KR20140087435A - Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 능동형 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an active organic light emitting display and a method of manufacturing the same.
정보 통신 기술의 발달로, 최첨단 평판표시장치가 각광을 받고 있다. 평판표시장치는 더 얇고 휴대성이 더욱 편리한 방향으로 발전하고 있다. 그 중에서도, 액정표시장치 다음으로 주목받고 있는 유기전계발광표시장치는 자발광소자로써, 백라이트가 필요없어 액정표시장치 대비 경량 박형의 평판 소자를 구현할 수 있다는 장점이 있다. 또한, 유기전계발광표시장치는 시야각이 넓고 대조비가 우수하며, 응답시간이 빠르고 소비전력이 낮은 친환경 평판 표시 소자이다.With the development of information and communication technology, state-of-the-art flat panel display devices are in the spotlight. Flat panel displays are becoming more thin and more portable. In particular, organic electroluminescent display devices, which are attracting attention as a next-generation liquid crystal display device, are self-luminous devices, and thus there is an advantage that a lightweight thin flat panel device can be realized compared to a liquid crystal display device. Further, the organic light emitting display device is an eco-friendly flat panel display device having a wide viewing angle, excellent contrast ratio, quick response time and low power consumption.
상기 유기전계발광표시장치는 백라이트를 대체하는 발광층이 유기물로 이루어진 유기 발광층을 채택하고 있기 때문에, 유기물의 열화 및 투습으로 인한 손상을 방지하여 수명을 향상시키고 발광의 신뢰도를 향상시키는 것이 최근 유기전계발광표시장치의 기술 개발의 핵심 이슈로 부상하고 있다.Since the organic light emitting display device adopts an organic light emitting layer composed of an organic material for the light emitting layer replacing the backlight, it is possible to prevent deterioration due to deterioration of organic materials and moisture permeation to improve lifetime and improve reliability of light emission. Is emerging as a key issue in technology development of display devices.
유기 발광층의 손상을 방지하기 위해 유기 발광층을 외부로부터 밀폐하는 봉지(encapsulation) 기술은 유기 발광층 상에 박막을 전면에 형성하는 전면 밀폐 방식(face seal type)과 기판의 가장자리를 밀폐하는 엣지 밀폐(edge seal type)이 있다. 여기서 전면 밀폐 방식(이하, 페이스실)은 박막 봉지층을 유기 발광층 상에 형성하는 방식이다. 전면 밀폐 방식은 성막 균일도가 밀폐 효과를 좌우하며, 특히 가장자리 영역에서의 크랙(crack)이 발생할 가능성이 크다.Encapsulation techniques for sealing the organic light emitting layer from the outside to prevent damage to the organic light emitting layer include a front seal type in which a thin film is formed on the organic light emitting layer and an edge sealing seal type. Here, the front sealing (hereinafter referred to as the face seal) is a method of forming the thin film sealing layer on the organic light emitting layer. In the front sealing method, the uniformity of the film depends on the sealing effect, and cracks are particularly likely to occur in the edge region.
도 1은 일반적인 유기전계발광표시장치의 일부분을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a portion of a general organic light emitting display device.
도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 유기전계발광표시장치는 기판(101), 유기발광소자(110) 및 박막 봉지층(120)을 포함한다. 박막 봉지층(120)은 상기 봉지 기술 중 전면 밀폐 방식으로 형성된다.1, a typical organic light emitting display device includes a substrate 101, an organic
기판(101) 상에 유기발광소자(110)이 형성되고, 박막 봉지층(120)은 유기발광소자(110) 상에 형성되어, 유기발광소자(110)를 보호한다. 일반적으로 박막 봉지층(120)은 무기층(121) 및 유기층(122)이 교대로 형성되는 다중충이다. 무기층(121)은 배리어층(barrier layer)로 사용되고 유기층(122)은 디커플링(decoupling layer)로 사용된다. 유기층(122)의 경우 모노머(monomer) 상태로 증착된 후 경화를 통해 폴리머(polymer)화 된다.An organic
유기층(122)의 주된 목적 중 하나는 기판(101) 또는 무기층(121) 상의 이물질을 덮어 유기층(122) 상부에 형성되는 무기층(121)의 두께가 균일하게 형성되도록 한다. 일반적으로 유기층(122)의 폭은 좁게 형성하고 무기층(121)의 폭은 넓게 형성하여 무기층(121)이 유기층(122)을 감싸는 형태로 형성되는데 이는 유기층(122)이 외부로 노출되는 경우 유기층(122)이 투습의 경로가 되기 때문이다.One of the main purposes of the
또한, 무기층(121) 보다 수배에서 수십배 정도 두껍게 형성되는 유기층(122)을 무기층(121)이 균일하게 덮기 위해서는 유기층(122)의 100 ~ 500μm 정도의 가장자리 영역의 두께가 서서히 감소되어야 하는데, 이 영역에 이물질이 존재하는 경우 유기물이 외부에 노출되어 투습의 경로가 될 수 있고, 투습이 예측 불가능하게 진행되어, 예상하지 못한 점등 불량이 발생할 수 있다.In order for the
그리고, 유기층(122)의 외곽으로는 무기층(121)만 존재하게 되어 국부적으로 무기층(121) 및 유기층(122) 각각이 받는 응력(stress)이 달라져 박막이 갈라지거나 크랙(crack)이 발생하여 투습의 경로가 되어, 이 또한, 역시 예상 불가능한 점등 불량을 야기할 수 있고, 구동 신뢰성이 저하될 수 있으며, 유기전계발광표시장치의 수명 예측이 불가능하게 된다.
Since only the
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있는 유기전계발광표시장치를 제공하는 것을 그 기술적 과제로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an organic light emitting display device capable of improving driving reliability.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 표시영역 및 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시 영역이 정의되는 기판; 상기 기판 상에 형성되고, 애노드 전극, 유기 발광층 및 캐소드 전극을 포함하는 유기발광소자; 상기 유기발광소자 상에 형성되고, 교대로 형성되는 적어도 하나의 무기층 및 적어도 하나의 유기층을 포함하는 박막 봉지층; 및 상기 박막 봉지층 상에 형성되고, 상기 박막 봉지층을 보호하는 보호층;을 포함하고, 상기 유기층은 상기 비표시 영역에서 두께가 일정한 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting display including: a substrate having a display region and a non-display region surrounding the display region; An organic light emitting element formed on the substrate and including an anode electrode, an organic light emitting layer, and a cathode electrode; A thin film encapsulation layer formed on the organic light emitting element and including at least one inorganic layer and at least one organic layer alternately formed; And a protective layer formed on the thin-film encapsulation layer and protecting the thin-film encapsulation layer, wherein the thickness of the organic layer is constant in the non-display area.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 표시영역 및 상기 표시영역을 둘러싸는 비표시 영역이 정의되는 기판 상에 유기발광소자를 형성하는 단계; 상기 유기발광소자 상에 상기 비표시 영역의 면적보다 더 큰 영역에 무기층 및 유기층을 순차적으로 적층하여 박막 봉지층을 형성하는 단계; 및 상기 비표시 영역과 외부와의 경계면에서 상기 무기층 및 상기 유기층의 단면이 노출되도록 상기 박막 봉지층의 가장자리 영역을 제거하는 단계;를 포함하고, 상기 비표시 영역과 외부와의 경계면에서 상기 유기층의 두께가 줄어들기 시작하는 것을 특징으로 형성하는 단계를 포함한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display, including: forming an organic light emitting diode on a substrate on which a display region and a non-display region surrounding the display region are defined; Forming a thin film encapsulation layer by sequentially laminating an inorganic layer and an organic layer on an area of the organic light emitting element that is larger than an area of the non-display area; And removing an edge region of the thin film encapsulation layer so that an end face of the inorganic layer and the organic layer is exposed at an interface between the non-display area and the outside, The thickness of the first layer begins to decrease.
본 발명에 따르면, 박막 봉지층의 유기층 두께를 균일하게 유지하여, 이물질 및 무기층과의 응력 차이에 의한 크랙 발생을 방지하고, 크랙에 의한 투습으로 인해 예측 불가능한 점등 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to maintain the thickness of the organic layer uniformly in the thin-film encapsulating layer, to prevent the occurrence of cracks due to the difference in stress between the foreign substance and the inorganic layer, and to prevent the unfavorable light- have.
또한, 본 발명에 따르면, 균일한 두께로 형성되는 박막 봉지층의 유기층을 노출시켜, 유기층의 가장자리 영역의 투습 진행 속도를 미리 예측할 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, the organic layer of the thin film encapsulation layer formed to have a uniform thickness is exposed, and the rate of progress of moisture permeation in the edge region of the organic layer can be predicted in advance.
또한, 본 발명에 따르면, 유기층의 가장자리 영역의 투습 진행 속도를 미리 예측하여, 상기 투습 진행 범위보다 비표시 영역을 더 넓게 설정함으로써, 예측 불가능한 점등 불량을 줄이고, 구동 신뢰성 및 수명을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Further, according to the present invention, by predicting the rate of progress of the moisture permeation of the edge region of the organic layer and setting the non-display region to be wider than the moisture permeation progression range, it is possible to reduce unforeseen lighting failure, It is effective.
도 1은 본 발명의 일반적인 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조 공정 중 박막 봉지층을 형성한 상태를 도시한 평면도; 및
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조 공정 중 박막 봉지층의 가장자리 영역을 절단하는 방법을 도시한 평면도.1 is a cross-sectional view of a general organic light emitting display device of the present invention;
2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention;
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 5 is a plan view showing a state in which a thin film encapsulation layer is formed during a manufacturing process of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention; FIG. And
6 is a plan view illustrating a method of cutting an edge region of a thin-film encapsulation layer during a manufacturing process of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부되는 도면들을 참고하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는, 기판(201), 유기발광소자(210) 및 박막 봉지층(220)을 포함한다.2, the organic light emitting display includes a
먼저, 기판(201)은 유리(glass) 또는, 알루미늄(Al) 및 구리(Cu) 중 어느 하나를 포함하는 금속일 수 있다. 또한, 기판(201)은 구부러질 수 있는 플렉서블한 재료이면서, 고온 및 각종 화학 약품에 잘 견딜 수 있도록 내열성 및 내구성이 우수한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 기판(201)은 폴리에테르술폰(PES, polyethersulphone), 폴리아크릴레이트(PAR, polyacrylate), 폴리에테르이미드(PEI, polyehterimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PET, polyethylenenapthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET, polyehtyleneterepthalate) 등과 같은 고분자 플라스틱으로 형성될 수 있다.First, the
그 다음으로, 기판(201) 상에 유기발광소자(210)가 형성된다. 유기발광소자(210)는 애노드 전극(미도시), 유기 발광층(미도시) 및 캐소드 전극(미도시)을 포함할 수 있다.Next, an organic
상면 발광 방식(top emission type)인 경우, 상면에 형성되는 캐소드 전극을 통해 유기 발광층에서 발광된 빛이 출사할 수 있다. 배면 발광 방식(bottom emission type)인 경우, 배면에 형성되는 애노드 전극을 통해 유기 발광층에서 발광된 빛이 출사할 수 있다.In the case of the top emission type, light emitted from the organic light emitting layer can be emitted through the cathode electrode formed on the top surface. In the case of the bottom emission type, light emitted from the organic light emitting layer can be emitted through the anode electrode formed on the backside.
애노드 전극은 하부에 형성되는 박막 트랜지스터(미도시)에 연결될 수 있다. 상기 박막 트랜지스터는 바람직하게 구동 트랜지스터(driving thin film transistor)일 수 있다. 상기 구동 트랜지스터는 스위칭 트랜지스터(switching transitor)로부터 스캔 신호를 공급 받는다. 박막 트랜지스터로부터 상기 스캔 신호를 공급받은 후, 애노드 전극은 유기 발광층으로 정공을 공급할 수 있다.The anode electrode may be connected to a thin film transistor (not shown) formed below. The thin film transistor may be a driving thin film transistor. The driving transistor receives a scan signal from a switching transistor. After receiving the scan signal from the thin film transistor, the anode electrode can supply holes to the organic light emitting layer.
애노드 전극은 유기 발광층으로 정공을 공급할 수 있도록, 바람직하게 일함수(work function)가 큰 물질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 애노드 전극은 투명 전도성 산화물(Transparent Conductive Oxide)로 형성될 수 있으며, 바람직하게, 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide), 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide) 및 인듐 주석 아연 산화물(Indium Tin Zinc Oxide) 중 어느 하나로 형성될 수 있다.The anode electrode may be formed of a material having a large work function so as to supply holes to the organic light emitting layer. For example, the anode electrode may be formed of a transparent conductive oxide, and may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide, and indium tin zinc Oxide) may be formed.
다음으로, 유기 발광층은 애노드 전극에서 공급받은 정공과 캐소드 전극에서 공급받은 전자가 만나 엑시톤(exciton)을 형성한 후, 상기 엑시톤이 기저 상태로 천이되면서, 유기 발광층을 이루는 물질이 갖는 고유한 특성이 밴드 갭(band gap) 에너지만큼의 파장을 갖는 빛이 출사될 수 있다.Next, in the organic luminescent layer, the holes supplied from the anode electrode and the electrons supplied from the cathode electrode meet to form an exciton, and then the exciton transitions to the ground state, and the inherent characteristics of the material constituting the organic luminescent layer Light having a wavelength as much as the band gap energy can be emitted.
유기 발광층은 상기와 같이 정공과 전자를 공급받을 수 있도록, 정공 주입층(hole injection layer), 정공 수송층(hole transportation layer), 전자 주입층(electron injection layer) 및 전자 수송층(electron transportation layer)등을 포함할 수 있다.The organic light emitting layer includes a hole injection layer, a hole transportation layer, an electron injection layer, and an electron transportation layer so as to receive holes and electrons as described above. .
유기 발광층은 수분 및 기타 외부에서 침투할 수 있는 이물질에 취약한 유기물로 이루어지기 때문에, 이를 보호할 보호층이 반드시 필요하다. 상기 보호층으로 유기발광소자(210) 상에 박막 봉지층(220)이 형성될 수 있다.Since the organic luminescent layer is made of organic materials that are susceptible to moisture and other foreign substances that can permeate from the outside, a protective layer is necessary to protect the organic luminescent layer. The thin
다음으로, 캐소드 전극은 유기 발광층으로 전자를 공급할 수 있도록, 바람직하게 일함수가 작은 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 캐소드 전극은 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al) 중 어느 하나를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다. 상면 발광 방식의 경우, 캐소드 전극 방향으로 유기 발광층에서 발광된 빛이 출사되기 때문에, 캐소드 전극은 상기 금속 또는 합금이 매우 얇은 박막으로 형성되는 반투과 박막일 수 있다.Next, the cathode electrode may preferably be formed of a material having a low work function so as to supply electrons to the organic light emitting layer. For example, the cathode electrode may be formed of a metal or an alloy including any one of silver (Ag), copper (Cu), and aluminum (Al). In the case of the top surface emission type, since the light emitted from the organic light emitting layer is emitted in the direction of the cathode electrode, the cathode electrode may be a semi-transparent thin film in which the metal or alloy is formed as a very thin film.
다음으로, 박막 봉지층(220)이 유기발광소자(210) 상에 형성된다. 박막 봉지층(220)은 적어도 하나의 무기층(221) 및 적어도 하나의 유기층(222)를 포함할 수 있다. 바람직하게, 박막 봉지층(220)은 적어도 하나의 무기층(221) 및 적어도 하나의 유기층(222)이 교대로 적층될 수 있으며, 최상부와 최하부에는 무기층(221)이 적층되는 무기층(221)/유기층(222)/무기층(221) 구조를 가질 수 있다.Next, a thin film encapsulating
무기층(221)은 유기층(222)을 보호하는 배리어층의 역할을 할 수 있으며, 유기층(222)보다 더 얇게 형성될 수 있다. 무기층(221)은 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 산화 질화물(SiOxNy), 실리콘 질화물(SiNx), 탄화 실리콘 산화물(SiOxCy), 알루미늄 산화물(AlOx), 인듐 틴 산화물(ITO), 아연 산화물(ZnOx), 알루미늄 산화 아연(Al-ZnOx) 중 어느 하나로 형성될 수 있다.The
무기층(221)은 스퍼터링(sputtering) 방식 또는 원자증착(atomic layer deposition) 방식으로 형성될 수 있다. 유기발광소자(210) 상에 형성되는 첫번째 무기층(221)은 유기발광소자(210)를 보호하는 보호층 역할을 하면서, 박막 봉지층(220)을 외부로부터 보호하는 보호층 역할을 동시에 할 수 있다. 첫번째 무기층(221) 상에 형성되는 첫번째 유기층(222)은 유기발광소자(210)를 포함하는 하부 구조의 요철을 평탄화하는 역할을 할 수 있다. 동시에, 첫번째 무기층(221) 상에 존재할 수 있는 이물질을 평탄화하여, 첫번째 유기층(222) 상에 형성되는 무기층(221) 및 유기층(222)은 그 두께가 균일하게 형성될 수 있다.The
유기층(222)은 무기층(221)의 완충막의 역할을 할 수 있으며, 무기층(221)보다 수배에서 수십배 두께의 박막으로 형성될 수 있다. 유기층(222)은 아크릴레이트(acrylate), 에폭시(epoxy) 계열의 폴리머, 이미드(imide) 계열의 폴리머 및 벤조사이클로부틴계 수지(benzocyclobutene series resin) 중 어느 하나로 형성될 수 있다. The
유기층(222)은 평탄화 특성을 갖는 물질로 형성될 수 있다. 하부 구조의 요철을 평탄화하거나, 형성되는 막 상에 존재할 수 있는 이물질을 덮어 평탄화시킬 수 있다. 무기층(221)을 형성하고 난 후, 무기층(221) 상에 형성되고 남은 파티클(particle) 및 무기층(221)의 잔해가 남아있을 수 있다. 이들은 이후, 크랙 발생의 원인이 될 수 있기 때문에, 무기층(221) 상에 유기층(222)을 형성하여 무기층(221)의 완충 작용 및 크랙 발생을 방지하여, 유기층(222) 및 유기발광소자(210)의 손상을 방지할 수 있다.The
유기층(222)은 열증착(thermal deposition) 방식으로 형성될 수 있다. 또한, 유기층(222) 형성 이후, 내부에 존재하는 가스를 방출하기 위해 열처리 공정을 포함하는 다양한 공정이 추가될 수 있다.The
무기층(221) 및 유기층(222)은 표시 영역(A/A)뿐만 아니라, 비표시 영역(N/A)을 포함하는 기판(201) 전면에서 균일한 두께로 형성될 수 있다. 무기층(221) 및 유기층(222)은 오픈 마스크를 사용하여 증착 방식으로 형성되기 때문에, 비표시 영역(N/A)에 형성되는 가장자리 영역의 두께가 얇아질 수 있다. 특히, 유기층(222)의 두께가 얇아진 비표시 영역(N/A)에 유기층(222)의 두께보다 높이가 더 큰 이물질이 존재할 경우, 크랙이 발생하여 투습이 가속화될 수 있다.The
그러나, 본 발명에서는 도2에 도시된 바와 같이, 첫번째 유기층(222)을 제외한 나머지 유기층(222) 및 모든 무기층(221)이 비표시 영역(N/A)의 끝단까지 균일한 두께로 형성되어 있다. 따라서, 이물질에 의한 크랙 발생을 방지함으로써, 투습을 방지하거나 지연시킬 수 있다.However, in the present invention, as shown in FIG. 2, the
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는, 보호층(230)을 더 포함한다.As shown in FIG. 3, the organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention further includes a
보호층(230)은 박막 봉지층(220) 상에 형성된다. 보호층(230)은 무기층(221)과 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 산화 질화물(SiOxNy), 실리콘 질화물(SiNx), 탄화 실리콘 산화물(SiOxCy), 알루미늄 산화물(AlOx), 인듐 틴 산화물(ITO), 아연 산화물(ZnOx), 알루미늄 산화 아연(Al-ZnOx) 중 어느 하나로 형성될 수 있다.The
보호층(230)은 박막 봉지층(220) 상에 형성되면서 동시에 무기층(221) 및 유기층(222)의 노출된 단면을 둘러쌀 수 있다. 무기층(221) 및 유기층(222)의 노출된 단면을 둘러쌀 수 있도록 보호층(230)은 스텝 커버리지(step coverage) 특성이 우수한 물질로 형성될 수 있다. 따라서, 보호층(230)은 스텝 커버리지 특성이 우수한 투명 전도성 산화물로 형성될 수 있다. 예를 들어, 주석 산화물(Indium Tin Oxide), 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide) 및 인듐 주석 아연 산화물(Indium Tin Zinc Oxide) 중 어느 하나로 형성될 수 있다.The
보호층(230)은 상기와 같이 스텝 커버리지 특성이 우수한 물질로 형성하여, 무기층(221) 및 유기층(222)의 노출된 단면을 치밀하게 밀폐할 수 있다. 또한, 보호층(230)을 무기층(221)과 동일한 물질로 형성하여 무기층(221) 및 유기층(222)의 노출된 단면을 치밀하게 밀폐하지 못하더라도, 유기층(222)의 투습 속도를 늦춰 발광 불량이 발생하는 것을 지연시킬 수 있다.The
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display according to another embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는, 유기층(222)의 비표시 영역(N/A)에 형성되는 경화부(240)를 더 포함한다.4, the organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention further includes a
경화부(240)는 유기층(222)에 레이저를 조사하여 형성될 수 있다. 유기층(222)은 열증착 방식으로 형성될 수 있으며, 이후 내부에 포함되어 있는 가스 등 이물질 제거를 위하여 열처리를 할 수 있으며, 유기층(222)의 경화를 위하여 열처리를 할 수도 있다. 특히, 비표시 영역(N/A)의 유기층(222)은 외부로부터의 투습이 시작되는 위치이기 때문에, 비표시 영역(N/A)의 유기층(222)을 레이저로 경화시켜 경화부(240)를 형성하여 투습의 진행 속도를 더욱 늦출 수 있다.The
경화부(240)는 유기층(222)이 형성되고 나서 반복적으로 레이저를 조사하여 형성될 수도 있고, 박막 봉지층(220)이 모두 완성되고 나서 한번에 레이저를 조사하여 형성될 수도 있다. 특히, 도면에 도시되지는 않았지만, 박막 봉지층(220) 하부의 비표시 영역(N/A)의 기판(201) 상에는 패드부(미도시) 등의 금속 배선 영역이 존재할 수 있다. 따라서, 이 영역이 손상되지 않도록 레이저 세기를 조절할 필요가 있으며, 박막 봉지층(220)이 형성되고 난 후, 박막 봉지층(220) 상부에서 박막 봉지층(220) 방향으로 레이저를 한번에 조사하는 경우, 패드부 등의 금속 배선의 손상을 방지하는데 더욱 큰 효과를 볼 수 있다.The
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조 공정 중 박막 봉지층을 형성한 상태를 도시한 평면도이다.5 is a plan view illustrating a state in which a thin film encapsulation layer is formed during a manufacturing process of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
도 5에 도시된 바와 같이, 박막 봉지층(220)은 비표시 영역(N/A) 보다 더 넓은 면적인 박막 봉지층 영역(T/A)에 걸쳐 형성되는 것이 특징이다.5, the thin
먼저, 비표시 영역(N/A)보다 더 넓은 면적을 갖는 기판(201)을 준비한 후, 각 화소마다 유기발광소자(210)를 형성한다.First, a
그 다음으로, 유기발광소자(210) 상에 박막 봉지층 영역(T/A)에 무기층(221) 및 유기층(222)을 교대로 형성할 수 있다. 이때, 표시 영역(A/A)뿐만 아니라 비표시 영역(N/A)의 끝단까지 무기층(221) 및 유기층(222)의 두께는 균일하게 형성되어야 한다. 즉, 이후, 박막 봉지층(220)이 절단되는 영역에서 무기층(221) 및 유기층(222)의 두께는 균일해야 한다.Next, the
유기발광소자(210) 상에 첫번째 무기층(221)을 형성하는 경우, 일단 마그넷(magnet)을 기판(201) 반대편에 위치시킨 후, 오픈 마스크를 마그넷에 의해 얼라인(align)시킨다. 마스크의 오픈 영역은 박막 봉지층 영역(T/A)과 일치할 수 있도록 한다. 이후, 스퍼터링 공정을 실시하여 무기물을 마스크의 오픈 영역에 증착시켜 박막 봉지층 영역(T/A)에 무기층(221)을 형성할 수 있다.When the first
무기층(221) 상에 유기층(222)을 형성하는 경우, 마그넷에 의해 얼라인 된 오픈 마스크를 두고, 열증착 방식을 사용하여 유기물을 마스크의 오픈 영역에 증착시켜 박막 봉지층 영역(T/A)에 유기층(222)을 형성할 수 있다.In the case of forming the
상기 무기층(221) 및 유기층(222)을 형성하는 공정을 반복하여 박막 봉지층(220)을 박막 봉지층 영역(T/A)에 형성할 수 있다. 박막 봉지층(220)은 비표시 영역(N/A)이 끝나는 영역, 즉 비표시 영역(N/A)과 외부와의 경계면에서부터 박막 봉지층 영역(T/A)까지 두께가 서서히 줄어들도록 형성하는 것이 바람직하다.The thin
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조 공정 중 박막 봉지층의 가장자리 영역을 절단하는 방법을 도시한 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating a method of cutting an edge region of a thin-film encapsulating layer during a manufacturing process of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
도 6에 도시된 바와 같이, 비표시 영역(N/A)과 외부와의 경계면(B)에서 박막 봉지층(220)의 가장자리 영역의 두께가 서서히 줄어들 수 있다. 박막 봉지층(220)의 두께가 균일한 비표시 영역(N/A)과 외부와의 경계면(B)을 따라 도 6에 도시된 바와 같이 휠 스크라이빙(wheel scribing) 방식으로 박막 봉지층(220)의 가장자리 영역을 절단하여 제거할 수 있다. 이때, 박막 봉지층(220)의 가장자리 영역뿐만 아니라 기판(201)까지 동시에 절단할 수 있다.The thickness of the edge region of the thin
휠 스크라이버(wheel scriber)가 박막 봉지층(220)부터 기판(201) 방향으로 움직이면서 박막 봉지층(220)의 가장자리 영역 및 기판(201)의 외곽부를 절단하거나, 기판(201)에서부터 반대방향으로 절단할 수도 있다.The wheel scriber moves from the thin
기판(201)이 절단되지 않아야 할 영역에서는 기존의 포토리소그래피(photolithography) 방식을 사용하여 패터닝할 수도 있다. 박막 봉지층(220)의 비표시 영역(N/A) 외곽에 위치하는 가장자리 영역만 패터닝하여 제거함으로써, 기판(201) 및 기판(201) 상의 비표시 영역(N/A)에 형성된 금속 배선 등을 제거하지 않고 보호할 수 있다.In a region where the
또한, 테이프(tape)를 이용하여 박막 봉지층(220)의 가장자리 영역을 제거할 수 있다. 박막 봉지층(220)을 형성하기 전에 제거될 박막 봉지층(220)의 가장자리 영역에 해당하는 기판(201) 상에 테이프를 부착하고, 박막 봉지층(220)을 형성하고 난 후, 상기 테이프를 떼어내면 박막 봉지층(220)의 가장자리 영역이 제거되고, 무기층(221) 및 유기층(222)의 단면이 노출될 수 있다.In addition, the edge region of the thin
상기와 같은 방식으로 박막 봉지층(220)의 무기층(221) 및 유기층(222)을 비표시 영역(N/A)에서 균일한 두께로 형성하고, 특히 유기층(222)을 노출시킴으로써, 유기층(222)의 투습 진행 거리를 예측하고, 이에 따라, 기판(201)의 비표시 영역(N/A)을 상기 투습 진행 예상 거리보다 더 길게 형성하여, 유기전계발광표시장치의 수율을 높일 수 있다. 또한, 정밀도가 높고 밀폐가 우수한 봉지 부재를 형성하는 것보다 생산비가 절감될 수 있으며, 크랙 등의 예측 불가능한 원인으로 인한 투습에 의해 예측이 어려운 점등 불량을 방지하여, 유기전계발광표시장치의 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.
그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.
201: 기판 210: 유기발광소자
220: 박막 봉지층 221: 무기층
222: 유기층201: substrate 210: organic light emitting element
220: Thin film sealing layer 221: Inorganic layer
222: organic layer
Claims (12)
상기 기판 상에 형성되고, 애노드 전극, 유기 발광층 및 캐소드 전극을 포함하는 유기발광소자;
상기 유기발광소자 상에 형성되고, 교대로 형성되는 적어도 하나의 무기층 및 적어도 하나의 유기층을 포함하는 박막 봉지층; 및
상기 박막 봉지층 상에 형성되고, 상기 박막 봉지층을 보호하는 보호층;을 포함하고,
상기 유기층은 상기 비표시 영역에서 두께가 일정한 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
A substrate on which a display region and a non-display region surrounding the display region are defined;
An organic light emitting element formed on the substrate and including an anode electrode, an organic light emitting layer, and a cathode electrode;
A thin film encapsulation layer formed on the organic light emitting element and including at least one inorganic layer and at least one organic layer alternately formed; And
And a protective layer formed on the thin film sealing layer and protecting the thin film sealing layer,
Wherein the organic layer has a constant thickness in the non-display region.
상기 무기층 및 상기 유기층의 단면이 상기 비표시 영역에서 노출되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein a cross section of the inorganic layer and the organic layer is exposed in the non-display region.
상기 보호층은 상기 무기층 및 상기 유기층의 노출된 단면을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the protective layer surrounds the exposed end face of the inorganic layer and the organic layer.
상기 유기층은 상기 비표시 영역에서 경화부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the organic layer includes a hardened portion in the non-display region.
상기 유기발광소자 상의 상기 비표시 영역보다 더 큰 영역에 무기층 및 유기층을 순차적으로 적층하여, 박막 봉지층을 형성하는 단계; 및
상기 비표시 영역과 외부와의 경계면에서 상기 무기층 및 상기 유기층의 단면이 노출되도록 상기 박막 봉지층의 가장자리 영역을 제거하는 단계;를 포함하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
Forming an organic light emitting element on a substrate on which a display region and a non-display region surrounding the display region are defined;
Forming a thin film encapsulation layer by sequentially laminating an inorganic layer and an organic layer on a region larger than the non-display region on the organic light emitting element; And
And removing an edge region of the thin-film encapsulation layer such that an end face of the inorganic layer and the organic layer is exposed at an interface between the non-display area and the outside.
상기 박막 봉지층을 형성하는 단계는,
상기 기판 하부에 마그넷을 위치시키고, 상기 기판 상부에 상기 마그넷에 의해 마스크를 정렬시키는 단계;
상기 마스크를 이용하여 스퍼터링 방식으로 무기물을 증착하여 무기층을 형성하는 단계; 및
상기 무기층 상에 열증착법으로 유기물을 증착하고, 열처리하여 유기층을 경화시키는 단계;를 포함하고,
상기 유기층은 상기 비표시 영역에서 두께가 균일하고, 상기 비표시 영역과 외부와의 경계면에서부터 외부로 갈수록 두께가 줄어들기 시작하는 것을 특징으로 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
6. The method of claim 5,
The step of forming the thin film encapsulation layer includes:
Placing a magnet under the substrate and aligning the mask with the magnet on the substrate;
Depositing an inorganic material by a sputtering method using the mask to form an inorganic layer; And
Depositing an organic material on the inorganic layer by thermal evaporation and curing the organic layer by heat treatment;
Wherein the thickness of the organic layer is uniform in the non-display region, and the thickness of the organic layer starts to decrease from the boundary between the non-display region and the outside to the outside.
상기 박막 봉지층의 가장자리 영역을 제거하는 단계에서,
상기 박막 봉지층의 자장자리 영역은 휠 스크라이빙 방식으로 제거되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
The method according to claim 6,
In the step of removing the edge region of the thin film sealing layer,
Wherein the magnetic field region of the thin film encapsulation layer is removed by a wheel scribing method.
상기 박막 봉지층의 가장자리 영역을 제거하는 단계에서,
상기 박막 봉지층의 자장자리 영역은 패터닝되어 제거되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
The method according to claim 6,
In the step of removing the edge region of the thin film sealing layer,
Wherein the magnetic field region of the thin film encapsulation layer is patterned and removed.
상기 박막 봉지층의 가장자리 영역을 제거하는 단계에서,
상기 박막 봉지층의 자장자리 영역은 테이프에 의해 제거되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
The method according to claim 6,
In the step of removing the edge region of the thin film sealing layer,
Wherein the magnetic field region of the thin film sealing layer is removed by a tape.
상기 박막 봉지층이 상기 테이프에 의해 제거되는 경우,
상기 테이프가 박막 봉지층이 형성되기 전, 상기 기판 상에 위치하고, 상기 박막 봉지층이 형성되고 난 후, 상기 테이프를 떼어내면서 상기 박막 봉지층의 가장자리 영역이 제거되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
10. The method of claim 9,
When the thin film encapsulation layer is removed by the tape,
Characterized in that an edge region of the thin film encapsulation layer is removed while the tape is placed on the substrate before the thin film encapsulation layer is formed and the tape is peeled off after the thin film encapsulation layer is formed, Device.
상기 유기전계발광표시장치의 제조방법은,
상기 비표시 영역의 상기 유기층을 레이저로 조사하여 경화부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
6. The method of claim 5,
The method of fabricating an organic light emitting display device includes:
And forming a hardened portion by irradiating the organic layer of the non-display region with a laser.
상기 유기전계발광표시장치의 제조방법은,
상기 박막 봉지층 상에 상기 무기층 및 상기 유기층의 노출된 단면을 둘러싸는 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.6. The method of claim 5,
The method of fabricating an organic light emitting display device includes:
And forming a protective layer surrounding the inorganic layer and the exposed end surface of the organic layer on the thin-film encapsulation layer.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105390622A (en) * | 2014-08-21 | 2016-03-09 | 东京毅力科创株式会社 | Method for forming organic EL element sealing film |
CN113725391A (en) * | 2021-08-31 | 2021-11-30 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | Manufacturing method of display panel, display panel and electronic equipment |
CN114141966A (en) * | 2021-11-18 | 2022-03-04 | 惠州华星光电显示有限公司 | OLED display panel and OLED display device |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005283747A (en) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toray Ind Inc | Color filter substrate for liquid crystal display device and liquid crystal display device |
JP2007005189A (en) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Tokki Corp | Mask for forming organic film, sealing film forming device, as well as forming method of sealing film |
KR20100064870A (en) * | 2008-12-05 | 2010-06-15 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic electroluminescence display device and method for fabricating the same |
US20100244068A1 (en) * | 2007-05-16 | 2010-09-30 | Otb Solar B.V. | Method For Applying A Thin-Film Encapsulation Layer Assembly To An Organic Device, And An Organic Device Provided With A Thin-Film Encapsulation Layer Assembly Preferably Applied With Such A Method |
WO2012021968A1 (en) * | 2010-08-18 | 2012-02-23 | Dayan Ban | Organic/inorganic hybrid optical amplifier with wavelength conversion |
KR20120072710A (en) * | 2010-12-24 | 2012-07-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | Method for manufacturing of organic light emitting diode display device |
KR20140080001A (en) * | 2012-12-20 | 2014-06-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same |
-
2012
- 2012-12-29 KR KR1020120157728A patent/KR102037051B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005283747A (en) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toray Ind Inc | Color filter substrate for liquid crystal display device and liquid crystal display device |
JP2007005189A (en) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Tokki Corp | Mask for forming organic film, sealing film forming device, as well as forming method of sealing film |
US20100244068A1 (en) * | 2007-05-16 | 2010-09-30 | Otb Solar B.V. | Method For Applying A Thin-Film Encapsulation Layer Assembly To An Organic Device, And An Organic Device Provided With A Thin-Film Encapsulation Layer Assembly Preferably Applied With Such A Method |
KR20100064870A (en) * | 2008-12-05 | 2010-06-15 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic electroluminescence display device and method for fabricating the same |
WO2012021968A1 (en) * | 2010-08-18 | 2012-02-23 | Dayan Ban | Organic/inorganic hybrid optical amplifier with wavelength conversion |
KR20120072710A (en) * | 2010-12-24 | 2012-07-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | Method for manufacturing of organic light emitting diode display device |
KR20140080001A (en) * | 2012-12-20 | 2014-06-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105390622A (en) * | 2014-08-21 | 2016-03-09 | 东京毅力科创株式会社 | Method for forming organic EL element sealing film |
CN113725391A (en) * | 2021-08-31 | 2021-11-30 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | Manufacturing method of display panel, display panel and electronic equipment |
CN114141966A (en) * | 2021-11-18 | 2022-03-04 | 惠州华星光电显示有限公司 | OLED display panel and OLED display device |
WO2023087386A1 (en) * | 2021-11-18 | 2023-05-25 | 惠州华星光电显示有限公司 | Oled display panel and oled display apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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