KR20140102889A - 습식세정장치 - Google Patents

Abstract

벤튜리, 사이클론, 충진탑의 3가지 타입의 세정기가 단일 본체 내에 일체로 구비된 습식세정장치가 개시된다. 이와 같이 단일 본체 내에 벤튜리 세정기, 사이클론 세정기, 충진탑을 일체로 구비함에 따라 집진효율을 향상시키면서도 세정기의 설치면적 및 설치 비용을 줄일 수 있으며, 벤튜리관, 사이클론 관 및 각 구성요소의 연결관 등의 두께를 감소시켜 제조비용을 절감할 수 있다.

Description

습식세정장치{WET SCRUBBER}

본 발명은 벤튜리 세정기, 사이클론 세정기 및 충진식 세정기가 하나의 본체내에 일체로 구비된 습식세정장치에 관한 것이다.

습식세정장치는 세정액 또는 함진 가스를 분사시켜 생성되는 액적, 액막, 기포 등에 의하여 함진 가스 중의 미립자를 분리, 포집하는 장치이다.

이러한 습식세정장치에서는 관성력, 확산력, 응집력, 중력 등이 이용되고, 관성력과 중력 등은 입자경이 클수록 커지고 확산력과 응집력은 입자 경이 작을수록 큰 집진 작용을 나타낸다.

습식세정장치는 액적에서 미세분진 부착 및 입자 상호 간의 응집이 효과적으로 이루어지게 하기 위하여, 액적, 액막 등의 형성과 세정 방법을 여러 가지로 연구하여 다양한 장치가 이용 가능하다.

습식세정장치는 유수식, 가압수식, 충진탑식, 회전식, 정전식으로 분류된다.

가압수식은 물을 가압 공급하여 함진 가스를 세정하는 방식으로 벤튜리 스크러버(Ventury Scrubber), 제트 스크러버(Jet scrubber), 충진탑(Packed Tower), 사이클론 스크러버(Cyclon Scrubber), 분무탑(Spray tower)을 포함한다.

함진 가스는 분진(먼지), 수용성 유해/무해가스, 수용성 액체 등을 포함하며, 이하에서는 '오염 가스'로 칭한다.

벤튜리 스크러버는 습식세정장치 중 집진율이 가장 높아서 광범위하게 사용된다. 벤튜리 스크러버는 일반적인 세정장치와 달리 덕트에 위치해 있는 벤튜리에 의해 기체의 유속이 가속된다.

오염 가스는 벤튜리의 목부분에서 가속되고, 세정수는 이 주위에 설치된 분사노즐에서 공급되어 고속 가스 유속에 의해 미세한 액적이 되고 전단면에 분산되어 분진과 접촉하게 된다.

사이클론 스크러버는 사이클론 관 하부의 중심에 다수의 스프레이 노즐을 가지는 분사관을 설치하고, 오염 가스를 접선 방향으로 유입시킨다.

가스는 사이클론 관내를 선회하면서 상승하고 스프레이 노즐에 의해 분사된 액적에 의하여 오염가스가 세정된다.

종래에는 집진 효율을 높이기 위하여 다양한 방법이 연구되고 있으며, 일반적으로 한 개 이상의 타입을 혼합하여 사용한다. 그중 가장 보편적인 방법으로 벤튜리 타입과 충진탑 타입을 각각 직렬로 설치한 것이 개시된 바 있다.

종래기술을 따르면, 벤튜리 스크러버, 충진탑을 각각 따로 설치하여 서로 연계되도록 구성함에 따라 설치 면적 및 설치 비용이 증가하는 문제점이 있다.

종래 기술을 따르면, 고압의 습식 스크러버 제작시 내,외부 압력차가 크므로 외부 용기가 두꺼워져 제조 비용이 증가하는 문제점이 있다.

또한, 다중 벤튜리 스크러버 및 충진탑을 수평으로 나란하게 배열하여 구성할 경우 다수의 충진탑으로 유입되는 오염가스가 충진탑 스크러버의 유입구측으 치우쳐 공급됨에 따라 분배가 고르지 못한 문제점이 있다.

미국특허공개번호 US2009/0183632

본 발명의 목적은 하나의 본체내에 벤튜리, 사이클론, 충진탑의 3가지 방식의 스크러버를 일체로 구비한 습식세정장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 외부 용기의 두께를 줄여 제조 비용을 감소시키는 습식세정장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 다수의 벤튜리관을 포함하는 벤튜리 세정기로부터 공급되는 오염가스가 후속 세정기에 고르게 분배되도록 하는 습식세정장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 관점을 따르면 목 부분을 갖는 적어도 하나의 벤튜리관을 가지는 벤튜리 세정기, 오염가스가 회전 가능한 적어도 하나의 사이클론 유도관을 가지는 사이클론 세정기 및 적어도 하나의 충진층을 가지는 충진식 세정기를 포함하며, 상기 벤튜리 세정기, 상기 사이클론 세정기 및 상기 충진식 세정기가 단일 본체 내에 일체로 구성된 습식세정장치가 제공된다.

상기 벤튜리 세정기, 상기 사이클론 세정기 및 상기 충진식 세정기는 수평 또는 수직으로 배치될 수 있다.

상기 오염가스는 상기 벤튜리 세정기, 상기 사이클론 세정기, 상기 충진식 세정기순으로 통과하도록 구성될 수 있다.

보다 구체적으로, 본체내의 하부에 상기 벤튜리 세정기가 배치되고, 상기 벤튜리 세정기의 가스토출구와 연통하도록 상기 벤튜리 세정기와 인접하여 상기 사이클론 세정기가 배치되고, 상기 사이클론 세정기 상부에 상기 충진층이 배치되고, 상기 충진층의 상부에 세정액분사노즐이 배치될 수 있다.

상기 본체는 상기 본체의 상부에 구비된 세정가스배출구 및 상기 본체의 하부에 구비된 세정수배출구를 포함할 수 있다.

상기 벤튜리 세정기는 적어도 2개의 벤튜리관을 포함하고, 상기 사이클론 세정기는 단일의 사이클론 유도관을 포함하고, 상기 사이클론 유도관은 상기 본체의 세로 중심축 상에 배치되고, 상기 사이클론 유도관의 주위에 상기 적어도 2개의 벤튜리관이 배치될 수 있다.

상기 벤튜리 세정기는 상기 오염가스가 공급되는 메인가스 공급관 및 상기 메인공급관으로부터 분기되어 상기 벤튜리관 각각에 연결된 적어도 2개의 가스공급관을 포함할 수 있다.

상기 벤튜리 세정기는 상기 적어도 2개의 벤튜리관에 독립적으로 상기 오염가스를 공급하는 적어도 2개의 가스공급관을 포함할 수 있다.

상기 가스공급관의 각각에는 가스조절밸브가 구비될 수 있으며, 상기 가스조절밸브는 수동 또는 자동제어가 가능하도록 구성될 수 있다.

상기 사이클론 유도관의 내면에는 나선형 유로부가 더 구비될 수 있으며, 상기 나선형 유로부는 나선형 홈 또는 돌기를 포함할 수 있다.

상기 사이클론 유도관은 상,하부 확관부를 더 포함할 수 있으며, 상기 사이클론 유도관의 내부에는 상기 오염가스가 선회하도록 유도하는 적어도 하나의 선회류유도부재가 추가로 구비될 수 있다.

상기 선회류유도부재는 상기 사이클론 유도관의 세로중심축을 기준으로 방사형으로 배치된 다수의 가이드 베인을 포함할 수 있으며, 상기 선회류유도부재는 상기 사이클론 유도관의 길이 방향을 따라 일정 간격을 두고 복수 개가 배치될 수 있다.

상기 선회류유도부재는 상기 사이클론 유도관의 길이 방향을 따라 나선형으로 연속되게 형성된 나선형 가이드 베인을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치를 따르면, 벤튜리, 사이클론, 충진탑의 3가지 방식의 스크러버가 단일의 본체 내에 구비되어 설치 면적 및 비용을 감소시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치를 따르면, 단일 본체내에, 복수개의 벤튜리관, 사이클론관, 충진층을 구비함에 따라 벤튜리관, 사이클론 관 등의 두께를 줄여 제조 비용을 감소시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치의 구성을 개략적으로 도시한 전체 구성도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ표시부를 도시한 확대도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치의 오염가스 이동경로를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치의 세정수 이동경로를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치의 사이클론 세정기의 구성을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예를 따른 선회류유도부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예를 따른 선회류유도부재의 구성을 도시한 도면이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치의 구성을 개략적으로 도시한 전체 구성도이다.

도 1을 참조하면, 습식세정장치(1)는 단일의 본체(10) 내에 적어도 하나의 벤튜리 관(21), 사이클론 유도관(31), 충진층(51)을 각각 포함하는 벤튜리 세정기(20), 사이클론 세정기(30), 충진식 세정기(50)가 일체로 구비된다.

벤튜리 세정기(20), 사이클론 세정기(30), 충진탑 세정기(50)는 도면에 도시된 바와 같이 수직으로 배치될 수 있다.

다르게는 본체(10)를 가로로 배치하고 벤튜리 세정기(20), 사이클론 세정기(30), 충진탑 세정기(50)를 수평으로 배치할 수도 있다.

오염가스가 벤튜리 세정기(20), 사이클론 세정기(30), 상기 충진탑 세정기순(50)으로 통과하도록 각 세정기를 배치할 수 있다.

이하, 수직 배치구조에 관하여 좀더 상세하게 설명한다.

본체(10)의 상부에는 세정가스배출구(11)가 배치되고, 본체(10)의 하부에는 세정수배출구(13)가 배치될 수 있다.

본체(10)내의 하부에 벤튜리 세정기(20)가 배치되고, 벤튜리 세정기(20)의 가스토출구(21a)와 연통하도록 벤튜리 세정기(20)와 인접하여 사이클론 세정기(30)의 사이클론유도관(31)이 배치될 수 있다.

이에 더하여, 사이클론 유도관(31)의 상부에 충진층(51)이 배치되고, 충진층(51)의 상부에 세정액분사노즐(61)이 배치될 수 있다.

세정액분사노즐(61)의 상부에는 충진층(51)을 통과한 세정된 가스에 포함된 미세 물방울 및 미세입자를 제거하는 디미스터(71)가 추가로 포함될 수 있다.

상술한 바와 같은 구성을 통하여 오염가스는 상향 이동하여 벤튜리 세정기(20), 사이클론세정기(30) 및 충진탑 세정기(50)를 순차적으로 통과하여 세정되고, 디미스터(71)를 통하여 미세 물방울이 제거된 후 세정가스배출구(11)로 배출된다.

세정수는 상부에 배치된 세정액분사노즐(71)로부터 공급되어 본체(10)의 상부로부터 공급된 후 충진층(51), 사이클론 유도관(31)을 통해 오염가스의 흐름과 대향되게 하향으로 흐른다.

세정수는 또한, 벤튜리노즐(28)을 통해 벤튜리관(21)측으로 공급된다.

도 2는 도 1의 Ⅱ표시부를 도시한 확대도이다.

도 2을 참조하면, 벤튜리 세정기(20)는 적어도 2개의 벤튜리관(21)을 포함하고, 사이클론 세정기(30)는 단일의 사이클론 유도관(31)을 포함할 수 있다.

사이클론 유도관(31)은 본체(10)의 세로 중심축(V) 상에 배치되고, 사이클론 유도관(31)의 주위에 적어도 2개의 벤튜리관(21)이 배치될 수 있다.

도 2는 사이클론 유도관(31)을 중심으로 4개의 벤튜리관(21)이 배치된 것을 보여준다. 본체(10)의 세로 중심축(V) 상에 대응된 위치로 사이클론관(31)의 뒤쪽에 실질적으로 하나의 벤튜리관(보이지 않음)이 더 배치된다.

벤튜리관(21)의 가스토출구(21a)는 사이클론 유도관(31)에 접선방향으로 부착되는 것이 바람직하다. 이에 따라 벤튜리관(21)을 통과하면서 1차 세정된 가스를 원심력에 의해 사이클론 유도관(31)내로 회전 유입되도록 한다.

벤튜리 세정기(20)는 오염가스가 공급되는 메인가스공급관(23) 및 메인공급관(23)으로부터 분기되어 상기 벤튜리관(21) 각각에 연결된 적어도 2개의 가스공급관(25)을 포함할 수 있다.

이 경우 메인가스공급관(23)을 통해 오염가스가 공급되고, 메인가스공급관(23)을 통해 공급된 오염가스는 각각의 가스공급관(25)을 통해 분기되어 벤튜리관(21) 각각에 공급된다.

상술한 바와 같이 사이클론 유도관(31)의 주위에 복수개의 벤튜리관(21)을 배치함에 따라 단일 본체(10) 내에 사이클론 유도관(31) 및 벤튜리관(21)이 효율적으로 배치되어 상대적으로 더 작은 공간을 차지하면서도 세정 효율을 향상시킬 수 있다.

즉, 다수의 벤튜리관(21)을 통해 1차 세정된 세정가스는 사이클론 유도관(31)을 통해 합류되어 2차 세정된 후 충진층(51)으로 고르게 분산되므로 2차 세정된 오염가스와 충진층(51)과의 접촉 효율이 높아져 세정효율이 향상될 수 있다.

벤튜리관(21) 및 사이클론 유도관(31)은 본체(10) 내에 구비됨에 따라 벤튜리관(21) 내,외부의 압력차가 줄어들게 되어 그 두께를 얇게 제작할 수 있다.

다수의 벤튜리관(21)에 오염가스를 공급함에 있어 상술한 바와 같이 메인가스공급관(21)을 통하지 않고 벤튜리관(21) 각각에 독립적으로 연결된 가스공급관(25)에 직접 오염가스가 공급되도록 구성할 수 있다.

가스공급관(25)의 각각에는 가스조절밸브(27)가 마련되고, 가스조절밸브(27)는 수동 또는 자동제어가 가능하도록 구성할 수 있다.

이와 같이 각각의 가스공급관(25)에 가스조절밸브(27)를 구비함에 따라 운전 부하에 따라 각각의 벤튜리관(21)을 공급되는 오염가스의 유입량을 조절할 수 있어 벤튜리 세정기(20)의 효율을 일정하게 유지할 수 있다.

예를 들면, 벤튜리관(21)이 4개로 구비될 경우 각각 25%의 부하를 담당하기 때문에 부하 변동에 따른 조절은 벤튜리관(21) 각각의 유입부측에 마련된 가스조절밸브(27)의 개폐 동작을 통해 수행된다.

벤튜리관(21) 각각의 목 부분(21c)에는 세정수를 분사하는 벤튜리노즐(28)이 구비된다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치의 오염가스 이동경로를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치의 세정수 이동경로를 나타내는 도면이다.

도 3 및 도 4에서 오염가스 및 세정수의 이동경로에 관한 설명의 용이성을 위하여 본체(10)의 세로중심축(V)상에 위치하는 벤튜리관은 미 도시된다.

도 3 및 도 4을 참조하면, 오염가스는 메인공급관(23)을 통해 공급된 후 메인공급관(23)으로부터 분기된 다수의 가스공급관(25)을 통해 각각의 벤튜리관(21)으로 공급된다.

벤튜리관(21)으로 유입된 오염가스는 벤튜리관(21)의 목부분(21c)를 통과하면서 유속이 증가하게 되며, 벤튜리노즐(28)로부터 분사되는 세정수를 통해 1차 세정된다.

벤튜리관(21)을 통과하면서 1차 세정된 가스는 가스토출구(21a)를 통해 토출되어 사이클론 유도관(31)으로 유입된다.

가스토출구(21a)는 사이클론 유도관(31)에 접선 방향으로 연결되어 사이클론 유도관(31)의 내벽을 따라 접선 방향을 따라 회전하면서 상향 이동한다.

이때, 세정수는 본체(10)의 상부에 배치된 세정액분사노즐(71)을 통해 공급되고, 충진층(51) 및 사이클론 유도관(31)을 통해 하향 이동한다.

사이클론 유도관(31)을 따라 원심력으로 인해 회전하면서 상향이동하는 1차 세정된 가스는 사이클론 유도관(31)을 통해 하향 공급되는 세정수와 접촉되어 2차 세정된다.

사이클론 유도관(31)을 통과하면서 2차 세정된 가스는 계속 상승하여 충진층(51)의 하부로 유입된다.

사이클론 유도관(31)을 통과하면서 2차 세정 과정이 수행되는 동안 다수의 벤튜리관(21)을 통해서 토출된 세정가스는 고르게 분산되므로 충진층(51)에 고르게 분배된다.

충진층(51)에 고르게 분배된 2차 세정된 가스는 충진층(51)의 표면에 형성된 수막과 관성 충돌, 미세 입자의 확산 부착에 의하여 미세 입자가 포집되어 3차 세정된다.

충진층(51)을 통해서 3차 세정된 가스는 디미스터(71)를 통해 미세 물방울 및 미세입자가 최종적으로 제거된 후 세정가스토출구(11)를 통해 배출된다.

상술한 바와 같은 동작에 의해 세정 과정을 거친 세정수는 본체(10)의 하부에 수용되어 세정수토출구(13)를 통해 외부로 배출된다.

도 5는 본 발명의 일 실시 예를 따른 습식세정장치의 사이클론 세정기의 구성을 도시한 도면이다.

도 5를 참조하면, 사이클론 세정기(30)를 이루는 사이클론유도관(31)은 상,하부 확관부(33,35)를 더 포함할 수 있다.

상,하부확관부(33)의 단부는 각각 본체(10)의 내경과 대략 대응된 크기를 갖도록 구성된다. 충진층(51)을 통과한 세정수는 상부 확관부(33)를 따라 하향(화살표 A방향) 가이드되어 사이클론 유도관(31) 내부로 유입된 후 세정 동작을 수행한다.

사이클론 유도관(31) 내에서 가스를 2차 세정을 마친 더러운 세정수는 하부 확관부(33)를 따라 가이드되어 사이클론 유도관(31)을 빠져나간다.

사이클론유도관(31)의 내벽에는 나선유로부(37)가 추가로 구성될 수 있다.

나선유로부(37)는 사이클론유도관(31)을 따라 원심력에 의해 회전하는 2차 세정가스의 선회강도를 보완하기 위한 것으로서, 나선홈 또는 돌기 형태로 구성될 수 있다.

사이클론유도관(31)의 내부에는 가스의 원주방향 회전 운동을 보강하여 세정 효율을 향상시키도록 선회류유도부재(90)가 추가로 포함될 수 있다.

선회류유도부재(90)는 사이클론 유도관(31)의 길이 방향을 따라 일정 간격을 두고 배치될 수 있다. 그리하여, 가스가 지속적으로 원주방향을 따라 상향(화살표 A방향) 회전하도록 유도함으로써 세정 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.

상술한 바와 같은 나선유로부(37), 선회류유도부재(90)를 통하여 가스의 선회가 지속적으로 유지되고, 그에 따라 가스가 사이클론 유도관(31)의 내부에서 체류하는 시간이 연장되어 세정 효율이 향상된다.

도 6은 본 발명의 일 실시 예를 따른 선회류유도부재의 구성을 도시한 도면이다.

도 6을 참조하면, 선회류유도부재(90)는 사이클론 유도관(31)의 세로중심축을 기준으로 방사형으로 배치된 다수의 가이드 베인(91)을 포함할 수 있다.

가이드 베인(91)은 소정각도로 경사지게 배치되어 그 사이를 통과하는 가스가 선회되도록 가이드 하는 것으로서 그 각도 변경을 통해 선회 강도를 조절할 수 있다.

한편, 가이드 베인(91)은 소정각도로 정지상태로 배치되는 것 외에도, 각도조정이 가능토록 구성하여 가스 선회 강도를 필요에 따라 변경 적용할 수 있도록 구성될 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시 예를 따른 선회류유도부재의 구성을 도시한 도면이다.

도 7을 참조하면, 선회류유도부재(90A)는 사이클론 유도관(31)의 길이 방향을 따라 나선형으로 연속되게 형성된 나선형 가이드 베인(91A)을 포함할 수 있다.

이와 같이 나선형 가이드 베인(91A)이 사이클론 유도관(31)의 길이 방향을 따라 길게 형성됨에 따라 가스를 지속적으로 선회시킬 수 있어 세정 효율을 높일 수 있다.

본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술하는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술하는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.

1: 습식세정장치 10: 본체
20: 벤튜리 세정기 30: 사이클론 세정기
50: 충진식 세정기 61: 세정액분사노즐

Claims (17)

1. 목 부분을 갖는 적어도 하나의 벤튜리관을 갖는 벤튜리 세정기;
   오염가스가 회전 가능한 적어도 하나의 사이클론 유도관을 갖는 사이클론 세정기; 및
   적어도 하나의 충진층을 갖는 충진식 세정기
   를 포함하며,
   상기 벤튜리 세정기, 상기 사이클론 세정기 및 상기 충진식 세정기가 단일 본체내에 일체로 구성된 습식세정장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 벤튜리 세정기, 상기 사이클론 세정기 및 상기 충진식 세정기는 수평 또는 수직으로 배치된 습식세정장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 오염가스는 상기 벤튜리 세정기, 상기 사이클론 세정기, 상기 충진식 세정기순으로 통과하도록 구성된 습식세정장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 본체내의 하부에 상기 벤튜리 세정기가 배치되고,
   상기 벤튜리 세정기의 세정가스 토출구와 연통하도록 상기 벤튜리 세정기와 인접하여 상기 사이클론 세정기가 배치되고,
   상기 사이클론 세정기 상부에 상기 충진층이 배치되고,
   상기 충진층의 상부에 세정액분사노즐이 배치된 습식세정장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 본체는
   상기 본체의 상부에 구비된 세정가스배출구; 및
   상기 본체의 하부에 구비된 세정수배출구
   를 포함하는 습식세정장치.
6. 제4항에 있어서,
   상기 벤튜리 세정기는 적어도 2개의 벤튜리관을 포함하고,
   상기 사이클론 세정기는 단일의 사이클론 유도관을 포함하고,
   상기 사이클론 유도관은 상기 본체의 세로 중심축 상에 배치되고,
   상기 사이클론 유도관의 주위에 상기 적어도 2개의 벤튜리관이 배치된 습식세정장치.
7. 제5항에 있어서,
   상기 벤튜리 세정기는
   상기 오염가스가 공급되는 메인가스 공급관; 및
   상기 메인공급관으로부터 분기되어 상기 벤튜리관 각각에 연결된 적어도 2개의 가스공급관
   을 포함하는 습식세정장치.
8. 제4항에 있어서,
   상기 벤튜리 세정기는 상기 적어도 2개의 벤튜리관에 독립적으로 상기 오염가스를 공급하는 적어도 2개의 가스 공급관을 포함하는 습식세정장치.
9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
   상기 가스공급관의 각각에는 가스조절밸브가 구비된 습식세정장치.
10. 제9항에 있어서,
    상기 가스조절밸브는 수동 또는 자동제어가 가능한 습식세정장치.
11. 제1항에 있어서,
    상기 사이클론 유도관의 내면에는 나선형 유로부가 형성된 습식세정장치
12. 제11항에 있어서,
    상기 나선형 유로부는 나선형 홈 또는 돌기를 포함하는 습식세정장치.
13. 제6항에 있어서,
    상기 사이클론 유도관은 상,하부 확관부를 더 포함하는 습식세정장치.
14. 제1항에 있어서,
    상기 사이클론 유도관의 내부에는 상기 오염가스가 선회하도록 유도하는 적어도 하나의 선회류유도부재가 추가로 구비된 습식세정장치.
15. 제14항에 있어서,
    상기 선회류유도부재는 상기 사이클론 유도관의 세로중심축을 기준으로 방사형으로 배치된 다수의 가이드 베인을 포함하는 습식세정장치.
16. 제15항에 있어서,
    상기 선회류유도부재는 상기 사이클론 유도관의 길이 방향을 따라 일정 간격을 두고 복수개가 배치된 습식세정장치.
17. 제14항에 있어서,
    상기 선회류유도부재는 상기 사이클론 유도관의 길이 방향을 따라 나선형으로 연속되게 형성된 나선형 가이드 베인을 포함하는 습식세정장치.
    

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