KR20120119269A - Apparatus and method for substrate transfer - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate transfer apparatus and a substrate transfer method are provided to elevate a plurality of substrates arranged in a conveyor belt and to arrange new substrates on the conveyor belt at regular intervals while transferring the substrate. CONSTITUTION: A conveyor module(200) transfers a plurality of substrates in order for substrates to be arranged at regular intervals. An elevating module(300) elevates a plurality of the substrates to a pickup location of a substrate pickup device. The conveyor module arranges supplied new substrates at regular intervals while transferring a plurality of the substrates by the substrate pickup device.

Description

기판 이송 장치 및 기판 이송 방법{APPARATUS AND METHOD FOR SUBSTRATE TRANSFER}Substrate transfer device and substrate transfer method {APPARATUS AND METHOD FOR SUBSTRATE TRANSFER}

본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 기판 이송 시간 및 이송 대기 시간을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있도록 하는 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method for minimizing substrate transfer time and transfer waiting time to improve productivity.

일반적으로, 반도체 소자, 예를 들어, 태양전지의 제조 공정에 있어서, 인라인 장비를 제외하고는 각 제조 공정이 완료된 기판은 기판 저장 장치에 수납되어 다음 공정 장비로 이송된다. 이때, 기판 저장 장치는 형태에 따라 카세트, 메가진, 카세트 메가진, 또는 스택 메가진 등으로 구분될 수 있다.In general, in the manufacturing process of a semiconductor device, for example, a solar cell, except for the in-line equipment, the substrate on which each manufacturing process is completed is stored in the substrate storage device and transferred to the next process equipment. In this case, the substrate storage device may be classified into a cassette, a magazine, a cassette magazine, a stack magazine, and the like according to a shape.

기판 저장 장치에 수납된 기판은 기판 핸들러 장치에 의해 기판 저장 장치에서 인출되어 캐리어에 수납된다. 이때, 캐리어는 공정 장비에서 복수의 기판에 대한 제조 공정을 동시에 수행할 수 있도록 수십 장의 기판을 적재한다.The substrate stored in the substrate storage device is withdrawn from the substrate storage device by the substrate handler device and stored in the carrier. In this case, the carrier loads dozens of substrates so that a manufacturing process for a plurality of substrates can be simultaneously performed in the process equipment.

이와 같은, 종래의 반도체 제조 공정에서는 기판 핸들러 장치를 이용하여 기판 저장 장치에 수납된 기판을 낱장 단위로 캐리어에 수납하기 때문에 기판 이송 시간 및 이송 대기 시간의 증가로 인하여 생산성이 저하된다는 문제점이 있다.In such a conventional semiconductor manufacturing process, since the substrate stored in the substrate storage device is stored in the carrier in a unit of sheet by using the substrate handler device, there is a problem that productivity is reduced due to an increase in substrate transfer time and transfer waiting time.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판 이송 시간 및 이송 대기 시간을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있도록 하는 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention is to solve the above problems, to provide a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method that can improve the productivity by minimizing the substrate transfer time and transfer waiting time to the technical problem.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 설치되어 복수의 기판이 일정한 간격으로 배열되도록 이송하는 컨베이어 모듈; 및 상기 컨베이어 모듈에 배열된 복수의 기판을 기판 픽업 장치의 픽업 위치로 상승시키는 승강 모듈을 포함하여 구성되며, 상기 컨베이어 모듈은 상기 픽업 위치로 상승된 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되어 이송되는 동안 공급되는 새로운 기판들을 일정한 간격으로 배열하는 것을 특징으로 한다.The substrate transfer apparatus according to the present invention for achieving the above technical problem is a base member; A conveyor module installed on the base member to transfer the plurality of substrates at regular intervals; And a lifting module for raising a plurality of substrates arranged in the conveyor module to a pickup position of a substrate pickup device, wherein the conveyor module picks up the substrates by the substrate pickup device. And arrange new substrates to be supplied at regular intervals during transport.

상기 픽업 위치로 상승된 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면, 상기 승강 모듈은 상기 픽업 위치에서 상기 컨베이어 모듈 상에 배열되는 새로운 복수의 기판을 도피하여 상기 새로운 복수의 기판을 상승시키기 위한 홈 위치로 복귀하는 것을 특징으로 한다.When the plurality of substrates raised to the pick-up position are picked up by the substrate pick-up device, the elevating module lifts the new plurality of substrates by escaping a plurality of new substrates arranged on the conveyor module at the pick-up position. Characterized in that the return to the home position for.

상기 승강 모듈은 상기 컨베이어 모듈에 배열된 기판을 사이에 두고 나란하게 배치되어 상기 컨베이어 모듈에 배열된 복수의 기판을 상기 픽업 위치로 상승시키는 한 쌍의 승강 프레임; 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각을 지지함과 아울러 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각을 동시에 승강시키는 프레임 승강 유닛; 및 상기 베이스 부재에 설치되어 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각이 상기 새로운 기판을 도피하도록 상기 프레임 승강 유닛을 이동시키는 프레임 이동 유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The elevating module may include a pair of elevating frames arranged side by side with substrates arranged on the conveyor module to raise the plurality of substrates arranged on the conveyor module to the pickup position; A frame lifting unit which supports each of the pair of lifting frames and simultaneously lifts each of the pair of lifting frames; And a frame moving unit installed on the base member to move the frame lifting unit so that each of the pair of lifting frames escapes the new substrate.

상기 승강 모듈은 상기 컨베이어 모듈 상에 복수의 기판이 배열되면, 상기 프레임 승강 유닛의 구동에 따라 상기 홈 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상승시켜 상기 복수의 기판을 상기 픽업 위치로 상승시키고, 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면, 상기 프레임 이동 유닛의 구동에 따라 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각을 상기 픽업 위치에서 제 1 기판 도피 위치로 수평 이송시키고, 상기 컨베이어 모듈 상에 새로운 복수의 기판이 배열되는 동안, 상기 프레임 승강 유닛의 구동에 따라 상기 제 1 기판 도피 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상기 홈 위치에 나란한 제 2 기판 도피 위치로 하강시키며, 상기 프레임 이동 유닛의 구동에 따라 상기 제 2 기판 도피 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상기 홈 위치로 수평 이송시키는 것을 특징으로 한다.When the plurality of substrates are arranged on the conveyor module, the elevating module raises the pair of elevating frames positioned at the home position according to the driving of the frame elevating unit to elevate the plurality of substrates to the pickup position. When the plurality of substrates are picked up by the substrate pick-up device, each of the pair of lifting frames is horizontally transferred from the pick-up position to the first substrate evacuation position in accordance with the drive of the frame moving unit, and a new board is placed on the conveyor module. While the plurality of substrates are arranged, the pair of lifting frames positioned at the first substrate escape position is lowered to a second substrate escape position parallel to the home position according to the driving of the frame lifting unit, and Driving the pair of lifting frames positioned at the second substrate escape position on the grooves according to the driving. That of the horizontal transfer as characterized.

상기 승강 모듈은 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각에 설치되어 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 상기 기판의 미끄럼을 방지하는 미끄럼 방지 부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The elevating module is characterized in that it further comprises a non-slip member is installed on each of the pair of lifting frame to prevent the sliding of the substrate supported by the pair of lifting frame.

상기 미끄럼 방지 부재는 고무, 우레탄, 또는 실리콘 재질인 것을 특징으로 한다.The anti-slip member is characterized in that the rubber, urethane, or silicone material.

상기 승강 모듈은 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각에 설치되어 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 상기 기판을 진공 흡입하는 진공 흡입 부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The elevating module may further include a vacuum suction member installed on each of the pair of elevating frames to vacuum-suck the substrate supported by the pair of elevating frames.

상기 승강 모듈은 상기 한 쌍의 승강 프레임 중 어느 하나의 타측에 설치되어 상기 컨베이어 모듈 상에 배열되는 기판을 감지하거나 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 기판을 감지하는 감지 유닛을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The elevating module further includes a sensing unit installed on the other side of the pair of elevating frames to detect a substrate arranged on the conveyor module or a substrate supported by the pair of elevating frames. It is characterized by.

상기 감지 유닛은 포토 센서, 파이버 센서, 근접 센서, 또는 압력 센서를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The sensing unit may be configured to include a photo sensor, a fiber sensor, a proximity sensor, or a pressure sensor.

상기 승강 모듈은 상기 기판이 공급되는 상기 컨베이어 모듈의 일측에 대응되는 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각의 외측면에 설치된 한 쌍의 더미 프레임; 및 상기 기판의 크기에 따라 상기 한 쌍의 더미 프레임을 상기 승강 프레임의 길이 방향으로 이송시키는 더미 프레임 이송 유닛을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The elevating module includes a pair of dummy frames installed on an outer surface of each of the pair of elevating frames corresponding to one side of the conveyor module to which the substrate is supplied; And a dummy frame transfer unit configured to transfer the pair of dummy frames in the longitudinal direction of the lifting frame according to the size of the substrate.

상기 더미 프레임 이송 유닛은 상기 컨베이어 모듈에 배열되는 기판이 제 1 크기를 가질 경우 상기 한 쌍의 더미 프레임 각각을 상기 한 쌍의 승강 프레임의 일측면에 근접시키고, 상기 컨베이어 모듈에 배열되는 기판이 제 1 크기보다 큰 제 2 크기를 가질 경우 상기 한 쌍의 더미 프레임 각각이 상기 컨베이어 모듈에 마지막으로 배열된 제 2 크기의 기판을 상승시키도록 상기 한 쌍의 더미 프레임 각각을 상기 한 쌍의 승강 프레임의 일측면으로부터 이격시키는 것을 특징으로 한다.When the substrate arranged on the conveyor module has a first size, the dummy frame transfer unit closes each of the pair of dummy frames to one side of the pair of lifting frames, and the substrate arranged on the conveyor module Each of the pair of dummy frames to lift the pair of dummy frames so that each of the pair of dummy frames raises a substrate of the second size last arranged on the conveyor module when having a second size greater than one size. It is characterized by spaced apart from one side.

상기 프레임 승강 유닛과 상기 프레임 이동 유닛 및 상기 더미 프레임 이송 유닛 각각은 유압 실린더 또는 공압 실린더를 이용한 실린더 방식, 모터와 볼 스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼 스크류 방식, 모터와 랙 기어(Rack Gear)와 피니언 기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리 및 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 또는 리니어 모터(Linear Motor) 방식에 따라 구동되는 것을 특징으로 한다.Each of the frame elevating unit, the frame moving unit, and the dummy frame conveying unit may be a cylinder method using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw method using a motor and a ball screw, a motor and a rack gear. And a gear method using a pinion gear and the like, a belt method using a motor and a pulley and a belt, or a linear motor method.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 방법은 베이스 부재에 설치된 컨베이어 모듈 상에 복수의 기판을 일정한 간격으로 배열하는 단계; 승강 모듈을 이용하여 상기 컨베이어 모듈에 배열된 복수의 기판을 기판 픽업 장치의 픽업 위치로 상승시키는 단계; 및 상기 픽업 위치로 상승된 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되어 이송되는 동안 상기 컨베이어 모듈에 공급되는 새로운 기판들을 일정한 간격으로 배열하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate transfer method, comprising: arranging a plurality of substrates at regular intervals on a conveyor module installed in a base member; Raising a plurality of substrates arranged in the conveyor module to a pickup position of a substrate pickup device by using an elevating module; And arranging new substrates supplied to the conveyor module at regular intervals while the plurality of substrates raised to the pickup position are picked up and transported by the substrate pickup device.

상기 승강 모듈은 상기 컨베이어 모듈을 사이에 두고 나란하게 배치된 한 쌍의 승강 프레임을 포함하여 구성되며, 상기 픽업 위치로 상승된 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면, 상기 컨베이어 모듈 상에 배열되는 새로운 복수의 기판을 도피하여 상기 한 쌍의 승강 프레임을 홈 위치로 복귀시키는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The elevating module includes a pair of elevating frames arranged side by side with the conveyor module interposed therebetween, and when the plurality of substrates raised to the pick up position are picked up by the substrate pickup device, And returning the pair of lifting frames to the home position by fleeing a plurality of new substrates arranged in the plurality of substrates.

상기 한 쌍의 승강 프레임을 홈 위치로 복귀시키는 단계는 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면, 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각을 상기 픽업 위치에서 제 1 기판 도피 위치로 수평 이송시키는 단계; 상기 컨베이어 모듈 상에 새로운 복수의 기판이 배열되는 동안, 상기 제 1 기판 도피 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상기 홈 위치에 나란한 제 2 기판 도피 위치로 하강시키는 단계; 및 상기 제 2 기판 도피 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상기 홈 위치로 수평 이송시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The returning of the pair of lifting frames to the home position may include: horizontally transferring each of the pair of lifting frames from the pickup position to the first substrate escape position when the plurality of substrates are picked up by the substrate pickup device. ; While the new plurality of substrates are arranged on the conveyor module, lowering the pair of lifting frames located at the first substrate escape position to a second substrate escape position parallel to the home position; And horizontally conveying the pair of lifting frames positioned at the second substrate escape position to the home position.

상기 기판 이송 방법은 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 상기 기판을 진공 흡입하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The substrate transfer method may further include vacuum suctioning the substrate supported by the pair of lifting frames.

상기 기판 이송 방법은 상기 한 쌍의 승강 프레임 중 어느 하나의 타측에 설치되어 상기 컨베이어 모듈 상에 배열되는 기판을 감지하거나, 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 상기 기판을 감지하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The substrate transfer method may further include detecting a substrate installed on the other side of the pair of lifting frames and arranged on the conveyor module, or detecting the substrate supported on the pair of lifting frames. Characterized in that made.

상기 승강 모듈은 상기 기판이 공급되는 상기 컨베이어 모듈의 일측에 대응되는 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각의 외측면에 설치된 한 쌍의 더미 프레임을 더 포함하여 구성되며, 상기 기판의 크기에 따라 상기 한 쌍의 더미 프레임을 상기 승강 프레임의 길이 방향으로 이송시키는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The elevating module further includes a pair of dummy frames installed on an outer surface of each of the pair of elevating frames corresponding to one side of the conveyor module to which the substrate is supplied, the pair according to the size of the substrate. The method further comprises the step of transporting the dummy frame in the longitudinal direction of the lifting frame.

상기 한 쌍의 더미 프레임은 상기 컨베이어 모듈에 배열되는 기판이 제 1 크기를 가질 경우 상기 한 쌍의 승강 프레임의 일측면에 근접되도록 배치되고, 상기 컨베이어 모듈에 배열되는 기판이 제 1 크기보다 큰 제 2 크기를 가질 경우 상기 한 쌍의 승강 프레임의 일측면으로부터 이격되도록 배치되어 상기 컨베이어 모듈에 마지막으로 배열된 제 2 크기의 기판을 상승시키는 것을 특징으로 한다.The pair of dummy frames may be arranged to be close to one side of the pair of lifting frames when the substrate arranged on the conveyor module has a first size, and the substrate arranged on the conveyor module is larger than the first size. When having a size 2 is characterized in that it is arranged to be spaced apart from one side of the lifting frame of the pair to raise the substrate of the second size last arranged on the conveyor module.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 기판 이송 방법은 컨베이어 모듈에 배열된 복수의 기판을 상승시키고, 컨베이어 모듈 상에 배열되는 새로운 기판들을 도피하여 새로운 복수의 기판을 상승시키기 위한 홈 위치로 복귀하는 승강 모듈을 포함하여 구성됨으로써 기판 이송 시간 및 이송 대기 시간을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the substrate transfer apparatus and the substrate transfer method according to the present invention raise the plurality of substrates arranged on the conveyor module, and escape the new substrates arranged on the conveyor module to the home position for raising the new plurality of substrates. It is possible to improve productivity by minimizing substrate transfer time and transfer wait time by being configured to include a return module.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 승강 모듈을 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 승강 모듈을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5 내지 도 도 9는 도 1에 도시된 승강 모듈의 동작을 단계적으로 설명하기 위한 측면도이다.
도 10은 도 1 및 도 3에 도시된 컨버젼 유닛의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 11a 내지 도 11f는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법을 단계적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating the elevating module illustrated in FIGS. 1 and 2.
4 is a side view illustrating the elevating module illustrated in FIGS. 1 and 2.
5 to 9 are side views for explaining the operation of the elevating module shown in FIG. 1 step by step.
FIG. 10 is a diagram for describing an operation of the conversion unit illustrated in FIGS. 1 and 3.
11A to 11F are diagrams for explaining in a step-by-step manner the substrate transfer method using a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조로 본 발명에 따른 바람직한 실시 예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치는 베이스 부재(100), 베이스 부재(100)에 설치되어 복수의 기판(W)이 일정한 간격으로 배열되는 컨베이어 모듈(200), 및 컨베이어 모듈(200)에 배열된 복수의 기판(W)을 기판 픽업 장치(500; 도 7 참조)의 픽업 위치로 상승시키는 승강 모듈(300)을 포함하여 구성된다.1 and 2, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is installed on a base member 100 and a base member 100 so that a plurality of substrates W are arranged at regular intervals. And a lifting module 300 for raising the plurality of substrates W arranged on the conveyor module 200 to the pick-up position of the substrate pick-up apparatus 500 (see FIG. 7).

베이스 부재(100)는 평판 형태로 형성되어 복수의 지지대(110)를 통해 컨베이어 모듈(200)을 지지한다.The base member 100 is formed in a flat plate shape to support the conveyor module 200 through the plurality of support members 110.

컨베이어 모듈(200)은 일정한 시간 간격으로 연속적으로 공급되는 기판(W)을 일정한 간격으로 배열되도록 이송한다. 이때, 복수의 기판(W)은 기판 저장 장치(미도시)에 수납되어 기판 핸들러 장치(미도시)에 의해 기판 저장 장치로부터 인출되어 컨베이어 모듈(200)에 로딩된다. 이를 위해, 컨베이어 모듈(200)은 컨베이어 벨트(210), 및 구동 모터(220)를 포함하여 구성된다.The conveyor module 200 transfers the substrates W, which are continuously supplied at regular time intervals, to be arranged at regular intervals. In this case, the plurality of substrates W are stored in a substrate storage device (not shown), are drawn out of the substrate storage device by a substrate handler device (not shown), and are loaded onto the conveyor module 200. To this end, the conveyor module 200 comprises a conveyor belt 210, and a drive motor 220.

컨베이어 벨트(210)는 베이스 부재(100)의 일측과 타측 각각에 설치된 축 지지대(212)에 회전 가능하게 설치된다. 또한, 컨베이어 벨트(210)는 베이스 부재(100)에 설치된 복수의 지지대(110) 각각에 회전 가능하게 지지된다.The conveyor belt 210 is rotatably installed on the shaft support 212 provided on one side and the other side of the base member 100. In addition, the conveyor belt 210 is rotatably supported by each of the plurality of supports 110 installed in the base member 100.

구동 모터(220)는 베이스 부재(100)의 타측에 설치된 축 지지대(212)에 설치되어 컨베이어 벨트(210)를 일정한 속도를 회전시킨다. 이러한 구동 모터(220)는 컨베이어 벨트(210) 상에 복수의 기판(W), 예를 들어, 12개의 기판(W)이 일정한 간격으로 배열되면, 기판 픽업 시간 동안 컨베이어 벨트(210)의 회전을 일시 정지시킨 후, 기판 픽업 시간이 종료하면 컨베이어 벨트(210)를 다시 회전시킨다. 이때, 복수의 기판(W)이 기판 픽업 장치에 의해 픽업되는 동안 및 픽업된 복수의 기판(W)이 캐리어(미도시)로 이송되는 동안 컨베이어 벨트(210) 상에는 새로운 기판이 공급된다.The drive motor 220 is installed on the shaft support 212 provided on the other side of the base member 100 to rotate the conveyor belt 210 at a constant speed. The driving motor 220 rotates the conveyor belt 210 during the substrate pick-up time when a plurality of substrates W, for example, 12 substrates W are arranged at regular intervals on the conveyor belt 210. After the pause, the conveyor belt 210 is rotated again when the substrate pick-up time ends. At this time, a new substrate is supplied onto the conveyor belt 210 while the plurality of substrates W are picked up by the substrate pick-up apparatus and the picked-up plurality of substrates W are transferred to a carrier (not shown).

승강 모듈(300)은 컨베이어 모듈(200)에 배열된 복수의 기판(W)을 기판 픽업 장치의 픽업 위치로 상승시킨 다음, 픽업 위치로 상승된 복수의 기판(W)이 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면 픽업 위치에서 컨베이어 모듈(200) 상에 배열되는 새로운 복수의 기판을 도피하여 새로운 복수의 기판을 상승시키기 위한 홈 위치로 복귀한다. 이를 위해, 승강 모듈(300)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 승강 프레임(310, 320), 프레임 승강 유닛(330), 및 프레임 이동 유닛(340)을 포함하여 구성된다.The elevating module 300 raises the plurality of substrates W arranged on the conveyor module 200 to the pick-up position of the substrate pick-up apparatus, and then picks up the plurality of substrates W raised to the pick-up position by the substrate pick-up apparatus. When the new plurality of substrates are arranged on the conveyor module 200 in the pick-up position to return to the home position for raising the new plurality of substrates. To this end, the lifting module 300 includes a pair of lifting frames 310 and 320, a frame lifting unit 330, and a frame moving unit 340, as shown in FIGS. 3 and 4. do.

한 쌍의 승강 프레임(310, 320)은 컨베이어 모듈(200)에 배열된 기판(W), 즉 컨베이어 벨트(210)를 사이에 두고 나란하게 배치되어 컨베이어 벨트(210)에 배열된 복수의 기판(W)을 픽업 위치로 상승시킨다. 이를 위해, 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각은 기판 지지 플레이트(312a, 312b), 및 플레이트 지지부(314a, 314b)를 포함하여 구성된다.The pair of lifting frames 310 and 320 may include a substrate W arranged on the conveyor module 200, that is, a plurality of substrates arranged side by side with the conveyor belt 210 interposed therebetween. Raise W) to the pickup position. To this end, each of the pair of lifting frames 310 and 320 includes substrate support plates 312a and 312b and plate supports 314a and 314b.

기판 지지 플레이트(312a, 312b) 각각은 컨베이어 벨트(210)와 나란하도록 인접하게 배치된다.Each of the substrate support plates 312a and 312b is disposed adjacent to and parallel to the conveyor belt 210.

플레이트 지지부(314a, 314b) 각각은 기판 지지 플레이트(312a, 312b) 각각을 지지한다. 이에 따라, 기판 지지 플레이트(312a, 312b) 각각의 일측은 플레이트 지지부(314a, 314b) 각각의 내측면으로부터 소정 길이를 가지도록 컨베이어 벨트(210) 쪽으로 돌출된다.Each of the plate supports 314a and 314b supports each of the substrate support plates 312a and 312b. Accordingly, one side of each of the substrate support plates 312a and 312b protrudes toward the conveyor belt 210 so as to have a predetermined length from an inner side surface of each of the plate supports 314a and 314b.

프레임 승강 유닛(330)은 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 지지함과 아울러 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 동시에 승강시킨다. 이를 위해, 프레임 승강 유닛(330)은 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 지지하는 한 쌍의 승강 브라켓(332a, 332b), 및 한 쌍의 승강 브라켓(332a, 332b) 각각을 승강시키는 한 쌍의 승강 부재(334a, 334b)를 포함하여 구성된다.The frame lifting unit 330 supports each of the pair of lifting frames 310 and 320, and simultaneously lifts each of the pair of lifting frames 310 and 320. To this end, the frame elevating unit 330 elevates each of the pair of elevating brackets 332a and 332b and the pair of the elevating brackets 332a and 332b respectively supporting the pair of elevating frames 310 and 320. It is comprised including a pair of lifting member 334a, 334b.

한 쌍의 승강 브라켓(332a, 332b) 각각은 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각의 플레이트 지지부(314a, 314b)에 결합되어 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 지지한다.Each of the pair of lifting brackets 332a and 332b is coupled to the plate supports 314a and 314b of each of the pair of lifting frames 310 and 320 to support each of the pair of lifting frames 310 and 320.

한 쌍의 승강 부재(334a, 334b) 각각은 한 쌍의 승강 브라켓(332a, 332b) 각각에 결합되어 한 쌍의 승강 브라켓(332a, 332b) 각각을 동시에 승강시킴으로써 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 동시에 승강시킨다. 이때, 한 쌍의 승강 부재(334a, 334b) 각각은 유압 실린더 또는 공압 실린더를 이용한 실린더 방식, 모터와 볼 스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼 스크류 방식, 모터와 랙 기어(Rack Gear)와 피니언 기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리 및 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 또는 리니어 모터(Linear Motor) 방식을 이용하여 한 쌍의 승강 브라켓(332a, 332b) 각각을 동시에 승강시킬 수 있다.Each of the pair of lifting members 334a and 334b is coupled to each of the pair of lifting brackets 332a and 332b to simultaneously elevate each of the pair of lifting brackets 332a and 332b to thereby raise the pair of lifting frames 310 and 320. ) Simultaneously elevate each one. In this case, each of the pair of lifting members 334a and 334b may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a motor, a rack gear, and a pinion gear. Each of the pair of lifting brackets 332a and 332b can be simultaneously lifted and lifted using a gear method using a pinion gear, a belt method using a motor, a pulley and a belt, or a linear motor method.

프레임 이동 유닛(340)은 베이스 부재(100)에 설치되어 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각이 새로운 기판을 도피하도록 프레임 승강 유닛(330)을 이동시킨다. 이를 위해, 프레임 이동 유닛(340)은 프레임 승강 유닛(330)의 승강 부재(334a, 334b) 각각에 결합된 한 쌍의 이동 브라켓(342a, 342b), 및 베이스 부재(100)에 설치되어 한 쌍의 이동 브라켓(342a, 342b) 각각을 이동시키는 한 쌍의 이동 부재(344a, 344b)를 포함하여 구성된다.The frame moving unit 340 is installed in the base member 100 to move the frame lifting unit 330 so that each of the pair of lifting frames 310 and 320 escapes a new substrate. To this end, the frame moving unit 340 is installed on the pair of moving brackets 342a and 342b coupled to each of the lifting members 334a and 334b of the frame lifting unit 330, and the base member 100. And a pair of moving members 344a and 344b for moving each of the moving brackets 342a and 342b.

한 쌍의 이동 브라켓(342a, 342b) 각각은 프레임 승강 유닛(330)의 승강 부재(334a, 334b) 각각에 결합되어 승강 부재(334a, 334b) 각각을 지지한다.Each of the pair of moving brackets 342a and 342b is coupled to each of the lifting members 334a and 334b of the frame lifting unit 330 to support each of the lifting members 334a and 334b.

한 쌍의 이동 부재(344a, 344b) 각각은 한 쌍의 이동 브라켓(342a, 342b) 각각에 결합되어 한 쌍의 이동 브라켓(342a, 342b) 각각을 동시에 이송시킴으로써 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 동시에 이송시킨다. 이때, 한 쌍의 이동 부재(344a, 344b) 각각은 유압 실린더 또는 공압 실린더를 이용한 실린더 방식, 모터와 볼 스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼 스크류 방식, 모터와 랙 기어(Rack Gear)와 피니언 기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리 및 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 또는 리니어 모터(Linear Motor) 방식을 이용하여 한 쌍의 이동 브라켓(342a, 342b) 각각을 동시에 서로 반대되는 방향(예를 들어, 컨베이어 벨트의 길이 방향을 기준으로 좌측 및 우측 방향)으로 이송시킬 수 있다.Each of the pair of moving members 344a and 344b is coupled to each of the pair of moving brackets 342a and 342b to simultaneously transport each of the pair of moving brackets 342a and 342b to thereby provide a pair of lifting frames 310 and 320. ) Transfer each of them simultaneously. In this case, each of the pair of moving members 344a and 344b may be a cylinder type using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw type using a motor and a ball screw, a motor, a rack gear, and a pinion gear. By using a gear method using a pinion gear, a belt method using a motor and a pulley and a belt, or a linear motor method, each of the pair of moving brackets 342a and 342b are simultaneously opposite to each other ( For example, it can be conveyed in the left and right direction relative to the longitudinal direction of the conveyor belt.

이와 같은 승강 모듈(300)은 컨베이어 모듈(200)에 의해 복수의 기판(W), 예를 들어, 12개의 기판(W)이 일정한 간격으로 배열되면, 기판(W)의 가장자리에 중첩되는 홈 위치에 위치한 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)을 홈 위치에 픽업 위치로 상승시키는 제 1 동작, 픽업 위치에서 제 1 도피 위치로 수평 이송시키는 제 2 동작, 제 1 도피 위치에서 제 2 도피 위치로 하강시키는 제 3 동작, 및 제 2 도피 위치에서 홈 위치로 수평 이송시키는 제 4 동작을 수행한다. 이때, 승강 모듈(300)이 상기의 제 2 내지 제 3 동작을 수행하는 동안 컨베이어 모듈(200)은 승강 모듈(300)에 의해 기판 이송에 방해받지 않고 구동 모터(220)의 구동에 따라 컨베이어 벨트(210) 상에는 새로운 복수의 기판이 일정한 간격으로 배열된다.Such a lifting module 300 is a groove position overlapped at the edge of the substrate (W) when the plurality of substrates (W), for example, 12 substrates (W) are arranged at regular intervals by the conveyor module (200). A first operation of elevating the pair of lifting frames 310 and 320 at the home position to the pick-up position, a second operation of horizontally transporting from the pick-up position to the first evacuation position, from the first evacuation position to the second evacuation position A third operation of lowering and a fourth operation of horizontally conveying from the second escape position to the home position. At this time, while the lifting module 300 performs the second to third operations, the conveyor module 200 is not disturbed by the substrate transfer by the lifting module 300, and according to the driving of the driving motor 220, the conveyor belt is driven. On 210, a plurality of new substrates are arranged at regular intervals.

이하 도 5 내지 도 도 9를 참조하여 승강 모듈(300)의 제 1 내지 제 4 동작을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the first to fourth operations of the elevating module 300 will be described with reference to FIGS. 5 to 9.

먼저, 승강 모듈(300)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210) 상에 복수의 기판(W)이 일정한 간격으로 배열되는 동안 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 기판(W)의 가장자리에 중첩되는 홈 위치(HP)에 위치시킨다.First, as shown in FIG. 5, the elevating module 300 substrates each of the pair of elevating frames 310 and 320 while the plurality of substrates W are arranged on the conveyor belt 210 at regular intervals. It is located in the groove position HP which overlaps with the edge of (W).

그런 다음, 승강 모듈(300)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210) 상에 복수의 기판(W)이 일정한 간격으로 배열되면, 프레임 승강 유닛(330)의 구동에 따라 홈 위치(HP)에 위치한 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 상승시킴으로써 복수의 기판(W)을 픽업 위치(PUP)로 상승시킨다. 이에 따라, 픽업 위치(PUP)로 상승된 복수의 기판(W)은, 도 7에 도시된 바와 같이, 기판 픽업 장치(500)에 의해 동시에 픽업되어 반도체 소자, 예를 들어, 태양전지의 제조 공정 중 어느 한 공정을 수행하는 공정 장비에서 사용되는 캐리어(미도시)로 이송된다. 여기서, 기판 픽업 장치는 픽 앤드 플래이스(Pick and Place) 로봇이 될 수 있다.Then, as shown in FIG. 6, when the plurality of substrates W are arranged on the conveyor belt 210 at regular intervals, as shown in FIG. The plurality of substrates W are raised to the pick-up position PUP by raising each of the pair of lifting frames 310 and 320 positioned at HP. Accordingly, the plurality of substrates W raised to the pick-up position PUP are simultaneously picked up by the substrate pick-up device 500 as shown in FIG. 7 to manufacture a semiconductor device, for example, a solar cell. It is transferred to a carrier (not shown) used in the process equipment to perform any one of the processes. Here, the substrate pick-up apparatus may be a Pick and Place robot.

그런 다음, 승강 모듈(300)은, 도 8에 도시된 바와 같이, 복수의 기판(W)이 기판 픽업 장치(500; 도 7 참조)에 의해 픽업되면, 프레임 이동 유닛(340)의 구동에 따라 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 픽업 위치(PUP)에서 제 1 기판 도피 위치(SEP1)로 수평 이송시킨다. 이때, 컨베이어 벨트(210) 상에는 외부로부터 공급되는 새로운 복수의 기판(W')을 일정한 간격으로 배열되기 시작한다.Then, as shown in FIG. 8, when the plurality of substrates W are picked up by the substrate pickup device 500 (see FIG. 7), the elevating module 300 is driven according to the driving of the frame moving unit 340. Each of the pair of lifting frames 310 and 320 is horizontally transferred from the pickup position PUP to the first substrate escape position SEP1. At this time, the new plurality of substrates W 'supplied from the outside on the conveyor belt 210 starts to be arranged at regular intervals.

그럼 다음, 승강 모듈(300)은, 도 9에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210) 상에 새로운 복수의 기판(W')이 일정한 간격으로 배열되는 동안, 프레임 승강 유닛(330)의 구동에 따라 제 1 기판 도피 위치(SEP1)에 위치한 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 홈 위치(HP)에 나란한 제 2 기판 도피 위치(SEP2)로 하강시킴으로써 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각은 컨베이어 벨트(210) 상에 배열되는 새로운 복수의 기판(W')을 도피하여 제 2 기판 도피 위치(SEP2)로 이송된다.Then, the elevating module 300 is driven to drive the frame elevating unit 330 while new plurality of substrates W 'are arranged at regular intervals on the conveyor belt 210, as shown in FIG. Accordingly, the pair of lifting frames 310 and 320 by lowering each of the pair of lifting frames 310 and 320 located at the first substrate escape position SEP1 to the second substrate escape position SEP2 parallel to the home position HP. ) Each escapes a plurality of new substrates W 'arranged on the conveyor belt 210 and is transferred to the second substrate escape position SEP2.

그런 다음, 프레임 이동 유닛(340)의 구동에 따라 제 2 기판 도피 위치(SEP2)로 하강된 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 복수의 기판(W')의 배면에 가장자리에 중첩되는 홈 위치(HP)로 수평 이송시킴으로써 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각은 컨베이어 벨트(210) 상에 배열되는 새로운 복수의 기판(W')을 방해하지 않고 홈 위치(HP)로 복귀한다.Then, each of the pair of lifting frames 310 and 320 lowered to the second substrate escaping position SEP2 according to the driving of the frame moving unit 340 overlaps the edge of the rear surface of the plurality of substrates W '. By horizontally conveying to the home position HP, each of the pair of lifting frames 310 and 320 returns to the home position HP without disturbing the new plurality of substrates W 'arranged on the conveyor belt 210. .

이와 같은 승강 모듈(300)은 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)의 상승에 의해 픽업 위치(PUP)로 상승된 복수의 기판(W)이 기판 픽업 장치(500)에 의해 픽업되면, 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)을, 컨베이어 벨트(210) 상에 일정한 간격으로 배열되는 새로운 복수의 기판(W')을 도피하여, 새로운 복수의 기판(W')의 배면에 가장자리에 중첩되는 홈 위치(HP)로 복귀시킴으로써 기판 이송 시간 및 이송 대기 시간을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있다.When the plurality of substrates W, which are raised to the pickup position PUP by the lift of the pair of lifting frames 310 and 320, are picked up by the substrate pick-up device 500, the lifting module 300 is a pair. A plurality of new substrates W 'arranged at regular intervals on the conveyor belt 210 so that the elevating frames 310 and 320 of the grooves overlap the edges on the rear surface of the new plurality of substrates W'. By returning to the position HP, productivity can be improved by minimizing substrate transfer time and transfer waiting time.

한편, 승강 모듈(300)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 프레임 승강 유닛(330)에 의해 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각의 상승시 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)에 지지되는 기판(W)들 각각의 미끄럼 방지를 위한 미끄럼 방지 부재(316a, 316b)를 더 포함하여 구성될 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 3 and 4, the elevating module 300 includes a pair of elevating frames 310, when each of the pair of elevating frames 310 and 320 is lifted by the frame elevating unit 330. The non-slip members 316a and 316b may be configured to further prevent slipping of each of the substrates W supported by the 320.

미끄럼 방지 부재(316a, 316b)는 기판(W)의 배면 가장자리 부분에 중첩되도록 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각의 기판 지지 플레이트(312a, 312b) 각각에 설치되어 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)에 지지되는 기판(W)의 미끄럼을 방지한다. 이를 위해, 일 실시 예에 따른 미끄럼 방지 부재(316a, 316b)는 고무, 우레탄, 또는 실리콘 재질로 이루어지는 패드가 될 수 있다. 다른 실시 예에 따른 미끄럼 방지 부재(316a, 316b)는 기판 지지 플레이트(312a, 312b) 각각에 소정 간격으로 설치되어 기판(W)을 진공 흡입하는 진공 흡입 부재(미도시)로 이루어질 수도 있다. 이 경우, 진공 흡입 부재는 관을 통해 외부의 진공 흡입 장치에 연결된다.The non-slip members 316a and 316b are installed on each of the substrate support plates 312a and 312b of each of the pair of lifting frames 310 and 320 so as to overlap the rear edge portion of the substrate W. The sliding of the substrate W supported by the 310 and 320 is prevented. To this end, the non-slip members 316a and 316b according to an embodiment may be pads made of rubber, urethane, or silicon. The non-slip members 316a and 316b according to another exemplary embodiment may be provided at the substrate support plates 312a and 312b at predetermined intervals, respectively, and may be formed of a vacuum suction member (not shown) for vacuum suctioning the substrate W. In this case, the vacuum suction member is connected to an external vacuum suction device through a tube.

다른 한편, 승강 모듈(300)은, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 중 어느 하나의 타측에 설치되어 컨베이어 벨트(210) 상에 배열되는 기판(W)을 감지하는 감지 유닛(325)을 더 포함하여 구성된다.On the other hand, the lifting module 300 is, as shown in Figures 1 and 3, the substrate is installed on the other side of the one of the pair of lifting frame (310, 320) arranged on the conveyor belt 210 ( It further comprises a sensing unit 325 for sensing W).

감지 유닛(325)은 기판(W)이 공급되는 컨베이어 벨트(210)의 일측에 반대되는 컨베이어 벨트(210)의 타측에 대응되는 승강 프레임(310 또는 320)의 기판 지지 플레이트(312a 또는 312b) 상에 설치되어 컨베이어 벨트(210)의 타측에 배열되도록 이송되는 기판(W)의 유무를 감지하거나, 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)에 상승(지지)되는 기판(W)의 유무를 감지한다. 한편, 상술한 프레임 승강 유닛(330)과 프레임 이송 유닛(340) 각각의 구동은 감지 유닛(325)의 기판 유무 감지에 따라 제어될 수 있다.The sensing unit 325 is on the substrate support plate 312a or 312b of the lifting frame 310 or 320 corresponding to the other side of the conveyor belt 210 opposite to one side of the conveyor belt 210 to which the substrate W is supplied. Detects the presence or absence of the substrate (W) installed in the conveyor belt 210 to be transported to be arranged on the other side, or detects the presence or absence of the substrate (W) to be raised (supported) to a pair of lifting frames (310, 320) . Meanwhile, the driving of each of the frame elevating unit 330 and the frame transfer unit 340 described above may be controlled according to the detection of the presence or absence of the substrate of the sensing unit 325.

또 다른 한편, 상술한 컨베이어 벨트(210)에는 다양한 크기의 기판(W)이 공급될 수 있다. 예를 들어, 컨베이어 벨트(210)에는 5 인치(Inch) 또는 6 인치 크기를 가지는 기판(W)이 공급될 수 있다. 이 경우, 컨베이어 모듈(200)은 상술한 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)이 복수의 기판(W)을 동시에 상승시킬 수 있도록 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)의 길이를 고려하여 컨베이어 벨트(210)의 이송 속도를 조절함으로써 컨베이어 벨트(210)에 배열되는 기판(W)의 간격을 조절할 수 있다. 예를 들어, 컨베이어 벨트(210)에 5 인치 크기를 가지는 기판(W)이 공급될 경우, 컨베이어 모듈(200)은 5 인치 크기를 가지는 복수의 기판(W)들이 제 1 간격으로 배열되도록 컨베이어 벨트(210)의 이송 속도를 조절한다. 반면에, 컨베이어 벨트(210)에 6 인치 크기를 가지는 기판(W)이 공급될 경우, 컨베이어 모듈(200)은 6 인치 크기를 가지는 복수의 기판(W)들이 제 1 간격보다 좁게 배열되도록 컨베이어 벨트(210)의 이송 속도를 조절하게 된다. 이와 같이, 기판(W)의 크기와 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)의 길이를 고려하여 컨베이어 벨트(210)의 이송 속도를 조절하는 방법은 경우에 따라서 생산성을 저하시킬 수도 있다. 따라서, 상술한 생산성을 저하시키지 않고 컨베이어 벨트(210) 상에 공급되는 다양한 크기의 기판(W)을 상승시키기 위하여, 승강 모듈(300)은, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210) 상에 공급되는 다양한 크기의 기판(W)을 상승시키기 위하여, 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b), 및 더미 프레임 이송 유닛(354a, 354b)을 포함하는 컨버젼 유닛(350)을 더 포함하여 구성된다.On the other hand, the conveyor belt 210 described above may be supplied with a substrate (W) of various sizes. For example, the conveyor belt 210 may be supplied with a substrate W having a size of 5 inches or 6 inches. In this case, the conveyor module 200 may consider the length of the pair of lifting frames 310 and 320 so that the pair of lifting frames 310 and 320 may simultaneously lift the plurality of substrates W. By adjusting the conveying speed of the belt 210 it is possible to adjust the interval of the substrate (W) arranged on the conveyor belt (210). For example, when the substrate W having a 5 inch size is supplied to the conveyor belt 210, the conveyor module 200 may include a conveyor belt such that a plurality of substrates W having a 5 inch size are arranged at a first interval. Adjust the feed rate of 210. On the other hand, when the substrate W having a 6 inch size is supplied to the conveyor belt 210, the conveyor module 200 is arranged so that the plurality of substrates W having a 6 inch size are arranged narrower than the first interval. The feed rate of 210 is adjusted. As such, the method of adjusting the conveying speed of the conveyor belt 210 in consideration of the size of the substrate W and the length of the pair of lifting frames 310 and 320 may reduce productivity in some cases. Therefore, in order to raise the substrate W of various sizes supplied on the conveyor belt 210 without degrading the above-described productivity, the elevating module 300 is a conveyor belt, as shown in Figs. In order to raise the substrate W of various sizes supplied on the 210, the conversion unit 350 further includes a pair of dummy frames 352a and 352b and dummy frame transfer units 354a and 354b. It is configured to include.

한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각은 기판(W)이 공급되는 컨베이어 모듈(200)의 일측에 대응되는 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각의 외측면에 배치된다. 즉, 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각은 컨베이어 벨트(210)와 나란하도록 인접하도록 배치된다. 이러한 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각의 상면에는 상술한 미끄럼 방지 부재가 설치될 수 있다.Each of the pair of dummy frames 352a and 352b is disposed on an outer surface of each of the pair of lifting frames 310 and 320 corresponding to one side of the conveyor module 200 to which the substrate W is supplied. That is, each of the pair of dummy frames 352a and 352b is disposed to be adjacent to be parallel to the conveyor belt 210. The above-mentioned non-slip member may be installed on the upper surface of each of the pair of dummy frames 352a and 352b.

더미 프레임 이송 유닛(354a, 354b) 각각은 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)의 플레이트 지지부(314a, 314b) 각각의 외측면 각각에 설치되어 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각에 결합된다. 이와 같은, 더미 프레임 이송 유닛(354a, 354b) 각각은, 도 1에 도시된 점선 원 부분과 같이, 컨베이어 벨트(210)에 배열되는 기판(W)이 제 1 크기를 가질 경우 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각을 후진시킴으로써 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각의 일측면에 근접시킨다. 반면에, 더미 프레임 이송 유닛(354a, 354b) 각각은, 도 3 및 도 10에 도시된 점선 원 부분과 같이, 컨베이어 벨트(210)에 배열되는 기판(W")이 제 1 크기보다 큰 제 2 크기를 가질 경우 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각이 컨베이어 벨트(210)에 마지막으로 배열된 제 2 크기의 기판을 상승시키도록 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각을 전진시킴으로써 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각의 일측면으로부터 이격시킨다.Each of the dummy frame conveying units 354a and 354b is installed on each outer surface of each of the plate supports 314a and 314b of the pair of lifting frames 310 and 320 to be coupled to each of the pair of dummy frames 352a and 352b. do. Each of the dummy frame conveying units 354a and 354b as described above has a pair of dummy frames when the substrate W arranged on the conveyor belt 210 has a first size, as shown by the dotted circle portion shown in FIG. 1. By reversing each of 352a and 352b, one side of each of the pair of lifting frames 310 and 320 is approached. On the other hand, each of the dummy frame conveying units 354a and 354b has, as shown in the dotted circle portions shown in FIGS. 3 and 10, the second substrate having a substrate W ″ larger than the first size, which is arranged on the conveyor belt 210. When having a size, each of the pair of dummy frames 352a and 352b advances each of the pair of dummy frames 352a and 352b to raise the substrate of the second size last arranged on the conveyor belt 210. A pair of lifting frames 310 and 320 are spaced apart from one side of each.

이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치는 컨베이어 모듈(200)에 배열된 복수의 기판(W)을 상승시키고, 컨베이어 모듈(210) 상에 배열되는 새로운 기판(W')들을 도피하여 새로운 복수의 기판을 상승시키기 위한 홈 위치로 복귀하는 승강 모듈(300)을 포함하여 구성됨으로써 기판 이송 시간 및 이송 대기 시간을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있다.As such, the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention raises the plurality of substrates W arranged on the conveyor module 200, and escapes new substrates W ′ arranged on the conveyor module 210. By including a lift module 300 returning to a home position for raising a plurality of new substrates, it is possible to improve productivity by minimizing substrate transfer time and transfer waiting time.

도 11a 내지 도 11f는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법을 단계적으로 설명하기 위한 도면이다.11A to 11F are diagrams for explaining in a step-by-step manner the substrate transfer method using a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 11a 내지 도 11f를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법을 단계적으로 개략적으로 설명하면 다음과 같다.11A to 11F, a substrate transfer method using a substrate transfer apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described schematically in stages as follows.

먼저, 도 11a에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210)를 이송시켜 외부로부터 연속적으로 공급되는 복수의 기판(W)을 컨베이어 벨트(210) 상에 일정한 간격으로 배열한다. 이때, 승강 모듈(300)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210) 상에 복수의 기판(W)이 일정한 간격으로 배열되는 동안 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 기판(W)의 가장자리에 중첩되는 홈 위치(HP)에 위치시킨다.First, as illustrated in FIG. 11A, the conveyor belt 210 is transferred to arrange a plurality of substrates W continuously supplied from the outside on the conveyor belt 210 at regular intervals. At this time, the lifting module 300, as shown in Figure 5, while the plurality of substrates (W) are arranged on the conveyor belt 210 at regular intervals, each of the pair of lifting frame (310, 320) substrate It is located in the groove position HP which overlaps with the edge of (W).

그런 다음, 도 11b에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210) 상에 복수의 기판(W)이 일정한 간격으로 배열되면, 도 6에 도시된 바와 같이, 프레임 승강 유닛(330)을 구동시켜 홈 위치(HP)에 위치한 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 상승시킴으로써 복수의 기판(W)을 픽업 위치(PUP)로 상승시킨다.Then, as shown in FIG. 11B, when the plurality of substrates W are arranged at regular intervals on the conveyor belt 210, as shown in FIG. 6, the frame lifting unit 330 is driven to the home position. The plurality of substrates W are raised to the pick-up position PUP by raising each of the pair of lifting frames 310 and 320 positioned at HP.

그런 다음, 도 11c에 도시된 바와 같이, 기판 픽업 장치(500)를 이용하여 픽업 위치(PUP)로 상승된 복수의 기판(W)을 동시에 픽업한 후, 도 11d에 도시된 바와 같이, 복수의 기판(W)을 동시에 픽업한 기판 픽업 장치(500)를 이송시켜 반도체 소자의 제조 공정을 수행하는 공정 장비에서 사용되는 캐리어(미도시)로 수납한다.Then, as shown in FIG. 11C, after simultaneously picking up the plurality of substrates W raised to the pick-up position PUP using the substrate pick-up apparatus 500, as shown in FIG. 11D, The substrate pick-up apparatus 500, which simultaneously picks up the substrate W, is transported and stored in a carrier (not shown) used in process equipment that performs a manufacturing process of a semiconductor device.

그런 다음, 기판 픽업 장치(500)가 복수의 기판(W)을 동시에 픽업하면, 도 8에 도시된 바와 같이, 프레임 이동 유닛(340)을 구동시켜 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 픽업 위치(PUP)에서 제 1 기판 도피 위치(SEP1)로 수평 이송시킨다. 이와 동시에, 컨베이어 벨트(210)를 이송시켜 외부로부터 연속적으로 공급되는 새로운 복수의 기판(W')을 컨베이어 벨트(210) 상에 일정한 간격으로 배열한다.Then, when the substrate pick-up apparatus 500 simultaneously picks up a plurality of substrates W, as shown in FIG. 8, the frame moving unit 340 is driven to each of the pair of lifting frames 310 and 320. The substrate is horizontally transferred from the pickup position PUP to the first substrate escape position SEP1. At the same time, the conveyor belt 210 is transferred to arrange a plurality of new substrates W 'continuously supplied from the outside on the conveyor belt 210 at regular intervals.

그런 다음, 도 11e에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210) 상에 새로운 복수의 기판(W')이 일정한 간격으로 배열되는 동안, 도 9에 도시된 바와 같이, 프레임 승강 유닛(330)을 구동시켜 제 1 기판 도피 위치(SEP1)에 위치한 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 홈 위치(HP)에 나란한 제 2 기판 도피 위치(SEP2)로 하강시킨다. 이에 따라, 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각은 컨베이어 벨트(210) 상에 배열되는 새로운 복수의 기판(W')을 도피하여 제 2 기판 도피 위치(SEP2)로 이송된다.Then, as shown in FIG. 11E, while the new plurality of substrates W 'are arranged at regular intervals on the conveyor belt 210, the frame lifting unit 330 is driven as shown in FIG. Each of the pair of lifting frames 310 and 320 positioned at the first substrate escape position SEP1 is lowered to the second substrate escape position SEP2 parallel to the home position HP. Accordingly, each of the pair of lifting frames 310 and 320 escapes a plurality of new substrates W 'arranged on the conveyor belt 210 and is transferred to the second substrate escape position SEP2.

그런 다음, 도 11f에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(210) 상에 새로운 복수의 기판(W')이 일정한 간격으로 배열되는 동안, 프레임 이동 유닛(340)을 구동시켜 제 2 기판 도피 위치(SEP2)로 하강된 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각을 복수의 기판(W')의 배면에 가장자리에 중첩되는 홈 위치(HP)로 수평 이송시킨다. 이에 따라, 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각은 컨베이어 벨트(210) 상에 배열되는 새로운 복수의 기판(W')을 방해하지 않고 홈 위치(HP)로 복귀한다.Then, as shown in FIG. 11F, while the new plurality of substrates W 'are arranged at regular intervals on the conveyor belt 210, the frame moving unit 340 is driven to drive the second substrate escape position SEP2. Each of the pair of lifting frames 310 and 320 lowered in the horizontal direction is horizontally transferred to the groove position HP overlapping the edge of the rear surface of the plurality of substrates W '. Accordingly, each of the pair of lifting frames 310 and 320 returns to the home position HP without disturbing the new plurality of substrates W 'arranged on the conveyor belt 210.

그런 다음, 컨베이어 벨트(210) 상에 새로운 복수의 기판(W')이 일정한 간격으로 배열되면, 상술한 도 11a 내지 도 11f의 동작을 반복적으로 수행함으로써 복수의 기판(W, W')을 연속적으로 이송한다.Then, when a plurality of new substrates W 'are arranged at regular intervals on the conveyor belt 210, the plurality of substrates W and W' are continuously formed by repeatedly performing the operations of FIGS. 11A to 11F described above. Transfer to.

한편, 컨베이어 벨트(210) 상에 배열되는 기판(W)들의 크기가 상술한 기판(W) 또는 새로운 기판(W')보다 큰 크기를 가지는 다른 기판(W")으로 변경될 경우, 상술한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법은 컨베이어 벨트(210)의 이송 속도를 조절하는 방법 또는 상술한 컨버젼 유닛(350)을 이용하는 방법을 이용하여 복수의 다른 기판(W")들에 대한 상술한 이송을 수행하게 된다.On the other hand, when the size of the substrates (W) arranged on the conveyor belt 210 is changed to the above-described substrate (W) or another substrate (W ") having a larger size than the new substrate (W '), Substrate transfer method using a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention a plurality of different substrates (W ") using a method of adjusting the conveying speed of the conveyor belt 210 or the method using the conversion unit 350 described above. The transfer described above will be performed.

컨베이어 벨트(210)의 이송 속도를 조절하는 방법은 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)이 복수의 다른 기판(W")을 동시에 상승시킬 수 있도록 컨베이어 벨트(210)의 이송 속도를 조절하여 기판(W")을 컨베이어 벨트(210) 상에 일정한 간격으로 배열한다.The method for adjusting the conveying speed of the conveyor belt 210 is to adjust the conveying speed of the conveyor belt 210 so that the pair of lifting frames 310 and 320 can simultaneously raise the plurality of different substrates W ″. (W ″) is arranged on the conveyor belt 210 at regular intervals.

컨버젼 유닛(350)을 이용하는 방법은, 도 10에 도시된 점선 원 부분과 같이, 더미 프레임 이송 유닛(354a, 354b) 각각을 구동시켜 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각을 한 쌍의 승강 프레임(310, 320) 각각의 일측면으로부터 이격시킨 후, 기판의 크기에 상관없이 일정한 이송 속도로 구동되는 컨베이어 벨트(210) 상에 다른 기판(W")들을 일정한 간격으로 배열한다. 이에 따라, 한 쌍의 더미 프레임(352a, 352b) 각각은 프레임 승강 유닛(330)의 구동에 따라 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)과 함께 동시에 상승됨으로써 컨베이어 벨트(210)에 마지막으로 배열된 제 2 크기의 기판(W")들을 상승시키게 된다.In the method using the conversion unit 350, each of the pair of dummy frames 352a and 352b is driven by driving each of the dummy frame transfer units 354a and 354b, as shown by the dotted circle shown in FIG. After spaced apart from one side of each of the frames 310 and 320, the other substrates W "are arranged at regular intervals on the conveyor belt 210 which is driven at a constant feed rate, regardless of the size of the substrate. Each of the pair of dummy frames 352a and 352b is simultaneously raised together with the pair of lifting frames 310 and 320 in accordance with the driving of the frame lifting unit 330, so that the second size is finally arranged on the conveyor belt 210. To raise the substrates W ″.

이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송 장치를 이용한 기판 이송 방법은 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)을 이용하여 컨베이어 모듈(200)에 배열된 복수의 기판(W)을 상승시키고, 컨베이어 모듈(210) 상에 배열되는 새로운 기판(W')들을 도피하여 홈 위치로 한 쌍의 승강 프레임(310, 320)을 복귀시키는 동작으로 반복적으로 수행함으로써 기판 이송 시간 및 이송 대기 시간을 최소화하여 생산성을 향상시킬 수 있다.As such, the substrate transfer method using the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention raises the plurality of substrates W arranged on the conveyor module 200 by using a pair of lifting frames 310 and 320, By repeatedly performing the operation of returning the pair of lifting frames 310 and 320 to the home position by escaping new substrates W 'arranged on the conveyor module 210, Productivity can be improved.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100: 베이스 부재 200: 컨베이어 모듈
210: 컨베이어 벨트 300: 승강 모듈
310, 320: 승강 프레임 325: 감지 유닛
330: 프레임 승강 유닛 340: 프레임 이송 유닛
350: 컨버젼 유닛100: base member 200: conveyor module
210: conveyor belt 300: elevating module
310, 320: lifting frame 325: sensing unit
330: frame lifting unit 340: frame transfer unit
350: conversion unit

Claims (19)

베이스 부재;
상기 베이스 부재에 설치되어 복수의 기판이 일정한 간격으로 배열되도록 이송하는 컨베이어 모듈; 및
상기 컨베이어 모듈에 배열된 복수의 기판을 기판 픽업 장치의 픽업 위치로 상승시키는 승강 모듈을 포함하여 구성되며,
상기 컨베이어 모듈은 상기 픽업 위치로 상승된 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되어 이송되는 동안 공급되는 새로운 기판들을 일정한 간격으로 배열하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.A base member;
A conveyor module installed on the base member to transfer the plurality of substrates at regular intervals; And
It comprises a lifting module for lifting the plurality of substrates arranged in the conveyor module to the pickup position of the substrate pickup device,
And the conveyor module arranges new substrates to be supplied at regular intervals while the plurality of substrates raised to the pickup position are picked up and transported by the substrate pickup apparatus. 제 1 항에 있어서,
상기 픽업 위치로 상승된 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면, 상기 승강 모듈은 상기 픽업 위치에서 상기 컨베이어 모듈 상에 배열되는 새로운 복수의 기판을 도피하여 상기 새로운 복수의 기판을 상승시키기 위한 홈 위치로 복귀하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
When the plurality of substrates raised to the pick-up position are picked up by the substrate pick-up device, the elevating module lifts the new plurality of substrates by escaping a plurality of new substrates arranged on the conveyor module at the pick-up position. Substrate transport apparatus, characterized in that to return to the home position for. 제 2 항에 있어서,
상기 승강 모듈은,
상기 컨베이어 모듈에 배열된 기판을 사이에 두고 나란하게 배치되어 상기 컨베이어 모듈에 배열된 복수의 기판을 상기 픽업 위치로 상승시키는 한 쌍의 승강 프레임;
상기 한 쌍의 승강 프레임 각각을 지지함과 아울러 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각을 동시에 승강시키는 프레임 승강 유닛; 및
상기 베이스 부재에 설치되어 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각이 상기 새로운 기판을 도피하도록 상기 프레임 승강 유닛을 이동시키는 프레임 이동 유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 2,
The lifting module,
A pair of lifting frames arranged side by side with the substrates arranged on the conveyor module to raise the plurality of substrates arranged on the conveyor module to the pickup position;
A frame lifting unit which supports each of the pair of lifting frames and simultaneously lifts each of the pair of lifting frames; And
And a frame moving unit installed on the base member to move the frame lifting unit so that each of the pair of lifting frames escapes the new substrate. 제 3 항에 있어서,
상기 승강 모듈은,
상기 컨베이어 모듈 상에 복수의 기판이 배열되면, 상기 프레임 승강 유닛의 구동에 따라 상기 홈 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상승시켜 상기 복수의 기판을 상기 픽업 위치로 상승시키고,
상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면, 상기 프레임 이동 유닛의 구동에 따라 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각을 상기 픽업 위치에서 제 1 기판 도피 위치로 수평 이송시키고,
상기 컨베이어 모듈 상에 새로운 복수의 기판이 배열되는 동안, 상기 프레임 승강 유닛의 구동에 따라 상기 제 1 기판 도피 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상기 홈 위치에 나란한 제 2 기판 도피 위치로 하강시키며, 상기 프레임 이동 유닛의 구동에 따라 상기 제 2 기판 도피 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상기 홈 위치로 수평 이송시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 3, wherein
The lifting module,
When a plurality of substrates are arranged on the conveyor module, the pair of lifting frames located at the home position is raised by driving the frame lifting unit to raise the plurality of substrates to the pickup position,
When the plurality of substrates are picked up by the substrate pickup device, each of the pair of lifting frames is horizontally transferred from the pickup position to the first substrate escape position in accordance with the drive of the frame moving unit,
While the plurality of new substrates are arranged on the conveyor module, the pair of lifting frames positioned at the first substrate escape position is lowered to a second substrate escape position parallel to the home position as the frame lifting unit is driven. And horizontally conveying the pair of lifting frames positioned at the second substrate escape position to the home position according to the drive of the frame moving unit. 제 3 항에 있어서,
상기 승강 모듈은 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각에 설치되어 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 상기 기판의 미끄럼을 방지하는 미끄럼 방지 부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 3, wherein
And the elevating module further comprises an anti-slip member installed on each of the pair of elevating frames to prevent slipping of the substrate supported by the pair of elevating frames. 제 5 항에 있어서,
상기 미끄럼 방지 부재는 고무, 우레탄, 또는 실리콘 재질인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 5, wherein
The non-slip member is a substrate transfer device, characterized in that the rubber, urethane, or silicon material. 제 3 항에 있어서,
상기 승강 모듈은 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각에 설치되어 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 상기 기판을 진공 흡입하는 진공 흡입 부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 3, wherein
And the elevating module further includes a vacuum suction member installed on each of the pair of elevating frames to vacuum-suck the substrate supported by the pair of elevating frames. 제 3 항에 있어서,
상기 승강 모듈은 상기 한 쌍의 승강 프레임 중 어느 하나의 타측에 설치되어 상기 컨베이어 모듈 상에 배열되는 기판을 감지하거나 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 기판을 감지하는 감지 유닛을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 3, wherein
The elevating module further includes a sensing unit installed on the other side of the pair of lifting frames to detect a substrate arranged on the conveyor module or a substrate supported on the pair of lifting frames. Substrate transfer apparatus, characterized in that. 제 8 항에 있어서,
상기 감지 유닛은 포토 센서, 파이버 센서, 근접 센서, 또는 압력 센서를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 8,
And the sensing unit includes a photo sensor, a fiber sensor, a proximity sensor, or a pressure sensor. 제 3 항에 있어서,
상기 승강 모듈은,
상기 기판이 공급되는 상기 컨베이어 모듈의 일측에 대응되는 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각의 외측면에 설치된 한 쌍의 더미 프레임; 및
상기 기판의 크기에 따라 상기 한 쌍의 더미 프레임을 상기 승강 프레임의 길이 방향으로 이송시키는 더미 프레임 이송 유닛을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 3, wherein
The lifting module,
A pair of dummy frames provided on an outer surface of each of the pair of lifting frames corresponding to one side of the conveyor module to which the substrate is supplied; And
And a dummy frame transfer unit configured to transfer the pair of dummy frames in a longitudinal direction of the lifting frame according to the size of the substrate. 제 10 항에 있어서,
상기 더미 프레임 이송 유닛은,
상기 컨베이어 모듈에 배열되는 기판이 제 1 크기를 가질 경우 상기 한 쌍의 더미 프레임 각각을 상기 한 쌍의 승강 프레임의 일측면에 근접시키고,
상기 컨베이어 모듈에 배열되는 기판이 제 1 크기보다 큰 제 2 크기를 가질 경우 상기 한 쌍의 더미 프레임 각각이 상기 컨베이어 모듈에 마지막으로 배열된 제 2 크기의 기판을 상승시키도록 상기 한 쌍의 더미 프레임 각각을 상기 한 쌍의 승강 프레임의 일측면으로부터 이격시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.11. The method of claim 10,
The dummy frame transfer unit,
When the substrate arranged in the conveyor module has a first size, each of the pair of dummy frame is brought close to one side of the pair of lifting frame,
The pair of dummy frames such that each of the pair of dummy frames raises the substrate of the second size last arranged on the conveyor module when the substrate arranged on the conveyor module has a second size greater than the first size Substrate transfer apparatus, characterized in that each spaced apart from one side of the pair of lifting frame. 제 10 항에 있어서,
상기 프레임 승강 유닛과 상기 프레임 이동 유닛 및 상기 더미 프레임 이송 유닛 각각은 유압 실린더 또는 공압 실린더를 이용한 실린더 방식, 모터와 볼 스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼 스크류 방식, 모터와 랙 기어(Rack Gear)와 피니언 기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리 및 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 또는 리니어 모터(Linear Motor) 방식에 따라 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.11. The method of claim 10,
Each of the frame elevating unit, the frame moving unit, and the dummy frame conveying unit may be a cylinder method using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a ball screw method using a motor and a ball screw, a motor and a rack gear. And a gear method using a pinion gear and the like, a belt method using a motor, a pulley, a belt, and the like, or a linear motor method. 베이스 부재에 설치된 컨베이어 모듈 상에 복수의 기판을 일정한 간격으로 배열하는 단계;
승강 모듈을 이용하여 상기 컨베이어 모듈에 배열된 복수의 기판을 기판 픽업 장치의 픽업 위치로 상승시키는 단계; 및
상기 픽업 위치로 상승된 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되어 이송되는 동안 상기 컨베이어 모듈에 공급되는 새로운 기판들을 일정한 간격으로 배열하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.Arranging a plurality of substrates at regular intervals on a conveyor module installed in the base member;
Raising a plurality of substrates arranged in the conveyor module to a pickup position of a substrate pickup device by using an elevating module; And
And arranging new substrates supplied to the conveyor module at regular intervals while the plurality of substrates raised to the pick-up position are picked up and transported by the substrate pick-up apparatus. 제 13 항에 있어서,
상기 승강 모듈은 상기 컨베이어 모듈을 사이에 두고 나란하게 배치된 한 쌍의 승강 프레임을 포함하여 구성되며,
상기 픽업 위치로 상승된 상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면, 상기 컨베이어 모듈 상에 배열되는 새로운 복수의 기판을 도피하여 상기 한 쌍의 승강 프레임을 홈 위치로 복귀시키는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.The method of claim 13,
The elevating module includes a pair of elevating frames disposed side by side with the conveyor module interposed therebetween,
If the plurality of substrates raised to the pick-up position are picked up by the substrate pick-up device, escaping the plurality of new substrates arranged on the conveyor module to return the pair of lifting frames to the home position The substrate transfer method characterized by the above-mentioned. 제 14 항에 있어서,
상기 한 쌍의 승강 프레임을 홈 위치로 복귀시키는 단계는,
상기 복수의 기판이 상기 기판 픽업 장치에 의해 픽업되면, 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각을 상기 픽업 위치에서 제 1 기판 도피 위치로 수평 이송시키는 단계;
상기 컨베이어 모듈 상에 새로운 복수의 기판이 배열되는 동안, 상기 제 1 기판 도피 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상기 홈 위치에 나란한 제 2 기판 도피 위치로 하강시키는 단계; 및
상기 제 2 기판 도피 위치에 위치한 상기 한 쌍의 승강 프레임을 상기 홈 위치로 수평 이송시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.15. The method of claim 14,
Returning the pair of lifting frames to the home position,
When the plurality of substrates are picked up by the substrate pick-up device, horizontally transferring each of the pair of lifting frames from the pickup position to the first substrate escape position;
While the new plurality of substrates are arranged on the conveyor module, lowering the pair of lifting frames located at the first substrate escape position to a second substrate escape position parallel to the home position; And
And horizontally conveying the pair of lifting frames located at the second substrate escape position to the home position. 제 13 항에 있어서,
상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 상기 기판을 진공 흡입하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.The method of claim 13,
And vacuum suctioning the substrate supported by the pair of lifting frames. 제 13 항에 있어서,
상기 한 쌍의 승강 프레임 중 어느 하나의 타측에 설치되어 상기 컨베이어 모듈 상에 배열되는 기판을 감지하거나, 상기 한 쌍의 승강 프레임에 지지되는 상기 기판을 감지하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.The method of claim 13,
And detecting the substrate installed on the other side of the pair of lifting frames and arranged on the conveyor module, or detecting the substrate supported on the pair of lifting frames. Substrate Transfer Method. 제 14 항에 있어서,
상기 승강 모듈은 상기 기판이 공급되는 상기 컨베이어 모듈의 일측에 대응되는 상기 한 쌍의 승강 프레임 각각의 외측면에 설치된 한 쌍의 더미 프레임을 더 포함하여 구성되며,
상기 기판의 크기에 따라 상기 한 쌍의 더미 프레임을 상기 승강 프레임의 길이 방향으로 이송시키는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.15. The method of claim 14,
The elevating module further includes a pair of dummy frames installed on an outer surface of each of the pair of elevating frames corresponding to one side of the conveyor module to which the substrate is supplied.
And transferring the pair of dummy frames in the longitudinal direction of the elevating frame according to the size of the substrate. 제 18 항에 있어서,
상기 한 쌍의 더미 프레임은,
상기 컨베이어 모듈에 배열되는 기판이 제 1 크기를 가질 경우 상기 한 쌍의 승강 프레임의 일측면에 근접되도록 배치되고,
상기 컨베이어 모듈에 배열되는 기판이 제 1 크기보다 큰 제 2 크기를 가질 경우 상기 한 쌍의 승강 프레임의 일측면으로부터 이격되도록 배치되어 상기 컨베이어 모듈에 마지막으로 배열된 제 2 크기의 기판을 상승시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.The method of claim 18,
The pair of dummy frames,
When the substrate arranged on the conveyor module has a first size, it is disposed to be close to one side of the pair of lifting frames,
When the substrate arranged on the conveyor module has a second size larger than the first size, it is arranged to be spaced apart from one side of the pair of lifting frames to raise the substrate of the second size last arranged on the conveyor module. A substrate transfer method characterized by the above-mentioned.
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