KR20140013347A - Apparatus for supplying of hot air used in oven chamber for lcd glass substrate - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an apparatus for supplying hot air to an oven chamber for an LCD glass substrate, which accommodates and heats the LCD glass substrate therein. A hot air supply apparatus of the present invention includes: an air blow line connected to be linked with the inside of an oven chamber; a blower fan which is installed at the end of the air blow line and blows air into the oven chamber through the air blow line; a heater which is installed on the air blow line, and heats the air flowing into the oven chamber; and a mixing flange which is installed on the air blow line and mixes the air flowing in by the blower fan. According to the present invention, the apparatus has the effect of maintaining a uniform internal temperature of the oven chamber for an LCD glass substrate by supplying hot air into the oven chamber for an LCD glass substrate uniformly by installing the mixing flange around the bent area of the air blow line installed to be linked with the inside of the oven chamber for an LCD glass substrate.

Description

ＬＣＤ 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치 {APPARATUS FOR SUPPLYING OF HOT AIR USED IN OVEN CHAMBER FOR LCD GLASS SUBSTRATE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an apparatus for supplying hot air to an oven chamber for an LCD glass substrate,

본 발명은 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부와 연통되도록 설치되는 송풍라인의 절곡된 영역 인근에 믹싱 플랜지를 설치하여 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부로 열풍을 균일하게 공급시킴으로써, LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부 온도를 균일하게 유지시키는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a hot air supplying apparatus for an oven chamber for an LCD glass substrate, and more particularly, to a hot air supplying apparatus for an LCD glass substrate, which comprises a mixing flange disposed near a bent region of an air blowing line, And more particularly, to a hot air supply device for an oven chamber for an LCD glass substrate that uniformly supplies an internal temperature of an oven chamber for an LCD glass substrate by uniformly supplying hot air to the inside of the oven chamber.

일반적으로, TFT LCD는 박막증착공정, 포토레지스트 코팅공정, 베이킹공정, 노광공정, 현상공정 및 식각공정과 같은 일련의 공정을 거쳐서 제조된다. 이때, 오븐챔버(oven chamber)가 사용되는데 이는 핫 플레이트(hot plate) 또는 적외선을 열원으로 하여 포토레지스트 코팅 전에 글라스 기판에 열을 가하여 건조 및 예열시키거나 포토레지스트 막이 코팅된 글라스 기판에 일정시간 열을 가하여 포토레지스트 막을 경화시키는 베이킹(baking) 공정에 사용되는 장비이다.In general, TFT LCDs are manufactured through a series of processes such as a thin film deposition process, a photoresist coating process, a baking process, an exposure process, a development process, and an etching process. In this case, an oven chamber is used. The glass substrate is heated and dried by preheating the glass substrate before the photoresist coating using a hot plate or an infrared ray as a heat source, or by heating the glass substrate coated with the photoresist film for a predetermined time Is used for a baking process for curing the photoresist film by applying a photoresist.

이러한 LCD 글라스 기판용 오븐챔버는 대한민국 특허공개공보 제10-2007-0016529호, 제10-2007-0020604호 등에 개시되어 있다.Such an oven chamber for an LCD glass substrate is disclosed in Korean Patent Laid-Open Nos. 10-2007-0016529 and 10-2007-0020604.

상기한 종래의 LCD 글라스 기판용 오븐챔버는 내부 핫 플레이트의 상부에 LCD 글라스 기판을 안착시킨 후 핫 플레이트의 내부에 내장된 히터를 작동시켜 LCD 글라스 기판에 열을 가함으로써 베이킹 공정을 수행한다.In the conventional oven chamber for an LCD glass substrate, an LCD glass substrate is placed on an upper portion of an internal hot plate, and a heater built in a hot plate is operated to heat the LCD glass substrate to perform a baking process.

이때, LCD 글라스 기판의 증기를 제거하기 위해 오븐챔버의 내부로 열풍을 공급하게 된다.At this time, hot air is supplied to the inside of the oven chamber to remove the vapor of the LCD glass substrate.

상기와 같이 오븐챔버의 내부로 공급되는 열풍은 오븐챔버의 내부와 연통되도록 형성되는 송풍라인에 의해 공급된다.As described above, hot air supplied into the oven chamber is supplied by an air blowing line formed to communicate with the inside of the oven chamber.

일반적으로, 상기한 송풍라인은 다수회 절곡되도록 형성되는데, 송풍라인의 절곡된 영역은 공기의 유동거리가 일정하지 못하므로 절곡된 영역에서의 공기 유속이 균일하지 못하게 된다. 이에 따라, 오븐챔버의 내부로 열풍이 균일하게 공급되지 못하기 때문에, 오븐챔버의 내부 온도가 불균일해지는 문제점이 있었다.Generally, the blowing line is formed so as to be bent a plurality of times. In the bent region of the blowing line, the flow distance of the air is not uniform, so that the air flow rate in the bent region becomes uneven. Accordingly, since hot air can not be uniformly supplied into the oven chamber, there is a problem that the internal temperature of the oven chamber becomes uneven.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부와 연통되도록 설치되는 송풍라인의 절곡된 영역 인근에 믹싱 플랜지를 설치하여 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부로 열풍을 균일하게 공급시킴으로써, LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부 온도를 균일하게 유지시키는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an oven chamber for an LCD glass substrate, in which a mixing flange is provided near a bent region of an air blowing line provided to communicate with an inside of an oven chamber for an LCD glass substrate, To uniformly supply hot air into the inside of the oven chamber of the LCD glass substrate, thereby uniformly maintaining the internal temperature of the oven chamber for the LCD glass substrate.

상기 목적은 본 발명에 따라, 내부에 LCD 글라스 기판을 수용하여 가열하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 열풍을 공급하는 장치에 있어서, 상기 오븐챔버의 내부와 연통되도록 연결되는 송풍라인과, 상기 송풍라인의 단부에 설치되어 송풍라인을 통해 오븐챔버의 내부로 공기를 불어넣는 송풍팬과, 상기 송풍라인 상에 설치되어 오븐챔버의 내부로 인입되는 공기를 가열하는 히터와, 상기 송풍라인 상에 설치되어 송풍팬에 의해 유입되는 공기를 혼합시키는 믹싱 플랜지에 의해 달성된다.According to the present invention, in the apparatus for supplying hot air to the oven chamber for the LCD glass substrate for receiving and heating the LCD glass substrate therein, a blowing line connected to communicate with the interior of the oven chamber, the blowing line A blower fan installed at an end of the blower to blow air into the oven chamber through a blower line, a heater installed on the blower line to heat air introduced into the oven chamber, and installed on the blower line; This is achieved by a mixing flange that mixes the air entering by the blower fan.

또한, 상기 송풍라인은 다수회 굴곡지도록 형성되며, 상기 믹싱 플랜지는 송풍라인의 각 굴곡진 영역 인근에 설치되되, 송풍라인의 굴곡진 영역 위치보다 공기가 이동되는 방향 측에 위치되도록 설치될 수 있다.The mixing line may be formed so as to bend a plurality of times, and the mixing flange may be installed in the vicinity of each bending region of the blowing line, .

또한, 상기 믹싱 플랜지는 양측이 상기 송풍라인 상에 연결되도록 설치되는 중공 원통 형상의 하우징과, 상기 하우징의 내부 중심부에 하우징의 길이방향으로 설치되는 고정봉과, 상기 고정봉의 측면과 하우징의 내측 면을 상호 연결하도록 설치되는 나선형태의 블레이드를 포함할 수 있다.The mixing flange has a hollow cylindrical housing which is installed on both sides of the blowing line so as to be connected to the blowing line. The mixing flange includes a fixed rod installed in the center of the housing in the longitudinal direction of the housing, And may include a spiral-shaped blade installed to interconnect.

또한, 상기 블레이드는 다수로 구비되어 상기 고정봉의 외주를 따라 상호 이격하여 설치될 수 있다.The plurality of blades may be provided to be spaced apart from each other along the outer periphery of the fixing rod.

또한, 상기 고정봉의 중심부에는 길이방향으로 천공되는 송풍공이 형성될 수 있다.Further, a blowing hole may be formed in the center of the fixing rod to be perforated in the longitudinal direction.

또한, 상기 믹싱 플랜지는 양측이 상기 송풍라인 상에 연결되도록 설치되는 중공 원통 형상의 하우징과, 상기 하우징의 내부 중심부에 설치되되, 하우징의 내부 직경보다 작은 직경으로 형성된 원뿔 형태로 형성되어 원뿔의 꼭지점이 공기의 유입 측을 향하도록 설치되는 제1 공기혼합부재와, 상기 제1 공기혼합부재를 하우징의 내부에 고정시키는 고정봉과, 상기 제1 공기혼합부재보다 공기의 이동방향 측에 설치되되, 하우징의 내부 직경에 대응되는 직경으로 형성된 링 형태로 형성되어 하우징의 내부에 끼워져 설치되고, 외주의 중앙부가 내부로 함몰되도록 형성되는 제2 공기혼합부재를 포함할 수 있다.The mixing flange has a hollow cylindrical housing which is installed on both sides of the blowing line. The mixing flange is formed in a conical shape having a smaller diameter than the inner diameter of the housing, A first air mixing member provided so as to face the inflow side of the air, a fixing rod for fixing the first air mixing member to the inside of the housing, And a second air mixing member formed in a ring shape having a diameter corresponding to the inner diameter of the housing and fitted in the housing and formed so that a central portion of the outer periphery is recessed into the interior.

또한, 상기 오븐챔버의 내부와 송풍라인을 상호 연통시키도록 설치되되, 송풍라인을 통해 유입되는 공기를 분기시켜 오븐챔버의 내부로 고르게 인입시키는 덕트와, 상기 덕트를 통해 오븐챔버의 내부로 인입되는 공기를 필터링하는 헤파필터(high efficiency particulate air filter, HEPA filter)를 더 포함할 수 있다.In addition, a duct which is installed to communicate the inside of the oven chamber with the air blowing line so as to divide the air introduced through the air blowing line into the inside of the oven chamber and the air introduced into the oven chamber through the duct, And a high efficiency particulate air filter (HEPA filter) for filtering the air.

이에 의해, LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부와 연통되도록 설치되는 송풍라인의 절곡된 영역 인근에 믹싱 플랜지를 설치하여 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부로 열풍을 균일하게 공급시킴으로써, LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 내부 온도를 균일하게 유지시키는 효과가 있다.Thus, by providing a mixing flange near the bent region of the blowing line provided so as to communicate with the inside of the oven chamber for the LCD glass substrate, hot air is uniformly supplied into the oven chamber for the LCD glass substrate, It has the effect of keeping the internal temperature of the chamber uniform.

도 1은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치의 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치 제1 실시예의 믹싱 플랜지 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치 제1 실시예의 믹싱 플랜지 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치 제1 실시예의 작동 상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치 제2 실시예의 믹싱 플랜지 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치 제2 실시예의 믹싱 플랜지 단면도이다.
도 8는 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치 제2 실시예의 작동 상태도이다.1 is a perspective view of a hot air supply apparatus for an oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention.
2 is an exploded perspective view of a hot air supply apparatus for an oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention.
3 is a perspective view of a mixing flange according to a first embodiment of a hot air supply device for an oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the mixing flange of the first embodiment of hot air supply device for the oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention.
5 is an operational state diagram of a first embodiment of hot air supply apparatus for an oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention.
6 is a perspective view of a mixing flange according to a second embodiment of a hot air supply apparatus for an oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention.
7 is a cross-sectional view of a mixing flange of a second embodiment of a hot air supply apparatus for an oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention.
8 is an operational state diagram of a second embodiment of a hot air supply apparatus for an oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.

<제1 실시예>&Lt; Embodiment 1 >

본 발명에 따른 본 발명의 제1 실시예에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치는, 도 1 및 2에 도시된 바와 같이, 오븐챔버(100)의 내부와 연통되도록 연결되는 송풍라인(110)과, 송풍라인(110)의 단부에 설치되어 송풍라인(110)을 통해 오븐챔버(100)의 내부로 공기를 불어넣는 송풍팬(120)과, 송풍라인(110) 상에 설치되어 오븐챔버(100)의 내부로 인입되는 공기를 가열하는 히터(130)와, 송풍라인(110) 상에 설치되어 송풍팬(120)에 의해 유입되는 공기를 혼합시키는 믹싱 플랜지(200)를 포함한다.1 and 2, an apparatus for supplying hot air in an oven chamber for an LCD glass substrate according to a first embodiment of the present invention includes an air blowing line (not shown) connected to the inside of an oven chamber 100 A blowing fan 120 installed at an end of the blowing line 110 to blow air into the oven chamber 100 through an air blowing line 110 and a blowing fan 120 installed on the blowing line 110, A heater 130 for heating the air drawn into the chamber 100 and a mixing flange 200 for mixing the air introduced by the blowing fan 120 on the blowing line 110.

먼저, 송풍라인(110)은 내부에 유동공간이 형성된 파이프로서, 일측이 오븐챔버(100)의 내부와 연통되도록 설치된다. 상기한 송풍라인(110)은 다수회 절곡되도록 형성되어 오븐챔버(100)의 측면 측에 일 영역이 위치된다.First, the blowing line 110 is a pipe having a flow space formed therein, and is installed so that one side thereof communicates with the inside of the oven chamber 100. The blowing line 110 is formed to be folded a plurality of times, and one region is located on the side of the oven chamber 100.

그리고, 송풍팬(120)은 일반적으로 널리 사용되는 팬으로서, 송풍라인(110)의 타측 단부에 설치되어 외부의 공기를 송풍라인(110)의 내부로 불어 넣는다.The blowing fan 120 is generally used as a fan and is installed at the other end of the blowing line 110 to blow the outside air into the inside of the blowing line 110.

또한, 히터(130)는 일반적으로 사용되는 전기 또는 가스를 이용한 난방장치로서, 송풍라인(110) 상에 설치되어 송풍라인(110)을 을 통해 이동되는 공기를 가열하게 된다.In addition, the heater 130 is a generally used electric or gas heating apparatus, and is installed on the air blowing line 110 to heat air moving through the air blowing line 110.

한편, 믹싱 플랜지(200)는 송풍라인(110)의 굴곡진 영역 인근에 설치되되, 송풍라인(110)의 굴곡진 영역보다 공기가 이동되는 방향 측에 위치되도록 설치된다. 송풍라인(110)의 굴곡진 영역은 공기의 유동거리가 일정하지 못하기 때문에 굴곡진 영역의 내측부보다 외측부에서 공기의 유속이 빨라지게 되어 균일한 유속으로 공기가 이동되지 않는다. 따라서, 송풍라인(110)의 굴곡진 영역을 통과한 공기는 불균일한 유속으로 오븐챔버(100)의 내부로 인입되고 이에 따라 오븐챔버(100)의 내부 온도가 균일하지 못하게 된다. 이를 해결하기 위하여 송풍라인(110)의 굴곡진 영역 인근에 믹싱 플랜지(200)가 설치된다.On the other hand, the mixing flange 200 is installed near the curved region of the air blowing line 110, but is located at a position closer to the direction in which the air is moved than the curved region of the air blowing line 110. Since the air flowing distance of the air blowing line 110 is not constant, the flow velocity of the air at the outer side is higher than that of the inner side of the curved region, so that the air is not moved at a uniform flow rate. Therefore, the air that has passed through the curved region of the air blowing line 110 is drawn into the inside of the oven chamber 100 at a non-uniform flow rate, thereby making the internal temperature of the oven chamber 100 uneven. In order to solve this problem, a mixing flange 200 is installed near the curved region of the blowing line 110.

상기와 같은 믹싱 플랜지(200)는, 도 3 및 4에 도시된 바와 같이, 하우징(210), 고정봉(220) 및 블레이드(230)을 포함하여 구성된다.The mixing flange 200 includes the housing 210, the fixing rod 220, and the blade 230, as shown in FIGS.

먼저, 하우징(210)은 송풍라인(110)의 직경에 대응되는 직경으로 형성되는 중공 원통 형상의 부재로서, 양측이 송풍라인(110) 상에 연결되도록 설치된다.First, the housing 210 is a hollow cylindrical member formed to have a diameter corresponding to the diameter of the air blowing line 110, and is installed so that both sides are connected to the air blowing line 110.

그리고, 고정봉(220)은 하우징(210)의 길이와 동일한 길이를 갖는 소정 직경의 봉으로서, 하우징(210)의 내부 중심에 하우징(210)의 길이 방향으로 설치된다. 이때, 고정봉(220)의 중심부에는 길이방향으로 천공되는 송풍공(221)이 형성된다. 즉, 고정봉(220)은 내부에 유동 공간이 형성되는 파이프의 형태로 형성된다.The fixed bar 220 is a rod having a predetermined length and a length equal to the length of the housing 210 and is installed in the longitudinal direction of the housing 210 at the inner center of the housing 210. At this time, an air blowing hole 221 is formed in the center of the fixing rod 220 in the longitudinal direction. That is, the fixing rod 220 is formed in the form of a pipe in which a flow space is formed.

또한, 블레이드(230)는 고정봉(220)의 외측 면과 하우징(210)의 내측 면을 상호 연결하도록 설치되는 나선형태의 플레이트로서, 다수로 구비되어 고정봉(220)의 외주를 따라 일정 간격 상호 이격되도록 설치된다.The blade 230 is a helical plate provided to interconnect the outer surface of the fixing rod 220 and the inner surface of the housing 210. The blade 230 includes a plurality of blades 230, Are spaced apart from each other.

상기와 같이 구성되는 믹싱 플랜지(200)의 작용을 도 5를 참조하여 설명한다.The operation of the mixing flange 200 configured as described above will be described with reference to FIG.

도 5에 도시된 것처럼, 송풍라인(110)의 굴곡진 영역을 통과한 공기는 균일하지 못한 유속으로 믹싱 플랜지(200)의 내부로 인입된다. 이때, 송풍라인(110)의 중심부로 이동되는 공기는 유속의 변화가 거의 없으므로 고정봉(220)의 송풍공(221)을 통과하여 이동된다. 송풍라인(110)의 굴곡진 영역 외측부 및 내측부를 통과함에 따라 유속이 균일하지 못하게 된 공기는 블레이드(230)의 사이 공간으로 인입된 후 나선형태의 블레이드(230)에 의해 혼합되어 이동된다. 따라서, 송풍라인(110)의 굴곡진 영역을 통과함에 따라 유속이 불균일해진 공기는 믹싱 플랜지(200)를 통과하면서 혼합되어 균일한 유속을 갖게 된다.As shown in FIG. 5, air that has passed through the curved region of the blast line 110 is drawn into the interior of the mixing flange 200 at an uneven flow rate. At this time, the air moving to the center of the air blowing line 110 has little change in the flow velocity, and is moved through the air blowing holes 221 of the fixing rod 220. Air that has become uneven in flow velocity as it passes through the outward and inward portions of the curved region of the air blowing line 110 is drawn into the space between the blades 230 and then mixed and moved by the spiral blade 230. Accordingly, air having a non-uniform flow velocity as it passes through the curved region of the air blowing line 110 is mixed while passing through the mixing flange 200 to have a uniform flow velocity.

상기와 같이 믹싱 플랜지(200)에 의해 공기가 균일한 유속으로 이동되어 오븐챔버(100)의 내부로 균일한 유속으로 인입되므로, 오븐챔버(100)의 내부 온도 또한 균일해지게 된다.As described above, since the air is moved at a uniform flow rate by the mixing flange 200 and is drawn into the oven chamber 100 at a uniform flow rate, the internal temperature of the oven chamber 100 is also made uniform.

한편, 오븐챔버(100)의 측면에는 송풍라인(110)과 오븐챔버(100)의 내부를 상호 연통시키도록 설치되는 덕트(140)와, 덕트(140)를 통해 오븐챔버(100)의 내부로 인입되는 공기를 필터링하는 헤파필터(150)가 설치된다.On the other hand, a duct 140 installed on the side surface of the oven chamber 100 for communicating the inside of the oven chamber 100 with the air blowing line 110 and a duct 140 installed inside the oven chamber 100 through the duct 140 A HEPA filter (150) for filtering incoming air is provided.

덕트(140)는 오븐챔버(100)의 측면 너비에 대응되는 너비를 갖도록 형성되어 오븐챔버(100)의 측면 전 영역과 연통되도록 설치되고, 송풍라인(110)의 일측에 연결되는 분기관(141)과 연결되도록 설치되어 분기관(141)에 의해 분기된 공기를 오븐챔버(100)의 내부로 고르게 인입시키게 된다.The duct 140 is formed to have a width corresponding to the lateral width of the oven chamber 100 and is connected to the entire area of the side surface of the oven chamber 100 and is connected to one side of the blowing line 110, So that the air branched by the branch pipe 141 is drawn into the oven chamber 100 evenly.

헤파필터(high efficiency particulate air filter, HEPA filter)(150)는 공기로부터 미세한 입자를 제거하는 고성능 필터로서, 덕트(140)와 오븐챔버(100)의 사이 영역에 설치되어 덕트(140)를 통해 오븐챔버(100)의 내부로 인입되는 공기를 필터링하여 이물질을 제거한다.
A high efficiency particulate air filter (HEPA filter) 150 is a high performance filter that removes fine particles from the air. The high efficiency particulate air filter 150 is installed in a region between the duct 140 and the oven chamber 100, The air introduced into the chamber 100 is filtered to remove foreign matter.

<제2 실시예>Second Embodiment

이하에서는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치에 대해 도 6 내지 8을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a hot air supply apparatus for an oven chamber for an LCD glass substrate according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.

본 발명의 제2 실시예는 본 발명의 주요 특징부인 믹싱 플랜지의 형상만이 변경된 것으로 그 외의 구성요소는 제1 실시예와 동일하므로 설명을 생략하고, 제2 실시예의 믹싱 플랜지(300)에 대해서만 설명하기로 한다.The second embodiment of the present invention is different from the first embodiment only in the shape of the mixing flange, which is the main feature of the present invention, and thus the description thereof will be omitted. Only the mixing flange 300 of the second embodiment I will explain.

본 발명의 제2 실시예의 믹싱 플랜지(300)는, 도 6 및 7에 도시된 바와 같이, 하우징(310), 제1 공기혼합부재(320), 고정봉(330) 및 제2 공기혼합부재(340)를 포함하여 구성된다.6 and 7, the mixing flange 300 of the second embodiment of the present invention includes a housing 310, a first air mixing member 320, a fixing rod 330, and a second air mixing member 340).

먼저, 하우징(310)은 송풍라인(110)의 직경에 대응되는 직경으로 형성되는 중공 원통 형상의 부재로서, 양측이 송풍라인(110) 상에 연결되도록 설치된다.First, the housing 310 is a hollow cylindrical member formed to have a diameter corresponding to the diameter of the blowing line 110, and is installed so that both sides thereof are connected to the blowing line 110.

그리고, 제1 공기혼합부재(320)는 하우징(310)의 내부 직경보다 작은 직경으로 형성된 원뿔 형상의 부재로서, 하우징(310)의 내부 중심부에 설치된다. 이때, 제1 공기혼합부재(320)는 원뿔의 꼭지점이 공기의 유입 측을 향하도록 설치된다.The first air mixing member 320 is a conical member having a diameter smaller than the inner diameter of the housing 310 and is installed at the inner center of the housing 310. At this time, the first air mixing member 320 is installed such that the apex of the cone faces the inflow side of the air.

또한, 고정봉(330)은 소정 직경을 갖는 봉으로서, 제1 공기혼합부재(320)를 관통하여 양측이 하우징(310)의 내벽에 고정되도록 설치된다. 상기한 고정봉(330)은 쌍으로 구비되어 제1 공기혼합부재(320)를 하우징(310)의 내부 중심부에 고정시킨다.The fixing rod 330 is a rod having a predetermined diameter and is installed to pass through the first air mixing member 320 so that both sides thereof are fixed to the inner wall of the housing 310. The fixing rods 330 are provided in pairs to fix the first air mixing member 320 to the inner center portion of the housing 310.

한편, 제2 공기혼합부재(340)는 하우징(310)의 내부 직경에 대응되는 직경으로 형성된 링 형상의 부재로서, 하우징(310)의 내부에 끼워져 설치되되 제1 공기혼합부재(310)보다 공기의 이동방향 측에 위치되도록 설치된다. 이때, 제2 공기혼합부재(340)의 외주는 중앙부가 내부 측으로 함몰되도록 형성된다.The second air mixing member 340 is a ring-shaped member formed to have a diameter corresponding to the inner diameter of the housing 310. The second air mixing member 340 is installed inside the housing 310, As shown in Fig. At this time, the outer periphery of the second air mixing member 340 is formed so that the central portion thereof is recessed toward the inside.

상기와 같이 구성되는 믹싱 플랜지(300)의 작용을 도 8을 참조하여 설명한다.The operation of the mixing flange 300 configured as described above will be described with reference to FIG.

도 8에 도시된 것처럼, 송풍라인(110)의 굴곡진 영역을 통과한 공기는 균일하지 못한 유속으로 믹싱 플랜지(300)의 내부로 인입된다. 송풍라인(110)의 굴곡진 영역 외측부 및 내측부를 통과함에 따라 유속이 균일하지 못하게 된 공기는 제1 공기혼합부재(320)에 의해 이동방향이 변하게 되고, 그 후, 제2 공기혼합부재(340)에 의해 이동방향이 재차 변경되어 상호 혼합되어 이동된다. 여기서, 송풍라인(110)의 굴곡진 영역 외측부 및 내측부를 통과하는 공기 중 최 외측부 및 내측부를 통과하는 공기는 제1 공기혼합부재(320)와 접촉되지 않고 제2 공기혼합부재(340)에만 접촉되어 이동방향이 변경된다.As shown in FIG. 8, air that has passed through the curved region of the blast line 110 is drawn into the interior of the mixing flange 300 at an uneven flow rate. Air whose flow velocity becomes uneven due to the passage through the outward and inward portions of the curved region of the air blowing line 110 is changed in the moving direction by the first air mixing member 320 and then the second air mixing member 340 The moving direction is changed again and mixed and moved. Here, the air passing through the outermost portion and the inner portion of the air passing through the outwardly bent portion and the inward portion of the bent portion of the air blowing line 110 does not come in contact with the first air mixing member 320 but contacts only the second air mixing member 340 And the moving direction is changed.

상기와 같이 송풍라인(110)의 굴곡진 영역을 통과함에 따라 유속이 불균일해진 공기는 믹싱 플랜지(300)를 통과하면서 혼합되어 균일한 유속을 갖게 된다.As described above, as the air passes through the curved region of the air blowing line 110, the air having a non-uniform flow velocity is mixed while passing through the mixing flange 300 to have a uniform flow velocity.

따라서, 믹싱 플랜지(300)에 의해 공기가 균일한 유속으로 이동되어 오븐챔버(100)의 내부로 균일한 유속으로 인입되므로, 오븐챔버(100)의 내부 온도 또한 균일해지게 된다.
Accordingly, since the air is moved at a uniform flow rate by the mixing flange 300 and is drawn into the oven chamber 100 at a uniform flow rate, the internal temperature of the oven chamber 100 is also made uniform.

본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 기술적 사상의 범위에 포함되는 것은 자명하다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. It will be understood that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

100 : 오븐챔버 110 : 송풍라인
120 : 송풍팬 130 : 히터
140 : 덕트 150 : 헤파필터
200 : 믹싱 플랜지 210 : 하우징
220 : 고정봉 221 : 송풍공
230 : 블레이드 300 : 믹싱플랜지
310 : 하우징 320 : 제1 공기혼합부재
330 : 고정봉 340 : 제2 공기혼합부재100: oven chamber 110: blowing line
120: blower fan 130: heater
140: Duct 150: Hepa filter
200: mixing flange 210: housing
220: fixed rod 221: air blowing hole
230: Blade 300: Mixing flange
310: housing 320: first air mixing member
330: fixing rod 340: second air mixing member

Claims (7)

내부에 LCD 글라스 기판을 수용하여 가열하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 열풍을 공급하는 장치에 있어서,
상기 오븐챔버의 내부와 연통되도록 연결되는 송풍라인과;
상기 송풍라인의 단부에 설치되어 송풍라인을 통해 오븐챔버의 내부로 공기를 불어넣는 송풍팬과;
상기 송풍라인 상에 설치되어 오븐챔버의 내부로 인입되는 공기를 가열하는 히터와;
상기 송풍라인 상에 설치되어 송풍팬에 의해 유입되는 공기를 혼합시키는 믹싱 플랜지를 포함하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치.1. An apparatus for supplying hot air to an oven chamber for an LCD glass substrate which receives and heats an LCD glass substrate,
A blowing line connected to communicate with the inside of the oven chamber;
A blowing fan installed at an end of the blowing line for blowing air into the oven chamber through an air blowing line;
A heater installed on the air blowing line for heating the air drawn into the oven chamber;
The hot air supply apparatus of the oven chamber for the LCD glass substrate including a mixing flange is installed on the blowing line for mixing the air introduced by the blowing fan. 제1항에 있어서,
상기 송풍라인은 다수회 굴곡지도록 형성되며;
상기 믹싱 플랜지는 송풍라인의 각 굴곡진 영역 인근에 설치되되, 송풍라인의 굴곡진 영역 위치보다 공기가 이동되는 방향 측에 위치되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치.The method of claim 1,
Wherein the blowing line is formed to be bent a plurality of times;
Wherein the mixing flange is installed in the vicinity of each bent region of the blowing line so that the mixing flange is located in a direction in which air is moved than a bent region of the blowing line. 제1항에 있어서,
상기 믹싱 플랜지는,
양측이 상기 송풍라인 상에 연결되도록 설치되는 중공 원통 형상의 하우징과;
상기 하우징의 내부 중심부에 하우징의 길이방향으로 설치되는 고정봉과;
상기 고정봉의 측면과 하우징의 내측 면을 상호 연결하도록 설치되는 나선형태의 블레이드를 포함하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치.The method of claim 1,
The mixing flange
A housing having a hollow cylindrical shape and installed on both sides so as to be connected to the blowing line;
A fixing rod installed in a longitudinal direction of the housing at an inner central portion of the housing;
And a spiral-shaped blade installed to interconnect the side surface of the fixing rod and the inner side surface of the housing. 제3항에 있어서,
상기 블레이드는 다수로 구비되어 상기 고정봉의 외주를 따라 상호 이격하여 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치.The method of claim 3,
Wherein the plurality of blades are installed to be spaced from each other along the outer periphery of the fixing rod. 제3항에 있어서,
상기 고정봉의 중심부에는 길이방향으로 천공되는 송풍공이 형성되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치.The method of claim 3,
Wherein the fixing rod has a ventilation hole formed at a central portion thereof in a longitudinal direction thereof. 제1항에 있어서,
상기 믹싱 플랜지는,
양측이 상기 송풍라인 상에 연결되도록 설치되는 중공 원통 형상의 하우징과;
상기 하우징의 내부 중심부에 설치되되, 하우징의 내부 직경보다 작은 직경으로 형성된 원뿔 형태로 형성되어 원뿔의 꼭지점이 공기의 유입 측을 향하도록 설치되는 제1 공기혼합부재와;
상기 제1 공기혼합부재를 하우징의 내부에 고정시키는 고정봉과;
상기 제1 공기혼합부재보다 공기의 이동방향 측에 설치되되, 하우징의 내부 직경에 대응되는 직경으로 형성된 링 형태로 형성되어 하우징의 내부에 끼워져 설치되고, 외주의 중앙부가 내부로 함몰되도록 형성되는 제2 공기혼합부재를 포함하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치.The method of claim 1,
The mixing flange
A housing having a hollow cylindrical shape and installed on both sides so as to be connected to the blowing line;
A first air mixing member installed at an inner central portion of the housing, the first air mixing member being formed in a conical shape having a diameter smaller than the inner diameter of the housing, the vertex of the conical portion facing the inflow side of the air;
A fixing rod for fixing the first air mixing member to the inside of the housing;
The first air mixing member is formed in a shape of a ring having a diameter corresponding to the inner diameter of the housing and is installed on the air moving direction side of the first air mixing member and is fitted in the housing and the central portion of the outer circumference is recessed 2 Air blending member for hot air supply in an oven chamber for an LCD glass substrate. 제1항에 있어서,
상기 오븐챔버의 내부와 송풍라인을 상호 연통시키도록 설치되되, 송풍라인을 통해 유입되는 공기를 분기시켜 오븐챔버의 내부로 고르게 인입시키는 덕트와;
상기 덕트를 통해 오븐챔버의 내부로 인입되는 공기를 필터링하는 헤파필터(high efficiency particulate air filter, HEPA filter)를 더 포함하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버의 열풍 공급장치.The method of claim 1,
A duct installed to communicate the inside of the oven chamber with the air blowing line so as to divide the air introduced through the air blowing line into the inside of the oven chamber;
Further comprising a high efficiency particulate air filter (HEPA filter) for filtering air drawn into the interior of the oven chamber through the duct.
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