KR20130131799A - 진공척 구축용 블록 - Google Patents

진공척 구축용 블록 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대상물을 진공·흡착하여 고정함으로써 대상물에 대한 각종 가공작업을 가능하게 해 주도록 한 진공척을 구축하기 위한 진공척 구축용 블록에 관한 것이다.
본 발명은 정반 형태로 이루어진 몸체(1a)의 평면에 하나 또는 하나 이상의 일주형 결합홈(1b)을 마련하고, 상기 결합홈(1b)에 기밀부재(2)의 결합부(2a)를 결합하여 기밀부재(2)의 상단부가 몸체(1a)의 상면으로부터 3mm 내지 7mm 돌출하게 하며, 기밀부재(2)의 내측 영역에 적어도 하나 이상의 흡착부(3)를 설치하여 구성하고; 상기 흡착부(3)는 몸체(1a)를 수직으로 관통하는 흡착공(3a)의 주변을 일주하며 함몰되는 보조 흡착홈(3b)을 형성하고, 보조 흡착홈(3b)과 흡착공(3a)의 상부를 복수의 통로형 유도홈(3c)으로 연결하여 각 유도홈(3c) 사이에 지지영역(3e)이 마련되게끔 구성한 것이다.
본 발명은 평활도가 높지 않은 대상물도 신축성이 우수한 연질 기밀부재 상면에 거치시켜 진공·흡착이 이루어지도록 함으로써 소망하는 수준의 흡착력을 얻을 수 있으며, 평활도가 우수한 소규모의 대상물은 기밀부재 내측 영역에 위치시켜 진공·흡착이 이루어지도록 함으로써 다양한 규격의 대상물에 대한 진공·흡착을 가능하게 할 수 있는 등의 효과가 있다.

Description

진공척 구축용 블록{block for a vacuum chuck}
본 발명은 진공척 구축용 블록에 관한 발명으로서, 더욱 상세하게는 각종 절삭가공기계의 테이블에 설치하여 가공 대상물을 진공·흡착하여 고정시켜 주거나 다양한 모양을 이루는 평판상의 대상물을 진공·흡착하여 고정함으로써 대상물에 대한 각종 가공작업을 가능하게 해 주도록 한 진공척의 구축에 이용되는 블록을 제공하기 위한 것이다.
진공척은 평판의 형태를 취하는 대상물이나 평활한 면을 갖는 육면체의 대상물을 진공·흡착하여 고정시킨 상태에서 가공작업 등에 사용하기 위한 진공척은 여러 종류가 개발되어 사용되고 있는데, 대부분의 진공척은 흡착하고자 하는 대상물의 규격에 맞추어 제작되는 블록에 다수의 흡착수단(패드, 흡착공 등)을 설치하여서 된 것이다.
진공펌프를 이용하여 평평한 판상의 대상물을 진공·흡착해주기 위한 진공척은 평평한 블록의 상면에 복수의 흡착공을 형성하고, 각각의 흡착공에 진공펌프에 의해 작동하는 흡착수단을 설치하여 흡착수단의 작용에 의해 블록 상면에 거치된 대상물에 대한 진공·흡착과 흡착해제가 이루어지도록 한 것인데, 위와 같은 종래 진공척의 블록에 의하면 진공·흡착하고자 하는 대상물의 평활도가 떨어질 경우에는 흡착력이 떨어지기 때문에 작업과정에서 대상물에 큰 하중이 걸릴 경우에는 대상물이 블록으로부터 분리되어 낭패를 볼 수 있으며, 또한, 흡착공에 의한 흡착력이 국부적으로 집중되기 때문에 얇은 대상물의 경우에는 흡착공에서 발생하는 흡착력에 의해 휘어짐과 같은 변형이 생길 수 있다는 등의 문제점이 지적되고 있다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래 진공척에 사용되는 블록에 의한 제반 문제점 일소하기 위해 창출한 것으로서, 평활도가 높지 않은 대상물에 대해서도 우수한 흡착력을 발휘할 수 있도록 함과 아울러 다양한 규격의 대상물에 대한 탄력적인 진공·흡착이 가능하게 하고, 흡착력이 국부적으로 집중되는 현상을 방지되게 함으로써 진공·흡착하고자 하는 대상물의 손상을 미연에 방지할 수 있도록 함에 기술적 과제의 주안점을 두고 완성한 진공척 구축용 블록을 제공하고자 한다.
상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은 정반 형태로 이루어진 몸체의 평면에 하나 또는 하나 이상의 일주형 결합홈을 마련하고, 상기 결합홈에 기밀부재의 결합부를 결합하여 기밀부재의 상단부가 몸체의 상면으로부터 3mm 내지 7mm 돌출하게 하며, 기밀부재의 내측 영역에 적어도 하나 이상의 흡착부를 설치하여 구성하고; 상기 흡착부는 몸체를 수직으로 관통하는 흡착공의 주변을 일주하며 함몰되는 보조 흡착홈을 형성하고, 보조 흡착홈과 흡착공의 상부를 복수의 통로형 유도홈으로 연결하여 각 유도홈 사이에 지지영역이 마련되게끔 구성한 것을 기술적 특징으로 하는 것이다.
본 발명에서 제시하는 진공척 구축용 블록은 흡착부의 주변을 돌출형 연질 기밀부재로 감싸서 구성한 것으로, 평활도가 높지 않은 대상물도 신축성이 우수한 연질 기밀부재 상면에 거치시켜 진공·흡착이 이루어지도록 함으로써 소망하는 수준의 흡착력을 얻을 수 있으며, 평활도가 우수한 소규모의 대상물은 기밀부재 내측 영역에 위치시켜 진공·흡착이 이루어지도록 함으로써 다양한 규격의 대상물에 대한 진공·흡착을 가능하게 할 수 있다.
또한, 본 발명은 흡착공의 주변에 보조 흡착홈을 형성함으로써 흡착공 상부에 대상물을 직접 거치하여 흡착·고정하고자 할 경우에는 흡착영역을 분산(최대화)시켜 흡착력을 떨어트리지 않으면서 대상물의 변형을 최소할 수 있을 뿐만 아니라 보조 흡착홈과 흡착공 사이에 복수의 지지영역이 마련되게 하여 지지영역에 의해 대상체가 지지되므로 흡착력에 의한 대상물의 휘어짐과 같은 변형을 미연에 방지할 수 있는 등 본 발명은 그 기대되는 효과가 실로 유익한 발명이라 할 것이다.
도 1은 본 발명에서 제시하는 진공척 구축용 블록의 바람직한 실시예를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에서 제시하는 진공척 구축용 블록의 구조를 설명하기 위한 일부 파절 확대 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 흡착부를 발췌한 참고 사시도.
도 4 [A],[B],[C]는 본 발명에 따른 보조 흡착홈의 다양한 실시형태를 도시한 참고도.
도 5는 본 발명에서 제시하는 진공척 구축용 블록의 사용상태도.
도 6은 본 발명에 따른 흡착공에 흡착수단을 설치한 상태를 도시한 참고 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 흡착공에 설치되는 흡착수단의 일실시예를 도시한 참고도.
도 8은 흡착수단에 적용되는 진공 조절부재를 발췌한 참고 사시도.
도 9 [A],[B]는 흡착수단에 의한 진공 제어상태를 도시한 참고도.
<발명의 실시형태>
도 1 내지 도 2에 본 발명에서 제시하는 진공척 구축용 블록(1)의 바람직한 실시예가 도시되는데, 도시된 바를 통해 본 발명은 평평한 장방형 육면체의 정반 형태로 이루어진 몸체(1a)의 평면에 하나 또는 하나 이상의 일주형 결합홈(1b)을 마련하고, 상기 결합홈(1b)에 기밀부재(2)의 결합부(2a)를 결합하여 기밀부재(2)의 상단부가 몸체(1a)의 상면으로부터 3mm 내지 7mm 돌출하게 하며, 기밀부재(2)의 내측 영역에 적어도 하나 이상의 흡착부(3)를 설치하여 구성한 것임을 알 수 있다.
한편, 상기 기밀부재(2)는 신축성이 우수한 연질의 합성수지를 사용하여 다소 간의 굴곡이 있는 대상물의 표면에 대해서도 긴밀한 접촉이 가능하게 하며, 기밀부재(2)의 결합부(2a)와 몸체(1a)의 결합홈(1b)은 임의분리를 방지할 수 있는 암수돌기로 이루어지는 다양한 형태의 것이 적용될 수 있고, 경우에 따라서는 몸체(1a)의 소망하는 위치에 접착제를 도포하여 기밀부재(2)를 부착하는 방법을 이용할 수 있고, 기밀부재(2)는 진공척의 사용용도에 따라 다양한 형태로 배치·결합될 수 있다.
도 3에 본 발명에 따른 흡착부(3)를 발췌한 사시도가 도시되는데, 도시된 바와 같이 흡착부(3)는 몸체(1a)를 수직으로 관통하는 흡착공(3a)과 흡착공(3a)의 주변을 일주하며 반원형으로 함몰되는 보조 흡착홈(3b)을 형성하고, 보조 흡착홈(3b)과 흡착공(3a)의 상부를 복수의 통로형 유도홈(3c)으로 연결하여 각 유도홈(3c) 사이에 지지영역(3e)이 마련되게끔 하며, 흡착공(3a)의 하단부에 흡착수단(30)을 설치하기 위한 흡착수단 설치실(3d)을 형성하여 구성한다.
한편, 흡착부(3)의 보조 흡착홈(3b)은 흡착공(3a)의 주변을 일주하면서 감싸는 다양한 형태로 이루어질 수 있는 것으로, 보조 흡착홈(3b)과 흡착공(3a)을 연결하는 유도홈(3c)에 의한 지지영역(3e)이 형성될 수 있는 다양한 형태로 구현될 수 있다.(도 4 참조)
<발명의 작용관계>
이상의 구성으로 된 본 발명은 몸체(1a)에 설치되는 각 흡착공(3a)의 하단부에 마련된 흡착수단 설치실(3d)에 흡착수단(30)을 설치하고, 흡착수단(30)의 연결 호스(P3)를 진공펌프(20)의 공급관(P1)과 연결된 분기관(P2)에 연결하여 진공펌프(20)의 작동에 의해 흡착수단(30)이 대상물을 진공·흡착하도록 사용하는 것으로서,(도 5 참조) 상기 흡착수단(30)은 대상물의 존재 유무에 따라 진공 조절부재(37)가 능동적으로 제어되어 대상물이 존재할 경우에는 진공·흡착동작을 하고 대상물이 없을 경우에는 공기의 흡입을 중단시키도록 작동하게 된다.
이상과 같이 본 발명을 이용해 진공척(10)을 구축하고 대상물을 몸체(1a)에 결합된 기밀부재(2) 상면에 안치한 상태에서 진공펌프(20)를 작동시키면 흡착공(3a)에 설치된 각 흡착수단(30)의 진공실(32)이 진공상태가 되면서 기밀부재(2) 상에 안치된 대상물을 흡착·고정해주게 준다.
즉, 본 발명에 따른 기밀부재(2) 상에 흡착하고자 하는 대상물이 밀착되어 있는 상태에서는 진공펌프(20)에 의한 공기의 흡입이 이루어지더라도 대상물의 저부 표면이 기밀부재(2) 상부에 밀착되어 있으므로 흡착수단(30)의 진공실(32)에 대한 진공상태가 유지되어 대상물에 대한 흡착·고정이 이루어지는 것인데, 이 과정에서 진공실(32) 내부는 공기의 흐름이 존재하지 않는 진공상태이므로 진공 조절부재(37)는 최초의 위치(개폐실(33)의 단턱면(33a)에서 떨어져 있는 상태)를 유지하여 진공실(32) 내의 진공상태를 지속시켜 대상물을 흡착·고정시켜 줄 수 있는 것이다.(도 8 [B] 참조)
그리고, 기밀부재(2)의 내측 영역에 흡착·고정하고자 하는 대상물을 안치시켜 진공펌프(20)를 작동시키게 되면 대상물의 저부 표면에 의해 흡착공(3a) 및 보조 흡착홈(3b)이 폐쇄된 흡착수단(30)의 진공실(32)은 진공상태가 되어 대상물에 대한 흡착·고정이 이루어지며, 대상물의 저면에 의해 흡착공(3a) 및 보조 흡착홈(3b)이 폐쇄돼지 않은 흡착수단(30)은 진공펌프(20)의 작동에 의해 흡입공(35)을 통해 흡입되는 외부 공기의 흐름으로 인해 진공 조절부재(37)가 개폐실(33) 방향으로 흡입되어 진공 조절부재(37)의 개폐부(39)에 마련된 개폐면(39a)이 흡입공(35)과 개폐실(33) 간에 형성된 단턱면(33a)과 긴밀하게 면접촉하면서 개폐면(39a)이 흡입공(35)을 폐쇄시켜 공기의 흐름이 중단된다.(도 8 [A] 참조)
본 발명에서 제시하는 진공척 구축용 블록(1)은 흡착부(3)의 주변을 돌출형 연질 기밀부재(2)로 감싸서 구성한 것으로, 평활도가 높지 않은 대상물도 신축성이 우수한 연질 기밀부재(2) 상면에 거치시켜 진공·흡착이 이루어지도록 함으로써 소망하는 수준의 흡착력을 얻을 수 있으며, 평활도가 우수한 소규모의 대상물은 기밀부재(2) 내측 영역에 위치시켜 흡착부(3)에 의한 직접적인 진공·흡착이 이루어지도록 함으로써 다양한 규격의 대상물에 대한 진공·흡착이 가능한 것이다.
또한, 본 발명은 흡착공(3a)의 주변에 보조 흡착홈(3b)을 형성하고 흡착공(3a)과 보조 흡착홈(3b)을 통로형 유도홈(3c)으로 연결함으로써 흡착부(3) 상부에 대상물을 직접 거치하여 흡착·고정하고자 할 경우에는 흡착공(3a)에 의한 흡착영역을 분산(최대화)시켜 흡착력을 떨어트리지 않으면서 대상물의 변형을 최소할 수 있을 뿐만 아니라 보조 흡착홈(3b)과 흡착공(3a) 사이에 복수의 지지영역(3e)이 마련되게 하여 지지영역(3e)에 의해 대상체가 지지될 수 있도록 함으로써 국부적인 흡착력에 의한 대상물의 휘어짐과 같은 변형을 미연에 방지할 수 있는 것이다.
1 : 진공척 구축용 블록 1a: 몸체
1b: 결합홈 2 : 기밀부재
2a: 결합돌기 3 : 흡착부
3a: 흡착공 3b: 보조 흡착홈
3c: 유도홈 3d: 흡착수단 설치실
3e: 지지영역 10: 진공척
30: 흡착수단

Claims (1)

  1. 평평한 장방형 육면체의 정반 형태로 이루어진 몸체(1a)의 상부면에 하나 또는 하나 이상의 일주형 기밀부재(2)를 결합하여 기밀부재(2)의 상단부가 몸체(1a)의 상면으로부터 3mm 내지 7mm 돌출하게 하고, 기밀부재(2)의 내측 영역에 적어도 하나 이상의 흡착부(3)를 설치하여 구성하며;
    상기 흡착부(3)는 몸체(1a)를 수직으로 관통하는 흡착공(3a)을 마련하여 흡착공(3a)의 주변을 일주하며 함몰되는 보조 흡착홈(3b)을 형성하고, 보조 흡착홈(3b)과 흡착공(3a)의 상부를 복수의 통로형 유도홈(3c)으로 연결하여 각 유도홈(3c) 사이에 지지영역(3e)이 마련되게 하며;
    상기 흡착공(3a)의 하단부에 흡착수단(30)을 설치하기 위한 흡착수단 설치실(3d)을 형성하여 구성한 것을 특징으로 하는 진공척 구축용 블록.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160085091A (ko) * 2015-01-07 2016-07-15 주식회사 이오테크닉스 진공 척테이블
CN114393295A (zh) * 2017-03-16 2022-04-26 株式会社日本制钢所 激光照射装置
CN115101468A (zh) * 2022-07-06 2022-09-23 蓝泽半导体科技(芜湖)有限公司 一种晶圆吸附方法

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