KR20120122877A - 아이솔레이터 - Google Patents

Abstract

<과제> 제염대상실 내 및 흡기필터의 제염처리의 효율을 향상시킨다.
<해결수단> 흡기필터를 구비한 흡기구 및 배기필터를 구비한 배기구를 가지는 제염대상실과, 흡기필터를 통하여 제염대상실 내에 외기를 흡기하는 제1 유로와, 배기필터를 통하여 제염대상실 내의 기체를 배기하는 제2 유로와, 제1 유로를 통하여 제염대상실 내에 외기를 흡기함과 아울러, 제2 유로를 통하여 제염대상실 내의 기체를 배기하는 기류를 발생시키는 제1 송풍기와, 흡기필터 및 배기필터를 통하지 않고 제염대상실 내에 제염가스를 공급하는 제염가스 공급부와, 제염대상 실외에서 흡기필터와 배기필터를 접속하는 제3 유로와, 제염대상실 내에 제염가스가 공급되는 경우에, 흡기필터, 배기필터 및 제3 유로를 통하여 제염대상실 내의 기체를 순환시키는 기류를 발생시키는 제2 송풍기를 가진다.

Description

아이솔레이터 {ISOLATOR}

본 발명은 아이솔레이터에 관한 것이다.

예를 들면 세포배양 등의 생체유래재료(生體由來材料)를 취급하는 작업에 이용되는 아이솔레이터에서는, 작업에 필요한 물질 이외의 혼입을 방지하기 위해, 작업실 내나 작업에 필요한 물품을 반입하기 위한 패스박스(pass box) 내 등을 한없이 무진(無塵)?무균에 가까운 환경(이하, 무균환경이라고 칭함)으로 할 필요가 있다. 이하에서는, 무균환경을 실현하기 위해서 미생물 등을 살멸(殺滅)하는 처리를 제염(除染)이라고 칭하는 것으로 하고, 당해 제염처리는, 이른바 살균, 멸균, 제균 등의 처리를 포함하는 것으로 한다.

예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있는 살균액 기화장치에서는, 제염처리에 이용하는 제염물질로서 과산화수소를 이용하여, 가열된 압축에어와 과산화수소수를 분무기로 혼합하여 무화시키는 것에 의해서 과산화수소 가스를 생성하고 있다.

이와 같이 하여, 제염물질을 포함하는 과산화수소 가스 등의 제염가스를 생성하여, 작업실이나 패스박스 등의 제염대상실 내에 공급하여, 제염처리를 행할 수 있다.

[특허문헌 1] 일본국 특개2003-339829호 공보

아이솔레이터의 작업실이나 패스박스의 흡배기구에는 흡배기되는 기체에 포함되는 진애(塵埃) 등의 불순물을 제거하기 위해, HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터나 ULPA(Ultra Low Penetration Air) 필터 등의 에어필터가 마련되어 있다. 그렇지만, 이용되는 제염가스 및 에어필터의 조합에 의해서는, 예를 들면, 제염가스로서 과산화수소 가스를 이용하고, 에어필터로서 HEPA 필터를 이용한 경우와 같이, 에어필터가 제염가스를 흡착시키기 쉬운 성질을 가지고 있는 경우가 있다.

이 때문에, 작업실이나 패스박스의 흡기구로부터 제염가스를 공급한 경우, 에어필터에 제염가스가 흡착해 버려, 작업실이나 패스박스의 제염에는 흡착량을 예상한 필요량 이상의 제염가스를 공급할 필요가 있어 비효율적이었다. 한편, 작업실이나 패스박스에 에어필터를 통하지 않고 제염가스를 공급한 경우, 흡기구의 에어필터(흡기필터)를 충분히 제염할 수 없다.

상술한 과제를 해결하는 주된 본 발명은, 흡기필터를 구비한 흡기구 및 배기필터를 구비한 배기구를 가지는 제염대상실과, 상기 흡기필터를 통하여 상기 제염대상실 내에 외기를 흡기하는 제1 유로와, 상기 배기필터를 통하여 상기 제염대상실 내의 기체를 배기하는 제2 유로와, 상기 제1 유로를 통하여 상기 제염대상실 내에 외기를 흡기함과 아울러, 상기 제2 유로를 통하여 상기 제염대상실 내의 기체를 배기하는 기류를 발생시키는 제1 송풍기와, 상기 흡기필터 및 상기 배기필터를 통하지 않고 상기 제염대상실 내에 제염가스를 공급하는 제염가스 공급부와, 상기 제염대상 실외에서 상기 흡기필터와 상기 배기필터를 접속하는 제3 유로와, 상기 제염대상실 내에 상기 제염가스가 공급되는 경우에, 상기 흡기필터, 상기 배기필터 및 상기 제3 유로를 통하여 상기 제염대상실 내의 기체를 순환시키는 기류를 발생시키는 제2 송풍기를 가지는 것을 특징으로 하는 아이솔레이터이다.

본 발명의 다른 특징에 대해서는, 첨부 도면 및 본 명세서의 기재에 의해 명확하게 된다.

본 발명에 의하면, 제염대상실 내 및 흡기필터의 제염처리의 효율을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에서의 아이솔레이터의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 2는 리크(leak) 테스트모드에서의 각 밸브, 각 송풍기, 압축기(Cm) 및 펌프(Pm)의 상태를 나타내는 블럭도이다.
도 3은 제염가스 발생모드에서의 각 밸브, 각 송풍기, 압축기(Cm) 및 펌프(Pm)의 상태를 나타내는 블럭도이다.
도 4는 제염가스 발생모드 및 제염가스 폭로모드에서의 밸브(V4)의 제어를 설명하는 도면이다.
도 5는 제염가스 폭로(曝露) 모드에서의 각 밸브, 각 송풍기, 압축기(Cm), 및 펌프(Pm)의 상태를 나타내는 블럭도이다.
도 6은 제염가스 배기모드 및 무균운전모드에서의 각 밸브, 각 송풍기, 압축기(Cm) 및 펌프(Pm)의 상태를 나타내는 블럭도이다.
도 7은 아이솔레이터의 다른 구성예를 나타내는 블럭도이다.
도 8은 도 7에 나타낸 아이솔레이터에서, 제염가스 발생모드에서의 각 밸브, 각 송풍기, 압축기(Cm) 및 펌프(Pm)의 상태를 나타내는 블럭도이다.
도 9는 아이솔레이터의 또 다른 구성예를 나타내는 블럭도이다.
도 10은 도 9에 나타낸 아이솔레이터에 있어서, 제염가스 발생모드에서의 각 밸브, 각 송풍기, 압축기(Cm) 및 펌프(Pm)의 상태를 나타내는 블록도이다.

본 명세서 및 첨부 도면의 기재에 의해, 적어도 다음과 같은 사항이 명확하게 된다.

===아이솔레이터의 구성===

이하, 도 1을 참조하여, 본 발명의 일실시형태에서의 아이솔레이터의 구성에 대해서 설명한다. 또한, 본 실시형태에서는, 제염처리에 이용하는 제염물질의 일례로서 과산화수소를 이용하고, 소정 농도의 과산화수소 가스를 제염대상이 되는 공간에 일정시간 폭로시킴으로써 제염효과를 얻는 것으로 한다.

도 1에 나타내고 있는 아이솔레이터는, 무균환경에서 작업을 행하기 위한 작업실(4)을 제염대상실로 하고, 제어부(1a), 조작부(2a) 및 제염가스 공급부(3a)를 포함하여 구성되어 있다. 또, 작업실(4)은 (흡기)필터(F1)를 구비한 흡기구 및 (배기)필터(F2)를 구비한 배기구를 가지고, 이들 흡배기구에는 파이프나 튜브 등으로 구성되는 유로(P1 내지 P4)가 마련되어 있다. 또한, 작업실(4) 내에는 당해 작업실(4)의 내압(IP1)을 측정하는 압력센서(41)가 마련되어 있다. 또한, 필터(F1 및 F2)는 흡배기되는 기체에 포함되는 진애 등의 불순물을 제거하기 위한 에어필터이며, 예를 들면 HEPA 필터 등이 이용된다.

(제1)유로(P1)는 필터(F1)를 통하여 작업실(4) 내에 외기를 흡기하기 위한 유로이며, 유로(P1)상에는 촉매(C1), 송풍기(블로워/팬)(B1) 및 (제1)밸브(V1)가 마련되어 있다. 또, 송풍기(B1)는, 예를 들면 원심식 다익팬이며, 제어신호(Sb1)에 따라서, 유로(P1)를 통하여 작업실(4) 내에 외기를 흡기하는 기류를 발생시킨다. 그리고, 당해 기류에 의해서, 촉매(C1)를 통하여 외기가 유입하며, 또한 필터(F1)를 통하여 작업실(4) 내에 공급된다. 또한, 밸브(V1)는 송풍기(B1)와 필터(F1)와의 사이에 마련되고, 제어신호(Sv1)에 따라서 유로(P1)를 개폐한다.

(제2)유로(P2)는 필터(F2)를 통하여 작업실(4) 내의 기체를 배기하기 위한 유로이며, 유로(P2)상에는 송풍기(B2), 촉매(C2) 및 (제2)밸브(V2)가 마련되어 있다. 또, 송풍기(B2)는, 예를 들면 원심식 다익팬이며, 제어신호(Sb2)에 따라서 유로(P2)를 통하여 작업실(4) 내의 기체를 배기하는 기류를 발생시킨다. 그리고, 당해 기류에 의해서, 필터(F2)를 통하여 작업실(4) 내의 기체가 유출하고, 또한 촉매(C2)를 통하여 과산화수소(제염물질)가 분해/무해화된 다음 외부로 배출된다. 또한, 본 실시형태에서는, 송풍기(B1 및 B2)는 합쳐서 흡배기를 위한 제1 송풍기에 상당하며, 촉매(C2)는 제염물질을 저감하여 무해화하는 무해화부에 상당한다. 또, 밸브(V2)는 촉매(C2)와 필터(F2)와의 사이에 마련되며, 제어신호(Sv2)에 따라서 유로(P2)를 개폐한다.

(제3)유로(P3)는 작업실(4) 밖에서 필터(F1)와 필터(F2)를 접속하고 있고, 유로(P3)상에는 (제2) 송풍기(B3) 및 (제3)밸브(V3)가 마련되어 있다. 또, 송풍기(B3)는, 예를 들면 축류식 팬이며, 제어신호(Sb3)에 따라서, 후술하는 제염가스 발생모드 및 제염가스 폭로모드에서 필터(F1, F2) 및 유로(P3)를 통하여 작업실(4) 내의 기체를 순환시키는 기류를 발생시킨다. 그리고, 당해 기류에 의해서, 필터(F1 또는 F2) 중 한쪽의 필터를 통하여 작업실(4) 내의 기체가 유출하고, 유로(P3)를 경유한 다음, 다른 쪽의 필터를 통하여 작업실(4) 내에 다시 공급된다. 또한, 밸브(V3)는 제어신호(Sv3)에 따라서 유로(P3)를 개폐한다.

(제4)유로(P4)는 후술하는 제염가스 발생모드 및 제염가스 폭로모드에서 필터(F2)를 통하여 작업실(4) 내의 기체를 배기하기 위한, 유로(P2)와는 별개의 유로이며, 일반적으로, 유로(P1 및 P2)보다 유량이 적다. 또, 유로(P4)의 일단은 유로(P2) 중 촉매(C2)와 밸브(V2)와의 사이에 접속되고, 타단은 필터(F2)에 접속되며, 유로(P4)상에는 (제4)밸브(V4)가 마련되어 있다. 또한, 밸브(V4)는 제어신호(Sv4)에 따라서 유로(P4)를 개폐한다.

제염가스 공급부(3a)는 탱크(31), 보틀(32), 수위센서(33), 분무기(34) 및 필터(F32)를 포함하여 구성되며, 또한, 파이프나 튜브 등으로 구성되는 유로(P31 내지 P33)가 이들을 접속하도록 마련되어 있다.

유로(P31)는 탱크(31)와 보틀(32)과의 사이를 접속하고, 유로(P31)상에는 펌프(Pm) 및 필터(F31)가 마련되어 있다. 또, 펌프(Pm)는 가능한 한 무진?무균으로 송액(送液)하기 위해, 예를 들면 페리스탈틱(peristaltic) 방식의 것이 이용되며, 제어신호(Spm)에 따라서 탱크(31)에 저장된 과산화수소수(제염물질의 수용액)를 취입한다. 그리고, 취입된 과산화수소수는 진애 등의 불순물을 제거하기 위한 (여과)필터(F31)를 통하여 분무기(34) 측으로 송액된다.

또한, 보틀(32)은 (에어)필터(F32)를 통하여 외기로 개방되어 있으며, 분무기(34)의 노즐로부터 과산화수소 가스(제염가스)로서 분사되지 않았던 과산화수소수를 회수하기 위한 버퍼로서 기능한다. 또, 보틀(32)에는 회수된 과산화수소수의 수위(WL1)를 측정하는 수위센서(33)가 마련되어 있다.

유로(P32)의 일단은 유로(P31) 중 필터(F31)와 보틀(32)과의 사이에 접속되고, 타단은 분무기(34)의 하측의 포트에 접속되며, 유로(P32)상에는 밸브(V31)가 마련되어 있다. 또한, 밸브(V31)는 제어신호(Sv31)에 따라서 유로(P32)를 개폐한다.

유로(P33)는 분무기(34)에 압축에어(압축기체)를 공급하기 위한 유로이며, 유로(P33)상에는 압축기(콤프레셔)(Cm), 필터(F33) 및 밸브(V32)가 마련되어 있다. 또, 압축기(Cm)는 제어신호(Scm)에 따라서, 외기를 취입하여 압축하고, 당해 압축에어는 진애나 수분 등의 불순물을 제거하기 위한 (에어)필터(F33)를 통하여 분무기(34)의 상측의 포트에 공급된다. 또한, 밸브(V32)는 필터(F33)와 분무기(34)의 상측의 포트와의 사이에 마련되며, 제어신호(Sv32)에 따라서 유로(P33)를 개폐한다.

조작부(2a)로부터 제어부(1a)에는 모드선택신호(SLm)가 입력되고, 제어부(1a)는 모드선택신호(SLm)에 따라서, 후술하는 운전모드를 전환한다. 또, 제어부(1a)는, 당해 운전모드 외에, 내압(IP1) 및 수위(WL1)에 근거하여, 각 밸브, 각 송풍기, 압축기(Cm) 및 펌프(Pm)를 제어하기 위한 제어신호(Sv1 내지 Sv3, Sv31, Sv32, Sb1 내지 Sb3, Scm 및 Spm)를 출력한다.

===아이솔레이터의 동작===

이하, 도 2 내지 도 6을 적절히 참조하여, 본 실시형태에서의 아이솔레이터의 동작에 대해서 설명한다.

본 실시형태의 아이솔레이터의 운전모드는 모드선택신호(SLm)에 따라서 전환되고, 작업실(4)(제염대상실)을 제염하기 위한 제염운전모드(SLm = 1 내지 4)와, 제염되어 무균환경이 된 작업실(4) 내에서 작업을 행하기 위한 무균운전모드(SLm = 5)로 크게 나눌 수 있다. 또, 제염운전모드는 리크 테스트모드(SLm = 1), 제염가스 발생모드(SLm = 2), 제염가스 폭로모드(SLm = 3) 및 제염가스 배기모드(SLm = 4)로 이루어진다.

제염운전모드에서는, 우선, 리크 테스트모드에서 작업실(4)의 기밀성을 검사한다. 당해 리크 테스트모드에서는, 제어부(1a)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 송풍기(B1 내지 B3) 및 펌프(Pm)를 정지하고, 밸브(V1, V2, V4 및 V31)를 닫은 상태에서, 압축기(Cm)를 구동함과 아울러 밸브(V32)를 열고, 또한 밸브(V3)를 연다. 그리고, 당해 제어에 의해서, 제염가스 공급부(3a)의 분무기(34)는 상측의 포트에 공급된 압축에어만을 노즐로부터 작업실(4) 내에 공급하여, 작업실(4) 내를 가압한다.

이와 같이 작업실(4) 내를 가압한 상태에서, 제어부(1a)는 압력센서(41)에 의해서 측정되는 작업실(4)의 내압(IP1)에 근거하여, 작업실(4)의 기밀성을 판정한다. 예를 들면, 제어부(1a)는 소정 시간 경과 후의 내압(IP1)의 저하량이 소정의 압력 이하인 경우에, 작업실(4)의 기밀성이 양호하다라고 판정한다. 또한, 본 실시형태의 아이솔레이터에서는 리크 테스트모드에서 작업실(4)뿐만이 아니라, 유로(P3)의 기밀성도 검사할 수 있다.

리크 테스트모드에서 작업실(4)의 기밀성이 양호하다고 판정되면, 다음으로, 제염가스 발생모드에서 작업실(4) 내에 과산화수소 가스를 공급한다. 당해 제염가스 발생모드에서는, 제어부(1a)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 리크 테스트모드일 때의 상태로부터, 펌프(Pm)를 구동함과 아울러 밸브(V31)를 열고, 송풍기(B3)를 구동함과 아울러 밸브(V3)를 열어, 밸브(V4)를 더욱 개폐제어한다.

당해 제어에 의해서, 분무기(34)의 상측의 포트에는 리크 테스트모드일 때와 마찬가지로, 압축에어가 공급된다. 또, 분무기(34)의 노즐로부터 압축에어가 분사됨으로써 부압이 발생하며, 당해 부압에 의해서, 분무기(34)의 하측의 포트에는 펌프(Pm)에 의해서 탱크(31)로부터 분무기(34) 측으로 송액되는 과산화수소수가 공급된다. 그리고, 분무기(34)에서 압축에어와 과산화수소수가 혼합되며, 안개 상태의 과산화수소수로서 분사되어, 즉시 기화하여, 과산화수소 가스로서 공급된다.

이와 같이 하여, 본 실시형태의 아이솔레이터에서는 제염가스 발생모드에서 필터(F1 및 F2)를 통하지 않고, 작업실(4) 내에 과산화수소 가스를 직접 공급한다. 따라서, 과산화수소 가스는 필터(F1이나 F2)에서의 흡착에 의해서 감량(減量)되지 않고 작업실(4) 내로 공급되기 때문에, 작업실(4) 내의 제염처리를 효율적으로 실시할 수 있다.

또한, 제염가스 공급부(3a)는 압축에어의 분사에 의해서 발생하는 부압을 이용함으로써, 가열하거나 초음파를 이용하거나 하지 않고 과산화수소 가스를 생성할 수 있다. 또, 어떠한 장해에 의해서 분무기(34)로의 압축에어의 공급이 정지한 경우에는, 펌프(Pm)에 의해서 송액되는 과산화수소수는 유로지름의 차이에 의한 유로저항의 차이로부터 보틀(32)에서 회수되며, 액체인 채로 작업실(4) 내에 공급되지 않는다. 그리고, 제어부(1a)는 수위센서(33)에 의해서 측정되는 과산화수소수의 수위(WL1)가 소정의 수위 이상이 되면, 펌프(Pm)를 정지하여, 과산화수소수의 송액을 정지한다.

제염가스 발생모드에서는, 제어부(1a)는, 또, 송풍기(B3)에 의해서, 작업실(4) 내의 과산화수소 가스를, 예를 들면 필터(F2)로부터 유로(P3)를 경유하여 필터(F1)의 방향으로 순환시킨다. 또한, 과산화수소 가스를 순환시키는 기류의 방향은 반대 방향이라도 되고, 기류의 방향을 교호로 반전시켜도 된다. 또한, 제어부(1a)는 작업실(4)의 내압(IP1)에 근거하여 밸브(V4)를 개폐제어하고 있다. 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이, 내압(IP1)이 소정의 양압(IPtg)을 넘으면 밸브(V4)를 열고, 내압(IP1)이 소정의 양압(IPtg) 이하가 되면 밸브(V4)를 닫는다.

이와 같이 하여, 본 실시형태의 아이솔레이터에서는, 제염가스 발생모드에 있어서, 작업실(4)의 내압(IP1)을 소정의 양압(IPtg)으로 조정하면서, 필터(F1, F2) 및 유로(P3)를 통하여 작업실(4) 내의 과산화수소 가스를 순환시킨다. 따라서, 배기필터인 작업필터(F2)뿐만이 아니라, 흡기필터인 필터(F1)도 충분히 제염할 수 있다.

제염가스 발생모드에서 작업실(4) 내에 과산화수소 가스를 공급한 후, 제염가스 폭로모드에서 작업실(4) 내를 과산화수소 가스로 폭로한다. 당해 제염가스 폭로모드에서는, 제어부(1a)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제염가스 발생모드일 때의 상태로부터, 펌프(Pm)를 정지함과 아울러 밸브(V31)를 닫는다. 그리고, 당해 제어에 의해서, 제염가스 공급부(3a)는, 리크 테스트모드일 때와 마찬가지로, 압축에어만을 노즐로부터 작업실(4) 내로 공급하며, 또한, 제어부(1a)는 제염가스 발생모드일 때와 마찬가지로, 작업실(4) 내의 과산화수소 가스를 순환시킴과 아울러, 작업실(4)의 내압(IP1)에 근거하여 밸브(V4)를 개폐제어한다. 또한, 밸브(V4)는 밸브(V1이나 V2)에 비해 허용유량이 적어, 그만큼 응답성이 좋기 때문에, 제어부(1a)는 정밀도 좋게 내압(IP1)을 제어할 수 있다.

이와 같이 하여, 본 실시형태의 아이솔레이터에서는, 제염가스 폭로모드에 있어서, 제염가스 발생모드에서 공급된 과산화수소 가스로 작업실(4) 내를 폭로한다. 또, 제염가스 폭로모드에서도, 작업실(4)의 내압(IP1)을 소정의 양압(IPtg)으로 조정하면서, 필터(F1, F2) 및 유로(P3)를 통하여 작업실(4) 내의 과산화수소 가스를 순환시킨다. 따라서, 제염가스 발생모드 후에 제염가스 폭로모드로 이행함으로써, 탱크(31)에 저장된 과산화수소수의 소비를 억제하면서, 작업실(4) 내 및 필터(F1, F2)를 충분히 제염할 수 있다.

제염가스 폭로모드에서 작업실(4) 내를 과산화수소 가스로 충분히 폭로한 후, 제염가스 배기모드에서 작업실(4) 내의 과산화수소 가스를 배기한다. 당해 제염가스 배기모드에서는, 제어부(1a)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제염가스 폭로모드일 때의 상태로부터, 송풍기(B1 및 B2)를 구동함과 아울러 밸브(V1 및 V2)를 열고, 송풍기(B3)를 정지함과 아울러 밸브(V3)를 닫으며. 압축기(Cm)를 정지함과 아울러 밸브(V32)를 닫고, 또한 밸브(V4)를 닫는다.

당해 제어에 의해서, 제염가스 공급부(3a)는 작업실(4) 내로의 압축에어나 과산화수소 가스의 공급을 정지한다. 또, 제어부(1a)는 작업실(4)의 내압(IP1)에 근거하여, 송풍기(B1 및 B2)의 회전수를 제어하며, 제염가스 발생모드일 때 및 제염가스 폭로모드일 때와 마찬가지로, 작업실(4)의 내압(IP1)을 소정의 양압(IPtg)으로 조정한다. 따라서, 유로(P1)를 통하여 작업실(4) 내에 외기가 흡기되고, 유로(P2)를 통하여 작업실(4) 내의 과산화수소 가스가 배기된다. 그리고, 이 운전을 소정 시간 계속함으로써, 작업실(4) 내의 과산화수소 가스는 외부의 신선한 공기로 치환된다.

또한, 본 실시형태의 아이솔레이터에서는, 필터(F2)는 제염가스 배기모드에서도 제염된다. 또, 제염가스 배기모드에서 작업실(4) 내의 과산화수소 가스를 충분히 배기한 후, 무균운전모드로 이행하지만, 당해 무균운전모드일 때의 제어는 제염가스 배기모드일 때와 동일하다.

===아이솔레이터의 다른 구성예===

상기 실시형태에서는 작업실(4)만을 제염대상실로 했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 도 7에 나타내는 바와 같이, 작업실(4)에 더하여, 도어(52)를 통하여 작업에 필요한 물품을 작업실(4)에 반입하기 위한 패스박스(5)를 제염대상실로 하여도 된다. 또한, 작업실(4) 측을 제염하기 위한 구성은, 상기 실시형태의 아이솔레이터와 동일하며, 도 7에서는 분무기(34) 등을 제외하여 생략하고 있다. 이하에서는, 작업실(4) 측을 제염하기 위한 상기 실시형태와 공통하는 구성은 설명을 생략한다.

도 7에 나타내고 있는 아이솔레이터는 제어부(1b), 조작부(2b) 및 제염가스 공급부(3b)를 포함하여 구성되어 있다. 또, 패스박스(5)는 (흡기)필터(F3)를 구비한 흡기구 및 (배기)필터(F4)를 구비한 배기구를 가지며, 이들 흡배기구에는 유로(P5 내지 P8)가 마련되어 있다. 또한, 패스박스(5) 내에는 당해 패스박스(5)의 내압(IP2)을 측정하는 압력센서(51)가 마련되어 있다.

(제1)유로(P5)는 필터(F3)를 통하여 패스박스(5) 내에 외기를 흡기하기 위한 유로이며, 유로(P5)상에는 촉매(C3), (제1)밸브(V5) 및 송풍기(B4)가 마련되어 있다. 한편, (제2)유로(P6)는 필터(F4)를 통하여 패스박스(5) 내의 기체를 배기하기 위한 유로이며, 유로(P6)상에는 촉매(C4) 및 (제2)밸브(V6)가 마련되어 있다. 또, 송풍기(B4)는, 예를 들면 축류식 팬이며, 제어신호(Sb4)에 따라서, 유로(P5)를 통하여 패스박스(5) 내에 외기를 흡기함과 아울러, 유로(P6)를 통하여 패스박스(5) 내의 기체를 배기하는 기류를 발생시킨다. 또한, 패스박스(5)의 용량은 작업실(4)에 비해 작기 때문에, 1개의 송풍기(B4)로 흡배기를 행하고 있다.

그리고, 당해 기류에 의해 촉매(C3)를 통하여 외기가 유입되고, 또한 필터(F3)를 통하여 패스박스(5) 내에 공급되며, 필터(F4)를 통하여 패스박스(5) 내의 기체가 유출되고, 또한 촉매(C4)를 통하여 과산화수소가 분해/무해화된 다음 외부로 배출된다. 또한, 밸브(V5)는 촉매(C3)와 송풍기(B4)와의 사이에 마련되고, 제어신호(Sv5)에 따라서 유로(P5)를 개폐하며, 밸브(V6)는 촉매(C4)와 필터(F4)와의 사이에 마련되고, 제어신호(Sv6)에 따라서 유로(P6)를 개폐한다.

유로(P7)의 일단은 유로(P5) 중 밸브(V5)와 송풍기(B4)와의 사이의 접속점(X)에 접속되고, 타단은 필터(F4)에 접속되며, 유로(P7)상에는 (제3)밸브(V7)가 마련되어 있다. 또한, 밸브(V7)는 제어신호(Sv7)에 따라서 유로(P7)를 개폐한다.

도 7에 나타낸 아이솔레이터에서는, 제1 유로(P5) 중 접속점(X)과 필터(F3)와의 사이의 유로는 유로(P7)와 합쳐서 제3 유로에 상당한다. 또, 당해 제3 유로와 제1 유로(P5)와의 공통의 유로(접속점(X)과 필터(F3)와의 사이의 유로)에 마련된 송풍기(B4)는 흡배기를 위한 제1 송풍기와 순환을 위한 제2 송풍기를 겸하고 있다. 그리고, 송풍기(B4)는, 제염가스 발생모드일 때 및 제염가스 폭로모드일 때에는 제2 송풍기로서 기능하고, 제염가스 배기모드일 때 및 무균운전모드일 때에는 제1 송풍기로서 기능한다.

(제4)유로(P8)는 제염가스 발생모드 및 제염가스 폭로모드에서 필터(F4)를 통하여 패스박스(5) 내의 기체를 배기하기 위한, 유로(P6)와는 별개의 유로이다. 또, 유로(P8)의 일단은 유로(P6) 중 촉매(C4)와 밸브(V6)와의 사이에 접속되며, 타단은 필터(F4)에 접속되고, 유로(P8)상에는 (제4)밸브(V8)가 마련되어 있다. 또한, 밸브(V8)는 제어신호(Sv8)에 따라서 유로(P8)를 개폐한다.

제염가스 공급부(3b)는 탱크(31), 보틀(32, 35), 수위센서(33, 36), 분무기(34, 37) 및 필터(F32, F34)를 포함하여 구성되며, 또한, 유로(P31 내지 P36)가 이들을 접속하도록 마련되고 있다.

유로(P31)는 탱크(31)와 보틀(32 및 35)과의 사이를 접속하고, 유로(P31)상에는 펌프(Pm), 필터(F31) 및 밸브(V35)가 마련되어 있다. 또, 펌프(Pm)는 제어신호(Spm)에 따라서 탱크(31)에 저장된 과산화수소수를 취입하고, (여과)필터(F31)를 통하여 분무기(34 및 37) 측으로 송액한다. 또한, 밸브(V35)는 필터(F31)에 의해서 여과된 과산화수소수를 제어신호(Sv35)에 따라서 분무기(34) 측 또는 분무기(37) 측으로 통과시킨다.

또한, 보틀(32)은 (에어)필터(F32)를 통하여 외기로 개방되어 있고, 보틀(32)에는 과산화수소수의 수위(WL1)를 측정하는 수위센서(33)가 마련되어 있다. 한편, 보틀(35)은 (에어)필터(F34)를 통하여 외기로 개방되어 있으며, 보틀(35)에는, 과산화수소수의 수위(WL2)를 측정하는 수위센서(36)가 마련되어 있다.

유로(P32)의 일단은 유로(P31) 중 밸브(V35)와 보틀(32)과의 사이에 접속되고, 타단은 분무기(34)의 하측의 포트에 접속되며, 유로(P32)상에는 밸브(V31)가 마련되어 있다. 한편, 유로(P34)의 일단은 유로(P31) 중 밸브(V35)와 보틀(35)과의 사이에 접속되고, 타단은 분무기(37)의 하측의 포트에 접속되며, 유로(P34)상에는 밸브(V33)가 마련되어 있다. 또한, 밸브(V31)는 제어신호(Sv31)에 따라서 유로(P32)를 개폐하고, 밸브(V33)는 제어신호(Sv33)에 따라서 유로(P34)를 개폐한다.

유로(P33)는 분무기(34 또는 37)에 압축에어를 공급하기 위한 유로이며, 분무기(34)에 접속되는 유로(P35)와 분무기(37)에 접속되는 유로(P36)로 분기하고 있다. 또, 유로(P33)상에는 압축기(Cm) 및 필터(F33)가 마련되며, 유로(P35 및 P36)상에는 각각 밸브(V32 및 V34)가 마련되어 있다. 또한, 압축기(Cm)는 제어신호(Scm)에 따라서 외기를 취입하여 압축하고, 당해 압축에어는,(에어)필터(F33)를 통하여 분무기(34 또는 37)의 상측의 포트에 공급된다. 또한, 밸브(V32)는 필터(F33)와 분무기(34)의 상측의 포트와의 사이에 마련되며, 제어신호(Sv32)에 따라서 유로(P35)를 개폐하고, 밸브(V34)는 필터(F33)와 분무기(37)의 상측의 포트와의 사이에 마련되며, 제어신호(Sv34)에 따라서 유로(P36)를 개폐한다.

조작부(2b)로부터 제어부(1b)에는 제염대상실 선택신호(SLr) 및 모드선택신호(SLm)가 입력되어 있다. 또, 제어부(1b)는 제염대상실 선택신호(SLr)에 따라서 작업실(4) 또는 패스박스(5)를 제염대상실로서 선택하고, 모드선택신호(SLm)에 따라서 운전모드를 전환한다. 또, 제어부(1b)는 제염대상실 및 운전모드 외에, 내압(IP1, IP2) 및 수위(WL1, WL2)에 근거하여, 제어신호(Sv1 내지 Sv6, Sv31 내지 Sv35, Sb1 내지 Sb3, Scm 및 Spm)를 출력한다. 또한, 제염가스 공급부(3b)는 제염대상실 선택신호(SLr)에 따라서 선택된 제염대상실 내에 압축에어나 과산화수소 가스를 공급한다.

도 7에 나타낸 아이솔레이터에서도, 모드선택신호(SLm)에 따라서 운전모드가 전환되며, 상기 실시형태의 아이솔레이터와 동일하게 제어된다. 예를 들면, 패스박스(5)에 대한 제염가스 발생모드에서는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제염가스 공급부(3b)는 분무기(37)의 상측의 포트에 압축에어가 공급되고, 하측의 포트에 부압에 의해서 과산화수소수가 공급되며, 과산화수소 가스를 패스박스(5) 내에 직접 공급한다. 또한, 제어부(1b)는 패스박스(5)의 내압(IP2)에 근거하여 밸브(V8)를 개폐제어하여, 패스박스(5)의 내압(IP2)을 소정의 양압(IPtg)으로 조정하면서, 송풍기(B4)에 의해서, 필터(F3, F4) 및 제3 유로를 통하여 패스박스(5) 내의 과산화수소 가스를 순환시킨다.

또한, 도 7에 나타낸 아이솔레이터에서는, 제3 유로와 제1 유로(P5)가 공통의 유로를 포함하고, 송풍기(B4)는 당해 공통의 유로에 마련되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 도 9에 나타내는 바와 같이, 제3 유로와 제2 유로(P6)가 공통의 유로(접속점(Y)과 필터(F4)와의 사이의 유로)를 포함하고, 당해 공통의 유로에 마련된 송풍기(B4)가 흡배기를 위한 제1 송풍기와 순환을 위한 제2 송풍기를 겸하는 구성으로 하여도 된다. 그리고, 당해 구성의 아이솔레이터에서도, 예를 들면 도 10에 나타내는 바와 같이, 도 7에 나타낸 아이솔레이터와 같은 제어신호에 의해서 제어된다.

상술한 바와 같이, 도 1(도 7, 도 9)에 나타낸 아이솔레이터의 제염가스 발생모드에 있어서, 흡기필터인 필터(F1(F3)) 및 배기필터인 필터(F2(F4))를 통하지 않고, 제염대상실인 작업실(4)(패스박스(5)) 내에 제염가스인 과산화수소 가스를 직접 공급하며, 흡기필터, 배기필터 및 제염대상 실외에서 흡기필터와 배기필터를 접속하는 제3 유로(P3)(P7 및 공통의 유로)를 통하여 제염대상실 내의 제염가스를 순환시키는 것에 의해서, 충분한 양의 제염가스를 제염대상실 내에 공급할 수 있어, 또한 배기필터뿐만이 아니라 흡기필터도 충분히 제염할 수 있다. 따라서, 제염대상실 내 및 흡기필터의 제염처리의 효율을 향상시킬 수 있다.

또, 제염가스 발생모드에서, 제염가스 공급부(3a(3b))로부터 제염대상실 내에 제염가스를 공급하면서, 제1 송풍기(B1 및 B2(B4))에 의해서 흡기를 행하는 제1 유로(P1(P5)) 및 배기를 행하는 제2 유로(P2(P6))를 닫은 상태에서, 제2 송풍기(B3(B4))를 구동함과 아울러 제3 밸브(V3(V7))에 의해서 개폐되는 제3 유로를 여는 것에 의해서, 흡기필터, 배기필터 및 제3 유로를 통하여 제염대상실 내의 제염가스를 순환시켜, 흡기필터를 충분히 제염할 수 있다.

또, 제2 유로를 개폐하는 제2 밸브(V2(V6))보다도 배기필터로부터 먼(떨어진) 측에 제염물질을 분해하는 촉매(C2(C4))를 마련하고, 제4 유로(P4(P8))의 일단을 당해 촉매와 제2 밸브와의 사이에 접속하며, 타단을 배기필터에 접속하고, 제염가스 발생모드에서, 압력센서(41(51))에 의해서 측정되는 제염대상실의 내압(IP1(IP2))에 근거하여, 제4 유로를 개폐하는 제4 밸브(V4(V8))를 개폐제어함으로써, 제염대상실의 내압을 소정의 양압(IPtg)으로 조정하면서, 흡기필터, 배기필터 및 제3 유로를 통하여 제염대상실 내의 제염가스를 순환시킬 수 있다. 또한, 당해 접속에 의해서, 제염가스 배기모드일 때 및 무균운전모드일 때뿐만이 아니라, 제염가스 발생모드일 때 및 제염가스 폭로모드일 때에 배기되는 제염가스에 포함되는 제염물질도 분해하여, 무해화한 다음 외부로 배출할 수 있다.

또, 제염가스 발생모드에서는, 압축에어와 제염물질을 혼합하여 제염가스를 생성하여, 제염대상실 내에 공급한 후, 제염가스 폭로모드에서는, 압축에어만을 제염대상실 내에 공급하면서, 제염가스 발생모드일 때와 마찬가지로 제염대상실 내의 제염가스를 순환시킴과 아울러 제4 밸브를 개폐제어함으로써, 제염물질의 소비를 억제하면서 제염대상실 내 및 흡기필터를 충분히 제염할 수 있다.

또, 제1, 제2 및 제4 밸브를 닫고, 제3 밸브를 연 상태에서 압축에어만을 제염대상실 내에 공급함으로써, 제염대상실의 내압에 근거하여 제염대상실 및 제3 유로의 기밀성을 검사할 수 있다.

또, 도 7 및 도 9에 나타낸 아이솔레이터에서, 제3 유로가 제1 또는 제2 유로와 공통의 유로를 포함하고, 순환을 위한 제2 송풍기를 당해 공통의 유로에 마련하는 것에 의해서, 당해 제2 송풍기는 흡배기를 위한 제1 송풍기를 겸하고, 제염가스 발생모드일 때 및 제염가스 폭로모드일 때에는 제2 송풍기로서, 제염가스 배기모드일 때 및 무창운전모드일 때에는 제1 송풍기로서 이용할 수 있다.

또한, 상기 실시형태는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하여 해석하기 위한 것은 아니다. 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음 아울러, 본 발명에는 그 등가물도 포함된다.

1a, 1b 제어부 2a, 2b 조작부
3a, 3b 제염가스 공급부 4 작업실
5 패스박스 31 탱크
32, 35 보틀 33, 36 수위센서
34, 37 분무기 41, 51 압력센서
52 도어 P1 ~ P8, P31 ~ P36 유로(파이프/튜브)
F1 ~ F4, F31 ~ F34 필터 C1 ~ C4 촉매
V1 ~ V8, V31 ~ V35 밸브 B1 ~ B4 송풍기(블로어/팬)
Cm 압축기(콤프레셔) Pm 펌프

Claims (6)

1. 흡기필터를 구비한 흡기구 및 배기필터를 구비한 배기구를 가지는 제염(除染)대상실과,
   상기 흡기필터를 통하여 상기 제염대상실 내에 외기를 흡기하는 제1 유로와,
   상기 배기필터를 통하여 상기 제염대상실 내의 기체를 배기하는 제2 유로와,
   상기 제1 유로를 통하여 상기 제염대상실 내에 외기를 흡기함과 아울러, 상기 제2 유로를 통하여 상기 제염대상실 내의 기체를 배기하는 기류를 발생시키는 제1 송풍기와,
   상기 흡기필터 및 상기 배기필터를 통하지 않고 상기 제염대상실 내에 제염가스를 공급하는 제염가스 공급부와,
   상기 제염대상 실외에서 상기 흡기필터와 상기 배기필터를 접속하는 제3 유로와,
   상기 제염대상실 내에 상기 제염가스가 공급되는 경우에, 상기 흡기필터, 상기 배기필터 및 상기 제3 유로를 통하여 상기 제염대상실 내의 기체를 순환시키는 기류를 발생시키는 제2 송풍기를 가지는 것을 특징으로 하는 아이솔레이터.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1 유로를 개폐하는 제1 밸브와,
   상기 제2 유로를 개폐하는 제2 밸브와,
   상기 제3 유로를 개폐하는 제3 밸브와,
   상기 제염대상실 내에 상기 제염가스가 공급되는 경우에, 상기 제1 및 제2 밸브를 닫은 상태에서, 상기 제2 송풍기를 구동함과 아울러 상기 제3 밸브를 열어, 상기 제염대상실 내의 기체를 순환시키는 제어부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 아이솔레이터.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 배기필터를 통하여 상기 제염대상실 내의 기체를 배기하는 제4 유로와,
   상기 제4 유로를 개폐하는 제4 밸브와,
   상기 제2 유로에 마련되고, 상기 제염가스에 포함되는 제염물질을 저감하여 무해화하는 무해화부와,
   상기 제염대상실의 내압을 측정하는 압력센서를 더 가지고,
   상기 제2 밸브는 상기 무해화부와 상기 배기필터와의 사이에 마련되며,
   상기 제4 유로는 상기 제2 유로 중 상기 무해화부와 상기 제2 밸브와의 사이의 유로와, 상기 배기필터를 접속하고,
   상기 제어부는 상기 제염대상실 내에 상기 제염가스가 공급되는 경우에, 또한 상기 압력센서의 측정결과에 근거하여 상기 제4 밸브를 개폐제어하여, 상기 제염대상실의 내압을 소정의 양압(陽壓)으로 조정하면서 상기 제염대상실 내의 기체를 순환시키는 것을 특징으로 하는 아이솔레이터.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 제염가스 공급부는,
   압축기체를 공급하는 압축기와,
   상기 압축기체와 상기 제염물질을 혼합하여 상기 제염가스를 생성하는 분무기를 포함하고,
   상기 제염가스 공급부는 상기 제염대상실 내에 상기 제염가스를 공급한 후에 상기 압축기체만을 공급하며,
   상기 제어부는 상기 제염대상실 내에 상기 제염가스가 공급된 후에 상기 압축기체만이 공급되는 경우에도, 상기 제염대상실의 내압을 상기 소정의 양압으로 조정하면서 상기 제염대상실 내의 기체를 순환시키는 것을 특징으로 하는 아이솔레이터.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 압력센서에 의해서 측정되는 상기 제염대상실의 내압에 근거하여 상기 제염대상실의 기밀성을 검사하는 경우에는,
   상기 제어부는 상기 제1, 제2 및 제4 밸브를 닫고, 상기 제3 밸브를 열어,
   상기 제염가스 공급부는 상기 제염대상실 내에 상기 압축기체만을 공급하는 것을 특징으로 하는 아이솔레이터.
6. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제3 유로는 상기 제1 또는 제2 유로와 공통의 유로를 포함하고,
   상기 제2 송풍기는 상기 공통의 유로에 마련되어 상기 제1 송풍기를 겸하는 것을 특징으로 하는 아이솔레이터.

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