KR20120139431A - Moving type multi-nozzle system and method for making transparent electrode using the same - Google Patents

Moving type multi-nozzle system and method for making transparent electrode using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20120139431A
KR20120139431A KR1020110059228A KR20110059228A KR20120139431A KR 20120139431 A KR20120139431 A KR 20120139431A KR 1020110059228 A KR1020110059228 A KR 1020110059228A KR 20110059228 A KR20110059228 A KR 20110059228A KR 20120139431 A KR20120139431 A KR 20120139431A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
nozzle unit
nozzle
electrode
along
Prior art date
Application number
KR1020110059228A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101264215B1 (en
Inventor
변도영
Original Assignee
엔젯 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔젯 주식회사 filed Critical 엔젯 주식회사
Priority to KR1020110059228A priority Critical patent/KR101264215B1/en
Publication of KR20120139431A publication Critical patent/KR20120139431A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101264215B1 publication Critical patent/KR101264215B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0295—Floating coating heads or nozzles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • H01B13/0026—Apparatus for manufacturing conducting or semi-conducting layers, e.g. deposition of metal
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02—Details
    • H01L31/0224—Electrodes
    • H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

PURPOSE: A transfer type multi-nozzle system and a transparent electrode manufacturing method using the same are provided to pattern electrolyte on a substrate in a grid type. CONSTITUTION: A transfer type multi-nozzle system(100) comprises a substrate transferring part(110), a fixed nozzle part(120), a multi-nozzle part(130), a control part(140), and a drying part(150). The multi-nozzle part includes a plurality of nozzles(132) which spray electrode liquid and is transferred back and forth along different direction from a substrate transfer direction. The multi-nozzle part is transferred back and forth along perpendicular direction from the substrate transfer direction. [Reference numerals] (140) Control part

Description

이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법{MOVING TYPE MULTI-NOZZLE SYSTEM AND METHOD FOR MAKING TRANSPARENT ELECTRODE USING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a transfer type multi-nozzle system and a method of manufacturing a transparent electrode using the transfer type multi-

본 발명은 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 간단한 공정을 이용하여 기판 상에 그리드형 라인을 형성하는 시스템과 이러한 시스템으로 고효율의 투명전극을 저렴하게 제조할 수 있는 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer type multi-nozzle system and a method for manufacturing a transparent electrode using the same, and more particularly, to a system for forming a grid type line on a substrate using a simple process, Type multi-nozzle system and a method of manufacturing a transparent electrode using the same.

최근, 친환경적인 장점에다가, 에너지원의 고갈의 염려가 없다는 점에서 태양광에 대한 관심이 집중되고 있는 추세이다.In recent years, there has been a growing interest in photovoltaics because of its environmental friendliness and lack of concern about depletion of energy sources.

태양전지의 광이 입사되는 면에는 광이 투과되기 위하여 광투과율이 우수한 광투과층이 적층되고, 전기적 전도성의 전극이 광투과층 상에 형성되어 전자 이송경로로서의 역할을 한다. 그러나, 이러한 구조의 태양전지는 광이 전극이 형성되는 영역상에서 투과되지 못함으로써, 집광효율이 현저히 떨어진다는 문제가 있었다.A light-transmitting layer having excellent light transmittance is laminated on the surface of the solar cell on which light is incident, and an electrically conductive electrode is formed on the light-transmitting layer to serve as an electron transfer path. However, the solar cell having such a structure has a problem that light is not transmitted on the region where the electrode is formed, and thus the efficiency of light collection is remarkably deteriorated.

상기 문제의 대안으로 태양전지에 투명전극을 배치하고 있다. 특히, 이러한 투명전극으로는 ITO(Indium Tin Oxide) 전극이 주로 이용되고 있다. 이는, ITO가 박막을 형성하기 용이하고, 광투과 특성이 우수하며, 전기적 저항이 비교적 낮기 때문이다. As an alternative to the above problem, a transparent electrode is disposed in a solar cell. In particular, an ITO (Indium Tin Oxide) electrode is mainly used as such a transparent electrode. This is because ITO easily forms a thin film, has excellent light transmission characteristics, and has a relatively low electrical resistance.

그러나, 기존의 ITO 전극의 사용시에 태양전지의 집광율은 향상시킬 수 있으나, 상대적으로 큰 저항값으로 인하여 전체적인 태양전지의 광변환율은 떨어지는 문제가 있었다.However, when the conventional ITO electrode is used, the light collecting rate of the solar cell can be improved, but there is a problem that the photoconversion rate of the entire solar cell is lowered due to the relatively large resistance value.

한편, 이러한 종래의 투명전극이 가지는 문제를 해결하기 위하여 전기 전도성의 전극액을 그리드형으로 인쇄함으로서 이를 투명전극으로 이용하는 기술이 있다.Meanwhile, in order to solve the problem of the conventional transparent electrode, there is a technique of printing an electrically conductive electrode solution in a grid shape and using it as a transparent electrode.

도 1은 종래의 투명전극을 제작하는 시스템의 일례를 개략적으로 도시한 것이다.1 schematically shows an example of a system for manufacturing a conventional transparent electrode.

도 1에서와 같이, 종래의 시스템(10)에 의하면, 위치 고정된 노즐부(11)로부터 전극액을 토출하는 동시에 기판(S)을 일방향으로 이송시킴으로써 라인을 인쇄하고, 이송이 완료된 기판(S)을 180도 회전시킨 후에 이전 이송된 방향과 반대방향으로 기판을 재이송함으로써 그리드형의 라인을 인쇄하고 있다.1, according to the conventional system 10, the electrode liquid is discharged from the nozzle unit 11 fixed in position and the substrate S is transferred in one direction to print the line, and the transferred substrate S ) Is rotated by 180 degrees, and then the substrate is re-fed in the direction opposite to the previously conveyed direction, thereby printing a grid-shaped line.

그러나, 이러한 종래의 시스템(10)에서는 기판(S)을 회전시키는 공정의 연속성을 방해하는 공정이 포함됨으로써, 시간적, 비용적으로 비경제적이라는 문제가 있었다.However, in such a conventional system 10, there is a problem that the process of preventing the continuity of the process of rotating the substrate S is included, thereby making it economical in terms of time and cost.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 경제적인 공정을 통하여 기판 상에 전극액을 그리드 형으로 패터닝 할 수 있는 이송형 멀티노즐 시스템을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a transfer type multi-nozzle system capable of patterning an electrode solution on a substrate in a grid pattern through an economical process.

또한, 본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전극액을 그리드형으로 패터닝하고, 광투과층을 도포함으로써 광투과율 및 전기적 전도성을 동시에 향상시킬 수 있는 투명전극 제조방법을 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a transparent electrode manufacturing method capable of simultaneously improving light transmittance and electrical conductivity by patterning an electrode liquid in a grid pattern and applying a light transmitting layer .

상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판이송방향을 따라서 이송되는 기판에 전극액을 분사하는 시스템에 있어서, 상기 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 장착되되, 상기 기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되는 멀티노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템에 의해 달성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a system for spraying an electrode solution onto a substrate transferred along a substrate transfer direction, the apparatus comprising: a plurality of nozzles for spraying the electrode solution; And a multi-nozzle unit to which the multi-nozzle unit is transferred.

또한, 상기 멀티노즐부는 상기 기판이송방향에 수직인 방향을 따라서 왕복이송될 수 있다.Further, the multi-nozzle unit may be reciprocated along a direction perpendicular to the substrate transfer direction.

또한, 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열되되, 고정된 위치에서 전극액을 분사하는 고정노즐부를 더 포함하고, 상기 멀티노즐부에 구비되는 복수개의 노즐은 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열될 수 있다.The plurality of nozzles provided in the multi-nozzle unit further include a plurality of nozzles for spraying the electrode solution, the fixed nozzles being arranged along the vertical direction of the substrate transfer direction, And may be arranged along the vertical direction of the substrate transfer direction.

또한, 상기 멀티노즐부는 복수개가 서로 다른 이송경로를 따라서 왕복 이송되되, 상기 복수개의 멀티노즐부 각각의 이송경로는 중복되지 않도록 설정될 수 있다.The plurality of multi-nozzle units may be reciprocally transported along different transport paths, and the transport paths of the plurality of multi-nozzle units may be set so as not to overlap each other.

또한, 상기 복수개의 멀티노즐부는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향을 따라서 나란히 배열되되, 상기 기판이송방향에 수직한 방향을 따라서 왕복 이송되는 제1멀티노즐부; 상기 제1멀티노즐부의 이송방향과 반대방향을 따라서 왕복 이송되는 제2멀티노즐부;를 포함할 수 있다.The plurality of multi-nozzle units may include a first multi-nozzle unit arranged in parallel along the substrate transport direction, the plurality of nozzles being reciprocally transported along a direction perpendicular to the substrate transport direction; And a second multi-nozzle unit reciprocally transported along a direction opposite to the transport direction of the first multi-nozzle unit.

또한, 상기 멀티노즐부의 이송경로 또는 이송속도 중 어느 하나를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a controller for controlling one of a feeding path and a feeding speed of the multi-nozzle unit.

또한, 상기 멀티노즐부는 정전기력에 의하여 전극액을 분사할 수 있다.In addition, the multi-nozzle unit can inject the electrode solution by an electrostatic force.

또한, 상기 목적은 본 발명에 따라, 이송형 멀티노즐 시스템을 이용하여 전기적 전도성 재질의 전극액을 상기 기판 상에 분사함으로써 그리드형 전극을 인쇄하는 단계; 상기 그리드형 전극이 형성되는 상기 기판의 면에 광투과층을 도포하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제조방법에 의해 달성된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plasma display panel, comprising: printing a grid-shaped electrode by spraying an electrode liquid of an electrically conductive material onto the substrate using a transferring type multi-nozzle system; And applying a light-transmitting layer to a surface of the substrate on which the grid-shaped electrode is formed.

또한, 상기 인쇄되는 그리드형 전극의 선폭은 20μm 이하일 수 있다.The line width of the grid-shaped electrode to be printed may be 20 m or less.

본 발명에 따르면, 단순한 구조를 통하여 그리드형의 전극액을 용이하게 인쇄할 수 있는 이송형 멀티노즐 시스템이 제공된다.According to the present invention, there is provided a transfer type multi-nozzle system capable of easily printing a grid-like electrode solution through a simple structure.

또한, 연속적으로 이송되는 상태의 기판에 그리드형 라인을 인쇄함으로써, 인라인(In-line) 시스템이 구축될 수 있다.In addition, an in-line system can be constructed by printing a grid-like line on a substrate in a continuously transported state.

또한, 제어부를 이용하여 멀티노즐부의 이송속도, 이송주기, 이송구간 등을 제어함으로써, 기판 상에 인쇄되는 그리드형 라인의 밀도, 형상 등을 조절할 수 있다.Further, the density, shape, and the like of the grid-shaped lines to be printed on the substrate can be adjusted by controlling the feed speed, feed cycle, and feed section of the multi-nozzle unit using the control unit.

또한, 본 발명에 따르면, 이송형 멀티노즐 시스템을 이용하여 전기전도성이 우수한 투명전극을 제작할 수 있는 투명전극 제조방법이 제공된다.According to the present invention, there is also provided a method of manufacturing a transparent electrode capable of manufacturing a transparent electrode having excellent electrical conductivity using a transfer type multi-nozzle system.

또한, 20μm 이하 미세 선폭으로 그리드형 라인을 패터닝함으로써, 광투과율이 우수한 투명전극을 제작할 수 있다.In addition, a transparent electrode having excellent light transmittance can be manufactured by patterning a grid line with a fine line width of 20 mu m or less.

도 1은 종래의 투명전극을 제작하는 방법의 일례를 개략적으로 도시한 것이고,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템을 개략적으로 도시한 것이고,
도 3은 도 2의 이송형 멀티노즐 시스템의 개략적인 작동도이고,
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템을 개략적으로 도시한 것이고,
도 5은 도 4의 이송형 멀티노즐 시스템의 개략적인 작동도이다.1 schematically shows an example of a conventional method of manufacturing a transparent electrode,
2 schematically shows a transfer type multi-nozzle system according to a first embodiment of the present invention,
Figure 3 is a schematic operational view of the transferring multi-nozzle system of Figure 2,
4 schematically shows a transfer type multi-nozzle system according to a second embodiment of the present invention,
FIG. 5 is a schematic operational view of the transferring multi-nozzle system of FIG. 4; FIG.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment. In other embodiments, configurations different from those of the first embodiment will be described do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(100)에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a transfer type multi-nozzle system 100 according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템을 개략적으로 도시한 것이고, 도 3은 도 2의 이송형 멀티노즐 시스템의 개략적인 작동도이다.FIG. 2 is a schematic illustration of a transferring multi-nozzle system according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a schematic operation diagram of the transferring multi-nozzle system of FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(100)은 기판이송부(110)와 고정노즐부(120)와 멀티노즐부(130)와 제어부(140)와 건조부(150)를 포함한다.2 and 3, a transfer type multi-nozzle system 100 according to the first embodiment of the present invention includes a substrate transfer unit 110, a fixed nozzle unit 120, a multi-nozzle unit 130, 140 and a drying unit 150.

상기 기판이송부(110)는 본 실시예의 이송형 멀티노즐 시스템(100)을 인라인(in-line) 시스템으로 구성하기 위하여 소정의 기판이송방향(D)을 따라서 기판(S)을 연속 이송하는 부재이다.The substrate transfer unit 110 is a member for continuously transferring the substrate S along a predetermined substrate transfer direction D in order to configure the transfer type multi-nozzle system 100 of the present embodiment as an in- to be.

본 실시예에서 기판이송부(110)는 이송롤러가 기판(S)을 이송하는 구조의 롤투롤(roll-to-roll) 형태로 구성되나, 연속적인 기판(S) 이송을 통하여 인라인 시스템이 구현될 수 있는 구조라면 이러한 구성에 제한되지 않는다.In this embodiment, the substrate transfer unit 110 is configured in the form of a roll-to-roll structure in which the transfer rollers transfer the substrate S, but an inline system is implemented through the transfer of the continuous substrate S The present invention is not limited to such a structure.

상기 고정노즐부(120)는 기판(S)의 상측의 고정된 위치에 마련되는 것으로서, 챔버부(121)와 복수개의 노즐(122)을 포함한다.The fixed nozzle part 120 is provided at a fixed position on the upper side of the substrate S and includes a chamber part 121 and a plurality of nozzles 122.

상기 챔버부(121)는 후술하는 복수개의 노즐(122)에 연통하여 후술하는 복수개의 각 노즐에 전극액을 공급하기 위한 부재로서, 기판(S)의 폭방향, 즉, 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 길게 배치된다.The chamber part 121 is a member for supplying an electrode solution to a plurality of nozzles which will be described later and connected to a plurality of nozzles 122 to be described later. As shown in Fig.

상기 노즐(122)은 챔버부(121)로부터 공급되는 전극액을 하방의 기판(S)으로 분사하기 위한 경로로서, 챔버부(121)의 하면에 복수개가 나란히 배치된다. 한편, 챔버부(121)가 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 길게 형성되므로, 이러한 챔버부(121)의 길이방향을 따라서 하면에 배열되는 복수개의 노즐(122) 역시 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라 나란히 배열된다.The nozzle 122 is a path for spraying the electrode solution supplied from the chamber part 121 to the substrate S on the lower side and a plurality of the nozzles 122 are arranged side by side on the lower surface of the chamber part 121. The plurality of nozzles 122 arranged on the lower surface along the length direction of the chamber part 121 are also arranged in the substrate transport direction D D). ≪ / RTI >

한편, 고정노즐부(120)는 소정위치에 고정된 상태로서 연속으로 이송되는 기판(S)과의 사이에서 상대적 속도차이가 발생하게 되므로, 고정노즐부(120)로부터 하방으로 연속 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에는 상호 이격되는 복수개의 라인이 기판이송방향(D)을 따라서 형성된다. Since the fixed nozzle unit 120 is fixed at a predetermined position and a relative velocity difference is generated between the fixed nozzle unit 120 and the substrate S continuously transferred, A plurality of lines spaced apart from each other are formed on the substrate S along the substrate transfer direction D.

한편, 본 실시예에서 노즐(122)로부터 토출되는 전극액은 전기적 전도성을 가지는 전극액이며, 상술한 노즐(122)의 내부에는 전압이 인가되기 위한 토출전극(미도시)이 배치되고, 전극액이 토출되는 노즐(122)의 단부에 대향하는 위치에 대향전극(미도시)이 마련됨으로써, 고정노즐부(120)는 토출전극과 대향전극의 전위차로부터 발생하는 정전기력에 의하여 전도성 전극액이 토출되는 형태의 EHD(ElectroHydroDnamics) 잉크젯의 구조를 가지나, 이에 제한되는 것은 아니다.On the other hand, in the present embodiment, the electrode liquid discharged from the nozzle 122 is an electrode liquid having electrical conductivity. Discharge electrodes (not shown) for applying a voltage are disposed inside the nozzle 122 described above, (Not shown) is provided at a position opposite to the end of the nozzle 122 to be discharged, whereby the fixed nozzle unit 120 discharges the conductive electrode solution by the electrostatic force generated from the potential difference between the discharge electrode and the counter electrode But is not limited to, the structure of an EHD (ElectroHydroDnamics) ink jet of the type.

상기 멀티노즐부(130)는 기판(S)의 상측에서 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 왕복이송되는 부재로서, 챔버부(131)와 복수개의 노즐(132)을 포함한다.The multi-nozzle unit 130 includes a chamber 131 and a plurality of nozzles 132, which are reciprocated along the direction perpendicular to the substrate transfer direction D from above the substrate S.

상기 챔버부(131)는 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 길게 형성되며, 상기 복수개의 노즐(132)은 챔버부(131)의 하면에 나란히 배열된다.The chamber part 131 is formed to be long along the direction perpendicular to the substrate transfer direction D and the plurality of nozzles 132 are arranged side by side on the lower surface of the chamber part 131.

한편, 본 실시예에서 멀티노즐부(130) 역시, 정전기력에 의하여 전도성 전극액이 토출되는 형태의 EHD 잉크젯의 구조를 가질 수도 있다.Meanwhile, in the present embodiment, the multi-nozzle unit 130 may also have a structure of an EHD inkjet in which a conductive electrode solution is discharged by an electrostatic force.

상기 제어부(140)는 멀티노즐부(130)가 소정의 구간을 왕복이송 하도록 제어한다. 본 실시예에서 멀티노즐부(130)는 고정노즐부(120)로부터 기판이송방향(D)을 따라 소정간격 이격된 위치에서 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 소정의 직선구간을 왕복하며 이송된다.The control unit 140 controls the multi-nozzle unit 130 to reciprocate the predetermined section. In the present embodiment, the multi-nozzle unit 130 reciprocates a predetermined straight section along a direction perpendicular to the substrate transfer direction D at a position spaced apart from the fixed nozzle unit 120 along the substrate transfer direction D by a predetermined distance .

한편, 제어부(140)는 멀티노즐부(130)의 이송경로, 이송속도, 이송주기 등의 제어가 가능하도록 설정됨으로써, 기판(S)상에 최종 인쇄되는 그리드형의 라인의 밀도, 형상 등을 조절할 수도 있다.The controller 140 is configured to control the conveying path, the conveying speed, and the conveying period of the multi-nozzle unit 130 so that the density, shape, and the like of the grid-shaped line finally printed on the substrate S It can also be adjusted.

상기 건조부(150)는 상술한 고정노즐부(120)와 멀티노즐부(130)로부터 기판상에 분사된 전극액을 건조시키기 위한 부재로서, 기판의 상측에 기판이송방향(D)을 따라 멀티노즐부(130)로부터 이격되게 배치된다.
The drying unit 150 is a member for drying the electrode solution sprayed on the substrate from the fixed nozzle unit 120 and the multi nozzle unit 130. The drying unit 150 includes a multi- And is arranged to be spaced apart from the nozzle unit 130.

지금부터는 상술한 이송형 멀티노즐 시스템(100)의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the first embodiment of the transfer type multi-nozzle system 100 will be described.

먼저, 기판이송부(110)에 의하여 기판(S)이 이송됨으로써 고정노즐부(120)의 하측을 지나치게 된다. 이때, 고정노즐부(120)의 복수개의 노즐(122)로부터 전극액이 연속적으로 토출되고, 이로 인하여 이송중인 기판(S)의 상측에는 노즐과 동일한 갯수의 라인이 패터닝된다.First, the substrate S is conveyed by the transfer unit 110, so that the substrate S passes over the lower side of the fixed nozzle unit 120. At this time, the electrode liquid is continuously discharged from the plurality of nozzles 122 of the fixed nozzle unit 120, whereby the same number of lines as the nozzles are patterned on the upper side of the substrate S being transported.

이때, 고정노즐부(120)에서 분사되는 전극액으로 인하여 생성되는 기판(S) 상의 라인을 제1라인(L1)이라 정의한다.A line on the substrate S generated by the electrode solution injected from the fixed nozzle unit 120 is defined as a first line L 1 .

한편, 상술한 과정에서 기판(S)이 지속적으로 이송되어 멀티노즐부(130)의 하측을 지나치게 되면, 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 왕복 이송되는 멀티노즐부(130)의 다수개의 노즐(132)로부터 토출되는 전극액은 하방에서 연속적으로 지나가는 기판(S)에 사선형태의 라인을 형성한다. 즉, 멀티노즐부(130)를 사선으로 이송시키지 않고, 단순 직선왕복 이송만으로도 직선이송되는 기판(S)과의 사이에서 상대속도가 발생하므로 기판(S)에 사선형태의 라인이 생성된다.When the substrate S is continuously fed and passes under the multi-nozzle unit 130 in the above-described process, a plurality of multi-nozzle units 130 reciprocated along the direction perpendicular to the substrate feeding direction D The electrode liquid discharged from the nozzles 132 of the plurality of nozzles 132 forms an oblique line on the substrate S passing continuously from below. That is, since the relative speed is generated between the multi-nozzle unit 130 and the substrate S to be linearly transported by merely performing a simple linear reciprocation transfer without forming the multi-nozzle unit 130 in a diagonal line, a slant line is generated in the substrate S.

이때, 멀티노즐부(130)에서 분사되는 전극액으로 인하여 생성되는 기판(S) 상의 라인을 제2라인(L2)이라 한다.At this time, a line on the substrate S generated by the electrode liquid injected from the multi-nozzle unit 130 is referred to as a second line L 2 .

따라서, 제2라인(L2)은 복수개의 제1라인(L1)을 가로지르는 형태의 사선으로 인쇄되며, 제1라인(L1)과 제2라인(L2)은 상호 엇갈리는 그리드 형상을 형성하게 된다.Accordingly, the second line L 2 is printed in a diagonal line intersecting the plurality of first lines L 1 , and the first line L 1 and the second line L 2 are alternately interlaced, Respectively.

한편, 제어부(140)를 통하여 멀티노즐부(130)의 이송속도, 이송경로, 이송주기를 제어함으로써, 기판에 인쇄되는 라인의 밀도, 형상을 제어할 수 있다. 즉, 예를들면, 제어부(140)가 멀티노즐부(130)의 이송속도를 빠르게 함으로써 제2라인(L2)간의 간격은 줄어들고 더욱 밀집된 형태의 그리드형 라인이 기판(S)상에 인쇄될 수도 있다.
On the other hand, the density and shape of the lines printed on the substrate can be controlled by controlling the feed speed, feed path, and feed cycle of the multi-nozzle unit 130 through the control unit 140. That is, for example, when the control unit 140 increases the feeding speed of the multi-nozzle unit 130, the interval between the second lines L 2 is reduced, and the more densely grid-like lines are printed on the substrate S It is possible.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(200)에 대하여 설명한다.Next, a transfer type multi-nozzle system 200 according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템을 개략적으로 도시한 것이고, 도 5은 도 4의 이송형 멀티노즐 시스템의 개략적인 작동도이다.Figure 4 schematically illustrates a transferring multi-nozzle system according to a second embodiment of the present invention, and Figure 5 is a schematic operation diagram of the transferring multi-nozzle system of Figure 4;

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(200)은 기판이송부(110)와 멀티노즐부(220)와 제어부(140)와 건조부(150)를 포함한다.4 and 5, a transfer type multi-nozzle system 200 according to a second embodiment of the present invention includes a substrate transfer unit 110, a multi-nozzle unit 220, a controller 140, a drying unit 150 ).

상기 기판이송부(110)와 제어부(140)와 건조부(150)는 상술한 제1실시예의 이송형 멀티노즐 시스템(100)과 동일한 구성이므로 중복설명은 생략한다.The substrate transferring unit 110, the control unit 140, and the drying unit 150 have the same configuration as the transferring type multi-nozzle system 100 of the first embodiment described above, and thus the duplicated description will be omitted.

본 실시예에서는 위치가 고정된 고정노즐부 대신, 왕복이송하는 한 쌍의 멀티노즐부(220)가 마련된다.In the present embodiment, a pair of multi-nozzle units 220 to be reciprocated are provided instead of the stationary nozzle units having fixed positions.

즉, 본 실시예에서의 멀티노즐부(220)는 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)를 포함한다.That is, the multi-nozzle unit 220 in the present embodiment includes a first multi-nozzle unit 221 and a second multi-nozzle unit 224.

상기 제1멀티노즐부(221)는 챔버부(222)와 복수개의 노즐(223)을 포함하며, 상기 챔버부(222)는 기판이송방향(D)을 따라서 길게 마련되되, 복수개의 노즐(223)이 챔버부(222)의 하면에 나란히 배열된다.The first multi-nozzle unit 221 includes a chamber unit 222 and a plurality of nozzles 223. The chamber unit 222 is long along the substrate transfer direction D and includes a plurality of nozzles 223 Are arranged side by side on the lower surface of the chamber part 222. [

상기 제2멀티노즐부(224)는 챔버부(225)와 복수개의 노즐(226)을 포함하며, 상기 챔버부(225)는 기판이송방향(D)을 따라서 길게 마련되되, 복수개의 노즐(226)이 챔버부(225)의 하면에 나란히 배열된다. 한편, 제2멀티노즐부(224)는 제1멀티노즐부(221)로부터 기판이송방향(D)을 따라서 소정간격 이격된 위치에 마련된다. The second multi-nozzle unit 224 includes a chamber unit 225 and a plurality of nozzles 226. The chamber unit 225 is provided along the substrate transfer direction D and includes a plurality of nozzles 226 ) Are arranged side by side on the lower surface of the chamber part 225. On the other hand, the second multi-nozzle unit 224 is provided at a position spaced apart from the first multi-nozzle unit 221 along the substrate transfer direction D by a predetermined distance.

한편, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)는 기판(S) 중심을 기준으로 양쪽에 상호 대응되는 위치에 배치된다. 즉, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)는 기판(S)의 길이방향으로는 상호 이격된 위치에 배치되고, 기판(S)의 중심을 기준으로 폭방향으로는 상호 마주보는 위치에 대향되게 배치된다.On the other hand, the first multi-nozzle unit 221 and the second multi-nozzle unit 224 are disposed at mutually corresponding positions on the basis of the center of the substrate S. In other words, the first multi-nozzle unit 221 and the second multi-nozzle unit 224 are disposed at mutually spaced positions in the longitudinal direction of the substrate S, and in the width direction with respect to the center of the substrate S Facing each other.

상기 제어부(140)는 멀티노즐부(220)를 제어하여 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 소정구간 내를 왕복이송되도록 하는 부재이다. 상술한 바와 같이, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)는 기판(S)의 길이방향으로 이격되게 배치되므로, 각각의 왕복이송경로는 서로 중복되지 않는다.The controller 140 controls the multi-nozzle unit 220 to reciprocate within a predetermined section along a direction perpendicular to the substrate transfer direction D. As described above, since the first multi-nozzle unit 221 and the second multi-nozzle unit 224 are disposed so as to be spaced apart in the longitudinal direction of the substrate S, the respective reciprocating transport paths do not overlap each other.

또한, 제어부(140)는 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)의 이송을 제어하여, 기판(S)의 중심을 기준으로 각각의 폭방향 위치가 상호 대칭이 되도록 한다.The control unit 140 controls the transfer of the first multi-nozzle unit 221 and the second multi-nozzle unit 224 so that the widthwise positions of the substrates S are symmetrical with respect to the center of the substrate S .

본 발명의 제2실시에에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(200)의 작동에 대하여 설명하면, 기판(S)이 이송됨으로써 제1멀티노즐부(221)의 하측을 지나가면서, 소정의 제1이송경로(P1)를 따라서 왕복이송되는 제1멀티노즐부(221)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S) 상에는 복수개의 사선형의 라인이 형성된다. The operation of the transfer type multi-nozzle system 200 according to the second embodiment of the present invention will now be described. As the substrate S is fed, it passes under the first multi-nozzle unit 221, A plurality of lines are formed on the substrate S by the electrode liquid sprayed from the first multi-nozzle unit 221 reciprocated along the path P 1 .

제1멀티노즐부(221)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에 형성되는 라인을 제1라인(L1)이라 정의한다. 반복되는 왕복이송으로 인하여 후행(後行)하는 이송으로 인한 제1라인(L1)이 선행(先行)한 이송시에 형성되는 제1라인(L1) 일부와 엇갈리는 형태로 구성되며, 제1멀티노즐부(221)만으로부터 분사되는 전극액만을 이용하여 기판(S)의 일부영역에는 그리드 형상의 라인이 형성된다.A line formed on the substrate S by the electrode liquid ejected from the first multi-nozzle unit 221 is defined as a first line L 1 . Due to the repeated round-trip transfer is caused by the transfer of the trailing (後行) a first line (L 1) is the preceding (先行) a first line (L 1) being formed at the time of the transfer consists of a part with alternating form, a first Grid-shaped lines are formed in a part of the substrate S using only the electrode liquid injected from only the multi-nozzle portion 221.

한편, 기판(S)이 제1멀티노즐부(221)를 지나쳐, 제2멀티노즐부(224)의 하측을 지나면서, 소정의 제2이송경로(P2)를 따라서 왕복이송되는 제2멀티노즐부(224)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에는 사선형의 제2라인(L2)이 형성된다.On the other hand, when the substrate S passes over the first multi-nozzle portion 221, passes under the second multi-nozzle portion 224, and is conveyed backward along the second predetermined feeding path P 2 , The second line L 2 is formed in the substrate S by the electrode solution injected from the nozzle portion 224. [

이때, 제1멀티노즐부(221)가 좌측에서 우측의 방향을 따르는 이송경로로 이송되는 경우에, 제2멀티노즐부(224)는 우측에서 좌측의 방향을 따르는 이송경로로 이송되는 것이 바람직하다. 즉, 이에 의하면, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224) 각각의 이송경로의 기판(S)의 폭방향 성분은 서로 반대방향이 된다.At this time, when the first multi-nozzle unit 221 is conveyed to the conveyance path along the right-to-left direction, the second multi-nozzle unit 224 is preferably conveyed to the conveyance path along the right-to-left direction . That is, according to this, the width direction components of the substrate S in the transport path of the first multi-nozzle unit 221 and the second multi-nozzle unit 224 are opposite to each other.

또한, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)는 기판(S)의 길이방향을 따라서 소정간격 이격된 위치에서 왕복 이송되므로, 제1이송경로(P1)와 제2이송경로(P2)는 서로 중첩되지 않는다.Since the first multi-nozzle unit 221 and the second multi-nozzle unit 224 are reciprocally transported at a position spaced apart from each other by a predetermined distance along the longitudinal direction of the substrate S, the first transport path P 1 and the second transport path P 2 The transfer paths P 2 do not overlap with each other.

상술한 제2멀티노즐부(224)의 이송에 의하여 기판(S)상에 제2라인(L2)이 인쇄됨으로써, 제1멀티노즐부(221)에 의하여 그리드 형태가 아닌 단일의 라인이 인쇄된 영역 및 라인 자체가 인쇄되지 않은 영역 상에는 그리드형 라인이 형성된다. 최종적으로, 멀티노즐부(220)에 의하여 인쇄가 완료된 기판(S)은 건조부(150)에 의하여 건조된다. The second line L 2 is printed on the substrate S by the transfer of the second multi-nozzle unit 224 described above so that a single line which is not in a grid form by the first multi-nozzle unit 221 is printed A grid-like line is formed on an area where the printed area and the area on which the line itself is not printed. Finally, the substrate S having been printed by the multi-nozzle unit 220 is dried by the drying unit 150.

따라서, 본 실시예에 의하면, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)의 왕복이송을 통하여 소외되는 영역 없이 기판(S)의 전면(全面)에 그리드 형상의 라인을 인쇄할 수 있다.Thus, according to the present embodiment, a grid-shaped line is printed on the entire surface of the substrate S without exclusion areas through the reciprocal transfer of the first multi-nozzle unit 221 and the second multi-nozzle unit 224 can do.

한편, 본 실시예에서 제어부(140)를 이용하여 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)의 이송속도, 이송주기, 이송경로 등을 제어함으로써, 기판(S) 상에 형성되는 그리드 형상의 밀도를 제어할 수 있다.
On the other hand, in the present embodiment, by controlling the feed speed, feed cycle, feed path, etc. of the first multi-nozzle unit 221 and the second multi-nozzle unit 224 using the control unit 140, The density of the formed grid shape can be controlled.

다음으로 본 발명의 이송형 멀티노즐 시스템을 이용한 투명전극 제조방법에 대하여 설명한다.Next, a method of manufacturing a transparent electrode using the transfer type multi-nozzle system of the present invention will be described.

상기 투명전극 제조방법은 상술한 제1실시예 및 제2실시예의 이송형 멀티노즐 시스템(100, 200)을 이용하여 기판 상에 전극액을 분사함으로써 그리드형 라인을 미세한 선폭으로 인쇄한다.The transparent electrode manufacturing method prints the grid-shaped line with a fine line width by spraying an electrode solution onto a substrate using the transfer type multi-nozzle system 100, 200 of the first and second embodiments.

그리고 나서, 인쇄된 그리드형 전극액을 포함하여 기판에는 광투과율이 우수한 광투과층이 도포됨으로써 투명전극이 형성된다.Then, a transparent electrode is formed by applying a light-transmitting layer having excellent light transmittance to the substrate including the printed grid-like electrode solution.

즉, 상술한 방법, 특히, EHD 방식을 채용한 이송형 멀티노즐 시스템에 의하여 제작되는 투명전극은 전극액을 20μm 이하 미세한 선폭의 그리드형으로 인쇄되며, 미세한 선폭으로 인쇄되는 그리드형 전극액으로 인하여 우수한 광투과율(transparency) 및 전기적 전도성을 가지는 투명전극을 제작할 수 있다.That is, in the transparent electrode manufactured by the above-described method, in particular, the transfer type multi-nozzle system employing the EHD method, the electrode solution is printed in a grid pattern of a fine line width of 20 μm or less, A transparent electrode having excellent light transmittance and electrical conductivity can be produced.

또한, 미세한 선폭으로 인쇄되는 그리드형 전극액의 투명전극이 태양전지를 구성하는 경우에 있어서, 광투과의 억제를 최소화하여 집광율의 향상시키는 동시에 태양전지의 광효율을 향상시킬 수 있다.
In addition, when the transparent electrode of the grid-like electrode solution printed with a fine line width constitutes a solar cell, it is possible to minimize the suppression of light transmission, thereby improving the light collection efficiency and improving the light efficiency of the solar cell.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

110 : 기판이송부 140 : 제어부
120 : 고정노즐부 150 : 건조부
130 : 멀티노즐부110: substrate transferring unit 140:
120: fixed nozzle unit 150: drying unit
130: Multi-nozzle unit

Claims (9)

기판이송방향을 따라서 이송되는 기판에 전극액을 분사하는 시스템에 있어서,
상기 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 장착되되, 상기 기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되는 멀티노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.A system for spraying an electrode liquid onto a substrate to be transferred along a substrate transfer direction,
And a plurality of nozzles for spraying the electrode solution, the multi-nozzle unit being reciprocally transported along a direction different from the substrate transport direction. 제1항에 있어서,
상기 멀티노즐부는 상기 기판이송방향에 수직인 방향을 따라서 왕복이송되는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the multi-nozzle unit is reciprocated along a direction perpendicular to the substrate transfer direction. 제2항에 있어서,
전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열되되, 고정된 위치에서 전극액을 분사하는 고정노즐부를 더 포함하고,
상기 멀티노즐부에 구비되는 복수개의 노즐은 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열되는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.3. The method of claim 2,
Further comprising a plurality of nozzles for spraying the electrode solution, the fixed nozzles being arranged along the vertical direction of the substrate transfer direction, and spraying the electrode solution at a fixed position,
Wherein the plurality of nozzles provided in the multi-nozzle unit are arranged along a direction perpendicular to the substrate transport direction. 제2항에 있어서,
상기 멀티노즐부는 복수개가 서로 다른 이송경로를 따라서 왕복 이송되되, 상기 복수개의 멀티노즐부 각각의 이송경로는 중복되지 않도록 설정되는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.3. The method of claim 2,
Wherein the multi-nozzle unit is reciprocally transported along a plurality of different transport paths, and the transport paths of the plurality of multi-nozzle units are set so as not to overlap each other. 제4항에 있어서,
상기 복수개의 멀티노즐부는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향을 따라서 나란히 배열되되,
상기 기판이송방향에 수직한 방향을 따라서 왕복 이송되는 제1멀티노즐부; 상기 제1멀티노즐부의 이송방향과 반대방향을 따라서 왕복 이송되는 제2멀티노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.5. The method of claim 4,
The plurality of multi-nozzle units may include a plurality of nozzles arranged in parallel along the substrate transport direction,
A first multi-nozzle unit reciprocally moved along a direction perpendicular to the substrate transport direction; And a second multi-nozzle unit reciprocally moved along a direction opposite to a direction of conveyance of the first multi-nozzle unit. 제1항 내지 제5항 중 어느 한에 있어서,
상기 멀티노즐부는 정전기력에 의하여 전극액을 분사하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티 노즐 시스템.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the multi-nozzle unit injects the electrode solution by an electrostatic force. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 멀티노즐부의 이송경로 또는 이송속도 중 어느 하나를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Further comprising a control unit for controlling either the feed path or the feed speed of the multi-nozzle unit. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 이송형 멀티노즐 시스템을 이용하여 전기적 전도성 재질의 전극액을 상기 기판 상에 분사함으로써 그리드형 전극을 인쇄하는 단계;
상기 그리드형 전극이 형성되는 상기 기판의 면에 광투과층을 도포하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제조방법.Printing grid-like electrodes by spraying an electrode solution of an electrically conductive material onto the substrate using the transfer type multi-nozzle system of any one of claims 1 to 5;
And applying a light-transmitting layer to a surface of the substrate on which the grid-shaped electrode is formed. 제8항에 있어서,
상기 인쇄되는 그리드형 전극의 선폭은 20μm 이하인 것을 특징으로 하는 투명전극 제조방법.9. The method of claim 8,
Wherein the line width of the grid-shaped electrode to be printed is 20 占 퐉 or less.
KR1020110059228A 2011-06-17 2011-06-17 Moving type multi-nozzle system and method for making transparent electrode using the same KR101264215B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110059228A KR101264215B1 (en) 2011-06-17 2011-06-17 Moving type multi-nozzle system and method for making transparent electrode using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110059228A KR101264215B1 (en) 2011-06-17 2011-06-17 Moving type multi-nozzle system and method for making transparent electrode using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120139431A true KR20120139431A (en) 2012-12-27
KR101264215B1 KR101264215B1 (en) 2013-05-14

Family

ID=47905913

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110059228A KR101264215B1 (en) 2011-06-17 2011-06-17 Moving type multi-nozzle system and method for making transparent electrode using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101264215B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017119847A1 (en) * 2016-01-04 2017-07-13 Mas Innovation (Private) Limited Apparatus for laying conductive pathways, method of laying conductive pathways and textile product comprising conductive pathways

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110665665B (en) * 2019-10-11 2021-04-20 南京灵雀智能制造有限公司 Mixed liquid spraying equipment of carwash

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017119847A1 (en) * 2016-01-04 2017-07-13 Mas Innovation (Private) Limited Apparatus for laying conductive pathways, method of laying conductive pathways and textile product comprising conductive pathways
US11096275B2 (en) 2016-01-04 2021-08-17 Mas Innovation (Private) Limited Apparatus for laying conductive pathways, method of laying conductive pathways and textile product comprising conductive pathways

Also Published As

Publication number Publication date
KR101264215B1 (en) 2013-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20230226760A1 (en) Micro-nano 3d printing device with multi-nozzles jet deposition driven by electric field of single flat plate electrode
JP6610262B2 (en) Conductive pattern, substrate with conductive pattern, method for manufacturing substrate with conductive pattern, structure having conductive pattern on surface, and method for manufacturing the structure
US20150207018A1 (en) Apparatus and Method for Manufacturing of Thin Film Type Solar Cell
JP2010538477A (en) Aerosol jet printing system for photovoltaic applications
WO2011018594A4 (en) Capacitive touch panels
JP2014504422A (en) Printing method for use in the manufacture of electronic units
CN104294220B (en) A kind of evaporation coating device and evaporation coating method
KR101264215B1 (en) Moving type multi-nozzle system and method for making transparent electrode using the same
JP2012066176A (en) Substrate treatment apparatus
CN101432080A (en) Printing apparatus
US7608304B2 (en) Substrate carrying method and substrate carrying apparatus
KR102170611B1 (en) Method of manufacturing wiring board and inkjet applying apparatus used for same
CN101545132A (en) Method for electrolytically etching pictures and text on metal plate and device thereof
JP2012066177A (en) Substrate treatment apparatus
CN109195801B (en) Apparatus and method for screen printing substrate, and solar cell production apparatus
CN104786630A (en) Gravure plate, and manufacturing method and application of gravure plate
JP6779729B2 (en) Thin film manufacturing method and organic EL device manufacturing method
WO2014081051A1 (en) Movable multi-nozzle system, and method for manufacturing transparent electrode using same
CN102582261A (en) Manufacturing method of inkjet head and electrode
KR101442672B1 (en) Spray nozzle system using mask and method for fabricating touch screen for the same
KR101309959B1 (en) System for making transparent electrode and method for making tranparent electrode
JP4313564B2 (en) Non-fixed side substrate manufacturing method of organic EL display panel and non-fixed side substrate manufacturing apparatus of organic EL display panel
US20230026863A1 (en) A touch panel, and a method and apparatus for manufacturing such a touch panel
KR101298087B1 (en) Masking device of aerosol jet printer
KR101298127B1 (en) Head of aerosol jet printer

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160425

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180504

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190425

Year of fee payment: 7