KR20130039776A - Wire saw - Google Patents

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KR20130039776A
KR20130039776A KR1020137007780A KR20137007780A KR20130039776A KR 20130039776 A KR20130039776 A KR 20130039776A KR 1020137007780 A KR1020137007780 A KR 1020137007780A KR 20137007780 A KR20137007780 A KR 20137007780A KR 20130039776 A KR20130039776 A KR 20130039776A
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타카오 히메노
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코마츠 엔티씨 가부시끼가이샤
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    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting

Abstract

워크 가공용의 와이어(11)가 가설(架設) 상태에서 주회되는 복수의 가공용 롤러(14A, 14B)와, 한 쌍의 보빈(12A, 12B)의 축선에 평행한 방향을 따라 각각 왕복운동되며 와이어(11)의 권취 및 인출을 안내하는 한 쌍의 트래버서(16A, 16B)를 구비한다. 가공용 롤러(14A, 14B) 및 보빈(12A, 12B)의 왕복 회전에 수반되어 와이어(11)가 왕복 주행되고, 가공용 롤러(14A, 14B) 사이의 위치에서 와이어(11)에 의해 워크(W)에 절단 가공이 실시된다. 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 보빈(12A, 12B)의 축선에 대한 보빈(12A, 12B)과 트래버서(16A, 16B)와의 사이에서의 와이어(11)의 각도가 검출된다. 그 검출 결과에 따라서 와이어(11)의 각도가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)가 이동 조정되며, 트래버서(16A, 16B)의 위치 보정이 이루어진다.The wire 11 for work processing is reciprocated along the direction parallel to the axis line of the some processing roller 14A, 14B and the pair of bobbins 12A, 12B which are circulated in a temporary state, and the wire ( A pair of traversers 16A and 16B for guiding winding and unloading of 11) are provided. The wire 11 reciprocates with the reciprocating rotation of the processing rollers 14A and 14B and the bobbins 12A and 12B, and the workpiece | work W by the wire 11 in the position between the processing rollers 14A and 14B. Cutting processing is performed. When the running direction of the wire 11 is reversed, the angle of the wire 11 between the bobbins 12A, 12B and the traversers 16A, 16B with respect to the axes of the bobbins 12A, 12B is detected. According to the detection result, the traverser 16A, 16B is moved and adjusted so that the angle of the wire 11 is set to 90 degrees, and the position correction of the traverser 16A, 16B is performed.

Figure P1020137007780
Figure P1020137007780

Description

와이어 소{WIRE SAW}WIRE SAW {WIRE SAW}

본 발명은, 예를 들면 반도체 재료, 자성 재료, 세라믹 등의 재료로 이루어지는 워크(workpiece)를 와이어에 의해 절단 가공하는 와이어 소에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the wire saw which cut | disconnects the workpiece | work which consists of materials, such as a semiconductor material, a magnetic material, a ceramic, with a wire, for example.

종래, 이런 종류의 와이어 소로는, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시되는 구성이 제안되고 있다. 이와 같은 종래 구성에서는, 워크 가공용의 와이어가 권취(winding)되는 한 쌍의 보빈과, 양쪽보빈 사이에서 와이어가 가설 상태에서 주회(周回)되는 복수의 가공용 롤러가 구비되어 있다. 각 보빈에는 보빈의 축선방향을 따라 왕복운동되고, 와이어의 권취(winding) 및 인출(unwinding)을 안내하기 위한 트래버스 장치가 대향 배치되어 있다. 그리고, 와이어가 소정 사이클로 왕복 주행되는 동안에, 가공용 롤러 사이에서 와이어상에 연마입자(砥粒)를 포함하는 슬러리가 공급된다. 이 상태에서 와이어에 대하여 워크가 가압되고, 워크에 절단 가공이 실시된다.Conventionally, the structure disclosed by patent document 1 is proposed as this kind of wire saw, for example. In such a conventional configuration, a pair of bobbins in which a wire for work processing is wound is wound, and a plurality of rollers for processing in which wires are circulated in a temporary state between both bobbins are provided. Each bobbin reciprocates along the axial direction of the bobbin, and is arranged with opposite traverse devices for guiding the winding and unwinding of the wire. Then, while the wire is reciprocated in a predetermined cycle, a slurry containing abrasive grains is supplied on the wire between the processing rollers. In this state, the workpiece is pressed against the wire, and the workpiece is cut.

1. 일본공개특허 평 9-70745호 공보1. Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-70745

그러나, 와이어 소에서는 보빈의 회전축선에 대한 보빈과 트래버서와의 사이에서의 와이어의 각도가 90°가 되도록 제어되는 것이 바람직하다. 와이어의 각도가 90°이외의 각도가 된 경우, 보빈에 대해서 와이어가 적정하게 감기지 않게 되어 감긴 와이어에 권취 불량이 발생된다는 문제가 있다. 또는 보빈으로부터 인출되는 와이어에 과도한 장력이 작용하여 와이어가 단선될 우려가 있다.However, in the wire saw, it is preferable that the angle of the wire between the bobbin and the traverser with respect to the rotation axis of the bobbin is controlled to be 90 degrees. When the angle of the wire becomes an angle other than 90 °, there is a problem that the winding is not wound properly on the bobbin, so that a winding failure occurs in the wound wire. Alternatively, excessive tension may be applied to the wire drawn out from the bobbin and the wire may be broken.

또한 와이어의 주행 방향의 반전시에, 권취측으로부터 인출측으로 전환되는 보빈의 트래버서에 위치 어긋남이 발생된 경우에는, 와이어의 반전 주행의 개시시에 보빈으로부터 와이어가 적정하게 인출되도록 안내되지 못하게 되어 인출된 와이어의 장력에 불균일이 발생된다는 문제가 있다. 특히, 와이어의 주행 방향의 반전시에, 인출측으로부터 권취측으로 전환되는 보빈의 트래버서에 위치 어긋남이 발생되기 쉬워, 와이어의 권취 불량의 문제가 현저하게 나타나고 있다.In addition, when a position shift occurs in the traverser of the bobbin switched from the winding side to the takeout side when the running direction of the wire is reversed, the wire cannot be guided out of the bobbin properly at the start of the reverse run of the wire. There is a problem that unevenness occurs in the tension of the drawn wire. In particular, at the time of reversal of the running direction of the wire, positional deviation is likely to occur in the traverser of the bobbin switched from the takeout side to the take-up side, and the problem of the winding failure of the wire is remarkable.

상기 특허 문헌 1의 장치에서는, 와이어를 사이에 두는 위치에 한 쌍의 터치 롤러가 설치되고, 와이어가 터치 롤러에 접촉하면, 트래버서의 트래버스 속도가 와이어 위치에 맞추어 수정된다. 그러나 이러한 구성에서는, 와이어와 터치 롤러가 단시간에 다수회 접촉하여 채터링을 일으켜 그 상태가 수속(收束)되지 않을 우려가 있다. 이러한 상태가 되면, 트래버서가 조금씩 이동하기 때문에, 트래버스 속도의 수정이 어렵고 따라서 권취 불량 등의 해소에 지장이 된다.In the apparatus of the said patent document 1, a pair of touch roller is provided in the position which interposes a wire, and when a wire contacts a touch roller, the traverse speed of a traverser is corrected according to a wire position. However, in such a configuration, there is a concern that the wire and the touch roller may contact a plurality of times in a short time, cause chattering, and the state may not converge. In such a state, since the traverser moves little by little, it is difficult to correct the traverse speed, and thus, it is difficult to solve such as winding failure.

본 발명은, 이러한 종래의 기술에 존재하는 문제점에 착안하여 이루어진 것이다. 그 목적은, 와이어의 주행 방향의 반전시에, 트래버서에 위치 어긋남이 발생되는 것을 억제할 수 있고, 이후의 와이어의 주행 개시시에, 와이어에 권취 불량이나 장력의 불균일이 발생될 우려를 방지할 수 있는 와이어 소를 제공하는 것에 있다.The present invention has been made in view of the problems existing in the related art. The purpose is to prevent the position shift from occurring in the traverser at the time of reversal of the running direction of the wire, and to prevent the possibility of the winding failure or the tension unevenness occurring in the wire at the start of the subsequent running of the wire. It is to provide the wire saw which can be done.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 워크 가공용의 와이어가 가설 상태에서 주회(周回)되는 복수의 가공용 롤러와, 상기 와이어의 권취 및 인출을 실시하기 위하여 축선의 둘레로 각각 왕복 회전 가능한 한 쌍의 보빈과, 각 보빈의 축선에 평행한 방향을 따라 왕복운동 되며, 이 왕복운동에 수반되어 각 보빈에 의한 와이어의 권취 및 인출을 각각 안내하는 트래버서, 를 구비하고, 상기 가공용 롤러 및 상기 보빈의 왕복 회전에 의해 와이어가 왕복 주행되어 가공용 롤러간의 위치에서 와이어에 의해 워크에 절단 가공을 실시하도록 한 와이어 소에 있어서, 와이어의 주행 방향의 반전시에 각 보빈의 축선에 대한 각 보빈과 각 트래버서와의 사이에서의 와이어의 각도를 검출하는 검출 수단과, 그 검출 수단에 의해 검출된 와이어의 각도가 90°이외일 때에는, 그 와이어의 각도가 90°로 설정되도록 적어도 어느 한쪽의 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키는 제어 수단, 을 설치하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of processing rollers in which a wire for work processing is circumscribed in a temporary state, and a pair capable of reciprocating rotation around an axis for winding and drawing out the wire, respectively. And a traverser which reciprocates along a direction parallel to the axis of each bobbin and guides the winding and unwinding of the wire by each bobbin accompanying the reciprocating motion, wherein the processing roller and the bobbin In a wire saw in which a wire is reciprocated by a reciprocating rotation and the cutting work is performed on the workpiece by the wire at a position between the processing rollers, each bobbin with respect to the axis of each bobbin and each traver at the time of inversion of the traveling direction of the wire. The detection means for detecting the angle of the wire between the West and the angle of the wire detected by the detection means are other than 90 degrees. At this time, it is characterized by providing control means for moving the traverser corresponding to at least one bobbin so that the angle of the wire is set to 90 degrees.

따라서, 본 발명의 와이어 소에서는, 가공용 롤러 및 보빈의 소정 사이클의 왕복 회전에 수반되어 와이어의 주행 방향이 반전될 때, 검출 수단에 의해 보빈의 회전축선에 대한 보빈과 트래버서의 사이에서의 와이어의 각도가 검출된다. 그리고, 검출된 와이어의 각도가 90°이외일 때, 즉 90°보다 클 때 또는 작을 때에는, 제어 수단에 의해 와이어의 각도가 90°로 설정되도록 트래버서가 이동 조정되어 트래버서의 위치가 보정된다. 이로 인해, 와이어의 주행 방향의 반전시에 트래버서에 위치 어긋남이 발생되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이후의 와이어의 주행 개시시에, 권취측 보빈에 감기는 와이어에 권취 불량이 발생하거나 인출측 보빈으로부터 인출되는 와이어에 장력의 불균일이 발생되는 우려를 방지할 수 있다.Therefore, in the wire saw of this invention, when the running direction of a wire is reversed with the reciprocation rotation of a predetermined cycle of a processing roller and a bobbin, the wire between a bobbin and a traverser with respect to the rotation axis of a bobbin by a detection means. The angle of is detected. And when the angle of the detected wire is other than 90 degrees, that is, when it is larger or smaller than 90 degrees, the traverser is moved and adjusted so that the angle of the wire is set by the control means to 90 degrees and the position of the traverser is corrected. For this reason, position shift | offset | difference generate | occur | produces in a traverser at the time of reversing the running direction of a wire can be suppressed. Therefore, it is possible to prevent the possibility that a winding failure occurs in the wire wound on the winding-side bobbin or a nonuniformity of tension occurs in the wire drawn out from the take-out bobbin at the start of the subsequent running of the wire.

상기 제어 수단은, 와이어의 주행 정지시에 상기 트래버서를 이동시키도록 할 수 있다.The control means may cause the traverser to move when the wire stops running.

상기 제어 수단은, 한 쌍의 보빈 중, 와이어의 인출을 종료한 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키도록 할 수 있다.The control means may move the traverser corresponding to the bobbin which has finished pulling out the wire among the pair of bobbins.

상기 제어 수단은, 와이어의 인출을 종료한 보빈 및 권취를 종료한 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키도록 할 수 있다.The said control means can make it move the bobbin which completed drawing out of the wire, and the traverser corresponding to the bobbin which finished winding.

상기 가공용 롤러와 트래버서와의 사이에서 와이어의 장력을 조절하는 댄서롤러를 설치하고, 상기 검출 수단은, 댄서롤러 및 트래버서에 각각 설치되며, 댄서롤러 및 트래버서에 작용하는 와이어의 장력 하중을 검출하는 복수의 센서와, 이들 센서로부터의 검출 신호에 근거하여 와이어의 각도를 판별하는 판별 수단으로 구성될 수 있다.A dancer roller for adjusting the tension of the wire is provided between the processing roller and the traverser, and the detection means is provided in the dancer roller and the traverser, respectively, and detects the tension load of the wire acting on the dancer roller and the traverser. And a discriminating means for discriminating the angle of the wire on the basis of the plurality of sensors and the detection signals from these sensors.

상기 센서로부터의 검출 신호에 의해 나타나는 장력 하중이 미리 설정된 소정치와 동일할 경우, 상기 판별 수단은 상기 와이어의 각도가 90°라고 판별하도록 할 수 있다.When the tension load represented by the detection signal from the sensor is equal to a predetermined value, the discriminating means may determine that the angle of the wire is 90 degrees.

도 1은, 일 실시형태의 와이어 소를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2는, 도 1의 와이어 소의 회로 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 3은, 동일한 와이어 소에 있어서의 와이어 관련 동작을 나타내는 순서도이다.
도 4는, 도 3의 순서도에서의 와이어의 각도 검출 동작의 상세를 나타내는 순서도이다.
도 5(a) 및 (b)는, 트래버서의 위치 조정 동작을 나타내는 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram which shows the wire saw of one Embodiment.
FIG. 2 is a block diagram showing the circuit configuration of the wire saw of FIG. 1.
3 is a flowchart showing wire related operations in the same wire saw.
4 is a flowchart showing the details of the angle detection operation of the wire in the flowchart of FIG. 3.
5 (a) and 5 (b) are configuration diagrams illustrating the position adjusting operation of the traverser.

이하에, 본 발명을 구체화한 와이어 소의 일 실시형태를 도면에 따라 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, one Embodiment of the wire saw which embodies this invention is described according to drawing.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 와이어 소에서는, 워크 가공용의 와이어(11)가 권취되는 한 쌍의 보빈(12A, 12B)이 프레임(미도시)에 상호 간격을 두고 축선 둘레로 각각 회전 가능하게 지지되고 있다. 각 보빈(12A, 12B)에는, 정역회전(正逆回轉) 가능한 보빈 회전용 모터(13A, 13B)가 연결되어 있다. 그리고, 이들 보빈 회전용 모터(13A, 13B)에 의해 각 보빈(12A, 12B)이 소정의 시간 간격으로 왕복 회전되고, 어느 한쪽의 보빈(12A, 12B)에 와이어(11)가 권취되는 동시에, 다른 쪽 보빈(12B, 12A)으로부터 와이어(11)가 인출된다.As shown in FIG. 1, in the wire saw of this embodiment, the pair of bobbins 12A and 12B in which the wire 11 for work processing is wound are rotated about an axis with mutual space | interval on a frame (not shown), respectively. It is possibly supported. Each bobbin 12A, 12B is connected to the bobbin rotation motor 13A, 13B which can be rotated forward and backward. And each bobbin 12A, 12B is reciprocally rotated at predetermined time intervals by these bobbin-rotating motors 13A, 13B, the wire 11 is wound up by either bobbin 12A, 12B, The wire 11 is pulled out from the other bobbins 12B and 12A.

상기 양쪽 보빈(12A, 12B) 사이의 위치에서 와이어 소의 프레임에는, 복수(실시형태에서는 한 쌍)의 가공용 롤러(14A, 14B)가 간격을 두고 회전 가능하게 지지되고 있다. 양쪽 가공용 롤러(14A, 14B)의 외주면에는 복수의 환상(環狀) 홈이 소정의 피치로 형성되고, 그 가공용 롤러(14A, 14B)의 환상 홈간에 상기 와이어(11)가 가설(架設) 상태로 주회(周回)되고 있다. 그리고, 이 와이어(11)의 가설 상태에서, 양쪽 가공용 롤러(14A, 14B)가 가공용 롤러 회전용 모터(미도시)에 의해, 상기 보빈(12A, 12B)과 동일한 시간 간격으로 왕복 회전되고, 가공용 롤러(14A, 14B) 사이에서 와이어(11)가 그 주회 방향을 따라 왕복 주행된다.The plurality of processing rollers 14A and 14B are rotatably supported at intervals in the wire saw frame at positions between the above-mentioned bobbins 12A and 12B at intervals. A plurality of annular grooves are formed at a predetermined pitch on the outer circumferential surfaces of both of the rollers 14A and 14B for processing, and the wire 11 is temporarily placed between the annular grooves of the rollers 14A and 14B for processing. It is meeting by 周 回. In the temporary state of the wire 11, both of the processing rollers 14A and 14B are reciprocally rotated at the same time interval as the bobbins 12A and 12B by a processing roller rotating motor (not shown), The wire 11 reciprocates along the circumferential direction between the rollers 14A and 14B.

상기 양쪽 가공용 롤러(14A, 14B) 사이의 와이어(11)의 상방에는 새들(미도시)이 승강 가능하게 배치되고, 그 새들의 하면(下面)에는 워크(W)가 지지판(15)에 점착된 상태로 착탈 가능하게 장착된다. 그리고, 상기와 같이 가공용 롤러(14A, 14B)간에 와이어(11)가 주회 방향을 따라 주행되면서, 그 와이어(11)상에 연마입자를 포함한 슬러리가 공급된다. 이 상태에서, 새들의 하강에 의해 워크(W)가 와이어(11)로 가압되고, 그 워크(W)에 절단 가공이 실시된다. 와이어(11)로서 다이아몬드 등의 연마입자를 유지한 것을 사용한 경우에는, 슬러리의 공급은 불필요하다.Saddles (not shown) are provided on the upper side of the wire 11 between the two rollers 14A and 14B so as to be lifted and lowered, and the work W is adhered to the support plate 15 on the bottom surface of the saddle. It is attached to be removable in state. Then, as the wire 11 runs along the circumferential direction between the processing rollers 14A and 14B as described above, a slurry containing abrasive particles is supplied onto the wire 11. In this state, the workpiece | work W is pressed by the wire 11 by the fall of a saddle, and the workpiece | work W is cut. When the wire 11 is used to hold abrasive particles such as diamond, supply of slurry is unnecessary.

상기 각 보빈(12A, 12B)의 근방 위치에는, 각 트래버서(16A, 16B)가 각 보빈(12A, 12B)의 축선에 평행한 방향을 따라 왕복운동 가능하게 배치된다. 각 트래버서(16A, 16B)에는, 보빈(12A, 12B)에 대한 와이어(11)의 권취 및 인출을 안내하기 위한 트래버스 롤러(17A, 17B)가 회전 가능하게 지지되고 있다. 그리고, 상기 와이어(11)의 주행시에는, 도 2에 나타내는 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 의해, 볼 나사(미도시) 등을 통하여 트래버서(16A, 16B)가 왕복운동되며 트래버스 롤러(17A, 17B)에 의해 보빈(12A, 12B)에 대한 와이어(11)의 권취 및 인출이 안내된다.In the vicinity of each said bobbin 12A, 12B, each traverser 16A, 16B is arrange | positioned so that reciprocation is possible along the direction parallel to the axis line of each bobbin 12A, 12B. Each traverser 16A, 16B is rotatably supported by traverse rollers 17A, 17B for guiding winding and withdrawing wire 11 with respect to bobbins 12A, 12B. When the wire 11 is traveling, the traverser 16A, 16B is reciprocated by a ball screw (not shown) by the traverser movement motors 18A, 18B shown in FIG. 2 and the traverse roller ( The winding and withdrawal of the wire 11 to the bobbins 12A and 12B is guided by 17A and 17B.

상기 각 가공용 롤러(14A, 14B)와 각 트래버서(16A, 16B)와의 사이에서 프레임에는, 각 댄서암(19A, 19B)이 요동 가능하게 지지되고 있다. 각 댄서암(19A, 19B)의 선단부에는, 와이어(11)의 장력을 조절하기 위한 댄서롤러(20A, 20B)가 회전 가능하게 지지되고 있다. 각 댄서암(19A, 19B)의 기단부에는 댄서암(19A, 19B)을 회동시켜 와이어(11)의 장력을 변경하기 위한 서보모터 등으로 이루어진 댄서암 회동용 모터(21A, 21B)가 연결되어 있다. 각 댄서롤러(20A, 20B)와 양쪽 가공용 롤러(14A, 14B)와의 사이에서 가공용 롤러(14A, 14B)의 근방 위치에는, 와이어(11)를 가이드하기 위한 가이드 롤러(22A, 22B)가 회전 가능하게 배치되어 있다.Each dancer arm 19A, 19B is rotatably supported by the frame between the said processing roller 14A, 14B and each traverser 16A, 16B. The dancer rollers 20A, 20B for adjusting the tension of the wire 11 are rotatably supported at the tip ends of the dancer arms 19A, 19B. To the proximal end of each of the dancer arms 19A and 19B, dancer arm rotation motors 21A and 21B made of a servo motor and the like for rotating the dancer arms 19A and 19B to change the tension of the wire 11 are connected. . Guide rollers 22A and 22B for guiding the wire 11 are rotatable in the vicinity of the processing rollers 14A and 14B between the dancer rollers 20A and 20B and the rollers 14A and 14B for both processing. Is arranged.

상기 각 트래버스 롤러(17A, 17B)에는, 그 트래버스 롤러(17A, 17B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중을 검출하기 위한 제 1 센서(23A, 23B)가 설치되어 있다. 각 댄서롤러(20A, 20B)에는, 그 댄서롤러(20A, 20B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중을 검출하기 위한 제 2 센서(24A, 24B)가 설치되어 있다. 그리고, 와이어(11)의 주행 중 및 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 제1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터 와이어(11)의 장력 하중을 나타내는 검출 신호가 출력된다.Each said traverse roller 17A, 17B is provided with the 1st sensor 23A, 23B for detecting the tension load of the wire 11 which acts on the traverse roller 17A, 17B. Each dancer roller 20A, 20B is provided with 2nd sensor 24A, 24B for detecting the tension load of the wire 11 which acts on the dancer roller 20A, 20B. And the detection which shows the tension load of the wire 11 from the 1st sensor 23A, 23B and the 2nd sensor 24A, 24B while the wire 11 is running and the reversal of the travel direction of the wire 11 is carried out. The signal is output.

다음으로, 상기와 같이 구성된 와이어 소의 회로 구성에 대하여 설명한다.Next, the circuit structure of the wire saw comprised as mentioned above is demonstrated.

도 2에 나타낸 바와 같이, 제어장치(31)는 와이어 소 전체의 동작을 제어하기 위한 제어 수단을 구성하고 있다. 제어장치(31)에는, 상기 제 1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터의 검출 신호가 입력된다. 제어장치(31)로부터는 상기 보빈 회전용 모터(13A, 13B), 트래버서 이동용 모터(18A, 18B) 및 댄서암 회동용 모터(21A, 21B)에 작동 또는 정지 신호가 출력된다.As shown in FIG. 2, the control apparatus 31 comprises the control means for controlling the operation | movement of the whole wire saw. The detection signal from the said 1st sensor 23A, 23B and the 2nd sensor 24A, 24B is input into the control apparatus 31. As shown in FIG. From the control apparatus 31, an operation or stop signal is output to the said bobbin rotation motors 13A and 13B, the traverser movement motors 18A and 18B, and the dancer arm rotation motors 21A and 21B.

그리고, 상기 제어장치(31)는, 와이어(11)의 주행 중에 제1 센서(23A, 23B)로부터 트래버스 롤러(17A, 17B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중에 관한 검출 신호를 입력했을 때, 그 검출 신호에 근거하여 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 작동 신호를 출력하여 트래버서(16A, 16B)의 이동 속도를 조정한다. 또한 제어장치(31)는, 와이어(11)의 주행 중에 제2 센서(24A, 24B)로부터 댄서롤러(20A, 20B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중에 관한 검출 신호를 입력했을 때, 그 검출 신호에 근거하여 댄서암 회동용 모터(21A, 21B)에 작동 신호를 출력하고, 댄서암(19A, 19B)를 회동시켜서 와이어(11)의 장력을 조절한다.And the said control apparatus 31 inputs the detection signal regarding the tension load of the wire 11 which acts on the traverse roller 17A, 17B from the 1st sensor 23A, 23B while the wire 11 is running. At this time, an operation signal is output to the traverser moving motors 18A and 18B based on the detection signal to adjust the moving speeds of the traversers 16A and 16B. Moreover, when the control apparatus 31 inputs the detection signal regarding the tension load of the wire 11 which acts on the dancer roller 20A, 20B from the 2nd sensor 24A, 24B while the wire 11 is running, Based on the detection signal, an operation signal is output to the dancer arm rotation motors 21A and 21B, and the dancer arms 19A and 19B are rotated to adjust the tension of the wire 11.

상기 제어장치(31)에는, 판별 수단으로서의 판별부(32)가 설치되어 있다. 그리고 이 판별부(32)는, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 와이어의 주행이 정지된 시점에서, 제1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터 와이어(11)의 장력 하중에 관한 검출 신호를 입력한다. 그리고, 이들 검출 신호에 근거하여, 도 5(a) 및 (b)에 나타낸 바와 같이, 보빈(12A, 12B)의 회전축선에 대한 보빈(12A, 12B)과 트래버스 롤러(17A, 17B)와의 사이에서의 와이어(11)의 각도(α)를 판별한다. 즉, 제1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터의 와이어(11)의 장력 하중의 값이 미리 설정된 소정치와 동일한 경우에, 상기 각도(α)는 90°라고 판별된다. 또한 그 소정치에 대하여 트래버스 롤러(17A, 17B)의 제1 센서(23A, 23B)의 값이 낮은 경우에 상기 각도(α)는 예각이라고 판별되고, 소정치에 대하여 댄서롤러(20A, 20B)의 제2 센서(24A, 24B)의 값이 낮은 경우에 상기 각도(α)는 둔각이라고 판별된다. 이 실시형태에서는 상기 제 1 센서(23A, 23B), 제2 센서(24A, 24B) 및 판별부(32)에 의해, 보빈(12A, 12B)의 회전축선과 와이어(11)가 이루는 각도(α)를 검출하기 위한 검출 수단이 구성되어 있다.The control unit 31 is provided with a discriminating unit 32 as discriminating means. And this determination part 32 is made from the 1st sensor 23A, 23B and the 2nd sensor 24A, 24B at the time when the travel of the wire was stopped at the time of the inversion of the travel direction of the wire 11, The wire ( Input the detection signal for the tension load of 11). And based on these detection signals, as shown to FIG.5 (a) and (b), between bobbin 12A, 12B with respect to the rotation axis of bobbin 12A, 12B, and traverse roller 17A, 17B. The angle α of the wire 11 at is determined. That is, when the value of the tension load of the wire 11 from the 1st sensor 23A, 23B and the 2nd sensor 24A, 24B is equal to the predetermined value preset, it is discriminated that the said angle (alpha) is 90 degrees. do. Further, when the values of the first sensors 23A and 23B of the traverse rollers 17A and 17B are low with respect to the predetermined value, the angle α is determined to be an acute angle, and the dancer rollers 20A and 20B with respect to the predetermined value. When the values of the second sensors 24A and 24B are low, the angle α is determined to be an obtuse angle. In this embodiment, the angle α between the rotation axis of the bobbins 12A, 12B and the wire 11 is formed by the first sensors 23A, 23B, the second sensors 24A, 24B, and the discriminating unit 32. The detection means for detecting is comprised.

그리고, 상기 제어장치(31)는, 검출된 와이어(11)의 각도(α)가 90°이외일 때, 즉 도 5(a)에 나타낸 바와 같이 90°보다 작은 예각일 때 또는 도 5(b)에 쇄선으로 나타낸 바와 같이 90°보다 큰 둔각일 때에는, 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 작동 신호를 출력한다. 이러한 출력에 의해, 와이어(11)의 주행 정지중에 도 5(a) 및 (b)에 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 와이어(11)의 각도(α)가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)를 이동 조정하여, 트래버서(16A, 16B)의 위치 보정을 실행한다. 이 경우, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 인출측으로부터 권취측으로 전환되는 인출을 종료한 보빈(12A, 12B)의 트래버서(16A, 16B)에 대해서는 위치 어긋남이 발생되기 쉬우므로, 이 실시형태에서는, 그 인출을 종료한 보빈(12A, 12B)의 트래버서(16A, 16B)를 주로 이동 제어하도록 되어 있다.Then, the control device 31, when the detected angle (α) of the wire 11 is other than 90 °, that is, when the acute angle smaller than 90 ° or 5 (b) as shown in Fig. 5 (a) When the obtuse angle is larger than 90 ° as indicated by the dashed line in Fig. 2), an operation signal is output to the traverser moving motors 18A and 18B. By this output, the traversers 16A and 16B such that the angle α of the wire 11 is set to 90 °, as indicated by the broken lines in FIGS. 5A and 5B while the wire 11 is stopped running. ) Is moved to adjust the position of the traverser 16A, 16B. In this case, since the shift | offset | difference with respect to the traversers 16A and 16B of the bobbins 12A and 12B which switched out from the take-out side to the winding-up side at the time of reversing the running direction of the wire 11 tends to occur, In this embodiment, the traversers 16A and 16B of the bobbins 12A and 12B which have finished the drawing are mainly controlled for movement.

다음으로, 상기와 같이 구성된 와이어 소에서, 주로 와이어의 주행 제어의 작용을 도 3 및 도 4의 순서도에 따라 설명한다.Next, in the wire saw comprised as mentioned above, the effect | action of the travel control of a wire is demonstrated mainly according to the flowchart of FIG. 3 and FIG.

상기 와이어 소의 운전시에는, 상기 제어장치(31)의 제어에 의해 도 3에 나타낸 순서도의 각 스텝(이하, 간단히 S라고 한다)에 따르는 동작이 실행된다. 즉, 와이어 소의 운전시에는, 가공용 롤러(14A, 14B)가 회전되는 동시에, S1에서 보빈 회전용 모터(13A, 13B)의 구동에 의해 보빈(12A, 12B)이 회전된다. 그리고, S2에서는 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)의 구동에 의해 트래버서(16A, 16B)가 보빈(12A, 12B)의 축선을 따라 왕복운동되며 트래버스 동작이 개시된다. 이들 동작에 의해 와이어(11)가 한쪽의 보빈(12A, 12B)으로부터 인출되어 가공용 롤러(14A, 14B) 사이에서 주회 방향을 따라 주행된 후, 다른 쪽의 보빈(12B, 12A)에 권취된다. 그리고, 가공용 롤러(14A, 14B) 사이에서 주행중인 와이어(11)에 대하여 워크(W)가 가압됨으로써, 워크(W)에 절단 가공이 실시된다.At the time of operation of the said wire saw, the operation according to each step (henceforth S) of the flowchart shown in FIG. 3 by the control of the said control apparatus 31 is performed. That is, at the time of the operation of the wire saw, the processing rollers 14A and 14B are rotated, and the bobbins 12A and 12B are rotated by driving the bobbin rotation motors 13A and 13B at S1. In S2, the traverser 16A, 16B reciprocates along the axes of the bobbins 12A, 12B by the drive of the traverser movement motors 18A, 18B, and the traverse operation is started. By these operations, the wire 11 is pulled out from one bobbin 12A, 12B and travels along the circumferential direction between the processing rollers 14A, 14B, and then wound up on the other bobbin 12B, 12A. And the workpiece | work W is pressed against the wire 11 which is traveling between the rollers 14A and 14B for a process, and the cutting process is given to the workpiece | work W. FIG.

다음의 S3에서는, 제1 센서(23A, 23B)에 의해 트래버스 롤러(17A, 17B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중이 검출되고, 그 검출치가 미리 설정된 소정치와 동일한가 아닌가가 판별된다. 이 판별에서 검출치가 소정치와 동일하지 않은 경우에는, S4에서 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)가 작동 제어되며 와이어 주행중인 트래버서(16A, 16B)의 이동 속도가 조정된다.In following S3, the tension load of the wire 11 which acts on the traverse roller 17A, 17B is detected by the 1st sensor 23A, 23B, and it is determined whether the detected value is the same as the predetermined value preset. If the detected value is not equal to the predetermined value in this determination, the traverser moving motors 18A and 18B are operated and controlled in S4, and the moving speeds of the traversers 16A and 16B during wire travel are adjusted.

다음으로, S5에서는 와이어(11)가 일방향으로 소정량 주행되고, 와이어(11)의 주행 방향의 반전 시기에 도달했는지 아닌지가 판별된다. 이 판별에서, 와이어(11)의 주행 방향의 반전 시기에 도달되지 않은 경우에는, 상기 S3로 돌아가 S3~S5의 동작이 반복되어 실행된다. 이에 대하여, 와이어(11)의 주행 방향의 반전 시기에 도달한 경우에는, S6에서 보빈 회전용 모터(13A, 13B)에 의한 보빈(12A, 12B)의 회전이 정지되는 동시에, 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 의한 트래버서(16A, 16B)의 이동이 정지된다. 이와 동시에, 가공용 롤러(14A, 14B)의 회전이 정지된다. 이로 인해, 와이어(11)의 주행이 소정 시간에 걸쳐 정지된다.Next, in S5, the wire 11 travels a predetermined amount in one direction, and it is determined whether or not the inversion timing of the travel direction of the wire 11 has been reached. In this determination, when the inversion time of the travel direction of the wire 11 has not reached, it returns to said S3 and the operation | movement of S3-S5 is repeatedly performed. In contrast, when the reversal timing of the running direction of the wire 11 is reached, the rotation of the bobbins 12A, 12B by the bobbin rotation motors 13A, 13B is stopped in S6, and the traversal movement motor ( Movement of the traversers 16A and 16B by 18A and 18B is stopped. At the same time, the rotation of the processing rollers 14A and 14B is stopped. For this reason, the run of the wire 11 is stopped over a predetermined time.

다음의 S7에서는, 상기 와이어(11)의 주행 정지상태에서, 보빈(12A, 12B)의 회전축선에 대한 와이어(11)의 각도(α)가 검출된다. 이러한 와이어(11)의 각도(α) 검출시에는, 도 4의 순서도에 나타낸 바와 같이, 먼저 S7a에서 제1 센서(23A, 23B)에 의해 트래버스 롤러(17A, 17B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중이 검출된다. 이어서, S7b에서 제2 센서(24A, 24B)에 의해 댄서롤러(20A, 20B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중이 검출된다. 그리고, S7c에서 제1 센서(23A, 23B) 및 제2 센서(24A, 24B)로부터의 검출 신호에 근거하여, 도 5(a) 및 (b)에 나타낸 바와 같이, 보빈(12A, 12B)의 회전축선에 대한 와이어(11)의 각도(α)가 판별된다.In following S7, the angle (alpha) of the wire 11 with respect to the rotation axis of the bobbin 12A, 12B is detected in the running stop state of the said wire 11. In detecting the angle α of the wire 11, as shown in the flowchart of FIG. 4, first, the wire 11 acting on the traverse rollers 17A and 17B by the first sensors 23A and 23B in S7a. Tension load is detected. Next, in S7b, the tension load of the wire 11 acting on the dancer rollers 20A, 20B is detected by the second sensors 24A, 24B. And based on the detection signal from the 1st sensor 23A, 23B and the 2nd sensor 24A, 24B in S7c, as shown to FIG. 5 (a) and (b), of bobbin 12A, 12B is carried out. The angle α of the wire 11 with respect to the axis of rotation is determined.

다음으로, 도 3의 S8에서는, 검출된 와이어(11)의 각도(α)가 90°인지 아닌지가 판별된다. 이 판별에서, 와이어(11)의 각도(α)가 90° 이외인 경우, 즉 도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 90°보다 작은 경우 또는 도 5(b)에 쇄선으로 나타낸 바와 같이 90°보다 큰 경우에는, 다음의 S9에서 트래버서 이동용 모터(18A, 18B)에 의해 트래버서(16A, 16B)가 이동 조정된다. 이러한 이동 조정에 의해, 와이어(11)의 주행 정지상태에서 트래버서(16A, 16B)가 도 5(a) 및 (b)에 실선으로 나타낸 위치로부터 쇄선으로 나타낸 위치로 변이되어 와이어(11)의 각도(α)가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)의 위치 보정이 이루어진다.Next, in S8 of FIG. 3, it is discriminated whether or not the detected angle 11 of the wire 11 is 90 degrees. In this determination, when the angle α of the wire 11 is other than 90 °, that is, when it is smaller than 90 ° as shown in FIG. 5 (a) or as shown by the dashed line in FIG. 5 (b). When larger, the traverser 16A, 16B is moved-adjusted by the traverser movement motor 18A, 18B in following S9. By this movement adjustment, the traverser 16A, 16B is shifted from the position shown by the solid line in FIGS. 5A and 5B to the position shown by the dashed line in the running stop state of the wire 11, Position correction of the traverser 16A, 16B is made so that angle (alpha) is set to 90 degrees.

이어서, S10에서 워크(W)의 가공이 종료되었는지 아닌지가 판별된다. 이 판별에서, 가공이 종료되지 않은 경우에는, 다음의 S11에서 보빈 회전용 모터(13A, 13B)에 의해 보빈(12A, 12B)이 상기 경우와 역방향으로 회전된다. 그와 동시에, 가공용 롤러(14A, 14B)도 상기 경우와 역방향으로 회전된다. 이로 인해, 와이어(11)가 주행 방향을 반전한 상태에서 주행된다. 이후, 상기 S2로 되돌아가서, S2~S11의 동작이 반복 실시된다. 한편, 상기 S10의 판별에서, 가공이 종료된 경우에는 와이어(11)의 주행 동작이 종료된다.Subsequently, it is determined whether or not the machining of the workpiece W is finished in S10. In this determination, when the machining is not finished, the bobbins 12A and 12B are rotated in the opposite direction to the above cases by the bobbin rotation motors 13A and 13B in the next S11. At the same time, the processing rollers 14A and 14B are also rotated in the reverse direction to the above cases. For this reason, the wire 11 runs in a state in which the running direction is reversed. Thereafter, the process returns to S2 and the operations of S2 to S11 are repeatedly performed. On the other hand, in the determination of S10, when the machining is finished, the traveling operation of the wire 11 is finished.

따라서, 본 실시형태에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.Therefore, according to this embodiment, the following effects can be acquired.

(1) 상기 와이어 소에서는, 가공용 롤러(14A, 14B) 및 보빈(12A, 12B)의 소정 사이클의 왕복 회전에 수반되어, 와이어(11)의 주행 방향이 반전되었을 때 검출 수단에 의해 보빈(12A, 12B)의 회전축선에 대한 보빈(12A, 12B)과 트래버서(16A, 16B)와의 사이에서의 와이어(11)의 각도(α)가 검출된다. 그리고, 검출된 와이어(11)의 각도(α)가 90°이외일 때, 즉 90°보다 클 때 또는 작을 때에는, 제어장치(31)에 의해 와이어(11)의 각도(α)가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)가 이동 조정된다. 이 때문에, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에, 트래버서(16A, 16B)에 위치 어긋남이 발생되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 이후의 와이어(11)의 주행 개시시에, 권취측의 보빈(12A, 12B)에 권취되는 와이어(11)에 권취 불량이 발생되거나, 인출측의 보빈(12B, 12A)으로부터 인출되는 와이어(11)에 장력의 불균일이 발생될 우려를 방지할 수 있다.(1) In the said wire saw, when the running direction of the wire 11 is reversed with the reciprocation rotation of the predetermined cycle of the processing rollers 14A and 14B and the bobbins 12A and 12B, the bobbin 12A , The angle α of the wire 11 between the bobbins 12A, 12B and the traversers 16A, 16B with respect to the rotation axis of 12B is detected. When the detected angle 11 of the wire 11 is other than 90 °, that is, larger than or smaller than 90 °, the angle 31 of the wire 11 is set to 90 ° by the controller 31. The traversers 16A and 16B are moved and adjusted to be set. For this reason, the position shift | offset | difference generate | occur | produces in the traverser 16A, 16B at the time of the inversion of the running direction of the wire 11 can be suppressed. Therefore, at the start of the subsequent run of the wire 11, a winding failure occurs in the wire 11 wound on the bobbins 12A and 12B on the winding side or a wire drawn out from the bobbins 12B and 12A on the extraction side. It is possible to prevent the possibility of uneven tension occurring in (11).

(2) 상기 와이어 소에서는, 상기 제어장치(31)가, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에 있어서의 와이어(11)의 주행 정지 중에 와이어(11)의 각도(α)가 90°로 설정되도록 트래버서(16A, 16B)의 위치를 보정할 수 있다. 따라서, 이후의 와이어(11)의 주행 개시시에, 위치 어긋남이 없는 트래버서(16A, 16B)에 의해, 보빈(12A, 12B)에 대한 와이어(11)의 권취 및 인출의 안내 동작을 신속하게 개시 시킬 수 있다. 따라서, 와이어(11)의 장력을 일정하게 유지할 수 있어 고정밀도 가공이 가능해진다.(2) In the said wire saw, the said control apparatus 31 makes the angle (alpha) of the wire 11 into 90 degrees during the driving stop of the wire 11 at the time of the reversal of the travel direction of the wire 11. The positions of the traversers 16A and 16B can be corrected to be set. Therefore, at the start of the subsequent travel of the wire 11, the traversers 16A and 16B without positional shifts quickly guide the winding and unwinding operations of the wire 11 to the bobbins 12A and 12B. You can start it. Therefore, the tension of the wire 11 can be kept constant and high precision processing is attained.

(3) 상기 와이어 소에서는, 상기 제어장치(31)가 인출 종료 보빈(12A, 12B)측의 트래버서(16A, 16B)를 이동시키도록 되어 있다. 이 때문에, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에 인출측으로부터 권취측으로 전환되는 인출을 종료한 보빈(12A, 12B)의 트래버서(16A, 16B)에 위치 어긋남이 쉽게 발생되더라도, 그 트래버서(16A, 16B)의 위치 차이를 적절히 수정할 수 있다. 따라서, 이후의 와이어(11)의 주행 개시시에서의 와이어(11)의 권취 불량의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다.(3) In the wire saw, the control device 31 moves the traversers 16A and 16B on the take-out bobbins 12A and 12B. For this reason, even if a position shift | offset | difference easily occurs in the traverser 16A, 16B of the bobbin 12A, 12B which finished switching out from the drawer side to the winding-up side when the running direction of the wire 11 is reversed, the traverser The positional difference of 16A, 16B can be corrected suitably. Therefore, generation | occurrence | production of the winding fault of the wire 11 at the time of the start of running of the wire 11 later can be prevented effectively.

(4) 상기 와이어 소에서는, 상기 검출 수단이 댄서롤러(20A, 20B) 및 트래버서(16A, 16B)에 각각 설치되고, 댄서롤러(20A, 20B) 및 트래버서(16A, 16B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중을 검출하는 센서(24A, 24B, 23A, 23B)와, 이들 센서(24A, 24B, 23A, 23B)로부터의 검출 신호에 근거하여 와이어(11)의 각도(α)를 판별하는 판별부(32)로 구성되어 있다. 이 때문에, 와이어(11)의 주행 방향의 반전시에 센서(24A, 24B, 23A, 23B)에 의해 댄서롤러(20A, 20B) 및 트래버서(16A, 16B)에 작용하는 와이어(11)의 장력 하중이 직접적으로 검출되고, 이들 검출 결과에 근거하여 와이어(11)의 각도(α)를 적정하게 검출할 수 있다.(4) In the wire saw, the detection means are provided in the dancer rollers 20A and 20B and the traversers 16A and 16B, respectively, and act on the dancer rollers 20A and 20B and the traversers 16A and 16B. The angle α of the wire 11 is determined based on the sensors 24A, 24B, 23A, 23B for detecting the tension load of the wire 11 and the detection signals from these sensors 24A, 24B, 23A, 23B. It is comprised by the discriminating part 32 which discriminates. For this reason, the tension of the wire 11 acting on the dancer rollers 20A, 20B and the traversers 16A, 16B by the sensors 24A, 24B, 23A, 23B when the running direction of the wire 11 is reversed. The load is detected directly, and the angle α of the wire 11 can be detected appropriately based on these detection results.

(변경예)(Change example)

이 실시형태는, 다음과 같이 변경하여 구체화할 수 있다.This embodiment can be actualized by changing as follows.

상기 실시형태에서는, 제1 센서(23A, 23B)의 검출 신호에 근거하여 와이어(11)의 주행중의 트래버서(16A, 16B)의 이동 속도를 조정하였으나, 이것을 생략하고 프로그램에 의해서만 제어할 수도 있다.In the above embodiment, the moving speeds of the traversers 16A and 16B while the wire 11 are traveling are adjusted based on the detection signals of the first sensors 23A and 23B, but this may be omitted and controlled only by a program. .

와이어(11)의 주행 반전시의 트래버서(16A, 16B)의 이동 조정을, 검출 각도(α)에 따라서 미리 설정된 거리를 이동시킴으로써 실시하도록 할 수 있다.The movement adjustment of the traverser 16A, 16B at the time of the reversal of travel of the wire 11 can be performed by moving the preset distance according to the detection angle (alpha).

상기 실시형태에서, 와이어(11)의 각도(α)를 검출하기 위한 검출 수단을, 예를 들면 와이어(11)를 광학적으로 검출하는 수단으로 변경할 수 있다.In the above embodiment, the detection means for detecting the angle α of the wire 11 can be changed to, for example, means for optically detecting the wire 11.

상기 실시형태에서는, 와이어(11)를 가이드 하기 위하여 한 쌍의 가이드 롤러를 설치하였으나, 2쌍 이상의 가이드 롤러를 설치한 와이어 소에 본 발명을 구체화시킬 수 있다.In the said embodiment, although a pair of guide rollers were provided in order to guide the wire 11, this invention can be embodied in the wire saw provided with two or more pairs of guide rollers.

본 발명의 제어 수단에 의한 제어를, 인출 종료시의 트래버서(16A, 16B)에 대해서만 실행하는 것. 즉, 와이어(11)의 인출시에는, 와이어(11)의 각도가 보빈(12A, 12B)상의 인출 시점 및 트래버서(16A, 16B)의 위치에 따라서 결정되기 때문에, 90°이외의 각도가 되기 쉽다. 이에 반해서, 와이어(11)의 권취시에는, 와이어(11)가 트래버서(16A, 16B)의 트래버스만 따라서 보빈(12A, 12B)에 권취되기 때문에, 와이어 각도가 90°로 유지된다. 따라서, 인출 종료시의 트래버서(16A, 16B)만이 제어될 수 있다.
The control by the control means of the present invention is executed only for the traversers 16A and 16B at the end of the withdrawal. That is, at the time of withdrawal of the wire 11, the angle of the wire 11 is determined according to the withdrawal timings on the bobbins 12A and 12B and the positions of the traversers 16A and 16B, so that the angle becomes other than 90 °. easy. On the other hand, at the time of winding of the wire 11, since the wire 11 is wound on the bobbin 12A, 12B only along the traverse of the traverser 16A, 16B, the wire angle is maintained at 90 degrees. Therefore, only the traversers 16A and 16B at the end of the withdrawal can be controlled.

11 와이어
12A, 12B 보빈
14A, 14B 가공용 롤러
16A, 16B 트래버서
17A, 17B 트래버스 롤러
20A, 20B 댄서롤러
23A, 23B 검출 수단을 구성하는 제1 센서
24A, 24B 검출 수단을 구성하는 제2 센서
31 제어 수단을 구성하는 제어장치
32 검출 수단을 구성하는 판별 수단으로서의 판별부
W 워크
α 각도11 wire
12A, 12B Bobbin
14A, 14B Machining Rollers
16A, 16B Traverser
17A, 17B Traverse Roller
20A, 20B Dancer Roller
First sensor constituting 23A, 23B detection means
Second sensor constituting 24A, 24B detection means
31 Control unit comprising control means
Discrimination unit as discrimination means constituting the 32 detection means
W walk
alpha angle

Claims (6)

워크 가공용의 와이어가 가설(架設) 상태에서 주회되는 복수의 가공용 롤러와,
상기 와이어의 권취 및 인출을 실시하기 위하여 축선 둘레로 각각 왕복 회전 가능한 한 쌍의 보빈과,
각 보빈의 축선과 평행한 방향을 따라 왕복운동 되고, 그 왕복운동에 수반되어 각 보빈에 의한 와이어의 권취 및 인출을 각각 안내하는 트래버서를 구비하고,
상기 가공용 롤러 및 상기 보빈의 왕복 회전에 수반되어 와이어가 왕복 주행되고, 가공용 롤러 사이의 위치에서 와이어에 의해 워크에 절단 가공을 실시하도록 한 와이어 소에 있어서,
와이어의 주행 방향의 반전시에 각 보빈의 축선에 대한 각 보빈과 각 트래버서 사이에서의 와이어의 각도를 검출하는 검출 수단과,
그 검출 수단에 의해 검출된 와이어의 각도가 90°이외일 때에는, 그 와이어의 각도가 90°로 설정되도록 적어도 어느 한쪽의 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키는 제어 수단,
을 설치하는 것을 특징으로 하는 와이어 소(WIRE SAW).A plurality of rollers for processing in which the wire for work processing is circumscribed in a temporary state;
A pair of bobbins each capable of reciprocating rotation about an axis for winding and withdrawing the wire,
A traverser which is reciprocated along a direction parallel to the axis of each bobbin and guides the winding and withdrawal of the wire by each bobbin accompanying the reciprocating motion,
In the wire saw with which the wire was reciprocated with the reciprocating rotation of the said processing roller and the said bobbin, and the cutting process is given to the workpiece by the wire at the position between the processing rollers,
Detecting means for detecting an angle of the wire between each bobbin and each traverser with respect to the axis of each bobbin when the running direction of the wire is inverted;
Control means for moving the traverser corresponding to at least one bobbin so that the angle of the wire detected by the detecting means is other than 90 °, so that the angle of the wire is set to 90 °;
Wire saw, characterized in that for installing (WIRE SAW). 제 1항에 있어서,
상기 제어 수단은, 와이어의 주행 정지시에 상기 트래버서를 이동시키는 것을 특징으로 하는 와이어 소.The method of claim 1,
The control means moves the traverser at the time of stopping the running of the wire. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 제어 수단은, 한 쌍의 보빈중, 와이어의 인출을 종료한 보빈에 대응되는 트래버서를 이동시키는 것을 특징으로 하는 와이어 소.3. The method according to claim 1 or 2,
Said control means moves the traverser corresponding to the bobbin which finished drawing out of a wire among a pair of bobbins. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 제어 수단은, 와이어의 인출을 종료한 보빈 및 와이어의 권취를 종료한 보빈의 트래버서를 각각 이동시키는 것을 특징으로 하는 와이어 소.3. The method according to claim 1 or 2,
The said control means moves the bobbin which finished drawing out of the wire, and the traverser of the bobbin which finished winding of the wire, respectively. 제 1항 내지 제 4항의 어느 한 항에 있어서,
상기 가공용 롤러와 각 트래버서와의 사이에서 와이어의 장력을 조절하는 댄서롤러를 설치하고,
상기 검출 수단은, 댄서롤러 및 트래버서에 각각 설치되며 댄서롤러 및 트래버서에 작용하는 와이어의 장력 하중을 검출하는 복수의 센서와, 이들 센서로부터의 검출 신호에 근거하여 와이어의 각도를 판별하는 판별 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어 소.The method according to any one of claims 1 to 4,
Installing a dancer roller for adjusting the tension of the wire between the processing roller and each traverser,
The detecting means includes a plurality of sensors provided in the dancer roller and the traverser, respectively, for detecting tension loads of the wires acting on the dancer roller and the traverser, and discriminating the angle of the wire based on the detection signals from these sensors. A wire saw comprising the means. 제 5항에 있어서,
상기 센서로부터의 검출 신호에 의해 나타나는 장력 하중이 미리 설정된 소정치와 동일할 때, 상기 판별 수단은 상기 와이어의 각도가 90°라고 판별하는 것을 특징으로 하는 와이어 소.
6. The method of claim 5,
And the discriminating means determines that the angle of the wire is 90 ° when the tension load indicated by the detection signal from the sensor is equal to a predetermined value.
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