KR20140087498A - Unit for supporting a substrate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 지지 유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스크린 프린터에서 도포액이 도포될 기판을 지지하는 기판 지지 유닛에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate supporting unit, and more particularly, to a substrate supporting unit for supporting a substrate to which a coating liquid is to be applied in a screen printer.
일반적으로, 스크린 프린터는 기판을 이송하는 컨베이어와 상기 기판을 지지하는 지지판을 갖는 기판 지지 유닛, 마스크 표면의 도포액을 마스크의 개구부를 통해 기판으로 제공하는 스퀴즈, 상기 기판과 상기 마스크의 위치를 확인할 수 있는 정렬 비전, 상기 마스크의 개구부를 세정하는 클리너 등을 포함한다. 상기 스크린 프린터의 동작은 다음과 같다. Generally, a screen printer includes a substrate support unit having a conveyor for transferring a substrate and a support plate for supporting the substrate, a squeeze providing a coating liquid on the mask surface through the opening of the mask, and a position of the substrate and the mask A cleaner that cleans the opening of the mask, and the like. The operation of the screen printer is as follows.
상기 기판 지지 유닛의 컨베이어를 통해 이송된 기판을 지지판으로 로딩한다. 상기 정렬 비전으로 상기 기판의 인식마크의 위치와 상기 마스크에 있는 인식마크의 위치를 확인하여 상기 지지판의 위치를 조정함으로써 상기 기판과 상기 마스크의 위치를 일치시킨다. 이후, 상기 마스크와 상기 기판을 밀착시킨 다음 상기 스퀴즈를 이동시켜 상기 마스크 표면의 도포액을 상기 기판에 도포한다.And the substrate conveyed through the conveyor of the substrate supporting unit is loaded onto the support plate. The position of the recognition mark on the substrate and the position of the recognition mark on the mask are confirmed by the alignment vision to align the position of the substrate with the mask by adjusting the position of the support plate. Thereafter, the mask and the substrate are brought into close contact with each other, and then the squeeze is moved to apply the coating liquid on the mask surface to the substrate.
상기 컨베이어는 상기 지지판의 양측에 구비되어 상기 기판의 양단을 지지한다. 그러므로, 상기 기판이 상기 지지판에 놓여질 때 상기 기판의 양단이 상기 지지판으로부터 돌출된다. 이때 지지판의 연장 방향으로 연장된 사이드 클램프가 기판의 측면을 가압하여 기판을 고정할 수 있다. 하지만 상기 기판의 측면이 평행하지 않을 경우 상기 사이드 클램프가 기판의 측면을 가압할 경우에도 기판의 위치가 고정되지 않는 문제가 있다. The conveyor is provided on both sides of the support plate to support both ends of the substrate. Therefore, both ends of the substrate protrude from the support plate when the substrate is placed on the support plate. At this time, the side clamp extending in the extending direction of the support plate presses the side surface of the substrate to fix the substrate. However, when the side surface of the substrate is not parallel, the position of the substrate is not fixed even when the side clamp presses the side surface of the substrate.
본 발명은 기판을 안정적으로 고정할 수 있는 기판 지지 유닛을 제공하는 데 있다. The present invention is to provide a substrate holding unit capable of stably holding a substrate.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 유닛은 제1 방향으로 연장되며 기판을 지지하는 지지판, 상기 지지판의 양측에 각각 구비되고, 상기 기판의 양단을 지지하여 상기 지지판 상부로 상기 기판을 상기 제1 방향으로 이송하는 컨베이어, 상기 지지판을 상하 방향으로 이동시켜 상기 기판을 상기 지지판에 지지하거나 또는 상기 지지판으로부터 이격시키는 제1 구동부, 상기 지지판의 양측에 각각 구비되고 적어도 하나가 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 이동하여 상기 기판을 클램핑하며, 상호 링크 결합된 복수의 클램핑 바들을 갖는 사이드 클램프부들 및 상기 클램핑 바들을 각각 상기 제2 방향으로 이동시켜 상기 기판의 측면을 가압하는 제2 구동부들을 포함한다. 여기서, 상기 지지판은 상기 기판을 진공 흡착하기 위한 진공홀을 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부는 각각 공압 실린더를 포함할 수 있다. A substrate supporting unit according to an embodiment of the present invention includes: a support plate extending in a first direction and supporting a substrate; and a plurality of support plates provided on both sides of the support plate, supporting both ends of the substrate, A first driving unit for moving the support plate in the vertical direction to support the substrate on the support plate or to separate the support plate from the support plate, at least one of the first and second drive units being provided on both sides of the support plate, Side clamp portions moving in a second direction to clamp the substrate and having a plurality of clamping bars linked to each other, and second driving portions moving the clamping bars in the second direction to press the side surface of the substrate do. Here, the support plate may have a vacuum hole for vacuum-adsorbing the substrate. The first driving unit and the second driving unit may each include a pneumatic cylinder.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 사이드 클램프부들은 고정식으로 이루어진 제1 사이드 클램프부 및 상기 제2 방향으로 이동하여 상기 기판을 클램핑할 수 있도록 구비된 제2 사이드 클램프부를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the side clamps may include a first side clamp unit made of a fixed type, and a second side clamp unit moving in the second direction to clamp the substrate.
본 발명은 사이드 클램핑부 중 적어도 하나가 상호 링크 결합된 복수의 클램핑 바들을 포함함으로써 기판의 굴곡부를 상기 클램핑 바들이 각각 접촉하여 가압함으로써 기판을 고정할 수 있다. 따라서, 기판의 위치가 정확하게 고정됨으로써 인쇄 품질이 개선될 수 있다. At least one of the side clamping portions includes a plurality of clamping bars interconnected with each other to fix the substrate by pressing and pressing the bent portions of the substrate with each of the clamping bars. Therefore, the position of the substrate can be accurately fixed, thereby improving the print quality.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 기판 지지 유닛의 동작을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 4는 도1의 사이드 클램프부의 구동을 설명하기 위한 평면도이다.1 is a perspective view illustrating a substrate supporting unit according to an embodiment of the present invention.
Figs. 2 and 3 are sectional views for explaining the operation of the substrate supporting unit of Fig.
4 is a plan view for explaining the driving of the side clamp portion of FIG.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 지지 유닛에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a substrate supporting unit according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 유닛을 설명하기 위한 사시도이다. 도 2 및 도 3은 도 1의 기판 지지 유닛의 동작을 설명하기 위한 단면도들이다. 도 4는 도1의 사이드 클램프부의 구동을 설명하기 위한 평면도이다.1 is a perspective view illustrating a substrate supporting unit according to an embodiment of the present invention. Figs. 2 and 3 are sectional views for explaining the operation of the substrate supporting unit of Fig. 4 is a plan view for explaining the driving of the side clamp portion of FIG.
도 1을 참조하면, 상기 기판 지지 유닛(100)은 지지판(110), 컨베이어(120), 제1 구동부(130), 사이드 클램프부들(140) 및 제2 구동부(150)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the
상기 지지판(110)은 평판 형태를 가지며, 기판을 지지한다. 상기 지지판(110)의 폭은 상기 기판의 폭보다 작다. 상기 기판이 상기 지지판(110)에 지지된 상태에서 마스크를 이용하여 상기 기판으로 도포액을 도포하는 스크린 프린팅 공정이 수행된다. 상기 지지판은 제1 방향으로 연장되는 형상을 갖는다. 상기 제1 방향에 수직한 수평 방향이 제2 방향으로 정의된다.The
상기 지지판(110)은 진공홀(112)들을 갖는다. 상기 진공홀(112)들은 진공 펌프(미도시)와 연결되며, 상기 진공 펌프는 상기 기판을 진공 흡착하기 위한 진공력을 제공한다. 따라서, 상기 지지판(110)은 상기 기판을 진공 흡착할 수 있다. The
상기 컨베이어(120)는 상기 지지판(110)의 양측에 각각 구비되며, 상기 지지판(110)의 양측면을 따라 연장된다. 상기 기판의 폭이 상기 지지판(110)의 폭보다 크므로, 상기 기판이 상기 지지판(110)에 안착될 때, 상기 기판의 양단이 상기 지지판(110)으로부터 돌출된다. 상기 컨베이어(120)는 상기 지지판(110)으로부터 돌출된 기판의 양단을 지지하며, 상기 지지판(110)과 수평한 방향 즉 상기 제1 방향으로 상기 기판을 이송한다. 예를 들면, 상기 컨베이어(120)들은 상기 기판을 상기 지지판(110)으로 이송하거나 상기 지판(110)으로부터 외부로 반송한다. The
일 예로, 상기 컨베이어(120)는 한 쌍의 수직판들(122), 다수의 풀리들(124) 및 한 쌍의 벨트들(126)을 포함할 수 있다. In one example, the
상기 한 쌍의 수직판(122)들은 상기 지지판(110)의 양 측면에 각각 배치된다. 상기 풀리들(124)은 상기 지지판(110)과 마주보는 수직판(122)들의 내측면에 각각 구비된다. 상기 한 쌍의 벨트들(126)은 상기 풀리(124)에 각각 체결된다. 상기 벨트들(126)은 상기 기판의 양단 하부면을 지지한다. 상기 풀리들(124)의 구동에 따라 상기 벨트(126)들이 회전하면서 상기 기판이 이송된다. 다른 예로, 상기 컨베이어(120)들은 다수의 롤러를 포함할 수 있다. The pair of
이 경우, 상기 지지판(110)은 상하 방향으로 이동가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 지지판(110)은 상기 컨베이어(120)의 상면보다 높게 상승하거나, 상기 컨베이어(120)의 상면보다 낮게 하강할 수 있다. In this case, the
상기 제1 구동부(130)는 상기 지지판(110)과 연결되며, 상기 지지판(110)을 상기 상하 방향으로 이동시킨다. 상기 제1 구동부(130)의 예로는 공압 실린더를 들 수 있다.The first driving
상기 지지판(110)이 상하 방향 이동에 따라 상기 기판을 상기 컨에이어(120)로부터 상기 지지판(110)에 로딩하거나 상기 기판을 상기 지지판(110)으로부터 언로딩할 수 있다. 예를 들면, 상기 기판이 상기 지지판(110)의 상방에 위치한 상태에서 상기 지지판(110)이 상승하여 상기 기판을 상기 지지판(110)의 상면에 로딩할 수 있다. 또한, 상기 지지판(120)이 하강할 경우, 상기 컨베이어(120)가 상기 기판의 양단을 지지하므로 상기 기판을 상기 지지판(110)으로부터 언로딩할 수 있다.The substrate can be loaded onto the
상기 사이드 클램프부(140)들은 상기 지지판(110)의 양측에 각각 구비된다. 상기 사이드 클램프부들(140)은 상기 지지판(110)과 상기 제2 방향으로 이동가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 보조 지지판(140)들은 상기 기판의 측면과 접촉하거나 상기 기판으로부터 멀어지도록 이동할 수 있다. The side clamp portions 140 are provided on both sides of the
상기 사이드 클램프부들(140)은 제1 사이드 클램프부(141) 및 제2 사이드 클램프부(143)를 포함한다.The side clamp portions 140 include a first
상기 제1 사이드 클램프부(141)는 고정되어 있다. 예를 들면, 상기 제1 사이드 클램프부(141)는 상기 수직판(122)의 상면에 고정되어 있을 수 있다.The first
상기 제2 사이드 클램프부(143)는 상기 제2 방향으로 이동할 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 제2 사이드 클램프부(143)가 상기 제2 방향으로 이동함으로써 상기 기판의 측면을 가압할 수 있다. The second
상기 제2 사이드 클램프부(143)는 상호 링크 결합된 복수의 클램핑 바들(143a, 143b, 143c)을 포함할 수 있다. 이때 상기 기판의 측면이 평탄하지 않아 굴곡면이 있을 경우에도, 상기 클램핑 바들(143a, 143b, 143c)이 상기 굴곡면을 따라 균일하게 상기 기판을 가압할 수 있다.The second
상기 제2 구동부(150)는 상기 제2 사이드 클램프부(143)에 포함된 상기 클램핑 바(143a, 143b, 143c)들 각각과 연결되며, 상기 클램핑 바(143a, 143b, 143c)들을 상기 수평 방향으로 이동시킨다. 예를 들면, 상기 제2 구동부(150a, 150b, 150c)는 다수개가 구비되어, 상기 클램핑 바(140)들과 각각 연결될 수 있다. 이때, 상기 제2 구동부(150a, 150b, 150c)는 상기 클램핑 바들(143a, 143b, 143c)들을 동시에 이동시킬 수 있다. 다른 예로, 상기 제2 구동부(150a, 150b, 150c)의 예로는 공압 실린더를 들 수 있다.The
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 지지 유닛은 조절 부재(160)를 더 포함할 수 있다. 상기 조절 부재(160)는 상기 사이드 클램프부들(140)에 인접하게 배치된다. 상기 조절 부재(160)는 상기 사이드 클램프부들(140)의 높이 및 수평도를 조절한다. 상기 조절 부재(160)의 예로는 레벨 볼트 등을 들 수 있다. 상기 조절 부재(160)를 이용하여 상기 사이드 클램프부들(140)의 상면 높이를 상기 지지판(110)의 상면 높이와 동일하게 할 수 있다. In an embodiment of the present invention, the substrate supporting unit may further include an adjusting
이하에서는 상기 기판 지지 유닛(100)의 작동에 대해 설명한다. Hereinafter, the operation of the
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 기판 지지 유닛(100)의 동작을 설명하기 위한 단면도들이다. 도 4는 도1의 사이드 클램프부의 구동을 설명하기 위한 평면도이다.Figs. 2 and 3 are sectional views for explaining the operation of the
도 2 내지 도 4를 참조하면, 컨베이어(120)가 지지판(110)의 상부면보다 상승한 상태에서 기판(10)의 양단을 지지하여 상기 지지판(110) 상방으로 이송한다. 이때, 제2 사이드 클램프부(143)는 상기 지지판(110)으로부터 이격되어 있다.2 to 4, the
도 3을 참조하면, 상기 지지판(110) 상방에 상기 기판(10)이 위치한 상태에서 상기 지지판(110)이 상승하여 상기 기판(10)이 상기 지지판(110) 상에 놓여진다. 상기 기판(10)이 놓여지면 상기 지지판(110)은 진공력으로 상기 기판(10)을 진공 흡착한다.3, when the
이어서 상기 제2 사이드 클램프부(143)가 상기 지지판(110)에 높여진 기판(10)을 향하여 이동하여 상기 제2 사이드 클램프부(143)가 상기 기판(10)의 측면에 접촉한다. 이때 상기 제2 사이드 클램프부(143)에 상호 링크 결합된 복수의 클램핑 바들(143a, 143b, 143c)이 이때 상기 기판의 측면이 평탄하지 않아 굴곡면이 있을 경우에도, 상기 굴곡면을 따라 균일하게 상기 기판을 가압할 수 있다.The second
상기 기판(10)이 상기 지지판(110)에 의해 지지된 상태에서 상기 기판(10)에 대한 스크린 프린팅 공정이 수행된다. A screen printing process is performed on the
다시 도 2를 참조하면, 상기 스크린 프린팅 공정이 완료되면, 상기 지지판(110)으로 제공되는 진공력을 차단하고 상기 지지판(110)으로부터 멀어지도록 상기 제2 사이드 클램프부(143)가 이동한다. 이후, 상기 지지판(110)이 하강하여 상기 기판(10)을 상기 지지판(110)으로부터 언로딩하고 상기 기판(10)을 상기 컨베이어(120)가 지지한다. 이어서, 상기 컨베이어(120)의 구동에 의해 상기 기판(10)이 상기 지지판(110)의 상방으로부터 외부로 이송된다.Referring to FIG. 2 again, when the screen printing process is completed, the second
본 발명의 바람직한 실시예들에 따르면, 사이드 클램핑부 중 적어도 하나가 상호 링크 결합된 복수의 클램핑 바들을 포함함으로써 기판의 굴곡부를 상기 클램핑 바들이 각각 접촉하여 가압함으로써 기판을 고정할 수 있다. 따라서, 기판의 위치가 정확하게 고정됨으로써 인쇄 품질이 개선될 수 있다. 본 발명은 스크린 프린터 장비에 적용될 수 있다. According to preferred embodiments of the present invention, at least one of the side clamping portions includes a plurality of clamping bars interconnected with each other to fix the substrate by pressing and pressing the bent portions of the substrate with the clamping bars, respectively. Therefore, the position of the substrate can be accurately fixed, thereby improving the print quality. The present invention can be applied to screen printer equipment.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.
100 : 기판 이송 유닛 110 : 지지판
112 : 진공홀 120 : 컨베이어
130 : 제1 구동부 140 : 사이드 클램프부들
150 : 제2 구동부 160 : 조절 부재
10 : 기판100: substrate transfer unit 110:
112: Vacuum hole 120: Conveyor
130: first driving part 140: side clamp parts
150: second driving part 160: adjusting member
10: substrate
Claims (4)
상기 지지판의 양측에 각각 구비되고, 상기 기판의 양단을 지지하여 상기 지지판 상부로 상기 기판을 상기 제1 방향으로 이송하는 컨베이어;
상기 지지판을 상하 방향으로 이동시켜 상기 기판을 상기 지지판에 지지하거나 또는 상기 지지판으로부터 이격시키는 제1 구동부;
상기 지지판의 양측에 각각 구비되고 적어도 하나가 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 이동하여 상기 기판을 클램핑하며, 상호 링크 결합된 복수의 클램핑 바들을 갖는 사이드 클램프부들; 및
상기 클램핑 바들을 각각 상기 제2 방향으로 이동시켜 상기 기판의 측면을 가압하는 제2 구동부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 유닛.A support plate extending in a first direction and supporting the substrate;
A conveyor provided on both sides of the support plate for supporting both ends of the substrate and transferring the substrate to the upper portion of the support plate in the first direction;
A first driving unit for moving the support plate in the vertical direction to support the substrate on the support plate or to separate the substrate from the support plate;
Side clamp portions provided on both sides of the support plate, at least one of the side clamp portions moving in a second direction perpendicular to the first direction to clamp the substrate, and having a plurality of clamping bars linked to each other; And
And second driving portions for moving the clamping bars in the second direction to press the side surfaces of the substrate.
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