KR20140051049A - Compact transfer robot - Google Patents

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KR20140051049A
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이성직
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주식회사 나온테크
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Abstract

Disclosed is a transfer vacuum robot. The transfer robot includes a lower body (10) that has a lower frame (130) which moves upward and downward from the ground surface and is formed to be hollow, and a first driving device (110) which transmits a driving force so as to move the lower frame (130) upward and downward; an upper body (20) that has an upper frame (210) which is inserted into the lower frame (130) while protruding to the ground surface and is formed to be hollow, and a second driving device (230) which is connected to a protruding part to rotate the upper frame (210) and transmits the driving force; a lower hand (30) that has a first rotating shaft (370) which is inserted into the upper frame (130) while protruding to the ground surface and is formed to be hollow, a third driving device (390) which is connected to a protruding part of the first rotating shaft (370) and transmits the driving force, and an arm (300) to which the driving force of the third driving device (390) is transmitted for a substrate to be transferred; and an upper hand (40) that has a second rotating shaft (470) which is inserted into the first rotating shaft (370) and protrudes to the ground surface, a fourth driving device (490) which is connected to a protruding part of the second rotating shaft (470) and transmits the driving force, and an arm (400) to which the driving force of the fourth driving device is transmitted for the substrate to be transferred.

Description

이송로봇 {Compact transfer robot}Compact transfer robot

본 발명은 이송로봇에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 챔버내에 배치되고 공정 챔버와 웨이퍼 등의 기판을 저장하는 공간 사이에서 기판을 이송하는 이송 진공로봇으로서, 핑거를 구비하고 이송정밀도가 높고 회전 반경이 작으면서 챔버 내부에서 차지하는 면적이 컴펙트(compact)한 구조를 갖는 이송로봇에 관한 것이다.
The present invention relates to a transfer robot, and more particularly to a transfer vacuum robot for transferring a substrate between a process chamber and a space for storing a substrate such as a wafer, the transfer robot comprising: a finger; And the area occupied by the inside of the chamber is compact.

이송로봇에서는, 이송장치의 아암 또는 링크 부재들(linkages) 등을 구동하기 위해서는 다수개의 모터를 이용하여 구동된다. 대한민국 특허 출원번호‘10-2012-0117169’는 본 출원인이 이송 진공로봇 암과 공정 정밀도를 개선하기 위하여 출원하였다. 이송 진공로봇 암의 정밀도가 향상되면서 공정장치의 면적을 작게 하여 공정비용을 줄이는 다양한 연구가 진행되고 있다. 본 발명에서는 공정장치에 배치되는 이송로봇을 컴펙트하게 구동할 수 있는 이송로봇에 관한 것이다.
In the transfer robot, a plurality of motors are used to drive arms, linkages, etc. of the transfer device. Korean patent application No. '10 -2012-0117169 'was filed by the applicant in order to improve the accuracy of the transfer vacuum robot arm and the process. Various researches have been conducted to reduce the process cost by reducing the area of the process apparatus while improving the accuracy of the transfer vacuum robot arm. The present invention relates to a transfer robot capable of compactly driving a transfer robot disposed in a processing apparatus.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 공정장치의 면적을 작게 하기 위하여 구동장치가 순차적으로 배치되어 컴펙트한 구동이 가능한 이송로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a transfer robot that can be driven compactly by sequentially arranging driving units to reduce the area of a processing apparatus.

또한, 공정장치의 면적을 작게 하여 진공상태를 유지하기가 용이함으로써 공정속도를 향상시키는 이송로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
Another object of the present invention is to provide a transfer robot which can reduce the area of a processing apparatus and easily maintain a vacuum state, thereby improving the processing speed.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 이송로봇으로서, 지면으로부터 상하운동을 하면서 중공으로 형성된 하부 프레임(130)과 상기 하부 프레임(130)을 상하운동으로 이동하도록 구동력을 전달하는 제1 구동장치(110)를 구비하는 하부 몸체(10); 지면으로 돌출되면서 상기 하부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 상부 프레임(210)과 상기 상부 프레임(210)을 회전하도록 돌출 부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제2 구동장치(230)를 구비하는 상부 몸체(20) 지면으로 돌출되면서 상기 상부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 제1 회전축(370)과 상기 제1 회전축(370)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제3 구동장치(390)와 제3 구동장치(390)의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(300)을 구비하는 하부핸드(30) 상기 제1 회전축(370)에 삽입되고 지면으로 돌출된 제2 회전축(470)과 상기 제2 회전축(470)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제4 구동장치(490)와 제4 구동장치의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(400)을 구비하는 상부핸드(40)를 포함하는 이송로봇을 제공한다.In order to achieve the above-mentioned object, there is provided a transfer robot, which comprises a lower frame 130 formed in a hollow shape while moving up and down from the ground, and a first driving device 110; < / RTI > And a second driving unit 230 coupled to the protruding portion to rotate the upper frame 210 and to transmit the driving force to the upper frame 210. [ A first driving shaft 390 which is inserted into the upper frame 130 while being protruded from the surface of the upper body 20 and which is connected to a protrusion of the first rotating shaft 370 and transmits a driving force, And an arm 300 for transferring the substrate by receiving the driving force of the third driving device 390. The second rotary shaft 470 inserted into the first rotary shaft 370 and projecting to the ground, An upper hand 40 having a fourth driving device 490 connected to the protrusion of the second rotation shaft 470 to transmit a driving force and an arm 400 transmitting the driving force of the fourth driving device, And a transfer robot.

본 발며의 바람직한 형태에 따르면, 상기 상부 몸체와 제1 회전축과 제2 회전축이 순차적으로 지면으로 돌출되어 각각을 회전시키는 상기 제2 구동장치, 제3 구동장치, 제4 구동장치가 벨트로 연결되는 것이 바람직하다. According to a preferred form of the present invention, the second driving device, the third driving device, and the fourth driving device, each of which rotates the upper body, the first rotating shaft and the second rotating shaft successively protruding from the ground, .

또한, 상기 제2 구동장치, 제3 구동장치, 제4 구동장치은 상기 하부 프레임(130)의 내부에 배치되는 것이 바람직하다. In addition, the second driving device, the third driving device, and the fourth driving device are preferably disposed inside the lower frame 130.

또, 다른 형태에 따르면, 전술한 이송로봇으로 구성되는 공정장치를 제공한다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a process apparatus constituted by the above-described transfer robot.

본 발명에 따른 이송로봇은, 공정장치의 면적을 작게 하기 위하여 이송로봇의 제1,2,3 및 4 구동장치가 순차적으로 배치되어 컴펙트한 이송로봇을 제공하는 효과가 있다.The transfer robot according to the present invention has the effect of providing the transfer robot in which the first, second, third, and fourth drive devices of the transfer robot are sequentially disposed to reduce the area of the process apparatus.

또한, 공정장치의 면적을 작게 하여 진공상태를 유지하기가 용이함으로써 공정을 진행하는 단계의 공정속도를 향상시키는 효과가 있다.
In addition, it is easy to maintain the vacuum state by reducing the area of the process apparatus, thereby improving the process speed of the process.

도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송로봇의 단면도.
도 2 는 도 1에 대한 평면도.
도 3은 도 2의 이송로봇의 암이 진행된 제1 예시도.
도 4는 도 2의 이송로봇의 암이 진행된 제2 예시도.1 is a sectional view of a transfer robot according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a plan view of Figure 1;
Fig. 3 is a first example of the arm of the transfer robot of Fig. 2 being advanced. Fig.
Fig. 4 is a second example of the arm of the transfer robot shown in Fig. 2; Fig.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 따른 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 상세한 설명은 생략한다. 들어가기에 앞서, 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. Before describing the present invention, the same reference numerals are used for explaining the present invention even if the embodiments are different, and description thereof may be omitted if necessary.

도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송로봇의 단면도, 도 2 는 도 1에 대한 평면도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 이송 진공로봇은, 다른 구성요소를 지지하는 하부 몸체(10)와 하부 몸체(10)의 상부에 배치되고 회전운동이 가능한 상부 몸체(20)와 상부 몸체(20)의 상단부에 배치되고 일정거리 이격되어 기판이 안착되는 하부핸드(30)/상부핸드(40)를 포함한다.
FIG. 1 is a sectional view of a transfer robot according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of FIG. 1. The transfer vacuum robot according to the preferred embodiment of the present invention includes a lower body 10 supporting other components and an upper body 10 disposed on the lower body 10 and capable of rotating, And a lower hand 30 and an upper hand 40 disposed at upper ends of the upper body 20 and spaced apart from each other by a predetermined distance.

하부 몸체(10)는 다른 구성요소들을 지지하며, 지면상에 배치된다. 하부 몸체(10)는 상부 몸체(20)를 상하 이동한다. 하부몸체는 제1 구동장치(110)와 제1 구동장치(110)의 구동에 따라 상부로 이동하는 하부 프레임(130)을 포함한다.
The lower body 10 supports other components and is disposed on the ground. The lower body 10 moves the upper body 20 up and down. The lower body includes a lower frame 130 which moves upward according to the driving of the first driving device 110 and the first driving device 110.

제1 구동장치(110)는 하부 몸체(10)의 내부에 배치되고 전기로 구동되는 모터를 사용하는 것이 좋다. 모터와 연결되는 볼 스크류 축의 구동구간에 따라 하부 프레임(130)을 상부로 이동시킨다. 제1 구동장치(110)는 볼 스크류 축을 따라 직선으로 이동하는 블록을 갖는 것이 바람직하다. 블록은 하부 프레임(130)의 하단부에 연결되는 것이 바람직하다. 제1 구동장치(110)는 하부 프레임(130)을 상승 또는 하강한다. 또한, 제1 구동장치(110)는 하부 프레임(130)과 연결된 상부 몸체(20)와 하부핸드(30)/상부핸드(40)를 상승 또는 하강시킨다.
It is preferable that the first driving device 110 be a motor that is disposed inside the lower body 10 and is electrically driven. And moves the lower frame 130 upward according to the driving section of the ball screw shaft connected to the motor. The first driving device 110 preferably has a block that moves linearly along the ball screw axis. The block is preferably connected to the lower end of the lower frame 130. The first driving device 110 moves up or down the lower frame 130. The first driving unit 110 raises or lowers the upper body 20 and the lower hand 30 / the upper hand 40 connected to the lower frame 130.

하부 프레임(130)은 제1 구동장치(110)의 구동에 따라 상승 또는 하강을 한다. 하부 프레임(130)은 볼 스크류 축을 이동하는 블록과 연결되는 것이 바람직하다. 이때, 하부 프레임(130) 상단부에 배치되는 상부 몸체(20)와 상부핸드(40)/ 하부핸드(30)를 상승 또는 하강한다. The lower frame 130 moves up or down according to the driving of the first driving device 110. The lower frame 130 is preferably connected to a block that moves the ball screw shaft. At this time, the upper body 20 and the upper hand 40 / the lower hand 30, which are disposed at the upper end of the lower frame 130, are raised or lowered.

하부 프레임(130)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 하부 프레임(130)은 중공형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 하부 프레임(130)의 내부에는 제1 구동장치(110)가 배치되는 것이 좋다. 이는, 이송로봇의 크기를 콤팩트 하게 하기 위함이다.
The lower frame 130 may be made of a lightweight metal material such as aluminum to increase the structural rigidity and simultaneously reduce the weight of the entire apparatus. The lower frame 130 is preferably formed in a hollow shape. The first driving unit 110 may be disposed within the lower frame 130. This is to make the size of the transfer robot compact.

상부 몸체(20)는 하부 프레임(130)의 상단에 배치되는 상부 프레임(210)과 상부 프레임(210)을 회전시키는 제2 구동장치(230)를 포함한다.
The upper body 20 includes an upper frame 210 disposed at the upper end of the lower frame 130 and a second driving device 230 rotating the upper frame 210.

상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)의 상단부에 배치된다. 상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)을 따라 상하 직선운동을 한다. 상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)과 별도로 회전운동을 한다. 상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)의 중공 부로 삽입되어 배치된다. 상부 프레임(210)은 하부 프레임(130)보다 지면으로 돌출되도록 형성되는 것이 바람직하다. 상부 프레임(210)의 돌출된 부위를 이용하여 제2 구동장치(230)가 연결된다. 이는, 구동장치의 배치로 인한 이송로봇(1)의 크기를 사전에 콤팩트하게 하기 위함이다.The upper frame 210 is disposed at the upper end of the lower frame 130. The upper frame 210 moves up and down along the lower frame 130. The upper frame 210 rotates separately from the lower frame 130. The upper frame 210 is inserted and disposed in the hollow portion of the lower frame 130. The upper frame 210 may be formed to protrude from the ground surface of the lower frame 130. The second driving unit 230 is connected using the protruding portion of the upper frame 210. This is to pre-compact the size of the transfer robot 1 due to the arrangement of the drive device.

상부 프레임(210)의 하단부에는 제2 구동장치(230)가 연결된다. 상부 프레임(210)은 제2 구동장치(230)의 구동력으로 상부핸드(40)/ 하부핸드(30)를 회전시킨다. 상부 프레임(230)은 제2 구동장치(230)의 정밀한 회전력을 전달하기 위하여 타이밍 벨트를 이용하는 것이 좋다. 이는, 제2 구동장치(230)와 상부 프레임(210)의 구동력 전달방법을 타이밍 벨트로 한정하기 위함은 아니다.
A second driving unit 230 is connected to the lower end of the upper frame 210. The upper frame 210 rotates the upper hand 40 / the lower hand 30 by the driving force of the second driving device 230. It is preferable that the upper frame 230 use a timing belt to transmit the accurate rotational force of the second driving device 230. [ This is not intended to limit the drive force transmission method of the second drive unit 230 and the upper frame 210 to the timing belt.

제2 구동장치(230)는 상부 프레임(210)의 하단부에 배치되는 것이 바람직하다. 제2 구동장치(230)는 상부 프레임(210)의 중공축에서 일정거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 이는, 하부 프레임(130)의 내부에 후술할 제3 구동장치와 제4 구동장치가 배치될수 있도록 하기 위함이다. 제2 구동장치(230)는 전기로구동되는 모터를 사용하는 것이 좋다. 제2 구동장치(230)는 상부 프레임(210)에서 돌출되는 부위에 풀 리가 배치되는 것이 바람직하다. 이는, 제2 구동장치(230)가 타이밍 벨트를 이용하여 상부 프레임(210)과 연결되기 위함이다. The second driving unit 230 is preferably disposed at the lower end of the upper frame 210. The second driving unit 230 is preferably spaced apart from the hollow shaft of the upper frame 210 by a predetermined distance. This is to enable the third driving device and the fourth driving device, which will be described later, to be disposed inside the lower frame 130. It is preferable that the second driving device 230 use a motor driven by electric power. The second driving device 230 is preferably provided with a pulley at a portion protruding from the upper frame 210. This is because the second driving device 230 is connected to the upper frame 210 using a timing belt.


도 3은 도 2의 이송로봇의 암이 진행된 제1 예시도, 도 4는 도 2의 이송로봇의 암이 진행된 제2 예시도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 하부핸드(30)/상부핸드(40)는 제3 구동장치(390)와 제4 구동장치(490)와 연결된다. 제1 회전축(370)과 제2 회전축(470)의 구동력을 전달받아 각각 직선운동을 하는 암(300/400)과 암(300/400)으로 직선운동을 하면서 기판(S)을 지지하는 핑거(350)를 포함한다.FIG. 3 is a first example in which the arm of the transfer robot of FIG. 2 advances, and FIG. 4 is a second example of the arm of the transfer robot of FIG. 2 proceeding. Referring to the drawings, the lower hand 30 and the upper hand 40 are connected to the third driving device 390 and the fourth driving device 490. The arm 300/400 which receives the driving force of the first rotating shaft 370 and the second rotating shaft 470 and performs a linear motion and the finger supporting the substrate S while performing linear motion with the arm 300/400 350).

상부핸드(40)/하부핸드(30)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 상부 핸드(40)/하부 핸드(30)는 상부 몸체(20)의 상단부에 배치된다.
The upper hand 40 / the lower hand 30 may be made of a lightweight metal material such as aluminum to increase the structural rigidity and at the same time reduce the weight of the entire apparatus. The upper hand 40 / the lower hand 30 are disposed at the upper end of the upper body 20.

제3 구동장치(390)는 상부 프레임(210)의 하단부에 배치되는 것이 바람직하다. 제3 구동장치(390)는 상부 프레임(210)의 중공축에서 일정거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 이는, 하부 프레임(130) 내부에 후술할 제4 구동장치(490)를 에 배치하기 용이하도록 하기 위함이다. 제3 구동장치(390)는 전기로 구동되는 모터를 사용하는 것이 좋다. 제3 구동장치(390)는 하부 핸드에 구동력을 전달하기 위하여 제1 회전축과 연결이 용이하도록 풀 리가 배치되는 것이 바람직하다. 제3 구동장치(390)는 타이밍 벨트를 이용하여 제1 회전축(370)과 연결되는 것이 바람직하다.
The third driving device 390 is preferably disposed at the lower end of the upper frame 210. The third driving unit 390 is preferably spaced apart from the hollow shaft of the upper frame 210 by a predetermined distance. This is to make it easier to arrange a fourth driving device 490, which will be described later, in the lower frame 130. It is preferable that the third driving device 390 uses an electric-driven motor. The third driving device 390 is preferably provided with a pulley so as to be easily connected to the first rotary shaft to transmit the driving force to the lower hand. The third driving device 390 is preferably connected to the first rotating shaft 370 using a timing belt.

제1 회전축(370)은 암(300)을 회전시켜 직선운동을 하도록 한다. 제1 회전축(370)은 제3 구동장치(370)에서 발생되는 회전력을 구동력 암(310)에 전달해 준다. 제1 회전축(370)은 상부 프레임(210)의 내부에 삽입된다. 제1 회전축(370)과 제2 회전축(470)과 상부 프레임(210)과 하부 프레임(130)은 동일한 중심축을 갖는 것이 바람직하다. 이는, 이송로봇의 동력전달에 따른 부피를 최소화하기 위함이다. 제1 회전축(370)은 구동력 암(310)과 연결된다. 제1 회전축(370)은 중공형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 제1 회전축(370)은 이송로봇의 길이 방향으로 상부 프레임(230)보다는 길게 돌출되는 것이 바람직하다. 제1 회전축(370)과 제3 구동장치(390)이 용이하게 연결되기 위함이다. 이는, 제1 회전축(370)과 제3 구동장치(390)을 타이밍 벨트로 연결 시 제2 구동장치(210)의 간섭을 피하기 위함이다. 제1 회전축(370)은 상부 프레임(230)으로부터 제2 구동장치(210)의 간섭을 피하는 위치까지 돌출되는 것이 바람직하다.
The first rotary shaft 370 rotates the arm 300 to perform linear motion. The first rotating shaft 370 transmits the rotating force generated by the third driving device 370 to the driving force arm 310. The first rotating shaft 370 is inserted into the upper frame 210. It is preferable that the first rotation shaft 370, the second rotation shaft 470, the upper frame 210 and the lower frame 130 have the same central axis. This is to minimize the volume due to the power transmission of the transfer robot. The first rotary shaft 370 is connected to the driving force arm 310. The first rotating shaft 370 is preferably formed in a hollow shape. The first rotary shaft 370 may protrude longer than the upper frame 230 in the longitudinal direction of the transfer robot. So that the first rotating shaft 370 and the third driving device 390 can be easily connected. This is to avoid the interference of the second driving device 210 when the first rotating shaft 370 and the third driving device 390 are connected by the timing belt. It is preferable that the first rotation shaft 370 protrude from the upper frame 230 to a position where interference of the second driving unit 210 is avoided.

핑거(350)는 기판(S: LCD, LED, 반도체 등)에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 핑거(350)는 기판(S)이 안착되는 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다. 핑거(350)은 암(300)으로부터 기판(S)이 안착 시 이동이 용이하도록 흡입구가 배치될 수도 있다.
It is preferable that the finger 350 is made of a material which does not cause damage to the substrate (S: LCD, LED, semiconductor, or the like) due to static electricity and small vibration. The finger 350 is preferably formed with a seating groove on which the substrate S is seated. The finger 350 may be provided with a suction port for facilitating movement of the substrate S from the arm 300 when the substrate S is seated.

암(300)은 제1 회전축(370)에 연결한다. 암(300)은 직선운동을 하기위하여 구동력을 전달하는 구동력 암(310)과 구동력 암(310)의 흔들림을 방지하는 보조 암(330)을 포함한다.The arm 300 is connected to the first rotation shaft 370. The arm (300) includes a driving force arm (310) for transmitting a driving force for linear movement and an auxiliary arm (330) for preventing the driving force arm (310) from shaking.

구동력 암(310)은 제3 구동장치(390)의 구동력을 직선운동으로 변환하여 직선운동을 한다. 구동력 암(310,410)은 일정길이를 갖는 제1 링크부재(312)와 제1 링크부재(312)에 체결되는 제2 링크부재(316)와 제1 링크부재(312)를 연결하는 반전부재(314)를 포함한다. 제1 링크부재(312)는 제2 링크부재(316)와 길이가 동일하거나 길게 형성되는 것이 바람직하다. The driving force arm 310 converts the driving force of the third driving device 390 into a rectilinear motion to perform a rectilinear motion. The driving force arms 310 and 410 include a first link member 312 having a predetermined length and a second link member 316 fastened to the first link member 312 and an inverting member 314 connecting the first link member 312 ). The first link member 312 is preferably formed to have the same length as the second link member 316 or longer.

제1 링크부재(312)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제1 링크부재(312)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 링크부재(312)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제1 링크부재(312)의 일측 단부는 제1 회전축(370)과 연결되고 타측 단부는 반전부재(314)가 체결되어 제2 링크부재(316)는 직선운동을 한다. 제1 회전축(370)이 회전을 하면 제1 링크부재(312)가 일정각도 회전을 하여 제2 링크부재(316)를 전진시키기 위함이다. 즉, 제1 링크부재(312)가 일정각도 회전을 하면 제2 링크부재(316)는 직선운동을 하게 된다. 이는 마치 2절 링크가 일정범위로 직선운동을 하는 현상과 갖다.The first link member 312 is formed in the shape of a bar having a rectangular shape. It may be made of a light metal material such as aluminum to improve the structural rigidity of the first link member 312. The first link member 312 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the first link member 312 is connected to the first rotation shaft 370 and the other end of the first link member 312 is engaged with the inversion member 314 so that the second link member 316 linearly moves. When the first rotating shaft 370 rotates, the first link member 312 rotates by a predetermined angle to move the second link member 316 forward. That is, when the first link member 312 rotates by a predetermined angle, the second link member 316 performs linear motion. This is a phenomenon in which a two-link link performs a linear movement in a certain range.

제2 링크부재(316)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제2 링크부재의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제2 링크부재(316)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제2 링크부재(316)의 일측 단부는 반전부재(314)를 통해 제1 링크부재(312)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거(450)에 연결된다. The second link member 316 is formed in the form of a rectangular bar so as to have a certain partial rigidity. And may be made of a lightweight metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity of the second link member. The second link member 316 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the second link member 316 is rotatably connected to the first link member 312 via the inversion member 314 and the other end is connected to the finger 450.

보조 암(330)은 구동력 암(310)으로부터 일정거리 이격되어 배치된다. 보조 암(330)은 구동력 암(310)이 직선운동으로 변환되면 따라서 직선운동을 한다. 보조 암(330)은 일정길이를 갖는 제3 링크부재(332)와 제3 링크부재(332)에 체결되는 제4 링크부재(336)와 제3 링크부재(332)와 제4 링크부재(336)를 연결하는 제2 반전부재(334)를 포함한다. The auxiliary arm 330 is disposed at a distance from the driving force arm 310. The auxiliary arm 330 performs a linear motion when the driving force arm 310 is converted into a linear motion. The auxiliary arm 330 includes a third link member 332 having a predetermined length and a fourth link member 336 coupled to the third link member 332. The third link member 332 and the fourth link member 336 And a second inversion member 334 connecting the first inversion member 332 and the second inversion member 334.

제3 링크부재(332)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제3 링크부재(332)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제3 링크부재(332)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제3 링크부재(332)의 일측 단부는 제1 회전축(370)과 연결되고 타측 단부는 제2 반전부재(334) 체결되어 제4 링크부재(336)는 직선운동을 한다. 즉, 구동력 암(310,410)에서 발생되는 구동력으로 보조 암(330)을 직선운동 한다. 이때, 보조 암은 구동 시에 발생되는 흔들림을 최소화 한다. 또한, 보조 암(33)은 암(300)의 처짐을 방지한다.
The third link member 332 is formed into a bar shape having a rectangular shape. The third link member 332 may be made of a light metal material such as aluminum to improve the structural rigidity. The third link member 332 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the third link member 332 is connected to the first rotation shaft 370 and the other end of the third link member 332 is engaged with the second inverting member 334 so that the fourth link member 336 performs linear motion. That is, the driving force generated by the driving force arms 310 and 410 linearly moves the auxiliary arm 330. At this time, the auxiliary arm minimizes the shaking generated during driving. Further, the auxiliary arm 33 prevents the arm 300 from sagging.

제4 링크부재(336)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제4 링크부재(336)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제4 링크부재(336)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제4 링크부재(336)의 일측 단부는 제2 반전부재(334)를 통해 제4 링크부재(336)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거(350)에 연결된다. The fourth link member 336 is formed in the shape of a rectangular bar so as to have a constant partial stiffness. It may be made of a lightweight metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity of the fourth link member 336. [ The fourth link member 336 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the fourth link member 336 is rotatably connected to the fourth link member 336 through the second inverting member 334 and the other end is connected to the finger 350. [

상부핸드(40)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 상부 핸드(40)는 상부 몸체(20)의 상단부에 배치된다.
The upper hand 40 may be made of a lightweight metal material such as aluminum to increase the structural rigidity and simultaneously reduce the weight of the entire apparatus. The upper hand 40 is disposed at the upper end of the upper body 20.

제4 구동장치(490)는 상부 프레임(210)의 하단부에 배치되는 것이 바람직하다. 제4 구동장치(490)는 상부 프레임(210)의 중공축에서 일정거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 제4 구동장치(490)는 전기로 구동되는 모터를 사용하는 것이 좋다. 제4 구동장치(490)는 상부 핸드에 구동력을 전달하기 위하여 제2 회전축(470)과 연결이 용이하도록 풀 리가 배치되는 것이 바람직하다. 제4 구동장치(490)는 타이밍 벨트를 이용하여 제2 회전축(470)과 연결되는 것이 바람직하다.
The fourth driving device 490 is preferably disposed at the lower end of the upper frame 210. The fourth driving device 490 is preferably spaced apart from the hollow shaft of the upper frame 210 by a predetermined distance. It is preferable that the fourth drive device 490 uses a motor driven by electric drive. The fourth driving device 490 is preferably provided with a pulley so as to be easily connected to the second rotating shaft 470 in order to transmit the driving force to the upper hand. The fourth driving device 490 is preferably connected to the second rotating shaft 470 using a timing belt.

제2 회전축(470)은 암(400)을 회전시켜 직선운동을 하도록 한다. 제2 회전축(470)은 제4 구동장치(470)에서 발생되는 회전력을 구동력 암(410)에 전달해 준다. 제2 회전축(470)은 제1 회전축(370)의 내부에 삽입된다. 제2 회전축(470)은 구동력 암(410)과 연결된다. 제2 회전축(470)은 이송로봇의 길이 방향으로 제1 회전축(370)보다는 길게 돌출되는 것이 바람직하다. 제2 회전축(470)과 제4 구동장치(490)이 용이하게 연결되기 위함이다. 이는, 제2 회전축(470)과 제4 구동장치(490)을 타이밍 벨트로 연결 시 제3 구동장치(310)의 간섭을 피하기 위함이다. 제2 회전축(470)은 제3 구동장치(310)의 간섭을 피하는 위치까지 돌출되는 것이 바람직하다.
The second rotary shaft 470 rotates the arm 400 to perform linear motion. The second rotary shaft 470 transmits the rotational force generated by the fourth driving device 470 to the driving force arm 410. The second rotary shaft 470 is inserted into the first rotary shaft 370. The second rotary shaft 470 is connected to the driving force arm 410. The second rotary shaft 470 may protrude longer than the first rotary shaft 370 in the longitudinal direction of the transfer robot. So that the second rotating shaft 470 and the fourth driving device 490 are easily connected. This is to avoid the interference of the third driving device 310 when the second rotating shaft 470 and the fourth driving device 490 are connected by the timing belt. It is preferable that the second rotation shaft 470 protrude to a position where interference of the third driving device 310 is avoided.

핑거는 기판(S: LCD, LED, 반도체 등)에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 핑거는 기판(S)이 안착되는 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다. 핑거은 암(400)으로부터 기판(S)이 안착 시 이동이 용이하도록 흡입구가 배치될 수도 있다.
It is preferable that the finger is made of a material which does not cause damage to the substrate (S: LCD, LED, semiconductor, or the like) due to static electricity and small vibration. It is preferable that the fingers are formed with a seating groove on which the substrate S is seated. The fingers may be provided with suction ports for facilitating movement of the substrate S from the arm 400 upon seating.

암(400)은 제2 회전축(470)에 연결한다. 암(400)은 직선운동을 하기위하여 구동력을 전달하는 구동력 암(410)과 구동력 암(410)의 흔들림을 방지하는 보조 암(430)을 포함한다.The arm 400 is connected to the second rotation shaft 470. The arm 400 includes a driving force arm 410 for transmitting a driving force for linear movement and an auxiliary arm 430 for preventing the driving force arm 410 from shaking.

구동력 암(410)은 제4 구동장치(490)의 구동력을 직선운동으로 변환하여 직선운동을 한다. 구동력 암(410)은 일정길이를 갖는 제1 링크부재(412)와 제1 링크부재(412)에 체결되는 제2 링크부재(416)와 제1 링크부재(412)를 연결하는 반전부재(414)를 포함한다. 제1 링크부재(412)는 제2 링크부재(416)와 길이가 동일하거나 길게 형성되는 것이 바람직하다. The driving force arm 410 converts the driving force of the fourth driving device 490 into a rectilinear motion to perform a rectilinear motion. The driving force arm 410 includes a first link member 412 having a predetermined length and a second link member 416 engaged with the first link member 412 and a reversing member 414 connecting the first link member 412 ). The first link member 412 is preferably formed to have the same length as the second link member 416 or longer.

제1 링크부재(412)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제1 링크부재(312)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 링크부재(312)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제1 링크부재(312)의 일측 단부는 제2 회전축(470)과 연결되고 타측 단부는 반전부재(414)가 체결되어 제2 링크부재(416)는 직선운동을 한다. 제2 회전축(470)이 회전을 하면 제1 링크부재(412)가 일정각도 회전을 하여 제2 링크부재(416)를 전진시키기 위함이다. 즉, 제1 링크부재(412)가 일정각도 회전을 하면 제2 링크부재(416)는 직선운동을 하게 된다. 이는 마치 2절 링크가 일정범위로 직선운동을 하는 현상과 갖다.The first link member 412 is formed into a bar shape having a rectangular shape. It may be made of a light metal material such as aluminum to improve the structural rigidity of the first link member 312. The first link member 312 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the first link member 312 is connected to the second rotation shaft 470 and the other end of the first link member 312 is engaged with the inversion member 414 so that the second link member 416 linearly moves. When the second rotation shaft 470 rotates, the first link member 412 rotates by a predetermined angle to move the second link member 416 forward. That is, when the first link member 412 rotates at a certain angle, the second link member 416 performs linear motion. This is a phenomenon in which a two-link link performs a linear movement in a certain range.

제2 링크부재(416)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제2 링크부재(416)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제2 링크부재(416)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제2 링크부재(416)의 일측 단부는 반전부재(414)를 통해 제1 링크부재(412)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거에 연결된다. The second link member 416 is formed in the form of a rectangular bar so as to have a constant partial rigidity. The second link member 416 may be made of a light metal material such as aluminum to improve the structural rigidity. The second link member 416 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the second link member 416 is rotatably connected to the first link member 412 via the inversion member 414 and the other end is connected to the finger.

보조 암(430)은 구동력 암(410)으로부터 일정거리 이격되어 배치된다. 보조 암(430)은 구동력 암(410)이 직선운동으로 변환되면 따라서 직선운동을 한다. 보조 암(430)은 일정길이를 갖는 제3 링크부재(432)와 제3 링크부재(432)에 체결되는 제4 링크부재(436)와 제3 링크부재(432)와 제4 링크부재(436)를 연결하는 제2 반전부재(434)를 포함한다. The auxiliary arm 430 is disposed to be spaced apart from the driving force arm 410 by a certain distance. The auxiliary arm 430 performs a linear motion when the driving force arm 410 is converted into a linear motion. The auxiliary arm 430 includes a third link member 432 having a predetermined length and a fourth link member 436 coupled to the third link member 432. The third link member 432 and the fourth link member 436 (Not shown).

제3 링크부재(432)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제3 링크부재(432)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제3 링크부재(432)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제3 링크부재(432)의 일측 단부는 제2 회전축(470)과 연결되고 타측 단부는 제2 반전부재(434) 체결되어 제4 링크부재(436)는 직선운동을 한다. 즉, 구동력 암(,410)에서 발생되는 구동력으로 보조 암(430)을 직선운동 한다. 이때, 보조 암은 구동 시에 발생되는 흔들림을 최소화 한다. 또한, 보조 암(430)은 암(400)의 처짐을 방지한다.
The third link member 432 is formed in the shape of a bar having a rectangular shape. And may be made of a light metal material such as aluminum to improve the structural rigidity of the third link member 432. [ The third link member 432 is formed so as to be hollow inside to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the third link member 432 is connected to the second rotation shaft 470 and the other end thereof is coupled to the second inverting member 434 so that the fourth link member 436 performs linear motion. That is, the auxiliary arm 430 linearly moves by the driving force generated by the driving force arm 410. At this time, the auxiliary arm minimizes the shaking generated during driving. Further, the auxiliary arm 430 prevents the arm 400 from sagging.

제4 링크부재(436)는 일정부분 강성을 갖도록 직사각형상의 바 형태로 형성된다. 제4 링크부재(436)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제4 링크부재(436)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제4 링크부재(436)의 일측 단부는 제2 반전부재(434)를 통해 제4 링크부재(436)와 회전가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거)에 연결된다.
The fourth link member 436 is formed in the shape of a rectangular bar so as to have a constant partial rigidity. It may be made of a light metal material such as aluminum in order to enhance the structural rigidity of the fourth link member 436. [ The fourth link member 436 is formed so as to be hollowed in order to reduce the weight of the entire apparatus. One end of the fourth link member 436 is rotatably connected to the fourth link member 436 through a second inverting member 434 and the other end is connected to a finger.

이상과 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is therefore to be understood that the embodiments described above are illustrative and not restrictive in every respect and that the scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing description, And all changes or modifications derived from equivalents thereof should be construed as being included within the scope of the present invention.

1: 이송로봇
10: 하부 몸체
110: 제1 구동장치 130: 하부 프레임
20: 상부 몸체
210: 상부 프레임 230: 제2 구동장치
30: 하부핸드 40: 상부핸드
300,400: 암
370: 제1 회전축 470: 제2 회전축
390: 제 3구동장치 490: 제 4구동장치1: Transfer robot
10: Lower body
110: first driving device 130: lower frame
20: upper body
210: upper frame 230: second driving device
30: lower hand 40: upper hand
300,400: Cancer
370: first rotating shaft 470: second rotating shaft
390: third driving device 490: fourth driving device

Claims (4)

이송로봇으로서,
지면으로 부터 상하운동을 하면서 중공으로 형성된 하부 프레임(130)과 상기 하부 프레임(130)을 상하운동으로 이동하도록 구동력을 전달하는 제1 구동장치(110)를 구비하는 하부 몸체(10);
지면으로 돌출되면서 상기 하부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 상부 프레임(210)과 상기 상부 프레임(210)을 회전하도록 돌출 부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제2 구동장치(230)를 구비하는 상부 몸체(20)
지면으로 돌출되면서 상기 상부 프레임(130)에 삽입되고 중공으로 형성된 제1 회전축(370)과 상기 제1 회전축(370)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제3 구동장치(390)와 제3 구동장치(390)의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(300)을 구비하는 하부핸드(30)
상기 제1 회전축(370)에 삽입되고 지면으로 돌출된 제2 회전축(470)과 상기 제2 회전축(470)의 돌출부위와 연결되어 구동력을 전달하는 제4 구동장치(490)와 제4 구동장치의 구동력을 전달받아 기판을 이송시키는 암(400)을 구비하는 상부핸드(40)를
포함하는 이송로봇
As a transfer robot,
A lower body (10) having a lower frame (130) formed in a hollow state while moving up and down from the ground and a first driving device (110) for transmitting a driving force to move the lower frame (130) in a vertical motion;
And a second driving unit 230 coupled to the protruding portion to rotate the upper frame 210 and to transmit the driving force to the upper frame 210. [ The upper body 20,
A third driving device 390 connected to the protruding portion of the first rotating shaft 370 to transmit the driving force, and a second driving device 390 connected to the third driving device 390, A lower hand 30 having an arm 300 for transferring a substrate by receiving a driving force of the apparatus 390,
A fourth driving device 490 connected to the protrusion of the second rotation shaft 470 to transmit the driving force and a second driving shaft 470 inserted into the first rotation shaft 370 and protruding to the ground, An upper hand 40 having an arm 400 for transferring a substrate by receiving a driving force,
Transport robot included
청구항 1에 있어서,
상기 상부 몸체와 제1 회전축과 제2 회전축이 순차적으로 지면으로 돌출되어 각각을 회전시키는 상기 제2 구동장치, 제3 구동장치, 제4 구동장치가 벨트로 연결되는 것을 특징으로 하는 이송로봇.
The method according to claim 1,
Wherein the second driving device, the third driving device, and the fourth driving device, each of which rotates the upper body, the first rotating shaft and the second rotating shaft sequentially protruding from the ground, are connected by a belt.
청구항 1에 있어서,
상기 제2 구동장치, 제3 구동장치, 제4 구동장치은 상기 하부 프레임(130)의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 이송로봇.
The method according to claim 1,
Wherein the second driving device, the third driving device, and the fourth driving device are disposed inside the lower frame (130).
청구항 1에 기재되어 있는 이송로봇으로 구비되는 것을 특징으로 하는 공정장치.A processing apparatus comprising the transfer robot recited in claim 1.
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