KR20130130896A - Apparatus for attaching substrate and method for manufacturing attached substrate using the same - Google Patents
Apparatus for attaching substrate and method for manufacturing attached substrate using the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR20130130896A KR20130130896A KR1020120054532A KR20120054532A KR20130130896A KR 20130130896 A KR20130130896 A KR 20130130896A KR 1020120054532 A KR1020120054532 A KR 1020120054532A KR 20120054532 A KR20120054532 A KR 20120054532A KR 20130130896 A KR20130130896 A KR 20130130896A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- carrier substrate
- region
- surface plate
- supported
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
Abstract
Description
본 발명은 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 캐리어기판을 합착시키기 위한 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 기판을 절단(Scribing)하는 절단공정, 및 탭(TAB, Taped Automated Bonding) 공정 등이 포함된다.Display devices such as a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode (OLED), a plasma display panel (PDP), and an electrophoretic display (EPD) are manufactured through various processes. Such a manufacturing process includes a cutting process for scribing the substrate, a tap (Taped Automated Bonding) process, and the like.
최근 업계에서는 디스플레이장치에 대한 디자인적인 측면 강조 등을 위해 슬림(Slim)화된 디스플레이장치에 대한 수요가 증가하고 있다. 이에 따라, 최근 업계에서는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 슬림화된 디스플레이장치를 제조하기 위한 방안으로 얇은 두께로 형성된 기판을 이용하는 방법이 제안되었다. 그러나, 이와 같은 방안은 다음과 같은 문제가 있다.In recent years, there is a growing demand for slimmed display devices for design side emphasis on display devices. Accordingly, in recent years, slimmed display devices have been actively developed in the industry. A method of using a substrate formed with a thin thickness as a method for manufacturing a slimmed display device has been proposed. However, such a solution has the following problems.
첫째, 상기와 같은 방안은 기판이 얇은 두께로 형성됨에 따라 기판이 갖는 내구성이 저하된다. 이에 따라, 얇은 두께로 형성된 기판에 대해 절단공정, 탭 공정 등이 이루어지는 과정에서, 기판이 쉽게 손상되는 문제가 있다. 따라서, 상기와 같은 방안은 디스플레이장치에 대한 제조 수율을 저하시키고, 나아가 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.First, in the above-mentioned method, since the substrate is formed in a thin thickness, the durability of the substrate is lowered. Accordingly, there is a problem that the substrate is easily damaged during the cutting process, the tapping process, and the like with respect to the substrate formed to have a small thickness. Therefore, the above-mentioned method has a problem that the manufacturing yield of the display device is lowered and further the manufacturing cost of the display device is increased.
둘째, 상술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 방안으로 강화 글래스 등과 같이 얇은 두께라도 강한 내구성을 갖는 기판을 이용하여 디스플레이장치를 제조하는 방법이 제안되었다. 그러나, 이와 같은 방안은 강화 글래스 등이 상당한 고가이어서 재료비를 상승시키고, 이에 따라 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.Secondly, a method of manufacturing a display device using a substrate having a high durability, such as a tempered glass or the like, as a means for solving the above-mentioned problems has been proposed. However, such a method has a problem that the reinforcing glass or the like is considerably expensive, raising the material cost and thus raising the manufacturing cost for the display device.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고 안출된 것으로, 슬림화된 디스플레이장치를 제조하는 공정이 이루어지는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention has been made to solve the problems described above, and to provide a bonding apparatus for a display device and a method for manufacturing a bonded substrate that can prevent the substrate from being damaged in the process of manufacturing a slim display device. will be.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the above-described problems, the present invention can include the following configuration.
본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치는 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판에 캐리어기판을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛; 상기 챔버유닛 내부에 위치되게 설치되고, 기판을 지지하기 위한 제1정반; 및 상기 챔버유닛 내부에 위치되고, 캐리어기판의 제1영역을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시킨 후에 상기 제1영역을 제외한 나머지 제2영역을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시키기 위한 지지부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, a display apparatus bonding apparatus includes: a chamber unit in which a carrier substrate is bonded to a substrate for manufacturing a display apparatus; A first surface plate installed in the chamber unit and supporting the substrate; And contacting the first area of the carrier substrate with the substrate supported on the first surface after contacting the first area of the carrier substrate with the substrate supported on the first surface. It may include a support for.
본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판을 제1정반에 위치시키는 단계; 상기 제1정반에 지지된 기판에 합착시키기 위한 캐리어기판을 지지부에 위치시키는 단계; 캐리어기판의 제1영역이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉된 후에 캐리어기판에서 상기 제1영역을 제외한 나머지 제2영역이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되도록 캐리어기판을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시키는 단계; 및 상기 제1정반에 지지된 기판과 캐리어기판을 합착시키는 단계를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a bonded substrate, comprising: placing a substrate for manufacturing a display device on a first surface plate; Positioning a carrier substrate on a support for bonding to the substrate supported on the first surface; After the first region of the carrier substrate is in contact with the substrate supported on the first surface plate, the carrier substrate is formed such that the second region other than the first region on the carrier substrate is in contact with the substrate supported on the first surface plate. Contacting the substrate supported on the surface plate; And bonding the substrate supported on the first surface plate and the carrier substrate.
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.
본 발명은 기판에 캐리어기판을 합착시킴으로써 디스플레이장치를 제조하는 공정이 이루어지는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있고, 기판에 캐리어기판을 합착시키는 과정에서 기판이 손상되는 것을 방지함으로써 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.The present invention can prevent the substrate from being damaged in the process of manufacturing the display device by bonding the carrier substrate to the substrate, and the slimmed display device by preventing the substrate from being damaged during the bonding of the carrier substrate to the substrate. To improve the quality of the.
도 1은 기판에 캐리어기판을 합착시키는 작동상태를 나타낸 개략적인 단면도
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치의 개략적인 단면도
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 지지기구의 개략적인 사시도
도 5 및 도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 지지부가 기판에 캐리어기판을 접촉시키는 작동상태를 나타낸 개략적인 단면도
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부를 갖는 디스플레이장치용 합착장치의 개략적인 단면도
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부의 개략적인 단면도
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부가 구역별로 흡입력을 조절하는 실시예를 설명하기 위한 캐리어기판의 개략적인 평면도
도 10 및 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부가 기판에 캐리어기판을 접촉시키는 작동상태를 나타낸 개략적인 단면도
도 12는 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부가 구역별로 흡입력을 조절하는 변형된 실시예를 설명하기 위한 캐리어기판의 개략적인 평면도
도 13은 본 발명의 제3실시예에 따른 지지부를 갖는 디스플레이장치용 합착장치의 개략적인 단면도
도 14 내지 도 16은 본 발명의 제3실시예에 따른 지지부가 기판에 캐리어기판을 접촉시키는 작동상태를 나타낸 개략적인 단면도1 is a schematic cross-sectional view showing an operating state of bonding a carrier substrate to a substrate;
Figure 2 is a schematic cross-sectional view of the bonding apparatus for display apparatus according to the present invention
3 and 4 are schematic perspective views of a support mechanism according to the present invention.
5 and 6 are schematic cross-sectional views showing an operating state in which the support unit contacts the carrier substrate to the substrate according to the first embodiment of the present invention.
7 is a schematic cross-sectional view of a cementation apparatus for a display apparatus having a support according to a second embodiment of the present invention.
8 is a schematic cross-sectional view of a support according to a second embodiment of the present invention;
9 is a schematic plan view of a carrier substrate for explaining an embodiment in which the support unit adjusts suction force for each zone according to a second embodiment of the present invention.
10 and 11 are schematic cross-sectional views showing an operating state in which a support part contacts a carrier substrate to a substrate according to the second embodiment of the present invention.
12 is a schematic plan view of a carrier substrate for explaining a modified embodiment in which the support part adjusts the suction force for each zone according to the second embodiment of the present invention.
13 is a schematic cross-sectional view of a bonding apparatus for a display apparatus having a supporting portion according to a third embodiment of the present invention.
14 to 16 are schematic cross-sectional views showing an operating state in which a support unit contacts a carrier substrate to a substrate according to a third embodiment of the present invention.
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a laminating apparatus for a display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판(100)에 캐리어기판(Carrier Substrate)(200)을 합착시키기 위한 것이다. 상기 기판(100)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치에 사용되는 것이다. 상기 기판(100)은 3D 영상을 표시하는 디스플레이장치에 사용되는 것일 수 있다. 상기 기판(100)은 글래스(Glass)로 제조될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)에 합착됨으로써, 상기 기판(100)의 내구성을 보강한다.1 and 2, the display
이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)이 상기 캐리어기판(200)과 합착된 상태로 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 이루어지도록 함으로써, 상기 기판(100)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 이루어지는 과정에서 상기 기판(100)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 강한 내구성을 갖는 강화 글래스 등을 이용하지 않고도 상기 기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있으므로, 강화 글래스를 이용하는 것과 비교할 때 슬림화된 디스플레이장치에 대한 제조 단가를 낮출 수 있다.Accordingly, the display
상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)의 내구성을 보강할 수 있는 재료로 제조될 수 있다. 예컨대, 상기 캐리어기판(200)은 글래스로 제조될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)과 대략 일치하는 형태로 형성된다. 예컨대, 상기 캐리어기판(200)는 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 디스플레이장치를 제조하는 공정이 이루어지는 과정에서 상기 기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있는 두께로 제조될 수 있다. 예컨대, 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)에 비해 두꺼운 두께로 제조될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있는 두께이면, 상기 기판(100)에 비해 얇은 두께로 제조될 수도 있고, 상기 기판(100)과 대략 일치하는 두께로 제조될 수도 있다. 상기 캐리어기판(200)은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 완료되기 전에 상기 기판(100)으로부터 제거됨으로써, 슬림화된 디스플레이장치가 구현될 수 있도록 한다.The
여기서, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키기 위해 상기 캐리어기판(200)의 전면(全面)을 동시에 상기 기판(100)에 접촉시키면, 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포(Bubble, 미도시)가 발생될 수 있다. 이와 같이 발생된 기포는, 상기 기판(100)에 얼룩을 발생시키거나 상기 기판(100)을 부분적으로 변형시키는 등 상기 기판(100)의 품질을 저하시킨다. 이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 다음과 같은 구성을 포함한다.As shown in FIG. 1, when the entire surface of the
도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어지는 챔버유닛(2), 상기 기판(100)을 지지하기 위한 제1정반(3), 및 상기 캐리어기판(200)을 상기 기판(100)에 접촉시키기 위한 지지부(4)를 포함한다. 상기 지지부(4)는 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210, 도 3에 도시됨)을 상기 기판(100)에 접촉시킨 후에 상기 제1영역(210)을 제외한 나머지 제2영역(220, 도 3에 도시됨)을 상기 기판(100)에 접촉시킨다. 상기 제1영역(210)은 상기 캐리어기판(200)의 일부이다. 즉, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)의 일부를 상기 기판(100)에 먼저 접촉시킨 후에 나머지 부분을 상기 기판(100)에 접촉시킨다.2 and 3, the display
이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1영역(210)이 상기 기판(100)에 접촉된 후에, 상기 제2영역(220)이 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 점진적으로(gradually) 접촉된다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 더 향상시킬 수 있다.Accordingly, after the
이하에서는 상기 챔버유닛(2), 상기 제1정반(3) 및 상기 지지부(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the
도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 챔버유닛(2)은 상기 제1정반(3)을 지지한다. 상기 챔버유닛(2) 내부에서는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어진다. 상기 챔버유닛(2)은 전체적으로 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어질 수 있는 작업공간을 제공할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.2 and 3, the
상기 챔버유닛(2)은 제1챔버(21) 및 제2챔버(22)를 포함할 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)는 서로 접하거나 이격되게 이동될 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)가 이격되면, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2)으로부터 외부로 반출될 수 있다. 상기 제1챔버(21)와 상기 제2챔버(22)가 접하면, 상기 챔버유닛(2)에서는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정이 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 챔버유닛(2)은 개폐기구를 포함할 수도 있다. 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 상기 개폐기구를 통해 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2)으로부터 외부로 반출될 수 있다. 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 별도의 이송장치(미도시)에 의해 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입되거나 상기 챔버유닛(2) 외부로 반출될 수 있다.The
도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 제1정반(3)은 상기 기판(100)을 지지한다. 상기 제1정반(3)은 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 제1정반(3)은 상기 지지부(4)의 아래에 위치되게 상기 챔버유닛(2)에 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(100)은 상기 캐리어기판(200)의 아래에 위치되게 상기 제1정반(3)에 지지될 수 있다.2 and 3, the
상기 기판(100)은 흡입력에 의해 상기 제1정반(3)에 부착될 수 있다. 이를 위해, 상기 제1정반(3)은 흡입장치(미도시)로부터 제공된 흡입력을 상기 기판(100)에 전달하기 위한 진공홀(31, 도 2에 도시됨)을 포함할 수 있다. 상기 흡입장치는 상기 진공홀(31)을 통해 유체를 흡입함으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)을 상기 제1정반(3)에 부착시킬 수 있다. 상기 진공홀(31)은 흡입력이 상기 기판(100) 중에서 더미영역(Dummy Area)(110, 도 2에 도시됨)에 전달되도록 형성될 수 있다. 상기 더미영역(110)은 상기 기판(100)이 디스플레이장치로 제조되었을 때 영상이 표시되지 않는 영역에 해당한다. 상기 더미영역(110)은 상기 기판(100)이 디스플레이장치로 제조되는 과정에서 절단공정에 의해 제거되는 영역에 해당할 수도 있다. 상기 더미영역(110)은 상기 기판(100)의 가장자리 부분일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)이 상기 흡입장치로부터 제공된 흡입력에 의해 손상이 발생하더라도, 손상된 부분을 상기 더미영역(110) 내로 제한시킴으로써 디스플레이장치에 대한 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다. The
상기 기판(100)이 상기 제1정반(3)에 부착되고 상기 캐리어기판(200)이 상기 지지부(4)에 지지된 상태에서, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하는 공정이 이루어질 수 있다. 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하는 공정은, 상기 제1정반(3) 또는 상기 지지부(4) 중에서 적어도 하나가 이동됨으로써 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하기 위해 상기 제1정반(3)과 상기 지지부(4) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이동수단을 포함할 수 있다. 상기 이동수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용하여 상기 제1정반(3)과 상기 지지부(4) 중에서 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. While the
도시되지 않았지만, 상기 제1정반(3)은 정전척(ESC, Electrostatic Chuck)일 수도 있다. 이 경우, 상기 기판(100)은 정전력에 의해 상기 제1정반(3)에 부착될 수 있다. 상기 제1정반(3)은 상기 기판(100)을 상기 제1정반(3)에 부착시키기 위한 적어도 하나의 전극(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 전극은 상기 기판(100)의 더미영역(110)에 위치되게 상기 제1정반(3)에 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)이 전극에 의해 손상이 발생하더라도, 손상된 부분을 상기 더미영역(110) 내로 제한시킴으로써 디스플레이장치에 대한 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.Although not shown, the
도시되지 않았지만, 상기 제1정반(3)은 적어도 하나의 점착고무(미도시)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 기판(100)은 점착고무가 갖는 점착성에 의해 상기 제1정반(3)에 부착될 수 있다. 상기 점착고무는 상기 기판(100)의 더미영역(110)에 위치되게 상기 제1정반(3)에 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)이 점착고무에 의해 손상이 발생하더라도, 손상된 부분을 상기 더미영역(110) 내로 제한시킴으로써 디스플레이장치에 대한 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.Although not shown, the
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 지지부(4)는 상기 캐리어기판(200)을 지지한다. 상기 지지부(4)는 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 지지부(4)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)의 위에 위치되게 상기 캐리어기판(200)을 지지할 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 챔버유닛(2) 또는 상기 제1정반(3)에 설치될 수 있다.2 to 4, the
상기 지지부(4)는 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210, 도 3에 도시됨)을 상기 기판(100)에 접촉시킨 후에 상기 제2영역(220, 도 3에 도시됨)을 상기 기판(100)에 접촉시킨다. 이에 따라, 상기 지지부(4)는 상기 캐리어기판(200)의 일부를 상기 기판(100)에 먼저 접촉시킨 후에, 상기 캐리어기판(200)의 나머지 일부가 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 점진적으로 접촉되도록 상기 캐리어기판(200)의 나머지 일부를 상기 기판(100)에 접촉시킨다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.The
상기 제1영역(210)은 상기 캐리어기판(200)의 일부로, 상기 제2영역(220)에 비해 상기 기판(100)에 먼저 접촉될 수 있는 부분이면 상기 캐리어기판(200)의 가운데 부분, 테두리 부분 등에 형성될 수 있다. 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1영역(210)은 상기 캐리어기판(200)의 가운데 부분이고, 상기 제2영역(220)은 상기 캐리어기판(200)의 테두리 부분일 수 있다. 즉, 상기 제2영역(220)은 상기 제1영역(210)을 둘러싸는 형태로 형성될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1영역(210)은 상기 캐리어기판(200)의 장변(長邊) 또는 단변(袒邊) 중에서 어느 한 방향을 기준으로 에지(Edge) 부분이고, 상기 제2영역(220)은 상기 제1영역(210)의 옆에 위치된 부분일 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2영역(220)이 상기 캐리어기판(200)의 장변(長邊) 또는 단변(袒邊) 중에서 어느 한 방향을 기준으로 가운데 부분이고, 상기 제1영역(210)이 상기 제2영역(220)을 기준으로 바깥 쪽에 위치된 부분일 수도 있다. 도 3과 도 4에는 상기 제1영역(210)이 사각 형태인 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1영역(210)은 상기 제2영역(220)에 비해 상기 기판(100)에 먼저 접촉될 수 있는 형태이면 원 형태, 타원 형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.The
여기서, 상기 지지부(4)는 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)을 상기 기판(100)에 접촉시킨 후에 상기 제2영역(220)을 상기 기판(100)에 접촉시키기 위해 여러 가지 실시예로 구현될 수 있다. 이하에서는 상기 지지부(4)에 대한 실시예에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.In this case, the
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 지지부(4)는 상기 캐리어기판(200)을 지지하기 위한 지지기구(41)를 포함한다.2 to 4, the
상기 지지기구(41)는 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 지지기구(41)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)의 위에 위치되게 상기 캐리어기판(200)을 지지할 수 있다. 상기 지지기구(41)는 상기 제1정반(3)에 설치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 지지기구(41)는 상기 챔버유닛(2)에 설치될 수도 있다. 상기 지지기구(41)가 상기 제1정반(3)에 설치되는 경우, 상기 지지기구(41)는 일단이 상기 제1정반(3)에 결합되고, 타단이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 보다 높은 위치에 위치되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지기구(41)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)의 위에 위치되게 상기 캐리어기판(200)을 지지할 수 있다.The
상기 지지기구(41)는 상기 제1영역(210)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 돌출시키기 위한 통과공(411, 도 3에 도시됨)을 포함한다. 상기 통과공(411)은 상기 지지기구(41)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 통과공(411)은 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)에 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 따라서, 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)은 자중(自重)에 의해 처짐으로써, 상기 통과공(411)을 통해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 돌출될 수 있다. 이 경우, 상기 제2영역(220)의 일부 또는 전부는 상기 지지기구(41)에 지지된 상태이다. 상기 제1영역(210)이 상기 통과공(411)을 통해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 돌출됨에 따라, 상기 제1영역(210)은 상기 지지기구(41)에 지지된 상태에서 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 더 가깝게 위치된다. 따라서, 상기 지지기구(41)는 상기 제1영역(210)이 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 먼저 접촉되도록 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.The
첫째, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 지지기구(41)를 이용하여 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)을 상기 기판(100)에 먼저 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1영역(210)이 상기 기판(100)에 먼저 접촉된 후에, 상기 제2영역(220)이 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 점진적으로 접촉될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.First, the display
둘째, 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)을 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 가깝게 위치시키는 방안으로, 상기 제1영역(210)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 누르는 구조물을 이용하는 방안이 있다. 상기 구조물은 핀(Pin), 다이어프램(Diaphragm) 등일 수 있다. 그러나, 이와 같은 방안은 상기 구조물이 상기 제1영역(210)과 상기 제1영역(210)에 접촉된 기판(100)도 함께 누르게 됨으로써, 상기 기판(100)에 부분적으로 얼룩을 발생시키거나 변형을 발생시키는 문제가 있다. 또한, 상기 제1영역(210)에 기체를 분사함으로써 상기 제1영역(210)을 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 가깝게 위치시키는 방안이 있으나, 이러한 방안 또한 분사력이 상기 제1영역(210)과 상기 제1영역(210)에 접촉된 기판(100)에도 영향을 미치게 됨으로써, 상기 기판(100)에 부분적으로 얼룩을 발생시키거나 변형을 발생시키는 문제가 있다.Second, the
본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)의 자중을 이용하여 상기 제1영역(210)이 상기 통과공(411)을 통해 처지도록 함으로써, 상기 제1영역(210)이 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 먼저 접촉되도록 할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상술한 핀, 다이어프램 등과 같은 구조물과 분사력 등을 이용하지 않고도, 상기 제1영역(210)이 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 먼저 접촉되도록 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 접촉시키는 과정에서 상기 기판(100)에 얼룩이 발생되거나 변형이 발생되는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 더 향상시킬 수 있다.In the display
셋째, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 지지기구(41)를 이용함으로써, 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정에 하나의 정반(Surface Plate)만을 필요로 한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 2개의 정반을 이용하는 것과 비교할 때, 정반의 개수를 줄임으로써 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정에 드는 공정비용을 줄일 수 있다.Third, the display
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지지기구(41)는 사각 판형으로 형성된 통과공(411)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 지지기구(41)는 전체적으로 사각 고리 형태로 형성될 수 있다. 상기 통과공(411)은 상기 제1영역(210)에 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제1영역(210)이 상기 캐리어기판(200)의 가운데 부분인 경우, 상기 통과공(411)은 상기 지지기구(41)의 가운데 부분을 관통하여 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 지지기구(41)는 상기 제2영역(220)의 전부 또는 일부를 지지할 수 있다. 도 3에는 상기 통과공(411)이 사각 판형으로 형성되는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 통과공(411)은 제1영역(210)을 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽에 가깝게 위치시킬 수 있는 형태이면 원 형태, 타원 형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.As shown in FIG. 3, the
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 지지기구(41)는 제1지지부재(41a) 및 제2지지부재(41b)를 포함할 수도 있다. 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)는 서로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 통과공(411)은 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)가 서로 이격되게 설치됨에 따라 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b) 사이에 형성될 수 있다. 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)는 상기 캐리어기판(200)의 장변(長邊) 또는 단변(袒邊) 중에서 어느 한 방향을 따라 이격되게 설치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)는 상기 캐리어기판(200)의 대각선 방향으로 서로 이격되게 설치될 수도 있다.As shown in FIG. 4, the
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 지지기구(41)는 상기 통과공(411)을 쪽을 향할수록 두께가 줄어들게 형성된 경사부재(412)를 포함할 수 있다.2 to 4, the
상기 경사부재(412)는 상기 캐리어기판(200)에 접촉된다. 상기 경사부재(412)는 상기 캐리어기판(200)에 접촉되는 면(面)이 상기 통과공(411)을 쪽을 향할수록 상기 제1정반(3) 쪽에 가까워지도록 경사지게 형성될 수 있다. 따라서, 상기 캐리어기판(200)은 자중에 의해 휘어지면서 상기 경사부재(412)에 접촉된다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)은 상기 통과공(411)을 통해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 돌출될 수 있다. 상기 경사부재(412)는 상기 캐리어기판(200)이 자중에 의해 휘어지도록 함으로써, 상기 제1영역(210)이 상기 통과공(411)을 통해 돌출되는 과정에서 캐리어기판(200)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.The
도 5 및 도 6을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 지지부(4)는 상기 지지기구(41)를 승강(昇降)시키기 위한 승강기구(42), 및 상기 지지기구(41)를 이동시키기 위한 이동기구(43)를 포함할 수 있다. 도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합장장치(1)를 도 3의 I-I 선을 기준으로 개략적으로 나타낸 단면도이다.5 and 6, the
상기 승강기구(42)는 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 상기 통과공(411)을 통해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 돌출된 상태에서 상기 지지기구(41)를 하강시킨다. 이에 따라, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1영역(210)이 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 먼저 접촉된다. 상기 승강기구(42)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 지지기구(41)에 지지된 상태에서 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하는 공정이 이루어진 후에, 상기 지지기구(41)를 하강시킬 수 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 제1정반(3)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 승강기구(42)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터 등을 이용하여 상기 지지기구(41)를 승강시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 승강기구(42)는 상기 챔버유닛(2)에 결합될 수도 있다. 본 발명의 제1실시예에 따른 지지부(4)는 상기 승강기구(42)를 복수개 포함할 수도 있다.The
도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 이동기구(43)는 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉되면, 상기 지지기구(41)가 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이로부터 이격되도록 상기 지지기구(41)를 이동시킨다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제2영역(220)이 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 접촉될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.5 and 6, when the
상기 이동기구(43)는 상기 제1정반(3)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 이동기구(43)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터 등을 이용하여 상기 지지기구(41)를 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 이동기구(43)는 상기 챔버유닛(2)에 결합될 수도 있다. 본 발명의 제1실시예에 따른 지지부(4)는 상기 이동기구(43)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 이동기구(43)에 결합됨으로써, 상기 제1정반(3) 또는 상기 챔버유닛(2)에 설치될 수도 있다.The moving
상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이로부터 상기 지지기구(41)가 이격되는데 걸리는 시간을 줄이기 위해, 상기 지지기구(41)는 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 이동기구(43)는 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킴으로써, 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)를 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이로부터 이격시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이동기구(43)는 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)를 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이로부터 이격시키기 위해 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b) 각각을 이동시키는 거리 및 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제2영역(220)을 상기 기판(100)에 접촉시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 합착시키는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 상기 지지부(4)는 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)를 서로 가까워지는 방향 및 서로 멀어지는 방향으로 이동시키기 위해 상기 이동기구(43)를 복수개 포함할 수도 있다.In order to reduce the time taken for the
상기 지지기구(41)가 상기 경사부재(412)를 포함하는 경우, 상기 경사부재(412)는 상기 이동기구(43)가 상기 제1지지부재(41a)와 상기 제2지지부재(41b)를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킴에 따라 상기 캐리어기판(200)의 제2영역(220)을 상기 기판(100)에 점진적으로 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 점진적으로 접촉될 수 있다. 또한, 상기 경사부재(412)는 상기 제2영역(220)이 상기 기판(100)에 점진적으로 접촉되도록 함으로써, 상기 제2영역(220)이 상기 기판(100)에 접촉되는 과정에서 발생하는 충격 등에 의해 상기 기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 더 향상시킬 수 있다.When the
상기 지지기구(41)는 상기 이동기구(43)에 의해 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이로부터 이격되게 이동되는 과정에서, 마찰에 의해 상기 캐리어기판(200)이 손상되는 것을 방지할 수 있는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 지지기구(41)는 테프론(Teflon), 세라믹(Ceramic), 폴리에텔에텔 케톤(Polyetherether Ketone, PEEK) 중에서 적어도 하나를 이용하여 형성될 수 있다.The
도 2, 도 5 및 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 조절하기 위한 압력조절부(5, 도 2에 도시됨)를 포함할 수 있다.2, 5 and 6, the display
상기 압력조절부(5)는 상기 챔버유닛(2)에 설치된다. 상기 압력조절부(5)는 상기 챔버유닛(2) 내부에 존재하는 기체 등을 흡입함으로써, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 상기 압력조절부(5)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 이 경우, 상기 압력조절부(5)는 진공펌프(미도시)를 포함할 수 있다. 상기 챔버유닛(2)은 배기구(23, 도 2에 도시됨)를 포함할 수 있다. 상기 압력조절부(5)는 상기 배기구(23)에 연결됨으로써, 상기 배기구(23)를 통해 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 상기 압력조절부(5)는 상기 챔버유닛(2)의 외부에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 압력조절부(5)는 상기 챔버유닛(2) 내부에 기체 등을 분사함으로써, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 높일 수도 있다. 상기 압력조절부(5)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 대기압 상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 높일 수 있다. 이 경우, 상기 압력조절부(5)는 기체분사유닛(미도시)을 포함할 수 있다.The
상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 전면(全面)이 접촉되면, 상기 챔버유닛(2) 내부가 진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 따라서, 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 배출시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 분자 결합에 의해 합착될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 합착력을 증대시키기 위해 실런트(Sealant) 등이 도포된 후에 합착될 수도 있다.When the front surface of the
상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 서로 접촉되기 전에, 일차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부가 제1진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 서로 접촉되는 과정에서 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하게 되는 기체 등의 양을 줄일 수 있다. 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 접촉된 후에, 일차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부가 상기 제1진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수도 있다. 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 전면(全面)이 접촉되면, 상기 압력조절부(5)는 이차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부가 제2진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 더 낮출 수 있다. 상기 제2진공상태는 상기 제1진공상태에 비해 더 고진공상태이다. 따라서, 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 남아있는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 완전히 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킬 수 있다.The
도 7 내지 도 9를 참고하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부(4)는 상기 캐리어기판(200)이 부착되기 위한 제2정반(44), 및 상기 캐리어기판(200)이 상기 제2정반(44)에 부착되도록 흡입력을 제공하는 흡입기구(45)를 포함한다.7 to 9, the
상기 제2정반(44)은 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 제2정반(44)은 상기 제1정반(3)의 위에 위치되게 상기 챔버유닛(2)에 설치될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 제2정반(44)에 부착됨으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 위에 위치될 수 있다.The
상기 제2정반(44)은 상기 흡입기구(45)로부터 제공된 흡입력을 상기 캐리어기판(200)에 전달하기 위한 흡기공(441, 도 8에 도시됨)을 복수개 포함한다. 상기 흡기공(441)들은 서로 이격되게 상기 제2정반(44)에 형성된다. 상기 흡기공(441)은 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210, 도 9에 도시됨)에 대응되는 위치에 복수개가 형성될 수 있다. 상기 흡기공(441)은 상기 캐리어기판(200)의 제2영역(220, 도 9에 도시됨)에 대응되는 위치에도 복수개가 형성될 수 있다.The
도 7 내지 도 11을 참고하면, 상기 흡입기구(45)는 상기 흡기공(441, 도 8에 도시됨)들에 연결되도록 상기 챔버유닛(2)에 결합된다. 상기 흡입기구(45)는 상기 챔버유닛(2)의 외부에 위치되게 상기 챔버유닛(2)에 결합될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 흡입기구(45)는 상기 흡기공(441)들에 연결되도록 상기 제2정반(44)에 결합될 수도 있다. 상기 흡입기구(45)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 제2정반(44)에 부착되도록 흡입력을 제공한다.7 to 11, the
상기 흡입기구(45)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력이 상기 제1영역(210, 도 9에 도시됨)에서 상기 제2영역(220, 도 9에 도시됨)을 향할수록 고진공이 되도록 흡입력을 조절한다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력(P1, 도 8에 도시됨)은 상기 캐리어기판(200)의 제2영역(220)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력(P2, P2', P3, P3', P4, P4')(도 8에 도시됨)보다 큰 크기의 압력으로 되도록 조절된다. 그리고, 상기 캐리어기판(200)의 제2영역(220)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력(P2, P2', P3, P3', P4, P4')은 상기 제1영역(210)에서 상기 제2영역(220)을 향할수록 작은 크기의 압력으로 되도록 조절된다. 즉, 상기 흡입기구(45)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력 크기가 P1 > (P2 = P2') > (P3 = P3') > (P4 = P4')로 되도록 조절한다. 이를 진공의 크기로 변환하여 나타내면, P1 < (P2 = P2') < (P3 = P3') < (P4 = P4')로 나타낼 수 있다.The
이 상태에서, 상기 압력조절부(5, 도 7에 도시됨)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 점차적으로 낮추면, 상기 캐리어기판(200)은 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제1영역(210)이 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제2정반(44)으로부터 먼저 이격되게 된다. 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 점차적으로 낮아짐에 따라, 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력이 큰 부분부터 상기 제2정반(44)으로부터 이격되기 때문이다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 상기 제1영역(210)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력보다 낮아지는 시점에, 상기 제1영역(210)이 상기 제2정반(44)으로부터 먼저 이격됨으로써 상기 기판(100)에 먼저 접촉되게 된다. 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하는 공정이 이루어진 후에, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 점차적으로 낮출 수 있다.In this state, when the pressure regulating part 5 (shown in FIG. 7) gradually lowers the pressure in the
그리고, 상기 압력조절부(5)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 점차적으로 더 낮추면, 상기 캐리어기판(200)은 도 11에 도시된 바와 같이 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 상기 제2영역(220)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력보다 낮아지는 시점에, 상기 제2영역(220)이 상기 제2정반(44)으로부터 이격됨으로써 상기 기판(100)에 접촉되게 된다. 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력이 상기 제1영역(210)에서 상기 제2영역(220)을 향할수록 크기가 작아지도록 조절되므로, 상기 캐리어기판(200)은 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 낮아짐에 따라 상기 제1영역(210)에서 상기 제2영역(220)을 향하는 방향으로 순차적으로 상기 제2정반(44)으로부터 이격됨으로써 점진적으로 상기 기판(100)에 접촉되게 된다.In addition, when the
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.Therefore, the display
첫째, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부(4)를 이용하여 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)을 상기 기판(100)에 먼저 접촉시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1영역(210)이 상기 기판(100)에 먼저 접촉된 후에, 상기 제2영역(220)이 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 점진적으로 접촉될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.First, the display
둘째, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상술한 핀, 다이어프램 등과 같은 구조물과 분사력 등을 이용하지 않고도, 상기 제1영역(210)을 상기 기판(100)에 먼저 접촉시킨 후에 상기 제2영역(220)을 상기 기판(100)에 접촉시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)을 접촉시키는 과정에서 상기 기판(100)에 얼룩이 발생되거나 변형이 발생되는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 더 향상시킬 수 있다.Second, the display
도 8, 도 9 및 도 12를 참고하면, 상기 흡입기구(45)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력이 상기 제1영역(210)에서 상기 제2영역(220)을 향할수록 고진공이 되도록, 상기 제2정반(44)에 형성된 흡기공(441)들에 대한 흡입력을 구역별로 상이하게 조절할 수 있다. 상기 흡입기구(45)는 상기 제1영역(210)과 상기 제2영역(220) 각각에 대응되는 크기 및 형태를 갖는 구역별로 상기 흡기공(441)들에 대한 흡입력을 상이하게 조절할 수 있다.8, 9 and 12, the
예컨대, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 제1영역(210)은 상기 캐리어기판(200)의 가운데 부분에 위치된 부분이고, 상기 제2영역(220)은 상기 제1영역(210)을 둘러싸는 테두리 부분에 위치된 부분일 수 있다. 이 경우, 상기 흡입기구(45, 도 8에 도시됨)가 상기 제1영역(210)에 대응되는 흡입력을 제공하는 구역은, 상기 제2정반(44)의 가운데 부분으로 구획될 수 있다. 그리고, 상기 흡입기구(45, 도 8에 도시됨)가 상기 제2영역(220)에 대응되는 흡입력을 제공하는 구역은, 상기 제2정반(44)의 테두리 부분으로 구획될 수 있다. 상기 제2영역(220)은 상기 제1영역(210)을 둘러싸는 테두리 부분에 사각 고리 형태로 위치되는 복수개의 서브영역들(221, 222, 223)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 흡입기구(45, 도 8에 도시됨)는 상기 서브영역들(221, 222, 223) 각각에 대응되도록 구획된 구역별로 상기 흡기공(441, 도 8에 도시됨)들에 대한 흡입력을 상이하게 조절할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1영역(210) 또한 복수개의 서브영역들을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 흡입기구(45, 도 8에 도시됨)는 상기 제1영역(210)의 서브영역들 각각에 대응되도록 구획된 구역별로 상기 흡기공(441, 도 8에 도시됨)들에 대한 흡입력을 상이하게 조절할 수 있다.For example, as shown in FIG. 9, the
예컨대, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제1영역(210)은 상기 캐리어기판(200)의 장변 또는 단변 중에서 어느 한 방향을 기준으로 가운데 부분이고, 상기 제2영역(220, 220')은 상기 제1영역(210)을 기준으로 바깥 쪽에 위치된 부분일 수 있다. 이 경우, 상기 흡입기구(45, 도 8에 도시됨)가 상기 제1영역(210)에 대응되는 흡입력을 제공하는 구역은, 상기 제2정반(44)의 가운데 부분으로 구획될 수 있다. 그리고, 상기 흡입기구(45, 도 8에 도시됨)가 상기 제2영역(220, 220')에 대응되는 흡입력을 제공하는 구역은, 상기 제1영역(210)에 대응되는 구역을 기준으로 상기 제2정반(44)의 바깥 부분으로 구획될 수 있다. 상기 제2영역(220, 220')은 복수개의 서브영역들(221, 221', 222, 222')을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 흡입기구(45, 도 8에 도시됨)는 상기 서브영역들(221, 221', 222, 222') 각각에 대응되도록 구획된 구역별로 상기 흡기공(441, 도 8에 도시됨)들에 대한 흡입력을 상이하게 조절할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1영역(210) 또한 복수개의 서브영역들을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 흡입기구(45, 도 8에 도시됨)는 상기 제1영역(210)의 서브영역들 각각에 대응되도록 구획된 구역별로 상기 흡기공(441, 도 8에 도시됨)들에 대한 흡입력을 상이하게 조절할 수 있다.For example, as shown in FIG. 12, the
도 8을 참고하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부(4)는 상기 제2정반(44)에 형성된 흡기공(441)들에 대한 흡입력을 구역별로 상이하게 조절할 수 있도록 상기 흡입기구(45)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 흡입기구(45)들은 각각 서로 다른 구역들에 위치된 흡기공(441)들에 연결될 수 있다. 본 발명의 제2실시예에 따른 지지부(4)는 구역들의 개수에 상응하는 개수의 흡입기구(45)들을 포함할 수 있다. 상기 흡입기구(45)들은 각각의 구역에 해당하는 흡기공(441)들이 설정된 압력에 도달하면 개별적으로 흡입을 중지함으로써, 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력이 상기 제1영역(210, 도 9에 도시됨)에서 상기 제2영역(220, 도 9에 도시됨)을 향할수록 고진공이 되도록 조절할 수 있다. Referring to FIG. 8, the
도 10 및 도 11을 참고하면, 상기 압력조절부(5)는 상기 챔버유닛(2)에 형성된 배기구(23)를 통해 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 상기 배기구(23)는 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 챔버유닛(2)의 저면에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(5)는 상기 챔버유닛(2)의 저면 쪽으로 기체 등을 흡입함으로써, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다.10 and 11, the
상기 압력조절부(5)는 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 챔버유닛(2)의 측벽(2a)에 형성된 배기구들(23, 23')을 통해 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 조절할 수도 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 배기구들(23, 23') 각각에 연결된 복수개의 압력조절부들(5, 5')을 포함할 수도 있다. 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 하나의 압력조절부(5)를 복수개의 배기구들(23, 23')에 연결하기 위한 배관(미도시)을 포함할 수도 있다.As illustrated in FIG. 11, the
상기 배기구들(23, 23')은 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44) 사이에 대응되는 높이에 위치되게 상기 챔버유닛(2)의 측벽(2a)에 형성될 수 있다. 상기 배기구들(23, 23')은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)과 상기 제2정반(44)에 부착된 캐리어기판(200) 사이의 양측에 위치되게 상기 챔버유닛(2)의 측벽(2a)에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(5)는 상기 배기구들(23, 23')을 통해 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이의 양측 방향으로 기체 등을 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 존재하는 기체 등을 양측 방향으로 균일한 유량으로 배출시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 대한 압력이 부분적으로 불균일해지는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 상기 제2정반(44)으로부터 먼저 이격되어 상기 기판(100)에 접촉된 후에 상기 제2영역(220)이 상기 제2정반(44)으로부터 먼저 이격되어 상기 기판(100)에 접촉되도록 정확하게 제어할 수 있다. 상기에서는 상기 챔버유닛(2)이 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44) 사이의 양측에 형성된 2개의 배기구들(23, 23')을 포함하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않으며 상기 챔버유닛(2)은 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44) 사이에 대응되는 높이에 위치에 형성된 3개 이상의 배기구(23)들을 포함할 수도 있다.The
도 7, 도 13 내지 도 16을 참고하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 지지부(4, 도 7에 도시됨)는 상기 캐리어기판(200)을 지지하기 위한 제2정반(44)을 포함한다.7, 13 to 16, the support part 4 (shown in FIG. 7) according to the third embodiment of the present invention includes a
상기 제2정반(44)은 상기 챔버유닛(2) 내부에 위치되게 설치된다. 상기 제2정반(44)은 상기 제1정반(3)의 옆에 위치되게 상기 챔버유닛(2)에 설치될 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 제2정반(44)에 지지됨으로써, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)의 옆에 위치될 수 있다.The
상기 캐리어기판(200)은 흡입력에 의해 상기 제2정반(44)에 부착될 수 있다. 이를 위해, 상기 제2정반(44)은 흡입장치(미도시)로부터 제공된 흡입력을 상기 기판(100)에 전달하기 위한 진공홀(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 흡입장치는 상기 제2정반(44)에 형성된 진공홀을 통해 유체를 흡입함으로써, 상기 캐리어기판(200)을 상기 제2정반(44)에 부착시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2정반(44)은 정전척일 수도 있다. 이 경우, 상기 제2정반(44)은 적어도 하나의 전극을 포함할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2정반(44)은 적어도 하나의 점착고무(미도시)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 캐리어기판(200)은 점착고무가 갖는 점착성에 의해 상기 제2정반(44)에 부착될 수 있다.The
본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44)을 회전시키기 위한 회전부(6)를 더 포함한다.The display
상기 회전부(6)는 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44)을 서로 반대되는 방향으로 회전시킬 수 있다. 상기 회전부(6)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)과 상기 제2정반(44)에 지지된 캐리어기판(200)이 수직으로 세워지도록 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 회전부(6)는 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)과 상기 제2정반(44)에 지지된 캐리어기판(200)을 접촉시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1정반(3)은 상기 챔버유닛(2, 도 7에 도시됨)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1정반(3)은 제1회전축(3a)을 중심으로 상기 회전부(6)에 의해 회전될 수 있다. 상기 제2정반(44)은 상기 챔버유닛(2)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2정반(44)은 제2회전축(44a)을 중심으로 상기 회전부(6)에 의해 회전될 수 있다. 상기 제1회전축(3a)과 상기 제2회전축(44a)은 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44) 사이에 위치되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 회전부(6)가 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44)을 서로 반대되는 방향으로 회전시키면, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)과 상기 제2정반(44)에 지지된 캐리어기판(200)은 서로 반대되는 방향으로 회전되어 접촉될 수 있다.The
상기 회전부(6)는 회전력을 제공하는 동력원(미도시), 및 상기 동력원을 상기 제1회전축(3a)과 상기 제2회전축(44a)에 각각 연결시키는 연결수단(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 동력원은 모터일 수 있다. 상기 연결수단은 풀리 및 벨트 등일 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 회전부(6)는 상기 제1회전축(3a)에 연결되는 제1회전기구 및 상기 제2회전축(44a)에 연결되는 제2회전기구를 포함할 수도 있다.The
본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 본 발명의 제3실시예에 따른 지지부(4)를 포함하는 경우, 다음과 같이 동작하여 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착할 수 있다.When the display
우선, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 제1정반(3)에 상기 기판(100)이 지지되고, 상기 제2정반(44)에 상기 캐리어기판(200)이 지지된다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)의 옆에 위치되게 상기 제2정반(44)에 지지된다.First, as shown in FIG. 13, the
다음, 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 회전부(6)가 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44)을 서로 반대되는 방향으로 회전시킨다. 이에 따라, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)과 상기 제2정반(44)에 지지된 캐리어기판(200)은 각각 수직으로 세워지는 방향으로 회전됨으로써, 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 상기 기판(100)에 먼저 접촉된다. 이 경우, 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)은 상기 캐리어기판(200)의 에지(Edge) 부분이다.Next, as shown in FIG. 14, the
다음, 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 상기 기판(100)에 먼저 접촉된 후, 도 15에 도시된 바와 같이 상기 회전부(6)가 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44)을 계속하여 회전시킨다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)의 제2영역(220)이 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 점진적으로 접촉된다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치(1)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있다. 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)은 수직상태 또는 수직상태에 근접한 상태로 세워짐으로써, 전면(全面)이 접촉될 수 있다.Next, after the
다음, 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 전면(全面)이 접촉되면, 상기 압력조절부(5, 도 7에 도시됨)는 상기 챔버유닛(2) 내부가 진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수 있다. 따라서, 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킬 수 있다.Next, when the entire surface of the
다음, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 합착되면, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 합착된 합착기판은 상기 제1정반(3) 또는 상기 제2정반(44) 중에서 어느 하나에 부착된다. 이러한 공정은, 상기 제1정반(3) 또는 상기 제2정반(44) 중에서 어느 하나가 부착력을 유지하고, 나머지 하나는 부착력을 제거함으로써 이루어질 수 있다. 상기 제1정반(3) 또는 상기 제2정반(44) 중에서 어느 하나의 부착력을 제거하는 공정은, 흡입장치의 흡입력 중지, 정전척에 인가되는 전원 공급의 중지, 또는 점착고무(미도시)의 이동에 의해 이루어질 수 있다. 합착기판을 상기 제1정반(3) 또는 상기 제2정반(44) 중에서 어느 하나에 부착시키는 공정은, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 합착될 때 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44) 모두가 부착력이 제거된 후에, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 합착되면 상기 제1정반(3) 또는 상기 제2정반(44) 중에서 어느 하나가 부착력을 갖도록 제어됨으로써 이루어질 수도 있다.Next, when the
다음, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 회전부(6)가 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44)을 서로 반대되는 방향으로 회전시킨다. 이에 따라, 상기 합착기판은 상기 제1정반(3)과 상기 제2정반(44) 중에서 부착력을 갖는 쪽에 부착된 상태로 수평으로 눕혀지도록 회전된다.Next, as shown in FIG. 16, the
이하에서는 본 발명에 따른 합착기판 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a method for manufacturing a bonded substrate according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2 내지 도 16을 참고하면, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 디스플레이장치를 제조하기 위한 기판(100)에 캐리어기판(200)을 합착함으로써, 합착기판을 제조하기 위한 것이다. 상기 합착기판은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정을 거쳐 슬림화된 디스플레이장치로 제조될 수 있다. 상기 합착기판은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 완료되기 전에, 상기 기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 제거됨으로써, 슬림화된 디스플레이장치로 제조될 수 있다. 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상술한 본 발명에 따른 디스플레이장치용 합착장치를 이용하여 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.2 to 16, the bonded substrate manufacturing method according to the present invention is to manufacture the bonded substrate by bonding the
우선, 상기 기판(100)을 상기 제1정반(3)에 위치시킨다. 이러한 공정은, 상기 이송장치(미도시)가 상기 기판(100)을 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입한 후에, 상기 제1정반(3)에 위치시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 이송장치가 상기 기판(100)을 상기 제1정반(3)에 안착시키면, 상기 기판(100)은 흡입력, 정전력, 점착력 중에서 어느 하나에 의해 상기 제1정반(3)에 부착될 수 있다.First, the
다음, 상기 캐리어기판(200)을 상기 지지부(4)에 위치시킨다. 이러한 공정은, 상기 이송장치가 상기 캐리어기판(200)을 상기 챔버유닛(2) 내부로 반입한 후에, 상기 지지부(4)에 위치시킴으로써 이루어질 수 있다.Next, the
다음, 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시킨다. 이러한 공정은, 상기 지지부(4)가 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시킨 후에, 상기 캐리어기판(200)의 제2영역(220)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시킴으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 캐리어기판(200)의 일부를 상기 기판(100)에 먼저 접촉시킨 후에, 상기 캐리어기판(200)의 나머지 일부가 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 점진적으로 접촉되도록 상기 캐리어기판(200)의 나머지 일부를 상기 기판(100)에 접촉시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써, 상기 기판(100)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있는 합착기판을 제조할 수 있다.Next, the
다음, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)과 캐리어기판(200)을 합착시킨다. 이러한 공정은, 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 전면(全面)이 접촉되면, 상기 압력조절부(5)가 상기 챔버유닛(2) 내부가 진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킬 수 있다.Next, the
여기서, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은, 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시키는 공정이 수행되기 전에, 일차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부가 제1진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮추는 공정을 포함할 수 있다. 이러한 공정은 상기 압력조절부(5)가 상기 챔버유닛(2) 내부가 상기 제1진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 상기 챔버유닛(2) 내부가 상기 제1진공상태로 되면, 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시키는 공정이 수행될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 서로 접촉되는 과정에서 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하는 기체 등의 양을 줄일 수 있다. 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 접촉된 후에, 일차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부가 상기 제1진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮출 수도 있다.Here, in the method of manufacturing a bonded substrate according to the present invention, before the process of contacting the
본 발명에 따른 합착기판 제조방법이 일차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부가 제1진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 낮추는 공정을 포함하는 경우, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)과 캐리어기판(200)을 합착시키는 공정은 이차적으로 상기 챔버유닛(2) 내부가 제2진공상태로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 더 낮추는 공정을 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 남아있는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 완전히 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킬 수 있다.When the method of manufacturing a bonded substrate according to the present invention includes a step of lowering the pressure inside the
도 2 내지 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상술한 지지부(4)의 실시예에 따라 여러 가지 실시예를 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 합착기판 제조방법이 상기 제1실시예에 따른 지지부(4)를 이용하는 경우, 상기 캐리어기판(100)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시키는 공정은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.2 to 6, the bonded substrate manufacturing method according to the present invention may include various embodiments according to the embodiment of the above-described support (4). When the bonded substrate manufacturing method according to the present invention uses the
우선, 상기 통과공(411)을 통해 돌출된 제1영역(210)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉되도록 상기 지지부(4)를 하강시킨다. 이러한 공정은, 상기 승강기구(42)가 상기 지지기구(41)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 승강기구(42)는 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)이 상기 통과공(411)을 통해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 쪽으로 돌출된 상태에서 상기 지지기구(41)를 하강시킨다. 이에 따라, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1영역(210)이 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 먼저 접촉된다. 상기 제1영역(210)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉되도록 상기 지지부(4)를 하강시키는 공정은, 상기 캐리어기판(200)이 상기 지지기구(41)에 지지된 상태에서 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)의 위치를 정렬하는 공정이 이루어진 후에, 상기 지지기구(41)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있다.First, the
다음, 상기 제2영역(220)이 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉되도록 상기 캐리어기판(200)과 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100) 사이로부터 상기 지지부(4)가 이격되도록 상기 지지부(4)를 이동시킨다. 이러한 공정은, 상기 이동기구(43)가 상기 지지기구(41)를 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 지지기구(41)는 상기 지지기구(41)가 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이로부터 이격되도록 상기 지지기구(41)를 이동시킨다. 이에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 캐리어기판(200)은 상기 제2영역(220)이 상기 기판(100)과의 사이에 존재하는 공기 등과 같은 기체를 밀어내면서 상기 기판(100)에 접촉될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100)을 합착시키는 과정에서 상기 캐리어기판(200)과 상기 기판(100) 사이에 기포가 발생하는 것을 방지함으로써, 슬림화된 디스플레이장치에 대한 품질을 향상시킬 수 있는 합착기판을 제조할 수 있다.Next, from between the
도 7 내지 도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법이 상기 제2실시예에 따른 지지부(4)를 이용하는 경우, 본 발명에 따른 합착기판 제조방법은 다음과 같이 구현될 수 있다.7 to 12, when the bonded substrate manufacturing method according to the present invention uses the
우선, 상기 캐리어기판(200)을 상기 지지부(4)에 위치시키는 공정은, 상기 캐리어기판(200)을 상기 지지부(100)에 부착시키는 공정을 포함한다. 이러한 공정은, 상기 흡입기구(45)가 상기 캐리어기판(200)과 상기 지지부(4) 사이의 압력이 상기 제1영역(210)에서 상기 제2영역(220)을 향할수록 고진공이 되도록 흡입력을 조절함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)의 제1영역(210)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력(P1, 도 8에 도시됨)은 상기 캐리어기판(200)의 제2영역(220)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력(P2, P2', P3, P3', P4, P4')(도 8에 도시됨)보다 큰 크기의 압력으로 되도록 조절된다. 그리고, 상기 캐리어기판(200)의 제2영역(220)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력(P2, P2', P3, P3', P4, P4')은 상기 제1영역(210)에서 상기 제2영역(220)을 향할수록 작은 크기의 압력으로 되도록 조절된다.First, the process of positioning the
다음, 상기 캐리어기판(200)을 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)에 접촉시키는 공정은, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 제1압력으로 점차적으로 낮추는 공정을 포함한다. 이러한 공정은, 상기 압력조절부(5)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 상기 제1압력이 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 점차적으로 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 상기 제1압력은 상기 캐리어기판(200)의 전부가 상기 제2정반(44)으로부터 이격될 수 있는 크기의 압력이다.Next, the step of bringing the
상기 압력조절부(5)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 점차적으로 낮추면, 상기 캐리어기판(200)은 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제1영역(210)이 상기 제2영역(220)에 비해 상기 제2정반(44)으로부터 먼저 이격되게 된다. 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 점차적으로 낮아짐에 따라, 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력이 큰 부분부터 상기 제2정반(44)으로부터 이격되기 때문이다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 상기 제1영역(210)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력보다 낮아지는 시점에, 상기 제1영역(210)이 상기 제2정반(44)으로부터 먼저 이격됨으로써 상기 기판(100)에 먼저 접촉되게 된다. 그리고, 상기 압력조절부(5)가 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 상기 제1압력으로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 점차적으로 더 낮추면, 상기 캐리어기판(200)은 도 11에 도시된 바와 같이 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력이 상기 제2영역(220)과 상기 제2정반(44) 사이의 압력보다 낮아지는 시점에, 상기 제2영역(220)이 상기 제2정반(44)으로부터 이격됨으로써 상기 기판(100)에 접촉되게 된다.When the
다음, 상기 제1정반(3)에 지지된 기판(100)과 캐리어기판(200)을 합착시키는 단계는, 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 상기 제1압력보다 낮은 제2압력으로 낮추는 공정을 포함한다. 이러한 공정은, 상기 기판(100)에 상기 캐리어기판(200)의 전면(全面)이 접촉되면, 상기 압력조절부(5)가 상기 챔버유닛(2) 내부가 상기 제2압력으로 되도록 상기 챔버유닛(2) 내부의 압력을 더 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(5)는 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이에 잔존하는 기체 등을 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 배출시킴으로써, 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 합착시킬 수 있다.Next, the step of bonding the
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 한편, 상기에서는 상기 기판(100)과 캐리어기판(200)이 글래스로 제조되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 유연성(Flexibility)을 갖는 플라스틱 기판, 메탈 기판 등으로 제조될 수도 있다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of. In the above description, the
1 : 합착장치 2 : 챔버유닛 3 : 제1정반 4 : 지지부 5 : 압력조절부
6 : 회전부 21 : 제1챔버 22 : 제2챔버 23 : 배기구 31 : 진공홀
41 : 지지기구 42 : 승강기구 43 : 이동기구 44 : 제2정반
45 : 흡입기구 100 : 기판 110 : 더미영역 200 : 캐리어기판
210 : 제1영역 220 : 제2영역 411 : 통과공 412 : 경사부재DESCRIPTION OF
6
41
45
210: first region 220: second region 411: through hole 412: inclined member
Claims (10)
상기 챔버유닛 내부에 위치되게 설치되고, 기판을 지지하기 위한 제1정반; 및
상기 챔버유닛 내부에 위치되고, 캐리어기판의 제1영역을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시킨 후에 상기 제1영역을 제외한 나머지 제2영역을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시키기 위한 지지부를 포함하는 디스플레이장치용 합착장치.A chamber unit in which a carrier substrate is bonded to a substrate for manufacturing a display device;
A first surface plate installed in the chamber unit and supporting the substrate; And
The first area of the carrier unit, which is located inside the chamber unit, is configured to contact the substrate supported on the first surface after contacting the second region except for the first region. Bonding device for display device including a support.
상기 지지부는 캐리어기판을 지지하기 위한 지지기구를 포함하고;
상기 지지기구는 상기 제1영역이 자중(自重)에 의해 상기 제1정반에 지지된 기판 쪽으로 돌출되도록 상기 제1영역에 대응되는 위치에 형성된 통과공을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.The method of claim 1,
The support portion includes a support mechanism for supporting a carrier substrate;
And the support mechanism includes a through hole formed at a position corresponding to the first region such that the first region protrudes toward the substrate supported by the first surface by its own weight. .
상기 지지부는 상기 지지기구를 승강(昇降)시키기 위한 승강기구, 및 상기 지지기구를 이동시키기 위한 이동기구를 포함하고;
상기 승강기구는 상기 통과공을 통해 돌출된 제1영역이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되도록 상기 지지기구를 하강시키고;
상기 이동기구는 상기 제1영역이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되면, 상기 제2영역을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시키기 위해 상기 지지기구가 캐리어기판과 상기 제1정반에 지지된 기판 사이로부터 이격되도록 상기 지지기구를 이동시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.3. The method of claim 2,
The support portion includes a lift mechanism for lifting and lowering the support mechanism, and a moving mechanism for moving the support mechanism;
The lifting mechanism lowers the support mechanism such that the first region protruding through the passage hole contacts the substrate supported on the first surface plate;
When the first region is in contact with the substrate supported on the first surface plate, the moving mechanism is configured to contact the carrier substrate and the first surface plate to bring the second region into contact with the substrate supported on the first surface plate. Bonding device for a display device, characterized in that for moving the support mechanism so as to be spaced apart from the supported substrate.
상기 지지기구는 캐리어기판이 자중에 의해 휘어져 상기 제1영역이 상기 통과공을 통해 돌출되도록 상기 통과공 쪽을 향할수록 두께가 얇아지게 형성된 경사부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.3. The method of claim 2,
And the support mechanism includes an inclined member formed to become thinner toward the through hole so that the carrier substrate is bent by its own weight so that the first region protrudes through the through hole.
상기 챔버유닛에 설치되고, 상기 챔버유닛 내부의 압력을 조절하기 위한 압력조절부를 포함하고;
상기 지지부는 캐리어기판이 부착되기 위한 제2정반, 및 캐리어기판이 상기 제2정반에 부착되도록 흡입력을 제공하는 흡입기구를 포함하며;
상기 흡입기구는 캐리어기판과 상기 제2정반 사이의 압력이 상기 제1영역에서 상기 제2영역을 향할수록 고진공이 되도록 흡입력을 조절하고;
상기 압력조절부는 상기 제1영역이 상기 제2영역에 비해 상기 제2정반으로부터 먼저 이격되도록 상기 챔버유닛 내부의 압력을 점차적으로 낮추는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.The method of claim 1,
It is installed in the chamber unit, and includes a pressure control unit for adjusting the pressure in the chamber unit;
The support portion includes a second surface plate to which the carrier substrate is attached, and a suction mechanism to provide suction force so that the carrier substrate is attached to the second surface plate;
The suction mechanism adjusts the suction force such that the pressure between the carrier substrate and the second surface plate becomes high vacuum from the first area toward the second area;
And the pressure adjusting unit gradually lowers the pressure inside the chamber unit such that the first region is spaced apart from the second surface plate first compared to the second region.
상기 챔버유닛은 측벽에 형성된 복수개의 배기구를 포함하되,
상기 압력조절부는 상기 배기구들에 연결되어 상기 챔버유닛 내부의 압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.The method of claim 5,
The chamber unit includes a plurality of exhaust ports formed on the side wall,
And the pressure control unit is connected to the exhaust ports to adjust the pressure inside the chamber unit.
상기 제1정반과 상기 지지부 사이에 위치되게 설치된 회전부를 포함하고;
상기 지지부는 캐리어기판이 상기 제1정반에 지지된 기판의 옆에 위치되도록 캐리어기판을 지지하는 제2정반을 포함하며;
상기 회전부는 상기 제1정반에 지지된 기판 및 상기 제2정반에 지지된 캐리어기판이 접촉되도록 상기 제1정반과 상기 제2정반을 서로 반대되는 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이장치용 합착장치.The method of claim 1,
A rotating part disposed between the first surface plate and the support part;
The support portion includes a second surface support for supporting the carrier substrate such that the carrier substrate is positioned next to the substrate supported on the first surface;
And the rotating part rotates the first and second plates in opposite directions so that the substrate supported on the first plate and the carrier substrate supported on the second plate are in contact with each other. .
상기 제1정반에 지지된 기판에 합착시키기 위한 캐리어기판을 지지부에 위치시키는 단계;
캐리어기판의 제1영역이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉된 후에 캐리어기판에서 상기 제1영역을 제외한 나머지 제2영역이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되도록 캐리어기판을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시키는 단계; 및
상기 제1정반에 지지된 기판과 캐리어기판을 합착시키는 단계를 포함하는 합착기판 제조방법.Positioning a substrate for manufacturing the display device on the first surface plate;
Positioning a carrier substrate on a support for bonding to the substrate supported on the first surface;
After the first region of the carrier substrate is in contact with the substrate supported on the first surface plate, the carrier substrate is formed such that the second region other than the first region on the carrier substrate is in contact with the substrate supported on the first surface plate. Contacting the substrate supported on the surface plate; And
Bonding substrate manufacturing method comprising the step of bonding the substrate and the carrier substrate supported on the first surface.
상기 캐리어기판을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시키는 단계는,
상기 지지부에 형성된 통과공을 통해 돌출된 제1영역이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되도록 상기 지지부를 하강시키는 단계; 및
상기 제2영역이 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉되도록 상기 캐리어기판과 상기 제1정반에 지지된 기판 사이로부터 상기 지지부가 이격되도록 상기 지지부를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 합착기판 제조방법.9. The method of claim 8,
The step of contacting the carrier substrate to the substrate supported on the first plate,
Lowering the support part such that the first region protruding through the through hole formed in the support part contacts the substrate supported on the first surface plate; And
And moving the support portion such that the support portion is spaced apart from the carrier substrate and the substrate supported on the first surface such that the second region is in contact with the substrate supported on the first surface plate. Manufacturing method.
상기 제1정반에 지지된 기판에 합착시키기 위한 캐리어기판을 지지부에 위치시키는 단계는, 흡입기구가 캐리어기판과 지지부 사이의 압력이 상기 제1영역에서 상기 제2영역을 향할수록 고진공이 되도록 흡입력을 조절하여 캐리어기판을 지지부에 부착시키는 단계를 포함하고;
상기 캐리어기판을 상기 제1정반에 지지된 기판에 접촉시키는 단계는, 상기 제1영역이 상기 제2영역에 비해 상기 지지부로부터 먼저 이격되도록 상기 제1정반과 상기 지지부가 설치된 챔버유닛 내부의 압력을 제1압력으로 점차적으로 낮추는 단계를 포함하며;
상기 제1정반에 지지된 기판과 캐리어기판을 합착시키는 단계는, 상기 챔버유닛 내부의 압력을 상기 제1압력보다 낮은 제2압력으로 낮추는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 합착기판 제조방법.9. The method of claim 8,
Positioning the carrier substrate to the support portion for bonding to the substrate supported on the first surface plate, the suction mechanism is a suction force so that the pressure between the carrier substrate and the support portion becomes high vacuum toward the second region from the first region Adjusting to attach the carrier substrate to the support;
The contacting of the carrier substrate with the substrate supported on the first surface plate may include applying a pressure inside the chamber unit provided with the first surface plate and the support portion such that the first region is spaced apart from the support portion earlier than the second region. Gradually lowering to a first pressure;
Bonding the substrate supported on the first surface plate and the carrier substrate comprises lowering the pressure inside the chamber unit to a second pressure lower than the first pressure.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120054532A KR101990854B1 (en) | 2012-05-23 | 2012-05-23 | Apparatus for Attaching Substrate and Method for Manufacturing Attached Substrate using the same |
| US13/681,015 US20130312907A1 (en) | 2012-05-23 | 2012-11-19 | Substrate-bonding apparatus for display device and method for manufacturing bonded substrate |
| TW101144191A TWI507770B (en) | 2012-05-23 | 2012-11-26 | Substrate-bonding apparatus for display device and method for manufacturing bonded substrate |
| CN2012105677828A CN103426774A (en) | 2012-05-23 | 2012-12-24 | Substrate-bonding apparatus for display device and method for manufacturing bonded substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120054532A KR101990854B1 (en) | 2012-05-23 | 2012-05-23 | Apparatus for Attaching Substrate and Method for Manufacturing Attached Substrate using the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20130130896A true KR20130130896A (en) | 2013-12-03 |
| KR101990854B1 KR101990854B1 (en) | 2019-06-19 |
Family
ID=49980292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020120054532A KR101990854B1 (en) | 2012-05-23 | 2012-05-23 | Apparatus for Attaching Substrate and Method for Manufacturing Attached Substrate using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101990854B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180033363A (en) * | 2016-09-23 | 2018-04-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | Manufacturing method and apparatus for a display device |
| CN114512053A (en) * | 2020-11-16 | 2022-05-17 | 杰宜斯科技有限公司 | Bonding device for display |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR940009993B1 (en) * | 1989-08-28 | 1994-10-19 | Toshiba Co Ltd | Method and apparatus for bonding semiconductor substrates |
| JP2004153159A (en) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Enzan Seisakusho:Kk | Protection member adhering method for semiconductor wafer and its device |
| JP2006066079A (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Canon Inc | Manufacturing method of envelope and manufacturing device of the same |
| JP2006330214A (en) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Substrate assembling device |
| US20090197053A1 (en) * | 2008-02-04 | 2009-08-06 | Sokolov Yuri V | Method and apparatus for bonded substrates |
| KR101341126B1 (en) * | 2013-07-08 | 2013-12-13 | 한동희 | Panel bonding apparatus |
| KR20140099505A (en) * | 2011-11-25 | 2014-08-12 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | Wafer transport apparatus and wafer assembly line |
| KR20160102767A (en) * | 2015-02-23 | 2016-08-31 | 안성룡 | The method for attaching a flexible panel to the curved window glass |
| KR20170003421A (en) * | 2015-06-30 | 2017-01-09 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | Holding unit and bonding method |
| KR101733351B1 (en) * | 2016-05-16 | 2017-05-08 | 한동희 | Curved panel bonding unit and curved panel bonding apparatus comprising thereof |
| KR101825513B1 (en) * | 2017-06-08 | 2018-03-22 | (주)윤텍 | Bonding device for a curved substrate, bonding method using it |
| WO2018074013A1 (en) * | 2016-10-17 | 2018-04-26 | 信越エンジニアリング株式会社 | Apparatus for vacuum bonding of bonded device |
-
2012
- 2012-05-23 KR KR1020120054532A patent/KR101990854B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR940009993B1 (en) * | 1989-08-28 | 1994-10-19 | Toshiba Co Ltd | Method and apparatus for bonding semiconductor substrates |
| JP2004153159A (en) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Enzan Seisakusho:Kk | Protection member adhering method for semiconductor wafer and its device |
| JP2006066079A (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Canon Inc | Manufacturing method of envelope and manufacturing device of the same |
| JP2006330214A (en) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Substrate assembling device |
| US20090197053A1 (en) * | 2008-02-04 | 2009-08-06 | Sokolov Yuri V | Method and apparatus for bonded substrates |
| KR20140099505A (en) * | 2011-11-25 | 2014-08-12 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | Wafer transport apparatus and wafer assembly line |
| KR101341126B1 (en) * | 2013-07-08 | 2013-12-13 | 한동희 | Panel bonding apparatus |
| KR20160102767A (en) * | 2015-02-23 | 2016-08-31 | 안성룡 | The method for attaching a flexible panel to the curved window glass |
| KR20170003421A (en) * | 2015-06-30 | 2017-01-09 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | Holding unit and bonding method |
| KR101733351B1 (en) * | 2016-05-16 | 2017-05-08 | 한동희 | Curved panel bonding unit and curved panel bonding apparatus comprising thereof |
| WO2018074013A1 (en) * | 2016-10-17 | 2018-04-26 | 信越エンジニアリング株式会社 | Apparatus for vacuum bonding of bonded device |
| KR101825513B1 (en) * | 2017-06-08 | 2018-03-22 | (주)윤텍 | Bonding device for a curved substrate, bonding method using it |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180033363A (en) * | 2016-09-23 | 2018-04-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | Manufacturing method and apparatus for a display device |
| CN114512053A (en) * | 2020-11-16 | 2022-05-17 | 杰宜斯科技有限公司 | Bonding device for display |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR101990854B1 (en) | 2019-06-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI507770B (en) | Substrate-bonding apparatus for display device and method for manufacturing bonded substrate | |
| US7370681B2 (en) | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device | |
| JP3990304B2 (en) | Laminator stage structure and bonding device control method | |
| KR101281123B1 (en) | apparatus for attaching substrates of flat plate display element | |
| KR100757286B1 (en) | Apparatus and method for manufacturing bonded substrate | |
| JP4064845B2 (en) | Bonding apparatus and driving method | |
| KR101383282B1 (en) | Substrate bonding apparatus | |
| KR100961871B1 (en) | Substrate assembling apparatus | |
| KR20130130896A (en) | Apparatus for attaching substrate and method for manufacturing attached substrate using the same | |
| TWI425591B (en) | Substrate assembling apparatus | |
| KR102033349B1 (en) | Method for Manufacturing Cover Substrate, Apparatus for Separating Carrier Substrate and Method for Manufacturing Display Panel Device | |
| KR20130078802A (en) | Substrates detaching apparatus | |
| KR101404057B1 (en) | Laminating Device and Method for Apparatus of Bonding Substrates, and Apparatus and Method of Bonding Substrates Having the same | |
| KR100720419B1 (en) | bonding device for liquid crystal display device | |
| KR100504535B1 (en) | bonding device for liquid crystal display and method for operating the same | |
| KR102011878B1 (en) | Apparatus for Attaching Substrate and Method for Manufacturing Attached Substrate using the same | |
| KR101087976B1 (en) | Substrates adhesion apparatus | |
| KR100921996B1 (en) | Apparatus for assembling substrates | |
| KR20120006132A (en) | Master mold, manufacturing method thereof and apparatus for manufacturing mold having the same | |
| KR101702785B1 (en) | Apparatus for depositing thin-film | |
| KR100995635B1 (en) | Bonding apparatus for liquid crystal display device | |
| KR20090093549A (en) | Substrate processing apparatus | |
| KR20090027343A (en) | Apparatus having the transferal path portion and method for joining of substrate using the same | |
| KR20090105368A (en) | Substrate assembling apparatus | |
| KR20070117323A (en) | Substrate bonding method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |