KR20060040893A - Mani folder having muliti solenoid valve - Google Patents

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KR20060040893A KR1020040089837A KR20040089837A KR20060040893A KR 20060040893 A KR20060040893 A KR 20060040893A KR 1020040089837 A KR1020040089837 A KR 1020040089837A KR 20040089837 A KR20040089837 A KR 20040089837A KR 20060040893 A KR20060040893 A KR 20060040893A
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이종화
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Abstract

본 발명은 다수의 솔레노이드밸브로 공급되는 에어의 압력을 감지하는 매니폴더에 관한 것이다.The present invention relates to a manifold for sensing the pressure of air supplied to a plurality of solenoid valves.

다수의 솔레노이드밸브로 유입되는 공기의 압력을 감지하는 매니폴더는, 상기 솔레노이드밸브에 각각 연결되어 에어를 유입하기 위한 에어유입관과, 상기 솔레노이드밸브에 각각 연결되어 에어를 유출하기 위한 에어유출관과, 상기 에어유입관을 통해 유입되는 에어의 압력을 감지하는 압력센서를 갖는다.The manifold for sensing the pressure of the air flowing into the plurality of solenoid valves, the air inlet pipe connected to each of the solenoid valves for introducing air, and the air outlet pipe for connecting the solenoid valves to the air respectively; It has a pressure sensor for detecting the pressure of the air flowing through the air inlet pipe.

다수의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴드에서 다수의 솔레노이드밸브로 공급되는 에어량을 감지하여 그 감지된 압력이 규정된 압력범위 이하로 감소될 경우 인터록을 발생하여 설비의 가동을 중지시켜 공정 품질사고를 예방한다.
Detects the amount of air supplied from the manifold with multiple solenoid valves to the multiple solenoid valves, and if the detected pressure falls below the specified pressure range, an interlock is generated to stop the operation of the equipment to prevent process quality accidents. .

솔레노이드밸브, 에어하우스, 매니폴더, 압력센서 Solenoid Valve, Air House, Manifold, Pressure Sensor

Description

다수의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴드{MANI FOLDER HAVING MULITI SOLENOID VALVE} Manifold with multiple solenoid valves {MANI FOLDER HAVING MULITI SOLENOID VALVE}             

도 1은 종래의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더의 구조도1 is a structural diagram of a manifold having a conventional solenoid valve

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 다수의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더의 구성도2 is a block diagram of a manifold having a plurality of solenoid valves according to an embodiment of the present invention

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *         Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 매니폴더 102: 다수의 솔레노이드밸브100: manifold 102: a plurality of solenoid valve

104: 에어유입관 106: 에어유출관104: air inlet pipe 106: air outlet pipe

108: 압력센서 110: 콘트롤러
108: pressure sensor 110: controller

본 발명은 다수의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더에 관한 것으로, 특히 다수의 솔레노이드밸브로 공급되는 에어의 압력을 감지하는 매니폴더에 관한 것이다.The present invention relates to a manifold having a plurality of solenoid valves, and more particularly to a manifold for sensing the pressure of the air supplied to the plurality of solenoid valves.

일반적으로 공압을 사용하는 기계장치는 공기압을 설정하고, 설정된 압력을 지속적으로 유지하기 위해 압력유지장치 또는 유량 제어장치 등을 구비하여 압력을 조절하게 되고, 설정된 압력은 차폐밸브의 단속에 의해 초기에 최종라인 즉, 웨이퍼 척, 액츄에이터, 실린더 등에 가해진다. 압력유지장치 또는 유량제어장치 등은 공압라인에서 최종 라인에 인입하는 차폐밸브 직전까지의 압력만을 고려하여 이상 압력이 발생하였을 때 자동으로 보정되는 것이고, 차폐밸브 자체에서 문제가 발생하였을 경우 즉, 차폐밸브가 개방되지 않았을 때에는 유체가 최종라인을 통과하지 않음에도 불구하고, 공압장치는 계속적으로 작동하며 압력유지장치 또는 유량제어장치 등은 공압라인 내의 압력만을 조절하므로 이상유무를 알아차리지 못한 채 계속적으로 작업공정을 진행하게 된다.In general, a mechanical device using pneumatic pressure is provided with a pressure holding device or a flow control device in order to set the air pressure and maintain the set pressure continuously. The final line, i.e. wafer chuck, actuator, cylinder or the like. The pressure holding device or the flow control device is automatically corrected when an abnormal pressure occurs considering only the pressure from the pneumatic line to just before the shutoff valve entering the final line. When the valve is not open, the pneumatic system continues to operate even though the fluid does not pass through the final line, and the pressure holding device or the flow control device only adjusts the pressure in the pneumatic line, so it is not noticed. Work process will proceed.

도 1은 종래의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더의 구조도이다.1 is a structural diagram of a manifold having a conventional solenoid valve.

매니폴더(10)는 다수의 솔레노이드밸브(12)와, 상기 다수의 솔레노이드밸브(12)에 각각 연결되어 에어를 유입하기 위한 에어유입관(14)과, 상기 다수의 솔레노이드밸브(12)에 각각 연결되어 에어를 유출하기 위한 에어유출관(16)으로 구성 되어 있다.The manifold 10 is connected to the plurality of solenoid valves 12, the plurality of solenoid valves 12, respectively, to the air inlet pipe 14 for introducing air, and to the plurality of solenoid valves 12, respectively. Consists of the air outlet pipe 16 for connecting the air outflow.

외부로부터 에어가 공급되어 에어유입관(14)으로 유입되어 다수의 솔레노이드밸브(12)로 인가된다. 이때 콘트롤러(도시하지 않음)에서는 초순수(D.I), 현상액 제어, 제1 및 제2 로봇 제어를 하기 위해 다수의 솔레노이드밸브(12)를 각각 구동시킨다. 상기 다수의 솔레노이드밸브(12)가 구동되면서 유입된 에어는 에어유출관(16)을 통해 배출된다. Air is supplied from the outside and flows into the air inlet pipe 14 and is applied to the plurality of solenoid valves 12. At this time, the controller (not shown) drives each of the plurality of solenoid valves 12 for ultra pure water (D.I), developer control, and first and second robot control. The air introduced while the plurality of solenoid valves 12 are driven is discharged through the air outlet pipe 16.

상기와 같은 종래의 다수의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더는 외부적인 에 어리크나 메인에어 헌팅등으로 인하여 매니폴더(10)로 유입되는 압력이 규정압력이하로 떨어지는 경우 초순수(D.I), 현상액 제어 및 로봇 제어등이 정상적으로 이루어지지 않게 되어 품질불량 사고가 발생하는 문제가 있었다. 즉, 매니폴더(10)로 유입되는 에어압력이 15Kgf/cm이상도어야 하는 외부적인 문제 예를들어 에어리크나 메인에어 헌팅 등과 같은 현상으로 인하여 매니폴더(10)로 유입되는 에어압력이 3Kgf/cm라고 하면 다수의 솔레노이드밸브(12)로 유입되는 에어량이 줄어들어 초순수(D.I), 현상액 제어 및 로봇 제어등이 정상적으로 이루어지지 않게 되어 품질불량 사고가 발생하는 문제가 있다.
The manifold having a plurality of solenoid valves as described above has ultra pure water (DI), developer control and robot when the pressure flowing into the manifold 10 is lower than the specified pressure due to external air leakage or main air hunting. There was a problem that the poor quality accident occurs because the control is not made normally. That is, the external pressure that the air pressure flowing into the manifold 10 should be 15Kgf / cm or more, for example, due to a phenomenon such as air leak or main air hunting, the air pressure flowing into the manifold 10 is 3Kgf / cm. When the amount of air introduced into the plurality of solenoid valves 12 is reduced, ultrapure water (DI), developer control, and robot control are not normally performed, resulting in a problem of poor quality.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 다수의 솔레노이드밸브로 유입되는 공기의 압력을 감지하는 다수의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더를 제공함에 있다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a manifold having a plurality of solenoid valves for detecting the pressure of the air flowing into the plurality of solenoid valves to solve the above problems.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 적어도 하나 이상의 솔레노이드밸브는 갖는 매니폴더는, 상기 솔레노이드밸브에 각각 연결되어 에어를 유입하기 위한 에어유입관과, 상기 솔레노이드밸브에 각각 연결되어 에어를 유출하기 위한 에어유출관과, 상기 에어유입관을 통해 유입되는 에어의 압력을 감지하는 압력센서를 갖는 것이 바람직하다. Manifold having at least one solenoid valve of the present invention for achieving the above object, the air inlet pipe for respectively connecting the solenoid valve for introducing air, and the air for outflow of air connected to each of the solenoid valve It is preferable to have an outlet pipe and a pressure sensor for detecting the pressure of the air flowing through the air inlet pipe.                     

상기 압력센서로부터 감지한 압력값을 받아 규정된 압력값이하로 감소될 경우 인터록신호를 발생하는 콘트롤러를 갖는 것이 바람직하다.It is preferable to have a controller which generates an interlock signal when the pressure value sensed by the pressure sensor is reduced below a prescribed pressure value.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 다수의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더의 구성도이다. 2 is a configuration diagram of a manifold having a plurality of solenoid valves according to an embodiment of the present invention.

매니폴더(100)는 다수의 솔레노이드밸브(102)와, 상기 다수의 솔레노이드밸브(102)에 각각 연결되어 에어를 유입하기 위한 에어유입관(106)과, 상기 다수의 솔레노이드밸브(102)에 각각 연결되어 에어를 유출하기 위한 에어유출관(108)와, 상기 에어유입관(106)을 통해 유입되능 에어의 압력을 감지하는 압력센서(108)와, 상기 압력센서(108)로부터 감지한 압력값을 받아 규정된 압력값이하로 감소될 경우 인터록신호를 발생하는 콘트롤러(110)로 구성 되어 있다.The manifold 100 is connected to the plurality of solenoid valves 102, the plurality of solenoid valves 102, respectively, to the air inlet pipe 106 for introducing air, and to the plurality of solenoid valves 102, respectively. Is connected to the air outlet pipe 108 for outflow of air, the pressure sensor 108 for detecting the pressure of the air flowing in through the air inlet pipe 106, and the pressure value detected from the pressure sensor 108 The controller 110 is configured to generate an interlock signal when the pressure decreases below a prescribed pressure.

상술한 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예의 동작을 상세히 설명한다.Referring to Figure 2 described above will be described in detail the operation of the preferred embodiment of the present invention.

외부로부터 에어가 공급되어 에어유입관(104)으로 유입되어 다수의 솔레노이드밸브(102)로 인가된다. 이때 콘트롤러(110)에서는 초순수(D.I), 현상액 제어, 제1 및 제2 로봇 제어를 하기 위해 다수의 솔레노이드밸브(102)를 각각 구동시킨다. 상기 다수의 솔레노이드밸브(102)가 구동되면서 유입된 에어는 에어유출관(106)을 통해 배출된다. 이때 압력센서(108)는 에어유입관(104)를 통해 유입되는 에어의 압력을 감지하여 콘트롤러(110)로 보낸다. 그러면 콘트롤러(110)는 압력센서(108)로부터 감지된 압력값을 받아 규정된 압력(예를들어 15~10Kgf/cm) 범위내의 값인지 검사하여 규정된 압력 범위 내를 벗어나는 경우 인터록신호를 발생하여 진행중인 공정설비의 동작을 중지시킨다.
Air is supplied from the outside and flows into the air inlet pipe 104 and is applied to the plurality of solenoid valves 102. In this case, the controller 110 drives the plurality of solenoid valves 102 to perform ultrapure water DI, developer control, and first and second robot control, respectively. The air introduced while the plurality of solenoid valves 102 are driven is discharged through the air outlet pipe 106. At this time, the pressure sensor 108 detects the pressure of the air flowing through the air inlet pipe 104 and sends it to the controller 110. Then, the controller 110 receives the pressure value detected from the pressure sensor 108 and checks whether the value is within a prescribed pressure (for example, 15 to 10 kgf / cm) range and generates an interlock signal when the controller 110 is out of the prescribed pressure range. Stop operation of the process equipment in progress.

상술한 바와 같이 본 발명은 다수의 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴드에서 다수의 솔레노이드밸브로 공급되는 에어량을 감지하여 그 감지된 압력이 규정된 압력범위 이하로 감소될 경우 인터록을 발생하여 설비의 가동을 중지시켜 공정 품질사고를 예방하는 이점이 있다.As described above, the present invention detects the amount of air supplied to the plurality of solenoid valves in the manifold having the plurality of solenoid valves, and stops the operation by generating an interlock when the detected pressure is reduced below the prescribed pressure range. This has the advantage of preventing process quality accidents.

Claims (2)

적어도 하나 이상의 솔레노이드밸브는 갖는 매니폴더에 있어서,In a manifold having at least one solenoid valve, 상기 솔레노이드밸브에 각각 연결되어 에어를 유입하기 위한 에어유입관과, An air inlet pipe connected to each of the solenoid valves for introducing air; 상기 솔레노이드밸브에 각각 연결되어 에어를 유출하기 위한 에어유출관와, An air outlet pipe connected to each of the solenoid valves for outflow of air; 상기 에어유입관을 통해 유입되는 에어의 압력을 감지하는 압력센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더.Manifold having a solenoid valve, characterized in that it comprises a pressure sensor for detecting the pressure of the air flowing through the air inlet pipe. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 압력센서로부터 감지한 압력값을 받아 상기 감지 압력값이 규정된 압력값이하로 감소될 경우 인터록신호를 발생하는 콘트롤러를 더 포함함을 특징으로 하는 솔레노이드밸브를 갖는 매니폴더.And a controller for generating an interlock signal when the sensed pressure value is reduced below a prescribed pressure value in response to the sensed pressure value received from the pressure sensor.
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