KR20130054473A - 관성센서 - Google Patents

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KR20130054473A
KR20130054473A KR1020110099071A KR20110099071A KR20130054473A KR 20130054473 A KR20130054473 A KR 20130054473A KR 1020110099071 A KR1020110099071 A KR 1020110099071A KR 20110099071 A KR20110099071 A KR 20110099071A KR 20130054473 A KR20130054473 A KR 20130054473A
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stopper
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박흥우
최민규
김종운
이성준
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 관성센서는 구동매스와, 상기 구동매스를 변위가능하도록 지지하는 가요기판부와, 상기 구동매스가 부유된 상태로 자유이동 가능하도록 가요기판부를 지지하는 지지부를 포함하는 센서부와, 상기 구동매스의 하부를 커버하며 상기 지지부에 결합되고, 상기 구동매스의 변위를 제한하는 스토퍼부가 형성된 하부캡과, 상기 센서부와 상기 커버를 결합하고, 상기 구동매스와 상기 스토퍼 사이의 간격을 제공하는 DFR(Dry Film Resist)을 포함한다.

Description

관성센서{Inertial Sensor}
본 발명은 관성센서에 관한 것이다.
일반적으로, 가속도 및/또는 각속도를 측정하는 관성센서는 핸드폰의 화면전환, 게임, 디지털TV의 모션 리모콘, 게임기의 리모콘, 손 떨림 감지, 움직임의 위치 및 각도를 감지할 수 있는 센서모듈등에 실장되어 널리 이용되고 있다.
그리고 상기 관성센서는 움직임을 가속도 또는 각속도 정보로 센싱하고, 전기신호로 변환하여 사용자의 움직임을 입력으로 기기를 조작하면 모션 인터페이스로 구현이 가능하다. 그리고 이와 같은 관성센서는 가전 등의 움직임 센서 등을 비롯하여 비행기·차량의 항법 및 제어 등 매우 광범위하게 이용되고 있다.
또한, 상기 관성센서는 휴대용 PDA, 디지털 카메라 또는 핸드폰 등에 적용되면서 다양한 기능과 더 작고 가벼운 제품으로의 기술구현이 요구됨에 따라, 초소형 센서모듈의 개발이 필요한 실정이다.
그리고 개인휴대용인 저가초소형으로 구현되는 관성센서는 정전용량방식과 압전소자를 이용한 방식이 주류를 이루고 있으며, 이에 따른 관성센서의 구동수단은 압전(piezo-electric)과 정전용량(capacitive)방식으로 분류하고, 감지수단은 압전, 정전용량, 압저항(piezoresistive)방식으로 분류되어 다양하게 개발되고 있는 실정이다.
그리고 종래기술에 따른 관성센서 중 압전소자를 이용한 관성센서는 실리콘 구조체는 구동체, 가요기판부 및 지지체를 포함하고, 상기 가요기판부에 가진전극 및 감지전극이 형성되고, 상기 가진전극에 전류를 인가하여 구동체를 구동시키고, 이에 따른 구동체의 변위를 감지전극에서 인식하는 방식으로 센싱한다.
또한, 종래기술에 따른 관성센서는 축방향으로 낙하되거나 충격을 받을 경우, 가요기판부가 깨지는 문제점을 지니고 있고, 이를 해결하기 위해 구동체의 하부에 스토퍼를 형성시키는 방법이 개발되고 있으나 매우 복잡하고, 정교한 설계구조로 구현될 수 없는 문제점을 지니고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 하부캡에 스토퍼를 형성시키고, DFR(Dry Film Resist)를 이용하여 센서부와 하부캡을 결합시킴에 따라 센서부의 구동매스와 하부캡의 스토퍼부의 간격을 일정하고 정확하게 유지시킬 수 있는 관성센서를 제공하기 위한 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 관성센서는 구동매스와, 상기 구동매스를 변위가능하도록 지지하는 가요기판부와, 상기 구동매스가 부유된 상태로 자유이동 가능하도록 가요기판부를 지지하는 지지부를 포함하는 센서부와, 상기 구동매스의 하부를 커버하며 상기 지지부에 결합되고, 상기 구동매스의 변위를 제한하는 스토퍼부가 형성된 하부캡과, 상기 센서부와 상기 커버를 결합하고, 상기 구동매스와 상기 스토퍼 사이의 간격을 제공하는 DFR(Dry Film Resist)를 포함한다.
또한, 상기 지지부와 대향되는 상기 하부캡에는 DFR이 도포되는 접착제 수용홈이 형성되고, 상기 DFR의 두께는 상기 접착제 수용홈의 깊이보다 3㎛ ~ 5㎛ 만큼 크게 이루어질 수 있다.
또한, 상기 하부캡은 상기 지지부에 대향되어 돌출된 결합부와, 상기 구동매스에 대향되는 공간부가 형성되고, 상기 스토퍼부는 상기 공간부에 형성되고, 상기 구동매스를 향해 돌출되고, 상기 구동매스와 소정간격으로 이격되어 상기 구동매스의 하방향 변위를 제한한다.
또한, 상기 스토퍼부는 상기 구동매스의 하부 중앙부에 대향되어 상기 하부캡으로 부터 하나가 돌출되어 형성된다.
또한, 상기 스토퍼부는 상기 구동매스의 하부 가장자리부에 대향되고 등간격으로 배치되도록 상기 하부캡으로 부터 복수개가 돌출되어 형성된다.
또한, 상기 스토퍼부는 2개 내지 8개 중 하나가 선택되어 이루어진다.
또한, 상기 스토퍼부의 직경은 30㎛ ~ 50㎛으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 DFR은 상기 하부캡의 접착제 수용홈에 라미네이션 코팅된다.
또한, 상기 DFR의 항복전압(Breakdown Voltage)은 280V/㎛이고, 체적저항률(Volume Resistivity)은 2×1014 Ωm이고, 인장강도(Tensile Strength)는 20MPa이고, 영률(Young's Modulus(25℃))은 400MPa으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 DFR의 두께는 20㎛이고, 상기 접착제 수용홈의 깊이는 16㎛로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 하부캡은 상기 지지부에 대향되어 돌출된 결합부와, 상기 구동매스에 대향되는 공간부가 형성되고, 상기 스토퍼부는 상기 결합부로부터 상기 공간부를 향해 연장되어, 상기 구동매스의 하부에 대향되어 일부가 위치되고, 상기 구동매스와 소정간격으로 이격되도록 위치되어 상기 구동매스의 하방향 변위를 제한한다.
또한, 상기 하부캡과 대향되는 상기 지지부에는 상기 DFR이 도포되는 접착제 수용홈이 형성되고, 상기 DFR의 두께는 상기 접착제 수용홈의 깊이보다 3㎛ ~ 5㎛ 만큼 크게 이루어질 수 있다.
또한, 상기 DFR의 두께는 20㎛이고, 상기 접착제 수용홈의 깊이는 16㎛로 이루어질 수 있다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명에 의하면 하부캡에 스토퍼를 형성시키고, DFR(Dry Film Resist)를 이용하여 센서부와 하부캡을 결합시킴에 따라 센서부의 구동매스와 하부캡의 스토퍼부의 간격을 일정하고 정확하게 유지시킬 수 있는 관성센서를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 관성센서의 개략적인 단면도.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 관성센서의 개략적인 단면도.
도 3은 도 1의 관성센서에 있어서 제1 실시예에 따른 스토퍼부의 개략적인 평면도.
도 4는 도 1의 관성센서에 있어서 제2 실시예에 따른 스토퍼부의 개략적인 평면도.
도 5는 도 1의 관성센서에 있어서 제3 실시예에 따른 스토퍼부의 개략적인 평면도.
도 6은 도 1의 관성센서에 있어서 제4 실시예에 따른 스토퍼부의 개략적인 평면도.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 관성센서의 개략적인 단면도.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 관성센서의 개략적인 단면도.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관성센서에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 관성센서의 개략적인 단면도이다. 도시한 바와 같이, 상기 관성센서(100)는 센서부(110)와 하부캡(120)을 포함하고, 상기 센서부(110)와 하부캡(120)은 DFR(Dry Film Resist)(130)에 의해 결합된다.
그리고 상기 센서부(110)는 구동매스(111), 가요기판부(112), 지지부(113)로 이루어진다. 또한, 상기 가요기판부(112)는 상기 구동매스(111)를 변위가능하도록 지지하기 위한 것으로, 가요기판, 압전재료(PZT) 및 전극을 포함한다. 또한 상기 가요기판은 실리콘 또는 SOI(Silicon On Insulator)기판으로 이루어지고, 압전소자 및 전극을 증착하여, 구동전극(미도시)과 감지전극(미도시)이 형성된다.
그리고 상기 가요기판부(112)의 하부로 구동매스(111)가 변위가능하도록 위치되고, 상기 구동매스(111)는 가요기판부(112)의 구동전극에 접압이 인가됨에 따라 이동된다.
또한, 상기 지지부(113)는 상기 구동매스(111)가 부유한 상태로 자유이동이 가능하도록 상기 가요기판부(112)를 지지한다.
그리고 본 발명에 따른 구동매스(111) 및 지지부(113)는 실리콘기판을 에칭하여 형성시킬 수 있다.
또한, 상기 하부캡(120)은 상기 구동매스(111)의 하부를 커버하고 동시에 ASIC(미도시)에 상기 센서부(110)를 지지·결합시키기 위한 것이다.
보다 구체적으로, 상기 하부캡(120)은 상기 센서부(110)와 결합되는 결합부, 스토퍼부(121), 공간부(122) 및 접착제 수용홈(123)이 형성된다. 그리고 상기 결합부는 상기 센서부(110)의 지지부(113)에 대향되어 돌출되고, 상기 공간부(122)는 상기 구동매스(111)의 이동에 따른 에어댐핑과 효율적인 주파수 특성을 얻기 위한 것으로, 상기 구동매스(111)에 대향되도록 형성된다. 또한, 상기 스토퍼부(122)는 상기 구동매스(111)와 소정간격으로 이격되어 상기 구동매스의 하방향 변위를 제한하기 위한 것으로서, 상기 구동매스를 향해 돌출되도록 상기 공간부(122)에 형성된다. 또한, 상기 스토퍼부의 직경은 30㎛ ~ 50㎛으로 이루어질 수 있다. 이와 같은 스토퍼부의 크기는 최소한의 기능 및 가공성을 고려한 것이다.
또한, 상기 접착제 수용홈(123)은 상기 DFR(130)이 라미네이션 코팅될 경우, 상기 접착제 수용홈(123)에 삽입되는 상기 DFR(130)의 두께를 통해 상기 구동매스와 스토퍼부의 간격을 설정하기 위한 것이다.
그리고 상기 하부캡(114)은 상기 구동매스(111) 및 지지부(113)와 동일한 재료인 실리콘으로 이루어지거나, 유사한 열팽창계수를 갖는 파이렉스(Pyrex)유리 등을 이용할 수 있으나, 가공성 및 공정성을 고려하여 동일 재료인 실리콘을 이용하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 본 발명에 따른 상기 DFR(130)은 항복전압(Breakdown Voltage)은 280V/㎛이고, 체적저항률(Volume Resistivity)은 2×1014 Ωm이고, 인장강도(Tensile Strength)는 20MPa이고, 영률(Young's Modulus(25℃))은 400MPa 일 수 있고, 라미네이션 코팅에 의해 상기 하부캡(120)의 접착제 수용홈(123)에 도포되고, 상기 센서부(110)의 지지부(114)와 결합되어, 상기 센서부(110)의 구동매스(111)와 상기 스토퍼부(121) 사이의 간격을 제공하기 위한 것이다.
보다 구체적으로 도 1에 "B"로 도시한 접착제 수용홈의 깊이와 상기 DFR(130)의 두께의 차이인 "A" 만큼, 상기 센서부의 구동매스(111)과 스토퍼부(121)는 이격되어, 구동매스(111)의 이동을 자유롭게 함과 동시에, 구동매스의 이동에 따라 가요기판부가 파손되지 않도록 축방향의 이동을 일정범위로 제한할 수 있게 된다.
보다 구체적으로 상기 구동매스(111)과 스토퍼부(121)의 간격을 5㎛로 형성시킬 경우, 20㎛ 두께를 갖는 DFR를 마련하고, 접착제 수용홈의 깊이를 16㎛로 형성시키고, 상기 DFR을 접착제 수용홈에 도포한다. 또한, DFR(130)의 두께는 상기 접착제 수용홈(123)의 깊이보다 3㎛ ~ 5㎛ 만큼 크게 이루어질 수 있다. 상기 구동매스(111)과 스토퍼부(121)의 간격을 5㎛로 형성시킨 것을 이 이상일 경우, 상기 가요기판부가 파손될 수 있기 때문이다.
이와 같이 이루어지고, 상기 DFR을 접착제 수용홈에 라미네이션 코팅함으로써, 상기 센서부의 구동매스(111)와 하부캡의 스토퍼(121)의 간격은 간편한 방법으로 정확하고, 일정하게 형성시킬 수 있게 된다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 관성센서의 개략적인 단면도이다. 도시한 바와 같이, 상기 관성센서(200)는 도 1에 도시한 관성센서(100)와 비교하여 스토퍼를 형성하기 위한 하부캡만이 상이하다.
보다 구체적으로, 상기 관성센서(200)는 센서부(210)와 하부캡(220)을 포함하고, 상기 센서부(210)와 하부캡(220)은 DFR(Dry Film Resist)(230)에 의해 결합된다.
그리고 상기 센서부(210)는 구동매스(211), 가요기판부(212), 지지부(213)로 이루어지고, 상기 하부캡(220)은 상기 센서부(210)와 결합되는 결합부, 공간부(222), 스토퍼부(221) 및 접착제 수용홈(223)이 형성된다.
또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 관성센서(200)의 스토퍼부(221)는 상기 결합부로부터 상기 공간부를 향해 연장되고, 상기 구동매스(211)와 소정간격으로 이격되도록 위치되어 상기 구동매스의 하방향 변위를 가요기판부가 파손되지 않는 안전범위로 제한할 수 있게 된다.
도 3은 도 1의 관성센서에 있어서 제1 실시예에 따른 스토퍼부의 개략적인 평면도이다. 도시한 바와 같이, 스토퍼부(121a)는 구동매스(111)의 하부 중앙부에 대향되어 하부캡으로 부터 하나가 돌출되어 형성된다.
도 4는 도 1의 관성센서에 있어서 제2 실시예에 따른 스토퍼부의 개략적인 평면도이고, 도 5는 도 1의 관성센서에 있어서 제3 실시예에 따른 스토퍼부의 개략적인 평면도이고, 도 6은 도 1의 관성센서에 있어서 제4 실시예에 따른 스토퍼부의 개략적인 평면도이다.
도시한 바와 같이, 도 4에 있어서, 스토퍼부(121b)는 구동매스(111)의 하부 가장자리부에 대향되고 등간격으로 배치되도록, 하부캡으로 부터 2개가 돌출되어 형성된다. 또한 도 5에 있어서, 스토퍼부(121c)는 구동매스(111)의 하부 가장자리부에 대향되고 등간격으로 배치되도록, 하부캡으로 부터 4개가 돌출되어 형성되고, 또한 도 6에 있어서, 스토퍼부(121d)는 구동매스(111)의 하부 가장자리부에 대향되고 등간격으로 배치되도록, 하부캡으로 부터 8개가 돌출되어 형성된다
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 관성센서의 개략적인 단면도이다. 도시한 바와 같이, 상기 관성센서(300)은 도 1에 도시한 관성센서(100)와 비교하여 접착제 수용홈이 형성되는 대상만이 상이하다. 즉, 제1 실시예에 따른 관성센서(100)는 접착제 수용홈(223)이 하부캡에 형성되는 반면, 제3 실시예에 따른 관성센서(300)는 접착제 수용홈이 센서부(310)에 형성된다.
보다 구체적으로, 상기 관성센서(300)은 센서부(310)와 하부캡(320)을 포함하고, 상기 센서부(310)와 하부캡(320)은 DFR(Dry Film Resist)(330)에 의해 결합된다.
그리고 상기 센서부(310)는 구동매스(311), 가요기판부(312) 및 지지부(313)로 이루어지고, 상기 지지부(313)에는 접착제 수용홈(314)이 형성된다. 그리고 상기 하부캡(320)은 상기 센서부(310)와 결합되는 결합부, 공간부(322), 스토퍼부(321)가 형성된다.
또한, 본 발명의 제3 실시예에 따른 관성센서(300)는 상기 센서부(310)의 지지부(313)에 접착제 수용홈(314)이 형성되고, 상기 접착제 수용홈(314)에 DFR(330)이 도포되고, 상기 센서부(310)과 하부캡(320)이 결합됨에 따라, 상기 스토퍼부(321)는 상기 구동매스(311)과 소정간격으로 이격되어 상기 구동매스의 하방향 변위를 가요기판부가 파손되지 않는 안전범위로 제한한다.
이를 위해, 상기 DFR(330)의 두께는 상기 접착제 수용홈(314)의 깊이보다 3㎛ ~ 5㎛ 만큼 크게 이루어질 수 있다. 또한, 상기 구동매스와 스토퍼부의 간격을 5㎛로 형성시키기 위해, 상기 DFR의 두께는 20㎛로, 상기 접착제 수용홈의 깊이는 16㎛로 구현할 수 있다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 관성센서의 개략적인 단면도이다. 도시한 바와 같이, 제4 실시예에 따른 관성센서는 제1 실시예에 따른 관성센서와 비교하여 하부캡의 구조와 스토퍼부만이 상이하다.
보다 구체적으로 상기 관성센서(400)는 센서부(410)와 하부캡(420)을 포함하고, 상기 센서부(410)와 하부캡(420)은 DFR(Dry Film Resist)(430)에 의해 결합된다.
그리고 상기 센서부(410)는 구동매스(411), 가요기판부(412), 지지부(413)로 이루어진다. 또한, 제4 실시예에 따른 관성센서는 하부캡(420)에 스토퍼부(421), 공간부(422) 및 완충부재(424)가 형성된다. 또한 상기 완충부재(424)는 구동매스(411)와 대향되도록 형성되고, 이에 따라 상기 구동매스(411)가 스토퍼부(421)에 충돌될 경우, 상기 완충부재(424)에 의해 충격이 완화되어 구동매스의 파손 또는 이에 따른 센싱오류를 미연에 방지할 수 있게 된다.
또한, 상기 완충부재는 두께는 16㎛이고, DFR의 두께는 20㎛로 형성시킴에 따라, 상기 구동매스(411)과 완충부재(424)의 간격을 1~10㎛로 형성시킬 수 있다.
그리고 상기 완충부재(424)는 저탄성체, 폴리머 등으로 다양하게 구현될 수 있다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 관성센서는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
100, 200, 300 : 관성센서
110, 210, 310 : 센서부
111, 211, 311, 411 : 구동매스
112, 212, 312 : 가요기판부
113, 213, 313 : 지지부
120, 220, 320, 420 : 하부캡
130, 230, 330 : DFR
121, 221, 321, 421 : 스토퍼부
122, 222, 322 : 공간부
123, 223, 314 : 접착제 수용홈
424 : 완충부재

Claims (14)

  1. 구동매스와, 상기 구동매스를 변위가능하도록 지지하는 가요기판부와, 상기 구동매스가 부유된 상태로 자유이동 가능하도록 가요기판부를 지지하는 지지부를 포함하는 센서부;
    상기 구동매스의 하부를 커버하며 상기 지지부에 결합되고, 상기 구동매스의 변위를 제한하는 스토퍼부가 형성된 하부캡; 및
    상기 센서부와 상기 커버를 결합하고, 상기 구동매스와 상기 스토퍼 사이의 간격을 제공하는 DFR(Dry Film Resist)를 포함하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지부와 대향되는 상기 하부캡에는 DFR이 도포되는 접착제 수용홈이 형성되고, 상기 DFR의 두께는 상기 접착제 수용홈의 깊이보다 3㎛ ~ 5㎛ 만큼 크게 형성된 특징으로 하는 관성센서.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부캡은
    상기 지지부에 대향되어 돌출된 결합부; 및
    상기 구동매스에 대향되는 공간부가 형성되고,
    상기 스토퍼부는 상기 공간부에 형성되고, 상기 구동매스를 향해 돌출되고, 상기 구동매스와 소정간격으로 이격되어 상기 구동매스의 하방향 변위를 제한하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 스토퍼부는 상기 구동매스의 하부 중앙부에 대향되어 상기 하부캡으로 부터 하나가 돌출되어 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 스토퍼부는 상기 구동매스의 하부 가장자리부에 대향되고 등간격으로 배치되도록 상기 하부캡으로 부터 복수개가 돌출되어 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 스토퍼부는 2개 내지 8개 중 하나가 선택되어 이루지는 것을 특징으로 하는 관성센서.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 스토퍼부의 직경은 30㎛ ~ 50㎛으로 이루어진 것을 특징으로 하는 관성센서.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 DFR은 상기 하부캡의 접착제 수용홈에 라미네이션 코팅되는 것을 특징으로 하는 관성센서.

  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 DFR의 항복전압(Breakdown Voltage)은 280V/㎛이고, 체적저항률(Volume Resistivity)은 2×1014 Ωm이고, 인장강도(Tensile Strength)는 20MPa이고, 영률(Young's Modulus(25℃))은 400MPa인 것을 특징으로 하는 관성센서.
  10. 청구항 2에 있어서,
    상기 DFR의 두께는 20㎛이고, 상기 접착제 수용홈의 깊이는 16㎛인 것을 특징으로 하는 관성센서.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부캡은
    상기 지지부에 대향되어 돌출된 결합부; 및
    상기 구동매스에 대향되는 공간부가 형성되고,
    상기 스토퍼부는 상기 결합부로부터 상기 공간부를 향해 연장되어, 상기 구동매스의 하부에 대향되어 일부가 위치되고, 상기 구동매스와 소정간격으로 이격되도록 위치되어 상기 구동매스의 하방향 변위를 제한하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부캡과 대향되는 상기 지지부에는 상기 DFR이 도포되는 접착제 수용홈이 형성되고, 상기 DFR의 두께는 상기 접착제 수용홈의 깊이보다 3㎛ ~ 5㎛ 만큼 큰 것을 특징으로 하는 관성센서.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 DFR의 두께는 20㎛이고, 상기 접착제 수용홈의 깊이는 16㎛인 것을 특징으로 하는 관성센서.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 스토퍼부는 상기 구동매스에 대향되어 완충부재가 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
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