KR20130081383A - 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹 및 이의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 고주파 대역에서 사용되기에 적합한 유전율과 품질계수를 갖는 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹 및 이것의 제조방법에 관한 기술로서, x mol% 의 CaTiO3 와 y mol% 의 Al2O3 의 조성물로 이루어져 소결 성형되되, x 는 80~90 mol% 가 되며, y 는 10-20 mol% 가 되며, x+y=100 mol% 이고, 유전율이 100 이상 200 이하 범위의 값을 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

마이크로파 통신소자용 유전 세라믹 및 이의 제조방법{MICROWAVE COMMUNICATION COMPONENTS DIELECTRIC CERAMIC AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}

본 발명은 고주파 대역에서 사용되기에 적합한 유전율과 품질계수를 갖는 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹 및 이것의 제조방법에 관한 기술이다.

이동 통신기기의 급속한 발달과 더불어 시스템이 소형화되고 있으며, 그에 따라 이동 통신기기에 적용되는 부품도 소형화, 경량화되고 있는 추세이다.

마이크로웨이브 대역에서 사용되는 유전체 재료의 특성으로는 저손실, 고유전율 등의 고효율이 요구되고 있으며, 신호전력의 손실은 전극으로 사용되고 있는 금속도체의 전도손실에 따라 영향을 받고 있다.

'보편적으로 존재한다'라는 의미를 가지는 유비쿼터스(ubiquitous)가 사회 모든 분야의 통념을 새롭게 바꾸고 있는 실정이다. 유비쿼터스 혁명은 새로운 지식정보국가 건설과 자국의 정보산업 경쟁력 강화를 위한 핵심 패러다임이 되어가고 있다.

이러한 인식에 따라 많은 국가의 기업과 주요 연구소에서 유비쿼터스 관련 기술을 앞다투어 개발하고 있다. 유비쿼터스의 실현을 위해서는 전자정보통신기기의 다양한 동작 특성이 요구되면서 나아가 광대역화, 고주파 대역화가 요구된다.

현재 우수한 유전특성을 갖는 고주파 유전체 세라믹이 이동통신, 위성통신 및 무선시스템 등 고주파 영역의 통신부품으로 널리 응용되고 있고, 더욱 확대될 것으로 전망된다.

이러한 고주파 유전체가 응용되는 통신용 부품으로는 듀플렉스, 필터, VOC(Voltage Controlled Oscillator), 안테나, 적층 고주파 세라믹 콘덴서 등이 있다.

세라믹 유전체 재료를 마이크로파에 응용하려는 시도는 1939년 Richtmyer 에 의해 TiO2를 이용한 유전체 공진기의 연구가 이루어진 이래로 점차 마이크로파 소자의 소형화와 관련하여 높은 유전상수를 갖는 물질의 개발이 주류를 이루었다.

마이크로파를 이용한 통신시스템에 사용되는 고주파용 유전체는 다음과 같은 특성이 요구된다.

유전체내에서 마이크로파의 파장은 유전율의 1/2승에 반비례하므로 부품의 소형화를 위해서는 유전율이 커야하고, 유전손실은 주파수에 비례하여 증가하므로 고성능화를 위해서는 품질계수값이 높아야 하고, 유전체 공진기의 공진주파수의 온도계수가 작아야 하며, 경시변화가 적고, 열전도율이 크며, 기계적 강도가 높아야 한다.

지금까지 알려진 대표적인 마이크로파용 유전체 재료 및 그 특성은 다음과 같다.

가) 유전율; 20 ~ 30, Qㆍf=100,000 ~ 150,000 GHz인 Ba(Mg 1/3 Ta2/3 )O3 , Ba(Zn 1/3 Ta2/3 )O3 [참고자료: K.Matsumoto, T.Hiuga, K.Takada and H. Ichimura, Proceedings of 6th IEEE Interational Symposium on Applications of Ferroelectrics, pp118-121, 1986]

나) 유전율; 30 ~ 40, Qㆍf=40,000 ~ 50,000 GHz인 (Zn, Sn)TiO 4 , Ba2 Ti9 O20 [참고자료: J. Am. Ceram. Soc.67(4), p278 ~ 281, 1983]

다) 유전율; 85 ~ 95, Qㆍf=40,000 ~ 50,000 GHz인 (Ba, Pb)O-Nd 2 03 -TiO2 , BaO-(Nd, Bi) 2 03- TiO2 [참고자료: 일본특허 평3-290359, 일본특허 소56-102113]

라) 유전율; 100, Qㆍf=30,000 ~ 40,000 GHz인 (Pb, Ca)ZrO 3 [참고자료: J. Kato. JJAP, Vol. 30, No. 9B, p. 2343 ~ 2346, 1991]

마) 유전율; 110, Qㆍf=3,000 GHz인 CaTiO 3 -(Li1/2 Nd1/2 )TiO3 [참고자료: US Patent No 5,401,702]

바) 유전율; 123, Qㆍf=4,150 GHz, Tf=10.8ppm/℃인 CaO : SrO : Li 2 O : Sm2 O3 : Nd2 O3 : TiO2= 15 : 1 : 9: 6 : 6 : 63인 유전체 세라믹 [참고자료: I. Takahashi, Y. Baba, K. Ezaki, and K. Shibata, JJAP. Vol. 35(9), p5069 ~ 5037, 1992]

제시된 기존의 유전체 재료를 보면 유전율이 높을수록 품질계수(Q·f)값은 대체로 작아진다는 것을 알 수 있다.

이러한 문제점에 착안하여 대한민국 등록특허번호 제10-0349006호(2002.08.02 등록)의 "마이크로파용 유전체 재료"가 제안되었다.

종래기술은 높은 유전율을 갖는 CaTiO3 를 상대적으로 매우 낮은 유전율(9 ~ 10)을 갖지만, 높은 품질계수(100,000 이상) 및 공진주파수의 온도계수가 -55ppm/℃인 Al2O3 와 유전율:33, 품질계수:2,500~3,000, 공진주파수의 온도계수가 -150ppm/℃인 Ca2Nb2O7 를 고용시켜 유전율 40이상, 높은 품질계수(50,000이상), 공진주파수의 온도계수를 -10ppm/℃ ~ +10ppm/℃ 사이에서 용이하게 제어할 수 있는 새로운 마이크로파용 유전체 재료를 제공하고자 하는 기술이다.

한편 종래기술은 CaTiO3, Al2O3, Ca2Nb2O7 의 세가지를 혼합하여 성형되기 때문에 제조상 복잡함과 각 물질을 정량으로 계측하여 혼합하는데 어려움이 있다는 문제점이 있었다.

그리고 기술의 발달과 더불어 부품들에 대한 소형화 욕구는 더욱 증대됨으로써 보다 높은 유전율(100 이상)과 높은 품질계수(180,000 이상)가 요구되고 있는 실정이므로 종래기술로는 이러한 요구조건을 충족시킬 수 없다는 문제점도 있다.

1. 대한민국 등록특허번호 제10-0349006호(2002.08.02 등록)

따라서 본 발명은 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹으로서 유전율 100 ~ 200을 갖추고, 품질계수가 183200 이상이 되는 우수한 유전 세라믹 및 제조방법을 제공하고자 하는 것으로 과제로 한다.

특히, 본 발명은 CaTiO3 와 Al2O3 를 적절한 비율로 혼합하고, 최적의 소결온도를 제시함으로써 고유전율을 달성하면서도 높은 품질계수를 갖출 수 있도록 하는 유전 세라믹 및 제조방법을 제공하고자 한다.

제시한 바와 같은 과제 달성을 위한 본 발명의 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹은, x mol% 의 CaTiO3 와 y mol% 의 Al2O3 의 조성물로 이루어져 소결 성형되되, x 는 80~90 mol% 가 되며, y 는 10-20 mol% 가 되며, x+y=100 mol% 이고, 유전율이 100 이상 200 이하 범위의 값을 갖는 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명에서 상기 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹은 품질계수(Q×f)가 183,200 GHz 이상 221,000 GHz 이하 범위에 있는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법으로서, x mol% 의 CaTiO3에 y mol% 의 Al2O3 를 혼합하여 혼합물을 만드는 제1단계 ( x+y=100 mol%, x 는 80~90 mol%, y 는 10-20 mol% ); 아세톤을 분산용매로 하여 상기 혼합물을 균일하게 교반시키기 위해 습식 볼 밀링하여 교반물을 만드는 제2단계; 상기 교반물을 건조시켜 건조 교반물을 만드는 제3단계; 상기 건조 교반물에 PVC 바인더를 첨가한 후 금형에서 가압하여 예비 성형체를 만드는 제4단계; 상기 예비 성형체를 1300℃ ~ 1500℃에서 2시간 동안 소결하는 제5단계;를 포함하며, 성형된 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 품질계수(Q×f)가 183,200 GHz 이상 221,000 GHz 이하 범위에 있는 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명에서 상기 제2단계는 알루미늄 볼을 사용하여 24시간 동안 습식 볼 밀링이 이루어지고, 상기 제5단계는 상기 예비 성형체를 분당 5℃의 승온 속도로 가열시키는 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명에서 상기 제4단계는 가압 성형으로 상기 예비 성형체를 만들되, 10 KN의 압력으로 가압하도록 하는 것을 특징으로 한다.

그리고 본 발명에서 상기 제4단계에서의 상기 PVC 바인더는 상기 건조 교반물에 대해 5~10 wt% 첨가되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹은 서로 상반되는 특성을 갖는 CaTiO3 와 Al2O3 를 이용하여 비교적 간단하게 높은 유전율과 높은 품질계수를 갖는 유전 세라믹을 제공할 수 있다는 효과가 있다.

도 1은 CaTiO3 와 Al2O3 의 혼합비율 및 소결온도에 따른 X-ray 회절 패턴을 보여주는 도면.
도 2는 Al2O3 의 비율에 따른 유전율(ε_r) 및 품질계수(Q×f)의 변화를 보여주는 도면.
도 3은 소결온도에 따른 유전율의 변화를 나타낸 도면.
도 4는 소결온도에 따른 품질계수값의 변화를 나타낸 도면.
도 5는 소결된 시편의 EDS 분석 자료를 나타낸 도면.
도 6 내지 도 7은 소결한 시편의 FESEM 분석 사진을 나타낸 도면.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 부여하였다.

명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

본 발명의 실시예에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹은 , x mol% 의 CaTiO3 와 y mol% 의 Al2O3 의 조성물로 이루어져 소결 성형되되, x 는 80~90 mol% 가 되며, y 는 10-20 mol% 가 되며, x+y=100 mol% 이고, 유전율이 100 이상 200 이하의 범위에 있게 된다.

즉, CaTiO3 가 90 mol% 인 경우 Al2O3 는 10 mol% 가 되는 것을 의미하며, CaTiO3 가 80 mol% 인 경우 Al2O3 는 20 mol% 가 된다.

그리고 본 발명에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹은 품질계수(Q·f)가 183,200 GHz 이상 221,000 GHz 이하 범위에 있게 된다.

종래기술에서 언급한 바와 같이 유전체 세라믹의 경우 유전율이 높아질수록 품질계수가 떨어지는 반비례 관계에 있게 되는데, 본 발명의 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹은 CaTiO3 와 Al2O3 를 적당 비율로 혼합하여 소결 성형하여 100 ~ 200 의 유전율을 가지면서도 품질계수도 높은 수준으로 유지할 수 있도록 한다.

다음으로 본 발명의 실시예에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법에 대해 설명하도록 한다.

본 발명의 실시예에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법은 크게 제1단계로부터 제5단계로 이어지는 과정으로 이루어진다.

제1단계는 기본적인 원료가 되는 CaTiO3 와 Al2O3 를 적당량 혼합하여 혼합물을 만드는 단계이다. 보다 구체적으로 x mol% 의 CaTiO3에 y mol% 의 Al2O3 를 혼합하게 되는데, x+y=100 mol% 가 되어야 하며, x 는 80~90 mol% 범위이고 y 는 10-20 mol% 범위이다.

제2단계는 교반물을 만드는 것으로서 아세톤과 같은 것을 분산용매로 활용하여 혼합물을 균일하게 교반시키게 된다. 교반시에는 습식 볼 밀링(ball milling)으로 실시하며 nylon jar 와 같은 소정의 용기에 혼합물과 알루미늄 볼 및 아세톤을 넣어서 교반하도록 한다. 습식 볼 밀링을 통해서 CaTiO3 와 Al2O3 는 서로 균일하게 혼합 및 분쇄된다.

바람직하게 제2단계를 통해 이루어지는 습식 볼 밀링 작업은 24시간 정도 지속하도록 한다. 제2단계를 거치게 되면 CaTiO3 와 Al2O3 의 혼합물은 보다 작은 입자로 분쇄되고 동시에 상호 균일하게 혼합될 수 있다.

다음으로 제3단계는 교반물을 건조시켜서 건조 교반물을 만들게 된다.

이어서 제4단계에서는 건조 교반물을 금형에서 가압하여 소정 형상의 예비 성형체를 만들게 된다. 건조 교반물에 PVC 바인더를 첨가하여 금형에 투입한 후 일축 가압하여 소정 직경과 높이를 갖는 판상의 예비 성형체를 만들도록 한다.

PVC 바인더는 건조 교반물이 소정의 형태를 유지할 수 있도록 도와 주는 역할을 하며, PVC 바인더는 이후의 소결단계에서 열에 의해 제거된다. 그리고 PVC 바인더는 건조 교반물의 중량에 대해 5~10 wt% 범위로 첨가시키도록 하는 것이 바람직하다.

바람직하게 제4단계를 통해 성형되는 예비 성형체는 그 직경이 20mm, 높이가 2.8mm 가 되도록 하며, 가압력은 10 KN의 압력을 작용시키도록 한다.

이어서 제5단계에서는 예비 성형체를 소정의 온도로 소결하게 된다. 소결이 이루어지면 최종적인 유전 세라믹이 완성된다.

예비 성형체를 1300℃ ~ 1500℃에서 2시간 동안 소결하게 되며, 승온시에는 분당 5℃의 속도로 예비 성형체를 소정의 온도까지 가열한다. 제5단계에서 이루어지는 소결온도로 바람직하게는 1400℃로 2시간 소결하는 것이 좋다.

본 발명에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법은 고유전율과 높은 품질계수를 동시에 확보하기 위해 주원료인 CaTiO3 와 Al2O3 를 적정한 비율로 혼합하여야 하며, 소결온도도 적당한 온도로 유지하여야 한다.

이하 본 발명에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법에 대한 비교 실험예를 제시하도록 한다.

시료	CaTiO3 mol%	Al2O3 mol%	유전율	품질계수	소결온도
1	100	0	208	99,800 GHz	1,500℃
2	90	10	178	183,200 GHz	1,500℃
3	80	20	151.6	221,000 GHz	1,500℃
4	70	30	93.9	523,000 GHz	1,500℃

본 발명의 제조방법은 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹으로서 기본적으로 유전율이 100 ~ 200 이고, 품질계수 역시 높은 수준으로 확보하고자 한다. 따라서 시료 1 내지 4를 통해 확인되듯이 CaTiO3 는 80 ~ 90 mol% 이어야 하고, Al2O3 는 10-20 mol% 가 되어야 목표로 하는 유전율인 100 ~ 200 의 범위에 들게 된다. 또한 품질계수는 183,200 ~ 221,000 GHz 범위가 된다.

시료 1 과 시료 4에서 보듯이 CaTiO3 와 Al2O3 의 mol% 가 시료 2 또는 시료 3의 범위에 들지 않게 되면 급격한 유전율의 변동이 발생되어 목표치로 하는 유전율의 범위를 벗어난다. 따라서 본 발명의 실시예에서 한정되는 CaTiO3 와 Al2O3 의 mol% 값은 임계적 가치를 갖는 것이다.

본 발명의 발명자는 소결 온도를 1300 ~ 1500℃ 범위에서 다양한 실험을 실시하였고, 이러한 실험 결과에 대한 분석자료를 제시한다.

도 1은 CaTiO3 와 Al2O3 의 혼합비율 및 소결온도에 따른 X-ray 회절 패턴을 보여주는 것이다.

도시된 것처럼 CaTiO3 와 Al2O3를 화학양론에 따라 혼합 건조하여 각각 1,300℃, 1,400℃에서 소결한 시편의 X-ray 회절패턴이다.

2θ의 범위는 5 ~ 90°이며, 주요 피크를 볼 때 올바르게 합성이 된 것으로 여진다. 또한 1,400℃ 에서 CaTiO3(CT) 와 Al2O3(AO) 가 mol% 비로 9:1로 합성된 시편의 intensity가 가장 강한 것으로 판단되는 바, 소결시의 적정 온도는 1,400℃ 임을 알 수 있다.

도 2는 Al2O3 의 비율에 따른 유전율(ε_r) 및 품질계수(Q×f)의 변화를 보여준다.

본 발명은 마이크로파 통신소자용으로 사용하기 위한 유전 세라믹을 제공하고자 하기 때문에 필수적으로 높은 유전율과 함께 적당한 품질계수값이 조화를 이루어야 한다.

이에 CaTiO3 와 Al2O3의 mol% 비율을 달리하면서 다양한 실험을 한 결과 도 2와 같이 Al2O3 의 첨가량이 mol% 로 10 ~ 20 mol%인 것이 가장 안정적이라는 결과를 얻을 수 있었다.

도 3은 소결온도에 따른 유전율의 변화를 나타낸 것이다.

도 3과 같이 성형된 시편의 소결온도가 높아짐에 따라 유전율이 높아짐을 알 수 있고, 결국 도 2 및 도 3을 통해서 유전율의 변화는 소결온도가 높아짐에 따라 그리고 Al2O3 의 함량이 낮아짐에 따라 유전율은 증가함을 알 수 있다.

도 4는 소결온도에 따른 품질계수값의 변화를 나타낸 것으로, 품질계수는 유전율과 반대로 소결온도가 높아짐에 따라 낮아짐을 알 수 있다.

이를 통해서 유전율과 품질계수는 서로 상반되는 관계에 있음을 알 수 있고, 목표로 하는 유전율을 얻으면서 만족할 만한 품질계수를 얻기 위해서는 CaTiO3 와 Al2O3 의 적절한 혼합비율이 필요하고 적당한 소결온도를 유지해야 하는 것이다.

도 5는 소결된 시편의 EDS 분석 자료이다.

EDS 분석은 소결된 시편에 불순물이 존재하는지 여부를 확인하기 위한 것으로서, 도 5의 윗 그림은 CaTiO3 -90mol% 와 Al2O3 - 10mol% 로 소결된 시편의 분석자료이고, 아랫그림은 CaTiO3 -80mol% 와 Al2O3 - 20mol% 로 소결된 시편의 분석자료이다.

EDS 분석결과 원료물질인 CaTiO3 와 Al2O3 이외의 불순물은 존재하지 않은 것으로 확인되었다.

도 6 내지 도 7은 소결한 시편의 FESEM 분석 사진이다.

CaTiO3 에 대한 Al2O3 의 첨가비율을 달리하면서 소결온도도 1,300℃ 및 1,400℃로 달리하면서 유전 세라믹을 제조했다.

FESEM 이미지 분석 결과 대체적으로 온도의 변수에 따른 입자 사이즈 크기는 1,300℃ 보다 1,400℃에서 합성된 시편의 입자 사이즈의 크기가 다소 작은 것으로 판단되며, 이것은 높은 온도가 입자의 성장에 영향을 끼치는 것을 의미하고, Al2O3 의 첨가량이 많을수록 합성된 시편의 치밀화가 잘 이루어진 것을 알 수 있었다.

한편, 본 발명에 의해 제조된 유전 세라믹으로 테스트한 결과 1MHz ~ 500MHz 의 저주파대에서는 유전특성이 불안정하였으나, 1GHz 이상의 고주파 대역에서는 비교적 우수한 유전특성을 나타내는 것으로 확인되었는 바, 본 발명에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹은 고주파 대역에서 사용되는 통신소자용 부품으로 사용되기에 매우 적합하다.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것일 뿐 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

본 발명에 의한 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹 및 이의 제조방법은 고주파 대역에서 사용되는 통신소자를 위한 유전체로서 사용될 수 있다.

Claims (6)

1. 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹으로서,
   x mol% 의 CaTiO3 와 y mol% 의 Al2O3 의 조성물로 이루어져 소결 성형되되, x 는 80~90 mol% 가 되며, y 는 10-20 mol% 가 되며, x+y=100 mol% 이고, 유전율이 100 이상 200 이하 범위의 값을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹은 품질계수(Q×f)가 183,200 GHz 이상 221,000 GHz 이하 범위에 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹.
3. 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법으로서,
   x mol% 의 CaTiO3에 y mol% 의 Al2O3 를 혼합하여 혼합물을 만드는 제1단계 ( x+y=100 mol%, x 는 80~90 mol%, y 는 10-20 mol% );
   아세톤을 분산용매로 하여 상기 혼합물을 균일하게 교반시키기 위해 습식 볼 밀링하여 교반물을 만드는 제2단계;
   상기 교반물을 건조시켜 건조 교반물을 만드는 제3단계;
   상기 건조 교반물에 PVC 바인더를 첨가한 후 금형에서 가압하여 예비 성형체를 만드는 제4단계;
   상기 예비 성형체를 1300℃ ~ 1500℃에서 2시간 동안 소결하는 제5단계;를 포함하며, 성형된 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 품질계수(Q×f)가 183,200 GHz 이상 221,000 GHz 이하 범위에 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 제2단계는 알루미늄 볼을 사용하여 24시간 동안 습식 볼 밀링이 이루어지고, 상기 제5단계는 상기 예비 성형체를 분당 5℃의 승온 속도로 가열시키는 것을 특징으로 하는 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 제4단계는 가압 성형으로 상기 예비 성형체를 만들되, 10 KN의 압력으로 가압하도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 제4단계에서의 상기 PVC 바인더는 상기 건조 교반물에 대해 5~10 wt% 첨가되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 통신소자용 유전 세라믹의 제조방법.
   

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