KR20130034170A - Jig for preventing silicon carbide coating - Google Patents

Jig for preventing silicon carbide coating Download PDF

Info

Publication number
KR20130034170A
KR20130034170A KR1020110098054A KR20110098054A KR20130034170A KR 20130034170 A KR20130034170 A KR 20130034170A KR 1020110098054 A KR1020110098054 A KR 1020110098054A KR 20110098054 A KR20110098054 A KR 20110098054A KR 20130034170 A KR20130034170 A KR 20130034170A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
jig
jig member
silicon carbide
carbide coating
sic
Prior art date
Application number
KR1020110098054A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101327380B1 (en
Inventor
윤종성
Original Assignee
주식회사 티씨케이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 티씨케이 filed Critical 주식회사 티씨케이
Priority to KR1020110098054A priority Critical patent/KR101327380B1/en
Publication of KR20130034170A publication Critical patent/KR20130034170A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101327380B1 publication Critical patent/KR101327380B1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
    • C23C16/4581—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber characterised by material of construction or surface finish of the means for supporting the substrate

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

PURPOSE: A jig for preventing silicon carbide coating is provided to prevent SiC from being coated on a connection part in a SiC coating process and to omit a process for removing the SiC and a cleaning process. CONSTITUTION: A first jig member(10) has a cylinder shape and a first diameter. The first jig member is inserted into one part of a connecting part. A second jig member(20) has a cylinder shape and a second diameter. The second jig member is inserted into the other part of the connecting part. A bolt(31) and a nut(32) combine the first jig member with the second jig member. The bolt is inserted into one part of a penetration hole(11,21) and is combined with the nut.

Description

실리콘카바이드 코팅 방지 지그{Jig for preventing silicon carbide coating}Jig for preventing silicon carbide coating

본 발명은 실리콘카바이드 코팅 방지 지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는 실리콘카바이드가 표면에 코팅된 부품의 타부품과 접하는 부분에서 응력에 의해 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 실리콘카바이드 코팅 방지 지그에 관한 것이다.
The present invention relates to a silicon carbide coating preventing jig, and more particularly, to a silicon carbide coating preventing jig that can prevent the occurrence of cracks due to stress in the portion where the silicon carbide contacts other parts of the part coated on the surface. will be.

일반적으로, 엘이디 유기금속화학증착 장비의 내에는 석영재질의 부품이나 그라파이트 재질의 부품들이 사용되고 있다.In general, quartz or graphite components are used in LED organometallic chemical vapor deposition equipment.

그러나 석영이나 그라파이트 재질은 유기금속화학증착 장비의 증착온도에서 이물이 발생되어 수율을 저하시키는 원인이 되거나, 증착물인 GaN이 표면에 부착되어 잦은 세정이 요구되어 공정 중단이 빈번하게 이루어짐으로써, 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
However, quartz or graphite materials may cause foreign matters at the deposition temperature of organometallic chemical vapor deposition equipment, causing a decrease in yield, or because the deposition of GaN on the surface requires frequent cleaning, so that the process is frequently interrupted. There was a problem of deterioration.

최근에는 이러한 석영 재질 또는 그라파이트 재질의 부품들의 문제점을 해결하기 위하여 그 석영이나 그라파이트 재질의 부품 표면에 실리콘카바이드를 코팅하여 사용하는 기술들이 제안되었다.
Recently, in order to solve the problems of the quartz or graphite components, a technique of coating silicon carbide on the surface of the quartz or graphite component has been proposed.

이러한 기술들의 예로는 등록특허 10-0951633호, 공개특허 10-2011-0041920호를 예로 들 수 있다. 이러한 예에서 알 수 있듯이 그라파이트 등의 재료의 전체에 SiC를 증착하여 코팅하는 방법이 알려져 있으며, 내화학성, 내열성을 높이고 강도를 증가시키는 등의 많은 장점이 있다.
Examples of such techniques may be exemplified by Patent Nos. 10-0951633 and 10-2011-0041920. As can be seen from these examples, a method of depositing and coating SiC over a material such as graphite is known, and there are many advantages such as increasing chemical resistance, heat resistance, and increasing strength.

그러나 이와 같이 그라파이트 또는 석영의 표면에 이종 재료인 실리콘카바이드를 증착하게 되면, 그 증착 후 냉각하는 과정에서 응력이 생기게 되며, 특히 타부품과의 체결부분에서는 응력이 해소되지 못하고 집중되어, 그 체결부분에서 크랙이 발생하게 된다.However, when silicon carbide, which is a heterogeneous material, is deposited on the surface of graphite or quartz, stress is generated during the cooling process after the deposition. In particular, the fastening part is not resolved and concentrated at the fastening part with other parts. Cracks will occur at.

이 크랙은 체결부분에서 발생하기는 하지만 점차 주변으로 확장되며, 내부의 그라파이트나 석영이 외부로 노출되어 역시 이물이 발생하는 등의 문제점이 재현된다.Although this crack occurs in the fastening part, it gradually expands to the periphery, and problems such as foreign matters are generated because the graphite or quartz inside is exposed to the outside.

이와 같은 SiC 코팅층의 체결부분에서의 크랙의 발생과 크랙의 확장 문제를 해소하기 위하여, 현재는 체결부분의 SiC 코팅층을 제거하고, 세정하는 후공정을 수행하고 있다.In order to solve the occurrence of cracks and expansion of cracks in the fastening portion of the SiC coating layer, the post-process of removing and cleaning the SiC coating layer of the fastening portion is currently performed.

알려진 바와 같이 경도가 높은 SiC 코팅층의 일부를 제거하는 것이 용이하지 않아 제거공정에 시간이 많이 소요되며, 따라서 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
As is known, it is not easy to remove a part of the SiC coating layer having a high hardness, so that the removal process takes a long time, and thus there is a problem that productivity is lowered.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 과제는, SiC 코팅 부품을 제조하기 위한 SiC 증착공정에서, 해당 부품의 체결부에 SiC가 코팅되는 것을 방지할 수 있는 실리콘카바이드 코팅 방지 지그를 제공함에 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a silicon carbide coating preventing jig that can prevent the coating of SiC in the fastening portion of the component in the SiC deposition process for manufacturing a SiC coated component. .

또한 본 발명은 부품의 두께에 무관하게 적용함이 가능한 실리콘 카바이드 코팅 방지 지그를 제공함에 있다.
In another aspect, the present invention provides a silicon carbide coating preventing jig that can be applied regardless of the thickness of the part.

상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명 실리콘 카바이드 코팅 방지 지그는, 표면에 SiC가 코팅되어지는 부품의 관통형 체결부에 결합되는 지그로서, 상기 체결부의 일측에 삽입되는 제1직경의 원통형 제1지그부재와, 상기 체결부의 타측에 삽입되는 제2직경의 원통형 제2지그부재와, 상기 제1지그부재와 제2지그부재를 결합하는 볼트와 너트를 포함한다.
The silicon carbide coating preventing jig of the present invention for achieving the above object is a jig coupled to the through-type fastening portion of the component to be coated with SiC on the surface, the first cylindrical first diameter is inserted into one side of the fastening portion It includes a jig member, a cylindrical second jig member having a second diameter inserted into the other side of the fastening portion, and bolts and nuts for coupling the first jig member and the second jig member.

본 발명은 그라파이트 또는 석영 재질의 부품의 관통형 체결부에 삽입되는 지그를 제공하여, 그 부품의 표면에 SiC를 코팅할 때 체결부에 SiC가 코팅되는 것을 방지함으로써, SiC의 제거 및 세정공정이 요구되지 않으며, 따라서 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
The present invention provides a jig that is inserted into the through type fastening portion of a graphite or quartz component, thereby preventing the coating of SiC on the fastening portion when the SiC is coated on the surface of the component, thereby removing and cleaning the SiC. It is not required, so there is an effect that can improve the productivity.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 일실시 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 체결상태 단면 구성도이다.
도 3은 체결부의 깊이에 따라 본 발명의 바람직한 실시에에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 두께를 조절할 수 있음을 보인 설명도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 다른 실시예의 결합상태 단면 구성도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 다른 실시예의 결합상태 단면 구성도이다.1 is an exploded perspective view of an embodiment of a silicon carbide coating preventing jig according to a preferred embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional configuration of the fastening state of FIG.
3 is an explanatory view showing that the thickness of the silicon carbide coating preventing jig according to the preferred embodiment of the present invention can be adjusted according to the depth of the fastening portion.
Figure 4 is a cross-sectional configuration of the bonding state of another embodiment of the silicon carbide coating preventing jig according to another embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional configuration of the bonding state of another embodiment of the silicon carbide coating preventing jig according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of the silicon carbide coating preventing jig according to the preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 체결상태 단면 구성도이다.1 is an exploded perspective view of a silicon carbide coating preventing jig according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional configuration of the fastening state of FIG.

도 1과 도 2를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그는, 상하 관통된 관통공(11)이 마련된, 제1직경의 원판형 제1지그부재(10)와, 상기 제1지그부재(10)와 상하로 배치되었을 때 상기 관통공(11)의 위치에 관통공(21)이 마련된 제2직경의 원판형 제2지그부재(20)와, 상기 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)가 적층된 상태에서 관통공(11,21)의 일측에서 삽입되는 볼트(31)와, 상기 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)의 타측에서 상기 볼트(31)에 결합되는 너트(32)를 포함하여 구성된다.
1 and 2, respectively, the silicon carbide coating preventing jig according to the preferred embodiment of the present invention includes a disk-shaped first jig member 10 having a first diameter, through which upper and lower through holes 11 are provided. The second jig member 20 having a second diameter having a through hole 21 at the position of the through hole 11 when the first jig member 10 is disposed up and down, and the first jig member. A bolt 31 inserted in one side of the through-holes 11 and 21 in a state in which 10 and the second jig member 20 are stacked, and the first jig member 10 and the second jig member 20. It is configured to include a nut 32 coupled to the bolt 31 at the other side of the.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of the silicon carbide coating preventing jig according to the preferred embodiment of the present invention configured as described above in more detail.

먼저, 도 2에 도시한 바와 같이 그라파이트 또는 석영 재질의 부품(1)에는 타부품과의 체결을 위하여 관통형의 체결부가 마련되어 있다.First, as shown in FIG. 2, the graphite or quartz part 1 is provided with a through type fastening part for fastening with other parts.

이때 체결부는 볼트로 결합되는 것이 보통이며, 따라서 체결부의 상부와 하부의 직경은 서로 상이할 수 있다.
In this case, the fastening part is usually coupled by a bolt, so that the diameters of the upper and lower parts of the fastening part may be different from each other.

상기 체결부의 직경이 더 큰 상부측에 상기 제1직경을 가지는 원판형의 제1지그부재(10)를 삽입하고, 체결부의 직경이 더 작은 하부측에 상기 제2직경의 제2지그부재(20)를 삽입한다.Insert the first jig member 10 of the disk shape having the first diameter on the upper side of the larger diameter of the fastening portion, the second jig member 20 of the second diameter on the lower side of the smaller diameter of the fastening portion Insert).

상기 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)는 그라파이트, 석영, 또는 SiC 재질을 사용할 수 있다. The first jig member 10 and the second jig member 20 may be made of graphite, quartz, or SiC material.

그러나 SiC의 증착공정에서 가해지는 공정온도에 의한 열팽창계수의 차이에 의해 상기 부품(1)의 체결부에 손상이 발생될 수 있다는 점을 고려하여, 상기 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)의 재질은 상기 부품(1)과 동일한 재질인 것이 바람직하다.
However, the first jig member 10 and the second jig in consideration of the fact that the damage to the fastening portion of the component 1 may be caused by the difference in thermal expansion coefficient due to the process temperature applied in the deposition process of SiC. It is preferable that the material of the member 20 is the same material as the said component 1.

상기와 같은 결합으로 상기 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)는 상호 적층된 상태가 되며, 그 적층 위치를 조절하여 제1지그부재(20)와 제2지그부재(20)에 마련된 관통공(11,21)을 상호 일치시킨다.By the combination as described above, the first jig member 10 and the second jig member 20 are laminated to each other, and the stacking position is adjusted to adjust the first jig member 20 and the second jig member 20. The through-holes 11 and 21 provided in the coincide with each other.

그 다음, 상기 제1지그부재(10)의 관통공(11) 측에 볼트(31)를 삽입하여 제2지그부재(20)의 배면측으로 그 볼트(31)의 끝단이 노출되도록 한 상태에서, 그 볼트(31)의 끝단에 너트(32)를 체결하여 상기의 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)를 결합한다.
Then, the bolt 31 is inserted into the through hole 11 side of the first jig member 10 so that the end of the bolt 31 is exposed to the rear side of the second jig member 20. The first jig member 10 and the second jig member 20 are coupled to each other by fastening the nut 32 to the end of the bolt 31.

이때 상기 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20) 각각의 측면부는 부품(1)의 체결부 가장자리에 접하게 되며, 이와 같은 상태에서 부품(1)에 SiC를 증착하면 부품의 체결부에는 SiC가 증착되지 않게 된다.
At this time, the side portions of each of the first jig member 10 and the second jig member 20 are in contact with the edge of the fastening part of the part 1, and in this state, when the SiC is deposited on the part 1, the fastening part of the part SiC will not be deposited.

상기 SiC의 증착이 완료되면 결합과는 역순으로 상기 볼트(31)와 너트(32)의 결합을 해제하고, 그 체결부로부터 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)를 분리한다.
When the deposition of the SiC is completed, the coupling of the bolt 31 and the nut 32 is released in the reverse order of the coupling, and the first jig member 10 and the second jig member 20 are separated from the fastening portion. .

이와 같이 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)를 분리하면, 부품(1)의 체결부에는 SiC가 코팅되지 않기 때문에 이후에 타 부품과의 체결시 응력에 의한 크랙발생이 없기 때문에 그라파이트 또는 석영소재가 MOCVD 장치의 내에서 노출되는 것을 방지할 수 있게 된다.When the first jig member 10 and the second jig member 20 are separated in this way, since the fastening portion of the component 1 is not coated with SiC, there is no crack generation due to stress when the component is fastened with other components. This makes it possible to prevent the graphite or quartz material from being exposed in the MOCVD apparatus.

따라서 본 발명은 SiC 코팅을 수행한 후 후속 가공 및 세정공정이 요구되지 않아 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.
Therefore, the present invention does not require subsequent processing and cleaning process after performing the SiC coating can improve the productivity.

도 3은 체결부의 깊이에 따라 본 발명의 바람직한 실시에에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 두께를 조절할 수 있음을 보인 설명도이다.3 is an explanatory view showing that the thickness of the silicon carbide coating preventing jig according to the preferred embodiment of the present invention can be adjusted according to the depth of the fastening portion.

도 3을 참조하면 상기 볼트(31)의 길이를 충분히 길게하여 상기 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)의 사이 간격을 조절할 수 있으며, 최소 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)가 서로 접할 때의 두께로부터 최대 상기 볼트(31)의 머리를 제외한 길이에서 상기 너트(32)의 두께를 제외한 두께까지 조절할 수 있게 된다.
Referring to FIG. 3, the length of the bolt 31 may be sufficiently long to adjust the distance between the first jig member 10 and the second jig member 20, and the minimum first jig member 10 and the first jig member 10 may be adjusted. From the thickness when the two jig members 20 are in contact with each other, it is possible to adjust the thickness except for the thickness of the nut 32 from the length excluding the head of the bolt 31.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 다른 실시예의 결합상태 단면 구성도이다.Figure 4 is a cross-sectional configuration of the bonding state of another embodiment of the silicon carbide coating preventing jig according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그는, 상기 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20) 각각의 측면 둘레에서 소정의 두께로 마련된 돌출단(12,22)이 마련되어 있다.
Referring to FIG. 4, the silicon carbide coating preventing jig according to another embodiment of the present invention may include a protruding end 12 having a predetermined thickness around the sides of each of the first jig member 10 and the second jig member 20. 22).

상기 돌출단(12,22)들은 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20) 각각의 제1직경과 제2직경보다 좀 더 큰 체결부에 결합할 수 있으며, 부품(1)의 구경이 상이한 체결부에도 동일한 구조의 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)를 사용할 수 있어, 지그의 범용성이 확대된다.
The protruding ends 12 and 22 may be coupled to fastening portions larger than the first and second diameters of the first jig member 10 and the second jig member 20, respectively. The first jig member 10 and the second jig member 20 having the same structure can also be used for fastening portions having different diameters, thereby increasing the versatility of the jig.

또한 상기 돌출단(12,22)들은 각각 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)가 부품(1)의 체결부 내로 인입되는 것을 방지하는 역할을 하게 된다. 상기 제1지그부재(10) 또는 제2지그부재(20)가 체결부 내부로 인입되는 경우, 그 체결부의 양측단에는 SiC가 증착될 수 있어, 크랙을 방지하기 위해서는 종래와 같은 후속공정이 필요하기 때문이다.
In addition, the protruding ends 12 and 22 serve to prevent the first jig member 10 and the second jig member 20 from being introduced into the fastening portion of the component 1, respectively. When the first jig member 10 or the second jig member 20 is introduced into the fastening part, SiC may be deposited at both ends of the fastening part, so that subsequent steps as in the prior art are necessary to prevent cracking. Because.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실리콘카바이드 코팅 방지 지그의 다른 실시예의 결합상태 단면 구성도이다.5 is a cross-sectional configuration of the bonding state of another embodiment of the silicon carbide coating preventing jig according to another embodiment of the present invention.

도 5에 도시한 본 발명의 다른 실시예에 따른 예는 체결부의 양단 구경이 동일한 부품(1)에 적용될 수 있는 것으로, 제1지그부재(10)의 직경과 제2지그부재(20)의 직경이 상호 동일하다.An example according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 5 is that both diameters of the fastening part may be applied to the same component 1, and the diameter of the first jig member 10 and the diameter of the second jig member 20 are different. This is identical to each other.

즉 제1직경과 제2직경이 동일하다.
That is, the first diameter and the second diameter are the same.

이처럼 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)는 설계상 각 부품(1)의 체결부 구경에 대응하는 다수의 지그부재중 선택되어진 것으로 이해될 수 있다.
As such, it may be understood that the first jig member 10 and the second jig member 20 are selected from a plurality of jig members corresponding to the diameter of the fastening portion of each component 1 by design.

상기한 바와 같이 본 발명은 부품(1)의 체결부의 양측에서 각각 결합되는 제1지그부재(10)와 제2지그부재(20)를 볼트(31)와 너트(32)를 사용하여 고정함으로써, 부품(1)의 표면에 SiC 코팅을 수행하는 경우 그 체결부에는 SiC 코팅이 이루어지는 것을 방지할 수 있게 된다.
As described above, according to the present invention, by fixing the first jig member 10 and the second jig member 20 coupled to both sides of the fastening portion of the component 1 by using the bolt 31 and the nut 32, When the SiC coating is performed on the surface of the component 1, the fastening portion can prevent the SiC coating from being made.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, And this also belongs to the present invention.

10:제1지그부재 11,21:관통공
20:제2지그부재 31:볼트
32:너트10: first jig member 11, 21: through hole
20: second jig member 31: bolt
It is a nut 32

Claims (5)

표면에 SiC가 코팅되어지는 부품의 관통형 체결부에 결합되는 지그로서,
상기 체결부의 일측에 삽입되는 제1직경의 원통형 제1지그부재;
상기 체결부의 타측에 삽입되는 제2직경의 원통형 제2지그부재; 및
상기 제1지그부재와 제2지그부재를 결합하는 볼트와 너트를 포함하는 실리콘카바이드 코팅 방지 지그.
Jig that is bonded to the through type fastening part of the part to be coated with SiC on the surface,
A cylindrical first jig member having a first diameter inserted into one side of the fastening part;
A cylindrical second jig member having a second diameter inserted into the other side of the fastening part; And
Silicon carbide coating preventing jig comprising a bolt and nut for coupling the first jig member and the second jig member.
제1항에 있어서,
상기 제1지그부재와 제2지그부재는,
각각 상기 부품의 재료와 동일 재료인 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 방지 지그.
The method of claim 1,
The first jig member and the second jig member,
Silicon carbide coating preventing jig, each of the same material as the material of the component.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1지그부재와 제2지그부재의 각각의 둘레 일부에서 돌출되는 돌출단을 더 포함하는 실리콘카바이드 코팅 방지 지그.
The method according to claim 1 or 2,
Silicon carbide coating preventing jig further comprises a protruding end protruding from a portion of each of the circumference of the first jig member and the second jig member.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1지그부재와 제2지그부재는,
상기 볼트의 길이 내에서 그 사이 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 방지 지그.
The method according to claim 1 or 2,
The first jig member and the second jig member,
Silicon carbide coating preventing jig, characterized in that the interval between them is adjusted within the length of the bolt.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1직경과 제2직경은 상호 동일하거나, 제1직경이 제2직경에 비하여 더 큰 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드코팅 방지 지그. The method according to claim 1 or 2,
The first diameter and the second diameter are the same or silicon carbide coating preventing jig, characterized in that the first diameter is larger than the second diameter.
KR1020110098054A 2011-09-28 2011-09-28 Jig for preventing silicon carbide coating KR101327380B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110098054A KR101327380B1 (en) 2011-09-28 2011-09-28 Jig for preventing silicon carbide coating

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110098054A KR101327380B1 (en) 2011-09-28 2011-09-28 Jig for preventing silicon carbide coating

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130034170A true KR20130034170A (en) 2013-04-05
KR101327380B1 KR101327380B1 (en) 2013-11-11

Family

ID=48436328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110098054A KR101327380B1 (en) 2011-09-28 2011-09-28 Jig for preventing silicon carbide coating

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101327380B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109048236A (en) * 2018-10-25 2018-12-21 宁波瑞国精机工业有限公司 The processing technology of high-strength big six-angle spiral

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101589818B1 (en) 2014-07-02 2016-02-12 한국브라스트 주식회사 Removal of deposits on workpieces using a blast machine

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100667501B1 (en) * 2005-07-11 2007-01-10 한국가스공사 Barrier connection structure and method thereof
KR100784155B1 (en) * 2005-12-22 2007-12-10 주식회사 디엠에스 A jig and a substrate-supporting structure with the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109048236A (en) * 2018-10-25 2018-12-21 宁波瑞国精机工业有限公司 The processing technology of high-strength big six-angle spiral

Also Published As

Publication number Publication date
KR101327380B1 (en) 2013-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6640271B2 (en) How to combine substrates
WO2015198798A1 (en) Susceptor and method for manufacturing same
KR101327380B1 (en) Jig for preventing silicon carbide coating
US20120097184A1 (en) Method for recycling wafer
JP5970841B2 (en) Wafer holder, film deposition system
TWI752374B (en) Method for regenerating film-forming structure and regenerating film-forming structure
KR20160000970A (en) Heater manufacturing method of semiconductor manufacturing apparatus and heater damage portion treating method
JP6499109B2 (en) Separation method and manufacturing method of holding device
JP2022107727A (en) Device for depositing semiconductor layer, production method thereof, and production method of semiconductor layer using the same
KR101762123B1 (en) Manufacturing method for hollow SiC structure
JP6402727B2 (en) Thermal spray masking equipment
US20110120651A1 (en) Showerhead assembly with improved impact protection
FR3068506B1 (en) PROCESS FOR PREPARING A SUPPORT FOR A SEMICONDUCTOR STRUCTURE
KR102124738B1 (en) Regeneration method of film formation structure and regeneration film formation structure
KR20130034179A (en) Manufacturing method for sic substrate
JP5441094B2 (en) Semiconductor substrate manufacturing method and semiconductor substrate
JP7206871B2 (en) METHOD FOR MANUFACTURING POLYCRYSTALLINE SILICON CARBIDE SUBSTRATE AND PLATE-TYPE SUBSTRATE
KR101495901B1 (en) Ceramic material structure and the bonding method combines the boat
KR20130068136A (en) Manufacturing method for silicaon carbide suceptor
JP7431487B2 (en) Vertical wafer boat and manufacturing method of vertical wafer boat
JP2008053595A (en) Semiconductor wafer, and its manufacturing method
JP2004119810A (en) Tray for gaseous phase process
JPWO2015033442A1 (en) Substrate transfer system and substrate transfer method
JP2004182999A (en) Tray cover for vapor phase process
KR20100027563A (en) A ring type collimater

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160928

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171016

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181002

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190902

Year of fee payment: 7