KR20130047668A - Handling robot - Google Patents

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KR20130047668A
KR20130047668A KR1020120121465A KR20120121465A KR20130047668A KR 20130047668 A KR20130047668 A KR 20130047668A KR 1020120121465 A KR1020120121465 A KR 1020120121465A KR 20120121465 A KR20120121465 A KR 20120121465A KR 20130047668 A KR20130047668 A KR 20130047668A
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KR
South Korea
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joint
link
horizontal arm
joint portion
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KR1020120121465A
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Korean (ko)
Inventor
사토시 스에요시
겐타로 다나카
요시히로 구사마
Original Assignee
가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

PURPOSE: A transfer robot is provided to simplify a structure and to reduce fabrication costs and weight. CONSTITUTION: A horizontal arm unit(15) holds a transfer object. A main unit(13) includes a pillar(21), a first joint part(22), a first link(23), a second joint part(24), a second link(25), and a third joint part(26). A sub unit(14) includes a pillar(31), a fourth joint part(32), a third link(33), a fifth joint part(34), a fourth link(35), and a sixth joint part(36). A base(12) rotates around a pivotal axis(P1) vertical to a frame(11). The base includes a pivotal part(12a) rotatably formed in the frame, and an extension part(12b,12c) extended from both ends of the pivotal part.

Description

반송 로봇{HANDLING ROBOT}Carrying robot {HANDLING ROBOT}

개시된 실시형태는 반송 로봇에 관한 것이다.The disclosed embodiment relates to a transport robot.

종래, 액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 박판 형상 워크를 스토커(stocker) 등에 출납하는 반송 로봇이 알려져 있다. DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the conveyance robot which deposits thin-walled workpieces, such as a glass substrate for liquid crystals and a semiconductor wafer, in and out of a stocker etc. is known.

예를 들어, 특허문헌에는, 한쌍의 각부(脚部) 유닛을 동작시켜서 상부에 배치된 아암 유닛을 상하 운동시키고, 이러한 아암 유닛에 의해서 박판 형상 워크를 반송하는 로봇이 제안되어 있다. For example, the patent document proposes the robot which moves a pair of each unit and moves the arm unit arrange | positioned up and down, and conveys a thin-shaped workpiece by such an arm unit.

일본 특허 제 4466785호 공보Japanese Patent No. 4466785

그렇지만, 종래의 반송 로봇은, 액추에이터나 모터 등의 구동부가 한쌍의 각부 유닛에 동일한 구조가 되도록 마련되어 있으며, 중량이나 가격의 삭감이라고 하는 관점으로부터 개선의 여지가 있었다. However, the conventional transfer robot is provided so that drive parts, such as an actuator and a motor, may have the same structure in a pair of each part unit, and there exists room for improvement from the point of view of weight or price reduction.

실시형태의 일 태양은, 상기에 감안하여 이루어진 것으로서, 구조의 간략화를 도모하는 동시에 장치에 따른 제조 가격 및 중량을 억제할 수 있는 반송 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다. One aspect of embodiment is made | formed in view of the above, and an object of this invention is to provide the conveyance robot which can simplify a structure, and can suppress the manufacturing price and weight by an apparatus.

실시형태의 일 태양에 따른 반송 로봇은, 반송물을 보지하는 수평 아암 유닛과, 한쌍의 각부 유닛을 구비한다. 한 쌍의 각부 유닛은, 제 1 관절부의 회전축을 중심으로 기단측이 회전 가능하게 연결된 제 1 링크를 각각 갖는다. 또한, 한쌍의 각부 유닛은, 상기 제 1 링크의 선단측에 마련되는 제 2 관절부의 회전축을 중심으로 기단측이 회전 가능하게 연결되는 한편, 선단측에는 제 3 관절부의 회전축을 거쳐서 상기 수평 아암 유닛이 회전 가능하게 지지되는 제 2 링크를 각각 갖는다. 더욱이, 한 쌍의 각부 유닛이 상기 수평 아암 유닛의 위치 및 자세를 제어하는 것이 가능하도록 하기 위하여 복수의 관절부에 구동원이 마련된다. 나아가, 한 쌍의 각부 유닛의 제 1 및 제 2 관절부에 있어서 해당 제 1 및 제 2 관절부의 총 수보다도 적은 수의 제 1 및 제 2 관절부에 구동원이 마련된다. The conveyance robot which concerns on one aspect of embodiment is equipped with the horizontal arm unit which hold | maintains a conveyed thing, and a pair of each part unit. The pair of corner units each have a first link connected to the proximal end so as to be rotatable about the rotation axis of the first joint portion. In addition, the pair of corner units are rotatably connected to the proximal end around the rotation axis of the second joint part provided on the tip side of the first link, while the horizontal arm unit is connected to the tip side via the rotation axis of the third joint part. Each having a second link rotatably supported. Furthermore, a drive source is provided in the plurality of joint portions to enable the pair of corner units to control the position and posture of the horizontal arm unit. Furthermore, the drive source is provided in the 1st and 2nd joint part of the 1st and 2nd joint part of a pair of each part unit less than the total number of the said 1st and 2nd joint part.

실시형태의 일 태양에 의하면, 구조의 간략화를 도모하는 동시에 장치에 따르는 제조 가격 및 중량을 억제할 수 있다. According to one aspect of the embodiment, it is possible to simplify the structure and to suppress the production cost and weight of the apparatus.

도 1은 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇의 설명도,
도 2는 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇의 모식 사시도,
도 3은 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇의 정면 모식도,
도 4a는 제 2 실시형태에 따른 반송 로봇의 정면 모식도 1,
도 4b는 제 2 실시형태에 따른 반송 로봇의 정면 모식도 2,
도 5a는 제 3 실시형태에 따른 반송 로봇의 정면 모식도 1,
도 5b는 제 3 실시형태에 따른 반송 로봇의 정면 모식도 2,
도 6a는 제 4 실시형태에 따른 반송 로봇의 정면 모식도 1,
도 6b는 제 4 실시형태에 따른 반송 로봇의 정면 모식도 2. 1 is an explanatory diagram of a transfer robot according to a first embodiment;
2 is a schematic perspective view of a transfer robot according to a first embodiment;
3 is a schematic front view of a transfer robot according to a first embodiment;
4A is a schematic front view of the transfer robot according to a second embodiment;
4B is a schematic front view of the transfer robot according to the second embodiment.
5A is a schematic front view of the transfer robot 1 according to the third embodiment;
5B is a schematic front view of the transfer robot according to the third embodiment;
6A is a schematic front view of the transfer robot 1 according to the fourth embodiment;
6B is a schematic front view of a transfer robot according to a fourth embodiment 2.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 원의 개시하는 반송 로봇의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, with reference to an accompanying drawing, embodiment of the conveyance robot disclosed herein is described in detail. In addition, the present invention is not limited to the embodiments described below.

(제 1 실시형태)(First Embodiment)

우선, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)에 대하여, 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)의 설명도이다. 또한, 도 1에서는 설명을 용이하게 하기 위해서 일부의 형상을 단순화하여 도시하고 있다. 또한, 이하에서는 동 도면 우측 상부에 나타내는 좌표축을 적절히 이용하여 설명을 실행하는 것으로 하고, 연직 상향 방향을 Z축 방향으로 한다.First, the carrier robot 10 which concerns on 1st Embodiment is demonstrated using FIG. 1 is an explanatory diagram of a transfer robot 10 according to the first embodiment. In addition, in FIG. 1, some shapes are simplified and illustrated in order to make description easy. In addition, below, it demonstrates using the coordinate axis shown in the upper right side of the figure suitably, and makes a vertical upward direction into a Z-axis direction.

도 1에 도시하는 바와 같이, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)은 기대(11)와, 기부(12)와, 주 각부 유닛(13)과, 서브 각부 유닛(14)과, 수평 아암 유닛(15)을 구비한다. As shown in FIG. 1, the transfer robot 10 according to the first embodiment includes a base 11, a base 12, a main corner unit 13, a sub corner unit 14, and a horizontal arm. The unit 15 is provided.

주 각부 유닛(13)은 지주(21)와, 제 1 관절부(22)와, 제 1 링크(23)와, 제 2 관절부(24)와, 제 2 링크(25)와, 제 3 관절부(26)를 추가로 구비한다. 또한, 서브 각부 유닛(14)은, 지주(31)와, 제 4 관절부(32)와 제 3 링크(33)와, 제 5 관절부(34)와, 제 4 링크(35)와, 제 6 관절부(36)를 추가로 구비한다. The main leg unit 13 includes a support 21, a first joint part 22, a first link 23, a second joint part 24, a second link 25, and a third joint part 26. ) Is further provided. In addition, the sub-corner unit 14 includes a support 31, a fourth joint part 32, a third link 33, a fifth joint part 34, a fourth link 35, and a sixth joint part. (36) is further provided.

도 1에 도시하는 바와 같이, 기부(12)는, 기대(11)에 선회 가능하게 장착된 선회부(12a)와, 선회부(12a)의 양단으로부터 수평 방향으로 연장하는 연장부(12b, 12c)로 구성되고, 기대(11)에 대하여 연직인 선회축(P1)을 중심으로 선회한다. 그리고, 기부(12)의 선회를 따라, 주 각부 유닛(13), 서브 각부 유닛(14) 및 수평 아암 유닛(15)이 선회축(P1)을 중심으로 선회한다. As shown in FIG. 1, the base 12 includes a swing portion 12a rotatably mounted to the base 11 and extension portions 12b and 12c extending in the horizontal direction from both ends of the swing portion 12a. ) And pivot about the pivot axis P1 perpendicular to the base 11. Then, along the turning of the base 12, the main leg unit 13, the sub leg unit 14 and the horizontal arm unit 15 pivot around the pivot axis P1.

또한, 반송 로봇(10)은 소정의 관절부를 구동시키는 것에 의해서 수평 아암 유닛(15)을 승강시켜, 워크를 파지하는 핸드부를 마련하는 수평 아암 유닛(15)을 Y축의 정부(正負) 방향으로 이동시킨다. 또한, 반송 로봇(10)은 핸드부를 X축의 정부 방향으로 직선적으로 이동시킨다. Moreover, the conveyance robot 10 raises and lowers the horizontal arm unit 15 by driving a predetermined joint part, and moves the horizontal arm unit 15 which provides the hand part which hold | grips the workpiece to the positive direction of a Y-axis. Let's do it. In addition, the transfer robot 10 linearly moves the hand part in the direction of the X axis.

상술한 바와 같이 동작하는 것에 의해서, 반송 로봇(10)은, 워크의 파지나 이재(移載)를 실행한다. 또한, 반송 로봇(10)이나 수평 아암 유닛(15)의 형상의 상세한 것에 대해서는 도 2를 이용하여 후술한다. By operating as mentioned above, the conveyance robot 10 performs holding | gripping of a workpiece | work and transfer. In addition, the detail of the shape of the carrier robot 10 and the horizontal arm unit 15 is mentioned later using FIG.

그런데, 종래의 반송 로봇은, 2개의 각부 유닛에 의해서 수평 아암 유닛이 지지되는 경우, 2개의 각부 유닛이 대칭이 되도록 액추에이터나 모터 등의 구동원이 내장되는 구성으로 되어 있었다. By the way, when the horizontal arm unit is supported by the two corner units, the conventional transfer robot has a configuration in which a drive source such as an actuator, a motor, or the like is incorporated so that the two corner units are symmetrical.

구체적으로는, 종래의 반송 로봇이 도 1에 도시하는 반송 로봇의 경우에는, 기부(12)에 대한 수평 아암 유닛(15)의 위치 및 자세를 제어하기 위한 구동원은 각 각부 유닛(13, 14)에 2개씩, 즉, 제 1 관절부(22), 제 2 관절부(24), 제 4 관절부(32) 및 제 5 관절부(34)의 합계 4개소 마련하는 구성으로 되어 있었다. Specifically, in the case of the transfer robot shown in FIG. 1, the drive source for controlling the position and attitude of the horizontal arm unit 15 with respect to the base 12 is the respective unit 13 and 14. Two at each, i.e., a total of four positions of the first joint portion 22, the second joint portion 24, the fourth joint portion 32, and the fifth joint portion 34 were provided.

그렇지만, 종래의 반송 로봇은, 중량이나 가격의 삭감이라고 하는 관점으로부터 개선의 여지가 있었다. 그래서, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)에서는, 수평 아암 유닛(15)의 위치 및 자세 결정을 실행하기 위한 최소한의 구동원을 구비하는 구성으로 했다. However, the conventional transfer robot has room for improvement from the point of view of reduction of weight and price. Therefore, in the conveyance robot 10 which concerns on 1st Embodiment, it was set as the structure provided with the minimum drive source for performing the position and attitude of the horizontal arm unit 15. As shown in FIG.

구체적으로는, 반송 로봇(10)은 기부(12)에 대한 수평 아암 유닛(15)의 위치 및 자세 결정과 관련하여, 제 1 관절부(22), 제 2 관절부(24) 및 제 6 관절부(36)의 3개의 축 단부에 각각 구동원을 마련하고, 이러한 3개의 관절부의 회전축을 구동축으로 한다. 한편, 제 3 관절부(26), 제 4 관절부(32) 및 제 5 관절부(34)의 회전축은, 자유축으로서 회전 가능하게 축지된다. Specifically, the transport robot 10 is associated with the first joint portion 22, the second joint portion 24, and the sixth joint portion 36 with respect to the position and attitude determination of the horizontal arm unit 15 with respect to the base 12. The drive source is provided in each of the three shaft ends of), and the rotation axis of these three joint parts is used as a drive shaft. On the other hand, the rotation axis of the 3rd joint part 26, the 4th joint part 32, and the 5th joint part 34 is axially rotatable as a free axis.

또한, 도 1에서는, 각 관절부 중, 구동축으로 하는 위치를 검은색 동그라미로 나타내고, 자유축으로 하는 위치를 흰색 동그라미로 나타내고 있다. 반송 로봇(10)은 3개의 구동축을 구동시키는 것에 의해서 수평 아암 유닛(15)의 Y좌표 및 Z좌표의 위치 결정을 실행한다. In addition, in FIG. 1, the position used as a drive shaft among each joint part is shown with the black circle | round | yen, and the position used as the free axis is shown by the white circle | round | yen. The conveyance robot 10 performs positioning of the Y coordinate and the Z coordinate of the horizontal arm unit 15 by driving three drive shafts.

또한, 주 각부 유닛(13)은 수평 아암 유닛(15)의 중량을 지지하고 있으며, 서브 각부 유닛(14)은, 수평 아암 유닛(15)의 위치 및 자세 결정을 실행하기 위해서 수평 아암 유닛(15)에 지지된다. In addition, the main leg unit 13 supports the weight of the horizontal arm unit 15, and the sub leg unit 14 is a horizontal arm unit 15 in order to determine the position and attitude of the horizontal arm unit 15. Is supported).

그래서, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)에서는, 서브 각부 유닛(14)을, 주 각부 유닛(13)보다 가는 구조로 했다. 이것에 의해서, 반송 로봇(10)은 경량화를 도모할 수 있다. Therefore, in the conveyance robot 10 which concerns on 1st Embodiment, the sub corner part unit 14 was made into the structure thinner than the main corner part unit 13. As shown in FIG. As a result, the transfer robot 10 can be reduced in weight.

또한, 종래의 반송 로봇은 2개의 각부 유닛에 마련되는 구동원이나 수평 아암 유닛에 접속되는 케이블이, 각 각부 유닛의 측면을 따라서 배선되어 있었다. 이 때문에, 이러한 케이블이 각 관절부에 연결되는 링크나 수평 아암 유닛등과 간섭하여, 반송 로봇의 동작의 장애가 되는 일이 있었다. Moreover, in the conventional transfer robot, the drive source provided in two each unit and the cable connected to the horizontal arm unit were wired along the side surface of each each unit. For this reason, such a cable may interfere with the link, horizontal arm unit, etc. which are connected to each joint part, and may interfere with the operation of a carrier robot.

그래서, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)에서는, 2개의 각부 유닛(13, 14)에 마련되는 구동원이나 수평 아암 유닛(15)으로부터의 케이블(37)을 서브 각부 유닛(14)으로 내포하는 것으로 했다. Therefore, in the conveyance robot 10 which concerns on 1st Embodiment, the cable 37 from the drive source and the horizontal arm unit 15 provided in the two corner | angular part units 13 and 14 is contained by the sub-corner part 14. As shown in FIG. I was supposed to.

이와 같이 하는 것에 의해서, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)에서는, 구조의 간략화를 도모하는 동시에 장치에 따른 제조 가격 및 중량을 억제할 수 있다.By doing in this way, in the conveyance robot 10 which concerns on 1st Embodiment, while simplifying a structure, the manufacturing cost and weight according to an apparatus can be suppressed.

다음, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)이나 수평 아암 유닛(15)의 형상의 상세한 것에 대하여, 도 2를 이용하여 설명한다. 도 2는 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)의 모식 사시도이다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 반송 로봇(10)은, 기대(11)와, 기부(12)와, 주 각부 유닛(13)과, 서브 각부 유닛(14)과, 수평 아암 유닛(15)을 구비한다. Next, details of the shape of the transfer robot 10 and the horizontal arm unit 15 according to the first embodiment will be described with reference to FIG. 2. 2 is a schematic perspective view of the transfer robot 10 according to the first embodiment. As shown in FIG. 2, the transport robot 10 includes the base 11, the base 12, the main corner unit 13, the sub corner unit 14, and the horizontal arm unit 15. Equipped.

기부(12)는, 기대(11)에 선회 가능하게 장착되어, 기대(11)에 대하여 수직인 선회축(P1)을 중심으로 선회한다. 그리고, 기부(12)의 선회에 따라, 주 각부 유닛(13), 서브 각부 유닛(14) 및 수평 아암 유닛(15)이 선회축(P1)을 중심으로 하여 선회한다. The base 12 is pivotally mounted to the base 11 and pivots about the pivot axis P1 perpendicular to the base 11. And as the base 12 turns, the main leg part 13, the sub leg part 14, and the horizontal arm unit 15 turn around the pivot axis P1.

주 각부 유닛(13)은, 지주(21)와, 제 1 관절부(22)와, 제 1 링크(23)와, 제 2 관절부(24)와, 제 2 링크(25)와, 제 3 관절부(26)를 추가로 구비한다. 또한, 서브 각부 유닛(14)은, 지주(31)와, 제 4 관절부(32)와, 제 3 링크(33)와, 제 5 관절부(34)와, 제 4 링크(35)와, 제 6 관절부(36)를 추가로 구비한다. The main leg unit 13 includes a support 21, a first joint part 22, a first link 23, a second joint part 24, a second link 25, and a third joint part ( 26) further. Further, the sub-corner unit 14 includes a support 31, a fourth joint part 32, a third link 33, a fifth joint part 34, a fourth link 35, and a sixth The joint part 36 is further provided.

지주(21, 31)는 기부(12)의 각 선단부로부터 각각 연직 상향으로 입설된다. 주 각부 유닛(13)을 형성하는 제 1 링크(23)는, 지주(21)의 선단부 또한 X축의 부 방향측에 기단부가 제 1 관절부(22)를 거쳐서 연결된다. 이것에 의해, 제 1 링크(23)는, X축과 평행한 제 1 관절부(22)의 회전축을 중심으로 지주(21)의 선단부에 회전 가능하게 지지된다. The struts 21 and 31 are vertically upright from each tip of the base 12, respectively. As for the 1st link 23 which forms the main leg part 13, the base end part is connected to the front end part of the support | pillar 21, and the base end part through the 1st joint part 22 in the negative direction side of an X-axis. Thereby, the 1st link 23 is rotatably supported by the front-end | tip part of the support | pillar 21 about the rotating shaft of the 1st joint part 22 parallel to an X axis.

제 2 링크(25)는, 제 1 링크(23)의 선단부 또한 X축의 부방향 측에 기단부가 제 2 관절부(24)를 거쳐서 연결된다. 이것에 의해, 제 2 링크(25)는, X축과 평행한 제 2 관절부(24)의 회전축을 중심으로 제 1 링크(23)의 선단부에 회전 가능하게 지지된다.The 2nd link 25 is connected to the front-end | tip part of the 1st link 23 and the base end part through the 2nd articulation part 24 in the negative direction side of an X-axis. Thereby, the 2nd link 25 is rotatably supported by the front-end | tip part of the 1st link 23 about the rotation axis of the 2nd articulation part 24 parallel to an X axis.

서브 각부 유닛(14)을 형성하는 제 3 링크(33)는, 지주(31)의 선단부 또한 X축의 부방향 측에 기단부가 제 4 관절부(32)를 거쳐서 연결된다. 이것에 의해, 제 3 링크(33)는, X축과 평행한, 제 4 관절부(32)의 회전축을 중심으로 지주(31)의 선단부에 회전 가능하게 지지된다. The third link 33 forming the sub-corner unit 14 is connected to the distal end of the strut 31 and the proximal end via the fourth joint 32. Thereby, the 3rd link 33 is rotatably supported by the front-end | tip part of the support | pillar 31 centering on the rotation axis of the 4th joint part 32 parallel to an X axis.

제 4 링크(35)는, 제 3 링크(33)의 선단부 또한 X축의 부방향측에 기단부가 제 5 관절부(34)를 거쳐서 연결된다. 이것에 의해, 제 4 링크(35)는, X축과 평행한, 제 5 관절부(34)의 회전축을 중심으로 제 3 링크(33)의 선단부에 회전 가능하게 지지된다. The 4th link 35 is connected to the front-end | tip part of the 3rd link 33 and the base end part through the 5th articulation part 34 in the negative direction side of an X-axis. Thereby, the 4th link 35 is rotatably supported by the front-end | tip part of the 3rd link 33 about the rotation axis of the 5th articulation part 34 parallel to an X axis.

수평 아암 유닛(15)은, 제 2 링크(25)의 선단부에 제 3 관절부(26)를 거쳐서 연결된다. 이것에 의해, 수평 아암 유닛(15)은, X축과 평행한 제 3 관절부(26)의 회전축을 중심으로 제 2 링크(25)의 선단부에 회전 가능하게 지지된다.The horizontal arm unit 15 is connected to the distal end of the second link 25 via the third joint portion 26. Thereby, the horizontal arm unit 15 is rotatably supported by the front-end | tip part of the 2nd link 25 about the rotation axis of the 3rd joint part 26 parallel to an X axis.

또한, 수평 아암 유닛(15)은, 제 4 링크(35)의 선단부에 제 6 관절부(36)를 거쳐서 연결된다. 이것에 의해, 수평 아암 유닛(15)은, X축과 평행한, 제 6 관절부(36)의 회전축을 중심으로 제 4 링크(35)의 선단부에 회전 가능하게 지지된다.In addition, the horizontal arm unit 15 is connected to the distal end of the fourth link 35 via the sixth joint portion 36. Thereby, the horizontal arm unit 15 is rotatably supported by the front-end | tip part of the 4th link 35 about the rotation axis of the 6th joint part 36 parallel to an X axis.

또한, 반송 로봇(10)은, 제 1 관절부(22), 제 2 관절부(24) 및 제 6 관절부(36)의 축단부에 액추에이터나 모터 등의 구동원을 마련하고(도시하지 않음), 이러한 3개의 관절부의 회전축을 구동축으로 한다.In addition, the transfer robot 10 provides a drive source such as an actuator or a motor (not shown) at the shaft ends of the first joint portion 22, the second joint portion 24, and the sixth joint portion 36 (not shown). The axis of rotation of the two joints is a drive shaft.

반송 로봇(10)은, 이러한 3개의 구동축을 구동시켜 제 1 링크(23)나 제 2 링크(25)의 자세를 변화시킨다. 이것에 의해, 반송 로봇(10)은, 수평 아암 유닛(15)의 위치 및 자세 결정을 실행할 수 있다. The transfer robot 10 drives these three drive shafts to change the attitude of the first link 23 and the second link 25. Thereby, the transfer robot 10 can perform the position and attitude determination of the horizontal arm unit 15.

또한, 서브 각부 유닛(14)에는, 수평 아암 유닛(15)에 접속되는 케이블이 내포된다(도시하지 않음). 이것에 의해, 반송 로봇(10)은, 케이블이 다른 부재에 얽히는 일 없이 수평 아암 유닛(15)을 부드럽게 동작시킬 수 있다. 또한, 수평 아암 유닛(15)에 접속되는 케이블이란, 예를 들어, 워크를 흡착하기 위한 에어용의 배관이나, 흡착을 검지하기 위한 센서에 접속되는 센서 선이다. Moreover, the cable connected to the horizontal arm unit 15 is contained in the sub-corner unit 14 (not shown). As a result, the transfer robot 10 can smoothly operate the horizontal arm unit 15 without the cables being entangled with other members. In addition, the cable connected to the horizontal arm unit 15 is a sensor wire connected to the piping for air for adsorption | suctioning a workpiece | work, and the sensor for detecting adsorption | suction, for example.

수평 아암 유닛(15)은, 상측 아암 유닛(15a)과, 하측 아암 유닛(15b)을 구비한다. 하측 아암 유닛(15b)에 구비하는 하측 지지 부재(50)는, 한쪽을, 제 2 링크(25)의 선단부에, 제 3 관절부(26)의 관절 축 주위에 회전 가능하게 지지되고, 다른쪽을 제 4 링크(35)의 선단부에, 제 6 관절부(36)의 관절축 주위에 회전 가능하게 지지된다. The horizontal arm unit 15 includes an upper arm unit 15a and a lower arm unit 15b. The lower support member 50 provided in the lower arm unit 15b is rotatably supported around the joint axis of the third joint portion 26 at one end portion of the second link 25 at the tip portion of the second link 25. The tip end of the fourth link 35 is rotatably supported around the joint axis of the sixth joint portion 36.

또한, 상측 아암 유닛(15a)과 하측 아암 유닛(15b)은 동일한 구성으로 되어 있으므로, 여기에서는, 상측 아암 유닛(15a)에 대해서만 설명한다. 상측 아암 유닛(15a)은, 피반송 대상물인 워크를 탑재하기 위한 핸드부(46)와, 이 핸드부(46)를 선단부에서 지지하는 아암부(47)와, 상측 지지 부재(40)를 구비한다. In addition, since the upper arm unit 15a and the lower arm unit 15b have the same structure, only the upper arm unit 15a is demonstrated here. The upper arm unit 15a is provided with the hand part 46 for mounting the workpiece | work which is a to-be-transferred object, the arm part 47 which supports this hand part 46 at a front-end | tip part, and the upper support member 40. FIG. do.

아암부(47)는, 기단측 아암(42)과 선단측 아암(44)을 구비한다. 기단측 아암(42)은, Z축과 평행한 기단측 관절부(41)의 회전축을 중심으로 상측 지지부재(40)에 회전 가능하게 지지된다.The arm portion 47 includes a proximal end arm 42 and a distal end arm 44. The proximal end arm 42 is rotatably supported by the upper support member 40 about the rotation axis of the proximal end joint portion 41 parallel to the Z axis.

선단측 아암(44)은, Z축과 평행한 선단측 관절부(43)의 회전축을 중심으로 기단측 아암(42)의 선단부에 회전 가능하게 지지된다. 핸드부(46)는, Z축과 평행한 아암 관절부(45)의 회전축을 중심으로 선단측 아암(44)의 선단부에 회전 가능하게 지지된다. The tip arm 44 is rotatably supported at the tip end of the base end arm 42 about the rotation axis of the tip joint portion 43 parallel to the Z axis. The hand portion 46 is rotatably supported at the distal end of the distal arm 44 around the axis of rotation of the arm joint portion 45 parallel to the Z axis.

또한, 핸드부(46)는, 이들 기단측 아암(42)과 선단측 아암(44)이 회전 동작하는 것에 의해서 아암부(47)가 신축하여, 제 3 관절부(26)의 회전축과 평행한 방향으로 직선적으로 이동한다. 예를 들어, 반송 로봇(10)의 선회 위치가 도 2에 도시하는 상태인 경우, X축의 정부 방향이, 핸드부(46)의 이동 방향 및 아암부(47)의 신축 방향이다. In addition, in the hand part 46, the arm part 47 expands and contracts by rotation of these proximal arm 42 and the tip arm 44, and the direction parallel to the rotation axis of the 3rd joint part 26 is carried out. To move linearly. For example, when the turning position of the transfer robot 10 is a state shown in FIG. 2, the direction of the X axis is the moving direction of the hand part 46 and the stretching direction of the arm part 47.

또한, 여기에서는, 상측 아암 유닛(15a)과 하측 아암 유닛(15b)에 의해 수평 아암 유닛(15)을 구성하는 것으로 했지만, 상측 아암 유닛(15a) 또는 하측 아암 유닛(15b)만으로 구성하는 수평 아암 유닛(15)이라도 좋다. In addition, although the horizontal arm unit 15 is comprised by the upper arm unit 15a and the lower arm unit 15b here, the horizontal arm comprised only by the upper arm unit 15a or the lower arm unit 15b. The unit 15 may be sufficient.

다음, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)의 수평 아암 유닛(15)이 최하 위치인 경우의 형상의 상세한 것에 대하여, 도 3을 이용하여 설명한다. 도 3은 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)의 정면 모식도이며, 설명의 편의를 위하여 상측 지지 부재(40) 및 상측 아암 유닛(15a)은 도시를 생략하였다.Next, the shape of the case where the horizontal arm unit 15 of the transfer robot 10 which concerns on 1st Embodiment is a lowest position is demonstrated using FIG. 3 is a schematic front view of the transfer robot 10 according to the first embodiment, and the upper support member 40 and the upper arm unit 15a are not shown for convenience of description.

반송 로봇(10)은, 제 1 관절부(22), 제 2 관절부(24) 및 제 6 관절부(36)의 회전축을 구동축으로 하고, 제 3 관절부(26), 제 4 관절부(32) 및 제 5 관절부(34)의 회전축을 자유축으로 한다. The transfer robot 10 uses the rotation axis of the 1st joint part 22, the 2nd joint part 24, and the 6th joint part 36 as a drive shaft, and the 3rd joint part 26, the 4th joint part 32, and the 5th The rotation axis of the joint portion 34 is a free axis.

따라서, 도 3에 도시하는 바와 같이, 반송 로봇(10)은, 제 1 관절부(22)의 구동축을 구동시키는 것에 의해서 제 1 링크(23)의 자세를 변화시키고, 제 2 관절부(24)의 구동축을 구동시키는 것에 의해서 제 2 링크(25)의 자세를 변화시킨다. Therefore, as shown in FIG. 3, the conveyance robot 10 changes the attitude | position of the 1st link 23 by driving the drive shaft of the 1st joint part 22, and the drive shaft of the 2nd joint part 24. As shown in FIG. The attitude of the second link 25 is changed by driving the.

또한, 반송 로봇(10)은, 제 6 관절부(36)의 구동축을 구동시키는 것에 의해서 제 4 링크(35)의 자세를 변화시켜 수평 아암 유닛(15)을 최하 위치까지 하강시킬 수 있다. Moreover, the conveyance robot 10 can change the attitude | position of the 4th link 35 by driving the drive shaft of the 6th joint part 36, and can lower the horizontal arm unit 15 to the lowest position.

또한, 여기서, 반송 로봇(10)은, 수평 아암 유닛(15)에 마련하는 핸드부(46)의 하면이 기부(12)의 상면과 접촉하지 않는 정도까지 하강시킨다. 이것에 의해서, 반송 로봇(10)은, 2개의 각부 유닛(13, 14)에 간섭하는 일 없이 수평 아암 유닛(15)을 이동시킬 수 있다.In addition, here, the conveyance robot 10 lowers to the extent that the lower surface of the hand part 46 provided in the horizontal arm unit 15 does not contact the upper surface of the base 12. As a result, the transfer robot 10 can move the horizontal arm unit 15 without interfering with the two corner units 13 and 14.

또한, 서브 각부 유닛(14)은 수평 아암 유닛(15)의 중량을 지지하는데 기여하지 않기 때문에 주 각부 유닛(13)보다 가는 구성으로 했다. 따라서, 수평 아암 유닛(15)이 최하 위치에 있어도, 제 3 링크(33)나 제 4 링크(35)는, 수평 아암 유닛(15)에 간섭하지 않기 때문에, 수평 아암 유닛(15)의 동작에 지장을 초래하는 일이 없다. In addition, since the sub corner part unit 14 does not contribute to supporting the weight of the horizontal arm unit 15, it was set as the structure smaller than the main corner part unit 13. As shown in FIG. Therefore, even if the horizontal arm unit 15 is in the lowest position, since the third link 33 and the fourth link 35 do not interfere with the horizontal arm unit 15, the operation of the horizontal arm unit 15 is prevented. It does not cause trouble.

상술한 바와 같이, 제 1 실시형태에서는, 반송 로봇은 수평 아암 유닛을 지지하는 2개의 각부 유닛을 비대칭의 구성으로 했다. 구체적으로는, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇에서는, 주 각부 유닛에는 2개의 구동원을, 서브 각부 유닛에는 1개의 구동원을 마련한다. As described above, in the first embodiment, the transfer robot has an asymmetrical configuration of two corner units supporting the horizontal arm unit. Specifically, in the transfer robot according to the first embodiment, two drive sources are provided in the main corner unit and one drive source in the sub corner unit.

또한, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇에서는, 서브 각부 유닛을 주 각부 유닛보다 가늘게 하여, 케이블 등을 서브 각부 유닛에 내포하는 것으로 했다. 이것에 의해, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇은, 구조의 간략화를 도모하는 동시에 장치에 따르는 제조 가격 및 중량을 억제할 수 있다. In the transfer robot according to the first embodiment, the sub-angular unit is thinner than the main-angular unit, and a cable or the like is included in the sub-angular unit. As a result, the transfer robot according to the first embodiment can simplify the structure and can suppress the production cost and weight of the apparatus.

그런데, 상술한 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)에서는, 제 1 관절부(22), 제 2 관절부(24) 및 제 6 관절부(36)에 구동원을 마련하는 것으로 했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 그래서, 이하에 나타내는 제 2 실시형태에서는, 제 1 실시형태에 따른 반송 로봇(10)과는 다른 구성의 반송 로봇에 대하여 설명한다.By the way, in the transfer robot 10 which concerns on 1st Embodiment mentioned above, although the drive source was provided in the 1st joint part 22, the 2nd joint part 24, and the 6th joint part 36, it is limited to this. no. So, in 2nd Embodiment shown below, the conveyance robot of a structure different from the conveyance robot 10 which concerns on 1st Embodiment is demonstrated.

(제 2 실시형태)(Second Embodiment)

도 4a 및 도 4b는 제 2 실시형태에 따른 반송 로봇(10A)의 정면 모식도 1 및 2이다. 제 2 실시형태에 따른 반송 로봇(10A)은, 구동원을 마련하는 위치가 제 1 실시형태와는 다르다. 4A and 4B are front schematic views 1 and 2 of the transfer robot 10A according to the second embodiment. The position at which the driving robot 10A according to the second embodiment provides a driving source is different from that of the first embodiment.

또한, 반송 로봇(10A)의 구성에 대해서는, 구동원을 마련하는 위치가 다른 것 이외는 도 1 및 도 2와 동일하므로, 여기에서는, 구성의 설명에 대해서는 생략한다. In addition, about the structure of 10 A of conveyance robots, since it is the same as that of FIG. 1 and FIG. 2 except the position which provides a drive source, it abbreviate | omits about description of a structure here.

우선, 도 4a에 도시하는 바와 같이, 반송 로봇(10A)은, 제 1 관절부(22), 제 2 관절부(24) 및 제 5 관절부(34)의 축 단부에 각각 구동원을 마련하고, 이러한 3개의 관절부의 회전축을 구동축으로 한다. 한편, 제 3 관절부(26), 제 4 관절부(32) 및 제 6 관절부(36)의 회전축은, 자유축으로서 회전 가능하게 축지된다. First, as shown in FIG. 4A, the transfer robot 10A provides driving sources at the shaft ends of the first joint portion 22, the second joint portion 24, and the fifth joint portion 34, respectively. The rotation axis of the joint is a driving shaft. On the other hand, the rotation axis of the 3rd joint part 26, the 4th joint part 32, and the 6th joint part 36 is axially rotatable as a free axis.

또한, 도 4a에서는, 각 관절부 중, 구동축으로 하는 위치를 검은색 동그라미로 나타내고, 자유축으로 하는 위치를 흰색 동그라미로 나타내고 있다. 반송 로봇(10A)은, 이러한 3개의 구동축을 구동시키는 것에 의해서 수평 아암 유닛(15)의 Y좌표 및 Z좌표의 위치 및 자세 결정을 실행한다. In addition, in FIG. 4A, the position used as a drive shaft among each joint part is shown with the black circle | round | yen, and the position used as the free axis is shown by the white circle | round | yen. The transport robot 10A drives these three drive shafts to determine the position and attitude of the Y and Z coordinates of the horizontal arm unit 15.

제 5 관절부(34)의 구동축의 동력은, 이러한 구동축을 구동시키는 것에 의해서 제 4 관절부(32)와 제 6 관절부(36)를 연결하는 선에 대하여 수직 방향으로 작용한다. 그 결과, 제 5 관절부(34)의 구동축은, Z축의 정부 방향으로 힘을 발생시키게 된다. The power of the drive shaft of the fifth joint part 34 acts in the vertical direction with respect to the line connecting the fourth joint part 32 and the sixth joint part 36 by driving this drive shaft. As a result, the drive shaft of the fifth joint portion 34 generates a force in the direction of the Z axis.

그렇지만, 도 4b에 도시하는 바와 같이, 제 4 관절부(32) 및 제 6 관절부(36)의 높이가 동일한 경우, 이러한 2개의 관절부(32, 36)의 발생력의 방향(동 도면의 화살표)은 수평 방향(Y축의 정부 방향)이 된다. However, as shown in FIG. 4B, when the height of the 4th joint part 32 and the 6th joint part 36 is the same, the direction (the arrow of the same figure) of the generating force of these two joint parts 32 and 36 is horizontal. Direction (the direction of the Y axis).

이 때문에, 제 5 관절부(34)의 구동축은, Z축의 정부 방향으로 힘을 발생하지 못하며, 그 결과, 수평 아암 유닛(15)은 승강할 수 없다. For this reason, the drive shaft of the 5th articulation part 34 does not generate | occur | produce a force in the direction of the Z direction, and as a result, the horizontal arm unit 15 cannot raise or lower.

그래서, 반송 로봇(10A)은, 제 1 관절부(22) 및 제 2 관절부(24)의 구동축의 동력에 의해서 제 4 관절부(32) 및 제 6 관절부(36)의 높이가 동일하게 되지 않도록 제어한다. 이것에 의해, 반송 로봇(10A)은 수평 아암 유닛(15)을 매끄럽게 승강시킬 수 있다.Thus, the transport robot 10A controls the height of the fourth joint portion 32 and the sixth joint portion 36 to be the same by the power of the drive shafts of the first joint portion 22 and the second joint portion 24. . Thereby, the transfer robot 10A can raise and lower the horizontal arm unit 15 smoothly.

상술한 바와 같이, 제 2 실시형태에서는, 반송 로봇은 수평 아암 유닛을 지지하는 2개의 각부 유닛을 비대칭의 구성으로 했다. 구체적으로는, 제 2 실시형태에 따른 반송 로봇에서는, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 주 각부 유닛에는 2개의 구동원을, 서브 각부 유닛에는 1개의 구동원을 마련하는 것으로 했다. 이것에 의해, 제 2 실시형태에 따른 반송 로봇은, 구조의 간략화를 도모하는 동시에 장치에 이러한 제조 가격 및 중량을 억제할 수 있다. As described above, in the second embodiment, the transfer robot has an asymmetrical configuration of two corner units supporting the horizontal arm unit. Specifically, in the transfer robot according to the second embodiment, as in the first embodiment, two drive sources are provided in the main corner unit and one drive source in the sub corner unit. Thereby, the conveyance robot concerning 2nd Embodiment can simplify a structure, and can suppress such a manufacturing price and weight in an apparatus.

(제 3 실시형태)(Third Embodiment)

다음, 제 3 실시형태에 따른 반송 로봇(10B)에 대하여 도 5a 및 도 5b를 이용하여 설명한다. 도 5a 및 도 5b는 제 3 실시형태에 따른 반송 로봇(10B)의 정면 모식도 1 및 2이며, 도 5b에서는 설명의 편의를 위해 상측 지지 부재(40) 및 상측 아암 유닛(15a)의 도시를 생략하였다.Next, the transfer robot 10B which concerns on 3rd Embodiment is demonstrated using FIG. 5A and FIG. 5B. 5A and 5B are front schematic views 1 and 2 of the transfer robot 10B according to the third embodiment, and in FIG. 5B, illustrations of the upper support member 40 and the upper arm unit 15a are omitted for convenience of description. It was.

제 3 실시형태에 따른 반송 로봇(10B)은 구동원을 마련하는 위치가 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태와는 다르다. 또한, 반송 로봇(10B)의 구성에 대해서는, 구동원을 마련하는 위치가 다른 것 이외는 도 1 및 도 2와 동일하므로, 여기에서는, 구성의 설명에 대해서는 생략한다. In the transfer robot 10B which concerns on 3rd Embodiment, the position which provides a drive source differs from 1st Embodiment and 2nd Embodiment. In addition, about the structure of the carrier robot 10B, since it is the same as that of FIG. 1 and FIG. 2 except the position which provides a drive source, it abbreviate | omits about description of a structure here.

우선, 도 5a에 도시하는 바와 같이, 반송 로봇(10B)은 제 1 관절부(22), 제 2 관절부(24) 및 제 4 관절부(32)의 축단부에 각각 구동원을 마련하고, 이러한 3개의 관절부의 회전축을 구동축으로 한다. 한편, 제 3 관절부(26), 제 5 관절부(34) 및 제 6 관절부(36)의 회전축은, 자유축으로서 회전 가능하게 축지된다. First, as shown in FIG. 5A, the transfer robot 10B provides a driving source to the shaft end portions of the first joint portion 22, the second joint portion 24, and the fourth joint portion 32, respectively, and these three joint portions. The rotating shaft of is taken as the driving shaft. On the other hand, the rotation axis of the 3rd joint part 26, the 5th joint part 34, and the 6th joint part 36 is axially rotatable as a free axis.

또한, 도 5a에서는, 각 관절부 중, 구동축으로 하는 위치를 검은색 동그라미로 나타내고, 자유축으로 하는 위치를 흰색 동그라미로 나타내고 있다. 반송 로봇(10B)은 이러한 3개의 구동축을 구동시키는 것에 의해서 수평 아암 유닛(15)의 위치 결정을 실행한다. In addition, in FIG. 5A, the position used as a drive shaft among each joint part is shown with the black circle | round | yen, and the position used as the free axis is shown by the white circle | round | yen. The transfer robot 10B drives the horizontal arm unit 15 by driving these three drive shafts.

이어서, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 수평 아암 유닛(15)이 최하 위치에 있는 경우, 제 6 관절부(36)를 상승시키기 위해서는, 반송 로봇(10B)은 제 6 관절부(36)에 대하여 Y축의 정 방향 및 Y축의 부 방향으로 힘을 부여할 필요가 있다.Subsequently, as shown in FIG. 5B, when the horizontal arm unit 15 is at the lowest position, in order to raise the sixth articulation portion 36, the transfer robot 10B has the Y axis relative to the sixth articulation portion 36. It is necessary to apply force in the positive direction and the negative direction of the Y axis.

그 때, 수평 방향(Y축의 정부 방향)과 제 4 링크(35)의 각도를 θ1로 하면, 이러한 각도(θ1)가 클수록 제 6 관절부(36)에 대하여 Y축의 정 방향으로부터 부여하는 힘은 작아도 좋다. 그래서, 반송 로봇(10B)은 사선으로 나타내는 기대(11)와 제 4 링크(35)가 간섭하지 않는 정도까지 제 4 링크(35)를 하강시키는 것으로 했다. At that time, if the angle between the horizontal direction (the direction of the Y axis) and the fourth link 35 is θ 1 , the larger the angle θ 1 , the force exerted from the positive direction of the Y axis on the sixth joint portion 36. May be small. Therefore, the transfer robot 10B is supposed to lower the fourth link 35 to the extent that the base 11 and the fourth link 35 do not interfere with the diagonal lines.

이것에 의해서, 반송 로봇(10B)은 구동축의 부하를 최소한으로 억제하면서 매끄럽게 수평 아암 유닛(15)을 상승시킬 수 있다. Thereby, the transfer robot 10B can raise the horizontal arm unit 15 smoothly, suppressing the load of a drive shaft to the minimum.

상술한 바와 같이, 제 3 실시형태에서는, 반송 로봇은, 수평 아암 유닛을 지지하는 2개의 각부 유닛을 비대칭의 구성으로 했다. 구체적으로는, 제 3 실시형태에 따른 반송 로봇에서는, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태와 마찬가지로, 주 각부 유닛에는 2개의 구동원을, 서브 각부 유닛에는 1개의 구동원을 마련하는 것으로 했다. 이것에 의해, 제 3 실시형태에 따른 반송 로봇은, 구조의 간략화를 도모하는 동시에 장치에 따르는 제조 가격 및 중량을 억제할 수 있다. As described above, in the third embodiment, the transfer robot has an asymmetrical configuration of two corner units supporting the horizontal arm unit. Specifically, in the transfer robot according to the third embodiment, as in the first and second embodiments, two drive sources are provided in the main corner unit and one drive source in the sub corner unit. As a result, the transfer robot according to the third embodiment can simplify the structure and can suppress the production cost and weight of the apparatus.

(제 4 실시형태)(Fourth Embodiment)

다음, 제 4 실시형태에 따른 반송 로봇(10C)에 대하여 도 6a 및 도 6b를 이용하여 설명한다. 도 6a 및 도 6b는 제 4 실시형태에 따른 반송 로봇(10C)의 정면 모식도 1 및 2이다. Next, the transfer robot 10C according to the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 6A and 6B. 6A and 6B are front schematic views 1 and 2 of the transfer robot 10C according to the fourth embodiment.

제 4 실시형태에 따른 반송 로봇(10C)은, 주 각부 유닛(13)에만 구동원을 마련하는 점이, 제 1 실시형태, 제 2 실시형태 및 제 3 실시형태와는 다르다. 또한, 반송 로봇(10C)의 구성에 대해서는, 구동원을 마련하는 위치가 다른 것 이외는 도 1 및 도 2와 동일하므로, 여기에서는, 구성의 설명에 대해서는 생략한다. The transfer robot 10C which concerns on 4th Embodiment differs from 1st Embodiment, 2nd Embodiment, and 3rd Embodiment in that the drive source is provided only in the main corner part unit 13. In addition, about the structure of 10 C of conveyance robots, since it is the same as that of FIG. 1 and FIG. 2 except the position which provides a drive source, it abbreviate | omits about description of a structure here.

우선, 도 6a에 도시하는 바와 같이, 반송 로봇(10C)은, 주 각부 유닛(13)에 구비하는 관절부만, 즉, 제 1 관절부(22), 제 2 관절부(24) 및 제 3 관절부(26)의 축단부에 각각 구동원을 마련하고, 이러한 3개의 관절부의 회전축을 구동축으로 한다. 한편, 서브 각부 유닛(14)에 구비하는 제 4 관절부(32), 제 5 관절부(34) 및 제 6 관절부(36)의 회전축은, 자유축으로서 회전 가능하게 축지된다.First, as shown in FIG. 6A, the transport robot 10C has only a joint portion provided in the main leg portion 13, that is, the first joint portion 22, the second joint portion 24, and the third joint portion 26. The drive source is provided in the shaft end of each, and the rotation axis of these three joint parts is used as a drive shaft. On the other hand, the rotation axis of the 4th joint part 32, the 5th joint part 34, and the 6th joint part 36 with which the sub-corner unit 14 is equipped is rotatably rotatable as a free axis.

또한, 도 6a에서는, 각 관절부 중, 구동축으로 하는 위치를 검은색 동그라미로 나타내고, 자유축으로 하는 위치값을 흰색 동그라미로 나타내고 있다. 반송 로봇(10C)은, 이러한 3개의 구동축을 구동시키는 것에 의해서 수평 아암 유닛(15)의 위치 결정을 실행한다. In FIG. 6A, the position of the drive shaft in each joint portion is indicated by a black circle, and the position value of the free axis is indicated by a white circle. The transfer robot 10C drives the horizontal arm unit 15 by driving these three drive shafts.

여기서, 상술한 바와 같이 서브 각부 유닛(14)측의 3개의 관절부(32, 34, 36)의 회전축은 자유축이다. 이 때문에, 반송 로봇(10C)이 수평 아암 유닛(15)을 승강할 때, 도 6a에 도시하는 바와 같이, 제 5 관절부(34)가 서브 각부 유닛(14)의 외측(Y축의 정 방향)으로 굴곡할 우려가 있다.Here, as mentioned above, the rotation axis of the three joint parts 32, 34, 36 on the sub-corner unit 14 side is a free axis. For this reason, when the transfer robot 10C raises and lowers the horizontal arm unit 15, as shown in FIG. 6A, the fifth joint portion 34 moves toward the outer side (the positive direction of the Y axis) of the sub-corner unit 14. There is a risk of bending.

그래서, 도 6b에 도시하는 바와 같이, 제 3 링크(33)와 제 4 링크(35)의 외측(Y축의 정 방향)의 각도를 θ2로 하면, 반송 로봇(10C)은, θ2가 180°이상이 되지 않도록, 소정의 부재를 구비하는 것으로 했다(도시하지 않음). Therefore, as shown in FIG. 6B, when the angle of the outer side (the positive direction of the Y-axis) of the 3rd link 33 and the 4th link 35 is (theta) 2 , 10 2 of carrier robots have (theta) 2 180 degrees. It was assumed that a predetermined member was provided so as not to be above a degree (not shown).

예를 들어, 반송 로봇(10C)은, 제 3 링크(33)와 제 4 링크(35) 사이에 연장 방지용의 스프링을 구비하는 것으로 해도 좋다. 이것에 의해, 주 각부 유닛(13)에만 구동원을 마련하는 경우라도, 반송 로봇(10C)은, 수평 아암 유닛(15)을 승강시킬 때, 수평 아암 유닛(15)을 수평으로 유지할 수 있다. For example, the transport robot 10C may be provided with a spring for preventing extension between the third link 33 and the fourth link 35. Thereby, even when a drive source is provided only in the main leg part 13, the conveyance robot 10C can hold | maintain the horizontal arm unit 15 horizontally when lifting the horizontal arm unit 15 up and down.

상술한 바와 같이, 제 4 실시형태에서는, 반송 로봇은, 주 각부 유닛에만 구동원을 마련하고, 수평 아암 유닛을 지지하는 2개의 각부 유닛을 비대칭의 구성으로 했다. 이것에 의해, 제 4 실시형태에 따른 반송 로봇은, 구조의 간략화를 도모하는 동시에 장치에 따르는 제조 가격 및 중량을 억제할 수 있다. As mentioned above, in 4th Embodiment, the transfer robot provided the drive source only in the main corner part unit, and made the two corner part units which support a horizontal arm unit into the asymmetrical structure. As a result, the transfer robot according to the fourth embodiment can simplify the structure and can suppress the production cost and weight of the apparatus.

새로운 효과나 변형예는, 당업자에 의해서 용이하게 도출할 수 있다. 이 때문에, 본 발명보다 광범위한 태양은, 이상과 같이 나타내며 또한 기술한 특정의 상세 및 대표적인 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 따라서, 첨부의 특허 청구의 범위 및 그 균등물에 의해서 정의되는 총괄적인 발명의 개념의 정신 또는 범위로부터 일탈하는 일 없이, 여러 가지 변경이 가능하다. New effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. For this reason, the broader aspect than this invention is not limited to the specific detail and typical embodiment which were represented as above and described. Accordingly, various modifications may be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents.

10, 10A, 10B, 10C : 반송 로봇 11 : 기대
12 : 기부 12a : 선회부
12b, 12c : 연장부 13 : 주 각부 유닛
14 : 서브 각부 유닛 15 : 수평 아암 유닛
15a : 상측 아암 유닛 15b : 하측 아암 유닛
21 : 지주 22 : 제 1 관절부
23 : 제 1 링크 24 : 제 2 관절부
25 : 제 2 링크 26 : 제 3 관절부
31 : 지주 32 : 제 4 관절부
33 : 제 3 링크 34 : 제 5 관절부
35 : 제 4 링크 36 : 제 6 관절부
37 : 케이블 40 : 상측 지지 부재
41 : 기단측 관절부 42 : 기단측 아암
43 : 선단측 관절부 44 : 선단측 아암
45 : 아암 관절부 46 : 핸드부
47 : 아암부 50 : 하측 지지 부재
P1 : 선회축10, 10A, 10B, 10C: carrier robot 11: expectation
12: donation 12a: turning part
12b, 12c: Extension part 13: Main part unit
14: sub-angular unit 15: horizontal arm unit
15a: upper arm unit 15b: lower arm unit
21: prop 22: first joint
23: first link 24: second joint portion
25: second link 26: third joint portion
31: prop 32: fourth joint
33: third link 34: fifth joint portion
35: fourth link 36: sixth articulation
37 cable 40 upper support member
41: proximal joint 42: proximal arm
43: tip side joint 44: tip side arm
45: arm joint 46: hand
47: arm portion 50: lower support member
P1: pivot axis

Claims (10)

반송물을 보지하는 수평 아암 유닛과,
제 1 관절부의 회전축을 중심으로 기단측이 회전 가능하게 연결된 제 1 링크와, 상기 제 1 링크의 선단측에 마련되는 제 2 관절부의 회전축을 중심으로 기단측이 회전 가능하게 연결되는 한편, 선단측에는 제 3 관절부의 회전축을 거쳐서 상기 수평 아암 유닛이 회전 가능하게 지지되는 제 2 링크를 각각 갖는 한쌍의 각부 유닛을 구비하고,
상기 한 쌍의 각부 유닛이 상기 수평 아암 유닛의 위치 및 자세를 제어하는 것이 가능하도록 하기 위하여 복수의 관절부에 구동원이 마련되되, 상기 한 쌍의 각부 유닛의 제 1 및 제 2 관절부에 있어서 상기 제 1 및 제 2 관절부의 총 수보다도 적은 수의 제 1 및 제 2 관절부에 구동원이 마련되는 것을 특징으로 하는
반송 로봇. A horizontal arm unit for holding a conveyed object,
The first link is rotatably connected to the proximal end about the rotation axis of the first joint part, and the proximal end is rotatably connected about the rotation axis of the second joint part provided on the distal end side of the first link. A pair of corner units each having a second link on which the horizontal arm unit is rotatably supported via a rotation axis of a third joint portion,
In order to enable the pair of corner units to control the position and posture of the horizontal arm unit, a driving source is provided in the plurality of joints, and the first and second joints of the pair of corner units And a driving source provided to the first and second joints with a smaller number than the total number of the second joints.
Bounce robot. 제 1 항에 있어서,
주 각부 유닛과 서브 각부 유닛을 상기 한쌍의 각부 유닛으로서 구비하며, 상기 주 각부 유닛에 마련되는 상기 구동원의 수가, 상기 서브 각부 유닛에 마련되는 상기 구동원의 수보다 많은 것을 특징으로 하는
반송 로봇.The method of claim 1,
The main part unit and the sub part part unit are provided as the pair of part part units, and the number of the drive sources provided in the main part part unit is larger than the number of the drive sources provided in the sub part part units.
Bounce robot. 제 2 항에 있어서,
상기 주 각부 유닛은,
상기 제 1 관절부 및 상기 제 2 관절부에 상기 구동원이 마련되고,
상기 서브 각부 유닛은,
상기 제 3 관절부에 상기 구동원이 마련되는 것을 특징으로 하는
반송 로봇. The method of claim 2,
The main parts unit,
The driving source is provided to the first joint portion and the second joint portion,
The sub-unit unit,
The drive source is provided in the third joint portion, characterized in that
Bounce robot. 제 2 항에 있어서,
상기 수평 아암 유닛에 접속되는 케이블은 상기 서브 각부 유닛에 내포되는 것을 특징으로 하는
반송 로봇. The method of claim 2,
The cable connected to the horizontal arm unit is contained in the sub-angular unit.
Bounce robot. 제 2 항에 있어서,
상기 주 각부 유닛은 상기 서브 각부 유닛보다 굵게 형성되는 것을 특징으로 하는
반송 로봇. The method of claim 2,
The main part unit is formed thicker than the sub part unit
Bounce robot. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 서브 각부 유닛이 마련되는 측의 기부의 상면이, 상기 주 각부 유닛이 마련되는 측의 상기 기부의 상면보다 낮은 위치에 형성되는 것에 의해서 단차가 형성되고,
상기 수평 아암 유닛은,
상기 수평 아암 유닛에 있어서의 하측 아암의 일부가 상기 단차의 범위 내가 될 때까지 하강 가능한 것을 특징으로 하는
반송 로봇. 6. The method according to any one of claims 2 to 5,
The step is formed by forming the upper surface of the base on the side where the sub-corner unit is provided at a position lower than the upper surface of the base on the side where the main leg unit is provided,
The horizontal arm unit,
It is possible to descend until a part of the lower arm in the horizontal arm unit is within the range of the step.
Bounce robot. 제 2 항에 있어서,
상기 주 각부 유닛은,
상기 제 1 관절부 및 상기 제 2 관절부에 상기 구동원이 마련되고,
상기 서브 각부 유닛은,
상기 제 2 관절부에 상기 구동원이 마련되는 것을 특징으로 하는
반송 로봇. The method of claim 2,
The main parts unit,
The driving source is provided to the first joint portion and the second joint portion,
The sub-unit unit,
The driving source is provided in the second joint portion
Bounce robot. 제 2 항에 있어서,
상기 주 각부 유닛은,
상기 제 1 관절부 및 상기 제 2 관절부에 상기 구동원이 마련되고,
상기 서브 각부 유닛은,
상기 제 1 관절부에 상기 구동원이 마련되는 것을 특징으로 하는
반송 로봇. The method of claim 2,
The main parts unit,
The driving source is provided to the first joint portion and the second joint portion,
The sub-unit unit,
The driving source is provided in the first joint portion
Bounce robot. 제 2 항에 있어서,
상기 주 각부 유닛은,
상기 제 1 관절부, 상기 제 2 관절부 및 상기 제 3 관절부에 상기 구동원이 마련되는 것을 특징으로 하는
반송 로봇. The method of claim 2,
The main parts unit,
The driving source is provided in the first joint part, the second joint part and the third joint part.
Bounce robot. 반송물을 보지하는 수평 아암 유닛과,
제 1 관절부의 회전축을 중심으로 기단측이 회전 가능하게 연결된 제 1 링크와, 상기 제 1 링크의 선단측에 마련되는 제 2 관절부의 회전축을 중심으로 기단측이 회전 가능하게 연결되는 한편, 선단측에는 제 3 관절부의 회전축을 거쳐서 상기 수평 아암 유닛이 회전 가능하게 지지되는 제 2 링크를 각각 갖는 한쌍의 각부 유닛을 구비하고,
상기 한 쌍의 각부 유닛이 상기 수평 아암 유닛의 위치 및 자세를 제어하는 것이 가능하도록 하기 위하여 복수의 관절부에 구동원이 마련되되, 상기 한 쌍의 각부 유닛의 어느 한 쪽의 제 1 및 제 2 관절부에는 각각 구동원이 마련되고, 상기 한 쌍의 각부 유닛의 다른 쪽의 제 1 및 제 2 관절부에는 상기 한 쌍의 각부 유닛의 상기 어느 한 쪽에 있어서의 구동원이 마련된 관절부의 수보다 적은 수의 관절부에 구동원이 마련되는 것을 특징으로 하는
반송 로봇.A horizontal arm unit for holding a conveyed object,
The first link is rotatably connected to the proximal end about the rotation axis of the first joint part, and the proximal end is rotatably connected about the rotation axis of the second joint part provided on the distal end side of the first link. A pair of corner units each having a second link on which the horizontal arm unit is rotatably supported via a rotation axis of a third joint portion,
In order to enable the pair of corner units to control the position and posture of the horizontal arm unit, a driving source is provided in the plurality of joints, and the first and second joints on either side of the pair of corner units Each of the driving sources is provided, and the first and second joint portions of the pair of the respective unit units have a plurality of driving portions less than the number of joint portions provided with the driving sources of any one of the pair of the respective unit units. Characterized in that
Bounce robot.
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