KR20120112216A - Metal-clad laminate - Google Patents

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KR20120112216A
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켄타로 야구마
에이고 콘도
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신닛테츠가가쿠 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A metal-clad laminated plate is provided to suppress micro-voids from being generated between metal foils and a polyimide layer by using metal foils with the intrinsic roughened sides. CONSTITUTION: Metal foils are arranged on one side or both sides of a polyimide layer in a metal-clad laminated plate. The glass transition temperature of the polyimide layer is more than or equal to 300 deg C. The roughened sides of the metal foils in contact with the polyimide layer satisfy the following conditions: the surface roughness of the roughened sides is in a range between 0.5 and 4um; the surface parts of the roughened sides are made of micro-protrusions(p, q) by a plurality of rough particles; and the aspect ratio of the micro-protrusions is in a range between 1.5 and 5.

Description

금속장 적층판{METAL-CLAD LAMINATE}{METAL-CLAD LAMINATE}

본 발명은 플렉시블 회로 기판에 바람직하게 사용되는 금속장 적층판에 관한 것이고, 특히 절연층이 폴리이미드 수지로 이루어지는 가요성을 갖는 플렉시블 금속장 적층판에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal laminated board preferably used for a flexible circuit board, and more particularly to a flexible metal laminated board having flexibility in which an insulating layer is made of a polyimide resin.

최근, 휴대전화나 디지털 카메라, 디지털 비디오, PDA, 카네비게이션, 하드 디스크 기타 각종 전자기기의 고기능화, 소형화, 그리고 경량화에 따라서, 이들 전기배선용 기판 재료로서 종래 사용할 수 있는 리지드 기판으로 변하여 배선의 자유도가 높고 박형화가 용이한 플렉시블 프린트 기판이 채용되는 예가 증가하고 있다. 그리고, 보다 고도화하고 있는 이들 기기에 사용되고 있는 플렉시블 프린트 기판에 관해서는 소형 고밀도화, 다층화, 미세화, 고내열화 등의 요구가 더욱 높아지고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices such as cellular phones, digital cameras, digital video, PDAs, car navigation systems, hard disks, and other various types of electronic devices have become more sophisticated, smaller, and lighter, An example in which a flexible printed substrate having a high thickness and easy to be used is employed is increasing. In addition, with respect to the flexible printed circuit boards used in these devices, which are becoming more sophisticated, demands for miniaturization of high density, multilayer structure, miniaturization, and high internal resistance are further increased.

이러한 요구에 대응하기 위해서, 도체 상에 직접 폴리이미드 수지층을 도포 형성하고, 또한 열팽창계수가 다른 복수의 폴리이미드 수지층을 다층화하여 형성함으로써 온도 변화에 대한 치수안정성, 접착력, 또한 에칭 후의 평면성 등으로 신뢰성이 우수한 플렉시블 프린트 기판을 제공하는 방법이 특허문헌 1 등에 개시되어 있다.In order to cope with such a demand, a polyimide resin layer is directly applied on a conductor and a plurality of polyimide resin layers having different thermal expansion coefficients are formed in a multilayered structure, whereby dimensional stability, adhesive force, and planarity after etching Discloses a method of providing a flexible printed circuit board having excellent reliability.

이러한 플렉시블 프린트 기판에 사용되는 접착제층을 갖지 않는 동장 적층판에 있어서는, 예를 들면 특허문헌 2, 특허문헌 3, 특허문헌 4 등과 같이 수지층과의 접착력을 높이기 위해서 동박 표면이 조화 처리된 동박이 사용되고 있다.In the copper clad laminate having no adhesive layer used in such a flexible printed board, for example, in order to increase the adhesive force with the resin layer, such as Patent Document 2, Patent Document 3, Patent Document 4, etc., have.

그러나, 최근에는 납 프리화에 따른 땜납 접합 온도의 상승에 대응하기 위해서, 특허문헌 5와 같이 동박에 접하는 폴리이미드 수지층이 고내열화되어 있기 때문에 열압착시에 동박과 폴리이미드층 사이에 마이크로 보이드가 생성하기 쉽고, 회로 가공시에 산 세정액의 침투에 의한 배선 박리가 발생하는 등 접착 신뢰성이 저하한다는 문제가 있다. 이 문제에 대하여, 특허문헌 6과 같이 조화 처리 높이를 억제하여 동박 조화 처리면의 도금층을 제어하는 방법이 있지만, 이 방법에 의하면 초기 필 강도가 저하해버린다는 우려가 있어 과제가 남아있다.However, recently, in order to cope with an increase in the solder bonding temperature due to the lead-freeization, since the polyimide resin layer in contact with the copper foil has a high internal resistance as in Patent Document 5, micro voids are formed between the copper foil and the polyimide layer There is a problem that the adhesion reliability is lowered because wiring peeling occurs due to penetration of pickling solution at the time of circuit processing. To solve this problem, there is a method of controlling the plating layer on the copper foil-roughened surface by suppressing the height of roughening treatment as in Patent Document 6. However, there is a concern that the initial peel strength is lowered by this method, and the problem remains.

특허문헌 1: 일본 특허 공고 평6-93537호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 6-93537

특허문헌 2: 일본 특허 공개 평2-292894호 공보Patent Document 2: JP-A-2-292894

특허문헌 3: 일본 특허 공개 평6-169168호 공보Patent Document 3: JP-A-6-169168

특허문헌 4: 일본 특허 공개 평8-335775호 공보Patent Document 4: JP-A-8-335775

특허문헌 5: WO 2002/085616Patent Document 5: WO 2002/085616

특허문헌 6: WO 2010/010892Patent Document 6: WO 2010/010892

본 발명은 조화 처리된 금속박과 접하는 폴리이미드층이 높은 내열성을 갖는데도 불구하고 금속박과 폴리이미드층 사이에 발생되는 마이크로 보이드를 억제하고, 또한 금속층과 폴리이미드층 사이의 접착 신뢰성을 향상시킴으로써 산 세정액의 침투에 의한 회로 박리를 억제한 금속장 적층판을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a polyimide layer which is in contact with a roughened metal foil, which has high heat resistance but suppresses microvoids generated between the metal foil and the polyimide layer and improves adhesion reliability between the metal layer and the polyimide layer, And suppressing circuit peeling due to penetration of the metal-clad laminate.

본 발명자 등은 상기 과제를 해결하기 위해서 예의검토를 거듭한 결과, 금속박 표면의 조화 성상이 특유한 것을 사용하고, 이 금속박과 접하는 폴리이미드 수지에 특정한 특성의 수지를 적용함으로써 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 발견하여, 본 발명을 완성이 이르렀다.The inventors of the present invention have conducted extensive studies in order to solve the above problems. As a result, the inventors of the present invention have found that the above problems can be solved by using a peculiar blend of metal foil surfaces and applying a resin having a specific characteristic to the polyimide resin in contact with the metal foil Thus, the present invention has been completed.

즉, 본 발명은 폴리이미드층의 한 면 또는 양면에 금속박을 갖는 금속장 적층판에 있어서, 상기 금속박과 접하는 폴리이미드층(i)의 유리 전이 온도는 300℃ 이상이고 상기 금속박의 폴리이미드층과 접하는 조화 처리면은 하기 (a)?(c)의 요건을 만족시키는 것을 특징으로 하는 금속장 적층판이다.That is, the present invention provides a metal-clad laminate having a metal foil on one side or both sides of a polyimide layer, wherein the polyimide layer (i) in contact with the metal foil has a glass transition temperature of 300 ° C or higher and is in contact with the polyimide layer Wherein the roughened surface satisfies the requirements of (a) to (c) below.

(a) 조화 처리면의 표면 조도(Rz)가 O.5?4㎛의 범위에 있는 것(a) The surface roughness (Rz) of the roughened surface is in the range of 0.5 to 4 μm

(b) 조화 처리면의 표층부는 다수의 조화 입자에 의해 형성된 미세 돌기 형상으로 되어 있고, 상기 미세 돌기 형상의 제 1 돌기물에 있어서의 근본 부분의 폭(L)에 대한 돌기 높이(H)의 비로 나타내어지는 애스펙트비(H/L)가 1.5?5의 범위이고, 상기 돌기 높이가 1?3㎛의 범위인 돌기 형상의 비율이 전체 돌기 형상의 수에 대하여 50% 이하인 것(b) the surface layer portion of the roughened surface is in the form of a fine protrusion formed by a plurality of roughening particles, and the height of the protrusion height H with respect to the width L of the root portion of the first protrusion (H / L) represented by the ratio is in the range of 1.5 to 5, and the proportion of the projection shape having the projection height in the range of 1 to 3 占 퐉 is 50% or less with respect to the total number of projection shapes

(c) 인접하는 돌기물 사이에 깊이 0.5㎛ 이상, 인접 돌기물 사이 거리가 0.001?1㎛의 범위에 있는 간극의 존재 비율이 전체 돌기 형상수의 50% 이하인 것(c) the existence ratio of the gap between the adjacent projections having a depth of 0.5 μm or more and a distance between adjacent projections in the range of 0.001 to 1 μm is 50% or less of the total projected shape number

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명의 금속장 적층판은 절연층을 구성하는 폴리이미드가 높은 내열성을 갖고 우수한 치수안정성을 나타낼 뿐만 아니라, 금속박과 그것과 접하는 폴리이미드층 사이에 마이크로보이드의 발생을 억제할 수 있고, 플렉시블 배선판의 회로 가공시 등의 내약품성에도 우수하기 때문에 고세밀의 가공이 요구되는 회로 기판에 바람식하게 사용할 수 있고, 그 유용성은 매우 높다.The metal-clad laminate according to the present invention is a laminate in which the polyimide constituting the insulating layer has high heat resistance and exhibits excellent dimensional stability and can suppress generation of micro voids between the metal foil and the polyimide layer in contact with the metal foil, It is excellent in chemical resistance such as in circuit processing, so that it can be used on a circuit board requiring high-precision processing, and its usefulness is very high.

도 1은 동박의 동박 단면에 있어서의 조화 형상을 설명하기 위한 모식도다.
도 2는 실시예 1에서 사용되는 동박의 동박 단면 사진이다.
도 3은 비교예 2에서 사용되는 동박의 동박 단면 사진이다.
Fig. 1 is a schematic view for explaining a harmonic shape in a copper foil cross section of a copper foil. Fig.
Fig. 2 is a copper foil cross-sectional photograph of the copper foil used in Example 1. Fig.
3 is a copper foil cross-sectional photograph of the copper foil used in Comparative Example 2. Fig.

이하, 본 발명을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명의 금속장 적층판은 폴리이미드층의 한 면 또는 양면에 금속박을 갖는다. 폴리이미드층은 금속박과 접하는 폴리이미드층의 유리 전이 온도가 300℃ 이상이면 단층이어도 복수층으로 형성되어도 좋지만, 바람직하게는 유리 전이 온도가 300℃ 이상인 폴리이미드층(i)과 다른 폴리이미드층으로 이루어지고, 다른 폴리이미드층은 폴리이미드층(i)의 유리 전이 온도보다 50℃ 이상 높은 유리 전이 온도를 갖는 폴리이미드 수지층(ii)으로 이루어진다. 금속박으로서는 후기 표면 조화 형상을 나타내는 것이면 특별히 그 종류는 한정되는 것은 아니지만, 동박 또는 합금 동박이 바람직하다.The metal-clad laminate of the present invention has a metal foil on one side or both sides of the polyimide layer. The polyimide layer may be a single layer or a plurality of layers if the glass transition temperature of the polyimide layer in contact with the metal foil is 300 캜 or more. Preferably, the polyimide layer is a polyimide layer different from the polyimide layer (i) having a glass transition temperature of 300 캜 or higher , And the other polyimide layer is composed of a polyimide resin layer (ii) having a glass transition temperature of 50 캜 or more higher than the glass transition temperature of the polyimide layer (i). The metal foil is not particularly limited as long as it exhibits a later surface roughened shape, but a copper foil or an alloy copper foil is preferable.

금속박으로서 동박, 합금 동박을 사용하는 경우, 이들 두께는 5?50㎛의 범위가 바람직하고, 플렉시블 배선 기판에의 적용성을 고려하면 9?30㎛의 범위가 보다 바람직하다.When a copper foil or an alloy copper foil is used as the metal foil, the thickness is preferably in the range of 5 mu m to 50 mu m, and more preferably in the range of 9 mu m to 30 mu m considering the applicability to the flexible wiring board.

본 발명에 사용되는 금속박의 폴리이미드층과 접하는 조화 처리면은 하기 (a)?(c)의 요건을 만족시킬 필요가 있다.The roughened surface to be in contact with the polyimide layer of the metal foil used in the present invention needs to satisfy the following requirements (a) to (c).

(a) 조화 처리면의 표면 조도(Rz)가 0.5?4㎛의 범위에 있는 것(a) The surface roughness Rz of the roughened surface is in the range of 0.5 to 4 μm

(b) 조화 처리면의 표층부는 다수의 조화 입자에 의해 형성된 미세 돌기 형상으로 되어 있고, 상기 미세 돌기 형상의 제 1 돌기물에 있어서의 근본 부분의 폭(L)에 대한 돌기 높이(H)의 비로 나타내어지는 애스펙트비(H/L)가 1.5?5의 범위이고, 상기 돌기 높이가 1?3㎛의 범위인 돌기 형상의 비율이 전체 돌기 형상의 수에 대하여 50% 이하인 것(b) the surface layer portion of the roughened surface is in the form of a fine protrusion formed by a plurality of roughening particles, and the height of the protrusion height H with respect to the width L of the root portion of the first protrusion (H / L) represented by the ratio is in the range of 1.5 to 5, and the proportion of the projection shape having the projection height in the range of 1 to 3 占 퐉 is 50% or less with respect to the total number of projection shapes

(c) 인접하는 돌기물 사이에 깊이 0.5㎛ 이상, 인접 돌기물 사이 거리가 0.001?1㎛의 범위에 있는 간극의 존재 비율이 전체 돌기 형상수의 50% 이하인 것(c) the existence ratio of the gap between the adjacent projections having a depth of 0.5 μm or more and a distance between adjacent projections in the range of 0.001 to 1 μm is 50% or less of the total projected shape number

우선, 조화 처리면의 표면 조도(Rz)는 0.5?4㎛의 범위일 필요가 있다. Rz의 값이 0.5㎛로 만족되지 않고 금속박과 폴리이미드층 사이의 접착력이 저하하여 4㎛를 초과하면, 회로를 미세패턴으로 가공하는 경우에 에칭 잔사가 증가하고, 그 결과 전기 신뢰성이 저하한다. 여기서, 조화 처리면의 표면 조도(Rz)는 JISB 0601-1994 「표면 조도의 정의와 표시」의 「5.1 열점 평균 조도」의 정의에서 규정된 Rz를 말한다.First, the surface roughness Rz of the roughened surface must be in the range of 0.5 to 4 占 퐉. If the value of Rz is not satisfied and the adhesive force between the metal foil and the polyimide layer is lowered to exceed 4 mu m, etching residues increase when the circuit is processed into a fine pattern, resulting in deterioration of electrical reliability. Here, the surface roughness Rz of the roughened surface refers to Rz defined in the definition of " 5.1 Roughness Average Roughness " of JISB 0601-1994 " Definition and Display of Surface Roughness ".

이어서, 조화 처리면의 표층부는 다수의 조화 입자에 의해 형성된 미세 돌기 형상으로 되어 있고, 상기 미세 돌기 형상의 제 1 돌기물에 있어서의 근본 부분의 폭(L)에 대한 돌기 높이(H)의 비로 나타내어지는 애스펙트비(H/L)가 1.5?5의 범위이고, 돌기 높이가 1?3㎛의 범위인 돌기 형상의 비율이 전체 돌기 형상의 수에 대하여 50% 이하인 것이 필요하다. 상기 애스펙트비와 돌기 높이의 요건이 50%를 초과하면, 표면 조화 형상이 거칠어지기 때문에 내열성(유리 전이 온도)이 높은 폴리이미드층을 가열 압착하는 경우, 플로우성이 부족하고 마이크로보이드가 발생하기 쉬워진다.Next, the surface layer portion of the roughened surface is in the form of a fine projection formed by a plurality of roughened particles, and the ratio of the projection height H to the width L of the basic portion of the first projection in the fine projection- It is necessary that the ratio of the projections having the aspect ratio (H / L) shown in the range of 1.5 to 5 and the height of the projections in the range of 1 to 3 占 퐉 is 50% or less with respect to the total number of projections. When the aspect ratio and the height of the projection are more than 50%, the surface roughened shape is roughened, and when the polyimide layer having a high heat resistance (glass transition temperature) is heat-pressed, the flow property is insufficient and micro voids are likely to occur Loses.

또한, 금속박 표면의 조화 처리면에 있어서는 인접하는 돌기물 사이에 깊이 0.5㎛ 이상, 인접 돌기물 사이 거리가 O.OO1?1㎛의 범위에 있는 간극의 존재 비율이 전체 돌기 형상수의 50% 이하인 것이 필요하다. 이 비율이 50%를 초과하면, 간극에의 수지 충전이 충분히 행해지지 않아 마이크로보이드가 발생하기 쉬워진다.Further, in the roughened surface of the metal foil surface, the existence ratio of gaps having a depth of 0.5 占 퐉 or more and a distance between adjacent projections in the range of 0.001 to 1 占 퐉 is 50% or less of the total number of projections It is necessary. If the ratio exceeds 50%, resin filling into the gap is not sufficiently performed, and micro voids are likely to occur.

여기서, 본 발명에 사용하는 금속박의 조화 처리면에 대하여, 도 1을 사용하여 설명한다. 도 1은 금속박 단면의 표면 부분을 확대하여 모식적으로 나타낸 것이다. 본 발명에 있어서, 조화 처리면의 미세 돌기 형상의 애스펙트비는, 예를 들면 도 1에 나타낸 바와 같이 미세 돌기 형상의 제 1 돌기물의 높이(H)를 돌기물의 근본 부분의 폭(L)으로 나눈 값이다. 돌기 높이는 인접하는 골짜기의 저부를 연결한 중심으로부터 최장 길이를 나타내는 값을 말한다.Here, the roughened surface of the metal foil used in the present invention will be described with reference to Fig. Fig. 1 schematically shows an enlarged surface portion of a cross section of a metal foil. In the present invention, the aspect ratio of the microprojection shape of the roughened surface can be determined, for example, by dividing the height (H) of the first projections having the microprojection shape by the width L of the root portion of the projection Value. The height of the protrusion refers to a value indicating the longest length from the center connecting the bottom of adjacent valleys.

또한, 본 발명의 상기 (c)의 요건에 대하여 말하면, 인접하는 돌기물 사이에 깊이 0.5㎛ 이상의 간극이 있고, 그 간극에 있어서의 인접 돌기물 사이 거리가 0.OO1?1㎛인 간극이 존재하지만 존재 비율로 판단된다. 도 1에 있어서, 돌기물 p와 돌기물 q는 인접한 돌기물이고, 돌기물 p와 q 사이에는 0.5㎛ 이상 깊이의 간극을 갖고 있다. 그리고, 그 인접간 거리는 O.OO1?1㎛의 범위이다. 본 발명에서 이러한 간극은 적을수록 좋고, (c)의 요건을 환언하면 돌기물 사이에 깊이는 0.5㎛ 이상 깊이의 간극을 갖고, 그 깊이까지의 인접간 거리가 O.OO1?1㎛의 범위에 있는 것이 전체 돌기 형상수에 대하여 50% 이하의 수이다.(C) of the present invention, there is a gap of 0.5 mu m or more in depth between adjacent protrusions, and a clearance having a distance between adjacent protrusions in the gap of 0.0001 to 1 mu m is present However, it is judged as existence ratio. In Fig. 1, the protrusions p and q are adjacent protrusions, and the protrusions p and q have a gap of 0.5 mu m or more in depth. The adjacent distance is in the range of 0.001 to 1 mu m. In the present invention, the smaller the gap is, the smaller the gap is, in other words, the requirement of (c), the gap between the protrusions is 0.5 mu m or more in depth, and the distance between adjacent ones to the depth is in the range of 0.001 to 1 mu m Is 50% or less of the total number of projection shapes.

본 발명에 사용하는 금속박 표면에 형성되어 있는 조화 형상은 정점 방향을 향하여 근본 부분의 폭(L)보다 큰 폭이 존재하는 돌기 형상의 비율이 전체 돌기 형상의 수에 대하여 20% 이하인 것이 바람직하고, 10% 이하인 것이 더욱 바람직하다. 이 비율이 20%를 초과하면, 돌기 형상의 근본 부분에 마이크로보이드가 발생하기 쉬운 경향이 있다.The roughened shape formed on the surface of the metal foil used in the present invention preferably has a ratio of the projections having a width larger than the width L of the root portion toward the vertex direction by 20% And more preferably 10% or less. If this ratio exceeds 20%, microvoids tend to occur in the base portion of the projection shape.

본 발명의 금속박의 조화면에 있어서는 조화 처리에 의한 돌기물의 형상이 가늘고 긴 것이면 마이크로보이드가 발생하기 쉬운 경향이 있기 때문에, 전체 돌기 형상에서 차지하는 높이 1㎛ 이상의 돌기 형상의 평균 폭이 1㎛ 이상이지만 비율이 1O% 이상인 것이 바람직하고, 30% 이상인 것이 보다 바람직하다. 여기서, 돌기 형상의 평균 폭은 돌기 형상의 1/2 높이에서의 폭을 평균 폭으로 간주해도 좋다. 또한, 이와 같이 조화 처리된 동박은 시판되고 있고, 본 발명에서 말하는 조화 처리면의 요건을 만족시키는 것은 시판품으로부터 입수가능하다.In the roughened surface of the metal foil of the present invention, since the microprojection tends to be generated if the shape of the projections by the roughening treatment is long and thin, the average width of the projections having a height of 1 mu m or more in total projections is 1 mu m or more The ratio is preferably 10% or more, more preferably 30% or more. Here, the average width of the projection shapes may be regarded as the average width, which is the width at 1/2 height of the projection shape. The copper foil thus roughened is commercially available, and those satisfying the requirements of the roughened surface in the present invention are available from commercial products.

금속박의 조화 처리면은 조화 처리면이 Ni, Zn 및 Cr로 도금 처리되어 있고, Ni 함유량이 0.1mg/dm2 이상이고, 또한 명도계에 의해 측정한 Y값(명도)이 25 이상인 것이 바람직하다. 이 명도는 샘플 표면에 광을 조사하여 광의 반사량을 명도라고 함으로써 표면의 조도를 나타내는 지표가 된다. 명도가 낮다는 것은 반사율이 낮고, 즉 인접하는 돌기물 사이에 좁고 깊은 간극이 많은 것을 나타내고, 열압착시의 마이크로보이드가 발생하기 쉬워진다. Ni 함유량이 O.1 mg/dm2 미만인 경우, 내식성이 부족하기 때문에 폴리이미드의 충전성에 관계없이 산에 의해 부식되어 버린다.It is preferable that the roughened surface of the metal foil is plated with Ni, Zn and Cr on the roughened surface, has a Ni content of 0.1 mg / dm 2 or more, and has a Y value (brightness) . This lightness is an index indicating the illuminance of the surface by irradiating the sample surface with light and letting the light reflectance be lightness. The low brightness means that the reflectance is low, that is, there are many narrow and deep gaps between adjacent protrusions, and micro voids are likely to occur at the time of thermocompression bonding. When the Ni content is less than 0.1 mg / dm < 2 & gt ;, the corrosion resistance is insufficient, so that it is corroded by the acid regardless of the filling property of the polyimide.

이어서, 본 발명의 금속장 적층판으로 절연층이 되는 폴리이미드층에 대하여 설명한다.Next, the polyimide layer to be an insulating layer with the metal-clad laminate of the present invention will be described.

상기에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 있어서 폴리이미드층은 폴리이미드층(i)을 금속박과 접하는 층으로서 필수로 하고, 바람직하게는 복수의 폴리이미드로 구성된다. 바람직하게 구체적인 폴리이미드층의 구성예를 나타내면, 하기 구성예를 예시할 수 있다. 또한, 하기 구성예에 있어서, M은 금속박의 약어이고, PI는 폴리이미드의 약어이고, 또한 PI층(i)은 유리 전이 온도가 300℃ 이상인 폴리이미드층, PI층(ii)은 폴리이미드층(i)보다 유리 전이 온도가 50℃ 이상 높은 폴리이미드층이다.As described above, in the present invention, the polyimide layer is indispensable as a layer in contact with the metal foil (i), and is preferably composed of a plurality of polyimides. Preferable examples of the constitution of the polyimide layer include the following constitutional examples. The PI layer (i) is a polyimide layer having a glass transition temperature of 300 ° C or higher, and the PI layer (ii) is a polyimide layer having a glass transition temperature of 300 ° C or higher. In the following constitutional example, M is abbreviation of metal foil, PI is abbreviation of polyimide, (i) is a polyimide layer having a glass transition temperature higher by 50 占 폚 or more.

1) M/PI층(i)/PI층(ii)/PI층(i)1) M / PI layer (i) / PI layer (ii) / PI layer (i)

2) M/PI층(i)/PI층(ii)/PI층(i)/M2) M / PI layer (i) / PI layer (ii) / PI layer (i) / M

3) M/Pl층(ii)/PI층(i)/M3) M / Pl layer (ii) / PI layer (i) / M

폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드는 일반적으로 하기 식(1)로 나타내어지고, 디아민 성분과 산 이무수물 성분을 실질적으로 등몰 사용하고 유기 극성 용매 중에서 중합하는 공지의 방법에 의해 제조할 수 있다.The polyimide constituting the polyimide layer is generally represented by the following formula (1), and can be prepared by a known method in which the diamine component and the acid dianhydride component are substantially equimolarly used and polymerized in an organic polar solvent.

Figure pat00001
Figure pat00001

여기서, Ar1은 방향족환을 1개 이상 갖는 4가의 유기기이고, Ar2는 방향족환을 1개 이상 갖는 2가의 유기기이고, n은 반복수를 나타낸다. 즉, Ar1은 산 이무수물의 잔기이고, Ar2는 디아민의 잔기이다.Wherein Ar 1 is a tetravalent organic group having at least one aromatic ring, Ar 2 is a divalent organic group having at least one aromatic ring, and n represents a repeating number. That is, Ar 1 is a residue of an acid dianhydride, and Ar 2 is a residue of a diamine.

폴리이미드의 중합에 사용하는 용매는, 예를 들면 디메틸아세트아미드, n-메틸피롤리디논, 2-부타논, 디글라임, 크실렌 등을 들 수 있고, 이들을 1종 또는 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있다. 또한, 중합하여 얻어진 폴리아미드산(폴리이미드 전구체)의 수지 점도에 대해서는 500cps?35000cps의 범위로 하는 것이 바람직하다.Examples of the solvent to be used for the polymerization of polyimide include dimethylacetamide, n-methylpyrrolidinone, 2-butanone, diglyme, xylene, etc. These solvents may be used alone or in combination have. The resin viscosity of the polyamic acid (polyimide precursor) obtained by polymerization is preferably in the range of 500 cps to 35000 cps.

원료로서 사용하는 디아민 성분 및 산 이무수물 성분은 절연층을 구성하는 폴리이미드층(i), 폴리이미드층(ii)에 요구되는 각종 특성을 고려하여 하기에 예시된 각 원료 성분 중으로부터 적당하게 최적인 것이 선택된다.The diamine component and the acid dianhydride component used as a raw material are appropriately selected from the respective raw material components exemplified below in consideration of various properties required for the polyimide layer (i) and the polyimide layer (ii) constituting the insulating layer Is selected.

산 이무수물로서는, 예를 들면 O(CO)2-Ar1-(CO)2O에 의해 나타내어지는 방향족 테트라카르복실산 이무수물이 바람직하고, 하기 식(2)로 나타내어지는 방향족 산무수물 잔기를 Ar1로서 부여하는 것이 예시된다.As the acid dianhydride, for example, an aromatic tetracarboxylic acid dianhydride represented by O (CO) 2 -Ar 1 - (CO) 2 O is preferable, and an aromatic acid anhydride residue represented by the following formula (2) Ar 1 is given as an example.

Figure pat00002
Figure pat00002

또한, 디아민으로서는, 예를 들면 H2N-Ar2-NH2에 의해 나타내어지는 방향족 디아민이 바람직하고, 하기 식(3)으로 나타내어지는 방향족 디아민 잔기를 Ar2로서 부여하는 방향족 디아민이 예시된다.As the diamine, for example, an aromatic diamine represented by H 2 N-Ar 2 -NH 2 is preferable, and an aromatic diamine in which an aromatic diamine residue represented by the following formula (3) is given as Ar 2 is exemplified.

Figure pat00003
Figure pat00003

본 발명에 있어서의 폴리이미드층(i)은 금속박과 접하는 유리 전이 온도가 300℃ 이상의 폴리이미드층이다. 폴리이미드층(i)은 금속박과의 접착성의 관점에서 금속박과 가열 압착시에 열가소성을 나타내는 것이 필요하지만, 유리 전이 온도가 낮아지면 내열성의 저하와 연결된다. 그러한 관점에서 폴리이미드층(i)의 바람직한 유리 전이 온도는 350℃ 미만인 것이 바람직하다.The polyimide layer (i) in the present invention is a polyimide layer having a glass transition temperature of 300 DEG C or more and in contact with the metal foil. The polyimide layer (i) is required to exhibit thermoplasticity when hot-pressed with a metal foil from the viewpoint of adhesion with the metal foil. However, when the glass transition temperature is lowered, the polyimide layer (i) From such a viewpoint, the preferable glass transition temperature of the polyimide layer (i) is preferably less than 350 占 폚.

이러한 폴리이미드층(i)을 구성하는 산 이무수물 성분으로서는 상기 식(2)에서 예시한 것을 들 수 있지만, 피로멜리트산 이무수물(PMDA)을 필수 성분으로 하고 이것을 주성분으로서 특히 바람직하게는 80몰% 이상 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 폴리이미드층(i)을 구성하는 디아민 성분으로서는 상기 식(3)에서 예시한 것을 들 수 있지만, 특히 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP)을 필수 성분으로 하고 이것을 주성분으로서 특히 바람직하게는 80몰% 이상 사용하는 것이 바람직하다. 여기서, 다른 산 이무수물 및 디아민 성분은 2종 이상 병용하는 것도 가능하다.The acid dianhydride component constituting the polyimide layer (i) includes those exemplified in the above formula (2), but it is preferable to use pyromellitic dianhydride (PMDA) as an essential component and particularly preferably 80 mol % Or more. Examples of the diamine component constituting the polyimide layer (i) include those exemplified in the above-mentioned formula (3). Particularly, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) And it is particularly preferable to use it as a main component in an amount of 80 mol% or more. Here, the other acid dianhydrides and diamine components may be used in combination of two or more.

본 발명에 있어서의 폴리이미드층(ii)은 폴리이미드층(i)보다도 유리 전이 온도가 50℃ 이상 높은 폴리이미드층이다. 폴리이미드층(ii)은 금속박과의 접착성의 관점에서 직접은 금속박과 접하고 폴리이미드층(i)을 통하여 금속박과 일체화되는 것이 바람직하다.The polyimide layer (ii) in the present invention is a polyimide layer having a glass transition temperature higher than that of the polyimide layer (i) by 50 占 폚 or more. The polyimide layer (ii) is preferably directly in contact with the metal foil and integrated with the metal foil through the polyimide layer (i) in view of adhesion with the metal foil.

이러한 폴리이미드층(ii)을 구성하는 산 이무수물 성분에는 피로멜리트산 이무수물(PMDA), 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물(BPDA), 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물(BTDA), 3,3',4,4'-디페닐술폰 테트라카르복실산 이무수물(DSDA) 및 4,4'-옥시디프탈산 이무수물(ODPA)로부터 선택된 것을 사용하는 것이 바람직하고, 이들을 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수도 있다.The acid dianhydride component constituting the polyimide layer (ii) includes pyromellitic dianhydride (PMDA), 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3,3' , 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride (DSDA) and 4,4'-oxydiphthalic dianhydride And water (ODPA) are preferably used, and they may be used singly or in combination of two or more.

또한, 폴리이미드층(ii)을 구성하는 디아민 성분에는 디아미노디페닐에테르(DAPE), 2'-메톡시-4,4'-디아미노벤즈아닐리드(MABA), 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB), 파라페닐렌디아민(P-PDA), 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R), 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(APB), 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-Q) 및 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP)이 바람직한 것으로서 예시되고, 이들을 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수도 있다.The diamine component constituting the polyimide layer (ii) includes diaminodiphenyl ether (DAPE), 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide (MABA), 2,2'- , 4'-diaminobiphenyl (m-TB), paraphenylenediamine (P-PDA), 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE- (APP), 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-Q), and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Are exemplified as preferable ones, and these may be used alone or in combination of two or more.

본 발명에 있어서의 폴리이미드층의 두께는 8?40㎛의 범위가 바람직하고, 9 ?30㎛의 범위가 더욱 바람직하다. 또한, 폴리이미드층(i)은 금속층과의 접착성 유지, 절연층 전체의 선팽창계수 제어에 의한 발란스 유지에 유용하고, 그 두께는 1?3㎛의 범위에 있는 것이 바람직하다. 폴리이미드층(i)은 폴리이미드층(ii)의 한쪽 측 또는 양측에 설치해도 좋다.The thickness of the polyimide layer in the present invention is preferably in the range of 8 to 40 mu m, more preferably in the range of 9 to 30 mu m. The polyimide layer (i) is useful for maintaining adhesiveness with the metal layer and for maintaining balance by controlling the coefficient of linear expansion of the entire insulating layer. The thickness of the polyimide layer (i) is preferably in the range of 1 to 3 mu m. The polyimide layer (i) may be provided on one side or both sides of the polyimide layer (ii).

상기와 같이, 본 발명에서 절연층은 단층 또는 복수의 폴리이미드층으로 구성되어 있지만, 본 발명에서는 절연층 전체(폴리이미드층 전체)에서 선팽창계수(CTE)를 10×10-6?25×10-6[1/K]의 범위로 하는 것이 바람직하다. 폴리이미드층을 복수층으로 하는 경우, 상기 폴리이미드층(ii)의 선팽창계수(CTE)는 30×10-6[1/K] 이하인 것이 바람직하고, 1×10-6?20×10-6[1/K]의 범위가 특히 바람직하다. 또한, 이 경우, 폴리이미드층(i)은 20×10-6?60×10-6[1/K]의 범위가 바람직하고, 30×10-6?50×10-6[1/K]의 범위가 특히 바람직하다.As described above, in the present invention, the insulating layer is composed of a single layer or a plurality of polyimide layers, but in the present invention, the coefficient of linear expansion (CTE) in the entire insulating layer (entire polyimide layer) is preferably 10 10 -6 ? -6 [1 / K]. When the polyimide layer has a plurality of layers, the coefficient of linear expansion (CTE) of the polyimide layer (ii) is preferably 30 x 10 -6 [1 / K] or less, more preferably 1 x 10 -6 to 20 x 10 -6 [1 / K] is particularly preferable. In this case, the polyimide layer (i) is preferably in the range of 20 × 10 -6 to 60 × 10 -6 [1 / K], more preferably in the range of 30 × 10 -6 to 50 × 10 -6 [1 / K] Is particularly preferable.

이하, 본 발명의 금속장 적층판의 제조 방법에 대하여 적층체의 상기 구성예 2)의 것[M/PI층(i)/PI층(ii)/PI층(i)/M ]에 기초하여 설명한다. 또한, 하기 예에 있어서, M은 동박을 적용한 것이다.Hereinafter, the method for producing the metal-clad laminate according to the present invention will be described with reference to the [M / PI layer (i) / PI layer (ii) / PI layer (i) / M] do. In the following examples, M is a copper foil.

본 예에 있어서는 우선, 조화 처리된 동박의 표면에 폴리이미드층(i)으로 하기 위해서 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산 용액을 직접 도포하고, 수지 용액에 포함되는 용제를 150℃ 이하의 온도에서 정도 제거한다.In this example, first, a polyamic acid solution, which is a precursor of polyimide, is applied directly to the surface of the roughened copper foil to form the polyimide layer (i), and the solvent contained in the resin solution is sprayed Remove.

이어서, 폴리이미드층(ii)으로 하기 위해서 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산 용액을 직접 도포하고, 수지 용액에 포함되는 용제를 150℃ 이하의 온도에서 정도 제거한다.Then, a polyamic acid solution which is a precursor of polyimide is applied directly to the polyimide layer (ii), and the solvent contained in the resin solution is removed at a temperature of 150 DEG C or lower.

그리고 또한, 폴리이미드층(i)으로 하기 위해서 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드 산의 용액을 직접 도포하고, 수지 용액에 포함되는 용제를 150℃ 이하의 온도에서 정도 제거한다. 이와 같이 하여, 동박 상에 용제를 어느 정도 제거한 복수층의 폴리이미드 전구체층을 형성한 후, 100?450℃, 바람직하게는 300?450℃의 온도 범위에서 5?40분간 정도의 열처리를 더 행하여, 용매의 제거 및 이미드화를 더 행한다.Further, a polyamic acid solution which is a precursor of polyimide is applied directly to the polyimide layer (i), and the solvent contained in the resin solution is removed at a temperature of 150 ° C or lower. In this manner, after forming a plurality of layers of polyimide precursor layers on the copper foil by removing the solvent to some extent, heat treatment is performed at a temperature of 100-450 DEG C, preferably 300-450 DEG C for 5-40 minutes , And removal of the solvent and imidization are further performed.

이 상태로, 동박 상에 3층의 폴리이미드층으로 이루어지는 한 면 동장 적층판이 형성된 것이 있지만, 이 한 면 동장 적층판의 폴리이미드층(i)면 측에 조화 처리된 동박을 가열 압착한다. 가열 압착은 폴리이미드층(i)의 유리 전이 온도보다 다소 높은 온도로 가열 압착하고, 본 발명에서는 상기 특정 조화 처리면의 동박을 사용함으로써 마이크로보이드의 발생을 억제하는것이 가능해진다. 본 예에서는 폴리이미드층의 양측에 조화 처리된 동박을 적용했지만, 본 발명에서는 그 한 쪽, 바람직하게는 가열 장착측의 동박에만 상기에서 규정한 특정 동박을 적용해도 좋다.In this state, a single-sided copper-clad laminate composed of three layers of polyimide layers is formed on the copper foil. The copper foil roughed on the polyimide layer (i) side of the single-sided copper clad laminate is heat-pressed. The hot pressing is heat-pressed at a temperature slightly higher than the glass transition temperature of the polyimide layer (i), and in the present invention, the generation of micro voids can be suppressed by using the copper foil of the specific roughened surface. In this embodiment, the copper foil roughened on both sides of the polyimide layer is applied, but in the present invention, the copper foil specified above may be applied only to the copper foil on one side, preferably on the heat-mounting side.

이와 같이, 본 발명에서는 내열성이 요구되는 금속박과 접하는 층이 높은 유리 전이 온도의 폴리이미드층을 사용하는 경우에 있어서도, 특정 표면 성상을 갖는 조화 처리된 동박을 사용함으로써 치수안정성, 접착성 등 다른 금속장 적층판의 각종 특성을 유지한 채, 마이크로보이드의 발생을 억제할 수 있다.As described above, in the present invention, even when a polyimide layer having a high glass transition temperature is used as a layer in contact with a metal foil which requires heat resistance, the use of a roughened copper foil having a specific surface property can improve the dimensional stability, It is possible to suppress the occurrence of micro voids while maintaining various characteristics of the laminated sheet.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명을 실시예에 기초하여 더욱 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 특별히 언급하지 않는 한 각종 평가에 대해서는 하기에 의한 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples. In the following examples, unless otherwise noted, various evaluations are as follows.

[유리 전이 온도의 측정][Measurement of glass transition temperature]

기재 동박을 에칭하여 필름 상태가 된 폴리이미드를 SⅡ NanoTechnology Inc. 제작의 동적 점탄성 측정 장치(RSA-Ⅲ)를 사용하여 인장 모드에서 1.0Hz의 온도 분산 측정한 tanδ의 피크 탑을 유리 전이점 온도로 했다.The base copper foil was etched to obtain a polyimide film in a state of SII NanoTechnology Inc. Using a dynamic viscoelasticity measuring device (RSA-Ⅲ), the peak temperature of tan δ measured at 1.0 Hz in tensile mode was taken as the glass transition temperature.

[조화 처리면의 평가][Evaluation of Harmonized Surface]

조화 처리면의 형상 평가는 크로스 섹션 폴리셔(JEOL Ltd. 제작, SM-09010)로 제작한 동박 단면을 FE-SEM(Hitachi High-Technologies Corporation 제작, S-4700형)에 의해 관찰하고, 폭 25㎛의 범위내에 있어서의 조화부의 형태를 평가했다.The shape of the roughened surface was evaluated by FE-SEM (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, model S-4700), and the width of the copper foil was measured using a cross-section polisher (SM-09010 manufactured by JEOL Ltd.) The shape of the harmonic portion within the range of 占 퐉 was evaluated.

또한, 조화 처리면의 Ni량은 폴리이미드에 접하는 면만을 1N-질산에 정용시켜 ICP-AES(PerkinElmer Co., Ltd. 제작, 0ptima 4300)에 의해 측정했다. 또한, 명도(Y)는 Suga Test Instruments Co., Ltd. 제작의 SM-4를 사용하여 측정했다.In addition, the amount of Ni in the roughened surface was measured by ICP-AES (manufactured by PerkinElmer Co., Ltd., 0ptima 4300) by using only the surface in contact with polyimide to 1N-nitric acid. The brightness (Y) is measured by Suga Test Instruments Co., Ltd. And measured using SM-4 manufactured by Mitsubishi Electric Corporation.

[내산성의 측정][Measurement of acid resistance]

내산성의 측정은 플렉시블 한면 동장 적층판에 대하여, 선폭 1mm로 회로 가공을 행하고, 염산 18wt%의 수용액 중에 50℃, 60분간 침지시킨 후에 절연층(폴리이미드층)측으로부터 회로 단부를 200배의 광학현미경을 사용하여 염산의 침투에 의한 변색 폭을 측정했다. 여기서, 염산 침투 폭이 200㎛ 이하인 것이 양호하다고 평가할 수 있다.The acid resistance of the flexible one-side copper-clad laminate was evaluated by circuit processing with a line width of 1 mm, immersing the copper-clad laminate in an aqueous solution of hydrochloric acid of 18 wt% at 50 DEG C for 60 minutes and then measuring the circuit end from the insulating layer (polyimide layer) , The discoloration width due to penetration of hydrochloric acid was measured. Here, it can be evaluated that the hydrochloric acid penetration width is 200 mu m or less.

[접착력(필 강도)의 측정][Measurement of adhesive strength (peel strength)] [

동박과 폴리이미드 수지층 사이의 접착력은 동박 상에 폴리이미드 수지로 이루어지는 절연층을 형성하여 얻어진 플렉시블 한면 동장 적층판에 있어서, 선폭 1mm로 회로 가공을 행하고, TOYO SEIKI Co., Ltd. 제작의 인장 시험기(스토로그래프-Ml)를 사용하여 동박을 180° 방향으로 박리하여 초기 필 강도를 측정했다. 또한, 상기 내산성 측정 후의 필 강도를 측정하여 내산 후 필 강도/초기 필 강도×100을 유지율로 했다.The adhesive force between the copper foil and the polyimide resin layer was obtained by forming an insulating layer made of polyimide resin on the copper foil and then performing circuit processing with a line width of 1 mm in the flexible one-side copper-clad laminate. The initial peel strength was measured by peeling the copper foil in the direction of 180 占 using a tensile tester (Stroog-M1) of the fabricator. The peel strength after the acid resistance was measured, and the peel strength after the acid resistance / the initial peel strength x 100 was regarded as the retention ratio.

합성예 1Synthesis Example 1

열전대 및 교반기를 구비한 동시에 질소 도입이 가능한 반응 용기에 N,N-디메틸아세트아미드를 투입했다. 이 반응 용기에 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP)을 용기 중에서 교반하면서 용해시켰다. 이어서, 피로멜리트산 이무수물(PMDA)을 첨가하여 모노머의 투입 총량이 12wt%가 되도록 했다. 그 후, 3시간 교반을 지속하여 폴리아미드산의 수지 용액 b를 얻었다. 폴리아미드산의 수지 용액 b의 용액 점도는 3,000cps이었다. 이 폴리아미드산으로부터 얻어진 폴리이미드는 30×10-6(1/K)를 초과하는 선팽창계수를 나타내고, 315℃의 유리 전이점 온도를 갖고 있었다.N, N-dimethylacetamide was added to a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of nitrogen introduction at the same time. To this reaction vessel, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) was dissolved in a vessel while stirring. Then, pyromellitic dianhydride (PMDA) was added so that the total amount of the monomer added was 12 wt%. Thereafter, stirring was continued for 3 hours to obtain a resin solution b of a polyamic acid. The solution viscosity of the resin solution b of polyamic acid was 3,000 cps. The polyimide obtained from the polyamic acid exhibited a coefficient of linear expansion exceeding 30 x 10 < -6 > (1 / K) and had a glass transition temperature of 315 deg.

합성예 2Synthesis Example 2

열전대 및 교반기를 구비한 동시에 질소 도입이 가능한 반응 용기에 N,N-디메틸아세트아미드를 투입했다. 이 반응 용기에 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB)을 용기 중에서 교반하면서 용해시켰다. 이어서, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물(BPD) 및 피로멜리트산 이무수물(PMDA)을 첨가했다. 모노머의 투입 총량이 15wt%이고, 각 산무수물의 몰비율(BPDA:PMDA)이 20:80이 되도록 투입했다. 그 후, 3시간 교반을 지속하여 폴리아미드산의 수지 용액 a를 얻었다. 폴리아미드산의 수지 용액 a의 용액 점도는 20,000cps이었다. 이 폴리아미드산으로부터 얻어진 폴리이미드는 20×10-6(1/K) 이하의 저선팽창계수를 나타내고, 비열가소성의 성질을 갖고 있었다.N, N-dimethylacetamide was added to a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of nitrogen introduction at the same time. In this reaction vessel, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB) was dissolved in a vessel while stirring. Then, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPD) and pyromellitic dianhydride (PMDA) were added. The amount of the monomer added was 15 wt%, and the molar ratio of each acid anhydride (BPDA: PMDA) was 20:80. Thereafter, stirring was continued for 3 hours to obtain a resin solution a of polyamic acid. The solution viscosity of the resin solution a of polyamic acid was 20,000 cps. The polyimide obtained from the polyamic acid exhibited a low coefficient of linear expansion of 20 x 10 < -6 > (1 / K) or less and had non-thermoplastic properties.

실시예 1Example 1

동박으로서, 표면 처리층으로서 아미노기를 갖는 실란 커플링제로 실란 커플링 처리하여 표 1에 나타낸 조화 처리면을 갖는 전해 동박을 준비했다. 이 동박은 두께 12㎛이고, 표면 조도(Rz)는 1.2㎛이었다. 이 동박 상에 합성예 2에서 조제한 폴리아미드산의 수지 용액 b, 합성예 1에서 조제한 폴리아미드산의 수지 용액 a 및 합성예 2에서 조제한 폴리아미드산의 수지 용액 b을 순차 도포하고, 건조 후에 최종적으로 300℃ 이상 약 10분 동안 열처리를 행하여 폴리이미드층의 두께가 25㎛의 플렉시블 한 면 동장 적층판을 얻었다. 또한, 폴리이미드층은 폴리아미드산의 수지 용액 a로부터 얻어진 21㎛의 층과, 그 양측에 폴리아미드산의 수지 용액 b로부터 얻어진 각 2㎛의 층을 갖는 것이다.As the copper foil, an electrolytic copper foil having a roughened surface shown in Table 1 was prepared by silane coupling treatment with a silane coupling agent having an amino group as a surface treatment layer. This copper foil was 12 mu m thick and the surface roughness (Rz) was 1.2 mu m. On this copper foil, a resin solution b of polyamic acid prepared in Synthesis Example 2, a resin solution a of polyamic acid prepared in Synthesis Example 1, and a resin solution b of polyamic acid prepared in Synthesis Example 2 were sequentially coated on the copper foil, At 300 DEG C or higher for about 10 minutes to obtain a flexible surface-anchor laminate having a thickness of 25 mu m as the polyimide layer. The polyimide layer has a layer of 21 mu m obtained from the resin solution a of polyamic acid and a layer of 2 mu m each obtained from the resin solution b of polyamic acid on both sides thereof.

이와 같이 하여 얻어진 플렉시블 한 면 동장 적층판에 대하여, 그 폴리이미드층면에 상기와 동일한 동박을 가열?가압 하, 금속롤 사이를 통과시킴으로써 가열 압착했다. 필 강도 및 내산성의 특성 평가는 플렉시블 양면 동장 적층판의 가열 압착면측에 대하여 행한 결과, 동박과 폴리이미드층 사이의 1mm 필은 초기 접착력이 1.95kN/m이었다. 또한, 이 회로의 내산성 시험에 의한 침투 폭은 69㎛이고, 필 강도 유지율은 89%이었다. 결과를 표 2에 나타낸다.The same copper foil as above was heated and pressed on the polyimide layer surface of the thus obtained flexible surface-copper-clad laminate by passing between the metal rolls under heat and pressure. The evaluation of the peel strength and acid resistance was carried out on the side of the heat-pressed side of the flexible double-side copper-clad laminate. As a result, the initial adhesive force of 1 mm peel between the copper foil and the polyimide layer was 1.95 kN / m. Further, the penetration width of this circuit by the acid resistance test was 69 탆, and the peel strength retention was 89%. The results are shown in Table 2.

실시예 2, 3, 비교예 1, 2Examples 2 and 3, Comparative Examples 1 and 2

표면 금속량이 다른 표 1에 나타낸 전해 동박을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 행하여 필 강도, 염산 침투성, 필 유지율을 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다.The electrolytic copper foil shown in Table 1 having different surface metal amounts was used in the same manner as in Example 1 to evaluate the fill strength, hydrochloric acid permeability, and fill retention. The results are shown in Table 2.

표 1에는 나타내지 않지만 실시예, 비교예에서 사용한 모든 동박의 조화 처리면은 Ni, Zr 및 Cr로 도금 처리되어 있다.Although not shown in Table 1, the roughened surfaces of all the copper foils used in Examples and Comparative Examples were plated with Ni, Zr and Cr.

표 1에 있어서,In Table 1,

(b) 고애스펙트비수/전체 돌기수는 측정한 전체 돌기수에 대하여 애스펙트비(H/L)가 1.5?5의 범위에 있고, 돌기 높이가 1?3㎛의 범위에 있는 것의 수 비율을 나타내고,(b) The number of high aspect ratio non-number / total number of projections indicates the ratio of the number of the projections having the aspect ratio (H / L) in the range of 1.5 to 5 and the height of the projections in the range of 1 to 3 μm ,

(c) 돌기 사이의 협간극수/전체 돌기수는 측정한 전체 돌기수에 대하여 인접하는 돌기물 사이에 깊이 0.5㎛ 이상, 인접 돌기물 사이의 거리가 0.001?1㎛의 범위인 간극을 갖는 것의 수 비율을 나타낸다.(c) The number of narrow-gage / total number of projections between projections shall be the number of gaps having a depth of at least 0.5 μm between adjoining projections and a distance between adjacent projections in the range of 0.001 to 1 μm Ratio.

또한, (d) 불룩한 돌기수/전체 돌기수는 측정한 전체 돌기수에 대하여 근원 폭(L)보다 넓은 폭을 갖는 돌기 형상의 수 비율이다.(D) The number of bulged protrusions / total protrusions is a ratio of the number of protrusions having a width larger than the source width L to the total number of protrusions measured.

또한, (e) 돌기 평균 폭 1㎛ 이상/전체 돌기수는 측정한 전체 돌기수에 대하여 돌기의 평균 폭이 1㎛ 이상인 것의 수 비율이다.(E) The projection average width is 1 占 퐉 or more / total projection number is a ratio of the number of projections having an average width of 1 占 퐉 or more to the total number of projections measured.

또한, 실시예 1에서 사용한 동박 단면의 사진을 도 2에, 비교예 2에서 사용한 동박 단면의 사진을 도 3에 참고로 나타냈다. 여기서, 실시예 2 및 3에서 사용한 동박은, Rz는 다르지만 표면의 미세 조화 형상은 도 2와 유사하고, 비교예 1에서 사용한 동박은, Rz는 다르지만 표면의 미세 조화 형상은 도 3과 유사했다.A photograph of the copper foil section used in Example 1 is shown in Fig. 2, and a photograph of the copper foil section used in Comparative Example 2 is shown in Fig. Here, the copper foil used in Examples 2 and 3 was similar to that of Fig. 2 although the Rz was different, but the surface of the copper foil used in Comparative Example 1 was similar to that of Fig. 3 although the Rz was different.

Figure pat00004
Figure pat00004

Figure pat00005
Figure pat00005

실시예 1, 2, 3에서 얻어진 동장 적층판에서는 염산 처리 후에 있어서의 회로 단부의 변색은 200㎛ 이하, 필 강도 유지율은 70% 이상인 것을 확인했다. 한편, 비교예 1, 2에서는 회로 단부 전체에 회로 박리에 의한 변색이 확인되고, 필 강도 유지율은 70% 미만이 되었다.In the copper clad laminate obtained in Examples 1, 2 and 3, discoloration of the circuit end after hydrochloric acid treatment was 200 m or less and the peel strength retention was 70% or more. On the other hand, in Comparative Examples 1 and 2, discoloration due to peeling of the circuit was confirmed on the entire circuit end portion, and the peel strength retention ratio was less than 70%.

이와 같이 본 발명으로부터 얻어진 플렉시블 동장 적층판은 염산 처리 후에 침투가 억제되고 회로 박리가 발생되지 않기 때문에, 신뢰성이 높은 재료인 것을 확인했다.As described above, the flexible copper clad laminate obtained from the present invention was confirmed to be a highly reliable material because permeation after hydrochloric acid treatment was suppressed and circuit peeling did not occur.

L: 미세 돌기 형상의 근본 부분의 폭 H: 미세 돌기 형상의 높이
p: q에 인접하는 1의 돌기물 q: p에 인접하는 1의 돌기물
L: width of the base portion of the fine projection shape H: height of the fine projection shape
p: one protrusion adjacent to q: one protrusion adjacent to p:

Claims (6)

폴리이미드층의 한 면 또는 양면에 금속박을 갖는 금속장 적층판에 있어서:
상기 금속박과 접하는 폴리이미드층(i)의 유리 전이 온도는 300℃ 이상이고, 상기 금속박의 폴리이미드층과 접하는 조화 처리면은 하기 (a)?(c)의 요건을 만족시키는 것을 특징으로 하는 금속장 적층판.
(a) 조화 처리면의 표면 조도(Rz)가 0.5?4㎛의 범위에 있는 것.
(b) 조화 처리면의 표층부는 다수의 조화 입자에 의해 형성된 미세 돌기 형상으로 되어 있고, 상기 미세 돌기 형상의 제 1 돌기물에 있어서의 근본 부분의 폭(L)에 대한 돌기 높이(H)의 비로 나타내어지는 애스펙트비(H/L)가 1.5?5의 범위이고, 상기 돌기 높이는 1?3㎛의 범위인 돌기 형상의 비율이 전체 돌기 형상의 수에 대하여 50% 이하인 것.
(c) 인접하는 돌기물 사이에 깊이 0.5㎛ 이상, 인접 돌기물 사이 거리가 0.001?1㎛의 범위에 있는 간극의 존재 비율이 전체 돌기 형상수의 50% 이하인 것.
A metal-clad laminate having a metal foil on one side or both sides of a polyimide layer, comprising:
Characterized in that the glass transition temperature of the polyimide layer (i) in contact with the metal foil is 300 DEG C or more and the surface to be roughened in contact with the polyimide layer of the metal foil satisfies the following requirements (a) to (c) Long laminated sheet.
(a) The surface roughness (Rz) of the roughened surface is in the range of 0.5 to 4 μm.
(b) the surface layer portion of the roughened surface is in the form of a fine protrusion formed by a plurality of roughening particles, and the height of the protrusion height H with respect to the width L of the root portion of the first protrusion (H / L) represented by the ratio is in the range of 1.5? 5, and the ratio of the projection shape having a height of 1? 3 占 퐉 is 50% or less with respect to the number of all projection shapes.
(c) The existence ratio of gaps having a depth of 0.5 μm or more between adjoining protrusions and a distance between adjacent protrusions in the range of 0.001 to 1 μm is 50% or less of the total protrusion number.
제 1 항에 있어서,
상기 (b)에서 규정하는 돌기 형상에 있어서, 정점 방향을 향하여 근본 부분의 폭(L)보다 큰 폭이 존재하는 돌기 형상의 비율은 전체 돌기 형상의 수에 대하여 20% 이하인 것을 특징으로 하는 금속장 적층판.
The method according to claim 1,
Wherein the ratio of the projection shape having the width larger than the width L of the root portion toward the vertex direction is 20% or less with respect to the number of all the projection shapes in the projecting shape specified in (b) Laminates.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
전체 돌기 형상에서 차지하는 높이 1㎛ 이상의 돌기 형상의 평균 폭이 1㎛ 이상인 것의 비율은 10% 이상인 것을 특징으로 하는 금속장 적층판.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the ratio of the average width of protrusions having a height of 1 占 퐉 or more, which occupies 1 占 퐉 or more, in the entire protruding shape is 10% or more.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 조화 처리면은 Ni, Zn 및 Cr로 도금 처리되어 있고, Ni 함유량은 0.1mg/dm2 이상이고, 또한 명도계에 의해 측정한 Y값(명도)은 25 이상인 것을 특징으로 하는 금속장 적층판.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the roughened surface is plated with Ni, Zn and Cr, the Ni content is 0.1 mg / dm 2 or more, and the Y value (brightness) measured by an optical system is 25 or more.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리이미드층은 복수층으로 이루어지고, 상기 금속박과 접하지 않는 폴리이미드층(ii)의 유리 전이 온도는 상기 폴리이미드층(i)의 유리 전이 온도보다 50℃ 이상 높은 것을 특징으로 하는 금속장 적층판.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the polyimide layer is composed of a plurality of layers and the glass transition temperature of the polyimide layer (ii) not in contact with the metal foil is at least 50 캜 higher than the glass transition temperature of the polyimide layer (i) Laminates.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리이미드 수지층과 상기 금속박의 1mm 폭에서의 초기 접착력은 1.0kN/m 이상이고, 염산에 1시간 침지 후의 필 강도 유지율은 80% 이상인 것을 특징으로 하는 금속장 적층판.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the initial adhesion of the polyimide resin layer and the metal foil at a width of 1 mm is 1.0 kN / m or more, and the peel strength retention after immersion in hydrochloric acid is 80% or more.
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