KR20130124024A - Apparatus for growing large diameter single crystal and method for growing using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 대구경 단결정 성장장치 및 이를 이용하는 성장방법으로서, 도가니의 균일한 승화가 가능해짐에 따라 중앙이 볼록하지 않은 편평한 잉곳을 만들어 고품의 단결정을 구현할 수 있는 대구경 단결정 성장장치 및 이를 이용하는 성장방법에 관한 것이다.
The present invention is a large-diameter single crystal growth apparatus and a growth method using the same, the large-diameter single crystal growth apparatus capable of realizing high-quality single crystal by making a flat ingot not convex in the center as uniform crucible of the crucible becomes possible, and a growth method using the same. It is about.
대표적인 반도체 소자 재료로 사용된 규소(Si)가 물리적 한계를 보이게 됨에 따라, 차세대 반도체 소자 재료로서 탄화규소(SiC), 질화갈륨(GaNL), 질화알루미늄(AlN) 및 산화아연(ZnO) 등의 광대역 반도체 재료가 각광을 받고 있다.As silicon (Si) used as a representative semiconductor device material shows physical limitations, broadband materials such as silicon carbide (SiC), gallium nitride (GaNL), aluminum nitride (AlN) and zinc oxide (ZnO) are used as next-generation semiconductor device materials. Semiconductor materials are in the limelight.
여기에서, 질화갈륨, 질화알루미늄 및 산화아연에 비해 탄화규소는 열적 안정성이 우수하고, 내산화성이 우수한 특징을 가지고 있다.Here, silicon carbide has excellent thermal stability and excellent oxidation resistance as compared to gallium nitride, aluminum nitride, and zinc oxide.
또한 탄화규소는 4.6W/Cm℃ 정도의 우수한 열 전도도를 가지고 있으며, 직경 2인치 이상의 대구경의 기판으로서 생산 가능하다는 장점이 있어, 질화갈륨, 질화알루미늄, 및 산화아연 등의 기판에 비해 각광을 받고 있다.
In addition, silicon carbide has an excellent thermal conductivity of about 4.6 W / Cm ° C., and has the advantage of being able to be produced as a large-diameter substrate having a diameter of 2 inches or more, which has received much attention compared to substrates such as gallium nitride, aluminum nitride, and zinc oxide. have.
근래에 들어 탄화규소의 경우 직경이 보다 확장 되면서 4인치 기판은 생산이 가능한 정도로 발전하였지만, 6인치 이상의 기판의 생산은 현재 미비한 실정이다.Recently, in the case of silicon carbide, as the diameter is more expanded, 4 inch substrates have been developed to the extent that production is possible, but production of substrates larger than 6 inches is currently inadequate.
이러한 탄화규소의 단결정을 성장시키기 위해서는, 일반적으로 PVT 법(physical Vapor Transport)을 이용한다.In order to grow such a single crystal of silicon carbide, PVT method (physical vapor transport) is generally used.
즉, 먼저 탄화규소로 이루어진 종자정을 종자정 홀더에 부착하고, 이를 성장장비 내부에 장입한다.That is, the seed crystal made of silicon carbide is first attached to the seed crystal holder and charged into the growth equipment.
그리고 도가니의 내부에 장입된 원료 물질 즉, 탄화규소 파우더를 가열하고, 이를 승화시켜 종자정에 단결정을 성장시킨다.Then, the raw material charged into the crucible, that is, silicon carbide powder is heated and sublimed to grow single crystals in seed crystals.
이때, 승화를 시키는 주된 원동력은 성장장치 내의 유도코일에 전류를 흘려주면 고주파에 의한 도가니 표피의 가열에 의해서 외부에서 내부로 열이 전도, 복사되어 이루어진다.At this time, the main driving force for sublimation is that the current is conducted to the induction coil in the growth apparatus, and heat is conducted and radiated from the outside to the inside by heating the crucible skin by high frequency.
이러한 단결정 성장방법은 구경이 점점 커질수록 성장된 단결정의 품질 특성과 수율에 큰 영향을 미치게 된다.
This single crystal growth method has a large influence on the quality characteristics and yield of the grown single crystal as the aperture size increases.
한편, 종래에 4 인치 이하 구경이 작은 경우, 단일 유도코일을 사용하여 가열하여도 단결정 제작에 있어서 큰 영향을 미치지 않는다.On the other hand, in the case where the aperture of 4 inches or less is conventionally small, even heating with a single induction coil does not have a large effect in producing a single crystal.
그러나, 대구경 적용에 있어서 상기와 같은 단일 유도 코일 방식 적용은 여러가지 문제를 야기할 수 있다. 단결정의 직경이 넓어지게 되면 도가니 크기도 이에 비례하여 가로로 넓어지게 되므로 도가니 내벽부와 도가니 중심부의 온도 편차가 크게 되고, 원료 파우더의 균일한 승화가 불가능하게 된다.However, in large diameter applications, such a single induction coil type application can cause various problems. As the diameter of the single crystal becomes wider, the size of the crucible becomes wider in proportion to it, so that the temperature variation between the inner wall of the crucible and the center of the crucible becomes large, and uniform sublimation of the raw powder is impossible.
이에 따라, 성장된 잉곳도 편평하지 못하며 중앙이 볼록해진 형태가 되기 때문에 고품질의 단결정 구현이 힘드는 문제점이 있다.Accordingly, the grown ingot is also not flat and has a problem in that it is difficult to implement high quality single crystal because the center becomes convex.
또한, 낮은 중심부의 온도에 의해 승화되지 못한 원료 파우더가 도가니 내부에 잔류하여 최종적으로 잉곳의 수율도 저하시키고, 단결정을 성장시키는 공정 시간이 길어지게 되는 한계점이 있다.
In addition, there is a limitation that the raw material powder not sublimed by the temperature of the low center portion remains in the crucible and finally the yield of the ingot also decreases, and the process time for growing the single crystal becomes long.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 도가니의 수평온도편차를 차단하여 도가니의 균일한 승화가 가능해짐에 따라 중앙이 볼록하지 않은 편평한 잉곳을 만들어 고품의 단결정을 구현할 수 있는 대구경 단결정 성장장치 및 이를 이용하는 성장방법를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
The present invention was devised to solve the above problems, and by blocking the horizontal temperature deviation of the crucible, it becomes possible to uniform sublimation of the crucible to create a flat ingot that is not convex in the center to realize a high quality single crystal It is an object to provide a single crystal growth apparatus and a growth method using the same.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대구경 단결정 성장장치 및 이를 이용하는 성장방법는, 원료가 장입되는 도가니; 상기 도가니를 감싸며 상,하부가 개방된 석영관; 상기 석영관의 상,하부를 폐쇄하는 플랜지; 상기 석영관의 감싸는 제1 가열수단; 및 단결정의 대구경 성장을 위해 수평온도편차를 차단하도록, 상기 석영관 내에서 상기 도가니 하부에 배치되는 제2 가열수단;을 포함한다.
Large-diameter single crystal growth apparatus and a growth method using the same according to a preferred embodiment of the present invention to achieve the above object, the raw material is charged crucible; A quartz tube surrounding the crucible and having upper and lower portions open; A flange for closing the upper and lower portions of the quartz tube; First heating means for wrapping the quartz tube; And second heating means disposed under the crucible in the quartz tube so as to block horizontal temperature deviation for large diameter growth of single crystal.
이때, 상기 제2 가열수단은, 전류가 공급되어 상기 도가니를 저항가열하며 중심으로 갈수록 높은 저항가열을 하는 흑연판인 것이 바람직하다.At this time, the second heating means, it is preferable that the current plate is a graphite plate for heating resistance of the crucible and high resistance heating toward the center.
여기에서, 상기 흑연판은 비저항값이 중심으로 갈수록 높은 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the graphite plate has a higher resistivity value toward the center.
대안으로서, 상기 흑연판은 중심으로 갈수록 두께가 두꺼워지는 것이 바람직하다.As an alternative, the graphite plate is preferably thickened toward the center.
한편, 상기 제1 가열수단은, 고주파 전류가 공급되어 상기 도가니를 유도가열하는 고주파 유도코일인 것이 바람직하다.
On the other hand, it is preferable that the first heating means is a high frequency induction coil supplied with a high frequency current to induction heating the crucible.
그리고, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 종자정홀더에 종자정을 부착시키는 종자정 부착단계; 상기 종자정홀더를 도가니 내의 상부에 배치고정시키는 홀더 인입단계; 상기 도가니 내에 원료를 장입시키는 원료 장입단계; 상기 원료를 승화시켜 상기 종자정에 부착시켜 단결정으로 성장시키도록, 제1 가열수단으로 상기 도가니를 가열하는 제1 가열단계; 및 상기 도가니의 수평온도편차를 차단하도록 제2 가열수단으로 상기 도가니를 가열하는 제2 가열단계;를 포함하는 대구경 단결정 성장방법이 제공된다.
And, according to another aspect of the invention, the seed crystal attachment step of attaching the seed crystal to the seed crystal holder; A holder retracting step of arranging and fixing the seed crystal holder above the crucible; A raw material charging step of charging the raw material into the crucible; A first heating step of heating the crucible with first heating means to sublimate the raw material and attach it to the seed crystal to grow into a single crystal; And a second heating step of heating the crucible by a second heating means to block horizontal temperature deviation of the crucible.
이때, 상기 제2 가열단계에서, 상기 제2 가열수단은 전류가 공급되어 상기 도가니를 저항가열하는 저항가열 흑연판으로 이루어진 것이 바람직하다.At this time, in the second heating step, the second heating means is preferably made of a resistance heating graphite plate that is supplied with a current resistance resistance heating the crucible.
여기에서, 상기 흑연판은 비저항값이 중심으로 갈수록 높은 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the graphite plate has a higher resistivity value toward the center.
대안으로서, 상기 흑연판은 중심으로 갈수록 두께가 두꺼워지는 것이 바람직하다.As an alternative, the graphite plate is preferably thickened toward the center.
이와 같은 본 발명은, 상기 원료가 탄화규소(SiC)인 경우, 4인치 이상의 6H/4H형 탄화규소 단결정으로 성장시킬 수 있다.
In the present invention, when the raw material is silicon carbide (SiC), it can be grown to 6H / 4H type silicon carbide single crystal of 4 inches or more.
본 발명에 따른 대구경 단결정 성장장치 및 이를 이용하는 성장방법은, 도가니의 하부에서 저항가열을 발생시키고 아울러 중심으로 갈수록 높은 저항가열이 이루어지도록 하는 흑연판인 제2 가열수단에 의해 도가니가 추가가열됨으로써, 도가니의 균일한 승화가 가능해짐에 따라 중앙이 볼록하지 않은 편평한 잉곳을 만들어 고품질의 단결정을 구현할 수 있는 효과를 가진다.In the large-diameter single crystal growth apparatus and the growth method using the same, the crucible is additionally heated by the second heating means, which is a graphite plate which generates resistance heating at the bottom of the crucible and also achieves high resistance heating toward the center. The uniform sublimation of the crucible enables the creation of a high quality single crystal by making a flat ingot with no convex center.
아울러, 낮은 중심부의 온도에 의해 승화되지 못한 원료 파우더로 인하여 잉곳의 수율이 저하되는 문제를 해결하여, 결과적으로 대구경 단결정 성장에 대한 공정시간의 지연을 차단할 수 있는 장점을 지닌다.
In addition, it solves the problem that the yield of the ingot is lowered due to the raw material powder that is not sublimated by the temperature of the low center, and as a result has the advantage of blocking the process time delay for large diameter single crystal growth.
도 1는 본 발명에 따른 대구경 단결정 성장장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 다른 측면에 따른 대구경 단결정 성장방법을 나타낸 흐름도이다.1 is a schematic view showing a large diameter single crystal growth apparatus according to the present invention.
2 is a flowchart illustrating a large-diameter single crystal growth method according to another aspect of the present invention.
이하, 도면을 참고하여 본 발명을 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1은 본 발명에 따른 대구경 단결정 성장장치를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing a large diameter single crystal growth apparatus according to the present invention.
도면을 참조하면, 본 발명은 원료(1)가 장입되는 도가니(20), 상기 도가니(20)를 감싸는 석영관(30), 상기 석영관(30)의 상,하부를 각각 폐쇄하는 플랜지(40), 상기 석영관(30)을 감싸는 가열수단(50), 및 상기 도가니(20)의 온도를 측정하는 파이로미터(60)를 포함한다.
Referring to the drawings, the present invention is a
상기 도가니(20)는 몸체(21)와, 상기 몸체(21)를 상부를 선택적으로 폐쇄하는 커버(22)를 구비한다. 이때, 상기 커버(22)의 하면에는 종자정홀더(23)가 장착될 수 있다.The
상기 종자정홀더(23)는 탄화규소로 이루어진 종자정(10)이 부착되는 부위로서, 이와 같은 종자정홀더(23)에 종자정(10)이 부착되면 커버(22)가 몸체(21)에 덮어서 도가니(20) 내부에 종자정(10)이 배치되도록 한다.The
이에 더하여, 도가니(20)는 적어도 일부분이 단열재(29)에 의해 외부에 노출되지 않도록 감싸져서, 가열수단(50)에 의해 가열되는 경우에 내부가 고온의 상태를 유지하도록 한다.
In addition, the
또한, 상기 석영관(30)은 상,하부가 개방된 원통형 형상을 취하며, 내부에 도가니(20)가 배치되면 이러한 도가니(20)를 감싸는 구조를 이루게 된다. 아울러, 상기 플랜지(40)는 석영관(30)의 개방된 상,하부를 폐쇄하도록 구성된다.
In addition, the
그리고, 상기 제1 가열수단(50)은 고주파 전류가 공급되어 상기 도가니(20)를 유도가열하는 고주파 유도코일인 것이 바람직하다.In addition, the first heating means 50 is preferably a high frequency induction coil supplied with a high frequency current to induction heating the
상기 고주파 유도코일 내에 도가니(20)를 배치시키고 고주파 유도코일에 고주파 전류를 공급하면, 도가니(20)의 표면 가까이에 와전류를 발생시켜 도가니(20)를 가열하게 된다.
When the
또한, 수평방향 큰 직경을 이루는 대구경 단결정을 성장시키는 데에 있어서, 상기 가열수단(50)으로 수평방향에 대한 균일한 가열을 하기에는 한계가 있기 때문에, 상기 제2 가열수단(60)이 수평온도편차를 줄이기 위해 도가니(20)를 추가가열하도록 구성되는 것을 본 발명의 기술적 특징으로 한다.Further, in growing a large diameter single crystal having a large diameter in the horizontal direction, there is a limit to uniform heating in the horizontal direction by the heating means 50, so that the second heating means 60 has a horizontal temperature deviation. It is a technical feature of the present invention to be configured to further heat the
이때, 상기 제2 가열수단(60)은 석영관(30) 내에서 도가니(20) 하부에 배치되는데, 도가니(20)의 원통형 구조에 대응되도록 도가니(20)의 하면에 대응되게 원형판의 구조를 취하며, 바람직하게 도가니(20)를 감싸는 단열재(29) 내에 배치될 수 있다.
At this time, the second heating means 60 is disposed in the lower portion of the
이와 같은 제2 가열수단(60)은, 전류가 공급되어 도가니(20)를 저항가열하는 흑연판인 것이 바람직하다.Such second heating means 60 is preferably a graphite plate that is supplied with electric current and resistively heats the
이때, 상기 흑연판은 외부의 전기공급원(미도시)과 전기적으로 연계되고, 아울러 상기 제1 가열수단(50)을 작동제어되는 제어부(C)와도 전기적으로 연계되어 작동제어됨은 물론이다.In this case, the graphite plate is electrically connected to an external electric supply source (not shown), and also electrically controlled in connection with the control unit C which operates the first heating means 50.
이러한 흑연판은, 제1 가열수단(50)인 고주파 유도코일에 의해 도가니(20)가 와전류에 의해 가열되는 과정에서, 도가니(20)의 수평온도의 편차를 차단하기 위해 도가니(20)의 중심부로 갈수록 온도가 떨어지는 문제점을 보완하는 역할을 수행한다.The graphite plate has a central portion of the
즉, 상기 흑연판은 중심으로 갈수록 저항가열되는 정도가 높도록 구성되어, 도가니(20)의 중심부로 갈수록 높은 열로 가열하여 도가니(20)의 수평온도의 편차가 거의 발생하지 않도록 한다.
That is, the graphite plate is configured to have a high degree of resistance heating toward the center of the graphite plate, so that the deviation of the horizontal temperature of the
더욱 바람직하게, 상기 흑연판은 비저항값이 중심으로 갈수록 높은 것이 활용될 수 있다.More preferably, the graphite plate can be utilized that the higher the specific resistance value toward the center.
상기 흑연판을 제조하는 과정에서 중심으로 갈수록 재료 고유의 저항값인 비저항값이 높도록 제조함에 따라, 이러한 흑연판에 전류가 흐르게 되면 중심으로 갈수록 저항가열이 높아지게 되어 도가니(20)의 수평온도 편차를 줄이는 작용을 할 수 있다.In the manufacturing process of the graphite plate, the higher the specific resistance value of the material inherent resistance toward the center, the higher the resistance heating as the current flows toward the graphite plate, the higher the resistance heating toward the center of the horizontal temperature deviation of the
다른 일례로서, 비록 도시되지는 않았지만, 상기 흑연판은 중심으로 갈수록 두께가 두꺼워지는 것이 활용될 수 있다.As another example, although not shown, it may be utilized that the graphite plate becomes thicker toward the center.
즉, 흑연판은 중심으로 갈수록 저항전류가 발생되는 부위를 커지게 함에 따라 그에 따른 발열도 높아짐으로써, 전류가 흐르게 되면 중심으로 갈수록 고온의 열이 발생하여 도가니(20)의 수평온도 편차를 줄일 수 있다.
That is, as the graphite plate increases in the area where resistance current is generated toward the center, heat generation increases accordingly, and as the current flows, high temperature heat is generated toward the center, thereby reducing the horizontal temperature variation of the
상기와 같이 구성되는 대구경 단결정 성장장치는, 도가니(20)의 하부에서 저항가열을 발생시키고 아울러 중심으로 갈수록 높은 저항가열이 이루어지도록 하는 흑연판인 제2 가열수단(60)이 구성됨으로써, 도가니(20)의 수평온도편차를 차단하여 도가니(20)의 균일한 승화가 가능해짐에 따라 중앙이 볼록하지 않은 편평한 잉곳을 만들어 고품질의 단결정을 구현할 수 있다.The large-diameter single crystal growth apparatus configured as described above includes a second heating means 60, which is a graphite plate which generates resistance heating at the lower portion of the
아울러, 낮은 중심부의 온도에 의해 승화되지 못한 원료(1) 파우더로 인하여 잉곳의 수율이 저하되는 문제를 해결하여, 결과적으로 대구경 단결정 성장에 대한 공정시간의 지연을 차단할 수 있다.
In addition, it is possible to solve the problem that the yield of the ingot is lowered due to the powder of the raw material (1) that is not sublimated by the temperature of the low center, and as a result, it is possible to block the delay of the process time for large-diameter single crystal growth.
그러면, 상술된 대구경 단결정 성장장치를 이용한 대구경 단결정 성장방법을, 도 2를 참조하여 살펴보기로 한다. 이때, 대구경 단결정 성장장치의 구성요소에 대한 구체적인 구조는 이미 상술되었기 때문에 생략하기로 한다.
Next, a large diameter single crystal growth method using the large diameter single crystal growth apparatus described above will be described with reference to FIG. 2. At this time, since the specific structure of the components of the large-diameter single crystal growth apparatus has already been described above, it will be omitted.
먼저, 종자정홀더(23)에 종자정(10)을 부착시킨다(S10). 이어서, 상기 종자정홀더(23)를 도가니(20) 내의 상부에 배치고정시킨다. 즉, 종자정홀더(23)가 장착된 도가니(20)의 커버(22)를 도가니(20)의 몸체(21)에 덮어서 종자정(10)이 도가니(20) 내에서 상부에 위치되도록 한다(S20).
First, the seed crystal 10 is attached to the seed crystal holder 23 (S10). Subsequently, the
다음으로, 도가니(20) 내에 원료(1)를 장입시키며(S30), 이어서 제1 가열수단(50)으로 도가니(20)를 가열하여 원료(1)를 승화시킴으로써 종자정(10)에 부착시켜 단결정으로 성장시킨다(S40).Next, the raw material 1 is charged into the crucible 20 (S30), and then the
이와 같이 도가니(20)가 제1 가열되는 과정에서, 도가니(20)에 수평온도편차가 발생하여 원료(1)의 불균일한 승화 및 중앙이 볼록한 잉곳이 형성되는 저품질의 단결정 성장을 방지하기 위해, 본 발명의 기술적인 특징으로서 도가니(20)를 추가가열하는 제2 가열단계(S50)를 수행한다.As such, in the process of the first heating of the
상기 제2 가열단계(S50)는, 제1 가열수단(50)인 고주파 유도코일에 의해 도가니(20)가 가열되는 과정에서, 제2 가열수단(60)인 흑연판에 의해 도가니(20)를 추가 가열하는 단계이다.In the second heating step S50, the
이때, 제2 가열수단(60)인 흑연판은 전류가 공급되어 도가니(20)를 저항가열하도록 구성되는데, 바람직하게 중심으로 갈수록 가열 정도가 높아지도록 구성됨으로써, 도가니(20)에서 상대적으로 낮은 온도를 유지하는 중심부를 더욱더 가열하여 도가니(20)의 수평온도편차를 줄이도록 한다.
At this time, the graphite plate, which is the second heating means 60, is configured to resist heating the
결과적으로, 도가니(20)의 하부에서 저항가열을 발생시키고 아울러 중심으로 갈수록 높은 저항가열이 이루어지도록 하는 흑연판인 제2 가열수단(60)에 의해 도가니(20)가 추가가열됨으로써, 도가니(20)의 균일한 승화가 가능해짐에 따라 중앙이 볼록하지 않은 편평한 잉곳을 만들어 고품질의 단결정을 구현할 수 있다.As a result, the
아울러, 낮은 중심부의 온도에 의해 승화되지 못한 원료(1) 파우더로 인하여 잉곳의 수율이 저하되는 문제를 해결하여, 결과적으로 대구경 단결정 성장에 대한 공정시간의 지연을 차단할 수 있다.In addition, it is possible to solve the problem that the yield of the ingot is lowered due to the powder of the raw material (1) that is not sublimated by the temperature of the low center, and as a result, it is possible to block the delay of the process time for large-diameter single crystal growth.
바람직하게, 상기와 같은 대구경 단결정 성장방법을 통해, 상기 원료(1)가 탄화규소(SiC)인 경우, 고품질의 4인치 이상의 6H/4H형 탄화규소 단결정을 성장시킬 수 있다.
Preferably, through the large-diameter single crystal growth method as described above, when the raw material 1 is silicon carbide (SiC), it is possible to grow a high quality 4H or more 6H / 4H type silicon carbide single crystal.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It is to be understood that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the appended claims.
1 : 원료 2 : 종자정
20 : 도가니 21 : 몸체
22 : 커버 23 : 종자정홀더
29 : 단열재 30 : 석영관
40 : 플랜지 50 : 제1 가열수단
60 : 제2 가열수단 C : 제어부1: raw material 2: seed crystal
20: crucible 21: body
22: cover 23: seed crystal holder
29: heat insulating material 30: quartz tube
40
60: second heating means C: control unit
Claims (10)
상기 도가니(20)를 감싸며 상,하부가 개방된 석영관(30);
상기 석영관(30)의 상,하부를 폐쇄하는 플랜지(40);
상기 석영관(30)의 감싸는 제1 가열수단(50); 및
단결정의 대구경 성장을 위해 수평온도편차를 차단하도록, 상기 석영관(30) 내에서 상기 도가니(20) 하부에 배치되는 제2 가열수단(60);
을 포함하는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치.
A crucible 20 into which the raw material 1 is charged;
A quartz tube 30 surrounding the crucible 20 and having upper and lower portions open;
A flange 40 for closing the upper and lower portions of the quartz tube 30;
First heating means (50) surrounding the quartz tube (30); And
Second heating means (60) disposed under the crucible (20) in the quartz tube (30) to block horizontal temperature deviations for large-diameter growth of single crystals;
Large-diameter single crystal growth apparatus comprising a.
상기 제2 가열수단(60)은, 전류가 공급되어 상기 도가니(20)를 저항가열하며 중심으로 갈수록 높은 저항가열을 하는 흑연판인 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치.
The method of claim 1,
The second heating means (60) is a large-diameter single crystal growth apparatus, characterized in that the electric current is supplied to the graphite plate to heat the crucible (20), the resistance heating as it goes toward the center.
상기 흑연판은 비저항값이 중심으로 갈수록 높은 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치.
3. The method of claim 2,
The graphite plate is a large diameter single crystal growth apparatus, characterized in that the higher the resistivity value toward the center.
상기 흑연판은 중심으로 갈수록 두께가 두꺼워지는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치.
3. The method of claim 2,
The graphite plate is a large diameter single crystal growth apparatus characterized in that the thickness becomes thicker toward the center.
상기 제1 가열수단(50)은, 고주파 전류가 공급되어 상기 도가니(20)를 유도가열하는 고주파 유도코일인 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장장치.
The method of claim 1,
The first heating means (50) is a large-diameter single crystal growth apparatus, characterized in that the high-frequency induction coil supplied with a high-frequency current to induction heating the crucible (20).
상기 종자정홀더(23)를 도가니(20) 내의 상부에 배치고정시키는 홀더 인입단계(S20);
상기 도가니(20) 내에 원료(1)를 장입시키는 원료 장입단계(S30);
상기 원료(1)를 승화시켜 상기 종자정(10)에 부착시켜 단결정으로 성장시키도록, 제1 가열수단(50)으로 상기 도가니(20)를 가열하는 제1 가열단계(S40); 및
상기 도가니(20)의 수평온도편차를 차단하도록 제2 가열수단(60)으로 상기 도가니(20)를 가열하는 제2 가열단계(S50);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장방법.
Seed crystal attachment step (S10) for attaching the seed crystal (10) to the seed crystal holder (23);
A holder retracting step (S20) for arranging and fixing the seed crystal holder 23 on an upper portion of the crucible 20;
A raw material charging step (S30) of charging the raw material 1 into the crucible 20;
A first heating step (S40) of heating the crucible (20) with a first heating means (50) so as to sublimate the raw material (1) and attach it to the seed crystal (10) to grow into a single crystal; And
A second heating step (S50) of heating the crucible (20) by a second heating means (60) to block horizontal temperature deviation of the crucible (20);
Large-diameter single crystal growth method comprising a.
상기 제2 가열단계(S50)에서,
상기 제2 가열수단(60)은 전류가 공급되어 상기 도가니(20)를 저항가열하는 저항가열 흑연판으로 이루어진 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장방법.
The method according to claim 6,
In the second heating step (S50),
The second heating means (60) is a large-diameter single crystal growth method, characterized in that the current is supplied by the resistance heating graphite plate for resistance heating the crucible (20).
상기 흑연판은 비저항값이 중심으로 갈수록 높은 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장방법.
The method of claim 7, wherein
The graphite plate has a large diameter single crystal growth method characterized in that the higher the specific resistance value toward the center.
상기 흑연판은 중심으로 갈수록 두께가 두꺼워지는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장방법.
The method of claim 7, wherein
The graphite plate has a large diameter single crystal growth method characterized in that the thickness becomes thicker toward the center.
상기 원료(1)가 탄화규소(SiC)인 경우, 4인치 이상의 6H/4H형 탄화규소 단결정으로 성장시키는 것을 특징으로 하는 대구경 단결정 성장방법.10. The method according to any one of claims 6 to 9,
When the raw material (1) is silicon carbide (SiC), the large-diameter single crystal growth method characterized in that the growth to 4H or more 6H / 4H type silicon carbide single crystal.
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