KR20140088189A

KR20140088189A - 시간기반의 장비 센서 데이터 및 재료기반의 계측 통계적 프로세스 제어 데이터의 양방향적 연관 및 그래픽적 획득

Info

Publication number: KR20140088189A
Application number: KR1020147014582A
Authority: KR
Inventors: 브래드 슐제; 조셉 독스
Original assignee: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority date: 2011-10-31
Filing date: 2012-10-31
Publication date: 2014-07-09
Also published as: WO2013067053A1; CN104067232A; KR102043928B1; US20130110263A1; TW201339779A; CN104067232B; TWI617906B; US9915940B2

Abstract

센서 데이터를 계측 데이터에 링크시키기 위한 그리고 계측 데이터를 센서 데이터에 링크시키기 위한 방법 및 시스템이 여기에서 설명된다. 일 실시예에서, 제품에 대한 계측 데이터의 사용자 선택이 수신되고, 선택된 제품에 대한 계측 데이터에 대한 관련된 프로세스 툴 오류 검출 요약이 제시되고, 상기 프로세스 툴 오류 검출 요약으로부터의 프로세스 툴의 사용자 선택이 수신되고, 그리고 선택된 프로세스 툴에 대한 관련된 오류 검출 상세내용들이 제시된다.

Description

시간기반의 장비 센서 데이터 및 재료기반의 계측 통계적 프로세스 제어 데이터의 양방향적 연관 및 그래픽적 획득{BI-DIRECTIONAL ASSOCIATION AND GRAPHICAL ACQUISITION OF TIME-BASED EQUIPMENT SENSOR DATA AND MATERIAL-BASED METROLOGY STATISTICAL PROCESS CONTROL DATA}

본원 발명은 제조 설비에서 데이터를 프로세싱하는 것에 관한 것이고, 보다 특히, 시간-기반의 장비 센서 데이터를 재료-기반의 계측 통계적 프로세스 제어 데이터와 링크(link) 시키는 것에 관한 것이다.

제조시에, 예를 들어, 반도체 디바이스 제조시에, 제품 품질이 계측 툴들을 이용하여 직접적으로 그리고 프로세스 장비 센서들을 모니터링하는 것에 의해서 간접적으로 측정된다. 이러한 정보는 제조 라이프사이클 내의 상이한 시간들에서 수집되고 상이한 공급자들로부터의 독립적이고 분리된 데이터베이스들 내에 저장된다. 제조 엔지니어가 프로세스 툴 또는 결과적인 제품에서 문제를 식별할 필요가 있을 때, 그 엔지니어는 어렵고 비용이 들어가는 프로세스를 거쳐야 한다. 예를 들어, 엔지니어가 제품에서 잠재적인 문제를 발견하였을 때, 제품의 경보(alarming) 특성을 탐색하기 위해서, 그리고 로트(lot) ID, 웨이퍼 ID, 레시피 명칭, 등과 같은 제품에 대한 정보를 기술(write down)하기 위해서 엔지니어는 상응하는 계측 데이터를 검토하여야 한다. 이어서, 제품의 제조에서 이용되었던 프로세스 툴을 탐색하기 위해서, 엔지니어는 다른 애플리케이션을 론칭(launch)하여야 하고, 제품에 대한 정보를 수작업으로 입력하여야 하고, 그리고 시계열적(time series) 센서 데이터를 통해서 검색하여야 한다. 유사하게, 엔지니어가 프로세스 툴의 경보 특성을 이용하여 오류 검출 평가를 시작할 때, 엔지니어는 비효율적이고 에러 발생이 쉬운 프로세스와 직면한다.

일 실시예에서, 오류 검출 상세내용들의 사용자 선택이 수신될 수 있을 것이고, 그리고 선택된 오류 검출 상세내용들에 대한 관련된 미가공(raw) 센서 데이터 및/또는 관련된 오류 검출 경향(trend) 차트가 제시될 수 있을 것이다. 일 실시예에서, 센서 데이터의 사용자 선택이 수신될 수 있고, 선택된 센서 데이터에 대한 관련된 통계적 프로세스 제어 요약 데이터가 제시될 수 있고, 통계적 프로세스 제어 차트의 사용자 선택이 수신될 수 있으며, 그리고 상기 선택된 통계적 프로세스 제어 차트가 제시될 수 있을 것이다.

유사한 참조 기호들이 유사한 요소들을 나타내는 첨부 도면들 내의 도면들에서, 본원 발명이 예로서 그리고 비제한적으로 설명되어 있다. 이러한 개시 내용의 하나의("an" 또는 "one) 실시예에 대한 상이한 언급들이 반드시 동일한 실시예에 대한 것이 아니고, 그러한 언급들이 적어도 하나를 의미한다는 것을 주목하여야 할 것이다.
도 1은 본원 발명의 실시예에 따른 제조 시스템을 도시한 블록도이다.
도 2는 본원 발명의 실시예에 따라 계측 데이터를 센서 데이터에 링크시키기 위한 방법의 흐름도이다.
도 3은 도 2의 방법에 대한 예시적인 그래픽 사용자 인터페이스들을 도시한다.
도 4는 본원 발명의 실시예에 따라 센서 데이터를 계측 데이터에 링크시키기 위한 방법의 흐름도이다.
도 5는 도 4의 방법에 대한 예시적인 그래픽 사용자 인터페이스들을 도시한다.
도 6은 예시적인 연산 디바이스를 도시한 블록도이다.

발명의 실시예들은, 프로세스 툴들로부터 수집된 시계열적 센서 데이터 및 오류 검출(FD) 결과들 제품 측정들로부터 수집된 계측 데이터(예를 들어, 통계적 프로세스 제어(SPC) 데이터)와 링크시키는 것에 의해서 제조 데이터를 프로세싱하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 발명의 실시예들이 또한 리포팅(reporting) 방법을 제공하고, 그에 따라 엔지니어들이 센서 데이터(예를 들어, 프로세스 툴 데이터)로부터 계측 데이터(예를 들어, SPC 제품 제어 값)에 걸쳐서 및/또는 계측 데이터로부터 센서 데이터에 걸쳐서 쉽게 훈련할 수 있다. 본원 발명의 양태들에 따라서, 데이터 연관들은, 센서 데이터로부터의 문구 속성들(context attributes)(예를 들어, 툴 식별자들, 동작(run) 식별자들, 및 동작 시작 시간들)의 특별한 세트와 계측 데이터로부터의 유도된 특유의 측정(예를 들어, 샘플) 식별자들 사이의 특유의 관계들을 적용하는 것에 의해서 결정된다(resolved). 유사한 방법론이 FD 데이터, 동작 대 동작 제어 데이터, 장비 성능 트랙킹(tracking), 제품 수득(yield) 데이터, 및 장비 유지보수 관리 시스템들, 등의 이용에 적용될 수 있을 것이다.

결과적으로, 프로세스 툴들과 계측 툴들 사이에서 데이터 및 리포팅을 링크시키는 향상되고 강력한 교차-훈련(cross-drilling)을 위한 핵심적인 기반(core foundation)이 제공된다. 또한, 전체 제조 프로세스를 구성하는 관련되지 않은 요소들(예를 들어, 데이터)을 조합하는 것에 의해서 근본-원인 분석 프로세스가 촉진되고, 그에 따라 장비 중단 시간들의 단축 및 보다 큰 제품 수득을 유도한다.

도 1은, 네트워크를 통해서 장비 엔지니어링 시스템(EES)(102)에 커플링된 제조 실행 시스템(MES)(106) 및 제조 기계들(108)(예를 들어, 프로세스 또는 계측 툴들)을 포함하는 제조 시스템(100)을 도시한 블록도이다. 또한, EES(102)가 네트워크를 통해서 SPC 시스템(104)에 커플링된다. EES(102)이 네트워크를 통해서 EES 데이터베이스(110) 및 EES 클라이언트들(112)에 추가로 커플링될 수 있을 것이고, 그리고 SPC 시스템(104)이 네트워크를 통해서 SPC 클라리언트들(114)에 커플링될 수 있을 것이다. MES(106), EES(102), 및 SPC 시스템(104)은 각각, 서버 컴퓨터들, 데스크탑 컴퓨터들, 랩탑 컴퓨터들, 태블릿 컴퓨터들, 노트북 컴퓨터들, PDAs(개인 정보 단말기), 모바일 통신 디바이스들, 셀 폰들, 스마트 폰들, 핸드-헬드 컴퓨터들, 또는 유사한 연산 디바이스들을 포함하는 하나 또는 둘 이상의 연산 디바이스들에 의해서 호스팅될(hosted) 수 있다.

EES(102)은 계측 툴들 및/또는 MES(106)으로부터 계측 데이터를 수신하고 그리고 상기 계측 데이터를 SPC 시스템(104)으로 송신한다. SPC 시스템(104)은 상기 계측 데이터를 적절한 차트들(예를 들어, 두께, 에칭 레이트, 비저항, 입자 카운트(count))에 적용하고, 위반사항들(violations)(예를 들어, 미리 규정된 문턱값을 초과하거나 그에 미달하는 제품 특성들)을 검출하기 위해서 상기 계측 데이터를 분석하고, 검출된 위반사항을 가지는 제품에 관한 정보(예를 들어, 로트 ID, 웨이퍼 ID, 레시피 명칭)를 생성하고, 그리고 이러한 정보를 EES(102)으로 제공한다. 또한, SPC 시스템(104)은 SPC 차트들을 SPC 클라이언트들(114)로 제공하고, 상기 SPC 클라이언트들은 개인용 컴퓨터들, 랩탑들, 모바일 폰들, 등과 같은 클라이언트 디바이스들에 의해서 호스팅되는 씨크(thick) 클라이언트 애플리케이션들 및/또는 웹-기반의 브라우저 애플리케이션들일 수 있을 것이다.

EES(102)은, 분해된(disjointed), 시간-기반의 장비 센서 데이터 및 재료-기반의 계측 데이터(예를 들어, SPC 데이터)의 양-방향적 연관 및 그래픽적 획득을 제공하는 온라인 FD 리포팅 툴(120)을 호스팅할 수 있을 것이다. 특히, FD 리포팅 툴(120)은 검출된 위반사항을 가지는 제품에 관한 계측 데이터를 수신하고, 그리고 검출된 위반사항을 가지는 제품을 제조하기 위해서 이용되는 프로세스 툴에 대한 식별 정보를 탐색한다. EES 데이터베이스(110)로부터의 특별한 질의들(queries)의 세트를 이용하여 결정되는 이러한 식별 정보는 툴 ID, 동작 ID, 동작 시작 시간을 포함한다. 이어서, 툴(120)이 식별 정보 및 식별된 프로세스 툴과 연관된 센서 데이터를 EES 데이터베이스(110) 내에 저장할 수 있고, 상기 EES 데이터베이스는 EES(102)과 동일한 기계 또는 분리된 기계(들)에 의해서 호스팅될 수 있을 것이다. 이하에서 보다 구체적으로 설명하는 바와 같이, FD 리포팅 툴(120)이 또한 프로세스 툴(예를 들어, FD)의 경보 매개변수들을 포함하는 센서 데이터를 상기 프로세스 툴에 의해서 만들어진 제품의 계측 특성들을 포함하는 계측 데이터와 상호 관련시킬 수 있을 것이다. FD 리포팅 툴(120)은 또한 센서 및 계측 데이터를 링크시키는 그래픽 사용자 인터페이스들(GUIs)을 제공하고 그리고 제품 및 장비 품질에 관한 신속하고 정확한 정보를 사용자들에게 제공할 수 있을 것이다. GUIs는 EES 클라이언트들(112) 상에서 제시되고, 상기 EES 클라이언트들은 씨크 클라이언트 애플리케이션들 및/또는 웹-기반의 브라우저 클라이언트들일 수 있을 것이다.

일 실시예에서, 제품이 프로세스 툴 상에서 동작될 때, 센서 데이터가 MES(106) 또는 프로세스 툴(108)에 의해서 실시간으로 EES(102)으로 제공되고 EES 데이터베이스(110) 내에 저장된다. 이어서, EES(102)이 프로세스 툴의 센서 데이터에 대한 FD 분석을 실시하고 그 결과들을, TOOL id들, RUN id들, RUN 시작 시간들, 및 RECIPE id들과 같은 문구와 함께 EES 데이터베이스(110)에 저장한다. 이어서, 계측 툴(108)이 계측 데이터(예를 들어, 제품 속성들)를 측정하고 이러한 측정치들을 EES(102)으로 제공하고, 상기 EES는 상기 계측치들을 SPC 시스템(104)으로 송신한다. SPC 시스템(104)은, 특유의 샘플 식별자들, 위반사항 식별자들, 교정 작용 정보, 및 유효(effected) 차트 식별자들과 같은 언급(reference)을 SPC 결과들(또는 SPC 요약 데이터)로 다시 보낸다.

일 실시예에서, FD 리포팅 툴(120)은, 하나 또는 둘 이상의 측정된 제품 속성들에 영향을 미칠 수 있는 프로세스 단계들 또는 작업들을 연관시키기 위한 구성을 사용자가 제공할 수 있게 한다. 이러한 구성은, 데이터 수집 전략이 시스템(100)에 대해서 규정되었을 때, 이루어진다. 이어서, FD 리포팅 툴(120)은 구성된 프로세스 단계들 및 작업들에 대한 과거의 FD 결과들에 대한 언급들을 수집하고, 그리고 리포팅을 위해서 SPC 결과들과 EES 데이터베이스(110) 내의 센서 데이터(예를 들어, FD 및 프로세스 툴 데이터) 사이의 링키지를 저장한다.

도 2는 계측 데이터를 센서 데이터에 링크시키기 위한 방법(200)의 하나의 실시예의 흐름도이다. 도 3은 도 2의 방법(200)에 대한 예시적인 그래픽 사용자 인터페이스들을 도시한다. 방법(200)은, 도 1에 도시된 바와 같이, EES(102)에 의해서 실시될 수 있을 것이다. 예를 들어, 방법(200)은 도 1의 EES(102)의 FD 리포팅 툴(120)에 의해서 실시될 수 있을 것이다.

방법(200)은 SPC 위반사항을 나타내는 계측 데이터(예를 들어, 제품 측정)의 사용자 선택을 수신하는 EES(102)로 시작된다(블록(202)). 여기에서, 사용자는 SPC 제어 차트 상에서 제품 측정을 선택할 수 있을 것이다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 사용자가 SPC 제어 차트 GUI(300)으로부터 제품 측정을 선택할 수 있을 것이다.

제품 측정의 사용자 선택이 일단 수신되면, EES(102)은 EES 데이터베이스(110)에 질의하는 것에 의해서 선택된 제품 측정과 관련된 FD 요약 데이터를 획득한다(블록(204)). 이어서, EES(102)은 관련된 프로세스 툴 FD 요약 데이터를 사용자에게 제시한다(블록(206)). 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, FD 요약 데이터가 프로세스 툴 GUI(302)에 의해서 FD 카운트들로서 제시될 수 있을 것이다.

다음에, 사용자가 FD 요약 데이터로부터 관심이 있는 프로세스 툴을 선택한다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 사용자가 프로세스 툴 GUI(302)에 의해서 FD 카운트들 상의 프로세스 툴 ETCH_01을 선택할 수 있을 것이다. 이어서, EES(102)이 관심이 대상인 프로세스 툴의 사용자 선택을 수신한다(블록(208)).

사용자 선택이 일단 수신되면, EES(102)은, 사용자 선택된 프로세스 툴을 기초로, EES 데이터베이스(110)로부터 FD 상세내용들을 제시하기 위해서 새로운 리포트를 런칭한다(블록(210)). 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, FD 상세내용들이 FD 결과들 상세내용들 GUI(304)로서 제시될 수 있을 것이다.

다음에, 사용자는 관심이 있는 FD 상세내용을 선택한다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 사용자가 FD 결과들 상세내용들 GUI(304)로부터 관심이 있는 FD 상세내용을 선택할 수 있을 것이다. 이어서, EES(102)가 FD 상세내용들의 사용자 선택을 수신한다(블록(221)).

관심의 대상인 FD 상세내용의 사용자 선택을 기초로, EES(102)이 EES 데이터베이스(110)로부터 프로세스 툴에 대한 미가공 센서 데이터를 획득하고 미가공 센서 데이터를 제시하고, 및/또는 EES(102)이 EES 데이터베이스(110)로부터 선택된 센서에 대한 FD 경향 차트를 획득하고 FD 경향 차트를 제시한다(블록(214)). 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, EES(102)이 선택된 센서 플롯(Plot) 대 시간 GUI(308)으로서 미가공 센서 데이터를 제시할 수 있을 것이다. 다른 예에서, 도 3에 도시된 바와 같이, EES(102)이 선택된 센서 GUI(306)에 대한 FD 경향으로서 FD 경향 차트를 제시할 수 있을 것이다.

도 4는 센서 데이터(예를 들어, FD 데이터)를 계측 데이터(예를 들어, SPC 데이터)에 링크시키기 위한 방법(400)의 일 실시예의 흐름도이다. 도 5는 도 4의 방법에 대한 예시적인 그래픽 사용자 인터페이스들을 도시한다. 방법(400)이 도 1의 EES(102)에 의해서 실시될 수 있을 것이다. 예를 들어, 방법(400)이 도 1의 EES(102)의 FD 리포팅 툴(120)에 의해서 실시될 수 있을 것이다.

방법(400)은 FD 제어 차트 또는 미가공 센서 플롯으로부터 관심 대상의 센서 데이터의 사용자 선택을 수신하는 EES(102)로 시작된다(블록(402)). 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, FD 제어 차트가 FD 경향 GUI(502)로서 사용자에게 제시될 수 있을 것이다. 다른 예에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 미가공 센서 플롯이 센서 플롯 대 시간 GUI(504)로서 사용자에게 제시될 수 있을 것이다.

FD 제어 차트 또는 미가공 센서 플롯으로부터의 사용자 선택이 일단 수신되면, EES(102)은 EES 데이터베이스(110)로부터 선택된 데이터에 상응하는 SPC 요약 데이터를 획득한다. 이어서, EES(102)는 SPC 요약 데이터를 사용자에게 제시한다(블록(404)). 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, SPC 요약 데이터가 제어 차트 GUI(506)에 의해서 SPC 결과들로서 사용자에게 제시될 수 있을 것이다.

다음에, 사용자가 관심의 대상인 SPC 요약 데이터의 일부를 선택하고, EES(102)가 관심의 대상인 SPC 요약 데이터의 사용자 선택을 수신한다(블록(406)). 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 사용자가 제어 차트 GUI(508)에 의해서 SPC 결과들을 통해서 관심의 대상인 SPC 요약 데이터의 일부를 선택할 수 있을 것이다.

EES는 EES 데이터베이스(110)로부터 SPC 제어 차트를 획득하고 그러한 SPC 제어 차트를 사용자에게 제시한다(블록(408)). 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, SPC 제어 차트가 SPC 제어 차트 GUI(508)로서 제시될 수 있을 것이다.

표 EES_SPC_RUN_TO_SPC, 표 EES_SPC_Status, 및 EES_SPC_TO_RUN은 EES 데이터베이스(110) 내의 예시적인 표들을 도시한다. 표 EES_SPC_RUN_TO_SPC는 툴 ID 및 동작 ID를 샘플 ID와 연관시킨다. 이러한 표는 툴 ID, 동작 ID 및 샘플 ID 사이의 많은 관계들에 대해서 많은 것을 제공한다. 이러한 표는 Run Start_Time x(by) 범위(Range)에 의해서 구획된다.

TABLE EES_SPC_RUN_TO_SPC
컬럼 번호	컬럼 명칭	데이터 타입	무시할 수 없는가?(Not Null?)	코멘트들
1	START_TIME	TIMESTAMP(3)	Y	이 컬럼은, SPC 시스템으로 제출되는 데이터의 공급원을 제공하는 프로세스 동작의 시작 시간을 나타낸다.
2	TOOL_ID	INTEGER(38)	Y	이 컬럼은, SPC 시스템에 저장된 데이터 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)과 연관된 툴 식별자를 나타낸다.
3	PARTITION_ID	INTEGER(38)	Y	이 컬럼은 툴(TOOL_ID 컬럼 참조)과 연관된 구획 식별자를 나타낸다.
4	RUN_ID	NUMBER(38)	Y	이 컬럼은 SPC 시스템에 저장된 특별한 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)과 연관된 동작 식별자를 나타낸다.
5	SPC_SAMPLE_ID	NUMBER	Y	이 컬럼은, 새로운 데이터가 SPC 시스템으로 제출되었을 때, SPC 시스템에 의해서 생성되는 특유의 SPC 샘플 식별자를 나타낸다. SPC 시스템 내의 단일 샘플은, 두께 측정과 같은 단일을 측정을 나타낸다.
6	SPC_TIME_STAMP	TIMESTAMP(3)	Y	이 컬럼은 SPC 시스템 내에 저장된 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)의 타임스탬프(timestamp)(데이터 및 시간)을 나타낸다. 이러한 타임스탬프는, 새로운 데이터가 SPC 시스템으로 제출되었을 때, SPC 시스템에 의해서 생성된다. 복수의 측정들이 동시에 SPC 시스템으로 제출될 수 있음에 따라, 이러한 타임스탬프가 복수 샘플들(측정들)과 사실상 연관될 수 있을 것이다.

표 EES_SPC_Status는 주어진 샘플 ID에 대한 SPC 상태를 저장한다. 이러한 표는 하나 내지 많은 관계들을 샘플 ID로부터 많은 챔버/SPC 문구 정보로 제공한다. 이러한 표가 SPC 타임스탬프에 의해서 구획된다.

TABLE EES_SPC_Status
컬럼 번호	컬럼 명칭	데이터 타입	무시할 수 없는가?	코멘트들
1	SPC_TIME_STAMP	TIMESTAMP(3)	Y	이 컬럼은 SPC 시스템에 저장된 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)의 타임스탬프(데이터 및 시간)를 나타낸다. 이러한 타임스탬프는, 새로운 데이터가 SPC 시스템으로 제출되었을 때, SPC 시스템에 의해서 생성된다. 복수의 측정들이 동시에 SPC 시스템으로 제출될 수 있음에 따라, 이러한 타임스탬프가 복수 샘플들(측정들)과 사실상 연관될 수 있을 것이다.
2	SPC_SAMPLE_ID	NUMBER	Y	이 컬럼은, 새로운 데이터가 SPC 시스템으로 제출되었을 때, SPC 시스템에 의해서 생성되는 특유의 SPC 샘플 식별자를 나타낸다. SPC 시스템 내의 단일 샘플은, 두께 측정과 같은 단일을 측정을 나타낸다.
3	SPC_GROUP_ID	NUMBER	Y	이 컬럼은, 제출되었던 데이터 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)가 최종적으로 저장되는 SPC 시스템 내의 SPC 그룹 식별자를 나타낸다. LOT ID, TOOL ID, RECIPE_ID와 같은 특별한 문구 기준들(criterial)과 합치되는, 온도와 같은 특별한 측정 매개변수와 관련된 그래픽 차팅(sharting) 메커니즘을 SPC 그룹이 나타낸다.
4	SPC_SUBGROUP_ID	NUMBER	Y	이 컬럼은, 데이터 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)가 최종적으로 저장되는 SPC 시스템 내의 SPC 그룹 식별자를 나타낸다. LOT ID = "12345", TOOL ID = "123", 및 RECIPE_ID = "ABC"와 같은 문구 기준들의 UNIQUE 세트와 합치되는, 온도와 같은 특별한 측정 매개변수와 관련된 그래픽 차팅 메커니즘을 SPC 하위-그룹이 나타낸다.
5	SPC_VIOLATION	VARCHAR2(80)	Y	이 컬럼은 샘플에서 검출된 SPC 위반사항에 대한 스트링(string) 설명을 나타낸다. 예들: "대표 값(mean value)의 WE1", "미가공 값에서의 재원 한계 위반사항".
6	SPC_PARAMETER	VARCHAR2(40)	Y	이 컬럼은 샘플을 나타내는 측정 매개변수의 명칭을 나타낸다. 예: 온도.
7	SPC_CONTEXT	VARCHAR2(2000)	Y	이 컬럼은 샘플에 대한 문구 정보를 나타낸다. 문구의 값은, 샘플을 나타내는 문구 속성 값들의 콤마-분리형 리스트로서 저장된다. 예: "LOT_ID = 123456, RECIPE_ID = ABC, PRODUCT_ID = XYZ"

표 EES_SPC_TO_RUN은 SPC 샘플 ID를 툴 ID 및 동작 ID와 연관시킨다. 이러한 표는 샘플 ID 타임스탬프에 의해서 구획된다.

TABLE EES_SPC_TO_RUN
컬럼 번호	컬럼 명칭	데이터 타입	무시할 수 없는가?	코멘트들
1	SPC_START_TIME	TIMESTAMP(3)	Y	이 컬럼은 SPC 시스템에 저장된 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)의 타임스탬프(데이터 및 시간)를 나타낸다. 이러한 타임스탬프는, 새로운 데이터가 SPC 시스템으로 제출되었을 때, SPC 시스템에 의해서 생성된다. 복수의 측정들이 동시에 SPC 시스템으로 제출될 수 있음에 따라, 이러한 타임스탬프가 복수 샘플들(측정들)과 사실상 연관될 수 있을 것이다.
2	SPC_SAMPLE_ID	NUMBER	Y	이 컬럼은, 새로운 데이터가 SPC 시스템으로 제출되었을 때, SPC 시스템에 의해서 생성되는 특유의 SPC 샘플 식별자를 나타낸다. SPC 시스템 내의 단일 샘플은, 두께 측정과 같은 단일을 측정을 나타낸다.
3	TOOL_ID	INTEGER(38)	Y	이 컬럼은, SPC 시스템에 저장된 데이터 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)과 연관된 툴 식별자를 나타낸다.
4	PARTITION_ID	INTEGER(38)	Y	이 컬럼은 툴(TOOL_ID 컬럼 참조)과 연관된 구획 식별자를 나타낸다.
5	RUN_ID	NUMBER(38)	Y	이 컬럼은 SPC 시스템에 저장된 특별한 샘플(SAMPLE_ID 컬럼 참조)과 연관된 동작 식별자를 나타낸다.
6	START_TIME	TIMESTAMP(3)	Y	이 컬럼은, SPC 시스템으로 제출되는 데이터의 공급원을 제공하는 프로세스 동작의 시작 시간을 나타낸다.

도 6은 예시적인 연산 디바이스(또는 시스템)(600)을 도시한 블록도이다. 연산 디바이스(600)는, 상기 연산 디바이스(600)가 여기에서 개시된 하나 또는 둘 이상의 방법론들을 실시하도록 유도하는 명령어들의 세트를 포함한다. 기계가 클라이언트-서버 네트워크 환경 내의 서버 기계의 용량 내에서 작동될 수 있을 것이다. 기계가 개인용 컴퓨터(PC), 셋-탑 박스(STB), 서버, 네트워크 라우터, 스위치 또는 브릿지, 또는 해당 기계에 의해서 취해지는 활동들(actions)을 특정하는 (순차적인 또는 그와 다른) 명령어들의 세트를 실행할 수 있는 임의 기계일 수 있을 것이다. 또한, 하나의 연산 디바이스만이 설명되어 있지만, "연산 디바이스"라는 용어를, 여기에서 개시된 하나 또는 둘 이상의 방법론들을 실시하기 위한 명령어들의 세트(또는 복수의 세트들)를 개별적으로 또는 함께 실행하는 기계들의 임의 집합을 포함하는 것으로 또한 받아들여야 할 것이다.

예시적인 컴퓨터 디바이스(600)는, 버스(608)를 통해서 서로 통신하는, 프로세싱 시스템(프로세싱 디바이스)(602), 메인 메모리(604)(예를 들어, 리드-온리 메모리(ROM)), 플래시 메모리, 동기식 DRAM(SDRAM)과 같은 다이나믹 랜덤 액세스 메모리(DRAM), 등), 정적 메모리(606)(예를 들어, 플래시 메모리, 정적 랜덤 액세스 메모리(SRAM), 등), 및 데이터 저장 디바이스(616)를 포함한다.

프로세싱 디바이스(602)는 마이크로 프로세서, 중앙 프로세싱 유닛, 등과 같은 하나 또는 둘 이상의 범용 프로세싱 디바이스들을 나타낸다. 보다 특히, 프로세싱 디바이스(602)는 복합 명령어 세트 연산(CISC) 마이크로 프로세서, 축소 명령어 세트 연산(RISC) 마이크로 프로세서, 매우 긴 명령어 워드(VLIW) 마이크로 프로세서, 또는 다른 명령어 세트들을 실행하는 프로세스 또는 명령어 세트들의 조합을 실행하는 프로세서일 수 있을 것이다. 프로세싱 디바이스(602)는 또한 주문형 집적 회로(ASIC), 필드 프로그래머블 게이트 어레이(FPGA), 디지털 신호 프로세서(DSP), 네트워크 프로세서, 등과 같은 하나 또는 둘 이상의 특수-목적의 프로세싱 디바이스일 수 있다. 프로세싱 디바이스(602)는 여기에서 개시된 작동들 및 단계들을 실시하기 위해서 도 1의 EES(102)을 실행하도록 구성된다.

연산 디바이스(600)가 네트워크 인터페이스 디바이스(622)를 더 포함할 수 있을 것이다. 연산 디바이스(600)가 또한 비디오 디스플레이 유닛(610)(예를 들어, 액정 디스플레이(LCD) 또는 음극선 관(CRT)), 영숫자 입력 디바이스(612)(예를 들어, 키보드), 커서 제어 디바이스(614)(예를 들어, 마우스), 및 신호 발생 디바이스(620)(예를 들어, 스피커)를 포함할 수 있을 것이다.

데이터 저장 디바이스(616)가, 여기에서 개시된 임의의 하나 또는 둘 이상의 방법론들 또는 기능들을 구현하는 명령어들(626)의 하나 또는 둘 이상의 세트들이 저장되는 컴퓨터-판독가능 저장 매체(624)를 포함할 수 있을 것이다. 명령어들(626)은 또한, 연산 디바이스(600), 메인 메모리(604), 및 컴퓨터-판독가능 매체를 또한 구성하는 프로세싱 디바이스(602)에 의해서 실행되는 동안, 메인 메모리(604) 내에 및/또는 프로세싱 디바이스(602) 내에, 완전히 또는 적어도 부분적으로, 상주할 수 있을 것이다. 명령어들(626)이 네트워크 인터페이스 디바이스(622)를 통해서 네트워크(628) 상에서 추가적으로 전송되거나 수신될 수 있을 것이다.

컴퓨터-판독가능 저장 매체(624)가 단일 매체인 것으로 예시적인 실시예에 도시되어 있지만, "컴퓨터-판독가능 저장 매체"라는 용어를, 명령어들의 하나 또는 둘 이상의 세트들을 저장하는 단일 매체 또는 복수 매체(예를 들어, 집중된 또는 분산된 데이터베이스, 및/또는 연관된 캐시들 및 서버들)을 포함하는 것으로 받아들여야 할 것이다. 또한, "컴퓨터-판독가능 저장 매체"라는 용어를, 기계에 의한 실행을 위해서 명령어들의 세트를 저장, 인코딩 또는 반송할 수 있고 그리고 본원 발명의 임의의 하나 또는 둘 이상의 방법론들을 기계가 실시하도록 유도하는 임의 매체를 포함하는 것을 받아들여야 할 것이다. 그에 따라, "컴퓨터-판독가능 저장 매체"라는 용어를, 비제한적으로, 솔리드-스테이트 메모리들, 광학적 매체, 및 자기적 매체를 포함하는 것으로 받아들여야 할 것이다.

전술한 설명에서, 많은 상세 내용들을 개진하였다. 그러나, 이러한 개시 내용의 이점을 취한 당업자는, 발명의 실시예들이 이러한 구체적인 상세 내용들이 없이도 실시될 수 있다는 것을 명확히 이해할 수 있을 것이다. 일부 경우들에서, 설명을 불명료하게 하지 않도록, 주지의 구조들 및 디바이스들을, 상세한 설명 대신에, 블록도 형태로 도시하였다.

상세한 설명의 일부 부분들이, 알고리즘들 및 작동들의 상징적 표상들과 관련하여, 컴퓨터 메모리 내의 데이터 비트들로 제시되어 있다. 이러한 알고리즘적인 설명들 및 표상들은, 당업자들 작업의 핵심(substance)을 다른 당업자들에게 가장 효과적으로 전달하기 위해서 데이터 프로세싱 분야들의 당업자들에 의해서 이용되는 수단이다. 알고리즘은, 여기에서 그리고 일반적으로, 희망하는 결과로 유도하는 자기-일관적인(self-consistent) 단계들의 시퀀스인 것으로 이해된다. 그러한 단계들은, 물리적인 양들의 물리적인 조작들을 필요로 하는 단계들이다. 비록 필수적인 것은 아니지만, 일반적으로, 이러한 양들은 저장, 전달, 조합, 비교, 및 달리 조작될 수 있는 전기적 또는 자기적 신호들의 형태를 취한다. 종종, 원칙적으로 일반적인 용법의 이유들로, 이러한 신호들을 비트들, 값들, 요소들, 상징들, 문자들, 용어들, 숫자들, 등으로 지칭하는 것이 편리한 것으로 확인되었다.

그러나, 이러한 그리고 유사한 용어들 모두가 적절한 물리적인 양들과 연관되고 그리고 그러한 양들에 적용되는 단순한 편의적인 레이블들(labels)이라는 것을 주지하여야 할 것이다. 달리 구체적으로 언급하지 않은 경우에, 상기 설명으로부터 자명한 바와 같이, 상세한 설명의 전체를 통해서, "수신하는 것", "구축하는 것", "컷팅", "식별하는 것", "선택하는 것", 또는 "생성하는 것", 등과 같은 용어를 이용하는 설명들은, 컴퓨터 시스템의 레지스터들 및 메모리들 내의 물리적인(예를 들어, 전기적인) 양들로서 표시되는 데이터를 컴퓨터 시스템 메모리들 또는 레지스터들 또는 다른 그러한 정보 저장 디바이스들 내의 물리적인 양들로서 유사하게 표시되는 다른 데이터로 조작 및 변형하는, 연산 디바이스, 또는 유사한 전자적 연산 디바이스의 활동들 및 프로세스들을 지칭한다.

발명의 실시예들이 또한 여기에서의 작동들을 실시하기 위한 장치에 관한 것이다. 이러한 장치는 필요한 목적을 위해서 특별하게 구축될 수 있을 것이고, 또는 컴퓨터 내에 저장된 컴퓨터 프로그램에 의해서 선택적으로 활성화되거나 재구성되는 범용 컴퓨터를 포함할 수 있을 것이다. 그러한 컴퓨터 프로그램이, 예를 들어, 비제한적으로, 광학적 디스크들을 포함하는 임의 타입의 디스크들, CD-ROMs, 및 자기-광학적 디스크들, 리드-온리 메모리들(ROMs), 랜덤 액세스 메모리들(RAMs), EPROMs, EEPROMs, 자기적 또는 광학적 카드들, 또는 전자적 명령어들을 저장하기에 적합한 임의 타입의 매체들을 포함하는, 컴퓨터 판독가능 저장 매체 내에 저장될 수 있을 것이다.

전술한 설명이 설명을 위해서 의도된 것이고, 그리고 제한적인 것이 아님을 이해할 수 있을 것이다. 상기 설명을 읽고 이해한 당업자들은 많은 다른 실시예들을 자명하게 이해할 수 있을 것이다. 그에 따라, 발명의 범위가, 청구항들에 의해서 부여되는 균등물의 전체 범위와 함께, 첨부된 청구항들을 참조하여 결정되어야 할 것이다.

Claims

이하의 단계를 실시하도록 프로그래밍된 연산 시스템에 의해서 구현되는 방법으로서, 상기 방법이:
상기 연산 시스템에 의해서, 제품에 대한 계측 데이터의 사용자 선택을 수신하는 단계;
상기 연산 시스템에 의해서, 상기 제품에 대한 선택된 계측 데이터에 대한 관련된 프로세스 툴 오류 검출 요약을 제시하는 단계;
상기 연산 시스템에 의해서, 상기 프로세스 툴 오류 검출 요약으로부터의 프로세스 툴의 사용자 선택을 수신하는 단계; 및
상기 연산 시스템에 의해서, 상기 선택된 프로세스 툴에 대한 관련된 오류 검출 상세내용들을 제시하는 단계를 포함하는, 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 연산 시스템에 의해서, 오류 검출 상세내용들의 사용자 선택을 수신하는 단계를 더 포함하는, 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 연산 시스템에 의해서, 상기 선택된 오류 검출 상세내용들에 대한 관련된 미가공 센서 데이터를 제시하는 단계를 더 포함하는, 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 연산 시스템에 의해서, 상기 선택된 오류 검출 상세내용들에 대한 관련된 오류 검출 경향 차트를 제시하는 단계를 더 포함하는, 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 연산 시스템에 의해서, 센서 데이터의 사용자 선택을 수신하는 단계;
상기 연산 시스템에 의해서, 상기 선택된 센서 데이터에 대한 관련된 통계적 프로세스 제어 요약 데이터를 제시하는 단계;
상기 연산 시스템에 의해서, 상기 통계적 프로세스 제어 요약 데이터로부터의 통계적 프로세스 제어 차트에 대한 사용자의 선택을 수신하는 단계; 및
상기 연산 시스템에 의해서, 상기 선택된 통계적 프로세스 제어 차트를 제시하는 단계를 더 포함하는, 방법.
제 5 항에 있어서,
상기 센서 데이터가 오류 검출 제어 차트를 포함하는, 방법.
제 5 항에 있어서,
상기 센서 데이터가 미가공 센서 플롯을 포함하는, 방법.
프로세싱 디바이스가 작동들을 실시하도록 유도하기 위한 실행가능한 명령어들을 포함하는 컴퓨터-판독가능 저장 매체로서:
상기 명령어들이:
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 제품에 대한 계측 데이터의 사용자 선택을 수신하는 것;
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 제품에 대한 선택된 계측 데이터에 대한 관련된 프로세스 툴 오류 검출 요약을 제시하는 것;
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 프로세스 툴 오류 검출 요약으로부터의 프로세스 툴의 사용자 선택을 수신하는 것; 및
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 선택된 프로세스 툴에 대한 관련된 오류 검출 상세내용들을 제시하는 것을 포함하는, 컴퓨터-판독가능 저장 매체.
제 8 항에 있어서,
상기 명령어들이:
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 오류 검출 상세내용들의 사용자 선택을 수신하는 것; 및
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 선택된 오류 검출 상세내용들에 대한 관련된 미가공 센서 데이터를 제시하는 것을 더 포함하는, 컴퓨터-판독가능 저장 매체.
제 8 항에 있어서,
상기 명령어들이:
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 오류 검출 상세내용들의 사용자 선택을 수신하는 것; 및
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 선택된 오류 검출 상세내용들에 대한 관련된 오류 검출 경향 차트를 제시하는 것을 더 포함하는, 컴퓨터-판독가능 저장 매체.
제 8 항에 있어서,
상기 명령어들이:
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 센서 데이터의 사용자 선택을 수신하는 것;
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 선택된 센서 데이터에 대한 관련된 통계적 프로세스 제어 요약 데이터를 제시하는 것;
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 통계적 프로세스 제어 요약 데이터로부터의 통계적 프로세스 제어 차트에 대한 사용자의 선택을 수신하는 것; 및
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 선택된 통계적 프로세스 제어 차트를 제시하는 것을 더 포함하는, 컴퓨터-판독가능 저장 매체.
제 11 항에 있어서,
상기 센서 데이터가 오류 검출 제어 차트를 포함하는, 컴퓨터-판독가능 저장 매체.
제 11 항에 있어서,
상기 센서 데이터가 미가공 센서 플롯을 포함하는, 컴퓨터-판독가능 저장 매체.
연산 시스템으로서:
메모리; 및
상기 메모리에 커플링된 프로세싱 디바이스를 포함하고,
상기 프로세싱 디바이스가:
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 제품에 대한 계측 데이터의 사용자 선택을 수신하도록;
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 제품에 대한 선택된 계측 데이터에 대한 관련된 프로세스 툴 오류 검출 요약을 제시하도록;
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 프로세스 툴 오류 검출 요약으로부터의 프로세스 툴의 사용자 선택을 수신하도록; 그리고
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 선택된 프로세스 툴에 대한 관련된 오류 검출 상세내용들을 제시하도록; 구성되는, 연산 시스템.
제 14 항에 있어서,
상기 프로세싱 디바이스는 추가로, 상기 프로세싱 디바이스에 의해, 오류 검출 상세내용들의 사용자 선택을 수신하도록 구성되는, 연산 시스템.
제 14 항에 있어서,
상기 프로세싱 디바이스는 추가로, 상기 프로세싱 디바이스에 의해, 상기 선택된 오류 검출 상세내용들에 대한 관련된 미가공 센서 데이터를 제시하도록 구성되는, 연산 시스템.
제 14 항에 있어서,
상기 프로세싱 디바이스는 추가로, 상기 프로세싱 디바이스에 의해, 상기 선택된 오류 검출 상세내용들에 대한 관련된 오류 검출 경향 차트를 제시하도록 구성되는, 연산 시스템.
제 14 항에 있어서,
상기 프로세싱 디바이스가:
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 센서 데이터의 사용자 선택을 수신하도록;
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 선택된 센서 데이터에 대한 관련된 통계적 프로세스 제어 요약 데이터를 제시하도록;
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 통계적 프로세스 제어 요약 데이터로부터의 통계적 프로세스 제어 차트에 대한 사용자의 선택을 수신하도록; 그리고
상기 프로세싱 디바이스에 의해서, 상기 선택된 통계적 프로세스 제어 차트를 제시하도록, 추가적으로 구성가능한, 연산 시스템.
제 14 항에 있어서,
상기 센서 데이터가 오류 검출 제어 차트를 포함하는, 연산 시스템.
제 14 항에 있어서,
상기 센서 데이터가 미가공 센서 플롯을 포함하는, 연산 시스템.