KR20130108783A - 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟을 제공한다. 스퍼터링 타겟은, 타겟 물질을 포함하며 접착 평면을 갖는 타겟 바디, 타겟 바디의 상기 접착 평면과 접착된 백킹 바디, 및 타겟 바디에 내장된 적어도 하나의 알람 바디를 포함한다. 여기서, 각각의 알람 바디의 길이는 1 센티미터(cm)보다 크고, 상기 접착 평면의 면적에 대해서 접착 평면에 투사된 각각의 알람 바디의 면적은 1% 이하이며, 접착 평면의 면적에 대해서 접착 평면에 투사된 적어도 하나의 알람 바디의 면적(들)의 합은 20% 이하이다. 알람 바디의 식별 가능한 물질은 스퍼터링 환경에서 처리되는 동안 스퍼터링 환경과 타겟 물질로부터 식별 가능한 가스 성분을 방출(evolve)할 수 있고, 가스 성분은 제시간에 스퍼터링 처리를 정지하기 위한 알람 신호의 역할을 할 수 있다. 본 발명에 따라, 스퍼터링 타겟의 접착 강도 및 방열 효율은 타겟 바디의 접착 평면에 투사된 적어도 하나의 알람 바디의 면적(들)을 제어하여 유지될 수 있다.

Description

알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟{SPUTTERING TARGET HAVING ALARM FUNCTION}
본 발명은 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟에 관한 것으로서, 특히, 스퍼터링 공정을 정지하기 위한 알람 신호를 제공하는 알람 바디를 포함하는 스퍼터링 타겟에 관한 것이다.
물리적 기상 증착(PVD)은 막을 형성하기 위한 종래의 코팅 방법으로서, 여기서, 금속 기판, 합금 기판, 세라믹 기판 및 실리콘 웨이퍼 기판 등과 같은 기판 상에 원자나 분자들이 물리적으로 증착되고, 이후에 그 기판 상에 막이 형성된다.
물리적 기상 증착은 증발 증착과 스퍼터링 증착으로 분류된다. 글로우 방전 효과를 이용하여, 불활성 가스를 이온화하여 타겟(target) 표면에 집중 투사(bombards)하면, 타겟의 원자나 분자들이 충돌하여 기판에 증착되며, 최종적으로 균일한 막이 형성된다. 따라서 물리적 기상 증착은 반도체, 광전 또는 저장 미디어 분야에서 가장 일반적인 막 형성 기술이 된다.
타겟과 백킹 플레이트(backing plate)로 구성된 스퍼터링 타겟은 스퍼터링 공정에서 필수적인 물질이다. 백킹 플레이트는 대부분 양호한 열전도성 물질로 되어 있고 물에 의한 냉각을 위한 미세 내부 채널 설계를 갖기 때문에, 방열과 스퍼터링 기계에 타겟을 로딩하기 위한 중요한 구성 요소가 될 수 있다. 그러나 백킹 플레이트의 제조비용은 너무 고가이다. 따라서 타겟을 스퍼터링한 이후에 스퍼터링된 타겟으로부터 백킹 플레이트가 제거될 수 있고, 이러한 백킹 플레이트가 적당히 세정된 이후에 재활용 및 재사용될 수 있다면, 스퍼터링 공정의 비용은 백킹 플레이트를 재활용 및 재사용함으로써 크게 감소될 수 있다.
이러한 이유로, 백킹 플레이트의 무결성(integrity)을 유지하기 위하여, 스퍼터링 공정은 타겟이 완전히 침식되기 이전에 보통 중지되고, 상기 타겟은 새로운 것으로 바로 교체된다. 그러나 타겟을 교체하는 동안, 전체 진공 챔버는 환기되어야 하며, 이는 진공 파괴로 이어진다. 타겟을 교체하는 시기가 너무 빠르면, 타겟의 사용 및 장비에 대한 생산 능력이 감소될 것이다. 타겟을 교체하는 시기가 너무 늦은 경우, 백킹 플레이트의 손상의 위험이 증가될 것이다. 따라서 백킹 플레이트에 배치된 타겟을 제시간에 교체하는 방법이 매우 중요한 문제가 된다.
스퍼터링 타겟의 사용을 감지하는 방법에 대한 많은 연구가 최근 이루어졌다. 미국 특허 제 5,487,823 호에 개시된 것처럼, 스퍼터링 타겟의 타겟과 백킹 플레이트 사이에 식별 가능한 물질이 배치된다. 타겟이 특정 깊이까지 부식될 때, 타겟의 사용은 식별 가능한 물질에 의해 생성된 가스를 인식하여 감지될 수 있다. 그러나 상기 특허는 전체 타겟의 영역에 대한 식별 가능한 물질의 영역의 바람직한 비율까지는 완전히 아무 언급이 없었다. 스퍼터링 타겟의 성능과 백킹 플레이트에 대한 타겟의 결합 강도는 식별 가능한 물질에 의해 저하되고, 타겟 물질의 경제적인 효과는 효과적으로 개선될 수 없다.
상기 언급한 문제점들을 극복하기 위하여, 본 발명은, 타겟의 사용과 백킹 플레이트의 무결성을 보장하기 위해, 타겟이 침식 프로필의 최고 깊이까지 스퍼터링한 이후와 백킹 플레이트가 손상되기 이전에 알람 신호를 생성하는 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟을 제공한다. 스퍼터링 타겟의 특성들을 저하시키지 않는 것에 기초하여, 본 발명에 따른 스퍼터링 타겟은 알람 신호를 생성하여 스퍼터링 공정을 중지하도록 함으로써 스퍼터링 공정 동안 스퍼터링 타겟의 성능을 개선하며, 이를 통해, 스퍼터링 공정의 비용이 크게 감소될 수 있다.
본 발명의 주요 목적은 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟(sputtering target)을 제공하는 것이며, 스퍼터링 타겟은 백킹 바디(backing body)에 대한 타겟 바디(target body)의 접착 강도를 유지할 수 있고, 스퍼터링 타겟의 알람 바디(alarm body)는 스퍼터링 공정을 제시간에 정지하기 위한 알람 신호들로서 가스를 방출할 수 있으며, 이에 의해, 백킹 바디의 무결성이 유지될 수 있고, 스퍼터링 공정의 비용 또한 감소시킬 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 타겟 물질을 포함하며 접착 평면을 갖는 타겟 바디, 상기 타겟 바디의 상기 접착 평면과 접착된 백킹 바디, 및 상기 타겟 바디에 내장된 적어도 하나의 알람 바디를 포함하는, 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟을 제공하며, 각각의 알람 바디의 길이는 1 센티미터(cm)보다 크고, 상기 접착 평면의 면적에 대해서 상기 접착 평면에 투사된 각각의 알람 바디의 면적의 비율은 1% 이하이며, 상기 접착 평면의 면적에 대해서 상기 접착 평면에 투사된 상기 적어도 하나의 알람 바디의 면적(들)의 합의 비율은 20% 이하이고, 상기 적어도 하나의 알람 바디는 식별 가능한 물질을 포함하고, 상기 식별 가능한 물질은 스퍼터링 환경에서 처리되는 동안 스퍼터링 환경과 상기 타겟 물질로부터 식별 가능한 가스 성분을 방출한다.
타겟 바디가 스퍼터링 공정에서 알람 바디의 깊이까지 침식될 때, 알람 바디의 식별 가능한 물질은 스퍼터링 환경과 타겟 물질로부터 식별 가능한 가스 성분을 방출(evolve)한다. 가스 성분이 가스 분석기에 의해 검출될 때, 가스 성분의 검출은 스퍼터링 공정을 정지하기 위한 알람 신호로서 변환하고, 이에 의해, 알람 신호는 백킹 바디가 플라즈마에 의해 손상되는 것을 방지한다.
바람직하게는, 본 발명에 따라 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟의 적어도 하나의 알람 바디는 먼저 침식되는 타겟 바디의 영역에 배치된다. 또한, 동일 장비에서 서로 다른 스퍼터링 타겟들 간의 침식 프로필의 편차는 1센티미터 이내로 제어될 수 있다. 따라서 침식 위치와 알람 바디 사이의 위치의 불균형을 방지하기 위하여, 각각의 알람 바디의 길이는 1센티미터보다 큰 것이 바람직하다. 그러나 접착 평면에 투사되는 적어도 하나의 알람 바디의 면적(들)의 합이 너무 크면, 타겟 바디는 백킹 바디와의 접착하는 충분한 접착 강도를 가지며, 이에 의해, 스퍼터링 타겟의 스퍼터링 품질은 저하될 것이다. 따라서 접착 평면의 면적에 대해서 접착 평면에 투사되는 적어도 하나의 알람 바디의 면적(들)의 합의 비율은 20% 이하가 되어야 한다. 또한, 접착 평면의 면적에 대해서 접착 평면에 투사되는 각각의 단일 알람 바디의 면적의 비율이 1%보다 크다면, 스퍼터링 타겟의 백킹 바디의 국부 방열 효율은 감소될 것이며, 또한, 막의 특성도 악화될 것이다. 따라서 스퍼터링 타겟의 국부 효율을 보장하기 위하여, 접착 평면의 면적에 대해서 접착 평면에 투사되는 각각의 알람 바디의 면적의 비율은 1% 이하가 되어야 한다. 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 접착 강도 및 방열 효율은 유지될 수 있고, 백킹 바디로부터 분리될 타겟 바디의 가능성은 접착 평면에 투사되는 적어도 하나의 알람 바디의 면적(들)의 합이 적당한 범위 내로 제어되기 때문에 방지될 수 있다.
바람직하게는, 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 적어도 하나의 알람 바디는 식별 가능한 물질로 코팅 및 채워질 수 있거나, 적어도 하나의 알람 바디의 식별 가능한 물질은 연속 또는 불연속으로 별도로 분포될 수 있다.
본 발명에 따라 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟의 알람 바디의 식별 가능한 물질은 세라믹 물질, 질화물, 산화물, 금속, 합금 또는 금속 산화물 등과 같은 반도체 화합물 또는 금속 화합물로 구성될 수 있다. 바람직하게, 식별 가능한 물질은 AlN, BN, SiC, Al2O3, Si3N4, ZrO2, MgO, 또는 Li2O가 된다.
또한, 본 발명에 따라 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟의 백킹 바디는 백킹 플레이트(backing plate) 또는 백킹 튜브(backing tube)가 될 수 있다. 백킹 바디가 백킹 플레이트인 경우, 타겟 바디는 플레이트 구조로 구성될 수 있으며, 편평한 표면상에 백킹 플레이트와 접착된다. 백킹 바디가 백킹 튜브인 경우, 타겟 바디는 내부 공간을 갖는 속이 빈 원통형 구조로 구성될 수 있으며, 백킹 바디는 속이 빈 타겟 바디의 내부 공간에 배치되며 아크 표면을 가지며, 아크 표면은 타겟 바디와 접착된다.
본 발명의 다른 목적은 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟을 제공하며, 여기서, 적어도 하나의 알람 바디는 타겟 바디의 접착 평면에 배치된다. 스퍼터링 타겟의 타겟 바디는 유사한 침식 프로필까지 침식되고 스퍼터링 공정은 동일한 하나의 스퍼터링 장비를 이용하여 양호한 재현성을 갖기 때문에, 적어도 하나의 알람 바디는 먼저 침식되는 타겟 바디의 영역에 바람직하게 배치되어 접착 평면에 투사되어, 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 알람 기능은 보장될 수 있으며, 이에 의해, 타겟 바디의 사용은 개선될 수 있고 백킹 바디는 침식되지 않을 것이다.
본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 각각의 알람 바디는 스퍼터링 공정 동안 타겟 바디에 형성된 침식 프로필 아래의 타겟 바디에 내장되기 때문에, 스퍼터링 공정을 정지하기 위한 가스 성분은 침식 프로필이 미리 결정된 깊이에 도달할 때까지 방출되어, 타겟 바디의 이용 가능한 침식 깊이는 최대가 될 것이며, 타겟 바디의 이용은 궁극적으로 향상된다. 따라서 스퍼터링 공정 동안 타겟 바디를 교체하는 빈도는 감소되며, 스퍼터링 공정의 제조 효율은 개선될 수 있다.
따라서 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 각각의 알람 바디의 길이는 1센티미터보다 크게 제어되며, 각각의 알람 바디의 길이는 1 센티미터(cm)보다 크고, 접착 평면의 면적에 대해서 접착 평면에 투사된 각각의 알람 바디의 면적의 비율은 1% 이하이며, 접착 평면의 면적에 대해서 접착 평면에 투사된 적어도 하나의 알람 바디의 면적(들)의 합의 비율은 20% 이하가 되어, 백킹 바디에 대한 타겟 바디의 접착 강도와 백킹 바디의 방열 효율은 보장될 수 있다. 또한, 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 침식 깊이는 최대가 되며, 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟을 이용함으로써 스퍼터링 공정의 제조 효율은 궁극적으로 개선된다.
본 발명의 다른 목적, 장점 및 새로운 특징들은 첨부된 도면을 참조할 때 다음 상세한 설명으로부터 더 명백히 될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 스퍼터링 타겟의 횡단 측면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 스퍼터링 타겟의 사시도이다.
도 3은 스퍼터링 시간에 붕소 질화물의 부분 압력의 의존성을 도시하는 그래프이다.
도 4는 본 발명의 실시예 2에 따른 스퍼터링 타겟의 횡단 측면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2에 따른 스퍼터링 타겟의 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 단일 알람 바디의 분포의 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 단일 알람 바디의 다른 분포의 평면도이다.
스퍼터링 타겟(sputtering tagter)의 백킹 바디(backing body)를 플라즈마에 의해 손상되는 것을 방지하기 위하여, 본 발명은 본 발명에 따른 스퍼터링 타겟이 알람 기능을 갖도록 종래의 타겟 및 적어도 하나의 알람 타겟을 포함하는 스퍼터링 타겟을 제공한다. 또한, 백킹 바디에 대한 타겟 바디(target body)의 결합 강도와 백킹 바디의 방열 효율을 보장하기 위하여, 본 발명은 양호한 특성을 갖는 스퍼터링 타겟을 제조하기 위한 적어도 하나의 알람 바디(alarm body)를 배치의 제한을 또한 공개한다.
본 발명에 따른 스퍼터링 타겟으로 설명한 것처럼, 본 발명의 타겟 바디는 알루미늄, 텅스텐, 몰리브덴, 티타늄, 탄탈, 합금 또는 실리사이드와 같은 금속을 포함하는 타겟 물질을 포함하지만, 이들에 제한을 두지 않는다. 본 발명의 적어도 하나의 알람 바디는 AlN, BN, SiC, Al2O3, Si3N4, ZrO2, MgO, 또는 Li2O와 같은 식별 가능한 물질을 포함하지만, 이들에 제한을 두지 않는다. 식별 가능한 물질은 스퍼터링 환경에서 처리되는 동안 타겟 물질 및 스퍼터링 환경으로부터 식별 가능한 가스 성분를 방출될 수 있기 때문에, 타겟 바디에 의해 방출될 수 있는 특정 가스 성분은 가스 분석기에 의해 검출된 특정 분자 가중치를 분석하는 방식 또는 광학 방출 분광법의 특정 라인 및 세기를 분석하는 방식에 의해 검출될 수 있다. 따라서 식별 가능한 물질에 의해 방출되는 가스 성분이 상기 언급한 방법을 통해 검출될 때, 가스 성분의 검출은 스퍼터링 공정을 정지하기 위한 알람 신호로서 역할을 할 수 있고, 스퍼터링 타겟의 백킹 바디가 플라즈마에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
실시예 1
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟(1)은, 타겟 물질을 포함하고 접착 평면(A')을 갖는 타겟 바디(11), 타겟 바디(11)의 접착 평면(A')과 접착된 백킹 바디(12), 및 식별 가능한 물질로 채워지고 타겟(11)의 접착 평면(A')에 코팅된 알람 바디(13)를 포함한다.
실시예 1에 있어서, 접착 평면(A')의 면적에 대한 접착 평면(A1')에 투사된 알람 바디(13)의 면적의 비율은 20% 이하가 된다. 본 실시예에 의해 도시된 것처럼, 접착 평면(A')의 알람 바디(13)의 영역은 백킹 바디(12)의 상부 면(A")과 접촉하여 알람 바디(13)의 영역과 동일하다. 알람 바디(13)의 투사 면적(A1')이 적당한 범위 내에서 제어된다면, 백킹 바디(12)에 대한 타겟 바디(11)의 접착 강도와 백킹 바디(12)의 방열 효율은 유지될 수 있으며, 이에 의해, 타겟 바디(11)가 백킹 바디(12)로부터 분리될 가능성은 스퍼터링 공정 동안 감소될 수 있다.
본 실시예의 스퍼터링 타겟에 있어서, 타겟 바디는 알루미늄인 타겟 물질을 포함하며, 알람 바디는 붕소 질화물인 식별 가능한 물질을 포함한다. 식별 가능한 물질은 붕소 질화물 분자들을 방출할 수 있으며, 스퍼터링 환경에서 처리되는 동안 타겟 물질 및 스퍼터링 환경에서 가스 성분들로부터 식별 가능하다. 식별 가능한 물질로부터 방출되는 붕소의 부분 압력을 분석할 수 있는데, 여기서, 붕소 질화물의 분자 중량은 약 24Da 및 25Da이다.
따라서 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 타겟 바디는 적어도 하나의 알람 바디가 배치된 위치에서 침식되고, 알람 바디의 식별 가능한 물질은 스퍼터링 환경에서 처리되는 동안 타겟 물질 및 스퍼터링 환경으로부터 식별 가능한 가스 성분으로 방출될 것이다. 도 3에서 아래쪽 화살표로 도시된 것처럼, 가스 검출기는 식별 가능한 물질에 의해 제조되는 스퍼터링 공정을 정지하기 위한 알람 신호의 검출을 시작한다.
도 3을 참조하면, 오른쪽 화살표는 타겟 바디를 연속으로 스퍼터링하는 공정을 나타낸다. 스퍼터링 공정의 기간은 타겟 몸체의 두께에 의존하여 변한다. 도 3을 참조하면, 분자 중량이 24Da 및 25Da인 붕소 질화물의 부분 압력은 타겟 바디가 알람 바디의 깊이까지 침식될 때까지 상당히 상승한다. 본 실시예에 있어서, 부분 압력의 10-5 내지 10-6Pa는 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 침식 깊이가 최대가 된다는 것을 나타낸다.
따라서 식별 가능한 물질에 의해 방출되는 가스 성분이 상기 설명된 방법에 의해 검출될 때, 식별 가능한 물질에 의해 방출되는 가스 성분의 부분 압력의 급격한 상승은 스퍼터링 공정을 정지하기 위한 알람 신호의 역할을 할 수 있으며, 이에 의해, 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 백킹 바디는 플라즈마에 의해 손상되지 않을 것이다.
실시예 2
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따라 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟(2)은 복수의 알람 바디(23)를 포함한다.
실시예 1에서 설명한 것처럼, 본 실시예의 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟(2)은 백킹 바디(22)와 백킹 바디(22)에 배치된 타겟(21)을 포함한다. 여기서, 타겟 바디(21)는 접착 평면(A')을 갖고, 백킹 바디(22)는 타겟 바디(21)의 접착 평면(A')과 접착된다.
실시예 1 및 2에 있어서, 본 실시예의 스퍼터링 타겟(2)은 복수의 알람 바디(23)를 포함하고, 복수의 알람 바디(23)는 타겟 바디(21)의 침식 프로필(erosion profile)이 접착 평면(A')에 투사되는 곳에 배치된다는 점이 차이가 있다. 도 5를 참조하면, 스퍼터링 장비를 사용하여 스퍼터링되는 타겟 바디(21)의 미리 결정된 침식 프로필(24)은 타겟 바디(21)에 미리 맵핑된다. 복수의 알람 바디(23) 각각은 복수의 알람 바디(24')의 영역에 배치되는데, 여기서, 복수의 알람 바디(24')의 영역은 접착 평면(A')에 투사되는 타겟 바디(21)의 미리 결정된 침식 프로필(24)의 영역이다.
본 실시예에 있어서, 접착 평면(A')의 면적에 대한 접착 평면(A1')에 투사된 각각의 알람 바디(23)의 면적의 비율은 1% 이하가 되어, 본 발명에 따라 스퍼터링 타겟의 국부 방열 효율(local heat-removing efficiency)이 유지될 수 있다. 접착 평면(A')의 영역에 대한 접착 평면(A1')에 투사된 알람 바디(13)의 면적의 비율은 20% 이하가 된다. 게다가, 각각의 알람 바디(23)의 길이(L)는 1센티미터보다 크도록 또한 제어된다.
도 6을 참조하면, 침식 위치와 알람 바디들 사이의 위치의 차이에 의한 백킹 바디를 손상할 가능성은 각각의 알람 바디의 길이가 1센티미터보다 크게 되도록 제어되는 경우 방지될 수 있다.
또한, 각각의 알람 바디(23)는 도 6에 도시되는 바와 같이 식별 가능한 물질(231)로 채워질 수 있거나, 각각의 알람 바디(23)의 식별 가능한 물질(231)은 도 7에 도시되는 바와 같이 연속 또는 불연속으로, 개별적으로 분포될 수 있다.
요약하면, 본 발명에 따른 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟은 접착 평면의 면적에 대한 백킹 플레이트(backing plate)와 접촉하여 적어도 하나의 알람 바디의 면적의 비율을 제어하여, 알람 기능, 양호한 성능 및 방열 효율을 갖는 스퍼터링 타겟이 제조될 수 있다.
비록, 본 발명의 수치 특성 및 장점들이 본 발명의 구조 및 특징들의 상세한 설명과 함께 상기에 설명하였지만, 본 명세서는 단지 예시적이다. 첨부한 청구 범위가 표현된 용어들의 일반적인 넓은 의미로 표시된 전체 범위까지 상세한 설명, 특히, 본 발명의 원리의 범위 내에 있는 부품들의 형태, 사이즈 및 배열들이 변경될 수 있다.

Claims (7)

  1. 알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟(sputtering target)으로서,
    타겟 물질을 포함하며 접착 평면을 갖는 타겟 바디(target body);
    상기 타겟 바디의 상기 접착 평면에 접착된 백킹 바디(backing body); 및
    상기 타겟 바디에 내장된 적어도 하나의 알람 바디(alarm body)를 포함하고,
    각각의 알람 바디의 길이는 1 센티미터(cm)보다 크고, 상기 접착 평면의 면적에 대해서 상기 접착 평면에 투사된 각각의 알람 바디의 면적의 비율은 1% 이하이며, 상기 접착 평면의 면적에 대해서 상기 접착 평면에 투사된 상기 적어도 하나의 알람 바디의 면적(들)의 합의 비율은 20% 이하이고,
    상기 적어도 하나의 알람 바디는 식별 가능한 물질을 포함하고, 상기 식별 가능한 물질은 스퍼터링 환경에서 처리되는 동안 상기 스퍼터링 환경과 상기 타겟 물질로부터 식별 가능한 가스 성분을 방출하는,
    알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 백킹 바디는 백킹 플레이트(backing plate) 또는 백킹 튜브(backing tube)인,
    알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 알람 바디는 상기 타겟 바디에 내장되고, 상기 식별 가능한 물질로 채워지는,
    알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 알람 바디는 상기 타겟 바디에 내장되고,
    상기 적어도 하나의 식별 가능한 물질은 개별적으로 분포되는,
    알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 식별 가능한 물질은 AlN, BN, SiC, Al2O3, Si3N4, ZrO2, MgO, 또는 Li2O인,
    알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 알람 바디는 상기 타겟 바디 상에 배치되는,
    알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 알람 바디는 상기 타겟 바디의 침식 프로필이 상기 접착 평면에 투사되는 위치에 배치되는,
    알람 기능을 갖는 스퍼터링 타겟.
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