KR20140051765A - To prevent shaking for 8-axis transfer robot - Google Patents

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Abstract

Disclosed is a transfer vacuum robot. The provided transfer vacuum robot, more specifically an 8-axis transfer robot capable of calibrating a bending, includes: a shaking calibration device which compensates the shaking of an arm for calibrating the shaking generated from a process wherein a substrate is laid. In addition, the 8-axis transfer robot has a driving arm and an auxiliary arm arranged on respective upper and lower arms, to increase rigidity generated from driving the 8-axis transfer robot, and by having the calibration device for calibrating the shaking generated from driving the 8-axis transfer robot, the 8-axis transfer robot is provided with enhanced precision.

Description

틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇 {To prevent shaking for 8-axis transfer robot}[0001] The present invention relates to an 8-axis transfer robot,

본 발명은 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 챔버 내부에 배치되고 기판을 이송하는 이송 진공로봇으로서, 핑거를 구비하면서 이송정밀도를 높여주기 위하여 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇에 관한 것이다.
The present invention relates to an 8-axis transfer robot for correcting a misalignment, and more particularly, to a transfer vacuum robot which is disposed inside a chamber and transfers a substrate. The transfer robot includes eight fingers for correcting misalignment To a transfer robot.

종래의 8축 이송 진공로봇에서는, 이송 진공로봇의 아암(arm)에 2개의 핸드를 장착하기 위해서는 암을 길게 하거나 상부(upper)암과 하부(lower) 암을 상하로 배치하였다. 그러나 이와 같이 구성하였을 경우 암의 길이가 길어짐에 따라 구조적 강성이 떨어져 이송 작업의 정밀도가 떨어지는 문제가 발생하였다. In order to mount two hands on the arm of the transfer vacuum robot in the conventional 8-axis transfer vacuum robot, the arms are extended or the upper arm and the lower arm are arranged vertically. However, when the length of the arm is increased, the structural rigidity is reduced and the accuracy of the transfer operation is lowered.

정밀도를 개선하기 위하여 암의 강성을 높이는 경우 암의 무게가 증가하거나 이송장치의 크기가 커져 설치에 어려움이 발생하였다. 또한, 암의 구조적 강성을 높이기 위하여 특수한 구조를 갖도록 하는 경우에는 이송장치의 동작에 제한이 가해지기 때문에 공정 속도가 저하되는 문제가 발생한다.  When the rigidity of the arm is increased in order to improve the accuracy, the weight of the arm is increased or the size of the transfer device is increased. Further, in the case of having a special structure in order to increase the structural stiffness of the arm, there is a problem that the operation speed of the transfer device is lowered because of the restriction of the operation of the transfer device.

이러한, 문제점을 해결하기 위하여 대한민국 특허 출원 출원번호 10-2012-0117169는 본 출원인이 이송 진공로봇의 공정 정밀도를 개선하기 위하여 출원하였다. 츨원번호 10-2012-0117169는 동축 구조를 갖으면서 강성을 높이는 구조를 제공하고 있다. 그러나 좌측/우 암과 암에 대하여서는 각각을 정밀제어 하지 못하는 문제점이 발생하였다.
In order to solve such a problem, Korean Patent Application No. 10-2012-0117169 was filed by the applicant in order to improve the process accuracy of the transfer vacuum robot. No. 10-2012-0117169 provides a structure that increases the rigidity while having a coaxial structure. However, the left / right arm and the arm were not precisely controlled.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 각 핸드의 구조적 강성을 높이면서 이송작업 시에 발생되는 오차를 보정하는 8축 이송로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an eight-axis transfer robot that corrects an error occurring during a transfer operation while enhancing the structural rigidity of each hand.

또한, 좌측 암과 우측 암을 각각 정밀 제어하는 보정장치를 제공하는 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
It is another object of the present invention to provide an eight-axis transfer robot that corrects a deviation that provides a correcting device that precisely controls the left arm and the right arm, respectively.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 이송 진공로봇으로서, 가이드라인을 따라 수직으로 직선운동을 하는 안내블록과 상기 안내블록으로 동력을 전달하는 제1 구동장치(110)가 구비된 하부 몸체(10); 상기 하부 몸체의 내부에 위치되고 상기 안내블록에 체결되어 수직으로 움직이면서 회전운동을 하는 제2 구동장치를 구비하는 하부 프레임부(230); 상기 하부 프레임의 상단부에 삽입되어 체결되고 좌측에 배치되는 상부 핸드와 하부 핸드에 구동력을 전달하는 제3 구동장치와 제4 구동장치가 배치될 수 있도록 장홀로 형성된 제1 상부 프레임(222); 상기 하부 프레임의 상단부에 삽입되어 체결되고 우측에 배치되는 상부 핸드와 하부 핸드에 구동력을 전달하는 제5 구동장치와 제6 구동장치가 배치될 수 있도록 장홀로 형성된 제2 상부 프레임(224); 상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)의 중앙 하단부에 배치되어 일정각도 상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)을 각각의 틀어짐을 보정하는 보정장치(40) 제3,4,5 및 6 구동장치와 연결되어 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 구동력 암(72)과 상기 구동력 암(72)으로부터 일정거리 이격되어 강성 및 흔들림을 최소화하기 위한 보조 암(74)을 구비하면서 직선운동을 하는 암(70)을 구비하는 다수개의 핸드부를 포함하는 이송 진공로봇을 제공한다.In order to achieve the above-mentioned object, there is provided a transfer vacuum robot comprising: a lower body (10) having a guide block for performing linear motion in a vertical direction along a guide line and a first drive device (110) ); A lower frame part (230) located inside the lower body and having a second driving device which is coupled to the guide block and rotates while moving vertically; A first upper frame 222 formed as an elongated hole in which an upper hand inserted and fastened to the upper end of the lower frame and disposed on the left side and a third driving device for transmitting driving force to the lower hand and a fourth driving device are disposed; A second upper frame 224 formed as an elongated hole in which an upper hand inserted and fastened to the upper end of the lower frame and disposed on the right side and a fifth driving device for transmitting driving force to the lower hand and a sixth driving device are disposed; The first upper frame 222 and the second upper frame 224 are disposed at the lower end of the center of the first upper frame 222 and the second upper frame 224, A driving force arm (72) connected to the third, fourth, fifth, and sixth driving devices and performing linear motion by receiving a driving force, and a driving force arm And a plurality of hands including an arm (74) and an arm (70) having a linear motion.

본 발명의 발람직한 형태에 따르면, 상기 보정장치(40)는,상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)에 대하여 좌측회전과 우측회전을 각각을 제어하기 위한 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)로 구비되는 것이 바람직하다.According to a preferred aspect of the present invention, the correcting device (40) is provided with a first correction for controlling the left rotation and the right rotation with respect to the first upper frame (222) and the second upper frame (224) The apparatus 400 and the second correction device 420 are preferably provided.

또한, 상기 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 보정 시에 서로간의 간섭이 되지 않도록 보정각도가 각각 약 ??10도에서 10도를 벗어나지 못하는 것이 좋다.It is also preferable that the correction angles do not deviate from about 10 degrees to about 10 degrees so that the first and second correction devices 400 and 420 do not interfere with each other during the correction.

또, 동일한 기구적 특징을 적용하여 정밀제어를 하기위하여 상기 제3 구동장치(310)와 연결되는 회전축을 기준으로 암(70)이 서로 복층으로 배치되고 상기 암(70)의 위치가 서로 대칭으로 형성되는 것이 바람직하다. Also, in order to perform precise control by applying the same mechanical characteristics, the arms 70 are arranged in two layers with respect to the rotation axis connected to the third driving device 310, and the positions of the arms 70 are symmetrical .

또한, 상기 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)이 내부에서 발생되는 먼지 및 분진이 진공챔버(80)내부로 주입되는 것을 방지하고, 고장시에 신속한 교체가 용이하도록 상부덮개가 분리가 용이하도록 체결되는 것이 좋다.In addition, dust and dust generated in the first upper frame 222 and the second upper frame 224 are prevented from being injected into the vacuum chamber 80, To be separated easily.

본 발명의 바람직한 다른 형태에 따르면, 전술한 이송로봇으로 구성되는 공정장치를 제공한다.According to another preferred embodiment of the present invention, there is provided a processing apparatus constituted by the above-described transfer robot.

본 발명에 따른 틀어짐을 보정하는8축 이송로봇은, 각 상부 핸드/하부 핸드에 구동력 암과 보조 암을 배치시켜 구동 시 발생되는 강성을 높이고 구동 시에 발생되는 흔들림을 보정하는 보정장치를 구비함으로써, 보다 정밀한 8축 이송로봇을 제공하는 효과가 있다.The 8-axis transfer robot for correcting the deviation according to the present invention is provided with a correction device for increasing the rigidity generated at the time of driving by arranging the driving force arm and the auxiliary arm in each upper hand / lower hand and correcting the shaking generated at the time of driving , It is possible to provide a more precise 8-axis transfer robot.

또한, 이송 진공로봇의 회전반경을 최소화함으로써 장비가 차지하는 면적이 작아짐으로써 진공을 유지하는 공간을 최소화하여 유지보수비용을 절약할 수 있는 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇을 제공하는 효과가 있다.In addition, there is an effect of providing an 8-axis transfer robot that minimizes the turning radius of the transfer vacuum robot, thereby reducing the area occupied by the equipment, thereby minimizing the space for maintaining the vacuum and correcting the misfit that can reduce the maintenance cost.

또, 좌측 암과 우측 암을 각각 정밀 제어하는 보정장치를 제공하는 특어짐을 보정하는 8축 이송로봇을 제공하는 효과가 있다. Further, there is an effect of providing an 8-axis conveying robot that corrects a characteristic that provides a correcting device that precisely controls the left arm and the right arm, respectively.

도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 진공로봇의 정면도.
도 2 는 도 1에 대한 평면도.
도 3 은 도 1에 대한 측면도.
도 4 는 도 3에 대한 단면도.
도 5는 도 4에 대한 d부분 확대도.
도 6은 도 4에 대한 c-c의 단면이다.
도 7은 도 2에 대한 우측 암이 구동되는 것을 나타낸 예시도.
도 8은 도 2에 대한 좌측 암이 구동되는 것을 나타낸 예시도.
도 9는 도 9에 대한 좌축암과 우측암이 구동되는 것을 나타낸 예시도.
도 10은 도 2에 대한 b-b의 단면도.
도 11은 도 2에 대한 a-a의 단면도.1 is a front view of a transfer vacuum robot according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a plan view of Figure 1;
Figure 3 is a side view of Figure 1;
4 is a sectional view of Fig. 3; Fig.
Fig. 5 is a partially enlarged view of Fig. 4;
6 is a cross section of cc for Fig.
Fig. 7 is an exemplary view showing that the right arm of Fig. 2 is driven. Fig.
Fig. 8 is an exemplary view showing that the left arm of Fig. 2 is driven; Fig.
Fig. 9 is an exemplary view showing that the left arm and right arms of Fig. 9 are driven. Fig.
Figure 10 is a cross-sectional view of bb for Figure 2;
Figure 11 is a cross-sectional view of aa for Figure 2;

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 따른 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 상세한 설명은 생략한다. 들어가기에 앞서, 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. Before describing the present invention, the same reference numerals are used for explaining the present invention even if the embodiments are different, and description thereof may be omitted if necessary.

도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 진공로봇의 정면도, 도 2 는 도 1에 대한 평면도, 도 3 은 도 1에 대한 측면도, 도 4 는 도 3에 대한 단면도이다.
Fig. 1 is a front view of a transfer vacuum robot according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a plan view of Fig. 1, Fig. 3 is a side view of Fig. 1, and Fig. 4 is a sectional view of Fig.

도면을 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송 진공로봇은, 다른 구성요소를 지지하는 하부 몸체(10)와 하부 몸체(10)의 내부에 배치되고 상승 또는 하강이 가능한 연결부(20)와 연결부(20)의 상부에 배치되고 회전운동이 가능한 상부 몸체(30)와 상부 몸체(30)의 상단부에 배치되고 일정거리 이격되어 기판이 안착되는 상부핸드(50)/하부핸드(60)를 포함한다.
The transporting vacuum robot according to the preferred embodiment of the present invention includes a lower body 10 supporting other components and a connecting portion 20 disposed inside the lower body 10 and capable of being raised or lowered And an upper hand 50 and a lower hand 60 disposed on the upper end of the upper body 30 and spaced apart from each other by a predetermined distance, .

하부 몸체(10)는 다른 구성요소들을 지지하며 지면에 배치된다. 하부 몸체(10)는 연결부(20)를 상하 직선운동으로 구동하는 제1 구동장치(110)와 하부 몸체(10) 내부에 위치되고 연결부(20)의 상하 직선운동을 안내하는 안내부(120)를 포함한다. The lower body 10 supports other components and is disposed on the ground. The lower body 10 includes a first driving unit 110 for driving the connecting unit 20 in a vertical linear motion and a guide unit 120 positioned inside the lower body 10 and guiding the up and down linear movement of the connecting unit 20, .

제1 구동장치(110)는 하부 몸체(10)의 내부에 배치되고 전기로 구동되는 모터를 구비한다. 이 모터는 일정거리 이격된 볼스크류축의 일측 단부에 마련된 풀리와 연결된다. 제1 구동장치(110)는 볼스크류축의 구동으로 인하여 연결부(20)를 일정 구간 사이에서 수직방향으로 직선운동을 하도록 한다. 제1 구동장치(110)의 연결방법은 볼 스크류 방식으로 한정하기 위함은 아니며, 다양한 방식으로 연결이 가능하다 예를 들면, 레일을 이용한 LM가이드와 실린더 및 전기모터 등으로도 대체가 가능하다.The first driving device 110 includes a motor disposed inside the lower body 10 and electrically driven. This motor is connected to a pulley provided at one end of a ball screw shaft spaced a certain distance. The first driving unit 110 allows the connection unit 20 to linearly move in a vertical direction within a predetermined interval due to the driving of the ball screw shaft. The connection method of the first driving device 110 is not limited to a ballscrew method, but can be connected in various ways. For example, an LM guide using a rail, a cylinder, and an electric motor can be substituted.

안내부(120)는 하부 몸체(10)의 내부에 배치된다. 안내부(120)는 볼스크류 축에 배치된 블록과 체결된다. 안내부(120)는 볼스크류 축의 구동으로 인하여 블록을 따라 상하 직선운동을 한다. 안내부(120)는 프레임(22)과 체결되어 연결부(20)를 상하 직선운동을 한다. 안내부(120)는 연결부(20)와 체결되어 상부 몸체(30)를 상하 직선운동을 한다. 안내부(120)는 레일 또는 볼스크류 축에 연결된 블록을 따라 이동한다. 볼스크류 또는 레일이 1개 이상의 복수개가 제공되는 경우 각 레일은 등각도 간격으로 배치되는 것이 바람직하다. 볼스크류 또는 레일이 각각 3개인 경우에는 120도 간격으로 배치된다.
The guide portion 120 is disposed inside the lower body 10. The guide portion 120 is fastened to the block disposed on the ball screw shaft. The guide unit 120 moves up and down along the block due to the driving of the ball screw shaft. The guide portion 120 is fastened to the frame 22 to move the connecting portion 20 up and down. The guide part 120 is coupled to the connection part 20 to move the upper body 30 up and down. The guide portion 120 moves along a block connected to the rail or the ball screw shaft. If more than one ball screw or a plurality of rails are provided, it is preferable that the rails are arranged at equal angular intervals. When three ball screws or rails are used, they are arranged at intervals of 120 degrees.

연결부(20)는 안내부(120)와 체결되어 상하 직선운동을 한다. 연결부(20)는 하부 몸체(10)의 내부에 배치되는 제2 구동장치(24)와 체결되어 회전운동을 한다. 연결부(20)는 하부 몸체(10)의 내부에서 상하로 직선운동을 한다. 연결부(20)는 상부 몸체(30)을 회전가능하게 지지한다. 연결부(20)는 하부 몸체(10)의 안내부(120)와 연결되는 프레임(22)과 프레임(22)의 내부에 위치되는 제2 구동장치(24)를 포함한다.
The connecting portion 20 is fastened to the guide portion 120 and moves up and down in a straight line. The connection portion 20 is coupled with the second driving device 24 disposed inside the lower body 10 and rotates. The connecting portion 20 linearly moves up and down in the lower body 10. The connecting portion 20 rotatably supports the upper body 30. The connecting portion 20 includes a frame 22 connected to the guide portion 120 of the lower body 10 and a second driving device 24 positioned inside the frame 22.

프레임(22)은 제2 구동장치(24)의 구동력을 받아 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 회전시킨다. 프레임(22)은 상부 몸체(30)를 회전시키는 하부프레임(230)과 로봇의 좌측에 배치되는 상부 핸드/하부 핸드와 연결되어 흔들림을 보정하는 제1 상부 프레임(222)과 로봇의 우측에 배치되는 상부 핸드/하부 핸드를 구동하는 제2 상부 프레임(224)을 포함한다.
The frame 22 receives the driving force of the second driving device 24 and rotates the upper hand 50 / the lower hand 60. The frame 22 includes a lower frame 230 for rotating the upper body 30 and a first upper frame 222 connected to the upper hand / lower hand disposed on the left side of the robot to correct the shake, And a second upper frame 224 for driving the upper hand / lower hand.

하부 프레임(230)은 안내부(120)에 체결된다. 하부 프레임(230)은 소정의 구간 에서 상하 직선운동을 한다. 하부 프레임(230)는 중공형상을 가지며 상부 프레임(220)에 연결된다. 하부 프레임(230)은 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)이 각각 내부로 삽입되어 체결된다.  The lower frame 230 is fastened to the guide portion 120. The lower frame 230 moves up and down in a predetermined section. The lower frame 230 has a hollow shape and is connected to the upper frame 220. The lower frame 230 has the first upper frame 222 and the second upper frame 224 inserted therein and fastened thereto.

하부 프레임(230)의 하단부에는 제2 구동장치(24)가 배치된다. 하부 프레임(230)는 제2 구동장치(24)에 연결된다. 하부 프레임(230)는 제2 구동장치(24)와 벨트로 연결되는 것이 바람직하다. 이는 하부 프레임(230)과 제2 구동장치(24)의 연결방법을 한정하기 위함은 아니다. 하부 프레임(230)은 상부 프레임(220)과 체결된다. 하부 프레임(230)은 제2 구동장치(24)의 구동력을 이용하여 상부 프레임(220)을 회전 시킨다. 이는, 하부 프레임에 연결된 상부 프레임(220)을 회전시킴으로써 결과적으로 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 회전 시킨다.
A second driving device 24 is disposed at the lower end of the lower frame 230. The lower frame 230 is connected to the second driving device 24. The lower frame 230 is preferably connected to the second driving unit 24 by a belt. This is not to limit the connection method of the lower frame 230 and the second driving device 24. The lower frame 230 is fastened to the upper frame 220. The lower frame 230 rotates the upper frame 220 using the driving force of the second driving device 24. This rotates the upper hand / lower hand 60 as a result by rotating the upper frame 220 connected to the lower frame.

도 5는 도 4에 대한 d부분 확대도, 도 6은 도 4에 대한 c-c의 단면이다. 도면을 참조하여 설명하면, 상부 프레임(220)은 하부 프레임(230)의 상단부에 삽입되어 체결한다. 상부 프레임(220)은 로봇의 좌측에 배치되는 상부 핸드/하부 핸드에 체결되는 제1 상부 프레임(222)과 로봇의 우측에 배치되는 상부 핸드/하부 핸드에 체결되는 제2 상부 프레임(224)을 포함한다.
Fig. 5 is a partially enlarged view of Fig. 4, and Fig. 6 is a cross-sectional view of cc of Fig. Referring to the drawings, the upper frame 220 is inserted into the upper end of the lower frame 230 and is fastened. The upper frame 220 includes a first upper frame 222 fastened to the upper hand / lower hand disposed on the left side of the robot and a second upper frame 224 fastened to the upper hand / lower hand disposed on the right side of the robot .

제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)은 장홀 로 형성되어 하부 프레임(230)에 각각 삽입되어 체결되는 것이 바람직하다. 이는, 제1 상부 프레임(222)은 제3 구동장치와 제4 구동장치의 구동되는 축의 위치가 서로 틀려져서 장홀로 형성되는 것이 바람직하다. 이는, 상부 핸드/하부 핸드를 각각 구동하기 위함이다. 제2 상부 프레임(224)도 제1 상부 프레임(222)과 같이 장홀로 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the first upper frame 222 and the second upper frame 224 are formed as elongated holes and inserted into the lower frame 230, respectively. It is preferable that the first upper frame 222 is formed as a long hole by displacing the axes of the shafts driven by the third driving device and the fourth driving device. This is for driving the upper hand / lower hand, respectively. It is preferable that the second upper frame 224 is also formed as a long hole like the first upper frame 222.

제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 하단부에는 보정장치(40)가 배치된다. 제1 상부 프레임(222)은 하단부에 제3 구동장치와 제4 구동장치가 체결되도록 형성된다. 제1 상부 프레임은 제3 구동장치는 좌축에 배치되는 상부 핸드에 체결되고 좌축에 배치되는 하부 핸드에 체결되는 제4 구동장치가 배치된다. 이때 제3 구동장치와 제4 구동장치는 로봇의 좌측에 배치되는 상부핸드와 하부 핸드의 구동력을 전달한다. Correction devices 40 are disposed at the lower ends of the first upper frame 222 and the second upper frame 224. The first upper frame 222 is formed such that the third driving device and the fourth driving device are coupled to each other at a lower end thereof. In the first upper frame, the third driving device is arranged with a fourth driving device which is fastened to the upper hand arranged on the left axis and fastened to the lower hand arranged on the left axis. At this time, the third driving device and the fourth driving device transmit the driving force of the upper hand and the lower hand disposed on the left side of the robot.

제1 상부 프레임(222)은 제3 구동장치와 제4 구동장치가 배치될수 있도록 내부에 공간이 형성된다. 제2 상부 프레임(224)은 하단부에 제5 구동장치와 제6 구동장치가 내부에 배치된다. 제5 구동장치는 로봇의 우축에 배치되는 상부 핸드(50)에 체결되고 로봇의 우축에 배치되는 하부 핸드(60)에 체결되는 제6 구동장치가 배치된다.The first upper frame 222 has a space therein so that the third driving device and the fourth driving device can be disposed. The second upper frame 224 has a fifth driving unit and a sixth driving unit disposed at the lower end thereof. The fifth driving apparatus includes a sixth driving device which is fastened to the upper hand 50 disposed on the right axis of the robot and fastened to the lower hand 60 disposed on the right axis of the robot.

제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)은 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 일측에는 관통 홈이 형성되는 것이 좋다. 이는 관통 홈을 따라 에어 공급 관 및 각종 전원케이블을 서로 연결하는 통로로 사용할 수도 있다.
The first upper frame 222 and the second upper frame 224 may be made of a lightweight metal material such as aluminum to increase the structural rigidity and at the same time reduce the weight of the entire apparatus. It is preferable that a through groove is formed at one side of the first upper frame 222 and the second upper frame 224. This can be used as a passage for connecting the air supply pipe and various power cables along the through grooves.

보정장치(40)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)을 각각 구동시키는 제1 흔들림 보정장치(400)와 제2 흔들림 보정장치(420)를 포함한다.
The correction device 40 includes a first shake correction device 400 and a second shake correction device 420 that respectively drive the first upper frame 222 and the second upper frame 224.

보정장치(40)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)을 일정 범위 각각 회전시켜 오차를 보정한다. 즉, 보정장치(40)는 좌우측에 배치되는 상부핸드/하부핸드의 틀어짐을 각각 보상해준다. 보정장치(40)는 모터와 전기모터, 서보모터 등을 사용하여 정밀제어를 하는 것이 바람직하다. 이는, 보정장치(40)의 형태를 한정하기 위함은 아니다.The correction device 40 corrects the error by rotating the first upper frame 222 and the second upper frame 224 in a predetermined range, respectively. That is, the correction device 40 compensates for the deviation of the upper hand / lower hand disposed on the right and left sides, respectively. The correction device 40 preferably performs precise control using a motor, an electric motor, a servo motor, or the like. This is not intended to limit the form of the correction device 40.

보정장치(40)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 하단부에 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 각각 배치된다. 이때, 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 각각 동작하여 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)을 보정한다. 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)의 보정범위는 각각 약 ??10도에서 10도 사이에서 보정하는 것이 바람직하다. 이는, 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 보정범위 내에서 구동 시에 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)이 서로 간섭되지 않기 위함이다. 더욱이 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 좌축과 우축에 배치되는 상부 핸드/하부 핸드를 각각 미세하게 조절하기 위함이다. 따라서, 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 미세한 조절을 하기 때문에 많은 구동을 할필요가 없다. The correction device 40 includes a first correction device 400 and a second correction device 420 disposed at the lower ends of the first upper frame 222 and the second upper frame 224, respectively. At this time, the first correction device 400 and the second correction device 420 operate to correct the first upper frame 222 and the second upper frame 224, respectively. It is preferable that the correction ranges of the first correction device 400 and the second correction device 420 are corrected between about 10 degrees and 10 degrees, respectively. This is because the first upper frame 222 and the second upper frame 224 do not interfere with each other when the first correction device 400 and the second correction device 420 are driven within the correction range. In addition, the first correction device 400 and the second correction device 420 are used to finely control the upper hand / lower hand disposed on the left and right axes, respectively. Therefore, since the first correction device 400 and the second correction device 420 perform fine adjustment, it is not necessary to perform a lot of driving.

제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 하 단부 중앙에 배치되는 것이 바람직하다. 보정작업 시에 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 장홀 형상의 편심에 의한 제어오차를 줄이기 위함이다. 이는, 제2 구동장치(24)를 빠르게 구동하여 기판이 놓이는 위치까지 신속히 상부핸드(50)/하부핸드(60)를 이동하면, 제1 보정장치와 제2 보정장치를 이용하여 상부핸드(50)/하부핸드(60)가 신속하게 원하는 위치에 기판을 위치시킬 수 있도록 하기 위함이다. 즉, 생산 효율을 증가할 수 있음을 밝혀두는 바이다.The first correction device 400 and the second correction device 420 are preferably disposed at the center of the lower ends of the first upper frame 222 and the second upper frame 224. The control errors due to the eccentricity of the elongated holes of the first upper frame 222 and the second upper frame 224 are reduced during the correction operation. This is because when the upper hand 50 / the lower hand 60 is quickly moved to the position where the substrate is placed by driving the second driving device 24 quickly, the upper hand 50 / Lower hand 60 can quickly position the substrate at a desired position. In other words, it is revealed that the production efficiency can be increased.

제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)을 각각 연결하는 장치는 회전부재(미도시)를 사용하는 것이 좋다. 회전부재(미도시)는 감속기를 사용하는 것이 바람직하다. 회전부재(미도시)를 감속기로 한정하기 위함은 아니다. 회전부재는 정밀 제어가 가능한 어떠한 것도 상관없다.
It is preferable that the first and second correction devices 400 and 420 use a rotary member (not shown) for connecting the first upper frame 222 and the second upper frame 224, respectively. The rotary member (not shown) preferably uses a speed reducer. It is not intended to limit the rotary member (not shown) to the speed reducer. The rotating member may be anything capable of precise control.

상부 몸체(30)는 상부핸드(50) 및 하부핸드(60)를 지지한다. 상부덮개는 상부 프레임(220)의 상단부에 체결된다. 상부 덮개(미도시0)는 하부 프레임과 상부 프레임의 내부에서 구동 시 발생되는 먼지 및 분진을 진공챔버(80)로 주입되는 것을 방지한다. 상부덮개는 상부 프레임(220)과 분리가 가능하도록 형성되는 것이 바람직하다. 이는, 상부핸드(50)/하부핸드(60)가 이상 시에 신속히 교체가 가능하기 위함이다. 더욱이, 생산 공정 시에 발생되는 고장으로부터 유연하게 대처하기 위함이다.The upper body 30 supports the upper hand 50 and the lower hand 60. The upper cover is fastened to the upper end of the upper frame 220. The upper cover (not shown) prevents dust and dust generated during driving in the lower frame and the upper frame from being injected into the vacuum chamber 80. The upper cover may be separated from the upper frame 220. This is because the upper hand 50 / the lower hand 60 can be quickly replaced at an abnormal time. Furthermore, it is intended to cope flexibly with a failure occurring in the production process.

상부 핸드(50)/하부 핸드(60)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)는 상부 몸체(30)의 상단부에 배치된다. 상부핸드(50)/하부핸드(60)는 제3,4,5 및 6 구동장치의 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 암(70)과 암(70)으로 직선운동을 하면서 기판을 지지하는 핑거(520)를 포함한다.The upper hand 50 / lower hand 60 may be made of a lightweight metal material such as aluminum to increase the structural rigidity and simultaneously reduce the weight of the entire apparatus. The upper hand 50 / the lower hand 60 are disposed at the upper end of the upper body 30. The upper hand 50 and the lower hand 60 are provided with arms 70 and 70 which are linearly moved by receiving the driving force of the third, fourth, fifth and sixth driving devices, (520).

핑거(520)는 기판과 웨이퍼에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동의 발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 핑거(520)는 기판이 안착되는 안착 홈이 형성되는 것이 바람직하다. 핑거(520)는 암(70)으로부터 기판이 안착 시 이동이 용이하도록 기판을 고정하는 흡입구가 배치될 수도 있다.
It is preferable that the finger 520 is made of a material which does not cause damage to the substrate and the wafer due to static electricity but generates little vibration. The finger 520 is preferably formed with a seating groove on which the substrate is seated. The finger 520 may be provided with a suction port for fixing the substrate from the arm 70 to facilitate movement of the substrate upon seating.

도 7은 도 2에 대한 우측 암이 구동되는 것을 나타낸 예시도. 도 8은 도 2에 대한 좌측 암이 구동되는 것을 나타낸 예시도, 도 9는 도 9에 대한 좌축암과 우측암이 구동되는 것을 나타낸 예시도, 도 10은 도 2에 대한 b-b의 단면도, 도 10은 도 2에 대한 a-a의 단면도이다.
Fig. 7 is an exemplary view showing that the right arm of Fig. 2 is driven. Fig. FIG. 8 is an exemplary view showing that the left arm of FIG. 2 is driven, FIG. 9 is an example of driving the left arm and the right arm of FIG. 9, FIG. 10 is a sectional view of bb of FIG. Is a cross-sectional view of aa for FIG.

도면을 참조하여 설명하면, 암(70)은 상부핸드(50)/ 하부핸드(60)를 각각 회전축에 연결한다. 암(70)은 직선운동을 하기위하여 구동력을 전달하는 구동력 암(72)과 구동력 암(72)의 흔들림을 방지하는 보조 암(74)을 포함한다.Referring to the drawings, the arm 70 connects the upper hand 50 / the lower hand 60 to the respective rotary shafts. The arm (70) includes a driving force arm (72) for transmitting a driving force for rectilinear motion and an auxiliary arm (74) for preventing the driving force arm (72) from shaking.

구동력 암(72)은 제3 구동장치의 구동력을 직선운동으로 변환하여 직선운동을 한다. 구동력 암(72)은 일정길이를 갖는 제1 링크부재(711)와 제1 링크부재(711)에 체결되는 제2 링크부재(713)와 제1 링크부재(711)를 회전축에 연결하는 구동 조인트부재(712)를 포함한다. 제1 링크부재(711)는 제2 링크부재(713)보다 길이가 길게 형성되는 것이 바람직하다. The driving force arm 72 converts the driving force of the third driving device into a linear motion and performs a linear motion. The driving force arm 72 includes a first link member 711 having a predetermined length and a second link member 713 fastened to the first link member 711 and a drive link 711 for connecting the first link member 711 to the rotation shaft. Member 712. The first link member 711 is preferably longer than the second link member 713.

제1 링크부재(711)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제1 링크부재(711)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 링크부재(711)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제1 링크부재(711)의 일측 단부는 구동조인트부재(712)와 체결되어 회전축과 연결되고 타측 단부는 제2 회전조인트(미도시)에 체결되어 제2 링크부재(713)는 직선운동을 한다. 회전축(370)이 회전을 하면 제1 링크부재(711)가 일정각도 회전을 하여 제2 링크부재(713)를 전진시키기 위함이다. 즉, 제1 링크부재(711)가 일정각도 회전을 하면 제2 링크부재(713) 직선운동을 하게 된다. 이는 마치 2절 링크가 일정범위로 직선운동을 하는 현상과 갖다.The first link member 711 is formed into a bar shape having a rectangular shape. In order to increase the structural rigidity of the first link member 711, it may be made of a light metal material such as aluminum. The first link member 711 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the first link member 711 is coupled with the driving joint member 712 and connected to the rotating shaft, and the other end is coupled to the second rotating joint (not shown), so that the second link member 713 performs linear motion . The first link member 711 rotates at a predetermined angle to advance the second link member 713. [ That is, when the first link member 711 rotates by a predetermined angle, the second link member 713 performs linear motion. This is a phenomenon in which a two-link link performs a linear movement in a certain range.

제2 링크부재(713)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제2 링크부재(713)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제2 링크부재(713)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제2 링크부재(713)의 일측 단부는 제2 회전조인트(미도시)를 통해 제1 링크부재(711)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거에 연결된다. The second link member 713 is formed in the shape of a rectangular bar so as to have a constant partial rigidity. The second link member 713 may be made of a light metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity. The second link member 713 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the second link member 713 is rotatably connected to the first link member 711 through a second rotational joint (not shown), and the other end is connected to the finger.

보조 암(74)은 구동력 암(72)으로부터 일정거리 이격되어 배치된다. 보조 암(72)은 구동력 암(72)이 직선운동으로 변환되면 따라서 직선운동을 한다. 보조 암(74)은 일정길이를 갖는 제3 링크부재(715)와 제3 링크부재(715)에 체결되는 제4 링크부재(717)와 제3 링크부재(715)를 회전축(370)에 연결하는 베어링조인트부재(714)를 포함한다. The auxiliary arm 74 is disposed apart from the driving force arm 72 by a certain distance. The auxiliary arm 72 performs a linear motion when the driving force arm 72 is converted into a linear motion. The auxiliary arm 74 has a third link member 715 having a predetermined length and a fourth link member 717 and a third link member 715 which are fastened to the third link member 715 and connected to the rotation shaft 370 And a bearing joint member 714 which is formed integrally therewith.

제3 링크부재(715)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제3 링크부재(715)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제3 링크부재(715)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제3 링크부재(715)의 일측 단부는 베어링조인트부재(714)와 체결되어 회전축과 연결되고 타측 단부는 제2 회전조인트(미도시)에 체결되어 제4 링크부재(717)는 직선운동을 한다. 즉, 구동력 암(72)에서 발생되는 구동력으로 보조 암(74)을 직선운동 한다. 이때, 보조 암(74)은 구동 시에 발생되는 흔들림을 최소화 한다. 또한, 보조 암(74)은 암(70)의 처짐을 방지한다.
The third link member 715 is formed in the shape of a bar having a rectangular shape. The third link member 715 may be made of a light metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity. The third link member 715 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the third link member 715 is coupled with the bearing joint member 714 and connected to the rotation shaft, and the other end is coupled to the second rotation joint (not shown), so that the fourth link member 717 performs a linear motion . That is, the auxiliary arm 74 linearly moves by the driving force generated by the driving force arm 72. [ At this time, the auxiliary arm 74 minimizes the shaking generated during driving. Further, the auxiliary arm 74 prevents the arm 70 from sagging.

제4 링크부재(717)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제4 링크부재(717)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제4 링크부재(717)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제4 링크부재(717)의 일측 단부는 제2 회전조인트(미도시)를 통해 제4 링크부재(717)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거에 연결된다. The fourth link member 717 is formed in the form of a rectangular bar so as to have a certain partial rigidity. It may be made of a lightweight metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity of the fourth link member 717. [ The fourth link member 717 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the fourth link member 717 is rotatably connected to the fourth link member 717 through a second rotation joint (not shown), and the other end is connected to the finger.

도면을 참조하여 설명하면, 제1 구동장치가 구동하면 안내부는 상부로 직선운동을 한다. 안내부의 상승으로 인해 연결부도 일정구간 상승을 한다. 제2 구동장치가 구동을하여 안내부를 회전시킨다. 안내부에 연결된 상부핸드와 하부핸드도 제2 구동장치의 구동력에 의해 회전한다. 제2 구동장치의 구동이 완료되면 보정장치가 작동된다. 이때, 제2 구동장치의 회전력에 의해 상부핸드와 하부핸드의 각각의 핑거의 위치를 제1 보정장치와 제2 보정장치가 구동하여 핑거의 위치를 보정해준다. 제1 보정장치와 제2 보정장치의 보정이 완료되면 제3, 4, 5 및 6 구동장치를 사용하여 기판을 원하는 위치에 놓이게 한다.
Referring to the drawings, when the first driving unit is driven, the guide unit linearly moves upward. Due to the rise of the guide section, the connection section also increases in a certain section. And the second drive unit drives the guide unit to rotate. The upper hand and the lower hand connected to the guide portion are rotated by the driving force of the second driving device. When the driving of the second driving device is completed, the correcting device is operated. At this time, the positions of the fingers of the upper hand and the lower hand are driven by the first correction device and the second correction device by the rotational force of the second driving device, thereby correcting the position of the finger. When the correction of the first correction device and the second correction device is completed, the third, fourth, fifth, and sixth drive devices are used to place the substrate in a desired position.

이상과 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is therefore to be understood that the embodiments described above are illustrative and not restrictive in every respect and that the scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing description, And all changes or modifications derived from equivalents thereof should be construed as being included within the scope of the present invention.

이상과 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is therefore to be understood that the embodiments described above are illustrative and not restrictive in every respect and that the scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing description, And all changes or modifications derived from equivalents thereof should be construed as being included within the scope of the present invention.

1: 이송 진공로봇
10: 하부 몸체
110: 제1 구동장치
120: 안내부
20: 연결부
22: 프레임
220: 상부 프레임
222: 제1 상부 프레임
224: 제2 상부 프레임
230:하부 프레임
24: 제2 구동장치
30: 상부 몸체
33: 상부 덮개
40: 보정장치
400: 제1 보정장치 420: 제2 보정장치
50: 상부 핸드
60: 하부 핸드
70: 암1: Feed vacuum robot
10: Lower body
110: first driving device
120:
20: Connection
22: frame
220: upper frame
222: first upper frame
224: second upper frame
230: Lower frame
24: second driving device
30: upper body
33: upper cover
40:
400: first correction device 420: second correction device
50: upper hand
60: lower hand
70: Cancer

Claims (6)

이송 진공로봇으로서,
가이드라인을 따라 수직으로 직선운동을 하는 안내블록과 상기 안내블록으로 동력을 전달하는 제1 구동장치(110)가 구비된 하부 몸체(10);
상기 하부 몸체의 내부에 위치되고 상기 안내블록에 체결되어 수직으로 움직이면서 회전운동을 하는 제2 구동장치를 구비하는 하부 프레임부(230);
상기 하부 프레임의 상단부에 삽입되어 체결되고 좌측에 배치되는 상부 핸드와 하부 핸드에 구동력을 전달하는 제3 구동장치와 제4 구동장치가 배치될 수 있도록 장홀로 형성된 제1 상부 프레임(222);
상기 하부 프레임의 상단부에 삽입되어 체결되고 우측에 배치되는 상부 핸드와 하부 핸드에 구동력을 전달하는 제5 구동장치와 제6 구동장치가 배치될 수 있도록 장홀로 형성된 제2 상부 프레임(224);
상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)의 중앙 하단부에 배치되어 일정각도 상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)을 각각의 틀어짐을 보정하는 보정장치(40)
제3,4,5 및 6 구동장치와 연결되어 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 구동력 암(72)과 상기 구동력 암(72)으로부터 일정거리 이격되어 강성 및 흔들림을 최소화하기 위한 보조 암(74)을 구비하면서 직선운동을 하는 암(70)을 구비하는 다수개의 핸드부를
포함하는 이송 진공로봇.
As a transfer vacuum robot,
A lower body 10 having a guide block for linearly moving along a guide line in a vertical direction and a first driving device 110 for transmitting power to the guide block;
A lower frame part (230) located inside the lower body and having a second driving device which is coupled to the guide block and rotates while moving vertically;
A first upper frame 222 formed as an elongated hole in which an upper hand inserted and fastened to the upper end of the lower frame and disposed on the left side and a third driving device for transmitting driving force to the lower hand and a fourth driving device are disposed;
A second upper frame 224 formed as an elongated hole in which an upper hand inserted and fastened to the upper end of the lower frame and disposed on the right side and a fifth driving device for transmitting driving force to the lower hand and a sixth driving device are disposed;
The first upper frame 222 and the second upper frame 224 are disposed at the lower end of the center of the first upper frame 222 and the second upper frame 224, Device (40)
A driving force arm 72 connected to the third, fourth, fifth and sixth driving devices for performing a linear motion in response to the driving force, and an auxiliary arm 74 spaced from the driving force arm 72 for minimizing rigidity and shaking, And an arm (70) for performing linear motion while having a plurality of hands
Including a transport vacuum robot.
청구항 1에 있어서,
상기 보정장치(40)는,
상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)에 대하여 좌측회전과 우측회전을 각각을 제어하기 위한 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)로 구비되는 것을 특징으로 하는 이송진공로봇.
The method according to claim 1,
The correction device (40)
A first correcting device 400 and a second correcting device 420 for controlling the left rotation and the right rotation of the first upper frame 222 and the second upper frame 224, respectively Vacuum robot.
청구항 2에 있어서,
상기 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 보정 시에 서로간의 간섭이 되지 않도록 보정각도가 각각 약 ??10도에서 10도를 벗어나지 못하는 것을 특징으로 하는 이송진공로봇.
The method of claim 2,
Wherein the correction angles of the first and second correction devices (400, 420) do not deviate from about 10 degrees to about 10 degrees so as to prevent interference between the first and second correction devices (400, 420).
청구항 1 내지 청구항 3중 어느 하나의 항에 있어서,
동일한 기구적 특징을 적용하여 정밀제어를 하기위하여 상기 제3 구동장치(310)와 연결되는 회전축을 기준으로 암(70)이 서로 복층으로 배치되고 상기 암(70)의 위치가 서로 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.

The method according to any one of claims 1 to 3,
In order to perform precise control by applying the same mechanical characteristics, the arms 70 are arranged in a double layer with respect to a rotation axis connected to the third driving device 310, and the positions of the arms 70 are formed symmetrically with each other Wherein the robot is a robot.

청구항 4에 있어서,
상기 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)이 내부에서 발생되는 먼지 및 분진이 진공챔버(80)내부로 주입되는 것을 방지하고, 고장시에 신속한 교체가 용이하도록 상부덮개가 분리가 용이하도록 체결되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
The method of claim 4,
Dust and dust generated inside the first upper frame 222 and the second upper frame 224 are prevented from being injected into the vacuum chamber 80 and the upper cover is separated So as to facilitate the movement of the robot.
청구항 1에 기재되어 있는 이송로봇을 포함하는 공정장치.A processing apparatus including the transfer robot recited in claim 1.
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