KR20130102586A

KR20130102586A - 필름의 노광 장치

Info

Publication number: KR20130102586A
Application number: KR1020137008832A
Authority: KR
Inventors: 미치노부 미즈무라
Original assignee: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
Priority date: 2010-09-06
Filing date: 2011-08-16
Publication date: 2013-09-17
Also published as: KR101798694B1; TWI536115B; TW201216013A; CN103189801B; WO2012032903A1; JP2012058347A; CN103189801A; JP5481736B2

Abstract

필름의 노광 장치(1)에는, 공급되는 필름(2)의 선단부에 마스크(12)의 초기 위치의 기준이 되는 인입 마크(2a)를 형성하는 인입 마크 형성부(13)가 설치되어 있고, 검출부(15)에 의해, 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 인입 마크의 위치를 검출한다. 그리고, 이 검출 결과에 의해, 마스크의 위치를 조정한다. 인입 마크는, 예를 들어 YAG 레이저에 의해 형성한다. 검출부는, 예를 들어 마스크의 하방에 배치된 라인 CCD 카메라이다. 이에 의해, 필름 노광 장치는, 필름의 노광을 개시할 때에, 마스크의 위치를 고정밀도로 설정하여, 높은 노광 정밀도로 필름을 안정적으로 노광할 수 있다.

Description

필름의 노광 장치 {FILM EXPOSURE DEVICE}

본 발명은, 필름의 노광 장치에 관한 것으로, 특히, 필름의 노광을 개시할 때의 마스크의 위치를 고정밀도로 설정할 수 있어, 필름의 노광을 안정적으로 행할 수 있는 필름의 노광 장치에 관한 것이다.

종래, 예를 들어 평판 형상의 기판 등의 부재를 노광할 때에는, 그 노광 위치를 고정밀도로 관리하기 위해, 예를 들어 표면 상에 소정의 마킹을 실시한 기판을 사용하고, 이 마킹에 의해, 노광에 사용하는 마스크의 위치를 결정하거나, 기판을 적재하는 팰릿에 위치 정렬용 핀을 설치하는 것이 행해지고 있다(예를 들어, 특허문헌 1, 2).

그러나, 노광 대상이 필름인 경우에는, 상기한 바와 같은 평판 형상 부재의 노광에 있어서의 위치 정렬 기술을 적용하는 것이 어렵다. 즉, 노광 대상으로 되는 필름은, 예를 들어 도 9에 도시하는 바와 같은 공정에서, 롤투롤 방식의 제조 라인의 도중에 노광 장치(1)에 공급되지만, 평판 형상의 기판 등을 노광하는 경우와는 달리, 그 유연성에 의해, 반송 중인 필름(1)에는 용이하게 주름이 발생한다.

또한, 도 9에 도시하는 바와 같은 롤투롤 방식의 필름의 제조 라인에 있어서는, 모든 가공 공정에 있어서, 필름의 유연성을 이용한 처리가 행해지고 있다. 즉, 필름(2)은, 롤(20)로부터 풀려 라인에 공급되고, 전처리부(3)에 있어서 예를 들어 드라이 세정 및 표면 개질 등의 전처리가 실시되고, 슬릿 코터(4)에서 표면에 소정의 재료가 도포 시공된 후, 도포 시공된 재료가 건조 장치(5)에서 건조된다. 그리고, 표면 상에 재료막이 형성된 필름(2)은, 노광 장치(1)에 공급되고, 재료막이 노광 장치(1)에서 노광된다. 이때, 필름(2)은, 각 장치 사이를, 예를 들어 롤러(9)에 의해 지지되어, 그 회전에 의해 반송된다. 따라서, 특허문헌 1 및 2에 개시된 기술을 필름(2)의 노광에 적용하는 것은 곤란하다.

필름의 노광에 있어서의 마스크의 위치 정렬 기술로서는, 예를 들어 특허문헌 3에 개시된 것이 있다. 특허문헌 3에는, 1매의 필름에 노광을 2회로 나누어 행하는 기술이 개시되어 있고, 필름에 1회째의 노광을 실시하여 패턴을 형성한 후, 2회째의 노광시에는, 이 패턴을 라인 CCD에 의해 검출하고, 이 검출 결과에 의해 마스크의 위치를 조절하는 기술이 개시되어 있다.

그러나, 이 특허문헌 3의 기술은, 필름이 한 번 소정의 패턴으로 노광되어 있는 경우에 있어서는, 그 패턴을 촬상함으로써, 마스크의 위치를 조정할 수 있지만, 노광 처리를 행하고 있지 않은 필름에 대해 노광을 처음 행하는 경우에 있어서는, 마스크의 위치를 고정밀도로 설정할 수는 없다.

도 10은 노광광을 출사하는 광원(11)이 1개의 마스크(12)에 대응하여 1쌍씩 마주보고 배치되고, 노광 대상인 예를 들어 기판(20)에 대해, 서로 다른 방향으로부터 노광광을 조사하는 형식의 종래의 노광 장치를 일례로서 도시하는 도면이다. 이러한 형식의 노광 장치는, 예를 들어 액정 디스플레이 등의 글래스 기판 상에 배향막을 형성할 때의 노광 공정에 있어서 사용되고 있고, 글래스 기판 상의 1회소(繪素)로 되는 영역을 2개의 영역으로 분할하여, 각각의 영역에서 배향막을 서로 다른 방향으로 배향시키고, 이에 의해 글래스 기판 사이에 끼움 지지하는 액정의 분자를 배향막의 배향 방향에 따라서 배향시키고, 이에 의해 액정 디스플레이 등의 시야각을 넓힐 수 있는 기술로서, 최근 주목을 모으고 있다.

이러한 노광 장치에 의해 필름을 노광할 때에는, 필름에는, 반송 중에 주름이 발생하기 쉽고, 이에 의해 노광 위치의 어긋남이 발생한다고 하는 문제점이 있다. 이 노광 위치의 어긋남의 영향을 저감하기 위해, 예를 들어 상기한 바와 같은 필름의 이동 방향으로 복수의 광원을 배치한 구성의 노광 장치에 있어서는, 예를 들어 도 11에 도시하는 바와 같이, 마스크를 복수개로 분할하고, 또한 지그재그 형상으로 배치하는 것이 행해지고 있다. 그리고, 도 11에 도시하는 바와 같이, 필름이 공급되어 오는 상류측에서, 서로 이격되어 배치된 마스크(121 및 122)에 의해, 필름(2)을 노광 영역 A 및 C에서 노광하고, 하류측에서, 노광 영역 A 및 C 사이의 영역 B를 마스크(123)에 의해 노광하고, 노광 영역 C에 인접하는 영역 D를 마스크(124)에 의해 노광하는 것이 행해지고 있다. 이에 의해, 필름(2)의 거의 전면에 배향 분할한 패턴을 형성할 수 있다.

일본 특허 출원 공개 소62-294252호 공보 국제 공개 제08/139643호 일본 특허 출원 공개 제2006-292919호 공보

그러나, 상기 특허문헌 3의 기술은, 필름에 미리 높은 정밀도로 소정의 패턴이 형성되어 있는 경우에 있어서만, 2회째 이후의 노광을 고정밀도로 행하는 것이 가능한 기술이며, 필름에 대해 노광을 처음 행할 때에 있어서의 마스크의 위치를 높은 정밀도로 설정하는 기술은 아직 제안되어 있지 않다. 따라서, 필름의 노광을 개시할 때에 노광 위치가 어긋난다고 하는 과제는, 해결되지 않은 상태였다.

또한, 상기한 바와 같은 필름의 이동 방향으로 복수의 광원을 배치한 구성의 노광 장치에 있어서는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 노광용 광원(11)을 내장하고 있는 부분[광원(11)의 하우징 부분]은, 1광원에 대해, 예를 들어 필름의 이동 방향으로 약 2m 정도의 길이를 갖고 있고, 도 11에 도시하는 바와 같은 노광 영역 A 및 C와 노광 영역 B 및 D 사이의 거리는, 적어도 4m 정도로 길어진다. 따라서, 상류측의 노광 영역 A 및 C로부터 하류측의 노광 영역 B 및 D로의 반송 중에, 필름에 용이하게 주름이 발생될 뿐만 아니라, 그 폭 방향으로도 어긋나기 쉽다고 하는 문제점이 있다. 따라서, 하나의 노광 영역에 있어서의 노광 위치의 어긋남에 더하여, 상류측의 노광 영역 A 및 C와 하류측의 노광 영역 B 및 D 사이에서는, 필름의 폭 방향으로 위치가 어긋남으로써, 노광 영역이 겹쳐 버리거나, 미노광 영역이 발생한다고 하는 문제점이 있다.

본 발명은 이러한 문제점에 비추어 이루어진 것이며, 필름의 노광을 개시할 때에, 마스크의 위치를 고정밀도로 설정하여, 높은 노광 정밀도로 필름을 안정적으로 노광할 수 있는 필름의 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 필름의 노광 장치는, 노광광을 출사하는 광원과, 소정의 광 투과 영역의 패턴이 형성되고 상기 광원으로부터의 노광광을 상기 패턴에 대응시켜 투과시키는 마스크와, 이 마스크의 광 투과 영역을 투과한 광의 광로 상으로 노광 대상인 필름을 그 선단부로부터 연속적으로 공급하는 필름 공급부와, 상기 마스크를 지지하는 마스크 지지부를 갖고, 상기 필름의 표면에 형성된 노광 재료에 상기 마스크의 광 투과 영역을 투과한 광을 조사하여 상기 필름을 노광하는 노광 장치에 있어서, 상기 필름의 선단부에 상기 마스크의 초기 위치의 기준이 되는 인입 마크를 형성하는 인입 마크 형성부와, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 상기 인입 마크와 상기 마스크 상의 마크 사이의 거리를 검출하는 검출부와, 이 검출부에 의한 검출 결과에 의해, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 상기 마스크의 위치를 조정하는 마스크 위치 제어부를 갖는 것을 특징으로 한다.

이 필름의 노광 장치에 있어서, 예를 들어 상기 마스크 상의 마크는, 상기 광 투과 영역보다도 상기 필름 공급부측의 위치에 형성되어 있다.

상기 마스크는, 예를 들어 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향으로 복수개 배치되어 있고, 상기 인입 마크 형성부는, 각각의 마스크에 대응시켜 상기 필름의 선단부에 복수개의 인입 마크를 형성한다. 이 경우에, 예를 들어 상기 복수개의 마스크는, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향으로 지그재그 형상으로 배치되어 있다.

상술한 필름의 노광 장치에 있어서, 예를 들어 상기 인입 마크 형성부는, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향으로 연장되는 스테이지부와, 상기 인입 마크를 형성하는 마킹부와, 이 마킹부를 상기 스테이지부의 길이 방향을 따라 이동시키는 반송부를 갖는다.

본 발명에 관한 필름의 노광 장치는, 예를 들어 상기 마스크보다도 상기 필름 공급부측에 배치되고 상기 필름 공급부로부터 공급되어 오는 필름의 테두리부에 얼라인먼트 마크를 형성하는 얼라인먼트 마크 형성부와, 이 얼라인먼트 마크의 위치를 상기 필름의 이동 방향 하류측에서 검출하는 제2 검출부를 갖고, 상기 마스크 위치 제어부는, 상기 제2 검출부에 의한 검출 결과에 의해, 상기 필름을 연속적으로 공급하고 있는 동안에, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 상기 마스크의 위치를 조정한다.

본 발명에 관한 필름의 노광 장치는, 필름의 선단부에 마스크의 초기 위치의 기준이 되는 인입 마크를 형성하는 인입 마크 형성부를 갖고, 검출부에 의해 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 인입 마크와 마스크 상의 마크 사이의 거리를 검출하고, 이 검출 결과에 의해, 마스크 위치 제어부는, 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 마스크의 위치를 조정한다. 이에 의해, 필름의 선단부에는, 위치 결정용 인입 마크가 높은 정밀도로 형성되고, 이 인입 마크의 위치에 의해, 필름의 노광을 개시할 때에 있어서도, 마스크의 위치를 고정밀도로 설정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 높은 노광 정밀도로 필름을 안정적으로 노광할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치에 있어서, 인입 마크 형성부를 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치의 전체를 도시하는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치에 있어서, 필름에 대해 인입 마크를 형성하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치에 있어서, 마스크를 도시하는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치에 있어서, 인입 마크에 의한 마스크 위치의 보정을 도시하는 도면이다.
도 6은 필름 위치의 제어부를 일례로서 도시하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치에 있어서, 하류측의 마스크에 의한 노광 공정을 도시하는 도면이다.
도 8은 필름의 폭 방향의 어긋남의 보정을 도시하는 도면이다.
도 9는 롤투롤 방식의 필름 제조 라인의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은 배향 분할 방식의 노광 장치를 일례로서 도시하는 사시도이다.
도 11은 필름을 노광할 때의 마스크의 배치를 일례로서 도시하는 도면이다.

이하, 첨부의 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대해 구체적으로 설명한다. 우선, 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치의 구성에 대해 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치에 있어서, 인입 마크 형성부를 도시하는 사시도, 도 2는 본 발명의 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치의 전체를 도시하는 사시도, 도 3은 필름에 대해 인입 마크를 형성하는 공정을 도시하는 도면이다. 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 필름의 노광 장치는, 노광광을 출사하는 광원(11)과, 마스크(12)와, 마스크(12)를 이동 가능하게 지지하는 마스크 스테이지(17)(마스크 지지부)와, 예를 들어 반송 롤러 등의 필름 공급부에 근접하여 배치된 레이저 마커(13)(인입 마크 형성부)와, 예를 들어 마스크(12)의 하방에서 필름(2)의 폭 방향으로 연장되도록 배치된, 예를 들어 라인 CCD(15)(필름 인입 위치 검출부)와, 마스크(12)의 위치를 제어하는 마스크 위치 제어부(30)에 의해 구성되어 있다. 본 발명에 있어서는, 레이저 마커(13)에 의해, 필름 공급부로부터 공급된 필름(2)에 대해 마스크(12)의 위치 결정의 기준이 되는 인입 마크(2a)를 형성한다. 본 실시 형태에 있어서는, 일례로서, 배향 분할 방식의 노광 장치에 본 발명을 적용한 경우에 대해 설명하지만, 본 발명은, 배향 분할 방식의 노광 장치에 한정되지 않고, 모든 필름의 노광 장치에 적용할 수 있다.

노광 대상인 필름(2)은, 예를 들어 도 9에 도시하는 바와 같이, 롤투롤 방식의 롤(20)로부터 권취되어 슬릿 코터(4)에 공급되고, 슬릿 코터(4)에서 표면에 소정의 재료, 예를 들어 배향막 재료가 도포 시공되고, 건조 장치(5)에서 건조된 후, 반송 롤러(8)에 의해 노광 장치(1) 내에 공급된다. 노광 장치(1)의 입구에는, 예를 들어 모터에 의해 구동되는 반송 롤러 등의 필름 공급부가 설치되어 있고, 필름(2)을 레이저 마커(13)측으로, 예를 들어 수평 방향으로 공급하도록 구성되어 있다. 예를 들어, 노광 장치(1) 내에는, 그 밖에도 반송 롤러 등의 필름 반송부가 설치되어 있어, 필름(2)을 노광 장치(1) 내에서 그 길이 방향을 따라 반송하도록 구성되어 있다.

레이저 마커(13)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 갠트리 스테이지(13a), 반송부(13b) 및 마킹부(13c)에 의해 구성되어 있고, 갠트리 스테이지(13a)는, 필름이 공급되어 오는 부분의 상방에서 필름의 이동 방향에 대해 수직하게(필름의 폭 방향으로) 연장되도록 배치되어 있다. 반송부(13b)는, 갠트리 스테이지(13a)에 의해 지지되어 있는 동시에, 갠트리 스테이지(13a) 상을 그 길이 방향을 따라 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 반송부(13b)는, 도시하지 않은 제어 장치에 의해 그 위치가 제어되어 있고, 이에 의해 마킹부(13c)의 위치가 조정 가능하다.

마킹부(13c)는, 예를 들어 Nd:YAG 레이저 등의 레이저 광원으로부터 레이저 광을 출사하여, 도 1에 도시하는 바와 같이, 필름 공급부로부터 공급되어 오는 필름(2)의 선단부에 소정 형상, 예를 들어 십자 형상의 인입 마크(2a)를 형성하는 것이다. 마킹부(13c)는, 반송부(13b)에 고정되어 있고, 제어 장치에 의해 반송부(13b)의 위치가 제어됨으로써, 필름(2) 상으로의 인입 마크(2a)의 형성 위치를 조정할 수 있도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 마킹부(13c)는, 후술하는 4개의 마스크(12)의 각각에 대응하도록, 필름(2)의 선단부에 4개의 인입 마크(2a)를, 예를 들어 일정한 간격으로 형성하도록 구성되어 있다.

광원(11)은, 예를 들어 배향 분할 방식의 노광 장치에 있어서는, 자외광을 출사하는 광원으로, 예를 들어 수은 램프, 크세논 램프, 엑시머 램프 및 자외 LED 등이 사용된다. 광원(11)으로부터 출사된 노광광의 광로 상에는, 각각 예를 들어 필름(2)의 표면의 배향 재료막에 소정의 광량으로 노광광이 조사되도록, 예를 들어 콜리메이터 렌즈 및/또는 반사경 등이 배치되어 있다. 광원(11)은, 예를 들어 도시하지 않은 제어 장치에 의해, 노광광의 출사 방향을 조정할 수 있고, 이에 의해 필름(2)에 대한 노광광의 입사각을 조정 가능하게 구성되어 있다. 본 실시 형태의 노광 장치(1)는, 하나의 노광 영역에 대해 각각 2개의 광원(11)이 마주보고 배치되어 있고, 각각의 광원(11)으로부터 출사된 노광광을 마스크(12)에 투과시킨 후, 필름(2) 상의 1회소로 되는 영역을 분할하여, 각각 다른 노광광에 의해 노광하고, 배향막 재료를 각각의 영역에서 서로 다른 방향으로 배향시킨 배향막으로 한다. 배향 재료막에 대해, 각각 프리틸트각이 다른 2개의 노광광을 조사함으로써, 액정 분자의 배향 방향을 서로 다르게 할 수 있고, 예를 들어 1회소 내에 있어서, 배향막의 배향 방향에 추종하여 방향이 정렬되는 액정 분자의 방향을 2방향으로 함으로써, 액정 디스플레이 등의 시야각을 넓게 하고 있다. 또한, 광원(11)은, 1개소의 노광 영역에 대해 2개에 한정되지 않고, 3개 이상 설치해도 되고, 서로 다른 방향으로부터의 노광광에 의해, 예를 들어 배향막 재료를 3방향 이상으로 배향시켜도 된다. 또한, 예를 들어 1개소의 노광 영역에 대해, 광원(11)을 1개 설치하여, 광원(11)으로부터 출사된 노광광을 편광판 등에 의해 분할하고, 분할한 2개의 노광광을 서로 다른 방향으로부터 조사하도록 구성해도 된다. 예를 들어, 편광판에 의해, 노광광을 P 편광의 직선 편광의 노광광과 S 편광의 직선 편광의 노광광으로 분할하여, 각각 다른 방향으로부터 조사할 수 있다.

마스크(12)는, 필름(2)의 이동 방향의 상류측 및 하류측에 각각 복수개, 서로 이격되어 배치되어 있고, 예를 들어 도 3에 도시하는 바와 같이, 상류측[마스크(121, 122)] 및 하류측[마스크(123, 124)]에 각각 2개씩 설치되어 있다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 복수개의 마스크(12)는, 상류측의 마스크(121, 122)에 의한 노광 영역과 하류측의 마스크(123, 124)에 의한 노광 영역이, 필름의 이동 방향을 따라 인접하도록, 즉, 지그재그 형상으로 배치되어 있고, 각각의 마스크(12)에 대해, 상기한 한 쌍의 광원(11)이 설치되어 있다. 그리고, 도 3에 도시하는 바와 같이, 필름(2)의 이동 방향의 상류측의 마스크(121 및 122)에 광원(11)으로부터의 노광광을 투과시켜, 필름(2) 상의 배향막 재료를 노광 영역 A 및 C에서 노광한다. 또한, 하류측의 마스크(123 및 124)에 광원(11)으로부터의 노광광을 투과시켜, 필름(2) 상의 배향막 재료를 노광 영역 B 및 D에서 노광한다.

본 실시 형태에 있어서는, 마스크(12)는 도 4에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 프레임(120)과 그 중앙의 패턴 형성부(121)에 의해 구성되어 있고, 패턴 형성부(121)에는, 소정의 광 투과 영역의 패턴(121a)이 형성되어 있다. 즉, 필름(2)에 형성하려고 하는 패턴 형상에 대응하여 노광광을 투과하는 형상의 개구가 형성되어 있거나, 또는 광 투과성 부재가 설치되어 있다. 그리고, 예를 들어 배향 분할 방식의 노광 장치에 있어서는, 패턴 형성부(121)를 투과한 광에 의해 스테이지(10) 상에 배치된 필름(2)의 표면의 배향 재료막을 노광한다. 본 실시 형태에 있어서는, 마스크(12)마다 한 쌍의 광원(11)을 배치하여, 각각 입사각이 다른 노광광을 출사한다. 따라서, 본 실시 형태에 있어서는, 패턴(121a)은 필름의 폭 방향으로 배열되는 복수개의 슬릿이, 필름의 이동 방향으로 2열 배열되도록 형성되어 있다.

본 실시 형태에 있어서는, 마스크(12)에는, 패턴(121a)보다도 상류측에, 필름(2)의 이동 방향에 대해 수직한 폭 방향으로 연장되도록, 폭이 300㎛ 정도, 길이가 250㎜ 정도인 라인 CCD용 감시 창(12a)이 설치되어 있고, 이 감시 창(12a)의 길이 방향의 중간에 노광광을 차광하는 예를 들어 폭이 15㎛ 정도인 라인 형상의 차광 패턴(12b)이 설치되어 있다. 그리고, 후술하는 라인 CCD(15)에 의해 차광 패턴(12b)의 위치를 검출하여, 마스크(12)의 위치 결정에 사용한다.

마스크 스테이지(17)(마스크 지지부)는, 마스크(12) 각각에 대해 설치되어 있고, 예를 들어 마스크(12)의 프레임(120)을 지지하는 것이다. 마스크 스테이지(17)는, 예를 들어 도 6에 도시하는 바와 같은 마스크 위치 제어부(30)에 접속되어 있고, 마스크 위치 제어부(30)에 의한 제어에 의해, 그 위치를, 예를 들어 수평 방향(필름의 폭 방향, 또는 필름의 폭 방향 및 필름의 길이 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 이에 의해, 마스크(12)에 의한 필름(2)의 노광 위치를 수평 방향으로 조정할 수 있다. 마스크 스테이지(17)는, 예를 들어 연직 방향으로도 이동 가능하며, 이에 의해 필름(2) 상의, 예를 들어 배향막 재료가 소정의 크기로 노광되도록 조정 가능하게 구성되어 있다.

도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 라인 CCD(15)(필름 인입 위치 검출부)는, 각각의 마스크(12)에 설치된 감시 창(12a) 및 차광 패턴(12b)의 하방에서 필름(2)의 폭 방향으로 연장되도록 배치되어 있고, 필름(2)의 선단부가 라인 CCD(15)의 상방[라인 CCD(15)와 마스크(12) 사이]에 위치할 때까지 반송되어 왔을 때에, 필름(2)의 선단부에 형성된 인입 마크(2a)의 위치를 검출한다. 또한, 라인 CCD(15)는, 마스크(12)의 감시 창(12a)의 중간에 설치된 차광 패턴(12b)을 마스크(12)의 실제의 위치로서 검출한다. 라인 CCD(15)는, 마스크 위치 제어부(30)에 접속되어 있어, 검출한 인입 마크(2a) 및 차광 패턴(12b)의 위치를 마스크 위치 제어부(30)로 송신하도록 구성되어 있다.

마스크 위치 제어부(30)는, 라인 CCD(15)로부터 송신되어 온 인입 마크(2a) 및 차광 패턴(12b)의 위치로부터 연산된 필름면에 평행한 면에 있어서의 양자간의 거리에 의해, 마스크(12)의 위치를 조정하도록 구성되어 있다. 즉, 마스크 위치 제어부(30)에는, 미리 인입 마크(2a)의 위치를 기준으로 하여, 설정해야 할 마스크[차광 패턴(12b)]의 위치의 데이터가 저장되어 있고, 도 5에 도시하는 바와 같이, 마스크 위치 제어부(30)는, 라인 CCD(15)에 의해 검출한 인입 마크(2a)의 위치를 기준 위치로 하여, 검출한 차광 패턴(12b)의 위치에 의해 정해지는 마스크 위치가 소정의 위치로 될 때까지, 마스크 스테이지(17)의 위치를 이동시킨다. 이에 의해, 본 실시 형태의 노광 장치에 있어서는, 노광을 개시할 때에 있어서, 필름(2)에 미리 높은 정밀도로 형성한 인입 마크(2a)의 위치를 기준으로 하여, 마스크(12)의 위치를 조정할 수 있어, 필름의 노광해야 할 위치를 고정밀도로 정할 수 있다.

도 6은 마스크 위치 제어부(30)의 구성을 일례로서 도시하는 도면이다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 마스크 위치 제어부(30)는, 예를 들어 마스크 스테이지 구동부, 광원(11) 및 필름 권취용 롤(8)(도 9 참조)에 설치된 모터의 제어부에 접속되어 있다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 마스크 위치 제어부(30)는, 화상 처리부(31)와, 연산부(32)와, 메모리(33)와, 모터 구동 제어부(34)와, 광원 구동부(35)와, 마스크 스테이지 구동 제어부(36)와, 제어부(37)를 구비하고 있다.

화상 처리부(31)는, 후술하는 얼라인먼트 마크 검출부(16)에 의해 촬상된 얼라인먼트 마크(2b)의 화상 처리를 행하여, 예를 들어 얼라인먼트 마크(2b)의 필름 폭 방향에 있어서의 중심 위치를 검출하는 것이다. 연산부(32)는, 예를 들어 인입 마크(2a) 및 차광 패턴(12b)의 중심 위치 사이의 거리와 미리 저장되어 있는 양자간의 설정해야 할 거리의 어긋남을 연산한다. 또한, 연산부(32)는, 화상 처리부(31)가 검출한 얼라인먼트 마크(2b)의 중심 위치에 의해, 설정해야 할 얼라인먼트 마크(2b)의 중심 위치와 실제의 얼라인먼트 마크(2b)의 중심 위치의 필름의 폭 방향의 어긋남도 연산한다. 메모리(33)는, 예를 들어 화상 처리부(31)가 검출한 얼라인먼트 마크(2b)의 중심 위치 및 연산부(32)가 연산한 어긋남량을 기억한다. 모터 구동 제어부(34)는, 예를 들어 필름 권취용 롤(8)의 모터의 구동 혹은 정지, 또는 구동되고 있을 때의 회전 속도를 제어한다.

광원 구동부(35)는, 광원(11)의 점등 혹은 소등, 출력, 또는 발진 주파수를 제어하는 것이다. 마스크 스테이지 구동 제어부(36)는, 마스크 스테이지(17)의 구동을 제어하는 것이며, 예를 들어 마스크 스테이지(17)의 이동 방향 및 이동량을 제어한다. 제어부(37)는, 이들 화상 처리부(31), 연산부(32), 메모리(33), 모터 구동 제어부(34), 광원 구동부(35) 및 마스크 스테이지 구동 제어부(36)의 구동을 제어한다. 이에 의해, 필름의 노광 장치(1)는, 예를 들어 마스크(12)의 위치를 조정하거나, 광원(11)에 의한 노광광의 조사의 온 오프를 전환하거나, 또는 필름(2)을 권취하는 롤(8)에 설치된 모터의 회전 속도 등을 제어할 수 있도록 구성되어 있다.

본 실시 형태에 있어서는, 필름(2)의 이동 방향의 하류측에도 광원(11), 마스크(12), 마스크 스테이지(17), 라인 CCD(15) 및 마스크 위치 제어부(30)가 설치되어 있지만, 이들 구성에 대해서는, 상류측의 구성과 동일하므로, 상세한 설명은 생략한다.

다음에, 본 실시 형태의 필름의 노광 장치(1)의 동작에 대해 설명한다. 우선, 도 9에 도시하는 바와 같은 슬릿 코터(4) 및 건조 장치(5) 등에 의해, 소정의 가공이 실시된 필름(2)은, 예를 들어 반송 롤러(8)에 의해, 그 선단부로부터 노광 장치(1) 내에 공급된다. 노광 장치(1) 내에 공급된 필름(2)은, 예를 들어 반송 롤러 등의 필름 공급부에 의해, 선단부가 레이저 마커(13)의 하방으로 공급된다.

필름(2)의 선단부가 레이저 마커(13)의 하방에 공급되면, 예를 들어 반송 롤러 등에 의한 필름(2)의 공급을 일단 정지한다. 그리고, 제어 장치에 의한 제어에 의해, 레이저 마커(13)의 반송부(13b)를 갠트리 스테이지(13a) 상에서 이동시킴으로써, 마킹부(13c)를 소정의 위치까지 반송한다. 이에 의해, 마킹부(13c)는, 예를 들어 4개의 마스크(12) 각각에 설치된 감시 창(12a)의 상류측 중 어느 한 위치에 배치된다.

마킹부(13c)의 위치가 확정하면, 마킹부(13c)로부터 레이저 광을 출사하여 필름(2)의 선단부에, 예를 들어 십자 형상의 인입 마크(2a)를 형성한다. 이때, 필름(2)은 필름 공급부측의 반송 롤러 등에 의해 지지된 상태이므로, 필름(2)의 선단부가 진동하거나 주름이 생기는 일은 없어, 인입 마크(2a)를 고정밀도로 형성할 수 있다. 1개소의 인입 마크(2a)의 형성이 종료되면, 제어 장치는, 예를 들어 반송부(13b)를 갠트리 스테이지(13a) 상에서 이동시킴으로써, 마킹부(13c)를 이동시킨 후, 마찬가지로, 레이저 광을 조사하여, 필름의 선단부에 인입 마크(2a)를 형성한다. 그리고, 도 3에 도시하는 바와 같이, 필름의 선단부에 4개의 인입 마크(2a)의 형성이 종료되면, 레이저 마커(13)의 동작을 정지하고, 반송 롤러 등에 의한 필름(2)의 반송을 재개한다.

필름(2)은, 반송 롤러 등에 의한 반송에 의해, 도 5에 도시하는 바와 같이, 선단부가 노광 영역 A 및 C에 대응하여 배치된 마스크(12)[마스크(121, 122)]의 하방에 도달한다. 각각의 마스크(12)의 하방의 감시 창(12a)[및 차광 패턴(12b)]에 대응하는 위치에는, 필름(2)의 폭 방향으로 연장되도록 라인 CCD(15)가 배치되어 있고, 라인 CCD(15)는 인입 마크(2a)가 라인 CCD(15)의 상방에 위치할 때까지 반송되어 왔을 때에, 인입 마크(2a)의 위치를 검출한다. 또한, 라인 CCD(15)는, 마스크(12)의 감시 창(12a)의 중간에 설치된 차광 패턴(12b)의 위치를 검출한다. 이에 의해, 인입 마크(2a)와 마스크(12)의 차광 패턴(12b) 사이의 거리를 측정한다. 그리고, 라인 CCD(15)는 검출한 인입 마크(2a)와 차광 패턴(12b) 사이의 거리의 신호를 마스크 위치 제어부(30)에 송신한다. 또한, 라인 CCD(15)에 의한 검출 공정으로부터 마스크 위치의 조정이 종료될 때까지는, 예를 들어 필름(2)의 반송을 정지시켜 두거나, 또는 필름(2)에 대한 노광을 개시시키지 않는다.

다음에, 라인 CCD(15)로부터 인입 마크(2a)와 차광 패턴(12b) 사이의 거리의 신호가 입력되면, 마스크 위치 제어부(30)는, 우선 필름면에 평행한 면에 있어서의 양자간의 거리를 미리 저장된 데이터[인입 마크(2a)의 위치를 기준으로 한 마스크(12)의 설정해야 할 초기 위치의 데이터]와 비교한다. 그리고, 차광 패턴(12b)의 위치에 의해 정해지는 마스크 위치가 소정의 초기 위치로 될 때까지, 마스크 스테이지(17)를 이동시킨다. 이에 의해, 노광 영역 A 및 C에 있어서의 노광의 개시 전에, 필름(2)을 기준으로 하여, 마스크(12)[마스크(121, 122)]의 초기 위치가 고정밀도로 정해진다.

마스크(12)의 초기 위치가 정해지면, 노광 대상 부위가 노광광의 조사 영역에 위치할 때까지 필름(2)을 예를 들어 반송 롤러 등에 의해 반송하고, 광원(11)으로부터의 노광광을 마스크(12)에 투과시켜, 필름(2)을 노광한다. 이에 의해, 필름(2) 상의 배향막 재료가 소정의 방향으로 배향한다. 1개소의 노광이 종료되면, 순차 필름(2)을 공급하여, 노광 대상 부위를 순차 노광한다. 이에 의해, 필름(2)에는, 노광 영역 A 및 C에 의해 노광된 패턴이 띠 형상으로 2줄 형성되어 간다.

필름(2)은, 반송에 의해, 도 7에 도시하는 바와 같이, 선단부가, 하류의 노광 영역 B 및 D에 대응하여 배치된 마스크(12)[마스크(123, 124)]의 하방에 도달한다. 각각의 마스크(12)의 하방의 감시 창(12a)[및 차광 패턴(12b)]에 대응하는 위치에는, 상류의 경우와 마찬가지로, 필름(2)의 폭 방향으로 연장되도록 라인 CCD(15)가 배치되어 있고, 라인 CCD(15)는 인입 마크(2a)가 라인 CCD(15)의 상방[라인 CCD(15)와 마스크(12) 사이]에 위치할 때까지 반송되어 왔을 때에, 인입 마크(2a)의 위치를 검출한다. 그리고, 상류측의 경우와 마찬가지로, 라인 CCD(15)는 마스크(12)의 감시 창(12a)의 중간에 설치된 차광 패턴(12b)을 마스크(12)의 실제의 위치로서 검출하고, 이에 의해 인입 마크(2b)와 마스크(12)의 차광 패턴(12b) 사이의 거리를 측정한다. 그리고, 검출한 인입 마크(2b)와 차광 패턴(12b) 사이의 거리의 신호를 마스크 위치 제어부(30)에 송신한다. 또한, 라인 CCD(15)에 의한 검출 공정으로부터 마스크 위치의 조정이 종료될 때까지는, 예를 들어 필름(2)의 반송을 정지시켜 두거나, 또는 필름(2)에 대한 노광을 개시시키지 않는다.

라인 CCD(15)로부터 인입 마크(2a)와 차광 패턴(12b) 사이의 거리의 신호가 입력되면, 마스크 위치 제어부(30)는, 우선 필름면에 평행한 면에 있어서의 양자간의 거리를 미리 저장된 데이터[인입 마크(2a)의 위치를 기준으로 한 마스크(12)의 설정해야 할 초기 위치의 데이터]와 비교한다. 그리고, 차광 패턴(12b)의 위치에 의해 정해지는 마스크 위치가 소정의 초기 위치로 될 때까지, 마스크 스테이지(17)의 위치를 이동시킨다. 이에 의해, 노광 영역 B 및 D에 있어서의 노광의 개시 전에, 필름(2)을 기준으로 하여, 마스크(12)[마스크(123, 124)]의 초기 위치가 고정밀도로 정해진다.

마스크(12)의 초기 위치가 정해지면, 노광 대상 부위가 노광광의 조사 영역에 위치할 때까지 필름(2)을 예를 들어 반송 롤러 등에 의해 반송하고, 광원(11)으로부터의 노광광을 마스크(12)에 투과시켜, 필름(2)을 노광한다. 이에 의해, 필름(2) 상의 배향막 재료가 소정의 방향으로 배향한다. 1개소의 노광이 종료되면, 순차 필름(2)을 공급하여, 노광 대상 부위를 순차 노광한다. 이에 의해, 필름(2)에는, 노광 영역 B 및 D에 의해 노광된 패턴이 형성되고, 노광 영역 A 및 C 사이에 의해 형성된 패턴 사이가 노광 영역 B에 의해 노광된 패턴에 의해 메워져, 노광 영역 C에 의해 형성된 패턴에 인접하도록, 노광 영역 D에 의한 패턴이 형성된다.

종래의 노광 장치에 있어서는, 노광 영역을 상류측과 하류측으로 나눈 경우에, 필름(2)의 주름 및 폭 방향의 어긋남에 의해, 노광 영역이 겹쳐 버리거나, 미노광 영역이 발생한다고 하는 문제점이 있었지만, 본 실시 형태에 있어서는, 마스크의 초기 위치를, 필름(2)의 선단에 형성한 인입 마크(2a)를 기준으로 하여 결정하고 있으므로, 상류측의 패턴에 더하여, 하류측의 패턴도 고정밀도로 형성할 수 있다. 즉, 이미 노광 영역 A 및 C에 의해 형성된 패턴과 노광 영역 B 및 D에 의해 형성된 패턴이 겹치거나, 미노광 부분이 남거나 하는 일은 없어, 고정밀도로, 필름의 전면에 패턴이 형성되어, 필름을 안정적으로 노광할 수 있다.

다음에, 본 실시 형태의 노광 장치에 있어서, 노광을 연속적으로 행할 때의 필름(2)의 폭 방향의 위치 어긋남에 의한 노광 위치의 어긋남을 보정하는 기구에 대해 설명한다. 본 실시 형태에 있어서는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 노광 장치(1)에는, 필름의 이동 방향 상류측의 마스크(121, 122)와 필름의 폭 방향으로 배열되도록, 얼라인먼트용 레이저 마커(14)(얼라인먼트 마크 형성부)가 설치되어 있다. 그리고, 얼라인먼트용 레이저 마커(14)에 의해, 필름 공급부로부터 공급되어 오는 필름(2)의 테두리부에 얼라인먼트 마크(2b)를 형성한다. 또한, 노광 장치(1)에는, 필름의 이동 방향 하류측의 마스크(123, 124)와 필름의 폭 방향으로 배열되도록 얼라인먼트 마크 검출부(16)가 설치되어 있다. 얼라인먼트 마크 검출부(16)는, 필름(2)의 상방 또는 하방에 배치되어 있고, 얼라인먼트용 레이저 마커(14)가 필름(2)의 테두리부에 형성된 얼라인먼트 마크(2a)의 필름 폭 방향에 있어서의 위치를 검출한다. 얼라인먼트 마크 검출부(16)는, 상술한 마스크 위치 제어부(30)에 접속되어 있어, 검출한 신호를 마스크 위치 제어부(30)에 송신한다.

얼라인먼트용 레이저 마커(14)는, 예를 들어 Nd:YAG 레이저 또는 자외광 등을 조사하는 레이저 광원이며, 예를 들어 크세논 플래시 램프 등의 펄스 광원에 의해 펄스 레이저 광을 출사하여, 도 7에 도시하는 바와 같이, 필름(2)의 테두리부에, 예를 들어 폭이 20㎛, 길이가 15㎜인 얼라인먼트 마크(2b)를 일정 간격으로 형성하는 것이다. 얼라인먼트용 레이저 마커(14)는, 예를 들어 필름(2)의 이동 방향에 있어서의 상류측 마스크(121, 122)의 감시 창(12a)[및 차광 패턴(12b)]에 대응하는 위치에서, 필름(2)의 테두리부로부터 예를 들어 25㎜ 이하의 영역에 얼라인먼트 마크(2b)를 형성한다. 이에 의해, 필름(2)의 이동 방향의 상류측의 영역 A 및 영역 C에서 형성되는 패턴과 필름(2)의 테두리부에 있어서의 얼라인먼트 마크(2b)의 거리는, 항상 일정 간격으로 된다.

필름(2)의 이동 방향의 하류측에 배치된 얼라인먼트 마크 검출부(16)는, 예를 들어 CCD 카메라이며, 도 8에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 하류측 마스크(123, 124)의 감시 창(12a)에 대응하는 위치에서, 필름(2)의 테두리부에 형성된 얼라인먼트 마크(2b)의 필름 폭 방향에 있어서의 위치를 검출하도록 구성되어 있다. 얼라인먼트 마크 검출부(16)는, 검출한 얼라인먼트 마크(2b)의 필름 폭 방향에 있어서의 위치를, 예를 들어 도 6에 도시하는 바와 같은 마스크 위치 제어부(30)에 송신하고, 마스크 위치 제어부(30)는 이 얼라인먼트 마크(2a)의 위치에 기초하여, 필름의 이동 방향 하류측의 마스크(123 및 124)의 위치를 조정하도록 구성되어 있다.

이상과 같은 구성의 노광 장치(1)에 의한 노광에 있어서, 필름(2)이 상류측의 마스크(12)에 의해 노광된 후, 예를 들어 4m 이상의 거리를 반송되어 오는 동안에, 그 폭 방향으로 위치가 어긋난 경우, 도 8에 도시하는 바와 같이, 필름(2)의 테두리부에 형성된 얼라인먼트 마크(2b)의 위치도, 필름의 폭 방향으로 어긋난다. 이 경우에, 마스크 위치 제어부(30)는, 얼라인먼트 마크 검출부(16)가 검출한 얼라인먼트 마크(2b)의 필름 폭 방향의 위치에 기초하여, 마스크 스테이지 구동 제어부(36)는, 필름(2)의 폭 방향의 어긋남을 보정하도록 마스크 스테이지(17)를 이동시키고, 이에 의해 필름(2)에 대한 마스크(12)의 위치를 보정한다. 즉, 도 8에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 얼라인먼트 마크(2b)의 위치가 필름의 폭 방향 외측으로 어긋난 경우, 마스크 위치 제어부(30)는, 하류측의 마스크(123 및 124)의 위치를, 얼라인먼트 마크(2b)가 어긋난 양만큼 필름의 폭 방향 외측으로 이동시킨다. 반대로, 얼라인먼트 마크(2b)의 위치가 필름의 폭 방향 내측으로 어긋난 경우에 있어서도, 마스크 위치 제어부(30)는, 하류측의 마스크(123 및 124)의 위치를, 얼라인먼트 마크(2b)가 어긋난 양만큼 필름의 폭 방향 내측으로 이동시킨다. 따라서, 필름(2)의 이동 방향의 하류측에 있어서, 얼라인먼트 마크(12b)와 하류측 마스크(123, 124)의 거리가 일정 간격으로 유지된다.

따라서, 본 실시 형태에 있어서는, 연속 노광시에, 도 8에 도시하는 바와 같이, 필름(2)이 그 폭 방향으로 어긋난 경우에 있어서도, 마스크(12)의 위치를 보정함으로써, 필름(2)에 대한 노광 위치가 어긋나는 일 없이, 안정된 노광을 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 1회소로 되는 영역을 분할하여 노광하는 배향 분할 방식의 노광 장치에 대해 설명하였지만, 예를 들어 노광 장치를 이하와 같이 구성함으로써, 3D 디스플레이용 편광 필름을 제조할 수 있다. 즉, 2개의 광원으로부터의 노광광에 의해, 예를 들어 필름의 폭 방향에 인접하는 화소로 되는 영역마다, P 편광 및 S 편광의 직선 편광의 노광광을 교대로 조사하면, 복수개의 회소에 의해 구성된 화소마다 배향 재료막의 배향 방향을 다르게 할 수 있다. 이에 의해, 필름면에 있어서의 배향 방향이 서로 90°달라 1/4λ판과 마찬가지의 기능을 갖는 배향막을 얻을 수 있고, 얻어진 필름을 편광 필름으로서 사용할 수 있다. 즉, 직선 편광의 화상 표시용 광을 이 편광 필름에 투과시키면, 복수개의 화소에 의해 구성되고 필름의 폭 방향으로 연장되는 표시열마다, 서로 회전 방향이 반대인 원편광의 투과광이 출사된다. 이 원편광의 2개의 투과광을, 각각 예를 들어 3D 디스플레이의 우안용 및 좌안용의 표시광으로서 사용할 수 있다.

본 발명은, 롤투롤 방식의 필름에 노광하여 패턴을 형성하는 필름 노광 장치에 있어서, 노광 개시시의 마스크의 위치를 고정밀도로 설정할 수 있다.

1 : 노광 장치
10 : 스테이지
11 : 광원
12 : 마스크
12a : 감시 창
12b : 차광 패턴
120 : 마스크 패턴
121 : 제1 마스크
122 : 제2 마스크
123 : 제3 마스크
124 : 제4 마스크
13 : 레이저 마커
13a : 갠트리 스테이지
13b : 반송부
13c : 마킹부
14 : 얼라인먼트용 레이저 마커
15 : 필름 인입 위치 검출부
16 : 얼라인먼트 마크 검출부
17 : 마스크 스테이지
2 : 필름
2a : 인입 마크
2b : 얼라인먼트 마크
2c : 패턴
30 : 마스크 위치 제어부
31 : 화상 처리부
32 : 연산부
33 : 메모리
34 : 모터 구동 제어부
35 : 광원 구동부
36 : 마스크 스테이지 구동 제어부
37 : 제어부

Claims

노광광을 출사하는 광원과,
소정의 광 투과 영역의 패턴이 형성되고 상기 광원으로부터의 노광광을 상기 패턴에 대응시켜 투과시키는 마스크와,
이 마스크의 광 투과 영역을 투과한 광의 광로 상으로 노광 대상인 필름을 그 선단부로부터 연속적으로 공급하는 필름 공급부와,
상기 마스크를 지지하는 마스크 지지부를 갖고,
상기 필름의 표면에 형성된 노광 재료에 상기 마스크의 광 투과 영역을 투과한 광을 조사하여 상기 필름을 노광하는 노광 장치에 있어서,
상기 필름의 선단부에 상기 마스크의 초기 위치의 기준이 되는 인입 마크를 형성하는 인입 마크 형성부와,
상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 상기 인입 마크와 상기 마스크 상의 마크 사이의 거리를 검출하는 검출부와,
이 검출부에 의한 검출 결과에 의해, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 상기 마스크의 위치를 조정하는 마스크 위치 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는, 필름의 노광 장치.
제1항에 있어서, 상기 마스크 상의 마크는, 상기 광 투과 영역보다도 상기 필름 공급부측의 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름의 노광 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 마스크는, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향으로 복수개 배치되어 있고, 상기 인입 마크 형성부는, 각각의 마스크에 대응시켜 상기 필름의 선단부에 복수개의 인입 마크를 형성하는 것을 특징으로 하는, 필름의 노광 장치.
제3항에 있어서, 상기 복수개의 마스크는, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향으로 지그재그 형상으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름의 노광 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인입 마크 형성부는, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향으로 연장되는 스테이지부와, 상기 인입 마크를 형성하는 마킹부와, 이 마킹부를 상기 스테이지부의 길이 방향을 따라 이동시키는 반송부를 갖는 것을 특징으로 하는, 필름의 노광 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크보다도 상기 필름 공급부측에 배치되고 상기 필름 공급부로부터 공급되어 오는 필름의 테두리부에 얼라인먼트 마크를 형성하는 얼라인먼트 마크 형성부와, 이 얼라인먼트 마크의 위치를 상기 필름의 이동 방향 하류측에서 검출하는 제2 검출부를 갖고, 상기 마스크 위치 제어부는, 상기 제2 검출부에 의한 검출 결과에 의해, 상기 필름을 연속적으로 공급하고 있는 동안에, 상기 필름의 이동 방향에 대해 수직한 방향에 있어서의 상기 마스크의 위치를 조정하는 것을 특징으로 하는, 필름의 노광 장치.