KR20140097686A - 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법 및 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자 - Google Patents

미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법 및 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자 Download PDF

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(주)씽크루트
한국과학기술원
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Abstract

본 발명은 미세 유체 소자의 채널 표면을 친수성으로 개질하는 방법 및 개질된 미세 유체 소자에 관한 것으로, 특히 미세 유체 소자의 채널을 친수성으로 개질하여, 채널내의 유체 흐름이 신속하게 이루어지도록 하여, 원하는 반응과 검출 실험 등을 신속하게 수행할 수 있도록 하는 방법 및 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 친수성 물질의 코팅에 진공 증착 방법을 이용함으로써 유해물질이 발생하지 않는 청정공정으로, 한번에 대량으로 친수성 코팅이 가능하도록 하고, 특히 환경의 변화에 영향을 받지 않고, 상온에서 안정적인 친수성 코팅을 형성시킬 수 있다는 효과가 있으며, 적정한 두께로 형성시킬 경우, 높은 투광성을 가질 수 있어, 광학적 판독이 필요한 미세 유체 소자에도 적용이 가능하다는 장점이 있다.

Description

미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법 및 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자 {A method of reforming a hydrophilic surface of channel in micro-fluidic device and a micro-fluidic device having a hydrophilic channel.}
본 발명은 미세 유체 소자의 채널 표면을 친수성으로 개질하는 방법 및 개질된 미세 유체 소자에 관한 것으로, 특히 미세 유체 소자의 채널을 친수성으로 개질하여, 채널내의 유체 흐름이 신속하게 이루어지도록 하여, 원하는 반응과 검출 실험 등을 신속하게 수행할 수 있도록 하는 방법 및 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자에 관한 것이다.
바이오 미세 전자기계 시스템 분야에서, 특히 화학 분석 또는/및 질병 조기 진단 등에 사용되는 마이크로 시스템, 예를 들어, 바이오 랩온어칩(bio lab on a chip) 분야에서는 소형화, 저가격화, 집적화, 자동화 및 실시간 진단이 가능한 방향으로 연구가 진행되고 있다.
일반적으로 바이오 미세 전자기계 시스템(Bio-Micro Electro Mechanical Systems : Bio-MEMS) 분야에서, 질병의 조기 진단 또는/및 화학 분석 등과 같은 과정을 작은 칩(chip) 상에서 수행하기 위해서는 가능한 한 초미량의 유체를 이송, 정지, 혼합 및 반응시킬 수 있는 미세 유체 제어에 관한 기술이 반드시 요구된다.
이러한 미세 유체 제어의 관점에서, 미세유체 소자의 채널 표면을 친수성으로 개질하는 것은, 채널 내 유체의 흐름 특성을 조절하는 매우 중요한 요소이다. 최근들어 큰 관심을 모으고 있는 바이오칩의 경우, 대부분의 유체가 물을 기반으로 하는 친수성 매질인데 반해, 소자의 채널 표면은 재료적 또는 구조적인 특성에 기인하는 소수성 표면을 갖는 경우가 많다. 소수성 표면은 미세채널 내에서 물의 이동 속도를 저해하고, 유체 주입 압력을 상승시키며, 심한 경우, 물이 채널을 통과하지 못하고, 종국에는 유체 주입 압력 과다로 소자의 밀폐성이 파괴되는 현상이 발생하는 문제점을 야기하기도 한다.
소재적인 관점에서, 필름이나 플라스틱과 같은 고분자(polymer) 계열은 기존의 실리콘 웨이퍼나 유리 기판에 비하여 저렴한 가격으로 비교적 미세한 구조를 갖는 소자를 만들 수 있기 때문에, 최근의 바이오칩 제작에서 주목을 받고 있는 소재이다. 고분자(polymer) 계열의 재질은 정도의 차이는 있으나 대부분 소수성 표면을 가지는 경우가 많다. 이러한 고분자 기반의 디바이스 표면을 친수성으로 개질하기 위해서는, 산소 플라즈마 또는 대기 중 코로나 방전으로 고분자 표면을 -OH 로 개질하거나, 친수성 말단기를 갖는 화학물질을 박막으로 코팅하는 방법 등이 종래에 시도되어 왔다. 산소 플라즈마 또는 코로나 방전을 이용하는 방식은 표면 개질이 유지되는 시간이 5시간 내외로 비교적 짧기 때문에 친수성 표면이 장시간 보존해야 하는 소자의 경우 적합하지 않은 단점이 있다. 화학물질을 박막으로 코팅하는 방법은 표면 개질 과정에서 유해화학물질을 사용해야 하는 환경적 부담과, 코팅막이 외부 환경 인자에 의하여 쉽게 손상된다는 문제점이 있다.
일반적으로, 에이즈, 백혈병 또는 빈혈 등의 질병을 가진 환자들에 대하여 이러한 질병을 진단하고, 질병의 진행 경과를 모니터링하며, 치료 효과를 파악하기 위해서는 이들 환자들의 혈액 중에서 상기 질병들과 관련된 특정 백혈구 또는 적혈구와 같은 체세포를 관찰하고, 그의 개체수를 계수하여 그 분포를 파악할 필요가 있다. 이와 같이, 시료 중에 존재하는 미세입자 예를 들어 체세포 등을 관찰하고, 계수하고자 하는 경우에 사용하는 랩온어칩(Lab-on-a-Chip)은 미세입자를 포함하는 시료를 충전하기 위한 비등방성 에칭으로 형성된 유로를 갖는 유리, 실리콘 또는 플라스틱 기판으로 형성되는 바, 상기 유로의 일측에는 시료 투입구가 형성되어 있고, 타측에는 시료 배출구가 형성되어 있다. 특히, 바이오칩 분야의 경우, 미국의 Micronics사(社)의 국제공개공보 (WO02/082057)에는 플라스틱으로 구성된 챔버 내에 주입되는 유체 시료의 제어 및 화학 반응을 할 수 있는 구조물을 이용하는 기술이 게시되어 있으나, 이는 유체 유로를 통과하는 유체의 흐름이 매우 느리게 진행되어 실험과 검출과정에 장시간이 소요된다는 문제점이 있다.
본 발명은 앞서 본 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 제 1 목적은 친수성 채널을 형성시켜 미세 유체의 반응과 검출을 더 빠르게 수행하기 위함이다.
또한, 본 발명의 제 2 목적은 미세 유체 소자를 구성하는 상판과 하판을 별도로 제작하여 각각 채널 표면을 친수성 박막으로 코팅시킴으로써 내부에 존재하는 채널 표면을 간편하게 친수성으로 개질하는 방법을 제공하는 것이다.
마지막으로는 진공 장비 증착을 이용함으로써 한번에 대량으로 친수성 코팅을 가능하도록 하고, 특히 환경의 변화에 영향을 받지 않고, 상온에서 안정적인 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 얻는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함한다.
즉, 본 발명의 미세 유체 소자의 채널의 친수성 코팅 방법은, 상기 미세 유체 소자를 구성하는 상판과 하판을 별도로 준비하고, 상기 상판과 하판을 각각 세척액이 담긴 초음파 세척기에 넣고 세척한 후, 상기 세척된 상판과 하판에 비반응성 가스를 불어주어 상판 표면에 남은 세척액을 제거하여, 코팅면이 세척된 상하판을 준비한다.
이후, 친수성 물질로 이루어진 타겟이 설치된 스퍼터링(sputtering) 장치의 챔버(chamber) 내에 상기 상판과 하판을 하나의 기판대위에 장착하고, 상기 상판과 하판이 놓여져 있는 기판대를 회전시키면서, 상기 챔버 내를 플라즈마 상태로 하여, 친수성 물질을 상기 상판과 하판 위에 증착하여 채널 내부 표면이 친수성을 갖도록 한다.
또한, 본 발명은 이와 같이 친수성 물질이 코팅된 상판과 하판을 초음파 접합기에 넣고, 상부에서 초음파를 가함으로써, 진동에너지에 의한 마찰열을 접합부위에 발생시켜, 이로써 접합이 이루어진 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제조할 수 있다.
본 발명의 채널 표면을 친수성으로 코팅하는 방법은 미세 유체 소자의 내부에 친수성 채널을 형성시켜 미세 유체의 반응과 검출을 더 빠르게 할 수 있는 제1 효과를 갖는다.
또한, 본 발명의 제 2 효과는 미세 유체 소자를 구성하는 상판과 하판을 별도로 제작하여 각각 채널 표면을 친수성 코팅 시킴으로써 내부에 존재하는 채널 표면을 간편하게 친수성으로 코팅할 수 있다.
제 3효과로는 친수성 물질의 코팅에 진공 증착 방법을 이용함으로써 유해물질이 발생하지 않는 청정공정으로, 한번에 대량으로 친수성 코팅이 가능하도록 하고, 특히 환경의 변화에 영향을 받지 않고, 상온에서 안정적인 친수성 코팅을 형성시킬 수 있다는 효과가 있다.
마지막으로는 적정한 두께로 형성시킬 경우, 높은 투광성을 가질 수 있어, 광학적 판독이 필요한 미세 유체 소자에도 적용이 가능하다는 장점이 있다.
도 1은 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제작하는 순서도이다.
도 2는 본 발명에 따라 제작된 미세 유체 소자를 나타내는 도면이다.
도 3은 친수성물질이 코팅된 기판의 접촉각을 미코팅된 기판과 비교한 사진이다.
도 4는 친수성 채널을 갖는 미세유체소자의 주입구 부분에 반응유체를 떨어뜨렸을 때를 미코팅된 미세유체 소자와 비교한 사진이다.
도 5는 친수성 채널을 갖는 미세유체소자의 채널로 반응유체가 이동되는 과정을 미코팅된 미세유체 소자와 비교한 사진이다
이하 본발명을 실시예와 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명하도록 한다.
본 발명의 미세 유체 소자의 채널의 친수성 코팅 방법은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 미세 유체 소자를 구성하는 상판과 하판을 별도로 준비하고, 상기 상판과 하판을 각각 세척액이 담긴 초음파 세척기에 넣고 세척한 후, 상기 세척된 상판과 하판에 비반응성 가스를 불어주어 상판 표면에 남은 세척액을 제거하여, 코팅면이 세척된 상하판을 준비한다. 이렇게 준비된 상기 상판과 하판을 친수성 물질이 위치된 건식 증착장치의 기판대 위에 장착하고, 상기 상판과 하판이 놓여져 있는 기판대를 회전시키면서, 상기 챔버 내를 플라즈마 상태로 하여, 친수성 물질을 상기 상판과 하판 위에 증착하여 채널 내부 표면이 친수성을 갖도록 한다. 이때 플라즈마 상태를 유지하기 위하여 챔버 내부로 공급하는 가스는 질소, 아르곤, 산소, 수소, 헬륨, 공기 중의 적어도 하나 이상을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 건식 증착장치는 플라즈마 또는 E-beam을 이용한 스퍼터링(Sputtering) 장치, 화학기상증착(Chemical Vapor Depostion) 장치, 또는 진공 증발 증착 장치(Evaporator) 중의 어느 하나일 수 있으며, 사용자가 원하는 목적에 따라 선택하여 공정을 수행할 수 있다.
그후, 이와 같이 친수성 물질이 코팅된 상판과 하판을 초음파 접합기에 넣고, 상부에서 초음파를 가함으로써, 진동에너지에 의한 마찰열을 접합부위에 발생시켜, 이로써 접합이 이루어진 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제조할 수 있다.
이를 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 상판과 하판은 상기 상판과 하판을 접합시켰을 때, 내부에 합체된 채널이 형성될 수 있도록, 대응되는 위치에 대응되는 형상이 표면에 위치하도록 가공된 것이고, 상기 상판, 하판, 및 미세 유체 소자는 고분자(polymer)계열의 물질, 금속, 또는 비결정질(amorphous) 물질 중의 어느 하나의 재질로 이루어질 수 있다.
특히, 상기 고분자(polymer)계열의 물질은 스틸렌계 수지, 염화비닐계 수지, 프로필렌계 수지, 실리콘 고무, 아크릴 수지, 아미드계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 에틸렌-프로필렌 고무, 폴리비닐부티랄 수지 및 폴리우레탄 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하여 이루어질 수 있으나, 이로써 제한되는 것이 아님은 물론이다.
또한, 상기 세척액은 아세톤, 알코올, DI(De-Ionized) Water 중의 적어도 어느 하나를 포함하여 구성될 수 있으나, 이로써 제한되지 않으며, 사용자의 목적에 따라 자유로이 선택하여 사용할 수 있다. 상기 비반응성 가스는 미세 유체 소자를 구성하는 물질과 반응이 일어나지 않는 가스로, 질소, 아르곤, 공기, 헬륨, 수소, 산소 중의 적어도 어느 하나를 포함하나, 이로 제한되지는 않으며, 사용자의 목적에 따라 자유로이 선택하여 사용할 수 있다.
상기 스퍼터링 장치 내의 상기 타겟을 구성하는 상기 친수성 물질은 실리콘 옥사이드(SiOx), 티타늄옥사이드(TiOx), 알루미늄 옥사이드(AlxOy) 등과 같은 옥사이드 계열의 물질 중의 적어도 어느 하나를 포함하여 구성될 수 있으며, 증착후의 상온에서의 안정성과 투광도 등을 고려할 때 실리콘 옥사이드(SiOx)를 사용하는 것이 바람직하나, 이로써 제한되지는 않는다.
또한 스퍼터링 과정중 코팅막의 균일한 증착과 안정된 막의 구조를 얻기 위해, 상기 기판대의 회전속도는 1 내지 1,000 rpm 이고, 증착온도는 0 내지 600℃ 에서 증착하는 것이 바람직하나, 마찬가지로 이로 제한되는 것은 아니다.
특히 친수성 코팅이 너무 얇으면 친수성을 유지하고, 안정적으로 내구성을 가지기가 어렵고, 두꺼우면, 추후의 초음파 본딩이나 투광도를 유지하기가 곤란하기 때문에, 코팅 두께를 적절히 조절하는 것이 중요하다. 바람직하게는 상기 상판과 하판에 코팅된 상기 친수성 물질의 두께는 1 내지 10,000 nm 인 것이며, 더욱 바람직하게는 5 내지 40 nm의 두께를 갖는 것이다
도 2는 일반적인 미세 유체 소자(100)의 형태를 나타낸 것으로, 반응 시약 또는 반응 유체를 주입하기 위한 다수 개의 주입구(110), 주입구(110)를 통해 유입된 상기 시약 또는 유체를 유동시키기 위한 채널들(120), 상기 채널(120)을 통해 유동된 반응 시약 또는 유체를 검출하기 위한 배출구(130)를 포함하게 된다.
본 발명인 친수성 코팅의 효과와 친수성 채널을 갖는 미세유체소자(100)의 유동 특성 등을 알아보기 위해, 친수성 코팅된 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제조하여, 코팅되지 않은 미세 유체 소자와 특성을 비교하였다.
먼저 2개의 COC(Cyclic Olefin Copolymer) 기판에 내부에 합체된 채널이 형성될 수 있도록, 대응되는 위치에 대응되는 형상이 표면에 위치하도록 가공하여 상판과 하판을 준비하였다. 이후, 상판과 하판을 아세톤과 알코올 용액에서 5분간 초음파 세척을 하여 표면 크리닝을 한 후, 질소(N2)가스를 블로잉(blowing)장치를 이용하여 불어주어 표면에 남은 알코올을 제거하였다.
표면이 세척된 COC(Cyclic Olefin Copolymer) 상판과 하판을 실리콘옥사이드 타겟이 설치된 스퍼터의 챔버(Chamber)에 장착 한 후, 진공 펌프를 이용하여 챔버 내의 상태를 진공을 만들었다. 질소, 아르곤, 산소, 수소, 헬륨, 공기 중의 적어도 하나 이상을 포함하는 가스를 챔버 내부에 적정 진공도로 공급하여 챔버 내부에 플라즈마를 형성한다. 이때 기판을 일정한 속도로 회전시키면서 실리콘옥사이드 박막을 증착하는데, 증착막의 두께는 약 5 nm 정도가 되도록 증착하였다.
이때, 실리콘 옥사이드 막이 증착된 COC(Cyclic Olefin Copolymer)기판(101)과 증착되지 않은 COC(Cyclic Olefin Copolymer)기판(201)에 각각 물방울을 떨어뜨려 계면의 접촉각을 측정하였는데, 도 3은 이를 측면부에서 촬영한 사진이다.
접촉각을 측정한 결과, 실리콘 옥사이드 막이 증착되지 않은 COC(Cyclic Olefin Copolymer)기판(201)은 접촉각이 79°이다가, 실리콘 옥사이드 막이 증착된 COC(Cyclic Olefin Copolymer)기판(101)은 접촉각이 26°로 낮아지는 것을 확인하였다.
이는 기판과 물간의 표면에너지보다 실리콘 옥사이드막과 물 간의 표면에너지가 더 낮기 때문에 나타나는 현상으로, 표면에너지가 낮아져, 물이 기판 표면에서 훨씬 더 쉽게 빠르게 이동할 수 있음을 의미한다.
그후, 이와 같이 친수성 물질이 코팅된 상판과 하판을 초음파 접합기에 넣고, 상부에서 초음파를 가함으로써, 진동에너지에 의한 마찰열을 접합부위에 발생시켜, 이로써 접합이 이루어진 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제조하였다.
도 4, 도 5는 상기 실리콘 옥사이드 막이 채널 표면에 증착된 미세 유체 소자(200)와 채널에 실리콘 옥사이드 막이 증착되지 않은 미세 유체 소자(100)에 각각 유색 반응 유체(400)를 떨어뜨려 유체의 유동을 관찰한 사진이다.
도 4 는 유색 반응 유체(400)를 주입구(110, 210) 주변에 떨어뜨린 직 후의 사진으로, (a)는 채널에 실리콘 옥사이드 막이 증착되지 않은 미세 유체 소자(100)의 경우로 유색 반응 유체(400)가 채널 내부로 흘러들어가지 못하고 주입구(110) 주위에 그대로 남아있는 것을 볼 수 있다.
이에 대해, (b)는 실리콘 옥사이드 막이 채널 표면에 증착된 미세 유체 소자(200)의 경우로, 유색 반응 유체(400)가 곧바로 채널 내부로 흘러들어가 주입구(210) 주변으로 퍼지는 것을 볼 수 있다.
또한, 도 5는 유색 반응 유체(400)를 주입구(110, 210) 주변에 떨어뜨리고 일정 시간이 지난 후의 사진으로, (a)는 채널에 실리콘 옥사이드 막이 증착되지 않은 미세 유체 소자(100)의 경우로 유색 반응 유체(400)가 채널(120) 내부로 전혀 흘러들어가지 못한 채, 주입구(110) 주위에 계속해서 그대로 남아있는 것을 볼 수 있다.
이에 반해 (b)는 실리콘 옥사이드 막이 채널 표면에 증착된 미세 유체 소자(200)의 경우로, 유색 반응 유체(400)가 곧바로 채널(220) 내부로 흘러들어가 이미 배출구(230) 주변까지 이동된 것을 볼 수 있다.
따라서, 본 발명에 따라 제작된 친수성 채널(220)을 갖는 미세 유체 소자(200)의 경우, 반응 유체(400)의 유동이 쉽고 원활해져, 반응과 검출 시간을 크게 단축시킬 수 있다.
본 발명을 첨부된 도면과 함께 설명하였으나, 이는 본 발명의 요지를 포함하는 다양한 실시 형태 중의 하나의 실시예에 불과하며, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 하는 데에 그 목적이 있는 것으로, 본 발명은 상기 설명된 실시예에만 국한되는 것이 아님은 명확하다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 하기의 청구범위에 의해 해석되어야 하며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위내에서의 변경, 치환, 대체 등에 의해 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함될 것이다. 또한, 도면의 일부 구성은 구성을 보다 명확하게 설명하기 위한 것으로 실제보다 과장되거나 축소되어 제공된 것임을 명확히 한다.
100 : 미세유체소자 101 : 미코팅된 COC기판
110 : 주입구 120 : 채널
130 : 배출구
200 : 친수성 채널 미세유체소자 201 : 친수 코팅된 COC기판
210 : 친수성 주입구 220 : 친수성 채널
230 : 친수성 배출구
300 : 물 400 : 반응유체

Claims (16)

  1. 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법에 있어서,
    (i) 상기 미세 유체 소자를 구성하는 상판과 하판을 준비하는 단계;
    (ii)상기 상판과 하판을 세척액이 담긴 초음파 세척기에 넣고 세척하는 단계;
    (iii)상기 세척된 상판과 하판에 비반응성 가스를 불어주어 상판 표면에 남은 세척액을 제거하는 단계;
    (iv) 상기 세척된 상판과 하판을 친수성 물질이 위치된 건식 증착장치의 기판대 위에 장착하는 단계;
    (v)상기 상판과 하판이 놓여져 있는 기판대를 회전시키면서, 친수성 물질을 상기 상판과 하판 위에 증착하는 단계;
    (vi)상기 친수성 물질이 증착된 상기 상판과 하판을 상기 챔버에서 꺼내는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 건식 증착장치는 플라즈마 또는 E-beam을 이용한 스퍼터링(Sputtering) 장치, 화학기상증착(Chemical Vapor Depostion) 장치, 또는 진공 증발 증착 장치(Evaporator) 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 상판과 하판은 상기 상판과 하판을 접합시켰을 때, 내부에 합체된 채널이 형성될 수 있도록, 대응되는 위치에 대응되는 형상이 표면에 위치하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상판, 하판, 및 미세 유체 소자는 고분자(polymer)계열의 물질, 금속, 또는 비결정질(amorphous) 물질 중의 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 고분자(polymer)계열의 물질은 스틸렌계 수지, 염화비닐계 수지, 프로필렌계 수지, 실리콘 고무, 아크릴 수지, 아미드계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 에틸렌-프로필렌 고무, 폴리비닐부티랄 수지 및 폴리우레탄 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 세척액은 아세톤, 알코올, DI(De-ionized) Water 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 비반응성 가스는 질소, 아르곤, 공기, 헬륨, 수소, 산소 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 친수성 물질은 실리콘 옥사이드(SiOx), 티타늄옥사이드(TiOx), 알루미늄 옥사이드(AlOx) 등과 같은 옥사이드 계열 물질 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 (v)단계에서 상기 기판대의 회전속도는 1 내지 1,000 rpm 이고, 증착온도는 25 내지 600℃인 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 상판과 하판에 코팅된 상기 친수성 물질의 두께는 1 내지 10,000 nm 인 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법.
  11. 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제작하는 방법에 있어서,
    (a) 상기 제1항 내지 제10항의 방법으로 제작된, 친수성 물질이 코팅된 상판과 하판을 준비하는 단계;
    (b) (a)단계의 상판과 하판을 초음파 접합기를 이용하여 접합하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제작하는 방법.
  12. 미세 유체 소자에 있어서,
    반응 시약 또는 반응 유체를 주입하기 위한 다수 개의 주입구;
    주입구를 통해 유입된 상기 시약 또는 유체를 유동시키기 위한 채널;
    상기 채널을 통해 유동된 반응 시약 또는 유체를 검출하기 위한 배출구;
    를 포함하고,
    상기 채널의 내측 표면은 친수성 물질로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 미세 유체 소자는, 고분자(polymer)계열의 물질, 금속, 또는 비결정질(amorphous) 물질 중의 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 고분자(polymer)계열의 물질은 스틸렌계 수지, 염화비닐계 수지, 프로필렌계 수지, 실리콘 고무, 아크릴 수지, 아미드계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 에틸렌-프로필렌 고무, 폴리비닐부티랄 수지 및 폴리우레탄 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 친수성 물질은 실리콘 옥사이드(SiOx), 티타늄옥사이드(TiOx), 알루미늄 옥사이드(AlOx) 등과 같은 옥사이드 계열 물질 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 친수성 물질의 코팅 두께는 1 내지 10,000 nm 인 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
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