter 400. The syringe pump 500 temporarily discharges the received coating liquid. The syringe pump 500 may adjust the flow rate of the discharged coating liquid.

상기 실린지 펌프(500)로부터 배출된 상기 코팅액은 상기 노즐(700)에 제공된다. 상기 제2 밸브(600)는 상기 실린지 펌프(500)로부터 배출된 상기 코팅액 중 일부를 외부에 배출시킴으로써 상기 노즐(700)에 제공되는 상기 코팅액의 유량을 제어할 수 있다. 상기 제2 밸브(600)는 생략될 수 있다.The coating liquid discharged from the syringe pump 500 is supplied to the nozzle 700. The second valve 600 may control the flow rate of the coating liquid supplied to the nozzle 700 by discharging a part of the coating liquid discharged from the syringe pump 500 to the outside. The second valve 600 may be omitted.

상기 노즐(700)은 상기 스테이지(800)에 배치된 베이스 부재(SUB)에 상기 코팅액을 제공한다. 상기 노즐(700)은 좌/우 및 상/하로 이동가능하며, 슬릿 형상의 배출구를 포함할 수 있다. 상기 노즐(700)로부터 제공된 코팅액은 상기 베이스 부재(SUB) 상에 코팅층을 형성한다.The nozzle 700 provides the coating liquid to the base member SUB disposed on the stage 800. [ The nozzle 700 is movable left / right and up / down, and may include a slit-shaped outlet. The coating liquid supplied from the nozzle 700 forms a coating layer on the base member SUB.

한편, 본 발명의 다른 실시예에서 상기 노즐(700)은 다른 구성으로 대체될 수 있다. 예컨대, 상기 노즐(700)은 스크린 마스크, 롤러, 스피코터 헤드, 및 잉크젯 헤드 등으로 대체될 수 있다. Meanwhile, in another embodiment of the present invention, the nozzle 700 may be replaced with another configuration. For example, the nozzle 700 may be replaced with a screen mask, a roller, a spin coater head, and an ink jet head.

도 4a 및 도 4b를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 메쉬 필터(400)에 대해 상세히 설명한다. 상기 메쉬 필터(400)는 서로 결합되어 내측에 상기 코팅액의 이동통로를 제공하는 제1 바디부재(410) 및 제2 바디부재(420)를 포함한다.4A and 4B, the mesh filter 400 according to an embodiment of the present invention will be described in detail. The mesh filter 400 includes a first body member 410 and a second body member 420 which are coupled to each other to provide a moving path of the coating liquid on the inner side.

상기 제1 바디부재(410)는 상기 코팅액이 유입되는 입구(410-E)를 포함하고, 상기 제2 바디부재(420)는 상기 코팅액이 유출되는 출구(420-E)를 포함한다. 상기 결합된 상기 제1 바디부재(410) 및 상기 제2 바디부재(420) 속이 비어있는 구형상을 갖는다. 상기 제1 바디부재(410) 및 상기 제2 바디부재(420)는 각각 반구형상일 수 있다.The first body member 410 includes an inlet 410-E through which the coating liquid flows and the second body member 420 includes an outlet 420-E through which the coating liquid flows. The combined first body member 410 and the second body member 420 have hollow spherical shapes. The first body member 410 and the second body member 420 may each be hemispherical.

상기 메쉬 필터(400)는 상기 결합된 상기 제1 바디부재(410) 및 상기 제2 바디부재(420)에 의해 고정되고, 상기 코팅액의 이동통로를 가로지르게 배치된 제1 지지부재(430) 및 제2 지지부재(440)를 포함한다. 상기 제1 지지부재(430) 및 상기 제2 지지부재(440)는 상기 제2 바디부재(420)의 내벽에 구비된 단차부(420-P)에 배치된다. 상기 제1 지지부재(430) 및 상기 제2 지지부재(440)는 상기 제1 바디부재(410의 일부분에 의해 상기 단차부(420-P)에 압착된다. The mesh filter 400 includes a first support member 430 fixed by the first body member 410 and the second body member 420 coupled to each other and disposed across the movement passage of the coating solution, And a second support member 440. The first support member 430 and the second support member 440 are disposed on the stepped portion 420-P provided on the inner wall of the second body member 420. The first support member 430 and the second support member 440 are pressed to the step 420-P by a portion of the first body member 410. [

상기 제1 지지부재(430) 및 상기 제2 지지부재(440)는 복수 개의 개구부(430-OP, 440-OP)가 구비된 플레이트 형상이다. 도 4b에는 4개의 개구부들(430-OP, 440-OP)을 각각 구비한 제1 지지부재(430) 및 제2 지지부재(440)가 예시적으로 도시되었다. The first support member 430 and the second support member 440 are plate-shaped having a plurality of openings 430-OP and 440-OP. 4B, a first support member 430 and a second support member 440 having four openings 430-OP and 440-OP, respectively, are illustrated.

상기 메쉬 필터(400)는 상기 제1 지지부재(430) 및 상기 제2 지지부재(440) 사이에 배치된 메쉬망(450)을 포함한다. 상기 메쉬망(450)은 지름이 8㎛ 내지 12㎛인 복수 개의 여과구들을 포함한다. The mesh filter 400 includes a mesh network 450 disposed between the first support member 430 and the second support member 440. The mesh network 450 includes a plurality of filtering tools having a diameter of 8 to 12 mu m.

상기 제1 바디부재(410), 상기 제2 바디부재(420), 상기 제1 지지부재(430) 및 상기 제2 지지부재(440) 및 상기 메쉬망(450)은 내식성이 높은 스테인레스 스틸로 구성된다.The first body member 410, the second body member 420, the first supporting member 430 and the second supporting member 440 and the mesh net 450 are made of stainless steel having high corrosion resistance do.

상기 메쉬 필터(400)는 적어도 하나의 패킹을 포함한다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 것과 같이, 링 형상의 제1 패킹(460)과 제2 패킹(470)을 포함할 수 있다. 상기 제1 패킹(460)과 상기 제2 패킹(470)은 상기 제1 바디부재(410) 및 상기 제2 바디부재(420)의 결합면에 배치된다. 상기 제2 패킹(470)은 상기 제1 패킹(460)보다 더 큰 지름을 갖는다. 상기 제1 패킹(460)과 상기 제2 패킹(470)은 실리콘 또는 고무 등으로 구성된다.The mesh filter 400 includes at least one packing. And may include a ring-shaped first packing 460 and a second packing 470, as shown in Figs. 4A and 4B. The first packing 460 and the second packing 470 are disposed on the mating surfaces of the first body member 410 and the second body member 420. The second packing (470) has a larger diameter than the first packing (460). The first packing 460 and the second packing 470 are made of silicone or rubber.

한편 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention. It is therefore intended that such variations and modifications fall within the scope of the appended claims.

10: 세정부 20: 코팅부
30: 용매 제거부 40: 건조부
SUB: 베이스 부재 RA: 이송부
100: 저장탱크 200: 제1 밸브
300: 섬유 필터 400: 메쉬 필터
500: 실린지 펌프 600: 제2 밸브
700: 노즐 800: 스테이지10: Cleaning section 20: Coating section
30: Solvent removing unit 40: Drying unit
SUB: Base member RA: Transfer part
100: Storage tank 200: First valve
300: Fiber filter 400: Mesh filter
500: syringe pump 600: second valve
700: nozzle 800: stage

Claims (15)

코팅액을 저장하는 저장탱크;
상기 저장탱크로부터 공급된 상기 코팅액을 여과하는 섬유 필터;
상기 섬유 필터를 통과한 상기 코팅액을 여과하는 메쉬 필터;
상기 메쉬 필터를 통과한 상기 코팅액을 수용하고, 상기 수용된 코팅액을 배출시키는 실린지 펌프; 및
상기 실리지 펌프로부터 배출된 상기 코팅액을 베이스 부재에 제공하는 노즐을 포함하는 코팅장치. A storage tank for storing the coating liquid;
A fiber filter for filtering the coating liquid supplied from the storage tank;
A mesh filter for filtering the coating solution passed through the fiber filter;
A syringe pump for containing the coating liquid passed through the mesh filter and discharging the received coating liquid; And
And a nozzle for supplying the coating liquid discharged from the discharge pump to the base member. 제1 항에 있어서,
상기 코팅액은 폴리 이미드를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅장치. The method according to claim 1,
Wherein the coating liquid comprises polyimide. 제1 항에 있어서,
상기 섬유 필터의 여과구의 지름은 0.1㎛ 내지 0.3㎛ 인 것을 특징으로 하는 코팅장치.The method according to claim 1,
Wherein a diameter of the filtration port of the fiber filter is 0.1 mu m to 0.3 mu m. 제3 항에 있어서,
상기 메쉬 필터는 상기 섬유 필터의 상기 여과구보다 큰 지름을 갖는 여과구를 포함하는 코팅장치.The method of claim 3,
Wherein the mesh filter comprises a filtration port having a larger diameter than the filtration port of the fiber filter. 제4 항에 있어서,
상기 메쉬 필터의 상기 여과구의 지름은 8㎛ 내지 10㎛ 인 것을 특징으로 하는 코팅장치.5. The method of claim 4,
Wherein the diameter of the filtration port of the mesh filter is from 8 탆 to 10 탆. 제1 항에 있어서,
상기 메쉬 필터는 스테인레스 스틸로 구성된 것을 특징으로 하는 코팅장치.The method according to claim 1,
Wherein the mesh filter is made of stainless steel. 제1 항에 있어서,
상기 메쉬 필터는,
서로 결합되어 내측에 상기 코팅액의 이동통로를 제공하는 제1 바디부재 및 제2 바디부재;
상기 결합된 상기 제1 바디부재 및 상기 제2 바디부재에 의해 고정되고, 상기 이동통로를 가로지르게 배치된 제1 지지부재 및 제2 지지부재; 및
상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재 사이에 배치된 메쉬망; 을 포함하는 코팅장치.The method according to claim 1,
The mesh filter may comprise:
A first body member and a second body member joined to each other to provide a passage for moving the coating liquid inward;
A first support member and a second support member which are fixed by the first body member and the second body member coupled to each other and are arranged across the movement passage; And
A mesh net disposed between the first support member and the second support member; ≪ / RTI > 베이스 부재를 세정하는 세정부;
상기 베이스 부재 상에 코팅층을 형성하는 코팅부;
상기 코팅층의 용매를 제거하는 용매 제거부; 및
상기 용매가 제거된 상기 코팅층을 건조시키는 건조부;를 포함하고,
상기 코팅부는,
코팅액을 저장하는 저장탱크;
상기 저장탱크로부터 공급된 상기 코팅액을 여과하는 섬유 필터;
상기 섬유 필터를 통과한 상기 코팅액을 여과하는 메쉬 필터;
상기 메쉬 필터를 통과한 상기 코팅액을 수용하고, 상기 수용된 코팅액을 배출시키는 실린지 펌프; 및
상기 실리지 펌프로부터 배출된 상기 코팅액을 베이스 부재에 제공하는 노즐을 포함하는 코팅부재 제조장치.A cleaning unit cleaning the base member;
A coating part forming a coating layer on the base member;
A solvent remover for removing the solvent of the coating layer; And
And a drying unit for drying the coating layer from which the solvent has been removed,
The coating portion may include:
A storage tank for storing the coating liquid;
A fiber filter for filtering the coating liquid supplied from the storage tank;
A mesh filter for filtering the coating solution passed through the fiber filter;
A syringe pump for containing the coating liquid passed through the mesh filter and discharging the received coating liquid; And
And a nozzle for supplying the coating liquid discharged from the discharge pump to the base member. 제8 항에 있어서,
상기 베이스 부재를 상기 세정부로부터 상기 코팅부, 상기 용매 제거부, 및 상기 건조부로 운반하는 이송부를 더 포함하는 코팅부재 제조장치.9. The method of claim 8,
Further comprising a transferring portion for transferring the base member from the cleaning portion to the coating portion, the solvent removing portion, and the drying portion. 제8 항에 있어서,
상기 코팅액은 폴리 이미드를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅부재 제조장치.9. The method of claim 8,
Wherein the coating liquid comprises a polyimide. 제8 항에 있어서,
상기 섬유 필터의 여과구의 지름은 0.1㎛ 내지 0.3㎛ 인 것을 특징으로 하는 코팅부재 제조장치.9. The method of claim 8,
Wherein the diameter of the filtration sphere of the fiber filter is 0.1 mu m to 0.3 mu m. 제11 항에 있어서,
상기 메쉬 필터는 상기 섬유 필터의 상기 여과구보다 큰 지름을 갖는 여과구를 포함하는 코팅부재 제조장치.12. The method of claim 11,
Wherein the mesh filter includes a filtration port having a larger diameter than the filtration port of the fiber filter. 제12 항에 있어서,
상기 메쉬 필터의 상기 여과구의 지름은 8㎛ 내지 10㎛ 인 것을 특징으로 하는 코팅부재 제조장치.13. The method of claim 12,
Wherein the diameter of the filtration port of the mesh filter is 8 占 퐉 to 10 占 퐉. 제8 항에 있어서,
상기 메쉬 필터는 스테인레스 스틸로 구성된 것을 특징으로 하는 코팅부재 제조장치.9. The method of claim 8,
Wherein the mesh filter is made of stainless steel. 제8 항에 있어서,
상기 메쉬 필터는,
서로 결합되어 내측에 상기 코팅액의 이동통로를 제공하는 제1 바디부재 및 제2 바디부재;
상기 결합된 상기 제1 바디부재 및 상기 제2 바디부재에 의해 고정되고, 상기 이동통로를 가로지르게 배치된 제1 지지부재 및 제2 지지부재; 및
상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재 사이에 배치된 메쉬망; 을 포함하는 코팅부재 제조장치.9. The method of claim 8,
The mesh filter may comprise:
A first body member and a second body member joined to each other to provide a passage for moving the coating liquid inward;
A first support member and a second support member which are fixed by the first body member and the second body member coupled to each other and are arranged across the movement passage; And
A mesh net disposed between the first support member and the second support member; And a coating member for supporting the coating member.
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