KR20130064459A

KR20130064459A - Paste dispenser

Info

Publication number: KR20130064459A
Application number: KR1020110131085A
Authority: KR
Inventors: 정재관
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2011-12-08
Filing date: 2011-12-08
Publication date: 2013-06-18
Also published as: KR101841219B1

Abstract

PURPOSE: A paste dispenser is provided to minimize the failure rate of paste patterns by detaching two controlling units using a detaching unit. CONSTITUTION: A paste dispenser includes: a first moving member(62) which is movable in Z axial direction; a first driving unit(81) for moving the first moving member; a second moving member(63) which is equipped with a nozzle for discharging paste on a substrate and is movable in Z axial direction about the first moving member; a second driving unit(82) which is mounted on the first moving member; a controlling unit(64) which is composed of a first controlling member(641) and a second controlling member(642) and controls the transfer of power from the second driving unit to the second moving member; and a detaching unit(65) which combines and separates the controlling members. The first controlling member moves in Z axial direction by the second driving unit and is arranged in Y axial direction. The second controlling member is in connection with the second driving member and is arranged on the upper side of the first controlling member in Y axial direction to be in contact with the first controlling member.

Description

Paste Dispenser {PASTE DISPENSER}

본 발명은 기판 상에 페이스트를 도포하는 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a dispenser for applying a paste onto a substrate.

평판디스플레이(Flat Panel Display ; FPD)는 브라운관이 적용된 텔레비전이나 모니터에 비하여 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display ; LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel ; PDP), 전계방출 디스플레이(Field Emission Display ; FED), 유기발광 다이오드(Organic Light Emitting Diodes ; OLED) 등이 개발되어 사용하고 있다. 이들 중에서, 액정 디스플레이는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급, 액정 셀들의 광투과율을 조절하여 원하는 화상을 표시할 수 있게 한 장치이다. 이러한 액정 디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.Flat Panel Display (FPD) is a thin and light image display device compared to CRT-based television or monitor. Liquid Crystal Display (LCD), Plasma Display Panel (PDP), Field Emission Display (FED), Organic Light Emitting Diodes (OLED), etc. We use and are used. Among them, the liquid crystal display is a device which individually supplies a data signal according to the image information to the liquid crystal cells arranged in a matrix form and adjusts the light transmittance of the liquid crystal cells to display a desired image. Looking at the manufacturing method of the liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display as follows.

먼저, 상부기판에 컬러필터와 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대향하는 하부기판에 박막트랜지스터(ThinFilm Transistor; TFT)와 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후, 이들 사이에 형성할 액정층 내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위하여 배향막을 러빙(rubbing)한다. 그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편, 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.First, a color filter and a common electrode are formed on an upper substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on a lower substrate facing the upper substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pre-tilt angle and an alignment direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween. The paste pattern is formed by applying a paste in a predetermined pattern on at least one substrate so as to prevent the liquid crystal from leaking out and seal the substrates while maintaining a gap between the substrates. The liquid crystal panel is manufactured by forming a liquid crystal layer therebetween.

이와 같은 액정패널의 제조과정에 있어서, 기판에의 페이스트 패턴 형성에는 페이스트 디스펜서(paste dispenser)가 사용된다. 이 페이스트 디스펜서가 국내 공개특허공보 제2006-0109205호와 제2011-0029305호(이하, 특허문헌이라 한다.)에 게재되어 있다. 특허문헌 상의 페이스트 디스펜서는 기판이 탑재되는 스테이지, 페이스트가 토출되는 노즐을 갖춘 헤드 어셈블리, 헤드 어셈블리를 지지하는 헤드 지지대 등으로 이루어진다.In the manufacturing process of such a liquid crystal panel, a paste dispenser is used to form a paste pattern on a substrate. This paste dispenser is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication Nos. 2006-0109205 and 2011-0029305 (hereinafter referred to as patent documents). The paste dispenser on the patent document consists of a stage on which a substrate is mounted, a head assembly with a nozzle through which paste is discharged, a head support for supporting the head assembly, and the like.

이하에서는 도 1을 참조하여 특허문헌 상의 페이스트 디스펜서를 살펴보기로 한다.Hereinafter, the paste dispenser on the patent document will be described with reference to FIG. 1.

페이스트 디스펜서는 노즐(1)과 기판(S)의 상대위치를 변화시켜 가면서 기판(S)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다.)에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 제1가동부재(4)를 상하로 이동시켜 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)을 일정하게 제어하면서 노즐(1) 및/또는 기판을 수평(전후와 좌우)으로 이동시키고, 노즐(1)로부터 페이스트를 토출시켜 기판에 페이스트 패턴을 형성한다.The paste dispenser forms a paste pattern on the substrate S (hereinafter, the description of reference numerals is omitted) while changing the relative positions of the nozzle 1 and the substrate S. FIG. That is, the nozzle 1 and / or the substrate is moved horizontally (front, rear, left and right) while the first movable member 4 is moved up and down to constantly control the gap G between the nozzle 1 and the substrate. The paste is discharged from (1) to form a paste pattern on the substrate.

제1가동부재(4)는 제1구동유닛(6)에 의하여 이동된다. 제1가동부재(4) 측에는 제2가동부재(5)가 상하이동 가능하게 배치되고, 노즐(1)은 제2가동부재(5)에 장착된다. 제2가동부재(5)는 제2구동유닛(7)과 단속유닛에 의하여 이동되는데, 제2구동유닛(7)은 제1가동부재(4)에 장착되고, 단속유닛은 서로 대향하도록 수평으로 배치된 제1단속부재(8)와 제2단속부재(9)로 구성된다. 제1단속부재(8)는 제2구동유닛(7)에 의하여 상하로 이동된다. 제2단속부재(9)는 제1단속부재(8)의 상측에 위치하도록 제2가동부재(5)에 연결되어, 제2가동부재(5)는 제2단속부재(9)를 매개로 하여 제1단속부재(9)에 매달려 있게 된다. 이 같이 매달린 상태의 제2가동부재(5)는, 상측방향 이동은 제1단속부재(8)가 상측으로 이동됨에 따라 제1단속부재(8)와 접촉하는 제2단속부재(9)가 들어 올려지면서 이루어지고, 하측방향 이동은 하측으로 이동되는 제1단속부재(8)를 따라 제2단속부재(9)가 자중에 의하여 제1단속부재(8)와 접촉된 상태로 내려가면서 이루어진다. 제2가동부재(5)를 하측으로 이동 시, 노즐(1)이 기판에 접촉되면서 제2가동부재(5)를 더 이상 하측으로 이동시킬 수 없으면, 제1단속부재(8)만이 하측으로 이동되면서, 두 단속부재(8,9)는 접촉이 해제된다.The first movable member 4 is moved by the first drive unit 6. On the side of the first movable member 4, the second movable member 5 is arranged to be movable, and the nozzle 1 is mounted to the second movable member 5. The second movable member 5 is moved by the second driving unit 7 and the intermittent unit. The second driving unit 7 is mounted to the first movable member 4, and the intermittent units are horizontally opposed to each other. The first intermittent member 8 and the second intermittent member 9 are arranged. The first intermittent member 8 is moved up and down by the second driving unit 7. The second intermittent member 9 is connected to the second movable member 5 so as to be positioned above the first intermittent member 8, and the second movable member 5 is connected to the second intermittent member 9. Hanging on the first intermittent member (9). The second movable member 5 in the suspended state includes a second intermittent member 9 which contacts the first intermittent member 8 as the first intermittent member 8 moves upward. It is made while being raised, and the downward movement is made while the second intermittent member 9 is brought into contact with the first intermittent member 8 by its own weight along the first intermittent member 8 which is moved downward. When the second movable member 5 is moved downward, when the nozzle 1 is in contact with the substrate and the second movable member 5 can no longer be moved downward, only the first intermittent member 8 is moved downward. While the two intermittent members 8 and 9 are in contact with each other.

이와 같은 특허문헌 상의 페이스트 디스펜서는 제1단속부재(8) 상에 제2단속부재(9)가 단순히 얹히어져 제2가동부재(5)가 매달려 있기 때문에, 스테이지 및 헤드 어셈블리의 구동 시 발생하는 진동과 같은 각종의 외력, 두 단속부재(8,9) 사이로의 이물질 개입 등의 요인으로 인하여 두 단속부재(8,9)의 접촉이 순간적으로 해제되거나 하면서 제2가동부재(5)가 기존의 위치에서 벗어날 수 있고, 이에 따라 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)에 변동이 발생할 수 있다. 즉, 형성할 페이스트 패턴의 단면적(두께)이 요구하는 단면적에 해당되도록 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)을 보정한 상태에서 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)이 변할 수 있는 것이다. 물론, 이처럼 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)이 변하면, 형성된 페이스트 패턴의 단면적이 설정범위(요구하는 단면적)를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 야기될 수 있다.The paste dispenser in this patent document vibrates when the stage and the head assembly are driven because the second interlocking member 5 is suspended by simply placing the second interlocking member 9 on the first interlocking member 8. Due to various external forces, such as foreign matter intervening between the two intermittent members 8 and 9, the contact between the two intermittent members 8 and 9 is temporarily released, and the second movable member 5 is in an existing position. This may deviate from and thus cause variations in the gap G between the nozzle 1 and the substrate. That is, the gap G between the nozzle 1 and the substrate may be changed while the gap G between the nozzle 1 and the substrate is corrected so that the cross-sectional area (thickness) of the paste pattern to be formed corresponds to the required cross-sectional area. . Of course, if the gap G between the nozzle 1 and the substrate is changed in this way, a paste pattern defect in which the cross-sectional area of the formed paste pattern is out of a setting range (required cross-sectional area) may be caused.

본 발명의 목적은, 노즐과 기판 사이의 간격이 의도하지 않게 변경되는 방지할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a paste dispenser which can prevent the gap between the nozzle and the substrate from being unintentionally changed.

본 발명의 실시예에 따르면, Z축방향으로 이동 가능한 제1가동부재; 상기 제1가동부재를 이동시키는 제1구동유닛; 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착되고 상기 제1가동부재에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동 가능한 제2가동부재; 상기 제1가동부재에 장착된 제2구동유닛; 상기 제2구동유닛에 의하여 Z축방향으로 이동되며 Y축방향으로 배치된 제1단속부재와, 상기 제2가동부재에 연결되고 상기 제1단속부재와 접촉 가능하도록 상기 제1단속부재의 상측에 Y축방향으로 배치된 제2단속부재로 구성되어 상기 제2구동유닛에서 상기 제2가동부재로의 동력전달을 단속하는 단속유닛; 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재가 접촉되도록 서로 결합시키거나 결합을 해제시키는 탈착유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서가 제공된다.According to an embodiment of the present invention, the first movable member movable in the Z-axis direction; A first driving unit for moving the first movable member; A second movable member mounted to a substrate, the nozzle discharging the paste and movable alone in the Z-axis direction with respect to the first movable member; A second driving unit mounted to the first movable member; A first interlocking member moved in the Z-axis direction by the second driving unit and disposed in the Y-axis direction, and connected to the second movable member and above the first interlocking member to be in contact with the first interlocking member; An intermittent unit comprising a second intermittent member disposed in the Y-axis direction to intercept power transmission from the second drive unit to the second movable member; Provided is a paste dispenser including a detachable unit for engaging or releasing the coupling between the first intermittent member and the second intermittent member.

참고로, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 상기 기판으로부터 상기 노즐의 간격을 조절하는 페이스트 패턴 단면적 보정 시 상기 제1단속부재와 제2단속부재의 결합이 해제되고 상기 페이스트 패턴 단면적 보정 완료 시 상기 제1단속부재와 제2단속부재가 결합되도록 상기 탈착유닛의 작동을 컨트롤하는 제어유닛을 더 포함할 수 있다.For reference, in the paste dispenser according to the embodiment of the present invention, when the paste pattern cross-sectional area adjusting the gap of the nozzle from the substrate is corrected, the coupling of the first and second intermittent members is released and the paste pattern cross-sectional area correction is completed. The control unit may further include a control unit for controlling the operation of the detachable unit such that the first control member and the second control member are coupled to each other.

상기 탈착유닛은, 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재 중 어느 하나에 구비되고 전원을 공급하면 자화되는 전자석; 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재 중 다른 하나에 구비되며 상기 전자석의 자력에 의하여 상기 전자석에 부착되는 자성체를 포함할 수 있다.The detachable unit may include an electromagnet provided on any one of the first intermittent member and the second intermittent member and magnetized when the power is supplied; It may include a magnetic body provided on the other of the first intermittent member and the second intermittent member and attached to the electromagnet by the magnetic force of the electromagnet.

또는, 상기 탈착유닛은 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재를 가압하여 밀착시키는 가압식 밀착수단으로 구성될 수 있다. 이 때, 상기 가압식 밀착수단은, 상기 제1단속부재에 대하여 상기 제2단속부재를 가압하기 위한 가압부재; 상기 제2구동유닛에 의하여 상기 제1단속부재와 함께 이동되고 상기 제2단속부재를 Z축방향으로 이동시키는 제3구동유닛을 포함할 수 있다.Alternatively, the detachable unit may be configured by a pressure contact means for pressing the first control member and the second control member in close contact with each other. At this time, the pressing contact means, the pressing member for pressing the second regulating member against the first regulating member; The second driving unit may include a third driving unit which is moved together with the first control member and moves the second control member in the Z-axis direction.

본 발명에 의하면, 두 단속부재가 탈착유닛에 의하여 탈착되기 때문에, 외부로부터의 충격 등으로 인하여 두 단속부재의 접촉이 순간적으로 해제되거나 하면서 노즐과 기판 사이 간격이 변경되는 것을 방지할 수 있고, 이로 인한 페이스트 패턴 불량률을 최소화할 수 있다.According to the present invention, since the two intermittent members are detached by the desorption unit, it is possible to prevent the gap between the nozzle and the substrate from being changed while the contact between the two intermittent members is momentarily released due to an impact from the outside. Due to the paste pattern defect rate can be minimized.

도 1은 종래기술에 따른 페이스트 디스펜서의 일부를 나타내는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 헤드 어셈블리를 나타내는 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 탈착유닛을 나타내는 확대도이다.
도 5는 도 3에 도시된 위치측정장치를 나타내는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 주요부를 나타내는 구성도이다.1 is a block diagram showing a part of a paste dispenser according to the prior art.
2 is a perspective view showing a paste dispenser according to a first embodiment of the present invention.
3 is a configuration diagram illustrating the head assembly shown in FIG. 2.
Figure 4 is an enlarged view showing the detachment unit shown in FIG.
5 is a schematic view showing the position measuring device shown in FIG.
6 is a block diagram showing a main part of a paste dispenser according to a second embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 5에 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서가 도시되어 있다. 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 프레임(10), 프레임(10)의 상부에 X축방향 또는 Y축방향으로 이동 가능하도록 배치된 테이블(20), 테이블(20) 상에 설치되고 기판(S)이 탑재되는 스테이지(30), 프레임(10)의 양측에 설치되며 Y축으로 연장된 한 쌍의 지지대 가이드(40), 스테이지(30)의 상측에서 한 쌍의 지지대 가이드(40)에 양단이 각각 지지되되고 X축방향으로 연장된 헤드 지지대(50), 헤드 지지대(50)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되며 페이스트를 토출하는 헤드 어셈블리(60), 페이스트 도포동작을 제어하는 제어유닛(도시되지 않음)을 포함한다. 헤드 지지대(50)는 복수 개가 구비될 수 있는 한편, 지지대 가이드(40)에 Y축방향이 아닌, X축방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 헤드 어셈블리(60)에는 레이저 변위센서(71), 페이스트가 저장되는 시린지(72) 및 시린지(72)와 연통되어 페이스트가 토출되는 노즐(73)이 구비된다. 헤드 어셈블리(60)는 하나의 헤드 지지대(50)에 복수 개가 장착될 수 있다.2 to 5 show a paste dispenser according to a first embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 2 to 5, the paste dispenser according to the first embodiment of the present invention is arranged on the frame 10 and the table 10 so as to be movable in the X-axis direction or the Y-axis direction. 20), the stage 30 is installed on the table 20, the substrate (S) is mounted, a pair of support guides 40, the stage 30 is installed on both sides of the frame 10 and extends in the Y-axis Both ends are respectively supported by a pair of support guides 40 at the upper side of the head support 50 extending in the X-axis direction, the head support 50 is installed to be movable in the X-axis direction, the head for discharging paste Assembly 60, and a control unit (not shown) for controlling the paste application operation. The head support 50 may be provided in plural, and may be installed in the support guide 40 so as to be movable in the X axis direction instead of the Y axis direction. The head assembly 60 includes a laser displacement sensor 71, a syringe 72 in which the paste is stored, and a nozzle 73 in communication with the syringe 72 to discharge the paste. A plurality of head assemblies 60 may be mounted on one head support 50.

도 3에 도시된 바와 같이, 헤드 어셈블리(60)는 지지부재(61), 지지부재(61)에 대하여 Z축방향(도 3에서 볼 때, 상하방향)으로 이동 가능하게 설치된 제1가동부재(62), 제1가동부재(62)에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동 가능하게 지지된 제2가동부재(63)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the head assembly 60 includes a first movable member installed to be movable in the Z-axis direction (up and down in FIG. 3) with respect to the support member 61 and the support member 61. 62) and a second movable member 63 supported by the first movable member 62 so as to be movable in the Z-axis direction.

제1가동부재(62)에는 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)을 측정하는 레이저 변위센서(71)가 구비된다. 레이저 변위센서(71)는 레이저를 발광하는 발광부 및 기판(S)에서 반사된 레이저를 수광하는 수광부로 구성되고, 기판(S)에서 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어유닛으로 출력한다. 노즐(73)과 기판(S) 중 적어도 하나를 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시켜 가면서 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 기판(S)의 면이 고르지 않거나 하여 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)이 변하게 되면, 형성된 페이스트 패턴이 설정범위를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 발생할 수 있는바, 이러한 문제를 방지하고자 레이저 변위센서(71)를 구비하는 것이다.The first movable member 62 is provided with a laser displacement sensor 71 for measuring a gap G between the nozzle 73 and the substrate S. The laser displacement sensor 71 is composed of a light emitting part for emitting a laser and a light receiving part for receiving a laser reflected from the substrate S, and outputs an electric signal according to an imaging position of the laser reflected from the substrate S to the control unit. do. In the process of forming the paste pattern while horizontally moving at least one of the nozzle 73 and the substrate S in the X-axis direction and the Y-axis direction, the surface of the substrate S is uneven or the nozzle 73 and the substrate ( When the gap G between S) is changed, a paste pattern defect may occur in which the formed paste pattern is out of a setting range. The laser displacement sensor 71 is provided to prevent such a problem.

제2가동부재(63)에는 시린지(72), 노즐(73), 시린지(72)와 노즐(73)을 연통시키는 연통관(74)이 구비되는데, 노즐(73)은 레이저 변위센서(71)와 인접한 위치에 배치된다.The second movable member 63 is provided with a communication tube 74 for communicating the syringe 72, the nozzle 73, the syringe 72 and the nozzle 73, the nozzle 73 and the laser displacement sensor 71 It is placed in an adjacent position.

지지부재(61)와 제1가동부재(62) 사이에는 제1가동부재(62)를 Z축방향으로 이동시키기 위한 제1구동유닛(81)이 구비되고, 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63) 사이에는 제2가동부재(63)를 제1가동부재(62)에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동시키기 위한 제2구동유닛(82)이 구비된다.Between the support member 61 and the first movable member 62, a first drive unit 81 for moving the first movable member 62 in the Z-axis direction is provided, and the first movable member 62 and the first movable member 62 are provided. The second driving unit 82 is provided between the two movable members 63 to move the second movable member 63 alone in the Z-axis direction with respect to the first movable member 62.

제1구동유닛(81)은 지지부재(61)에 장착된 제1구동모터(811) 및 제1구동모터(811)를 제1가동부재(62)와 연결하는 제1구동축(812)을 포함할 수 있고, 제1구동축(812)은 제1구동모터(811)에 의한 회전방향에 따라 한쪽과 다른 쪽으로 왕복이동을 하는 나사축일 수 있다. 다른 예로, 제1구동유닛(81)으로는 리니어 모터, 공압식이나 유압식 실린더 등이 적용될 수 있다. 이 같은 제1구동유닛(81)에 의하면, 제1가동부재(62)는 지지부재(61)에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동될 수 있다.The first driving unit 81 includes a first driving motor 811 mounted to the support member 61 and a first driving shaft 812 connecting the first driving motor 811 to the first movable member 62. The first driving shaft 812 may be a screw shaft that reciprocates in one direction and the other side in accordance with the rotation direction by the first driving motor 811. As another example, a linear motor, a pneumatic or hydraulic cylinder, or the like may be applied to the first driving unit 81. According to the first driving unit 81, the first movable member 62 may be moved alone in the Z-axis direction with respect to the support member 61.

제2구동유닛(82)은 단속유닛(64)을 매개로 하여 제2가동부재(63)로의 동력전달을 이룬다. 제2구동유닛(82)은 제1가동부재(62)에 장착된 제2구동모터(821), 제2구동모터(821)를 단속유닛(64)과 연결하는 제2구동축(822)을 포함할 수 있다. 여기서, 제2구동축(822)은 제2구동모터(821)에 의한 회전방향에 따라 한쪽과 다른 쪽으로 왕복이동을 하는 나사축일 수 있다. 다른 예로, 제2구동유닛(82)으로는 리니어 모터, 공압식이나 유압식 실린더 등이 적용될 수 있다. 이 같은 제2구동유닛(82)에 의하면, 제2가동부재(63)는 제1가동부재(62)에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동될 수 있다. 물론, 제2구동유닛(82)이 제1가동부재(62)에 고정되어 있으므로, 제1가동부재(62)를 이동시키면, 제2가동부재(63)가 제1가동부재(62)와 함께 이동된다. 도시하지는 않았으나, 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63)는 각각 가이드의 안내작용에 따라 Z축방향으로 정확히 이동될 수 있다.The second driving unit 82 achieves power transmission to the second movable member 63 via the intermittent unit 64. The second driving unit 82 includes a second driving motor 821 mounted on the first movable member 62, and a second driving shaft 822 connecting the second driving motor 821 to the control unit 64. can do. Here, the second driving shaft 822 may be a screw shaft to reciprocate to one side and the other side in accordance with the rotation direction by the second driving motor 821. As another example, a linear motor, a pneumatic or hydraulic cylinder, or the like may be applied to the second driving unit 82. According to the second driving unit 82, the second movable member 63 may be moved alone in the Z-axis direction with respect to the first movable member 62. Of course, since the second driving unit 82 is fixed to the first movable member 62, when the first movable member 62 is moved, the second movable member 63 together with the first movable member 62. Is moved. Although not shown, each of the first movable member 62 and the second movable member 63 may be accurately moved in the Z-axis direction according to the guide action of the guide.

단속유닛(64)은 서로 대향하도록 Y축방향으로 배치된 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 포함한다. 제1단속부재(641)는 제2구동유닛(82)에 의하여 Z축방향으로 이동하도록 제2구동유닛(82)과 연결된다. 즉, 제1단속부재(641)는 제2구동축(822)에 연결될 수 있다. 제2단속부재(642)는 제2가동부재(63)에 연결되고 제1단속부재(641)와 접촉 가능하도록 제1단속부재(641)의 상측에 배치되어, 제2가동부재(63)는 제1단속부재(641)와 접촉된 제2단속부재(642)를 통하여 제1단속부재(641)에 자중에 의하여 매달려 있게 된다.The intermittent unit 64 includes a first intermittent member 641 and a second intermittent member 642 disposed in the Y-axis direction to face each other. The first control member 641 is connected to the second driving unit 82 to move in the Z-axis direction by the second driving unit 82. That is, the first intermittent member 641 may be connected to the second driving shaft 822. The second regulating member 642 is disposed on the upper side of the first regulating member 641 so as to be connected to the second movable member 63 and to be in contact with the first regulating member 641. The second intermittent member 642 in contact with the first intermittent member 641 is suspended by the first intermittent member 641 by its own weight.

도 3, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)는 탈착유닛(65)에 의하여 서로 접촉하고 있도록 결합되거나 이렇게 결합된 상태가 해제된다. 이러한 탈착유닛(65)은 전원을 공급하면 자기화되는 전자석(651) 및 이 전자석(651)의 자력에 의하여 전자석에 부착되는 자성체(652)를 포함한다. 전자석(651)과 자성체(652)는 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 대향하는 부분에 각각 구비된다. 도 4에는 전자석(651)이 제1단속부재(641)에 구비되고 자성체(652)가 제2단속부재(642)에 구비되는 것으로 도시되어 있으나, 전자석(651)과 자성체(652)의 구비위치는 서로 바뀔 수 있다. 자성체(652)는 전자석(651)의 자력에 의하여 전자석(651)에 부착 가능한 금속부재일 수도 있고, 전자석일 수도 있다. 또는, 제2단속부재(642)의 일부 또는 전체를 전자석(651)의 자력에 의하여 전자석(651)에 부착되는 금속으로 이루어, 제2단속부재(642)의 일부 또는 전체를 자성체(652)로 할 수도 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, the first intermittent member 641 and the second intermittent member 642 are coupled to each other by the detachable unit 65, or the coupled state is released. The detachable unit 65 includes an electromagnet 651 that is magnetized when the power is supplied, and a magnetic body 652 attached to the electromagnet by the magnetic force of the electromagnet 651. The electromagnet 651 and the magnetic body 652 are provided at opposing portions of the first control member 641 and the second control member 642, respectively. In FIG. 4, an electromagnet 651 is provided on the first interlocking member 641 and a magnetic body 652 is provided on the second interlocking member 642. However, positions of the electromagnet 651 and the magnetic body 652 are provided. Can be interchanged. The magnetic body 652 may be a metal member attachable to the electromagnet 651 by the magnetic force of the electromagnet 651, or may be an electromagnet. Alternatively, a part or the whole of the second regulating member 642 is made of a metal attached to the electromagnet 651 by the magnetic force of the electromagnet 651, and a part or the whole of the second regulating member 642 is made of the magnetic body 652. You may.

이와 같은 탈착유닛(65)에 의하면, 전자석(651)에 전원 공급 시 전자석(651)에 자성체(652)가 부착되고, 이에 따라 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)가 서로 결합되므로, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 접촉이 외부로부터의 힘에 의하여 순간적으로 해제되는 등 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 접촉상태가 의도하지 않게 달라지면서 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)이 변경되는 것을 방지할 수 있다. 물론, 전자석(651)으로의 전원공급을 차단하면, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)은 전자석(651)과 자성체(652)에 의한 결합이 해제된다.According to the desorption unit 65, the magnetic body 652 is attached to the electromagnet 651 when power is supplied to the electromagnet 651, whereby the first interlocking member 641 and the second interlocking member 642 are mutually attached. Since it is coupled, the contact state between the first intermittent member 641 and the second intermittent member 642 such as the contact between the first intermittent member 641 and the second intermittent member 642 is temporarily released by an external force. It is possible to prevent the gap G between the nozzle 73 and the substrate S from being changed unintentionally. Of course, when the power supply to the electromagnet 651 is cut off, the coupling between the electromagnet 651 and the magnetic body 652 is released from the first regulating member 641 and the second regulating member 642.

탈착유닛(65)에 의한 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합을 해제시킨 상태에서, 제1구동유닛(81)만을 작동시켜 제1가동부재(62)를 하측방향으로 이동시키면, 제2가동부재(63)는 자중으로 인하여 제1단속부재(641)에 제2단속부재(642)를 통하여 매달린 상태로 제1가동부재(62)와 함께 하측방향으로 이동된다. 그리고, 이렇게 이동되다가 노즐(73)이 기판(S)에 접촉되면, 제2가동부재(63)는 더 이상 하측으로 이동될 수 없으므로, 제2가동부재(63)는 정지되고, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)가 이격되면서, 제1가동부재(62)만이 하측으로 이동된다. 이처럼, 노즐(73)이 기판(S)에 접촉되고 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)가 이격된 상태에서는 제1구동유닛(81)에 의하여 제1가동부재(62)를 상측방향으로 이동시키면, 제1단속부재(641)가 제2단속부재(642)와 접촉되기 이전까지는 제2가동부재(63)가 정지된 상태에서 제1가동부재(62)만 상측방향으로 이동되고, 제1단속부재(641)가 제2단속부재(642)와 접촉된 시점부터는 제1가동부재(62)와 함께 제2가동부재(63)가 상측방향으로 이동된다.In a state in which the first interlocking member 641 and the second interlocking member 642 are released from the detachable unit 65, only the first driving unit 81 is operated to move the first movable member 62 downward. The second movable member 63 is moved downward along with the first movable member 62 in a state in which the second movable member 63 is suspended from the first regulating member 641 through the second regulating member 642 due to its own weight. When the nozzle 73 contacts the substrate S while being moved in this manner, since the second movable member 63 can no longer be moved downward, the second movable member 63 is stopped and the first intermittent member is stopped. As the 641 and the second control member 642 are spaced apart from each other, only the first movable member 62 is moved downward. As such, when the nozzle 73 is in contact with the substrate S and the first control member 641 and the second control member 642 are spaced apart from each other, the first movable member 62 is disposed by the first driving unit 81. When moving upward in the upward direction, only the first movable member 62 is upward while the second movable member 63 is stopped until the first intermittent member 641 is in contact with the second intermittent member 642. The second movable member 63 is moved upward along with the first movable member 62 from the time when the first intermittent member 641 is in contact with the second intermittent member 642.

따라서, 노즐(73)이 기판(S)에 접촉되지 않은 경우에는 탈착유닛(65)에 의한 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합 여부에 관계 없이 노즐(73)을 레이저 변위센서(71)와 함께 상측방향이나 하측방향으로 이동시킬 수 있고, 레이저 변위센서(71)를 정지시킨 상태에서 노즐(73)만을 상측방향이나 하측방향으로 이동시킬 수 있다. 그리고, 탈착유닛(65)에 의한 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합을 해제시킨 상태에서, 노즐(73)이 기판(S)에 접촉된 상태와 같이 제2가동부재(63)의 하측방향 이동이 제한된 경우에는 노즐(73)을 정지시킨 상태에서 레이저 변위센서(71)만을 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 이격범위 이내에서 상측방향이나 하측방향으로 이동시킬 수 있다. 이와는 다른 예로, 노즐(73)이 기판(S)에 접촉되지 않는 범위에서 제1구동유닛(81)과 제2구동유닛(82)을 동시에 작동시킴으로써, 노즐(73)을 정지시킨 상태로 레이저 변위센서(71)만을 상측방향이나 하측방향으로 이동시킬 수 있고, 또는 레이저 변위센서(71)와 노즐(73)을 서로 반대방향으로 동시에 이동시킬 수 있다.Therefore, when the nozzle 73 is not in contact with the substrate S, the nozzle 73 is opened regardless of whether the first interlocking member 641 and the second interlocking member 642 are coupled by the detachment unit 65. The laser displacement sensor 71 can be moved upward or downward, and only the nozzle 73 can be moved upward or downward while the laser displacement sensor 71 is stopped. Then, in a state in which the coupling of the first regulating member 641 and the second regulating member 642 by the detaching unit 65 is released, the second movable member is operated as in the state in which the nozzle 73 is in contact with the substrate S. FIG. When the downward movement of the member 63 is limited, only the laser displacement sensor 71 in the state where the nozzle 73 is stopped is within the separation range between the first intermittent member 641 and the second intermittent member 642. Or it can be moved downward. As another example, the laser displacement is performed while the nozzle 73 is stopped by simultaneously operating the first driving unit 81 and the second driving unit 82 while the nozzle 73 is not in contact with the substrate S. Only the sensor 71 can be moved upward or downward, or the laser displacement sensor 71 and the nozzle 73 can be moved simultaneously in opposite directions.

도 5를 참조하면, 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63) 사이에는 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63)의 Z축방향으로의 상대위치를 측정하는 위치측정장치(90)가 구비된다. 위치측정장치(90)는 제1가동부재(62)에 구비된 기준부(91), 제2가동부재(63)에 구비되어 기준부(91)의 Z축방향 위치를 감지하는 감지부(92)를 포함한다. 이러한 위치측정장치(90)는 기준부(91)와 감지부(92)의 상호작용에 의하여 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63)의 Z축방향으로의 상대위치를 측정한다. 일례로, 기준부(91)는 소정의 눈금을 가지는 스케일로 구성될 수 있고, 감지부(92)는 스케일을 촬상하는 카메라로 구성될 수 있는데, 이 경우에는 카메라에 의하여 촬상된 스케일의 이미지로부터 기준부(91) 및 감지부(92)의 상대위치를 측정할 수 있다. 다른 예로, 기준부(91)는 위치에 따라 반사각도가 달라지는 반사면으로 구성될 수 있고, 감지부(92)는 반사면에서 반사되는 광을 수광하는 수광센서로 구성될 수 있는데, 이 경우에는 별도의 광원에서 발광되어 반사면으로부터 반사되는 광을 수광센서가 측정함으로써 기준부(91) 및 감지부(92)의 상대위치를 측정할 수 있다. 참고로, 도 3과 도 5에는 제1가동부재(62)에 기준부(91)가 구비되고 제2가동부재(63)에 감지부(92)가 구비되는 것으로 도시하였으나, 기준부(91)와 감지부(92)의 위치는 서로 바뀔 수 있다.Referring to FIG. 5, a position of measuring a relative position of the first movable member 62 and the second movable member 63 in the Z-axis direction between the first movable member 62 and the second movable member 63. The measuring device 90 is provided. The position measuring device 90 is provided on the reference unit 91 provided on the first movable member 62 and the second movable member 63 to detect the position of the reference unit 91 in the Z axis direction 92. ). The position measuring device 90 measures the relative position of the first movable member 62 and the second movable member 63 in the Z-axis direction by the interaction between the reference unit 91 and the sensing unit 92. . For example, the reference unit 91 may be configured with a scale having a predetermined scale, and the detector 92 may be configured with a camera that captures the scale, in which case the image of the scale captured by the camera The relative positions of the reference unit 91 and the detection unit 92 may be measured. As another example, the reference unit 91 may be configured as a reflection surface whose reflection angle varies depending on a position, and the detection unit 92 may be configured as a light receiving sensor for receiving light reflected from the reflection surface. The light receiving sensor measures the light emitted from the separate light source and reflected from the reflective surface to measure the relative positions of the reference unit 91 and the detection unit 92. For reference, FIGS. 3 and 5 illustrate that the reference unit 91 is provided on the first movable member 62 and the sensing unit 92 is provided on the second movable member 63. The positions of the detector 92 may be interchanged with each other.

기준부(91)와 감지부(92)의 상대위치는 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63)의 상대위치에 따라 변하게 된다. 노즐(73)의 토출구와 레이저 변위센서(71)의 Z축방향 간격을 A라 하고, 레이저 변위센서(71)와 기판(S) 사이의 간격을 B라 하며, 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격을 G라 할 때, G = B - A의 식 1을 만족하게 된다. 도 5를 참조하면, 기준부(91)의 임의위치를 영점(O)으로 하고, 영점(O)에서의 노즐(73)의 토출구와 레이저 변위센서(71)의 간격을 AO라 할 때, 제2가동부재(63)가 제1가동부재(62)에 대하여 상측방향으로 거리 C만큼 이동하면, 위의 식 1에서 A = AO - C가 되므로, 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)은 G = B - (AO - C)의 식을 만족하게 된다. 또한, 제2가동부재(63)가 제1가동부재(62)에 대하여 하측방향으로 거리 C만큼 이동하면, 위의 식 1에서 A = AO + C가 되므로, 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)은 G = B - (AO + C)의 식을 만족하게 된다. 이렇게 레이저 변위센서(71)와 노즐(73)의 상대위치를 변화시키는 경우, 위치측정장치(90)의 영점(O)에서의 노즐(73)의 토출구와 레이저 변위센서(71)의 간격(AO)을 미리 측정한 상태에서, 위치측정장치(90)를 이용하여 측정된 레이저 변위센서(71)에 대한 노즐(73)의 위치(C)와 레이저 변위센서(71)를 이용하여 노즐(73)의 토출구와 기판(S) 사이의 간격(G)을 측정할 수 있다.The relative position of the reference unit 91 and the sensing unit 92 is changed according to the relative positions of the first movable member 62 and the second movable member 63. A distance between the discharge port of the nozzle 73 and the Z displacement direction of the laser displacement sensor 71 is referred to as A, and a distance between the laser displacement sensor 71 and the substrate S is referred to as B, and the nozzle 73 and the substrate S are referred to as A. Assuming that the space between G) is G, Equation 1 of G = B-A is satisfied. Referring to FIG. 5, when the arbitrary position of the reference unit 91 is set to zero point O, and the interval between the discharge port of the nozzle 73 at the zero point O and the laser displacement sensor 71 is set to AO, When the movable member 63 moves upward by a distance C with respect to the first movable member 62, A = AO-C in Equation 1 above, so that the gap between the nozzle 73 and the substrate S (G) satisfies the formula G = B-(AO-C). In addition, when the second movable member 63 moves downward with respect to the first movable member 62 by a distance C, A = AO + C in Equation 1 above, so that the nozzle 73 and the substrate S The interval G between them satisfies the formula G = B-(AO + C). When the relative position of the laser displacement sensor 71 and the nozzle 73 is changed in this manner, the distance A0 between the discharge port of the nozzle 73 and the laser displacement sensor 71 at the zero point O of the position measuring device 90. ) Is measured in advance, the position (C) of the nozzle 73 relative to the laser displacement sensor 71 measured using the position measuring device 90 and the nozzle 73 using the laser displacement sensor 71. The gap G between the discharge port and the substrate S can be measured.

기판(S)에 페이스트 패턴을 형성한 다음에는 페이스트 패턴의 단면적이 미리 설정한 단면적범위 이내에 있는지를 확인하기 위하여 페이스트 패턴의 단면적을 측정한다. 이 때, 페이스트 패턴의 단면적이 미리 설정한 단면적범위 이내에 있지 않은 경우에는 기판(S)과 노즐(73) 사이의 간격(G)을 조절하는 페이스트 패턴 단면적 보정작업을 행하는데, 페이스트 패턴의 단면적이 미리 설정한 단면적범위보다 작은 경우에는 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)을 크게 하는 보정을 하고, 반대로 페이스트 패턴의 단면적이 미리 설정한 단면적범위보다 큰 경우에는 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)을 작게 하는 보정을 한다. 이러한 보정작업을 위하여, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)는 탈착유닛(65)에 의한 결합을 해제시키고, 제1구동유닛(81)은 정지시켜 레이저 변위센서(71)의 기판(S)으로부터의 상하방향으로의 위치를 고정한 상태에서, 제2구동유닛(82)은 작동시켜 노즐(73)을 상하방향으로 이동시키면서 노즐(73)의 기판(S)으로부터의 상하방향으로의 위치를 조절한다.After the paste pattern is formed on the substrate S, the cross-sectional area of the paste pattern is measured to confirm whether the cross-sectional area of the paste pattern is within a predetermined cross-sectional area range. At this time, when the cross-sectional area of the paste pattern is not within the preset cross-sectional area range, the paste pattern cross-sectional area correction operation for adjusting the distance G between the substrate S and the nozzle 73 is performed. If it is smaller than the preset cross-sectional area range, the correction is made to increase the gap G between the nozzle 73 and the substrate S. On the contrary, if the cross-sectional area of the paste pattern is larger than the preset cross-sectional area range, the nozzle 73 The correction | amendment which makes the space | interval G between and the board | substrate S small is performed. For this correction, the first interlocking member 641 and the second interlocking member 642 release the coupling by the detachable unit 65, and the first driving unit 81 stops to stop the laser displacement sensor 71. In a state where the position in the up-down direction from the substrate S is fixed, the second driving unit 82 is operated to move the nozzle 73 in the up-down direction while the nozzle 73 is in the up-down direction from the substrate S. Adjust the position of.

이와 같은 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)에 대한 보정작업이 완료되면, 탈착유닛(65)에 의하여 보정작업 완료시점에 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 서로 결합시킴으로써, 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)을 보정한 상태로 유지한다.When the correction operation for the gap G between the nozzle 73 and the substrate S is completed, the first intermittent member 641 and the second intermittent member (641) are completed by the detachment unit 65 when the correction operation is completed. By coupling the 642 to each other, the gap G between the nozzle 1 and the substrate is maintained in a corrected state.

참고로, 탈착유닛(65)에 의한 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합 및 그 해제를 비롯하여 페이스트 패턴 단면적 보정작업은 제어유닛에 의하여 자동적으로 이루어질 수 있다.For reference, the paste pattern cross-sectional area correction operation may be automatically performed by the control unit, including coupling and disengaging of the first control member 641 and the second control member 642 by the detachment unit 65.

도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 주요부를 나타내는 구성도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 제1실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 그 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 결합시키거나 결합을 해제시키기 위한 탈착유닛(65A)의 구성만이 상이하다. 즉, 제2실시예의 탈착유닛(65A)은 제1단속부재(641)에 제2단속부재(642)가 밀착되도록 제2단속부재(642)를 상측에서 가압하는 가압식 밀착수단으로 구성된다. 이를 설명하면 다음과 같다.6 is a block diagram showing a main part of a paste dispenser according to a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, when compared to the first embodiment, the paste dispenser according to the second embodiment of the present invention has the same structure and its operation as that of the first intermittent member 641 and the first intermittent member 641. Only the configuration of the detachable unit 65A for engaging or releasing the two intermittent members 642 is different. That is, the detachment unit 65A of the second embodiment is constituted by pressurizing contact means for pressing the second interlocking member 642 from the upper side such that the second interlocking member 642 is in close contact with the first interlocking member 641. This is explained as follows.

탈착유닛(65A)은 제1단속부재(641)에 대하여 상기 제2단속부재(642)를 가압하기 위한 가압부재(653) 및 가압부재(653)를 Z축방향으로 이동시키는 제3구동유닛(654)를 포함한다. 이에, 제3구동유닛(654)에 의하여 가압부재(653)를 하측으로 일정한 거리 이동시켜 제1단속부재(641)의 상측에 위치한 제2단속부재(642)를 가압부재(653)로 가압하면, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)는 서로 밀착되면서 결합된다.The detachable unit 65A includes a third driving unit for moving the pressing member 653 and the pressing member 653 in the Z-axis direction to press the second regulating member 642 with respect to the first regulating member 641 ( 654). Accordingly, when the pressing member 653 is moved downward by a third driving unit 654 by a predetermined distance, and the second regulating member 642 positioned above the first regulating member 641 is pressed by the pressing member 653. The first control member 641 and the second control member 642 are coupled to each other while being in close contact with each other.

제3구동유닛(654)은 제2구동유닛(도면부호 821, 822 참조)에 의하여 제1단속부재(641)와 함께 Z축방향으로 이동되도록 제2구동유닛과 연결된다. 즉, 제3구동유닛(654)은 제2구동축(822)에 연결될 수 있다. 이러한 제3구동유닛(654)은 공압식이나 유압식 실린더일 수 있고, 가압부재(653)는 제3구동유닛(654)을 구성하는 실린더의 실린더 로드의 선단에 장착될 수 있다. 가압부재(653)로는 제2구동유닛을 구성하는 제2구동모터(821)와 제2구동축(822)을 포함하는 타입, 리니어 모터 등이 적용될 수 있다.The third driving unit 654 is connected to the second driving unit so that the third driving unit 654 moves in the Z-axis direction together with the first control member 641 by the second driving unit (see reference numerals 821 and 822). That is, the third driving unit 654 may be connected to the second driving shaft 822. The third driving unit 654 may be a pneumatic or hydraulic cylinder, the pressing member 653 may be mounted to the tip of the cylinder rod of the cylinder constituting the third driving unit 654. As the pressing member 653, a type including a second driving motor 821 and a second driving shaft 822 constituting the second driving unit, a linear motor, and the like may be used.

도 6에서, (A)는 제3구동유닛(654)에 의하여 가압부재(653)를 하측으로 이동시켜 제2단속부재(642)를 가압함으로써 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 결합시킨 상태를 나타내고, 이와 반대로, (B)는 제3구동유닛(654)에 의하여 가압부재(653)를 상측으로 이동시켜 제2단속부재(642)에 대한 가압을 제거함으로써 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합을 해제시킨 상태를 나타낸다.In FIG. 6, (A) is shown by moving the pressing member 653 downward by the third driving unit 654 to press the second regulating member 642 so that the first regulating member 641 and the second regulating member ( 642) shows a state in which it is coupled, on the contrary, (B) moves the pressing member 653 upward by the third driving unit 654 to remove the pressurization against the second regulating member 642 and thus the first. The state in which the intermittent member 641 and the second intermittent member 642 are released is shown.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

예를 들면, 위에서는 탈착유닛(65,65A)이 전자석(651)의 자력을 이용하는 것이거나 가압식 밀착수단으로 구성되는 것으로 설명하였으나, 탈착유닛은 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 클램핑하여 결합시키는 클램프로 구성될 수도 있다. 일례로, 클램프는 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642) 중 적어도 하나에 회전 가능하게 장착되어 회전방향에 따라 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 클램핑하거나 클램핑을 해제하는 단수 또는 복수의 클램핑 암 및 이러한 클램핑 암을 회전시키는 구동유닛을 포함할 수 있다.For example, while the above-described desorption unit (65, 65A) is to use the magnetic force of the electromagnet 651 or is composed of a pressure-adhesive means, the desorption unit is the first control member (641) and the second control member ( It may also be configured as a clamp for clamping and coupling 642). In one example, the clamp is rotatably mounted to at least one of the first interlocking member 641 and the second interlocking member 642 to clamp the first interlocking member 641 and the second interlocking member 642 in a rotational direction. Or a single or a plurality of clamping arms for releasing clamping and a driving unit for rotating the clamping arms.

61 : 지지부재 62 : 제1가동부재
63 : 제2가동부재 64 : 단속유닛
641 : 제1단속부재 642 : 제2단속부재
65, 65A : 탈착유닛 651 : 전자석
652 : 자성체 653 : 가압부재
654 : 제3구동유닛 73 : 노즐
81 : 제1구동유닛 82 : 제2구동유닛61: support member 62: first movable member
63: second movable member 64: intermittent unit
641: first intermittent member 642: second intermittent member
65, 65A: Desorption unit 651: Electromagnet
652: magnetic material 653: pressure member
654: third drive unit 73: nozzle
81: first drive unit 82: second drive unit

Claims

A first movable member movable in the Z axis direction;
A first driving unit for moving the first movable member;
A second movable member mounted to a substrate, the nozzle discharging the paste and movable alone in the Z-axis direction with respect to the first movable member;
A second driving unit mounted to the first movable member;
A first interlocking member moved in the Z-axis direction by the second driving unit and disposed in the Y-axis direction, and connected to the second movable member and above the first interlocking member to be in contact with the first interlocking member; An intermittent unit comprising a second intermittent member disposed in the Y-axis direction to intercept power transmission from the second drive unit to the second movable member;
Paste dispenser comprising a detachable unit for engaging or releasing the coupling between the first intermittent member and the second intermittent member.

The method according to claim 1, wherein the desorption unit,
An electromagnet provided on any one of the first intermittent member and the second intermittent member and magnetized when the power is supplied;
Paste dispenser comprising a magnetic material provided on the other of the first intermittent member and the second intermittent member and attached to the electromagnet by the magnetic force of the electromagnet.

The method according to claim 1,
The detachable unit is a paste dispenser consisting of a pressing close contact means for pressing the first control member and the second control member in close contact.

The method of claim 3, wherein the pressure-adhesive means,
A pressing member for pressing the second regulating member against the first regulating member;
And a third driving unit which is moved together with the first control member by the second driving unit and moves the second control member in the Z-axis direction.