KR20130138026A - 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리 - Google Patents

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KR20130138026A
KR20130138026A KR1020120061801A KR20120061801A KR20130138026A KR 20130138026 A KR20130138026 A KR 20130138026A KR 1020120061801 A KR1020120061801 A KR 1020120061801A KR 20120061801 A KR20120061801 A KR 20120061801A KR 20130138026 A KR20130138026 A KR 20130138026A
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Abstract

본 발명은 폴리실리콘의 증착 공정이 진행될 때 제품의 수율을 저하시키는 원인이 되는 다량의 실리콘 분말 등이 침착되는 것을 저지할 수 있도록 구조가 개선된 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리는 전류에 공급에 따라 가열되며 공정가스의 반응에 따른 폴리실리콘이 증착되는 실리콘 코어로드와, 실리콘 코어로드를 외표면을 둘러싸며 실리콘 코어로드를 수용하는 수용홀을 형성하는 자켓유닛과, 자켓유닛의 상부에 배치되어 실리콘 코어로드를 외부로부터 차폐하는 실드부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 자켓유닛의 상부에 자켓유닛 외부로 노출된 실리콘 코어로드의 일 영역을 차폐하기 위한 실드부재를 구비하여 자켓유닛의 상부에서 실리콘 분말이 다량으로 발생되는 것을 저지할 수 있고, 이에 따라 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리{JACKET ASSEMBLY FOR MANUFACTURING POLY-SILICON}
본 발명은 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가스 중 실리콘이 분해, 증착되어 폴리실리콘을 제조하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 및 태양광을 이용한 산업 등과 같은 최첨단 산업 분야의 기초 소재에 대한 수요가 증대되고 있다. 이러한 반도체 및 태양광을 이용한 산업 등과 같은 최첨단 산업 분야의 기초 소재로는 다결정 실리콘이 사용된다. 다결정 실리콘은 폴리실리콘이라는 명칭으로 해당 산업 분야에서 지칭된다.
반도체 및 태양광 산업 등과 같은 최첨단 산업 분야에서 사용되는 폴리실리콘은 쿼츠(quartz: 석영) 또는 모래 등을 탄소와 환원 반응시켜 금속에 상당한 실리콘을 생성한 후, 추가적인 정제 공정을 거쳐 반도체의 웨이퍼 제조용 단결정 원료나 태양전지 기판의 원료로 사용된다.
폴리실리콘의 생산 방식으로는 지멘스(Siemens) 방식, 유동층(Fluidized bed) 방식 및 VLD(Vapor-to-Liquid Deposition) 방식 등으로 구분되어 사용된다.
이러한 폴리실리콘의 생산 방식 중에서 널리 사용되는 지멘스 방식은 염화실란(chlorosilane) 및 모노실란(monsilane) 중 적어도 어느 하나와 수소가 혼합된 공정가스를 열 분해하여 실리콘 코어로드에 순수한 실리콘 만을을 증착시키는 방식으로 다결정 실리콘인 폴리실리콘을 제조한다.
여기서, 다결정 실리콘을 제조하는 지멘스 방법은 실리콘 분말이 증착되는 실리콘 코어로드에 전기를 통전시키고 전기에 통전에 따른 저항 열에 의해 실리콘 코어로드를 자체 발열시킨다. 이때, 실리콘은 상온에서 전기 저항성이 매우 크기 때문에 전기의 통전이 잘 이루어지지 않고, 수백 ℃ 이상으로 가열하게 되면 전기 저항성이 낮아지면서 통전이 잘 이루어지는 특성을 가진다. 그리고, 실리콘 코어로드는 실리콘 코어로드에 열을 보상 또는 실리콘 코어로드에 발생되는 열을 냉각하는 자켓유닛에 의해 둘러싸여 진다.
한편, 종래의 실리콘 코어로드 및 자켓유닛을 포함한 폴리실리콘 증착장치는 "대한민국 공개특허공보 10-2011-0069739"인 "폴리실리콘 반응기의 개선된 화학 기상 증착 시 가스 분배 방법 및 노즐 디자인"에 개시되어 있다. 상술한 선행문헌인 "폴리실리콘 반응기의 개선된 화학 기상 증착 시 가스 분배 방법 및 노즐 디자인"은 도 1에 도시된 바와 같이, 폴리실리콘이 증착되는 로드와 각각의 로드에 대응되어 각각 둘러싸서 냉각하는 복수의 오일 재킷을 포함하는 기술적 특징을 개시하고 있다.
그런데, 종래의 선행문헌에 개시된 로드는 오일 재킷의 외부로 노출되는 부분이 있어 한 쌍의 로드 사이의 복사열에 의해 다량의 실리콘 분말이 발생될 수 있고, 이로 인한 다량의 실리콘 분말이 발생되어 품질의 저하 등 폴리실리콘 제조의 수율을 저하시킬 수 있는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 10-2011-0069739: 폴리실리콘 반응기의 개선된 화학 기상 증착시 가스 분배 방법 및 노즐 디자인
본 발명의 목적은 폴리실리콘의 증착 공정이 진행될 때 제품의 수율을 저하시키는 원인이 되는 다량의 실리콘 분말 등이 침착되는 것을 저지할 수 있도록 구조가 개선된 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리를 제공하는 것이다.
상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라, 전류에 공급에 따라 가열되며 공정가스의 반응에 따른 폴리실리콘이 증착되는 실리콘 코어로드와, 상기 실리콘 코어로드를 외표면을 둘러싸며 상기 실리콘 코어로드를 수용하는 수용홀을 형성하는 자켓유닛과, 상기 자켓유닛의 상부에 배치되어 상기 실리콘 코어로드를 외부로부터 차폐하는 실드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 의해 이루어진다.
여기서, 상기 실리콘 코어로드는 각각 전류가 통전되며, 이격 거리를 두고 상호 평행하게 배치되는 한 쌍의 실리콘 로드와, 한 쌍의 상기 실리콘 로드의 길이방향의 가로방향으로 상호 연결하며, 상기 실드부재에 의해 차폐되는 로드 연결부를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 실드부재는 상기 로드 연결부를 커버하여 상기 로드 연결부를 외부로부터 차단시키는 실드몸체와, 상기 실드몸체의 둘레에 마련되어 상기 자켓유닛에 대해 상기 실드몸체를 지지하는 지지부를 포함할 수 있다.
바람직하게 상기 자켓유닛의 상기 수용홀의 상하부는 개구되어 연통될 수 있다.
또한, 상기 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리는 상기 지지부에 배치되어 상기 수용홀의 하부로 재유입되는 공정가스를 필터링하는 필터부재를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 필터부재는 상기 실드부재와 착탈 가능하게 결합되는 것이 바람직하다.
더욱 바람직하게 상기 실드부재에는 상기 자켓유닛의 상기 수용홀 내의 공정가스를 상기 수용홀 외부로 배출하는 배출부가 형성될 수 있다.
상기 실드부재는 상기 로드 연결부를 커버하는 사각, 타원형 및 원통형 단면 형상 중 어느 하나의 단면 형상을 갖는 것이 바람직하다.
한편, 상기 자켓유닛의 상기 수용홀은 공정가스의 유동방향을 따라 단면적이 증가 또는 감소하는 사다리꼴 단면 형상으로 마련될 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시 예들에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 효과들은 다음과 같다.
첫째, 자켓유닛의 상부에 자켓유닛 외부로 노출된 실리콘 코어로드의 일 영역을 차폐하기 위한 실드부재를 구비하여 자켓유닛의 상부에서 실리콘 분말이 다량으로 발생되는 것을 저지할 수 있고, 이에 따라 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있다.
둘째, 자켓유닛의 상부에 실드부재와 함께 미반응된 공정가스로부터 이물질을 필터링 하는 필터부재를 구비하여 미반응된 공정가스를 제품의 제조에 재사용할 수 있으므로, 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 Ⅱ-Ⅱ 선의 단면도,
도 3은 필터부재가 장착된 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 사시도,
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 예들에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
설명하기에 앞서, 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리를 수용하는 폴리실리콘 증착장치의 세부적인 구성 요소는 일반적인 폴리실리콘 증착장치에 구성 요소를 포함하므로 이하에서 폴리실리콘 증착장치에 대해서는 설명하지 않음을 미리 밝혀둔다.
즉, 본 발명의 목적 및 효과를 명시하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 대해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 사시도, 도 2는 도 1에 도시된 Ⅱ-Ⅱ 선의 단면도, 그리고 도 3은 필터부재가 장착된 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 사시도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리(10)는 실리콘 코어로드(100), 전극부(300), 자켓유닛(500), 실드부재(700) 및 필터부재(900)를 포함한다. 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리(10)는 외부와 차단되도록 미도시된 반응 챔버의 내부에 수용된다.
실리콘 코어로드(100)는 반응 챔버의 내부에 배치된다. 실리콘 코어로드(100)는 전류에 통전에 따라 가열되어 공정가스의 반응에 의해 폴리실리콘을 증착시킨다. 즉, 실리콘 코어로드(100)는 순도가 우수한 폴리실리콘으로 이루어지며, 폴리실리콘의 증착 공정 시 외표면을 따라 실리콘이 증착되면서 폴리실리콘의 성장이 이루어진다. 여기서, 실리콘 코어로드(100)는 후술할 전극부(300)의 제1전극(320) 및 제2전극(340)을 따라 흐르는 전류에 통전되고, 이때 발생하는 저항 열에 의해 자체적으로 발열이 진행된다. 한편, 본 발명의 실리콘 코어로드(100)는 한 쌍의 실리콘 로드(120)와 한 쌍의 실리콘 로드(120)를 연결하는 로드 연결부(140)를 포함한다.
실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드(120)는 일정 이격거리를 두고 상호 평행하게 배치된다. 한 쌍의 실리콘 로드(120)는 설치면에 대해 수직 방향으로 배치된다. 그리고, 로드 연결부(140)는 설치면에 대해 수직 방향으로 배치된 한 쌍의 실리콘 로드(120)를 연결하도록 설치면에 대해 수평 방향으로 배치된다. 한 쌍의 실리콘 로드(120)를 상호 연결하는 로드 연결부(140)는 실리콘 로드(120)와 동일한 재질로 제작된다. 즉, 한 쌍의 실리콘 로드(120)와 로드 연결부(140)는 상호 연결된 일체형으로 제작된다. 이에 따른, 실리콘 코어로드(100)의 형상은 'U'자 형상을 갖는다. 'U'자 형상의 실리콘 코어로드(100)는 한 쌍의 실리콘 로드(120)가 각각 제1전극(320) 및 제2전극(340)에 인접하고 로드 연결부(140)가 상부에 위치하도록 배치된다.
전극부(300)는 설치면과 실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드(120) 하부 사이에 배치되어 실리콘 코어로드(100)에 전류를 공급한다. 전극부(300)는 실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드(120)에 각각 연결되어 전류를 공급하는 제1전극(320) 및 제2전극(340)을 포함한다. 제1전극(320) 및 제2전극(340)은 내열성이 우수한 그라파이트(graphite) 재질로 마련된다. 그리고, 전극부(300)는 반응 챔버의 설치면에 대해 절연 상태를 유지하도록 설치한다.
다음으로 자켓유닛(500)은 반응 챔버의 내부에 배치되어 실리콘 코어로드(100)를 수용한다. 자켓유닛(500)은 자켓몸체(520) 및 수용홀(540)을 포함한다. 자켓몸체(520)는 자켓유닛(500)의 외관을 형성하며 실리콘 코어로드(100)의 외표면을 둘러싼다. 수용홀(540)은 자켓몸체(520)의 내부에 형성되어 실리콘 코어로드(100)를 수용하여 실리콘 코어로드(100)와 공정가스가 반응하는 반응 공간을 형성한다. 그리고, 수용홀(540)은 상하로 연통되어 수용홀(540)의 상부로 배출된 미반응된 공정가스를 하부로 재유입한다. 이렇게, 수용홀(540)이 상하로 연통되어 미반응된 공정가스를 재유입함으로써, 폴리실리콘 제조의 효율적인 증착과 함께 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있다.
자켓유닛(500)은 실리콘 코어로드(100)의 개수에 대응하여 마련되어 실리콘 코어로드(100)를 수용할 수 있고, 또한 자켓유닛(500)은 복수개의 실리콘 코어로드(100)를 전부 수용할 수 있도록 마련된다. 여기서, 자켓유닛(500)은 실리콘 코어로드(100)의 실리콘 로드(120)에 1:1 대응하도록 구획하여 마련되는 것이 바람직하다. 자켓유닛(500)의 내부에는 본 발명에서 도시되지 않은 히팅부가 마련되어, 수용홀(540) 내를 가열할 수 있다.
한편, 자켓유닛(500)의 내부에는 복수개의 수용홀(540) 내로 공정가스를 공급하는 공급유로(미도시)가 형성된다. 그리고, 자켓유닛(500)의 내부에는 수용홀(540) 내벽의 온도 구배를 제어할 수 있도록 냉각수가 공급되는 냉각유로(미도시)가 형성된다. 자켓유닛(500)의 내외부로 냉각수가 공급 및 배출됨으로써, 폴리실리콘의 증착 공정 중 실리콘 코어로드(100)에 증착되지 않은 실리콘 분말이 수용홀(540)의 내벽 또는 상측에 증착되는 것을 최소화 할 수 있다.
본 발명의 실드부재(700)는 자켓유닛(500)의 상부에 노출되는 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부(140)를 커버하여, 외부와 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부(140)를 차폐한다. 실드부재(700)는 수용홀(540)의 단면 형상에 대응하는 단면 형상을 갖는다. 예를 들어, 실드부재(700)의 단면 형상은 수용홀(540)의 단면 형상이 원형, 타원형 또는 사각형과 같은 다각형 단면 형상일 때 이에 대응하여 마련된다. 그리고, 실드부재(700)는 실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드(120)가 수용되는 상호 인접한 2개의 수용홀(540)의 상부에 배치된다. 본 발명의 실드부재(700)는 실드몸체(720), 지지부 및 배출부(760)을 포함한다.
실드몸체(720)는 실드부재(700)의 외관을 형성하며, 자켓유닛(500)의 상부에 배치되어 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부(140)를 차폐한다. 여기서, 실드몸체(720)의 내부에는 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부(140)로부터의 발열에 따른 온도 상승을 하강시키기 위해 실드몸체(720)를 냉각하는 냉각수의 공급유로(미도시) 및 회수유로(미도시)가 형성된다. 그리고, 실드 몸체(720)의 내부에는 실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드(120)를 상호 구획하는 격벽이 형성된다.
지지부(740)는 실드몸체(720)의 둘레에 마련되어 자켓유닛(500)에 대해 실드몸체(720)를 지지한다. 본 발명의 지지부(740)는 지지몸체(742)와 필터지지부(744)를 포함한다. 지지몸체(742)는 지지부(740)의 외관을 형성하며 실드몸체(720)를 자켓유닛(500)에 대해 지지한다. 필터지지부(744)는 본 발명의 일 실시 예로서, 지지몸체(742)의 외곽으로부터 내측으로 함몰 형성된다. 필터지지부(744)는 등 간격을 두고 지지몸체(742)에 복수개로 배치된다. 물론, 필터지지부(744)의 개수는 필터부재(900)의 적용 개수에 따라 설계 변경될 수 있다. 필터지지부(744)는 배출부(760)로부터 배출된 미반응 공정가스를 필터링 하는 필터부재(900)가 결합된다.
배출부(760)는 실드몸체(720)를 관통하여 형성된다. 배출부(760)는 수용홀(540) 내부에서 반응된 공정가스의 배출과 함께 미반응된 공정가스를 수용홀(540)의 외부로 배출한다. 이러한 배출부(760)로 배출된 미반응 공정가스는 수용홀(540)의 하부로 재유입되어 반응될 수 있는 공정가스로 사용된다. 본 발명의 배출부(760)는 도면들에 도시된 바와 같이 실드몸체(720)의 상부에 형성된 것으로 도시되어 있으나, 실드몸체(720)의 측부를 따라 더 형성될 수도 있다. 또한, 배출부(760)의 개수도 설계 변경될 수 있다.
다음으로 필터부재(900)는 실드부재(700)와 착탈 가능하게 결합된다. 상세하게 필터부재(900)는 실드부재(700)의 필터지지부(744)에 착탈 가능하게 결합된다. 필터부재(900)는 배출부(760)로부터 배출되어 수용홀(540)의 하부로 재유입되는 미반응 공정가스를 필터링 한다. 필터부재(900)는 미반응 공정가스에 함유된 이물질을 필터링 하기 위해 메시(mesh) 형상 등으로 제작될 수 있다. 이렇게. 필터부재(900)가 실드부재(700)에 착탈 가능하게 결합되어 미반응 공정가스에 함유된 이물질을 필터링할 수 있으므로, 미반응 공정가스 재활용에 따른 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
마지막으로 도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리(10)의 수용홀(540)은 공정가스의 유동방향을 따라 단면적이 감소하는 사다리꼴 단면 형상을 갖도록 마련된다. 반대로, 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리(10)의 수용홀(540)은 공정가스의 유동방향을 따라 단면적이 증가하는 사다리꼴 단면 형상을 갖도록 마련될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예의 수용홀(540)이 공정가스의 유동방향으로 상부의 단면적이 하부의 단면적 작게 되거나 크게 됨으로써, 수용홀(540) 내부의 공정가스의 유속은 실드부재(700)로 유동될 때 조절될 수 있다. 이렇게, 수용홀(540)의 사다리꼴 단면 형상에 따라 공정가스의 유속이 조절됨으로써, 실리콘 코어로드(100)에 보다 많은 실리콘 분말이 증착될 수 있음과 더불어 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부(140)에 다량의 실리콘 분말이 침착되는 것을 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
이에, 자켓유닛의 상부에 자켓유닛 외부로 노출된 실리콘 코어로드의 일 영역을 차폐하기 위한 실드부재를 구비하여 자켓유닛의 상부에서 실리콘 분말이 다량으로 발생되는 것을 저지할 수 있고, 이에 따라 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 자켓유닛의 상부에 실드부재와 함께 미반응된 공정가스로부터 이물질을 필터링 하는 필터부재를 구비하여 미반응된 공정가스를 제품의 제조에 재사용할 수 있으므로, 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리 100: 실리콘 코어로드
120: 실리콘 로드 140: 로드 연결부
300: 전극부 320: 제1전극
340: 제2전극 500: 자켓유닛
520: 자켓몸체 540: 수용홀
700: 실드부재 720: 실드몸체
740: 지지부 742: 지지몸체
744: 필터지지부 760: 배출부
900: 필터부재

Claims (9)

  1. 전류에 공급에 따라 가열되며, 공정가스의 반응에 따른 폴리실리콘이 증착되는 실리콘 코어로드와;
    상기 실리콘 코어로드를 외표면을 둘러싸며, 상기 실리콘 코어로드를 수용하는 수용홀을 형성하는 자켓유닛과;
    상기 자켓유닛의 상부에 배치되어, 상기 실리콘 코어로드를 외부로부터 차폐하는 실드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 실리콘 코어로드는,
    각각 전류가 통전되며, 이격 거리를 두고 상호 평행하게 배치되는 한 쌍의 실리콘 로드와;
    한 쌍의 상기 실리콘 로드의 길이방향의 가로방향으로 상호 연결하며, 상기 실드부재에 의해 차폐되는 로드 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 실드부재는,
    상기 로드 연결부를 커버하여, 상기 로드 연결부를 외부로부터 차단시키는 실드몸체와;
    상기 실드몸체의 둘레에 마련되어, 상기 자켓유닛에 대해 상기 실드몸체를 지지하는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 자켓유닛의 상기 수용홀의 상하부는 개구되어 연통되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리는,
    상기 지지부에 배치되어, 상기 수용홀의 하부로 재유입되는 공정가스를 필터링하는 필터부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 필터부재는 상기 실드부재와 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 실드부재에는 상기 자켓유닛의 상기 수용홀 내의 공정가스를 상기 수용홀 외부로 배출하는 배출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 실드부재는 상기 로드 연결부를 커버하는 사각, 타원형 및 원통형 단면 형상 중 어느 하나의 단면 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 자켓유닛의 상기 수용홀은 공정가스의 유동방향을 따라 단면적이 증가 또는 감소하는 사다리꼴 단면 형상으로 마련되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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