KR20130126076A - Particle collection device using surface acoustic streaming - Google Patents

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KR20130126076A
KR20130126076A KR1020120049852A KR20120049852A KR20130126076A KR 20130126076 A KR20130126076 A KR 20130126076A KR 1020120049852 A KR1020120049852 A KR 1020120049852A KR 20120049852 A KR20120049852 A KR 20120049852A KR 20130126076 A KR20130126076 A KR 20130126076A
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정성환
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단국대학교 산학협력단
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Abstract

Disclosed is an impurity collecting device for easily collecting impurities on a plane to detect or wash the impurities. As an example, the impurity collecting device collecting the impurities formed on the plane to a specific region includes an acoustic flow part forming surface acoustic flow on the plane.

Description

표면 음향 유동을 이용한 불순물 포집 디바이스{Particle Collection Device Using Surface Acoustic Streaming}[0001] The present invention relates to a surface acoustic wave

본 발명은 표면 음향 유동을 이용한 불순물 포집 디바이스에 관한 것이다.
The present invention relates to an impurity trapping device using a surface acoustic flow.

근래 들어, 액정 디스플레이 장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 장치(PDP)와 같은 디스플레이 뿐만 아니라, 유기 전계 박막 표시 장치(OLED)와 같은 디스플레이가 발전함에 따라, 대면적의 글래스가 사용되고 있다. 또한, 반도체 산업에 있어서도, 예전에 비해 웨이퍼의 크기가 점차 커져서, 한번에 생산되는 반도체 다이의 양이 늘어나고 있다.
In recent years, as displays such as liquid crystal display devices (LCDs) and plasma display devices (PDPs) as well as displays such as organic field thin film displays (OLEDs) have developed, large area glasses have been used. Also in the semiconductor industry, the size of the wafer gradually increases as compared with the past, and the amount of the semiconductor die produced at one time increases.

그리고 이러한 글래스 또는 웨이퍼와 같은 평면들은 표면에 존재하는 불순물을 세정하는 것이 중요하며, 이에 따라 많은 연구가 이루어지고 있다.
And it is important to clean such glass or wafer-like planes of impurities present on the surface, and a lot of research has been done accordingly.

그런데, 점차 평면의 면적이 넓어짐에 따라 불순물의 양은 늘어나는 반면, 면적에 대한 불순물의 크기는 매우 작기 때문에, 이러한 불순물을 세정하는데 많은 시간과 노력이 수반된다.
However, since the amount of the impurity increases gradually as the area of the plane gradually increases, the amount of the impurity to the area is very small, and therefore, it takes a lot of time and effort to clean the impurity.

본 발명은 평면에 존재하는 불순물들을 용이하게 포집하여 검출되거나 세정될 수 있도록 제공하는 불순물 포집 디바이스를 제공한다.
The present invention provides an impurity trapping device that easily captures impurities present in a plane to be detected or cleaned.

본 발명에 따른 불순물 포집 디바이스는 평면에 형성된 불순물을 정해진 영역 내로 포집하는 불순물 포집 디바이스에 있어서, 상기 불순물 포집 디바이스는 상기 평면에 표면 음향 유동을 형성하는 음향 유동부를 포함할 수 있다.An impurity trapping device according to the present invention is an impurity trapping device for trapping impurities formed in a plane into a predetermined region, wherein the impurity trapping device may include an acoustic flow portion for forming a surface acoustic flow in the plane.

여기서, 상기 음향 유동부는 상기 평면과 이격되어 나란하게 형성되고, 정재파를 생성하여 상기 평면에 음향 유동에 따른 마디선을 형성할 수 있다.Here, the acoustic flow unit may be formed to be spaced apart from and spaced from the plane, and may generate standing waves to form nodal lines along the acoustic flow on the plane.

그리고 상기 음향 유동부가 상기 평면과 이격된 거리는 상기 정재파의 파장과 동일할 수 있다.The distance between the acoustic flow unit and the plane may be equal to the wavelength of the standing wave.

또한, 상기 마디선은 상기 정재파의 배를 기준으로 중심에 형성될 수 있다.In addition, the nodal line may be formed at the center of a fold of the standing wave.

또한, 상기 평면상의 불순물은 상기 마디선을 중심으로 모여서 포집될 수 있다.In addition, the planar impurities can be gathered around the nodal line and collected.

또한, 상기 음향 유동부는 양측에 상기 음향 유동부와 수직하게 형성된 지지부에 의해 결합될 수 있다.In addition, the acoustic flow portion may be coupled to both sides of the acoustic flow portion by a support portion formed perpendicular to the acoustic flow portion.

또한, 상기 평면은 상기 음향 유동부를 기준으로 양면에 각각 위치한 한 쌍으로 형성될 수 있다.In addition, the plane may be formed as a pair located on both sides with respect to the acoustic flow part.

또한, 상기 음향 유동부는 양측이 고정된 상기 평면의 적어도 하나의 지점에 초음파를 입사하여 상기 평면에 표면 음향 유동을 형성할 수 있다.In addition, the acoustic flow unit may generate a surface acoustic flow in the plane by injecting ultrasonic waves into at least one point of the plane on which both sides are fixed.

또한, 상기 음향 유동부는 일측이 고정된 상기 평면의 타측에 결합되고, 상기 평면을 상하 방향에서 진동하여 상기 평면에 표면 음향 유동을 형성할 수 있다.The acoustic flow unit may be coupled to the other side of the plane on which one side is fixed, and may oscillate in a vertical direction to form a surface acoustic flow on the plane.

또한, 상기 음향 유동부는 평면의 양측에 결합되고, 상기 평면을 상하 방향에서 진동할 수 있다.
Further, the acoustic flow portion is coupled to both sides of the plane, and the plane can vibrate in the vertical direction.

본 발명에 의한 불순물 포집 장치는 평면상에 일정 거리로 이격된 유동 음향부를 설치하고, 음향 유동부가 평면에 대해 파동을 발생하여 표면 음향 유동을 유발함으로써, 평면상의 불순물들이 용이하게 포집되도록 할 수 있다.The impurity trapping apparatus according to the present invention is provided with a floating acoustical unit spaced at a predetermined distance on a plane, and the acoustical flow unit induces a surface acoustical flow by generating a wave with respect to a plane, so that the planar impurities can be easily collected .

또한, 본 발명에 의한 불순물 포집 디바이스는 평면의 상부에 음향 유동부를 구비하고, 음향 유동부가 평면에 초음파를 인가하여 표면 음향 유동을 유발함으로써, 평면상의 불순물들이 용이하게 포집되도록 할 수 있다.Further, the impurity trapping device according to the present invention includes an acoustic flow portion on the upper surface, and the acoustic flow portion applies ultrasonic waves to the surface to cause a surface acoustic flow, so that the impurities on the surface can be easily collected.

또한, 본 발명에 의한 불순물 포집 디바이스는 평면의 일측에 음향 유동부를 결합하고, 음향 유동부가 평면을 상하 방향에서 진동시킴으로써, 평면에 표면 음향 유동을 유발하여 평면상의 불순물들이 용이하게 포집되도록 할 수 있다.In addition, the impurity trapping device according to the present invention can combine the acoustic flow part on one side of the plane and vibrate the plane of the acoustic flow part in the up and down direction, thereby causing a surface acoustic flow on the plane so that the impurities on the plane can be easily collected .

또한, 본 발명에 의한 불순물 포집 디바이스에 의해 포집된 불순물들은 분산된 불순물에 비해 용이하게 검출 및 세정될 수 있으므로, 시간을 줄이고 효과를 높일 수 있다.
In addition, since the impurities trapped by the impurity trapping device according to the present invention can be detected and cleaned easily compared with the dispersed impurities, the time can be reduced and the effect can be increased.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 표면 음향 유동을 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 표면 음향 유동에 따라 불순물들이 포집되는 것을 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스에 의해 불순물이 포집된 평면을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 개략도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 개략도이다.1 is a schematic diagram of an impurity trapping device according to an embodiment of the present invention.
2 shows a surface acoustic flow of an impurity trapping device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 shows that impurities are collected according to the surface acoustic flow of the impurity trapping device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 shows a plane in which impurities are trapped by an impurity trapping device according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic diagram of an impurity trapping device according to another embodiment of the present invention.
6 is a schematic diagram of an impurity trapping device according to another embodiment of the present invention.

본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, so that those skilled in the art can easily carry out the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 개략도이다.1 is a schematic diagram of an impurity trapping device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(100)는 평면(10)의 일면으로부터 이격되어 형성된다. 여기서, 상기 평면(10)은 평판 디스플레이 등에 적용되는 글래스(glass) 등의 형태일 수 있다. 또한, 상기 평면(10)은 하나만 도시되어 있으나, 상기 불순물 포집 디바이스(100)를 기준으로 양면에 각각 형성된 한 쌍으로 형성되는 것도 가능하다.Referring to FIG. 1, the impurity trapping device 100 according to an embodiment of the present invention is formed apart from one surface of the flat surface 10. Here, the plane 10 may be in the form of glass or the like applied to a flat panel display or the like. In addition, although only one plane 10 is shown, it may be formed as a pair formed on both sides of the impurity trapping device 100 as a reference.

그리고 불순물 포집 디바이스(100)는 평면(10)에 대략 수평하게 형성된 음향 유동부(110)를 포함하고, 음향 유동부(110)의 양측에는 상기 음향 유동부(110)를 지지하기 위한 지지부(120, 130)가 더 형성될 수 있다.
The impurity trapping device 100 includes an acoustic floating part 110 formed substantially horizontally on the plane 10 and a supporting part 120 for supporting the acoustic floating part 110 on both sides of the acoustic floating part 110. [ , 130 may be further formed.

상기 음향 유동부(110)는 상기 평면(10)으로부터 일정 거리를 유지하면서 수평 방면에서 나란하게 형성된다. 상기 음향 유동부(110)는 상기 지지부(120, 130)와 수직하게 형성되고, 상기 지지부(120, 130)에 의해 고정된다. 또한, 상기 음향 유동부(110)는 상기 주기적인 진동을 형성한다. 상기 진동의 일 예로서, 상기 음향 유동뷰(110)는 상기 평면(10)에 대해 일정한 길이의 파장(λ)을 갖는 정재파(Standing Wave)를 형성할 수 있으나, 상기 정재파로서 본 발명의 내용을 한정하는 것은 아니다. 다만, 설명의 편의를 위해, 이하에서는 정재파를 기준으로 설명하도록 한다. 상기 음향 유동부(110)는 길이 방향을 따라 다수개의 노드(node)를 형성하고, 상기 노드의 사이에 배가 형성되도록 상기 정재파를 생성하여, 상기 평면(10)에 대해 일정한 파동을 형성한다. 상기 음향 유동부(110)는 상기 평면(10)에 대해 상기 파장(λ)과 유사한 거리를 두면서 형성된다. 따라서, 상기 음향 유동부(110)에서 발생된 정재파는 상기 평면(10)에 대해 표면 음향 유동을 통해 마디선을 일으키게 되며, 이에 따라, 상기 평면(10) 상에 존재하는 불순물들이 상기 평면(10)을 따라 이동하여 포집될 수 있다. 상기 불순물 포집의 구체적인 동작은 이하에서 후술하기로 한다.
The acoustic transducer 110 is formed to be parallel to the horizontal plane while maintaining a certain distance from the plane 10. The acoustic transducer 110 is formed perpendicularly to the supports 120 and 130 and is fixed by the supports 120 and 130. In addition, the acoustical fluid 110 forms the periodic vibration. As an example of the vibration, the acoustic flow view 110 may form a standing wave having a predetermined wavelength λ with respect to the plane 10, But is not limited to. For the sake of convenience of explanation, the following description will be made on the basis of standing waves. The acoustic transducer 110 forms a plurality of nodes along the longitudinal direction and generates the standing waves to form a doubled wave between the nodes to form a constant wave with respect to the plane 10. [ The acoustic fluid 110 is formed at a distance similar to the wavelength? With respect to the plane 10. Therefore, the standing wave generated in the acoustic fluid 110 causes a nodal line through the surface acoustic flow with respect to the plane 10, so that the impurities existing on the plane 10 are separated from the plane 10 ) And can be collected. The specific operation of the impurity trapping will be described below.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 표면 음향 유동을 도시한 것이다.2 shows a surface acoustic flow of an impurity trapping device according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(100)에서 음향 유동부(110)가 구동을 시작하면, 상기 음향 유동부(110)의 파동에 의해 상기 평면(10)에 대해 화살표로 도시된 방향처럼 마디선(nodal line)이 발생한다. 상기 마디선은 상기 정재파의 한 주기에 대해 일대일로 대응된다. 상기 마디선은 상기 정재파의 한 파장(λ)을 기준으로, 배의 중심을 향하는 방향으로 순환하도록 형성된다. 바꿔서 말하면, 상기 마디선은 각 노드 사이의 중심을 향하는 방향으로 순환하면서 형성된다. 그리고 이에 따라, 상기 불순물(11)들이 점차적으로 상기 마디선을 따라 이동하여 포집될 수 있다.
Referring to FIG. 2, in the impurity trapping device 100 according to an embodiment of the present invention, when the acoustic dynamic portion 110 starts driving, the vibration of the acoustic dynamic portion 110 causes the surface 10 A nodal line is generated as indicated by the arrows. The nodal lines correspond one-to-one with respect to one period of the standing wave. The nodal line is formed so as to circulate in the direction toward the center of the fold with respect to one wavelength (?) Of the standing wave. In other words, the node lines are formed circulating in the direction toward the center between the nodes. Accordingly, the impurities 11 can be gradually moved along the nodal line and collected.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 표면 음향 유동에 따라 불순물들이 포집되는 것을 도시한 것이다.FIG. 3 shows that impurities are collected according to the surface acoustic flow of the impurity trapping device according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(100)에서 음향 유동부(110)에 의해 발생된 표면 음향 유동에 따른 마디선을 따라 평면(10)상의 불순물(11)들이 상기 배의 중심을 향해 포집된다. 즉, 표면 음향 유동에 의해 효율적으로 이송되는 불순물의 크기는 표면 음향 유동을 발생시키는 초음파의 주파수가 증가할수록 작아진다. 상기 불순물(11)들은 크기가 미세하더라도, 발생된 표면 음향 유동에 의해 이동될 수 있다. 또한, 상기 불순물(11)들은 상기 표면 음향 유동에 의해서 상기 평면(10) 상에서 파장(λ)을 중심으로 일정 거리 이내에 분포되도록 포집된다. 따라서, 고주파수의 초음파에 의해 발생하는 음향 유동을 이용할 경우 미세한 상기 불순물(11)들을 모을 수 있기 때문에, 불순물이 분산되어 있는 상태에 비해 불순물(11)들을 검출하거나 세정하는 것이 용이하다.
3, the impurities 11 on the plane 10 along the nodal line according to the surface acoustic flow generated by the acoustical fluid 110 in the impurity trapping device 100 according to the embodiment of the present invention And is collected toward the center of the boat. That is, the size of the impurities efficiently transported by the surface acoustic flow becomes smaller as the frequency of the ultrasonic waves generating the surface acoustic flow increases. The impurities 11 can be moved by the generated surface acoustic flow even if they are fine in size. Further, the impurities 11 are collected by the surface acoustic wave to be distributed within a predetermined distance around the wavelength? On the plane 10. Therefore, when the acoustic flow generated by ultrasonic waves at high frequencies is used, it is easy to detect or clean the impurities 11 as compared with a state in which the impurities are dispersed because the impurities 11 can be collected finely.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스에 의해 불순물이 포집된 평면을 도시한 것이다.FIG. 4 shows a plane in which impurities are trapped by an impurity trapping device according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(100)에 의해 불순물(11)들이 포집되면, 상기 불순물(11)들은 평면(10) 상에서 일정 영역, 예를 들어 일정 거리(l) 내에 모인 적어도 하나의 그룹을 형성하면서 포집된다. 여기서, 상기 평면(10)의 면적과 상기 음향 유동부(110)에 사용된 파장(λ)의 관계에 따라 상기 불순물(11)의 그룹들이 결정된다. 예를 들어, 평면(10)의 면적에 대해, 파장(λ)이 1/2에 해당되면, 도 4에 도시되어 있는 것처럼 불순물(11)이 포집된 그룹은 2개로 나타난다. 다만, 도 4에서는 2개로 도시하였으나, 실제의 사용에서 평면(10)에 비해 파장(λ)은 매우 작기 때문에, 이러한 불순물(11)의 그룹들은 다수개로 나타나게 되며, 이러한 그룹의 수로써 본 발명의 내용을 한정하는 것은 아니다.Referring to FIG. 4, when the impurities 11 are collected by the impurity trapping device 100 according to an embodiment of the present invention, the impurities 11 are removed from the surface 10 in a predetermined region, lt; RTI ID = 0.0 > l). < / RTI > Here, the groups of the impurities 11 are determined according to the relationship between the area of the plane 10 and the wavelength? Used in the acoustical fluid 110. For example, when the wavelength? Corresponds to 1/2 of the area of the plane 10, two groups in which the impurities 11 are collected are shown as shown in Fig. 4, since the wavelength λ is very small as compared with the plane 10 in actual use, the number of the groups of the impurities 11 is represented by a plurality of groups. But does not limit the contents.

또한, 이렇게 그룹지어진 불순물(11)들은 각각이 분산되어 있는 경우에 비해 검출이 용이하기 때문에, 평면(10)상에 존재하는 불순물(11)들의 정도를 검출하는데 용이하게 사용될 수 있다. 또한, 미세한 불순물(11)들을 일일이 세정하는 것에 비해, 그룹지어진 불순물(11)들을 세정하면 손쉽게 불순물(11)들을 제거할 수 있기 때문에 세정에 필요한 시간은 줄이면서도, 세정 효과를 높일 수 있다.
Further, the grouped impurities 11 can be easily used for detecting the degree of the impurities 11 existing on the plane 10, since they are easier to detect than when they are dispersed. In addition, since the impurities 11 can be easily removed by cleaning the grouped impurities 11 as compared with the case where the minute impurities 11 are cleaned individually, the time required for cleaning can be reduced, and the cleaning effect can be enhanced.

상기와 같이 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(100)는 평면(10) 상에 일정 거리로 이격된 유동 음향부(110)를 설치하고, 음향 유동부(110)가 평면(10)에 대해 정재파를 발생하여 표면 음향 유동을 유발함으로써, 평면(10) 상의 불순물(11)들이 용이하게 포집되도록 할 수 있다. 또한, 본 발명의 본 발명의 일 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(100)에 의해 포집된 불순물(11)들은 용이하게 검출 및 세정될 수 있으므로, 시간을 줄이고 효과를 높일 수 있다.
As described above, the impurity trapping device 100 according to an embodiment of the present invention includes the flow acoustic unit 110 spaced apart from the plane 10 by a predetermined distance, 10 so that the impurities 11 on the plane 10 can be easily collected by causing a surface acoustic flow. In addition, the impurities 11 captured by the impurity trapping device 100 according to an embodiment of the present invention can be easily detected and cleaned, thereby reducing the time and increasing the effect.

이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 구성을 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration of the impurity trapping device according to another embodiment of the present invention will be described.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 개략도이다.5 is a schematic diagram of an impurity trapping device according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(200)는 평면(10)의 상부에 형성된 음향 유동부(210)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 5, the impurity trapping device 200 according to another embodiment of the present invention includes an acoustic floating part 210 formed on a top surface 10.

상기 평면(10)은 양측이 고정되어 있고, 상기 음향 유동부(210)는 상기 평면(10)과 일정 거리를 두고 이격되어 위치한다. 상기 음향 유동부(210)는 상기 평면(10)의 적어도 하나의 지점에 대해 국부적으로 초음파를 인가한다. 그리고 이에 따라, 양측이 고정된 상기 평면(10)에 정재파가 발생하고, 발생된 정재파에 의해 음향 유동이 발생하며, 음향 유동의 진동에 의해 파티클(11)들이 포집된다. 따라서, 상기 평면(10)은 상기 파티클(11)은 상기 평면(10)의 일정 영역에서 포집되며, 이에 따라 추후 파티클(11)을 검출하거나 세정하는 과정이 용이하게 이루어질 수 있다.
The plane 10 is fixed on both sides, and the acoustic fluid 210 is spaced apart from the plane 10 by a certain distance. The acoustic transducer 210 locally applies ultrasonic waves to at least one point of the plane 10. [ Thus, a standing wave is generated on the plane 10 on which the both sides are fixed, acoustic flow is generated by the generated standing waves, and the particles 11 are collected by the vibration of the acoustic flow. Accordingly, in the plane 10, the particle 11 is collected in a certain region of the plane 10, so that the process of detecting or cleaning the particle 11 can be facilitated.

이하에서는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 구성을 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration of the impurity trapping device according to still another embodiment of the present invention will be described.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스의 개략도이다.6 is a schematic diagram of an impurity trapping device according to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(300)는 상기 평면(10)에 결합된 음향 유동부(310)를 포함하여 구성된다. 상기 평면(10)의 일측은 움직이지 않도록 고정되어 있고, 상기 음향 유동부(310)는 상기 평면(10)의 타측에 결합된다. 또한, 상기 음향 유동부(310)는 상기 평면(10)을 상하 방향에서 일정한 주기로 미세 진동시킨다. 그리고 상기 평면(10)에 발생된 표면 음향 유동에 의해, 상기 평면(10)의 파티클(11)들은 일정 영역으로 포집된다. 따라서, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 불순물 포집 디바이스(300)는 상기 평면(10)의 파티클(11)들을 용이하게 포집하여, 이후 검출 또는 세정이 용이하게 이루어지도록 할 수 있다.
Referring to FIG. 6, the impurity trapping device 300 according to another embodiment of the present invention includes an acoustic floating unit 310 coupled to the plane 10. One side of the plane 10 is fixed so as not to move, and the acoustic fluid 310 is coupled to the other side of the plane 10. In addition, the acoustical fluid unit 310 finely vibrates the plane 10 in a predetermined period in the vertical direction. And, by the surface acoustic flow generated in the plane 10, the particles 11 of the plane 10 are collected in a certain area. Accordingly, the impurity trapping device 300 according to another embodiment of the present invention can easily collect the particles 11 on the plane 10, so that detection or cleaning can be easily performed thereafter.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 의한 표면 음향 유동을 이용한 불순물 포집 디바이스를 실시하기 위한 실시예들에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
It is to be understood that the invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments of the invention, It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention.

100, 200, 300; 불순물 포집 디바이스
110, 210, 310; 음향 유동부 120, 130; 지지부
10; 평면 11; 불순물100, 200, 300; Impurity trapping device
110, 210, 310; Acoustic flow units 120 and 130; Support
10; Plane 11; impurities

Claims (10)

평면에 형성된 불순물을 정해진 영역 내로 포집하는 불순물 포집 디바이스에 있어서,
상기 불순물 포집 디바이스는
상기 평면에 표면 음향 유동을 형성하는 음향 유동부를 포함하는 불순물 포집 디바이스.An impurity trapping device for trapping impurities formed on a plane into a predetermined region,
The impurity trapping device
And an acoustic flow portion for forming a surface acoustic flow in said plane. 제 1 항에 있어서,
상기 음향 유동부는 상기 평면과 이격되어 나란하게 형성되고, 정재파를 생성하여 상기 평면에 음향 유동에 따른 마디선을 형성하는 불순물 포집 디바이스.The method of claim 1,
The acoustic flow portion is formed side by side spaced apart from the plane, and generates a standing wave to form a nodal line in accordance with the acoustic flow in the plane. 제 2 항에 있어서,
상기 음향 유동부가 상기 평면과 이격된 거리는 상기 정재파의 파장과 동일한 불순물 포집 디바이스.3. The method of claim 2,
Wherein a distance between the acoustic flow portion and the plane is equal to a wavelength of the standing wave. 제 2 항에 있어서,
상기 마디선은 상기 정재파의 배를 기준으로 중심에 형성되는 불순물 포집 디바이스.3. The method of claim 2,
Wherein the nodal line is formed at the center of a fold of the standing wave. 제 2 항에 있어서,
상기 평면상의 불순물은 상기 마디선을 중심으로 모여서 포집되는 불순물 포집 디바이스.3. The method of claim 2,
Wherein the planar impurities are gathered around the nodal line and collected. 제 2 항에 있어서,
상기 음향 유동부는 양측에 상기 음향 유동부와 수직하게 형성된 지지부에 의해 결합된 불순물 포집 디바이스.3. The method of claim 2,
The impurity collecting device is coupled to the acoustic flow portion on both sides by a support portion formed perpendicular to the acoustic flow portion. 제 2 항에 있어서,
상기 평면은 상기 음향 유동부를 기준으로 양면에 각각 위치한 한 쌍으로 형성된 불순물 포집 디바이스.3. The method of claim 2,
Wherein the planes are formed in pairs on both sides of the acoustic flow portion. 제 1 항에 있어서,
상기 음향 유동부는 양측이 고정된 상기 평면의 적어도 하나의 지점에 초음파를 입사하여 상기 평면에 표면 음향 유동을 형성하는 불순물 포집 디바이스.The method of claim 1,
And the acoustic flow portion injects ultrasonic waves into at least one point of the plane on which both sides are fixed to form surface acoustic flow in the plane. 제 1 항에 있어서,
상기 음향 유동부는 일측이 고정된 상기 평면의 타측에 결합되고, 상기 평면을 상하 방향에서 진동하여 상기 평면에 표면 음향 유동을 형성하는 불순물 포집 디바이스.The method of claim 1,
Wherein the acoustic flow portion is coupled to the other side of the plane on which one side is fixed and vibrates in a vertical direction to form a surface acoustic flow on the plane. 제 9 항에 있어서,
상기 음향 유동부는 평면의 양측에 결합되고, 상기 평면을 상하 방향에서 진동하는 불순물 포집 장치.The method of claim 9,
The acoustic flow unit is coupled to both sides of the plane, the impurity collecting device vibrating the plane in the vertical direction.
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