KR20140006382A

KR20140006382A - Valve module

Info

Publication number: KR20140006382A
Application number: KR1020120073126A
Authority: KR
Inventors: 최창수; 유상현
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2012-07-05
Filing date: 2012-07-05
Publication date: 2014-01-16
Also published as: KR101388500B1

Abstract

The present invention relates to a valve module and, more specifically, to a valve module which prevents accidents caused by the reduction of air pressure during processes by detecting the pressure of air supplied to a device operated by the pressure of air and showing if the detected pressure is in a predetermined pressure range to the outside using a pressure detection and display device integrated with the valve module.

Description

Valve module

본 발명은 밸브 모듈에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 공압을 이용하여 작동되는 장치로 공급되는 공기의 압력을 감지하고, 감지된 압력이 설정된 압력 범위를 만족하는지 여부를 외부에서 용이하게 인식할 수 있도록 표시하는 압력감지 및 표시장치를 밸브 모듈에 일체로 형성함으로써 공압의 감소에 의해 초래되는 공정 사고를 예방할 수 있도록 하는 밸브 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a valve module, and more particularly, to detect the pressure of the air supplied to the device operated by using pneumatic pressure, and to easily recognize whether the sensed pressure meets the set pressure range from the outside. The present invention relates to a valve module that prevents process accidents caused by a decrease in pneumatic pressure by integrally forming a pressure sensing and display device on the valve module.

일반적으로 반도체, 디스플레이 제조공정에서는 각 공정 단계마다 필요한 가스를 공급 제어하는 다수개의 밸브를 포함하는 가스 공급장치가 사용되고 있으며, 이외에도 다양한 산업 설비들에서 특정한 가스를 공급하거나, 공기 압력으로 작동되는 공압 밸브 등의 장치(이하, '공압 장치'라 칭함)에 설정된 압력의 공기를 공급하기 위한 밸브들을 포함하고 있다.In general, in the semiconductor and display manufacturing process, a gas supply device including a plurality of valves for supplying and controlling a gas required for each process step is used. In addition, a pneumatic valve that supplies a specific gas or operates at a pneumatic pressure in various industrial facilities is used. And valves for supplying air at a pressure set in the apparatus of the present invention (hereinafter referred to as 'pneumatic device').

이러한 밸브들을 어떻게 배치하는가에 따라 유체의 공급라인과 배관 복잡도가 결정되며, 점검과 수리 및 교체가 용이하도록 밸브들을 집합체로 모듈화하는 기술이 개발되고 있다. 이러한 밸브 모듈에 관해서는 제조사마다 특징적인 설계방식이 있으나, 일반적으로 밸브 모듈은 전기적인 신호의 제어에 따라 유체를 선택적으로 공급 가능한 솔레노이드밸브를 집적한 구조가 대부분이다.The arrangement of these valves determines the fluid supply line and piping complexity, and techniques are being developed to modularize the valves into assemblies for easy inspection, repair and replacement. The valve module has a specific design method for each manufacturer. However, in general, the valve module has a structure in which a solenoid valve capable of selectively supplying a fluid under the control of an electrical signal is integrated.

도 1은 종래 밸브 모듈의 일례를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing an example of a conventional valve module.

종래 밸브 모듈(10)은, 매니폴드(20)의 일측으로 공기가 유입되는 한 쌍의 공급포트(30)와 공기가 배기되는 배기포트(40)가 구비되고, 매니폴드(20)의 하부에는 공급포트(30)를 통해 공급된 공기를 공압 장치(미도시됨)에 공급하거나, 공압 장치로부터 회수되어 배기포트(40)를 통해 배기되는 공기가 통과하는 한 쌍의 배출포트(50)가 매니폴드(20)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 다수로 구비되어 있다. 매니폴드(20)의 내부에는 공급포트(30) 또는 배기포트(40)와 배출포트(50)를 연결하는 다수의 유로가 형성되어 있다.Conventionally, the valve module 10 includes a pair of supply ports 30 through which air is introduced into one side of the manifold 20 and an exhaust port 40 through which air is exhausted, and a lower portion of the manifold 20 is provided. A pair of discharge ports 50 through which the air supplied through the supply port 30 is supplied to the pneumatic device (not shown) or the air recovered from the pneumatic device and exhausted through the exhaust port 40 pass through A plurality of folds 20 are provided at regular intervals along the longitudinal direction. A plurality of flow paths are formed inside the manifold 20 to connect the supply port 30 or the exhaust port 40 to the discharge port 50.

매니폴드(20)의 상부 일측에는 다수개의 솔레노이드밸브(SV1-1 내지 SV1-12)의 집합으로 이루어진 제1 솔레노이드밸브군(60)이 구비되고, 제1 솔레노이드밸브군(60)에 대향되는 위치의 매니폴드(20)의 상부 타측에는 다수개의 솔레노이드밸브(SV2-1 내지 SV2-12)의 집합으로 이루어진 제2 솔레노이드밸브군(70)이 구비되어 있다. The upper one side of the manifold 20 is provided with a first solenoid valve group 60 consisting of a set of a plurality of solenoid valves (SV1-1 to SV1-12), the position opposite to the first solenoid valve group 60 On the other side of the upper manifold 20 of the second solenoid valve group consisting of a plurality of solenoid valves (SV2-1 to SV2-12) is provided.

상기 제1 솔레노이드밸브군(60)과 제2 솔레노이드밸브군(70)을 구성하는 다수개의 솔레노이드밸브(SV1-1 내지 SV1-12, SV2-1 내지 SV2-12)는, 인가되는 전기신호에 따른 전자기력에 의해 작동되어, 공급포트(30)로 유입되는 공기가 다수개의 해당 배출포트(50)를 통해 공압 장치로 공급되도록 하거나, 공압 장치로부터 해당 배출포트(50)를 통해 회수되는 공기가 배기포트(40)로 배기되도록 공기의 유로를 단속하게 된다.The plurality of solenoid valves SV1-1 to SV1-12 and SV2-1 to SV2-12 constituting the first solenoid valve group 60 and the second solenoid valve group 70 may be configured according to an applied electrical signal. Operated by electromagnetic force, the air flowing into the supply port 30 is supplied to the pneumatic device through a plurality of corresponding discharge ports 50, or the air recovered from the pneumatic device through the corresponding discharge port 50 is exhaust port. The flow path of air is interrupted so as to be exhausted to 40.

또한 매니폴드(20)에는 상기 다수개의 솔레노이드밸브(SV1-1 내지 SV1-12, SV2-1 내지 SV2-12)를 각각 제어하기 위한 전기적인 신호를 인가하는 회로기판(80)이 설치되어 있다.In addition, the manifold 20 is provided with a circuit board 80 for applying electrical signals for controlling the plurality of solenoid valves SV1-1 to SV1-12 and SV2-1 to SV2-12, respectively.

이와 같이 구성된 종래의 밸브 모듈(10)은, 다수개의 솔레노이드밸브가 집적되어 해당 공압 장치에 공기압을 개별적으로 공급할 수 있는 이점은 있으나, 각각의 솔레노이드밸브를 통해 공급되는 공기압이 규정된 압력을 만족하는 상태로 공급되는지 여부를 실시간으로 감지하고 이를 외부에 표시하는 구성을 포함하고 있지 않아 다수개의 솔레노이드밸브 중 일부가 오작동되는 경우에는 공급되는 공기압이 규정된 압력 이하로 떨어지게 되어 공정 품질이 저하되는 사고로 이어지는 문제점이 있다.The conventional valve module 10 configured as described above has an advantage in that a plurality of solenoid valves are integrated to supply air pressure to a corresponding pneumatic device individually, but the air pressure supplied through each solenoid valve satisfies a prescribed pressure. It does not include a configuration that detects whether it is supplied in real time and displays it externally, so if some of the solenoid valves malfunction, the supplied air pressure drops below the prescribed pressure, resulting in a process quality deterioration. There is a problem that follows.

또한, 종래의 밸브 모듈은 다수의 솔레노이드밸브 중 일부에 이상이 생기는 경우에도 그 다수의 솔레노이드밸브와 회로기판을 포함하는 밸브 모듈 전체를 교체해야 하기 때문에 교체 비용이 많이 드는 문제점이 있으며, 밸브 모듈의 교체시마다 공정의 진행이 중단되어 생산성이 저하되는 문제점이 있다.In addition, the conventional valve module has a problem that it is expensive to replace the entire valve module including the plurality of solenoid valves and circuit boards even when some of the plurality of solenoid valves are abnormal. There is a problem that the progress of the process is stopped every time the replacement is reduced productivity.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 공압 장치로 공급되는 공기의 압력을 감지하고, 공압의 작용 여부 및 감지된 압력이 설정된 압력 범위를 만족하는지 여부를 외부에서 용이하게 인식할 수 있도록 표시함으로써 공압의 감소에 의해 공정 품질이 저하되는 사고를 예방할 수 있도록 하는 밸브 모듈을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, it is possible to detect the pressure of the air supplied to the pneumatic device, and easily recognize from the outside whether the action of the pneumatic pressure and whether the sensed pressure satisfies the set pressure range. It is an object of the present invention to provide a valve module that prevents an accident in which process quality is degraded by reducing pneumatic pressure.

본 발명의 다른 목적은, 유체의 공급측에 설치되는 한 쌍의 솔레노이드밸브 중 어느 하나가 손상되더라도 반대측에 설치된 솔레노이드밸브를 통하여 유체의 공급을 정상적으로 수행할 수 있도록 하여 공정의 중단을 방지하고 솔레노이드밸브의 교체시에도 공정의 연속 수행으로 생산성을 향상시킬 수 있도록 하는 밸브 모듈을 제공하는데 있다.Another object of the present invention, even if any one of the pair of solenoid valves installed on the supply side of the fluid is damaged through the solenoid valve installed on the opposite side to allow the normal supply of the fluid to prevent interruption of the process and of the solenoid valve The present invention provides a valve module that can improve productivity by continuously performing a process even during replacement.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈은, 공급 유로(111-1,111-2)와 이에 연결된 공급 연결유로(111a,111b), 배기 유로(112-1,112-2)와 이에 연결된 배기 연결유로(112a,112b) 및 상기 공급 연결유로(111a,111b) 또는 배기 연결유로(112a,112b)에 선택적으로 연결되는 상부 유로(113;113-1,113-2)가 각각 양측으로 대향되게 길이방향을 따라 다수로 형성된 매니폴드(110); 상기 매니폴드(110)의 상부 양측에 배치되며, 상기 공급 연결유로(111a,111b)와 배기 연결유로(112a,112b) 중 어느 하나의 유로를 상기 상부 연결유로(113;113-1,113-2)에 선택적으로 연결하는 다수의 솔레노이드밸브의 집합으로 이루어진 제1 솔레노이드밸브군(120)과 제2 솔레노이드밸브군(130); 상기 매니폴드(110)의 하부에 결합되며, 상기 상부 유로(113;113-1,113-2)에 각각 연결되는 하부 유로(141;141-1,141-2)와, 상기 하부 유로(141;141-1,141-2)에서 분기되는 바이패스유로(142;142-1,142-2) 및 상기 하부 유로(141;141-1,141-2)에 연결되어 공압이 배출되는 한 쌍의 배출포트(143;143-1,143-2)가 각각 양측으로 대향되게 길이방향을 따라 다수로 형성된 센서하우징(140); 및 상기 제1 솔레노이드밸브군(120)과 제2 솔레노이드밸브군(130) 사이로 상기 매니폴드(110)와 센서하우징(140)의 내부에 구비되며, 상기 바이패스유로(142;142-1,142-2)를 통해 유입되는 공압을 감지하여 설정된 압력 범위와 비교한 후에 공압의 정상 작동 여부를 표시하는 압력감지 및 표시부(150)를 포함한다. The valve module according to the first embodiment of the present invention for achieving the above object, the supply flow path (111-1, 111-2) and the supply connection flow path (111a, 111b), exhaust flow path (112-1, 112-) connected thereto 2) and the upper connecting passages 112a and 112b connected thereto and the upper passages 113; 113-1 and 113-2 selectively connected to the supply connecting passages 111a and 111b or the exhaust connecting passages 112a and 112b, respectively. A manifold (110) formed in plural along the longitudinal direction opposite to both sides; Arranged on both sides of the upper manifold 110, the one of the supply connection passage (111a, 111b) and the exhaust connection passage (112a, 112b) to the upper connection passage (113; 113-1, 113-2) A first solenoid valve group 120 and a second solenoid valve group 130 formed of a set of a plurality of solenoid valves selectively connected to each other; A lower flow passage 141; 141-1 and 141-2 coupled to a lower portion of the manifold 110 and connected to the upper flow passages 113; 113-1 and 113-2, and the lower flow passages 141; A pair of discharge ports 143; 143-1, 143- connected to the bypass passages 142; 142-1, 142-2 and the lower passages 141; 141-1, 141-2 branched at -2) to discharge air pressure Sensor housings 140 formed in plural along the longitudinal direction such that 2) are respectively opposed to both sides; And between the first solenoid valve group 120 and the second solenoid valve group 130, provided in the manifold 110 and the sensor housing 140, and the bypass passages 142; 142-1 and 142-2. And a pressure sensing and display unit 150 for detecting whether or not the pneumatic pressure is normally operated after sensing the pneumatic pressure flowing through the pressure range.

본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈은, 공압 유로(111-1,111-2)와 이에 연결된 공급 연결유로(111a,111b), 배기 유로(112-1,112-2)와 이에 연결된 배기 연결유로(112a,112b) 및 상기 공급 연결유로(111a,111b) 또는 배기 연결유로(112a,112b)에 선택적으로 연결되는 상부 유로(113;113-1,113-2)가 각각 양측으로 대향되게 길이방향을 따라 다수로 형성된 매니폴드(110); 상기 매니폴드(110)의 상부 양측에 배치되며, 상기 공급 연결유로(111a,111b)와 배기 연결유로(112a,112b) 중 어느 하나의 유로를 상기 상부 연결유로(113;113-1,113-2)에 선택적으로 연결하는 다수의 솔레노이드밸브의 집합으로 이루어진 제1 솔레노이드밸브군(120)과 제2 솔레노이드밸브군(130); 상기 매니폴드(110)의 하부에 결합되며, 상기 상부 유로(113;113-1,113-2)에 각각 연결되는 하부 유로(141;141-1,141-2)와, 상기 하부 유로(141;141-1,141-2)에서 분기되는 바이패스유로(142;142-1,142-2)가 각각 양측으로 대향되게 길이방향을 따라 다수로 형성된 센서하우징(140); 상기 제1 솔레노이드밸브군(120)과 제2 솔레노이드밸브군(130) 사이로 상기 매니폴드(110)와 센서하우징(140)의 내부에 구비되며, 상기 바이패스유로(142;142-1,142-2)를 통해 유입되는 공압을 감지하여 설정된 압력 범위와 비교한 후에 공압의 정상 작동 여부를 표시하는 압력감지 및 표시부(150); 및 상기 센서하우징(140)의 하부에 결합되며, 상기 하부 유로(141;141-1,141-2)에 각각 연결되는 하부 연결유로(161;161-1,161-2)와, 상기 하부 연결유로(161;161-1,161-2)에 공통으로 연결되어 공압이 배출되는 배출포트(164)가 길이방향을 따라 다수로 형성되고, 상기 하부 연결유로(161;161-1,161-2)와 배출포트(164)의 연결부위에 삽입되어 상기 양측의 하부 연결유로(161;161-1,161-2) 중 어느 하나의 유로를 상기 배출포트(164)에 선택적으로 연결하는 선택밸브(170)가 길이방향을 따라 다수로 배치된 선택밸브 고정블록(160)을 포함한다. According to the second embodiment of the present invention, the valve module includes a pneumatic flow path 111-1 and 111-2, a supply connection flow path 111 a and 111 b, an exhaust flow path 112-1 and 112-2, and an exhaust connection flow path connected thereto. 112a and 112b and a plurality of upper flow passages 113; 113-1 and 113-2, which are selectively connected to the supply connection passages 111a and 111b or the exhaust connection passages 112a and 112b, respectively, are opposed to both sides along the longitudinal direction. A manifold 110 formed of; Arranged on both sides of the upper manifold 110, the one of the supply connection passage (111a, 111b) and the exhaust connection passage (112a, 112b) to the upper connection passage (113; 113-1, 113-2) A first solenoid valve group 120 and a second solenoid valve group 130 formed of a set of a plurality of solenoid valves selectively connected to each other; A lower flow passage 141; 141-1 and 141-2 coupled to a lower portion of the manifold 110 and connected to the upper flow passages 113; 113-1 and 113-2, and the lower flow passages 141; A plurality of sensor housings 140 formed in a plurality of bypass passages 142; It is provided inside the manifold 110 and the sensor housing 140 between the first solenoid valve group 120 and the second solenoid valve group 130, the bypass flow path (142; 142-1, 142-2) Pressure detection and display unit 150 for detecting whether the pneumatic pressure flowing through the pressure range after comparing with the set pressure range and normal operation; And a lower connection passage 161; 161-1 and 161-2 coupled to a lower portion of the sensor housing 140 and connected to the lower passages 141; 141-1 and 141-2, respectively; A plurality of discharge ports 164 connected in common to 161-1 and 161-2 to discharge the pneumatic pressure are formed along the longitudinal direction, and the lower connection flow paths 161 and 161-1 and 161-2 and the discharge ports 164 are formed. A plurality of selection valves 170 are inserted along the connection part and selectively connect any one of the lower connection flow paths 161; 161-1 and 161-2 to the discharge port 164 along the longitudinal direction. It includes a selection valve fixing block 160.

본 발명에 따른 밸브 모듈에 의하면, 밸브 모듈을 통해 공압 장치로 공급되는 유체의 압력을 감지하여 공급되는 유체가 설정된 압력 범위를 만족하는지 여부를 외부에서 용이하게 확인할 수 있도록 하는 압력감지 및 표시부를 밸브 모듈에 일체로 형성함으로써 공급 유체의 압력 감소에 의해 초래되는 공정 사고를 방지할 수 있는 장점이 있다.According to the valve module according to the present invention, by detecting the pressure of the fluid supplied to the pneumatic device through the valve module, the pressure sensing and indicator to easily check whether the supplied fluid satisfies the set pressure range from the outside valve Forming integrally with the module has the advantage of preventing process accidents caused by pressure drop in the supply fluid.

또한 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈에 의하면, 한 쌍으로 대향 배치된 하부 유로와 이에 공통으로 연결되는 배출포트의 연결부위에 유로를 선택적으로 단속하는 선택밸브를 구비함으로써 유체의 공급측에 설치되는 한 쌍의 솔레노이드밸브 중 어느 하나가 손상되더라도 정상 작동되는 다른 하나의 솔레노이드밸브를 통하여 유체의 정상적인 공급이 가능하게 되므로 솔레노이드밸브의 파손에 따른 공정의 중단을 방지할 수 있고 손상된 솔레노이드밸브의 교체시에도 유체를 연속적으로 공급함으로써 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the valve module according to the second embodiment of the present invention, the supply side of the fluid by providing a selection valve for selectively intermitting the flow path at the connection portion of the lower flow path disposed in pair and the discharge port commonly connected thereto Even if one of the pair of solenoid valves is damaged, the normal supply of fluid is possible through the other solenoid valve that is normally operated, thus preventing the interruption of the process due to the damage of the solenoid valve and replacing the damaged solenoid valve. Even when the fluid is continuously supplied there is an effect that can improve the productivity.

도 1은 종래 밸브 모듈의 일례를 나타낸 사시도,
도 2와 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈을 서로 다른 방향에서 바라본 사시도,
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈의 정단면도,
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈의 측단면도,
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈의 공압 회로도,
도 7은 본 발명에 따른 압력 감지 및 표시부의 회로 구성도,
도 8은 본 발명에 따른 신호표시부를 확대하여 도시한 평면도,
도 9와 도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈의 작동 상태도,
도 11과 도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈을 서로 다른 방향에서 바라본 사시도,
도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈의 정단면도,
도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈의 측단면도,
도 15는 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈의 공압 회로도,
도 16과 도 17은 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈의 작동 상태도.1 is a perspective view showing an example of a conventional valve module,
2 and 3 are perspective views of the valve module according to the first embodiment of the present invention viewed from different directions;
4 is a front sectional view of the valve module according to the first embodiment of the present invention;
5 is a side sectional view of a valve module according to a first embodiment of the present invention;
6 is a pneumatic circuit diagram of the valve module according to the first embodiment of the present invention;
7 is a circuit diagram of a pressure sensing and display unit according to the present invention;
8 is an enlarged plan view showing a signal display unit according to the present invention;
9 and 10 are operating state diagrams of the valve module according to the first embodiment of the present invention,
11 and 12 are perspective views of the valve module according to the second embodiment of the present invention viewed from different directions;
13 is a front sectional view of a valve module according to a second embodiment of the present invention;
14 is a side sectional view of a valve module according to a second embodiment of the present invention;
15 is a pneumatic circuit diagram of a valve module according to a second embodiment of the present invention;
16 and 17 are operating state diagrams of the valve module according to the second embodiment of the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2와 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈을 서로 다른 방향에서 바라본 사시도, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈의 정단면도, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈의 측단면도, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈의 공압 회로도이다. 2 and 3 are perspective views of the valve module according to the first embodiment of the present invention viewed from different directions, FIG. 4 is a front sectional view of the valve module according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a side cross-sectional view of the valve module according to the first embodiment, and FIG. 6 is a pneumatic circuit diagram of the valve module according to the first embodiment of the present invention.

도 2와 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈(100-1)은, 일측부에 양 측으로 한 쌍의 공급포트(111)와 배기포트(112)가 구비된 매니폴드(110), 매니폴드(100)의 상부에 양측으로 대향되게 설치되어 공기의 유로를 단속하는 제1 솔레노이드밸브군(120)과 제2 솔레노이드밸브군(130), 매니폴드(110)의 하부에 결합되며 배출포트(143;143-1,143-2)가 양측으로 대향되게 설치된 센서하우징(140)과, 제1 솔레노이드밸브군(120)과 제2 솔레노이드밸브군(130) 사이로 매니폴드(110)와 센서하우징(140)의 내부에 설치되어 공압 장치(미도시됨)로 공급되는 공기압을 감지하여 외부에 표시하는 압력감지 및 표시부(150)를 포함하여 구성된다. 매니폴드(110)의 상부 일측에는 제1 솔레노이드밸브군(120)과 제2 솔레노이드밸브군(130)의 작동 제어를 위한 신호가 인가되는 제어포트(114)가 구비되어 있다. 2 and 3, the valve module 100-1 according to the first embodiment of the present invention includes a manifold having a pair of supply ports 111 and an exhaust port 112 on both sides at one side thereof. The first solenoid valve group 120, the second solenoid valve group 130, and the lower part of the manifold 110 are installed on both sides of the fold 110 and the manifold 100 so as to face each other. The manifold 110 between the sensor housing 140 and the first solenoid valve group 120 and the second solenoid valve group 130 are coupled to the discharge port 143; And a pressure sensing and display unit 150 installed inside the sensor housing 140 to sense the air pressure supplied to the pneumatic device (not shown) and to display the outside. The upper one side of the manifold 110 is provided with a control port 114 to which a signal for controlling the operation of the first solenoid valve group 120 and the second solenoid valve group 130 is applied.

상기 제1 솔레노이드밸브군(120)은 다수개의 솔레노이드밸브(SV1-1 내지 SV1-12)의 집합으로 구성되고, 제2 솔레노이드밸브군(130)은 제1 솔레노이드밸브군(120)과 동일한 개수로 대향 배치된 다수개의 솔레노이드밸브(SV2-1 내지 SV2-12)의 집합으로 구성된다. The first solenoid valve group 120 is composed of a set of a plurality of solenoid valves (SV1-1 to SV1-12), the second solenoid valve group 130 is the same number as the first solenoid valve group 120 It consists of a set of opposing solenoid valves SV2-1 to SV2-12.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 매니폴드(110)의 내부에는 양측에 구비된 공급포트(111)로부터 매니폴드(110)의 길이방향을 따라 공급 유로(111-1,111-2)가 각각 연장 형성되고, 상기 공급 유로(111-1,111-2)에는 각각의 해당 솔레노이드밸브에 연결되도록 수직으로 형성된 공급 연결유로(111a,111b)가 매니폴드(110)의 길이방향을 따라 이격되어 다수로 형성되어 있다. 4 to 6, the supply passages 111-1 and 111-2 extend from the supply ports 111 provided at both sides of the manifold 110 in the longitudinal direction of the manifold 110, respectively. The supply flow paths 111-1 and 111-2 are vertically provided with a plurality of supply connection flow paths 111 a and 111 b spaced apart along the longitudinal direction of the manifold 110 so as to be connected to the respective solenoid valves. .

그리고, 매니폴드(110)의 내부에는 양측에 구비된 배기포트(112)로부터 매니폴드(110)의 길이방향을 따라 배기 유로(112-1,112-2)가 각각 연장 형성되고, 상기 배기 유로(112-1,112-2)에는 각각의 해당 솔레노이드밸브에 연결되도록 수직으로 형성된 배기 연결유로(112a,112b)가 매니폴드(110)의 길이방향을 따라 이격되어 다수로 형성되어 있다. 도 6의 미설명부호 S는 배기포트(112)에 구비되어 배기시 발생되는 소음을 흡수하는 소음기를 나타낸다.The exhaust passages 112-1 and 112-2 extend from the exhaust ports 112 provided at both sides of the manifold 110 in the longitudinal direction of the manifold 110, respectively. A plurality of exhaust connection passages 112a and 112b vertically formed to be connected to the respective solenoid valves are spaced apart along the longitudinal direction of the manifold 110 at -1 and 112-2. Reference numeral S of FIG. 6 denotes a silencer provided in the exhaust port 112 to absorb noise generated when exhausting.

또한, 매니폴드(110)의 내부에는 각각의 솔레노이드밸브에서 수직하 방향으로 상부 유로(113;113-1,113-2)가 형성되어 있다. 상기 상부 유로(113;113-1,113-2)는 솔레노이드밸브의 작동에 의해 공급 연결유로(111a,111b) 또는 배기 연결유로(112a,112b)에 선택적으로 연결된다.In addition, upper passages 113; 113-1 and 113-2 are formed in the manifold 110 in the vertical direction in the respective solenoid valves. The upper passages 113; 113-1 and 113-2 are selectively connected to the supply connection passages 111a and 111b or the exhaust connection passages 112a and 112b by the operation of the solenoid valves.

매니폴드(110)의 하부에 결합되는 센서하우징(140)의 내부에는 매니폴드(110)에 형성된 상부 유로(113-1,113-2)에서 각각 수직하 방향으로 연결되어 배출포트(143;143-1,143-2)로 연장되는 하부 유로(141;141-1,141-2)가 형성되어 있다. 그리고, 하부 유로(141-1,141-2)의 유로 상에는 바이패스유로(142;142-1,142-2)가 센서하우징(140)의 내측을 향하여 분기되어 있으며, 바이패스유로(142)의 끝단에는 압력센서소자(151)가 설치되어 있다.Inside the sensor housing 140 coupled to the lower part of the manifold 110, the discharge ports 143; 143-1 and 143 are connected in the vertical direction in the upper flow passages 113-1 and 113-2 formed in the manifold 110, respectively. Lower flow paths 141; 141-1 and 141-2 extending to −2 are formed. In addition, bypass passages 142 and 142-1 and 142-2 branch toward the inside of the sensor housing 140 on the passages of the lower passages 141-1 and 141-2, and a pressure is applied to the ends of the bypass passages 142. The sensor element 151 is provided.

따라서 공압 장치로 공압을 공급하는 경우, 하부 유로(141)를 거쳐 배출포트(143)를 향해 공급되는 공기의 공기압은 바이패스유로(142)를 통하여 압력센서소자(151)에 압력을 작용하게 된다. 압력센서소자(151)는 공기압의 작용에 의해 내부에 분포하는 전하의 이동에 의한 유전 분극현상을 이용한 것으로, 공기압의 응력에 비례하여 발생되는 전계를 감지하여 공기의 압력을 감지하게 된다.Therefore, when supplying air pressure to the pneumatic device, the air pressure of the air supplied toward the discharge port 143 via the lower flow path 141 acts on the pressure sensor element 151 through the bypass flow path 142. . The pressure sensor element 151 uses a dielectric polarization phenomenon caused by the movement of charges distributed therein by the action of air pressure. The pressure sensor element 151 senses the pressure of air by sensing an electric field generated in proportion to the stress of the air pressure.

도 6을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 밸브 모듈(100-1)은, 양측에 한 쌍으로 구비되는 공급 유로(111-1,111-2)를 통해 유입된 공기는 해당 솔레노이드밸브를 거친 후에 각각의 배출포트(143-1,143-2)를 통해 공압 장치로 공급되며, 이러한 공기의 공급과정에서 압력감지 및 표시부(150)에서 공압을 감지하게 된다.Referring to FIG. 6, in the valve module 100-1 according to the present embodiment, air introduced through the supply flow paths 111-1 and 111-2 provided in pairs on both sides passes through the solenoid valves, respectively. It is supplied to the pneumatic device through the discharge ports (143-1, 143-2) of the, and the pressure detection and display unit 150 in the process of supplying such air to detect the pneumatic pressure.

압력감지 및 표시부(150)는, 상기 압력센서소자(151)가 실장된 압력센서 회로기판(152)과, 압력센서 회로기판(152)으로부터 전송된 신호를 교정 및 증폭하여 출력하는 신호 교정 및 증폭부(155)와, 신호 교정 및 증폭부(155)로부터 출력된 신호를 기준으로 공압의 공급 여부를 판단함과 동시에 공압이 설정된 압력 범위 내인지를 판단하여 신호표시부(157)에 제어신호를 전달하는 주회로기판(156)을 포함한다. 여기서, 설정 압력이란, 공압 장치의 구동을 위해 요구되는 공기 압력의 최소한의 허용값을 의미한다.The pressure sensing and display unit 150 is a pressure sensor circuit board 152 on which the pressure sensor element 151 is mounted, and a signal calibration and amplification for correcting, amplifying and outputting a signal transmitted from the pressure sensor circuit board 152. The controller 155 determines whether pneumatic pressure is supplied based on the signal output from the signal calibrating and amplifying unit 155, and determines whether pneumatic pressure is within a set pressure range, and transmits a control signal to the signal display unit 157. The main circuit board 156 is included. Here, the set pressure means the minimum allowable value of the air pressure required for driving the pneumatic device.

또한, 압력센서 회로기판(152)에는 공압의 압력 범위를 설정하기 위한 설정압력 조절용 가변 저항(154a)이 구비된다. 설정 압력 조절용 가변 저항(154a)의 저항값은, 이에 연결되는 설정 압력 조절나사(154)를 회전시켜 그 회전량에 비례하여 조절하게 된다. 설정 압력 조절나사(154)의 회전 조작은 센서하우징(140)의 하부에 형성된 개구부(153)를 통하여 드라이버 등의 공구를 이용하여 수행될 수 있다.In addition, the pressure sensor circuit board 152 is provided with a variable pressure adjusting variable 154a for setting a pressure range of pneumatic pressure. The resistance value of the variable pressure adjusting resistor 154a for adjusting the set pressure is adjusted in proportion to the amount of rotation by rotating the set pressure adjusting screw 154 connected thereto. The rotation operation of the set pressure adjusting screw 154 may be performed using a tool such as a driver through the opening 153 formed in the lower portion of the sensor housing 140.

도 7은 본 발명에 따른 압력 감지 및 표시부의 회로 구성도, 도 8은 본 발명에 따른 신호표시부를 확대하여 도시한 평면도이다.7 is a circuit diagram illustrating a pressure sensing and display unit according to the present invention, and FIG. 8 is an enlarged plan view of the signal display unit according to the present invention.

도 7을 참조하면, 압력센서소자(151)에서는 공기압의 압력 함수(P(t))를 전계 함수(V(t))로 변환하고, 전계 함수로 변환된 신호는 교정회로(155-1)에서 영점 이 조정되고, 증폭회로(155-2)에서 신호값을 증폭하여 출력회로(155-3)를 통해 출력하게 된다. 출력회로(155-3)에서 출력된 신호가 주회로기판(156)으로 입력되면, 주회로기판에서는 공압의 감지 여부 및 감지된 공압이 설정된 압력 범위내인지를 판단하게 된다. Referring to FIG. 7, the pressure sensor element 151 converts the pressure function P (t) of air pressure into an electric field function V (t), and the signal converted into the electric field function is a calibration circuit 155-1. The zero point is adjusted at, and the amplification circuit 155-2 amplifies the signal value and outputs it through the output circuit 155-3. When the signal output from the output circuit 155-3 is input to the main circuit board 156, the main circuit board determines whether pneumatic pressure is detected and whether the sensed pneumatic pressure is within a set pressure range.

주회로기판(156)에는 압력센서소자(151)에서의 공압의 감지 여부에 따라 제1 표시램프(157a)의 점등을 제어하는 제1 구동부(158)와, 감지된 공압값이 설정 압력 이상인 경우에는 제2 표시램프(157b)가 점등되도록 하여 공급되는 공기압이 정상 상태임을 외부에 표시하게 되고, 감지된 공압값이 설정 압력 미만인 경우에는 제3 표시램프(175c)가 점등되도록 하여 공급되는 공기압이 비정상 상태임을 외부에 표시하게 된다.The main circuit board 156 includes a first driver 158 that controls the lighting of the first display lamp 157a according to whether or not the air pressure is sensed by the pressure sensor element 151, and when the sensed pneumatic value is equal to or greater than the set pressure. The second display lamp 157b is turned on to externally indicate that the supplied air pressure is in a normal state, and when the detected pneumatic value is less than the set pressure, the third display lamp 175c is turned on to supply the air pressure. An abnormal state is displayed to the outside.

이 경우 상기 제1 표시램프(157a)와 제2 표시램프(157b) 및 제3 표시램프(175c)는 식별이 용이하도록 서로 다른 색(노란색, 초록색, 빨강색 등)의 빛을 출력하도록 구성됨이 바람직하다.In this case, the first display lamp 157a, the second display lamp 157b, and the third display lamp 175c are configured to output light of different colors (yellow, green, red, etc.) for easy identification. desirable.

이와 같은 구성에 의해, 공압 장치로 공기가 공급되고 있는지 여부 및 공급되는 공기압이 설정된 압력 범위를 만족하는지 여부를 외부에서 용이하게 인식하도록 함으로써, 오작동 상태인 솔레노이드밸브만을 신속하게 교체할 수 있게 되어 공정 사고의 발생을 미연에 방지할 수 있게 된다.This configuration makes it easy to externally recognize whether air is supplied to the pneumatic device and whether the supplied air pressure satisfies the set pressure range, so that only a solenoid valve that is in a malfunction state can be quickly replaced. The occurrence of an accident can be prevented in advance.

도 9와 도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 밸브 모듈의 작동 상태도이다.9 and 10 are operating state diagrams of the valve module according to the first embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 공압 장치의 작동시에 공압 장치로 공기를 공급하는 경우에는 공급포트(111)를 통해 유입된 공기가 공급 유로(111-1,111-2) 및 공급 연결유로(111a,111b)를 통하여 솔레노이드밸브로 유입되고, 솔레노이드밸브를 거쳐 상부 유로(113-1,113-2)와 하부 유로(141-1,141-2)를 통과하여 배출포트(143-1,143-2)를 통해 공압 장치로 공급된다.Referring to FIG. 9, when air is supplied to the pneumatic device during operation of the pneumatic device, air introduced through the supply port 111 is supplied to the supply flow paths 111-1 and 111-2 and the supply connection flow paths 111a and 111b. Through the solenoid valve through the through, through the solenoid valve through the upper passage (113-1, 113-2) and the lower passage (141-1, 141-2) is supplied to the pneumatic device through the discharge port (143-1, 143-2). .

도 10을 참조하면, 공압 장치의 작동 해제시에 공압 장치로부터 공기를 회수하는 경우에는 배출포트(143-1,143-2)를 통해 유입된 공기는 하부 유로(141-1,141-2)와 상부 유로(113-1,113-2)를 거쳐 솔레노이드밸브로 유입되고, 솔레노이드밸브를 거친 공기는 배기 연결유로(112a,112b) 및 배기 유로(112-1,112-2)를 통과하여 배기포트(112)를 통해 외부로 배기된다.Referring to FIG. 10, when the air is recovered from the pneumatic device when the pneumatic device is released, the air introduced through the discharge ports 143-1 and 143-2 is connected to the lower flow paths 141-1 and 141-2 and the upper flow path ( The solenoid valve is introduced through the 113-1 and 113-2, and the air passing through the solenoid valve passes through the exhaust connection passages 112a and 112b and the exhaust passages 112-1 and 112-2 to the outside through the exhaust port 112. Exhausted.

이와 같이 공압 장치로 공기가 공급되는 경우 또는 공기가 회수되는 경우에 하부 유로(141-1,141-2)에서 분기되는 바이패스유로(142-1,142-2)를 통하여 그 끝단에 설치된 압력센서소자(151)에 작용하는 공압을 감지하고, 신호표시부(157)를 통해 외부에 표시함으로써 공압의 정상 상태 여부를 실시간으로 손쉽게 확인할 수 있게 된다.In this way, when the air is supplied to the pneumatic device or when the air is recovered, the pressure sensor element 151 provided at the end thereof through the bypass flow paths 142-1 and 142-2 branched from the lower flow paths 141-1 and 141-2. By detecting the pneumatic pressure acting on, and displayed externally through the signal display unit 157, it is possible to easily check whether the normal state of the pneumatic pressure in real time.

도 11과 도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈을 서로 다른 방향에서 바라본 사시도, 도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈의 정단면도, 도 14는 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈의 측단면도, 도 15는 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈의 공압 회로도이다.11 and 12 are perspective views of the valve module according to the second embodiment of the present invention viewed from different directions, FIG. 13 is a front sectional view of the valve module according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 14 is a first embodiment of the present invention. Side cross-sectional view of a valve module according to a second embodiment, Figure 15 is a pneumatic circuit diagram of a valve module according to a second embodiment of the present invention.

본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈(100-2)은, 전술한 제1 실시예에 따른 밸브 모듈(100-2)의 구성을 모두 포함하면서, 센서하우징(140)의 하부에 선택밸브 고정블록(160)과 그 내부에 선택밸브(170)가 추가로 구비된 것을 특징으로 한다. 이하에서는 전술한 제1 실시예와 중복되는 구성 및 작용에 대한 상세한 설명은 생략하고, 본 실시예에서 새롭게 포함된 구성 및 이에 따른 작용을 위주로 설명하기로 한다.The valve module 100-2 according to the second embodiment of the present invention includes all of the configurations of the valve module 100-2 according to the first embodiment described above, while selecting valves beneath the sensor housing 140. The fixed block 160 and the selection valve 170 therein is further characterized in that it is provided. Hereinafter, a detailed description of the configuration and operation overlapping with the above-described first embodiment will be omitted, and the configuration and the operation according to the configuration newly included in the present embodiment will be described.

전술한 제1 실시예에서는 한 쌍의 공급포트(111)로 유입된 공기가 각각 이에 대응되는 한 쌍의 배출포트(143-1,143-2)를 통해 개별적으로 배출되는 것으로 구성되어 있으나, 본 실시예에 다른 밸브 모듈(100-2)은 한 쌍의 공급포트(111) 및 이에 연결된 공급 유로(111-1,111-2)를 통해 유입되는 공기가 공통된 하나의 배출포트(164)를 통해 공압 장치로 공급되고, 이러한 공기의 유로를 단속하는 선택밸브(170)를 포함하여 구성된 점에 특징이 있다.In the above-described first embodiment, the air introduced into the pair of supply ports 111 is individually discharged through the pair of discharge ports 143-1 and 143-2 corresponding to each other. The other valve module 100-2 is supplied to the pneumatic device through a pair of supply ports 111 and the air flowing through the supply flow paths 111-1 and 111-2 connected thereto through a common discharge port 164. It is characterized in that it comprises a selection valve 170 for regulating such a flow path of air.

이를 위한 구성으로, 센서하우징(140)의 하부에 결합되는 선택밸브 고정블록(160)의 내부에는, 센서하우징(140)에 형성된 하부 유로(141;141-1,141-2)에 각각 연결되는 하부 연결유로(161;161-1,161-2)와, 상기 하부 연결유로(161)에 공통으로 연결되어 공압이 배출되는 배출포트(164)가 선택밸브 고정블록(160)의 길이방향을 따라 다수로 형성되고, 하부 연결유로(161)와 배출포트(164)의 연결부위에는 선택밸브(170)가 삽입되어 양측에 형성된 하부 연결유로(161;161-1,161-2) 중 어느 하나의 유로를 배출포트(164)에 선택적으로 연결하도록 구성되어 있다.In this configuration, inside the selection valve fixing block 160 coupled to the lower portion of the sensor housing 140, the lower connection is connected to the lower flow path (141; 141-1, 141-2) formed in the sensor housing 140, respectively A plurality of discharge ports 164 connected to the flow paths 161; 161-1 and 161-2 and the lower connection flow path 161 to discharge air pressure are formed along the length direction of the selection valve fixing block 160. The selection valve 170 is inserted into the connection portion between the lower connection flow path 161 and the discharge port 164 to discharge one of the flow paths from any one of the lower connection flow paths 161; 161-1 and 161-2 formed at both sides. Is optionally connected).

선택밸브(170)는, 선택밸브 고정블록(160)의 일측면에 형성된 홀더 삽입구(162)에 삽입되어 고정되는 홀더(171)와, 상기 홀더(171)의 내측에서 축 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 스풀(172)로 이루어지고, 스풀(172)의 중간부에는 밸브판(173)이 형성되어 있다. 양측에 형성된 하부 연결유로(161-1,161-2)는 선택밸브 고정블록(160)의 내부에 횡방향으로 형성된 중공부(163)에 연통되고, 중공부(163)의 중간부에는 하방향으로 배출포트(164)가 연통된 구조로 이루어져 있다.The selection valve 170 is a holder 171 inserted into and fixed to a holder insertion hole 162 formed on one side of the selection valve fixing block 160, and reciprocally moves in an axial direction from the inside of the holder 171. It consists of the spool 172 provided, and the valve plate 173 is formed in the intermediate part of the spool 172. As shown in FIG. Lower connection passages 161-1 and 161-2 formed on both sides communicate with the hollow portion 163 formed in the transverse direction inside the selector valve fixing block 160, and discharged downward in the middle portion of the hollow portion 163. The port 164 is configured in communication.

따라서 양측에 형성된 하부 연결유로(161-1,161-2)를 통해 공급되는 공기압간에 차이가 있는 경우에는 중공부(163)와 배출포트(164)의 연결부위에 설치되는 스풀(172)은 공기압이 큰 쪽에서 유입되는 공기압에 의해 반대편 측으로 밀려 이동하게 되어, 하부 연결유로(161-1,161-2) 중 어느 하나의 유로를 통해 유입되는 공기만을 선택적으로 배출포트(164)를 통해 배출하게 된다.Therefore, when there is a difference between the air pressure supplied through the lower connection passages 161-1 and 161-2 formed at both sides, the spool 172 installed at the connection portion between the hollow portion 163 and the discharge port 164 has a large air pressure. It is pushed to the opposite side by the air pressure introduced from the side, and only the air introduced through any one of the lower connection flow paths (161-1, 161-2) is selectively discharged through the discharge port (164).

이러한 구성에 의하면, 양측에 한 쌍으로 대향되게 배치되는 솔레노이드밸브 중 어느 하나의 솔레노이드밸브에 이상이 발생한 경우에는 압력감지 및 표시부(150)를 통해 공기압의 이상 여부를 외부에서 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라, 이상이 발생된 솔레노이드밸브를 거쳐서 공급되는 유로가 선택밸브(170)에 의해 막히게 되더라도 정상 작동되는 솔레노이드밸브를 거쳐 공압 장치에 공기가 연속적으로 공급될 수 있게 되어 공정을 연속적으로 수행할 수 있으며, 이상이 발생된 솔레노이드밸브만의 교체작업을 공정의 중단 없이도 동시에 수행할 수 있는 장점이 있다.According to such a configuration, when an error occurs in any one of the solenoid valves of the solenoid valves arranged in pairs on both sides, it is possible to easily check whether the air pressure is abnormal through the pressure sensing and display unit 150 from the outside. In addition, even if a flow path supplied through the solenoid valve in which an abnormality occurs is blocked by the selector valve 170, air can be continuously supplied to the pneumatic device through the normally operated solenoid valve so that the process can be continuously performed. In addition, there is an advantage that the replacement work of solenoid valve in which an error occurs can be performed simultaneously without interruption of the process.

도 16과 도 17은 본 발명의 제2 실시예에 따른 밸브 모듈의 작동 상태도이다. 도 16은 공압 장치로 공기가 공급되는 경우의 작동 상태를 나타낸 것으로, 제2 솔레노이드밸브군(130)을 구성하는 솔레노이드밸브에 이상이 발생한 경우에는 도 16(a)에 도시된 바와 같이 공급 유로(111-1)와 공급 연결유로(111a)를 통해 정상 작동되는 제1 솔레노이드밸브군(120)을 구성하는 솔레노이드밸브로 유입된 공기는 상부 유로(113-1)와 하부 유로(141-1) 및 하부 연결유로(161-1)를 통해 배출포트(164)로 배출된다. 16 and 17 are operational state diagrams of the valve module according to the second embodiment of the present invention. FIG. 16 illustrates an operating state when air is supplied to the pneumatic device. When an error occurs in the solenoid valves constituting the second solenoid valve group 130, as shown in FIG. 111-1) and the air flowing into the solenoid valve constituting the first solenoid valve group 120 normally operated through the supply connection passage 111a is provided with the upper passage 113-1 and the lower passage 141-1; It is discharged to the discharge port 164 through the lower connection passage (161-1).

이와 반대로, 제1 솔레노이드밸브군(120)을 구성하는 솔레노이드밸브에 이상이 발생한 경우에는 도 16(b)에 도시된 바와 같이 공급 유로(111-2)와 공급 연결유로(111b)를 통해 정상 작동되는 제 2 솔레노이드밸브군(130)을 구성하는 솔레노이드밸브로 유입된 공기는 상부 유로(113-2)와 하부 유로(141-2) 및 하부 연결유로(161-2)를 통해 배출포트(164)로 배출된다.On the contrary, when an error occurs in the solenoid valve constituting the first solenoid valve group 120, as shown in FIG. 16 (b), it operates normally through the supply flow passage 111-2 and the supply connection flow passage 111b. Air introduced into the solenoid valve constituting the second solenoid valve group 130 is discharge port 164 through the upper passage 113-2, the lower passage 141-2 and the lower connection passage 161-2. To be discharged.

도 17은 공압 장치로부터 공기가 회수되는 경우의 작동 상태를 나타낸 것으로, 상기한 도 16(a)의 상태에서 공압이 회수되는 경우에는 도 17(a)에 도시된 바와 같이 배출포트(164)를 통해 회수된 공기는 하부 연결유로(161-1)와 하부 유로(141-1) 및 상부 유로(113-1)를 통과하여 제1 솔레노이드밸브군(120)을 구성하는 솔레노이드밸브로 유입된 후에 배기 연결유로(112a)를 거쳐 배기포트(112-1)를 통해 배기된다.FIG. 17 shows an operating state when air is recovered from the pneumatic device. When pneumatic is recovered in the state of FIG. 16 (a), the discharge port 164 is shown in FIG. 17 (a). The collected air passes through the lower connection passage 161-1, the lower passage 141-1, and the upper passage 113-1, and then flows into the solenoid valve constituting the first solenoid valve group 120. The exhaust gas is exhausted through the exhaust port 112-1 through the connection flow path 112 a.

이와 반대로, 상기한 도 16(b)의 상태에서 공압이 회수되는 경우에는 도 17(b)에 도시된 바와 같이 배출포트(164)를 통해 회수된 공기는 하부 연결유로(161-2)와 하부 유로(141-2) 및 상부 유로(113-2)를 통과하여 제2 솔레노이드밸브군(130)을 구성하는 솔레노이드밸브로 유입된 후에 배기 연결유로(112b)를 거쳐 배기포트(112-2)를 통해 배기된다.On the contrary, when the pneumatic pressure is recovered in the state of FIG. 16 (b), the air recovered through the discharge port 164 as shown in FIG. After passing through the flow path 141-2 and the upper flow path 113-2 to the solenoid valve constituting the second solenoid valve group 130, the exhaust port 112-2 is passed through the exhaust connection flow path 112b. Is exhausted through.

이와 같이 공압 장치로 공기가 공급되는 경우 또는 공기가 회수되는 경우에 하부 유로(141-1,141-2)에서 분기되는 바이패스유로(142-1,142-2)를 통하여 그 끝단에 설치된 압력센서소자(151)에 작용하는 공압을 감지하고, 신호표시부(157)를 통해 외부에 표시함으로써 공압의 정상 상태 여부를 실시간으로 확인할 수 있게 될 뿐만 아니라, 이상이 발생된 솔레노이드밸브를 교체하더라도 반대측에 정상 작동되는 솔레노이드밸브를 통하여 공압 장치에 규정된 압력을 만족하는 공압을 연속적으로 공급할 수 있게 되므로, 공정의 중단을 방지하여 생산성을 높일 수 있게 된다.In this way, when the air is supplied to the pneumatic device or when the air is recovered, the pressure sensor element 151 provided at the end thereof through the bypass flow paths 142-1 and 142-2 branched from the lower flow paths 141-1 and 141-2. By detecting the pneumatic pressure acting on the outside and displaying it externally through the signal display unit 157, it is possible not only to check the normal state of the pneumatic state in real time, but also to operate the solenoid that is normally operated on the opposite side even if the solenoid valve in which the abnormality is generated is replaced. Through the valve, it is possible to continuously supply the pneumatic pressure that satisfies the pressure specified in the pneumatic device, thereby increasing the productivity by preventing the interruption of the process.

이상에서는 공압 장치에 공기를 공급하는 경우를 예로들어 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되는 것은 아니며, 공기 이외에 유체의 유압을 이용하는 장치에 규정된 압력의 유체를 공급하는 경우에도 변형 실시될 수 있음은 물론이다.
In the above, a case of supplying air to the pneumatic device has been described as an example, but the technical idea of the present invention is not limited thereto, and the present invention may be modified even when supplying a fluid having a prescribed pressure to a device using a hydraulic pressure of the fluid other than air. Of course it can.

100-1,100-2 : 밸브 모듈 110 : 매니폴드
111 : 공급포트 111-1,111-2 : 공급 유로
111a,111b : 공급 연결유로 112: 배기포트
112-1,112-2 : 배기 유로 112a,112b : 배기 연결유로
113,113-1,113-2 : 상부 유로 114 : 제어포트
120 : 제1 솔레노이드밸브군 130 : 제2 솔레노이드밸브군
141,141-1,141-2 : 하부 유로 142,142-1,142-2 : 바이패스 유로
143,143-1,143-2 : 배출포트 150 : 압력감지 및 표시부
151 : 압력센서소자 152 : 압력센서 회로기판
153 : 개구부 154 : 설정압력 조절나사
154a : 설정압력 조절용 가변저항 155 : 신호교정 및 증폭부
155-1 : 교정회로 155-2 : 증폭회로
155-3 : 출력회로 156 : 주회로기판
157 : 신호표시부 157a : 제1 표시램프
157b : 제2 표시램프 157c : 제3 표시램프
158 : 제1 구동부 159 : 제2 구동부
160 : 선택밸브 고정블록 161,161-1,161-2 : 하부 연결유로
162 : 홀더 삽입구 163 : 중공부
164 : 배출포트 170 : 선택밸브
171 : 홀더 172 : 스풀
173 : 밸브판100-1,100-2: valve module 110: manifold
111: supply port 111-1, 111-2: supply flow path
111a, 111b: supply connection flow path 112: exhaust port
112-1, 112-2: exhaust passage 112a, 112b: exhaust connection passage
113,113-1,113-2: Upper passage 114: Control port
120: first solenoid valve group 130: second solenoid valve group
141,141-1,141-2: Lower flow path 142,142-1,142-2: Bypass flow path
143,143-1,143-2: Outlet port 150: Pressure sensing and display
151: pressure sensor element 152: pressure sensor circuit board
153: opening 154: set pressure adjusting screw
154a: variable resistor for setting pressure adjustment 155: signal calibration and amplification part
155-1: calibration circuit 155-2: amplification circuit
155-3: Output Circuit 156: Main Circuit Board
157: signal display unit 157a: first display lamp
157b: second display lamp 157c: third display lamp
158: first driver 159: second driver
160: selector valve fixed block 161,161-1,161-2: lower connection passage
162: holder insert 163: hollow part
164 discharge port 170 selection valve
171: holder 172: spool
173: valve plate

Claims

Supply ports 111-1 and 111-2, supply connection passages 111a and 111b connected thereto, exhaust ports 112-1 and 112-2, exhaust connection passages 112a and 112b connected thereto, and supply connection passages 111a and 111b. Or a plurality of upper manifolds 110, 113-1, and 113-2, which are selectively connected to the exhaust connection passages 112a and 112b, respectively, formed along the length direction so as to face each side;
Arranged on both sides of the upper manifold 110, the one of the supply connection passage (111a, 111b) and the exhaust connection passage (112a, 112b) to the upper connection passage (113; 113-1, 113-2) A first solenoid valve group 120 and a second solenoid valve group 130 formed of a set of a plurality of solenoid valves selectively connected to each other;
A lower flow passage 141; 141-1 and 141-2 coupled to a lower portion of the manifold 110 and connected to the upper flow passages 113; 113-1 and 113-2, and the lower flow passages 141; A pair of discharge ports 143; 143-1, 143- connected to the bypass passages 142; 142-1, 142-2 and the lower passages 141; 141-1, 141-2 branched at -2) to discharge air pressure Sensor housings 140 formed in plural along the longitudinal direction such that 2) are respectively opposed to both sides; And
It is provided inside the manifold 110 and the sensor housing 140 between the first solenoid valve group 120 and the second solenoid valve group 130, the bypass flow path (142; 142-1, 142-2) The valve module comprising a pressure sensing and display unit 150 for detecting whether the pneumatic pressure flowing through the pressure range after comparing with the set pressure range to indicate whether the normal operation of the air pressure.

Supply flow paths 111-1 and 111-2, supply connection flow paths 111a and 111b connected thereto, exhaust flow paths 112-1 and 112-2, exhaust connection flow paths 112a and 112b connected thereto, and supply connection flow paths 111a and 111b. Or a plurality of upper manifolds 110, 113-1, and 113-2, which are selectively connected to the exhaust connection passages 112a and 112b, respectively, formed along the length direction so as to face each side;
Arranged on both sides of the upper manifold 110, the one of the supply connection passage (111a, 111b) and the exhaust connection passage (112a, 112b) to the upper connection passage (113; 113-1, 113-2) A first solenoid valve group 120 and a second solenoid valve group 130 formed of a set of a plurality of solenoid valves selectively connected to each other;
A lower flow passage 141; 141-1 and 141-2 coupled to a lower portion of the manifold 110 and connected to the upper flow passages 113; 113-1 and 113-2, and the lower flow passages 141; A plurality of sensor housings 140 formed in a plurality of bypass passages 142;
It is provided inside the manifold 110 and the sensor housing 140 between the first solenoid valve group 120 and the second solenoid valve group 130, the bypass flow path (142; 142-1, 142-2) Pressure detection and display unit 150 for detecting whether the pneumatic pressure flowing through the pressure range after comparing with the set pressure range and normal operation; And
A lower connection passage 161; 161-1 and 161-2 coupled to a lower portion of the sensor housing 140 and connected to the lower passages 141; 141-1 and 141-2, respectively, and the lower connection passage 161; 161. A plurality of discharge ports 164 connected in common to -1, 161-2 to discharge the pneumatic pressure are formed along the length direction, and the lower connection flow paths 161 and 161-1 and 161-2 are connected to the discharge port 164. A plurality of selection valves 170 inserted into a portion to selectively connect any one of the lower connection flow paths 161; 161-1,161-2 to the discharge port 164 along the longitudinal direction Valve module comprising a selection valve fixing block (160).

3. The method of claim 2,
The selection valve 170,
A shaft inside the holder 171 by a holder 171 is inserted into the side of the selection valve fixing block 160 and the pneumatic pressure supplied through the lower connection flow path (161; 161-1,161-2) Valve module, characterized in that consisting of a spool (172) is installed to reciprocate in the direction.

3. The method of claim 2,
The first solenoid valve group 120 and the second solenoid valve group 130 may be disposed at positions where a pair of solenoid valves are opposed to each other, and the pair of solenoid valves may have an upper flow path forming the same supply passage ( 113; 113-1, 113-2) characterized in that connected to the valve module.

3. The method according to claim 1 or 2,
The pressure detection and display unit 160,
A pressure sensor circuit board 152 mounted with a pressure sensor element 151 for detecting an electric field generated in proportion to the air pressure flowing through the bypass passages 142; 142-1 and 142-2;
A signal calibration and amplifying unit 155 for zeroing and amplifying and outputting a signal transmitted from the pressure sensor circuit board 152; And
The control signal is supplied to the signal display unit 157 by determining whether the pneumatic pressure is within the set pressure range, and determining whether the pneumatic pressure is supplied based on the signals output from the signal calibration and amplifying unit 155 and the amplifying unit 155. Valve module comprising a main circuit board 156 for transmitting.

The method of claim 5,
The pressure sensor circuit board 152 is provided with a variable pressure control variable resistor 154a for setting a pressure range of pneumatic pressure, and the resistance value of the variable pressure control variable resistor 154a is a variable pressure control variable resistor ( 154a is connected to the set pressure adjusting screw 154 by rotating the valve module, characterized in that adjusted in proportion to the amount of rotation.

The method of claim 5,
The main circuit board 156 is,
A first driver 158 for controlling the lighting of the first display lamp 157a according to whether the pressure sensor element 151 senses air pressure; And
The second driving unit 159 controls the second display lamp 157b to light up when the sensed air pressure is greater than or equal to the set pressure, and controls the third display lamp 157c to light up when the sensed air pressure is less than the set pressure. Valve module comprising a).

The method of claim 7, wherein
The first display lamp (157a), the second display lamp (157b) and the third display lamp (157c), the valve module, characterized in that composed of light sources of different colors.