KR20140046266A - 패턴 형성 장치, 패턴 형성 장치의 제조 방법 및 패턴 형성 방법 - Google Patents

패턴 형성 장치, 패턴 형성 장치의 제조 방법 및 패턴 형성 방법 Download PDF

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KR20140046266A
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Abstract

패턴 형성 장치는 유기막이 형성된 인쇄 기판이 안착되는 기판 안착부, 및 상기 유기막의 일부를 제거하여 패턴을 형성하는 회전 롤을 포함한다. 여기서, 상기 회전 롤은 원통형의 회전체, 상기 회전체의 중심부에 결합하여 상기 회전체에 회전력을 전달하는 회전축, 및 상기 회전체의 외주면 상에 부착되는 블랭킷을 포함하고, 상기 블랭킷은 그 표면에 형성된 음각 패턴을 구비할 수 있다.

Description

패턴 형성 장치, 패턴 형성 장치의 제조 방법 및 패턴 형성 방법{PATTERNING APPARATUS, FABRCATION METHOD OF PATTERNING APPARATUS AND METHOD FOR FABRCATING PATTERN}
본 발명은 패턴 형성 장치, 패턴 형성 장치의 제조 방법 및 패턴 형성 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 음각 패턴을 이용하여 양각 패턴을 형성할 수 있는 패턴 형성 장치, 패턴 형성 장치의 제조 방법 및 패턴 형성 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치(Liquid Crystal Display) 또는 유기 발광 표시 장치(Organic Light-Emitting Display)와 같은 평판 표시 장치(flat panel display)는 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가진다. 따라서, 상기 평판 표시 장치는 해상도, 컬러표시, 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.
한편, 상기 평판 표시 장치는 일반적으로 유리 또는 투명 플라스틱과 같은 기판 상에 복수의 유기 패턴들을 구비할 수 있다. 여기서, 상기 유기 패턴들은 일반적으로 포토리소그래피 공정을 통하여 형성될 수 있다. 상기 포토리소그패피 공정을 통하여 상기 유기 패턴들을 형성하는 방법은 상기 평판 표시 장치의 단위 시간당 생산성 및 생산 단가 상승의 원인이 될 수 있다.
본 발명의 일 목적은 단순한 공정을 통하여 패턴을 형성할 수 있는 패턴 형성 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은 상기 패턴 형성 장치의 제조 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 패턴 형성 장치를 이용한 패턴 형성 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 패턴 형성 장치는 유기막이 형성된 인쇄 기판이 안착되는 기판 안착부, 및 상기 유기막의 일부를 제거하여 패턴을 형성하는 회전 롤을 포함한다. 여기서, 상기 회전 롤은 원통형의 회전체, 상기 회전체의 중심부에 결합하여 상기 회전체에 회전력을 전달하는 회전축, 및 상기 회전체의 외주면 상에 부착되는 블랭킷을 포함하고, 상기 블랭킷은 그 표면에 형성된 음각 패턴을 구비할 수 있다.
상기 블랭킷은 100㎛ 이하의 두께를 가지는 유리 기판일 수 있다.
상기 블랭킷의 상기 유기막에 대한 젖음성은 상기 인쇄 기반의 상기 유기막에 대한 젖음성보다 크다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 패턴 형성 장치 제조 방법은 블랭킷 기판 상에 마스크 패턴을 배치하고 식각하여 음각 패턴을 구비하는 블랭킷을 형성하는 단계, 상기 블랭킷을 회전체의 외주면 상에 부착하여 회전 롤을 형성하는 단계, 및 상기 회전 롤을 회전체에 결합하는 단계를 포함한다.
본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위한 패턴 형성 방법은 인쇄 기판 상에 유기막을 형성하는 단계, 상기 유기막이 형성된 상기 인쇄 기판을 패턴 형성 장치의 기판 안착부에 안착시키는 단계, 및 상기 패턴 형성 장치의 회전 롤을 이용하여 상기 유기막을 패터닝하여 상기 인쇄 기판 상에 양각 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 여기서, 상기 양각 패턴은 상기 음각 패턴에 대응하는 영역에 형성될 수 있다.
상기 유기막은 감광성 유기 물질, 절연성 유기 물질, 및 전도성 유기 물질 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 패턴 형성 장치는 음각 패턴이 형성된 블랭킷이 회전체에 부착된 회전 롤을 구비하여, 상기 회전 롤의 회전에 따라 상기 음각 패턴에 대응하는 위치에 양각 패턴을 형성할 수 있다.
따라서, 상기 패턴 형성 장치를 이용한 패턴 형성 방법은 포토리소그래피를 이용한 패턴 형성 방법에 비하여 짧은 시간에 패턴을 형성할 수 있으며, 상기 패턴 형성을 위한 비용을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 형성 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 패턴 형성 장치의 회전 롤을 제조하는 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
도 5 내지 도 7은 도 1 내지 도 4에 도시된 패턴 형성 장치를 이용한 패턴 형성 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 형성 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 1을 참조하면, 패턴 형성 장치는 인쇄 기판(PS) 상에 복수의 패턴들, 예를 들어, 양각 패턴들을 형성할 수 있다. 상기 패턴 형성 장치는 상기 인쇄 기판(PS)이 안착되는 기판 안착부(100), 및 상기 인쇄 기판(PS) 상에 양각 패턴들을 형성하는 회전 롤(200)을 포함할 수 있다.
상기 기판 안착부(100)는 상기 인쇄 기판(PS)이 안착되며, 그 형태는 제한되지 않는다. 예를 들면, 상기 기판 안착부(100)는 상기 인쇄 기판(PS)가 상기 양각 패턴들이 형성되는 동안, 정지 상태로 유지될 수 있도록 하는 스테이지일 수 있다. 또한, 상기 기판 안착부(100)는 상기 인쇄 기판(PS)가 상기 양각 패턴들이 형성되는 동안, 상기 인쇄 기판(PS)가 이동할 수 있도록 하는 컨베이어 벨트일 수도 있다.
상기 회전 롤(200)은 상기 인쇄 기판(PS) 상에 형성된 물질막(OL)의 일부를 제거하여 상기 인쇄 기판(PS) 상에 상기 양각 패턴들만이 잔류하도록 한다. 또한, 상기 회전 롤(200)은 원통형의 회전체(210), 상기 회전체(210)의 중심부에 결합하여 상기 회전체(210)에 회전력을 전달하는 회전축(220), 및 상기 회전체(210)의 외주면에 부착되는 블랭킷(230)을 포함한다.
상기 블랭킷(230)은 가요성을 가지며, 유기물과의 젖음성(wettability)이 우수한 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 블랭킷(230)의 상기 유기물에 대한 젖음성은 상기 인쇄 기반(PS)의 상기 유기물에 대한 젖음성보다 클 수 있다.
또한, 상기 블랭킷(230)은 그 표면에 형성된 복수의 음각 패턴들(IP)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 블랭킷(230)은 상기 음각 패턴들(IP)이 형성된 얇은 유리 기판(thin glass substrate)일 수 있다. 여기서, 상기 유리 기판의 두께는 100㎛ 이하일 수 있다. 상기 유리 기판이 100㎛ 이하의 두께를 가지는 경우, 상기 유리 기판은 가요성을 가질 수 있다.
또한, 상기 음각 패턴들(IP)은 상기 인쇄 기판(PS) 상에 양각 패턴들을 형성하기 위한 것이다. 즉, 상기 회전 롤(200)이 회전하면, 상기 음각 패턴들(IP)에 대응하는 위치의 상기 물질막(OL)을 상기 인쇄 기판(PS) 상에 잔류시킬 수 있다. 또한, 상기 음각 패턴들(IP)에 대응하지 않는 위치의 상기 물질막(OL)은 제거될 수 있다.
상기 물질막(OL)은 유기 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 물질막(OL)은 감광성 유기 물질, 절연성 유기 물질, 및 전도성 유기 물질 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 물질막(OL)이 상기 감광성 유기 물질을 포함하는 경우, 상기 양각 패턴들은 금속 또는 절연막을 패터닝하기 위하여 사용될 수 있는 식각 마스크로 사용될 수 있다.
상기 물질막(OL)이 상기 절연성 유기 물질을 포함하는 경우, 상기 양각 패턴들은 상기 인쇄 기판(PS)의 특정 영역을 커버할 수 있다.
상기 물질막(OL)이 상기 전도성 유기 물질을 포함하는 경우, 상기 양각 패턴들은 반도체 소자 또는 표시 장치에서 도전 패턴으로 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 양각 패턴들은 유기 발광 표시 장치의 발광층일 수 있다.
한편, 상기 패턴 형성 장치에서, 상기 기판 안착부(100)가 상기 스테이지인 경우, 상기 인쇄 기판(PS)은 정지 상태일 수 있다. 여기서, 상기 패턴 형성 장치에서 상기 양각 패턴들을 형성하기 위하여, 상기 회전축(220)은 회전과 함께 전진 운동을 할 수 있는 형태로 구성되야 한다. 따라서, 상기 회전 롤(200)은 회전하며 전진할 수 있다.
또한, 상기 패턴 형성 장치에서, 상기 기판 안착부(100)가 상기 컨베이어 벨트인 경우, 상기 인쇄 기판(PS)은 이송 상태일 수 있다. 여기서, 상기 회전축(220)은 회전 운동만 수행하고 전진 운동은 수행하지 않는다. 따라서, 상기 회전 롤(200)은 제자리에서 회전할 수 있다.
도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 패턴 형성 장치의 회전 롤을 제조하는 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
도 2를 참조하면, 우선, 블랭킷 기판(231)을 준비한다. 상기 블랭킷 기판(231)은 가요성을 가지며, 유기물과의 젖음성(wettability)이 우수한 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 블랭킷 기판(231)은 유리 재질 또는 플라스틱 재질일 수 있다. 여기서, 상기 블랭킷 기판(231)이 유리 재질인 경우, 상기 블랭킷 기판(231)은 가요성을 가지기 위하여 100㎛ 이하의 두께를 가질 수 있다.
그런 다음, 상기 블랭킷 기판(231) 상에 소정 형상을 가지는 마스크 패턴들을 형성한다. 상기 마스크 패턴들(MP)은 감광성 유기물을 상기 블랭킷 기판(231) 상에 코팅하고, 노광 마스크(미도시)를 이용하여 노광하고 현상하여 형성될 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 마스크 패턴들(MP)을 이용하여 상기 블랭킷 기판(231)을 식각한다. 여기서, 상기 블랭킷 기판(231)을 식각하는 방법은 습식 식각 방법 또는 건식 식각 방법일 수 있다. 상기 식각을 통하여 상기 블랭킷 기판(231)에는 음각 패턴들(IP)이 형성되며, 음각 패턴들(IP)의 깊이는 임의로 설정될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 음각 패턴들(IP)이 형성된 상기 블랭킷 기판(231)을 원통형의 회전체(210)의 외주면 상에 부착하여 회전 롤(200)을 제조한다. 따라서, 상기 회전 롤(200)은 그 표면에 음각 패턴들(IP)을 구비할 수 있다.
그런 다음, 회전 롤(200)을 회전축(220)에 결합하여, 패턴 형성 장치를 제조한다. 따라서, 상기 회전 롤(200)은 상기 회전축(220)의 회전에 의하여 회전할 수 있다.
상기 패턴 형성 장치는 상기 음각 패턴들(IP)을 구비하는 회전 롤(200)에 의하여 인쇄 기판의 표면에 양각 패턴들을 형성할 수 있다. 이를 보다 상세히 설명하면, 상기 인쇄 기판의 표면에 배치되는 물질막 중 상기 음각 패턴(IP)에 대응하지 않는 영역은 상기 회전 롤(200)에 의하여 제거된다. 또한, 상기 인쇄 기판의 표면에 배치되는 물질막 중 상기 음각 패턴(IP)에 대응하는 영역은 제거되지 않고 잔류하여 상기 양각 패턴들이 될 수 있다.
도 5 내지 도 7은 도 1 내지 도 4에 도시된 패턴 형성 장치를 이용한 패턴 형성 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
상기 패턴 형성 방법은 인쇄 기판(PS) 상에 유기막(OL)을 형성하는 단계, 상기 유기막(OL)이 형성된 상기 인쇄 기판(PS)을 패턴 형성 장치의 기판 안착부(100)에 안착시키는 단계, 및 상기 패턴 형성 장치의 회전 롤(200)을 이용하여 상기 유기막(OL)을 패터닝하여 상기 인쇄 기판(PS) 상에 양각 패턴들(EL)을 형성하는 단계를 포함한다.
우선, 도 5를 참조하면, 상기 인쇄 기판(PS)을 준비한다. 상기 인쇄 기판(PS)은 투명 절연 물질을 포함하여 광의 투과가 가능하다. 상기 인쇄 기판(PS)은 리지드 타입(Rigid type) 기판일 수 있으며, 플렉서블 타입(Flexible type)일 수도 있다. 상기 리지드 타입의 기판은 유리 기판, 석영 기판, 유리 세라믹 기판 및 결정질 유리 기판을 포함한다. 상기 플렉서블 타입의 기판은 고분자 유기물을 포함하는 필름 기판 및 플라스틱 기판을 포함한다. 상기 인쇄 기판(PS)에 채용되는 물질은 제조 공정시 높은 처리 온도에 대해 저항성(또는 내열성)을 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 인쇄 기판(PS)는 박막 트랜지스터 기판일 수 있다. 이를 보다 상세히 설명하면, 상기 인쇄 기판(PS)은 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 배치된 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터를 커버하는 보호막, 및 상기 보호막 상에 배치되고 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 화소 전극을 포함할 수 있다.
그런 다음, 상기 인쇄 기판(PS) 상에 상기 유기막(OL)을 형성한다. 여기서 상기 유기막(OL)은 감광성 유기 물질, 절연성 유기 물질, 및 전도성 유기 물질 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
도 6을 참조하면, 상기 유기막(OL)이 형성된 상기 인쇄 기판(PS)을 상기 패턴 형성 장치의 상기 기판 안착부(100)에 안착시킨다.
그런 다음, 상기 패턴 형성 장치의 상기 회전 롤(200)을 회전시켜 상기 유기막(OL)을 패터닝한다. 여기서, 상기 유기막(OL) 중 상기 회전 롤(200)의 음각 패턴들(IP)에 대응하는 영역은 상기 인쇄 기판(PS) 상에 잔류하며, 상기 음각 패턴들(IP)에 대응하지 않는 영역은 제거될 수 있다. 이를 보다 상세히 설명하면, 상기 음각 패턴들(IP)에 대응하지 않는 영역의 유기막(OL)은 상기 블랭킷(230)의 음각 패턴들(IP)이 형성되지 않은 영역과 접촉한다. 여기서, 상기 블랭킷(230)의 상기 유기막(OL)에 대한 젖음성이 상기 인쇄 기판(PS)의 상기 유기막(OL)에 대한 젖음성보다 크다. 따라서, 상기 유기막(OL)의 상기 음각 패턴들(IP)에 대응하지 않는 영역은 상기 블랭킷(230)에 부착되어 제거된다.
또한, 상기 기판 안착부(100)가 정지 상태로 유지되는 경우, 상기 회전 롤(200)은 회전과 함께 전진 또는 후진하여 상기 유기막(OL)을 패터닝할 수 있다. 또한, 상기 기판 안착부(100)가 상기 인쇄 기판(PS)을 이송할 수 있는 경우, 상기 회전 롤(200)은 제자리에서 회전하여 상기 유기막(OL)을 패터닝할 수 있다.
도 7을 참조하면, 상기 패턴 형성 장치에 의하여 상기 유기막(OL)의 패터닝이 완료되면, 상기 인쇄 기판(PS) 상에는 복수의 양각 패턴들(EP)이 배치될 수 있다. 여기서, 상기 양각 패턴들(EP)은 상기 패턴 형성 장치의 회전 롤 블랭킷의 표면에 형성된 음각 패턴(IP)에 대응하는 영역에 배치될 수 있다.
한편, 상기 유기막(OL)이 상기 감광성 유기 물질을 포함하는 경우, 상기 패턴 형성 장치에 의하여 패터닝된 상기 양각 패턴들(EP)은 베이킹을 통하여 경화될 수 있다. 상기 경화된 패턴은 금속 또는 절연막을 패터닝하기 위하여 사용될 수 있는 식각 마스크로 사용될 수 있다.
상기 유기막(OL)이 절연성 유기 물질을 포함하는 경우, 상기 패턴 형성 장치에 의하여 패터닝된 상기 양각 패턴들(EP)은 상기 인쇄 기판(PS)의 특정 영역을 커버할 수 있다.
상기 유기막이 전도성 유기 물질을 포함하는 경우, 상기 패턴 형성 장치에 의하여 패터닝된 상기 양각 패턴들(EP)은 반도체 소자 또는 표시 장치에서 도전 패턴으로 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 양각 패턴들(EP)은 유기 발광 표시 장치의 발광층일 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하고 설명하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 전술한 바와 같이 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있으며, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100; 기판 안착부 200; 회전 롤
210; 회전체 220; 회전축
230; 블랭킷 231; 블랭킷 기판
PS; 인쇄 기판 MP; 마스크 패턴
IP; 음각 패턴 OL; 유기막
EP; 양각 패턴

Claims (10)

  1. 유기막이 형성된 인쇄 기판이 안착되는 기판 안착부; 및
    상기 유기막의 일부를 제거하여 패턴을 형성하는 회전 롤을 포함하고,
    상기 회전 롤은
    원통형의 회전체;
    상기 회전체의 중심부에 결합하여 상기 회전체에 회전력을 전달하는 회전축; 및
    상기 회전체의 외주면 상에 부착되는 블랭킷을 포함하고,
    상기 블랭킷은 상기 블랭킷의 표면에 형성된 음각 패턴을 구비하는 패턴 형성 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 블랭킷은 100㎛ 이하의 두께를 가지는 유리 기판인 패턴 형성 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 블랭킷의 상기 유기막에 대한 젖음성은 상기 인쇄 기반의 상기 유기막에 대한 젖음성보다 큰 패턴 형성 장치.
  4. 블랭킷 기판 상에 마스크 패턴을 배치하고 식각하여 음각 패턴을 구비하는 블랭킷을 형성하는 단계;
    상기 블랭킷을 회전체의 외주면 상에 부착하여 회전 롤을 형성하는 단계; 및
    상기 회전 롤을 회전체에 결합하는 단계를 포함하는 패턴 형성 장치의 제조 방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 블랭킷 기판은 100㎛ 이하의 두께를 가지는 유리 기판인 패턴 형성 장치의 제조 방법.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 블랭킷 기판은 유기물에 대한 젖음성을 갖는 패턴 형성 장치의 제조 방법.
  7. 인쇄 기판 상에 유기막을 형성하는 단계;
    상기 유기막이 형성된 상기 인쇄 기판을 패턴 형성 장치의 기판 안착부에 안착시키는 단계; 및
    상기 패턴 형성 장치의 회전 롤을 이용하여 상기 유기막을 패터닝하여 상기 인쇄 기판 상에 양각 패턴을 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 회전 롤은
    원통형의 회전체;
    상기 회전체의 중심부에 결합하여 상기 회전체에 회전력을 전달하는 회전축; 및
    상기 회전체의 외주면 상에 부착되고, 그 표면에 형성된 음각 패턴을 구비하는 블랭킷을 포함하고,
    상기 양각 패턴은 상기 음각 패턴에 대응하는 영역에 형성되는 패턴 형성 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 유기막은 감광성 유기 물질, 절연성 유기 물질, 및 전도성 유기 물질 중 어느 하나를 포함하는 패턴 형성 방법.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 블랭킷은 100㎛ 이하의 두께를 가지는 유리 기판인 패턴 형성 방법.
  10. 제7 항에 있어서,
    상기 블랭킷의 상기 유기막에 대한 젖음성은 상기 인쇄 기반의 상기 유기막에 대한 젖음성보다 큰 패턴 형성 방법.
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