KR20130127047A - 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기재료를 이용하여 패턴을 형성하는 장치에 있어서, 용액상태의 유기재료가 저장되는 용액저장부와, 상기 용액저장부로부터 유기재료를 공급받아 상기 기판 위에 토출하여 패턴을 형성하며, 가늘고 긴 관 형태로 모세관 구조를 갖는 토출부과, 상기 토출부가 결합되며, 상기 토출부의 위치를 조절하는 위치조절부 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치에 관한 것이다.
Description
본 발명은 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 모세관 현상을 이용하여 용액저장부 내에 저장된 용액이 일정한 속도와 부피로 토출되도록 함으로써, 대면적에서 균일하고 규칙적인 패턴이 형성될 수 있는 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법에 관한 것이다.
최근 국가차원에서 전략산업으로서 미래형 유연디스플레이 및 유기태양전지와 같은 유기전자소자에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
유기전자소자란 실리콘이나 화합물 반도체 같은 무기재료를 고분자 및 탄소기반의 유기기반재료로 대체하여 제작된 전자소자로서 유연성과 범용성을 확보할 수 있고 저가소자제작이 가능한 장점을 가지고 있다. 유기전자소자는 사용되는 유기반도체 재료에 따라 크게 고분자 유기전자소자와 저분자 유기전자소자로 나뉠 수 있다.
고분자 유기전자소자는 폴리티오펜 (polythiophene)계열 등과 같은 고분자 유기반도체 재료를 사용한 소자로서 용액공정이 편리한 장점이 있지만 기본소자성능이 낮은 단점이 있다.
저분자 유기전자소자는 Bis (triisopropylsilylethynyl) pentacene 나 루브렌(rubrene)과 같이 저분자 유기반도체 재료를 사용하는 소자로서 고분자 기반의 소자에 비해 우수한 소자성능을 갖지만 패턴구조의 제어가 어려운 단점이 있다.
현재 미래형 유기전자소자의 상용화를 위해 다양한 용액공정용 고분자/저분자 유기재료 패턴기술이 연구되고 있다. 그 중 대표적인 것은 잉크젯 프린팅 기술로서 가는 노즐을 통해 잉크를 원하는 곳에 떨어트리는 패턴기술이다.
국내등록특허 10-0945729호(등록일 2010.02.26, 명칭 : 유기 전자 소자에의 잉크젯 공정의 적용을 위한 자가조립단층을 이용한 투명전극의 선택적 표면개질 방법)에는 잉크젯 프린팅 기술로 유기 전자 소자를 패터닝하기 위한 기술이 개시된 바 있다.
하지만 공정과정에서 용액의 종류 및 온도, 습도, 진동 등과 같은 다양한 외부변수에 의해 큰 영향을 받는 단점과 함께 용액방울을 떨어트리는 방식으로 인해 점 패턴을 제외한 선형패턴 제작에 균일성을 확보하기 어려운 단점이 존재했다. 뿐만 아니라 용액조건 및 외부조건에 의해 형성된 패턴의 구조가 일정하지 않는 단점으로 인해 상용화에 어려움을 겪고 있다.
이에 따라 외부조건에 의한 안정성과 신뢰성을 확보하고, 자유로운 형태의 패턴이 가능한 새로운 용액공정용 유기재료의 패턴기술 개발에 대한 요구가 계속되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 모세관 구조를 가지는 토출부가 구비됨으로써, 모세관 현상을 통해 용액 상태의 유기재료를 일정한 속도와 부피로 토출할 수 있는 유기재료 패턴 형성 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 용액의 표면장력을 조절하여 모세관 현상을 통해 공급되는 용액의 부피가 일정하게 제어되도록 함으로써, 패턴 형성 효율을 향상시킬 수 있는 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법을 제공하는 것이다.
또, 본 발명의 목적은 용액공정용 유기재료에 사용되는 용매의 끓는점을 조절함으로써, 패턴의 결정화 및 결정구조를 조절하고 최적의 패턴 구조를 얻을 수 있는 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법을 제공하는 것이다.
아울러, 본 발명의 목적은 용액공정용 유기재료에 사용되는 용매의 표면장력을 조절하여 사용함으로써, 토출부를 통해 토출되는 유기재료의 양이 필요에 따라 적절히 조절될 수 있는 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치는 유기재료를 이용하여 패턴을 형성하는 장치에 있어서, 기판(100); 용액상태의 유기재료가 저장되는 용액저장부(200); 상기 용액저장부(200)로부터 유기재료를 공급받아 상기 기판(100) 위에 토출하여 패턴을 형성하며, 얇고 긴 관 형태로 모세관 구조를 갖는 토출부(300); 및 상기 토출부(300)이 결합되며, 상기 토출부(300)의 위치를 조절하는 위치조절부(400); 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 상기 토출부(300)의 모세관 직경에 따라 토출되는 유기재료의 양이 조절될 수 있다.
또한, 상기 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 상기 용액저장부(200)에 가해지는 압력에 따라 상기 토출부(300)로 토출되는 유기재료의 양이 조절될 수 있다.
또한, 본 발명의 상기 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 상기 기판(100)에 표면밀착제인 HDMS(Hexamethyldisilazane)또는 ODTS(Octadecyltrichlorosilane)가 스핀코팅 될 수 있다.
또한, 본 발명의 상기 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 상기 토출부(300)에서 토출된 용액에 의해 형성된 패턴을 촬영하는 모니터링부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 유기재료는 폴리스틸렌, 폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리티오펜, 비스(트리이소프로필실릴에티닐)펜타센(bis(triisopropylsilylethynyl)pentacene) 중 어느 하나일 수 있다.
또한, 상기 용액저장부(200)에 저장되는 용액 상태의 유기재료는 서로 다른 끓는점을 가지는 적어도 두 개 이상의 용매가 혼합된 것을 이용하여 제조될 수 있다.
또한, 상기 용매는 혼합된 상태에서 끓는점이 150~200℃일 수 있다.
또한, 상기 용액저장부(200)에 저장되는 용액 상태의 유기재료는 표면장력이 15~40dyn/cm인 적어도 두 개 이상의 용매가 혼합된 것을 이용하여 제조될 수 있다.
또, 상기 충진재는 스펀지 형태 또는 섬유질 형태 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치는 모세관 구조를 가지는 토출부가 구비됨으로써, 모세관 현상을 통해 용액 상태의 유기재료를 일정한 속도와 부피로 토출할 수 있다는 장점이 있다.
이에 따라, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법은 장시간 작업이 이루어지더라도 균일하고 연속적으로 패턴이 형성될 수 있다는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법은 용액의 표면장력을 조절하여 모세관 현상을 통해 공급되는 용액의 부피가 일정하게 제어되도록 함으로써, 패턴 형성 효율을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
아울러, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법은 용액공정용 유기재료에 사용되는 용매의 끓는점을 조절하여 사용함으로써, 패턴의 결정화 및 결정구조를 조절하고 최적의 패턴 구조를 얻을 수 있다는 장점이 있다.
또, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법은 용액공정용 유기재료의 대면적 패턴을 위한 효율적인 공정이 제공할 수 있으며, 특히 잉크젯 프린팅의 단점을 극복하고 연속공정이 가능한 패턴공정의 개발로 인해 유기 전자소자 및 유기구조체를 활용한 제품의 상용화를 앞당길 수 있다.
또, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법은 점, 선, 곡선을 포함한 다양한 패턴 모양을 구현함으로써 소자의 종류 및 형태에 구애받지 않는 다양한 모양을 형성할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유기재료 패턴 형성 장치를 나타낸 개략도.
도 2는 도 1의 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부와 용액저장부의 결합상태를 나타낸 개략도.
도 3은 본 발명에 따른 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부의 단부에 결정이 맺힌 모습을 나타낸 사진.
도 4는 본 발명의 유기재료 패턴 형성 방법을 나타낸 순서도.
도 5는 본 발명에 따른 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부를 나타낸 단면도.
도 2는 도 1의 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부와 용액저장부의 결합상태를 나타낸 개략도.
도 3은 본 발명에 따른 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부의 단부에 결정이 맺힌 모습을 나타낸 사진.
도 4는 본 발명의 유기재료 패턴 형성 방법을 나타낸 순서도.
도 5는 본 발명에 따른 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부를 나타낸 단면도.
이하, 상술한 바와 같은 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법을 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 유기재료 패턴 형성 장치를 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 1의 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부와 용액저장부의 결합상태를 나타낸 개략도이며, 도 3은 본 발명에 따른 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부의 단부에 결정이 맺힌 모습을 나타낸 사진이고, 도 4는 본 발명의 유기재료 패턴 형성 방법을 나타낸 순서도이며, 도 5는 본 발명에 따른 유기재료 패턴 형성 장치에서 토출부를 나타낸 단면도이다.
본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 크게 기판(100)과, 용액저장부(200)와, 토출부(300) 및 위치조절부(400)를 포함하여 형성된다.
상기 기판(100)에는 유기재료 패턴이 형성되며, 이 때, 상기 기판(100)은 실리콘 웨이퍼 및 PET 필름일 수도 있으며, 편평한 표면을 갖는 유기 기판 또는 무기 기판 중 어떤 것으로도 다양하게 변경 실시 가능하다.
상기 용액저장부(200)는 용액 상태의 유기재료가 저장되는 것으로 내부에 용액이 수용될 수 있는 공간이 구비된다.
이 때, 상기 용액저장부(200)에는 용액상 고정을 위한 충진재가 충진될 수 있다.
상기 충진재는 스펀지 형태일 수도 있으며, 이 외에도 용액을 고정해주는 역할을 한다면 다른 재료 및 다른 형태로도 얼마든지 다양하게 변경실시 가능하다.
상기 토출부(300)는 상기 용액저장부(200)로부터 용액 상태의 유기재료를 공급받아 상기 기판(100) 위에 토출하여 패턴을 형성하며, 가늘고 긴 관 형태로 모세관 구조를 갖는다.
이에 따라, 상기 토출부(300)는 상기 용액저장부(200)로부터 공급된 용액 상태의 유기재료가 모세관 현상에 의해 기판(100) 위에 토출될 수 있도록 한다.
상기 토출부(300)는 모세관 구조를 갖는 펜촉 형태일 수 있는데, 펜촉의 단부에 형성되는 미세한 틈을 통해 지속적으로 일정량의 유기재료가 토출된다.
이 때, 상기 토출부(300)의 모세관 구조는 특정 형태로 한정되지 않으며, 모세관 현상이 발생될 수 있는 관 형태이면 얼마든지 변경실시가 가능하다.
상기 토출부(300)는 모세관의 길이가 너무 길 경우, 용액 상태의 유기재료가 이송되는 시간이 너무 길어 유기재료의 상태변화가 일어날 수도 있으며, 너무 짧으면 모세관 효과에 의한 용액이동현상을 조절하기 어려우므로 모세관 길이가 1~3cm 정도인 것이 바람직하다.
또한, 상기 토출부(300)의 모세관의 직경이 너무 좁을 경우 토출되는 용액상태의 유기재료의 양이 너무 적어 패턴 형성이 원활하게 이루어지기 어려우며, 너무 넓을 경우 모세관 효과가 발생되기 어려우므로 모세관의 직경이 5~100um인 것이 바람직하다.
이 때, 상기 토출부(300)는 모세관에서 흘러나온 용액이 단부까지 흘러 이동됨으로써 최종적으로 패턴이 형성되므로, 단부에서 일정높이 위쪽부분에 모세관이 있는 것이 좋다. 따라서 모세관의 재질은 소수성, 또는 유기용액에 대한 적절한 친화력이 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 상기 토출부(300)의 모세관 직경에 따라 토출되는 용액의 양이 조절되는데, 그 예로, 모세관의 직경이 커지면 토출되는 용액의 양이 증가하여 패턴의 크기도 증가될 수 있다.
또, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 상기 용액저장부(200)에 가해지는 압력에 따라 상기 토출부(300)로 토출되는 유기재료의 양이 조절될 수 있다.
상기 용액저장부(200)에 저장된 용액 상태의 유기재료는 상기 토출부(300)을 통해 일정량 공급되는데, 상기 토출부(300)가 펜촉일 경우 펜의 상ㆍ하ㆍ좌ㆍ우 움직임에 의해 기판(100)에 불연속 패턴인 점을 찍거나 연속 패턴인 선을 그리는 방식으로 패턴을 형성할 수 있다.
본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치(1)에 이용되는 유기재료는 폴리스티렌, 폴리메틸메타아크릴레이트와 같은 상용고분자에서부터, 폴리티오펜이나bis (triisopropylsilylethynyl) pentacene과 같은 유기반도체 재료에 이르기까지 용액공정 가능한 재료에 대해 다양하게 적용가능하다.
상기 위치조절부(400)는 상기 용액저장부(200)와 토출부(300)가 결합된 상태로 결합되며, 상기 토출부(300)의 위치를 조절한다. 상기 위치조절부(400)는 3축 모터 포지션 시스템일 수도 있으며, 상기 토출부(300)가 x, y, z 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 움직이도록 조절할 수 있다.
또한, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 상기 토출부(300)에서 토출된 용액에 의해 형성된 패턴을 촬영하는 모니터링부를 더 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 모니터링부는 CCD 카메라일 수 있다.
한편, 상기 기판(100)에는 표면밀착제인 HDMS(Hexamethyldisilazane)가 스핀코팅되는 것이 바람직하나, 사용된 용매의 끓는점에 따라 ODTS(Octadecyltrichlorosilane)로 변경될 수 있다.
본 발명에서는 가장 적합한 표면 밀착제를 찾기 위해 표 1과 같이 세 가지 종류의 표면 밀착제를 가지고 물접촉각과 표면에너지를 측정하였다.
표 1을 참고로 설명하면, 옥타데실트리클로로실란(ODTS) 처리된 기판(100)은 낮은 표면에너지(28mJ/m2)로 인해 토출된 잉크가 마르기 전 수축되는 현상을 관찰되었으며, 이로 인해 패턴의 모양이 둥근 언덕과 같은 모양이 나왔다.
| 피라나처리 | HMDS | OTS | |
| 물접촉각(deg) | <5 | 66 | 104 |
| 표면에너지(mJ/㎡)* | 287 | 45 | 28 |
HMDS 처리된 기판(100)은 적절하게 높은 표면에너지(45mJ/m2)로 인해 패턴이 테이블과 같은 평평한 모양으로 형성되었다.
또한, 피라나 용액으로 세척된 기판(100)은 매우 높은 표면에너지로 인해 토출된 잉크의 확산으로 패턴형성이 원활하지 않는 것이 관찰되었다.
한편, 본 발명에 의한 유기재료 패턴 형성 장치를 이용하여 패턴을 형성하는 방법은 상기 용액저장부(200) 내부에 일정 양의 충진재를 충진하는 단계(S100)와, 상기 용액저장부(200)에 저장될 용액상태의 유기재료를 제조하는 단계(S200)와, 제조된 용액상태의 유기재료를 상기 용액저장부(200)에 넣는 단계(S300)와, 상기 위치조절부(400)에 의해 상기 토출부(300)의 위치를 조절하여 패턴을 형성하는 단계S(400)를 포함한다.
상기 용액저장부(200) 내부에 일정 양의 충진재를 충진하는 단계(S100)는 용액저장부(200)에 용액의 유동성을 감소시키고, 용액을 일정하게 구속하기 위해 수행된다.
상기 용액저장부(200)에 저장될 용액상태의 유기재료를 제조하는 단계(S200)에서, 상기 용액저장부(200)에 저장되는 용액 상태의 유기재료는 서로 다른 끓는점을 가지는 적어도 두 개 이상의 용매가 혼합된 것을 이용하여 제조될 수 있으며, 혼합된 상태에서 끓는점이 150~200℃인 것이 바람직하다.
용액 공정용 유기재료 중 결정성을 가지는 유기재료는 모세관 구조의 상기 토출부(300)에서 토출 시 패턴모양을 조절하기 위해 끓는점을 결정하는 것이 중요하다.
낮은 끓는점을 가지는 용매를 사용하는 경우, 패턴은 상기 토출부(300)에서 토출되어 처음 찍히는 형태, 또는 처음 그려지는 형태로 나오지만 빠른 용매의 증발로 인해 결정구조가 취약하다. 또한 용액이 토출되는 모세관이 있는 상기 토출부(300)의 단부에서 결정이 형성되지 때문에 상기 토출부(300)가 지저분해지고, 그 결과 패턴이 균일하지 못하다.
이에 따라, 본 발명에서는 용액 상태의 유기재료의 끓는점을 조절하기 위한 실험의 예로, 클로로벤젠 (끓는점 131.8도)과 1,2-다이클로로벤젠 (끓는점 180.4도)을 1:0, 2:1, 그리고 1:1로 혼합하였다.
그 결과, 클로로벤젠만으로 이루어진 bis (triisopropylsilylethynyl)pentacene 용액의 경우 토출부(300)의 단부에서 형성되던 결정이 2:1, 1:1혼합 용액에서는 관찰되지 않았고, 용매의 미세잔존시간의 증가로 인해 용질의 결정화도가 증가하는 것을 확인되었다.(도 3 참고)
또한, 상기 용액저장부(200)에 저장되는 용액 상태의 유기재료는 표면장력이 15~40dyn/cm인 적어도 두 개 이상의 용매가 혼합된 것을 이용하여 제조되는 것이 바람직하다.
본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치(1)에서 상기 토출부(300)를 통해 토출되는 유기재료의 양이 필요에 따라 적절히 조절될 수 있도록 사용되는 용매의 표면 장력을 조절하게 된다.
용액상태의 유기재료는 표면장력이 높으면 맺힘 현상이 강하게 나타나기 때문에 상기 토출부(300)를 통해 토출되는 용액의 양이 감소하게 되고, 표면장력이 낮으면 모세관 형태의 토출부(300) 내에서 이동현상이 활발해지므로 토출되는 용액의 양이 증가한다.
이에 따라, 본 발명에서는 bis (triisopropylsilylethynyl) pentacene 용액의 제조시 토출되는 용액의 양을 단계적으로 증가시키기 위해 사용되는 용매로서 클로로벤젠에 헥산을 1:0에서 2:1, 1:1로 변화시켰다.
클로로벤젠은 33.6 dyn/cm, 헥산은 18.4 dyn/cm의 표면장력을 가지고 있기 때문에, 헥산의 비율이 높을수록 전체 용액의 표면장력은 낮아지게 되고, 용액의 토출양은 증가한다. 실제 실험결과 용액의 토출량이 각각 10, 30% 정도 증가하는 것을 확인되었다.
이에 따라, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치(1)는 모세관 구조를 가지는 토출부(300)이 구비됨으로써, 모세관 현상을 통해 용액 상태의 유기재료를 일정한 속도와 부피로 토출할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법은 용액의 표면장력을 조절하여 모세관 현상을 통해 공급되는 용액의 부피가 일정하게 제어되도록 함으로써, 패턴 형성 효율을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
아울러, 본 발명의 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법은 용액공정용 유기재료에 사용되는 용매의 끓는점을 조절하여 사용함으로써, 패턴의 결정화 및 결정구조를 조절하고 최적의 패턴 구조를 얻을 수 있다는 장점이 있다.
본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
1 : 유기재료 패턴 형성 장치
100 : 기판
200 : 용액저장부
300 : 토출부
400 : 위치조절부
500 : 충진재
100 : 기판
200 : 용액저장부
300 : 토출부
400 : 위치조절부
500 : 충진재
Claims (11)
- 유기재료를 이용하여 패턴을 형성하는 장치에 있어서,
기판(100);
용액상태의 유기재료가 저장되는 용액저장부(200);
상기 용액저장부(200)로부터 유기재료를 공급받아 상기 기판(100) 위에 토출하여 패턴을 형성하며, 가늘고 긴 관 형태로 모세관 구조를 갖는 토출부(300); 및
상기 토출부(300)가 결합되며, 상기 토출부(300)의 위치를 조절하는 위치조절부(400); 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 유기재료 패턴 형성 장치(1)는
상기 토출부(300)의 모세관 직경에 따라 형성되는 패턴의 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 유기재료 패턴 형성 장치(1)는
상기 용액저장부(200)에 가해지는 압력에 따라 상기 토출부(300)로 토출되는 유기재료의 양이 조절되는 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 유기재료 패턴 형성 장치(1)는
상기 기판(100)에 표면밀착제인 HDMS(Hexamethyldisilazane)가 스핀코팅된 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 유기재료 패턴 형성 장치(1)는
상기 토출부(300)에서 토출된 용액에 의해 형성된 패턴을 촬영하는 모니터링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 의한 유기재료 패턴 형성 장치를 이용하여 패턴을 형성하는 방법에 있어서,
상기 용액저장부(200) 내부에 일정 양의 충진재를 충진하는 단계;
상기 용액저장부(200)에 저장될 용액상태의 유기재료를 제조하는 단계;
제조된 용액상태의 유기재료를 상기 용액저장부(200)에 넣는 단계;
상기 위치조절부(400)에 의해 상기 토출부(300)의 위치를 조절하여 패턴을 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 방법.
- 제 6항에 있어서,
상기 유기재료는
폴리스틸렌, 폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리티오펜, 비스(트리이소프로필실릴에티닐)펜타센(bis(triisopropylsilylethynyl)pentacene) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 7항에 있어서,
용액상태의 유기재료를 제조하는 단계에서는
서로 다른 끓는점을 가지는 적어도 두 개 이상의 용매가 혼합된 것이 이용되는 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 8항에 있어서,
상기 용매는
혼합된 상태에서 끓는점이 150~200℃인 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 9항에 있어서,
용액상태의 유기재료를 제조하는 단계에서는
표면장력이 15~40dyn/cm인 적어도 두 개 이상의 용매가 혼합된 것이 이용되는 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
- 제 6항에 있어서,
상기 충진재는
스펀지 형태 또는 섬유질 형태 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기재료 패턴 형성 장치.
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| KR1020120050627A KR101402831B1 (ko) | 2012-05-14 | 2012-05-14 | 유기재료 패턴 형성 장치 및 이를 이용한 유기재료 패턴 형성 방법 |
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