KR20120104863A - A chamber for a substrate processing apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A chamber of a substrate processing device is provided to arrange that a plurality of internal reinforcement members has two or more independent moment axes, thereby increasing space efficiency of the workplace. CONSTITUTION: A load lock chamber stores by receiving a substrate which is not processed from an outside or sends the processed substrate to the outside. A transfer chamber transfers the substrate of the load lock chamber to a processing chamber or transfers the substrate from the processing chamber to the load lock chamber by using a transfer robot. An opening side is installed in an upper side of a lower body(20). An upper body(10) is connected to the opening side of the lower body. An internal reinforcement member(30) is connected to an internal side of the upper side of the upper body and reinforces reinforcement of the upper body.

Description

기판처리장치의 챔버{A chamber for a substrate processing apparatus}A chamber for a substrate processing apparatus

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공상태에서 기판을 처리하는 기판처리장치의 챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a chamber of a substrate processing apparatus for processing a substrate in a vacuum state.

일반적으로 반도체나 평판표시소자(Flat Panel Display)를 제조하는 장치에서 기판처리장치는 기판(반도체 웨이퍼, 글라스 등)을 진공의 공정챔버(Process chamber) 내부에서 처리한다.In general, in a device for manufacturing a semiconductor or a flat panel display, a substrate processing apparatus processes a substrate (semiconductor wafer, glass, etc.) in a vacuum process chamber.

평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치의 기판처리장치는 로드락 챔버(Load-Lock Chamber)와 공정챔버(Process Chamber)가 일 방향으로 배치된 인라인 타입(In-Line Type)과 하나의 로드락 챔버(또는 반송챔버) 주위에 복수 개의 공정챔버가 배치된 클러스터 타입(Cluster Type)이 사용된다.Substrate processing apparatus of a flat panel display device manufacturing apparatus for manufacturing a flat panel display device is an in-line type and one in which a load-lock chamber and a process chamber are arranged in one direction. A cluster type in which a plurality of process chambers are disposed around the load lock chamber (or conveying chamber) is used.

특히 클러스터 타입의 기판처리장치는 공정챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 기판을 공정챔버로 반입하거나 그 반대로 반출함에 있어 경유지 역할을 하는반송챔버를 더 구비한다.In particular, the cluster type substrate processing apparatus further includes a transfer chamber which is installed between the process chamber and the load lock chamber to serve as a stop for carrying the substrate into or out of the process chamber.

한편, 로드락 챔버 또는 반송챔버는 상부바디와 하부바디의 결합하여 내부에 공간을 형성한다. 이때, 로드락 챔버 또는 반송챔버의 내부 구성, 즉, 기판탑재대(로드락 챔버의 경우) 또는 반송로봇(반송챔버의 경우)의 유지보수를 위하여 크레인 등을 이용하여 주기적으로 상부바디를 들어올려 하부바디와 분리시켜야 한다.On the other hand, the load lock chamber or the transfer chamber is coupled to the upper body and the lower body to form a space therein. At this time, the upper body is periodically lifted using a crane or the like for the maintenance of the internal structure of the load lock chamber or the transfer chamber, that is, the substrate mounting stage (in the case of the load lock chamber) or the transfer robot (in the case of the transfer chamber). It should be separated from the lower body.

최근 기판이 대형화됨에 따라 로드락 챔버 또는 반송챔버를 이루는 상부바디도 대형화되는 추세이다. 상부바디가 대형화됨에 따라 상부바디의 무게 또한 증가할 수 밖에 없으며, 상부바디를 들어올리는 크레인도 대형화되고 있다. 로드락 챔버 또는 반송챔버의 유지보수를 위한 크레인이 대형화됨에 따라 크레인의 제작비용 또는 구입비용이 증가하며 로드락 챔버 또는 반송챔버의 유지보수 비용이 증가하는 문제가 있다. 더불어, 크레인의 대형화에 따른 크레인 설치공간이 증대되어 작업장에서 공간 효율성이 낮아지는 문제가 발생한다.Recently, as the substrate is enlarged, the upper body forming the load lock chamber or the transfer chamber is also enlarged. As the upper body increases in size, the weight of the upper body also increases, and the crane lifting the upper body also increases in size. As the crane for maintenance of the load lock chamber or the transfer chamber is enlarged, there is a problem that the manufacturing cost or purchase cost of the crane increases and the maintenance cost of the load lock chamber or the transfer chamber increases. In addition, the crane installation space is increased according to the enlargement of the crane has a problem that the space efficiency is lowered in the workplace.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 로드락 챔버 또는 반송챔버의 유지보수 비용을 감소시키고 작업장의 공간 효율성을 높이는 기판처리장치의 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a chamber of a substrate processing apparatus which reduces the maintenance cost of the load lock chamber or the transfer chamber and increases the space efficiency of the workplace.

본 발명은 상술한 목적을 달성하기 위하여, 외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판을 외부로 내보내는 로드락 챔버 및 반송로봇을 이용하여 로드락 챔버의 기판을 공정챔버로 이송하거나 공정챔버에서 로드락 챔버로 기판을 이송하는 반송챔버 중 어느 하나의 챔버에 있어서, 상부에 개구면이 구비되는 하부바디, 상기 하부바디의 개구면에 결합되는 상부바디 및 상기 상부바디의 상부 내측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 내측 보강부재를 포함하는 챔버를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention transfers the substrate of the load lock chamber to the process chamber by using a load lock chamber and a transfer robot that receives and stores the unprocessed substrate from the outside or sends the processed substrate to the outside. In any one of the transfer chamber for transporting the substrate to the load lock chamber, the lower body having an opening surface on the upper, the upper body coupled to the opening surface of the lower body and the upper inner surface of the upper body is coupled It provides a chamber including an inner reinforcing member to reinforce the rigidity of the upper body.

이때, 상기 상부바디는 다각 평면구조를 가지고, 상기 내측 보강부재의 양단은 상기 상부바디 또는 하부바디에 의해 지지되는 것이 바람직하다. At this time, the upper body has a polygonal planar structure, both ends of the inner reinforcing member is preferably supported by the upper body or the lower body.

더불어, 상기 내측 보강부재의 일단은 상기 상부바디의 일변(one side)까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 상부바디의 일변과 인접한 변까지 연장될 수 있다.In addition, one end of the inner reinforcing member may extend to one side of the upper body, and the other end may extend to a side adjacent to one side of the upper body.

또한, 상기 내측 보강부재의 일단은 상기 상부바디의 일변까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 상부바디의 일변의 대향변까지 연장될 수 있다.In addition, one end of the inner reinforcing member may extend to one side of the upper body, the other end may extend to the opposite side of one side of the upper body.

한편, 상기 상부바디의 상부 외측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 외측 보강부재가 더 구비될 수 있다.On the other hand, coupled to the upper outer surface of the upper body, the outer reinforcing member for reinforcing the rigidity of the upper body may be further provided.

더불어, 상기 내측 보강부재와 상기 상부바디 사이에는 실링부재가 구비될 수 있다.In addition, a sealing member may be provided between the inner reinforcing member and the upper body.

또한, 상기 외측 보강부재는 상기 내측 보강부재의 상부에 배치되며, 상기 외측 보강부재와 내측 보강부재는 하나의 체결부재를 통하여 상기 상부바디에 결합될 수 있다.In addition, the outer reinforcing member is disposed above the inner reinforcing member, the outer reinforcing member and the inner reinforcing member may be coupled to the upper body through one fastening member.

또한, 본 발명은 외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판을 외부로 내보내는 로드락 챔버 및 반송로봇을 이용하여 로드락 챔버의 기판을 공정챔버로 이송하거나 공정챔버에서 로드락 챔버로 기판을 이송하는 반송챔버 중 어느 하나의 챔버에 있어서, 상부에 개구면이 구비되는 하부바디, 상기 하부바디의 개구면에 결합되는 상부바디 및 상기 상부바디의 상부 내측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 내측 보강부재 및 상기 상부바디의 상부 외측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 외측 보강부재 중 적어도 하나를 포함하는 챔버를 제공한다. In addition, the present invention transfers the substrate of the load lock chamber to the process chamber or transfers the substrate from the process chamber to the load lock chamber using a load lock chamber and a transfer robot that receives and stores the unprocessed substrate from the outside or sends the processed substrate to the outside. The chamber of any one of the conveying chambers for transporting, the lower body having an opening surface at the top, the upper body coupled to the opening surface of the lower body and the upper inner surface of the upper body is coupled, the rigidity of the upper body It is coupled to the inner reinforcing member to reinforcement and the upper outer surface of the upper body, to provide a chamber comprising at least one of the outer reinforcing member to reinforce the rigidity of the upper body.

이때, 상기 내측 보강부재 및 외측 보강부재는 복수 개가 구비되며, 상기 복수 개의 내측 보강부재 및 외측 보강부재는 적어도 2개의 독립된 벤딩 모멘트 축을 가질 수 있다.In this case, the inner reinforcement member and the outer reinforcement member may be provided in plural, and the plurality of inner reinforcement members and the outer reinforcement member may have at least two independent bending moment axes.

더불어, 상기 복수 개의 내측 보강부재 또는 외측 보강부재는 서로 교차하지 않도록 배치되는 것이 바람직하다.In addition, the plurality of inner reinforcing members or outer reinforcing members are preferably disposed so as not to cross each other.

본 발명은, 로드락 챔버 또는 반송챔버의 유지보수 비용을 감소시키고 작업장의 공간 효율성을 높이는 기판처리장치의 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a chamber of a substrate processing apparatus which reduces the maintenance cost of the load lock chamber or the transfer chamber and increases the space efficiency of the workplace.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 2는 내측 보강부재 및 외측 보강부재와 상부바디의 결합을 나타낸 분리단면도이다.
도 3은 도 1의 Ⅰ-Ⅰ을 자른 단면도이다.
도 4는 상부리드의 다른 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 5는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ를 자른 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 내측 보강부재의 배치를 나타낸 도면이다.1 is a cross-sectional view showing a cross section of a chamber according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a separate cross-sectional view showing the combination of the inner reinforcing member and the outer reinforcing member and the upper body.
3 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 1.
4 is a cross-sectional view showing another embodiment of the upper lead.
5 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 3.
6 is a view showing the arrangement of the inner reinforcing member according to another embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직할 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

이하에서는 설명의 편의를 위해 본 발명에 따른 챔버는 로드락 챔버임을 가정하여 설명한다.
Hereinafter, for convenience of description, it will be described on the assumption that the chamber according to the present invention is a load lock chamber.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 단면을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a cross section of the load lock chamber according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 로드락 챔버(1)는 상부에 개구면이 구비되는 하부바디(20)를 포함한다. 또한, 상기 하부바디(20)의 개구면에 결합되는 상부바디(10)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 상부바디(10)의 상부 내측면에 구비되는 내측 보강부재(30)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 상부바디(10)의 상부 외측면에 구비되는 외측 보강부재(40)를 포함할 수 있다. 더불어, 하부바디(20)에는 기판의 반입 또는 반출을 위한 게이트(미도시)가 구비될 수 있으며, 로드락 챔버(1)의 내부에는 기판탑재대(미도시)가 구비될 수 있다.
Referring to FIG. 1, the load lock chamber 1 includes a lower body 20 having an opening surface thereon. In addition, it may include an upper body 10 is coupled to the opening surface of the lower body 20. In addition, it may include an inner reinforcing member 30 provided on the upper inner surface of the upper body (10). In addition, it may include an outer reinforcing member 40 provided on the upper outer surface of the upper body (10). In addition, the lower body 20 may be provided with a gate (not shown) for loading or unloading the substrate, and a substrate mounting stand (not shown) may be provided in the load lock chamber 1.

상부바디(10)와 하부바디(20)는 다각 평면구조를 가질 수 있으며, 바람직하게는 4각 평면구조일 수 있다.The upper body 10 and the lower body 20 may have a polygonal planar structure, preferably a quadrilateral planar structure.

하부바디(20)는 단면이 대략 'ㄷ'자 형태이며, 상부면이 개구되어 있다. 즉, 하부바디(20)의 상부에는 개구면이 형성되어 있다.The lower body 20 has a substantially 'c' shape in cross section and has an open upper surface. That is, an opening surface is formed on the upper portion of the lower body 20.

상부바디(10)는 상기 하부바디(20)의 개구면에 결합되어 로드락 챔버(1) 내부에 밀폐된 공간을 형성한다.
The upper body 10 is coupled to the opening surface of the lower body 20 to form a sealed space inside the load lock chamber 1.

한편, 최근 기판이 대형화됨에 따라 로드락 챔버의 상부바디도 대형화되고 있으며, 상부바디의 무게도 증가하고 있다. 이에 따라, 로드락 챔버의 유지보수를 위한 크레인도 대형화되고 있다. 크레인의 대형화는 크레인의 제작비용 또는 구입비용을 증가시켜 결과적으로 로드락 챔버의 유지보수 비용을 증가시키며 대형 크레인에 의해 작업장의 공간 효율성이 낮아지는 문제가 발생한다.On the other hand, as the substrate is enlarged in recent years, the upper body of the load lock chamber is also enlarged, and the weight of the upper body is also increased. Accordingly, the crane for maintenance of the load lock chamber is also enlarged. The enlargement of the crane increases the manufacturing cost or purchase cost of the crane, and consequently, the maintenance cost of the load lock chamber increases, and the space efficiency of the workshop is lowered by the large crane.

이러한 문제를 해결하기 위해서 본 발명에서는 상부리드의 무게를 감소시키는 구조를 제시하고 있다. 즉, 본 발명에 따를 경우 상부리드의 두께를 감소시켜 상부리드의 무게를 감소할 수 있다. 그러나, 상부리드의 두께가 감소됨에 따라 상부리드의 강성이 감소하는 문제가 발생한다. 따라서, 본 발명에서는 상부리드의 두께를 감소시켜 결과적으로 상부리드의 무게를 감소시킴과 더불어, 이에 따른 상부리드의 강성을 보완시키는 챔버 구조를 개시한다. 특히, 로드락 챔버가 진공으로 유지되는 경우 챔버 내외부의 압력차에 의해 상부바디가 처지는 현상이 발생하는데 이를 보완한 챔버 구조를 개시한다.
In order to solve this problem, the present invention proposes a structure for reducing the weight of the upper lead. That is, according to the present invention can reduce the thickness of the upper lead by reducing the thickness of the upper lead. However, as the thickness of the upper lead decreases, a problem occurs that the rigidity of the upper lead decreases. Accordingly, the present invention discloses a chamber structure that reduces the thickness of the upper lead and consequently reduces the weight of the upper lead, thereby compensating the rigidity of the upper lead. In particular, when the load lock chamber is maintained in a vacuum, the phenomenon in which the upper body sag occurs due to a pressure difference inside and outside the chamber is disclosed.

상기 상부바디(10)의 내측면에는 내측 보강부재(30)가 구비된다. 상기 내측 보강부재(30)는 플레이트일 수 있으며, 바람직하게는 장방형의 플레이트이다. 더불어, 상기 내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 상부 내측면에 복수 개가 구비될 수 있다. 상기 내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 상부 내측면에 구비되어 상부바디(10)의 강성을 보강한다. 즉, 로드락 챔버(1)의 내부가 진공으로 유지되는 경우, 챔버 내부와 외부의 압력차에 의한 상부바디(10)의 처짐을 방지한다. 한편, 상기 내측 보강부재(30)와 상부바디(10) 사이에는 실링부재(60)가 구비되는 것이 바람직하다.An inner reinforcing member 30 is provided on the inner surface of the upper body 10. The inner reinforcing member 30 may be a plate, preferably a rectangular plate. In addition, a plurality of inner reinforcing members 30 may be provided on the upper inner surface of the upper body 10. The inner reinforcing member 30 is provided on the upper inner surface of the upper body 10 to reinforce the rigidity of the upper body (10). That is, when the inside of the load lock chamber 1 is maintained in a vacuum, sagging of the upper body 10 due to the pressure difference between the inside and the outside of the chamber is prevented. On the other hand, it is preferable that the sealing member 60 is provided between the inner reinforcing member 30 and the upper body 10.

상기 상부바디(10)의 외측면에는 외측 보강부재(40)가 구비된다. 상기 외측 보강부재(40)는 상부바디(10)의 상부 외측면에 구비되어 상부바디(10)의 처짐을 방지하고 상부바디(10)의 강성을 보강한다. 상기 외측 보강부재(40)는 플레이트일 수 있으며, 바람직하게는 'H'빔일 수 있다. 더불어, 상기 외측 보강부재(40)는 내측 보강부재(30)의 상부에 구비되는 것이 바람직하다.An outer reinforcing member 40 is provided on the outer surface of the upper body 10. The outer reinforcing member 40 is provided on the upper outer surface of the upper body 10 to prevent sagging of the upper body 10 and to reinforce the rigidity of the upper body 10. The outer reinforcing member 40 may be a plate, preferably an 'H' beam. In addition, the outer reinforcing member 40 is preferably provided on the upper side of the inner reinforcing member (30).

한편, 상기 외측 보강부재(40)와 내측 보강부재(30)는 체결부재(50)에 의해 상부바디(10)에 결합된다. 상기 체결부재(50)는 볼트일 수 있다.
On the other hand, the outer reinforcing member 40 and the inner reinforcing member 30 is coupled to the upper body 10 by the fastening member (50). The fastening member 50 may be a bolt.

도 2를 참조하여 내측 보강부재(30)와 외측 보강부재(40)의 결합 구조에 대해 상세히 설명한다. Referring to Figure 2 will be described in detail the coupling structure of the inner reinforcing member 30 and the outer reinforcing member (40).

도 2를 참조하면, 외측 보강부재(40)는 하부 플랜지(42), 상부 플랜지(44) 및 두 플랜지(42)(44)를 연결하는 연결부(46)를 포함할 수 있다. 크레인을 이용하여 상부리드(10)을 들어올릴 경우 크레인의 일단에 연결된 포크가 상기 연결부(46)의 양측으로 삽입되어 상부리드(10)를 들어올릴 수 있다. 상기 하부 플랜지(42)와 상부바디(10)에는 체결부재(50)가 관통하는 체결홀(41)(11)이 각각 형성되어 있다. 더불어, 내측 보강부재(30)에는 체결부재(50)가 삽입되는 체결홈(31)이 형성되어 있다. 체결부재(50)는 하부 플랜지(42)에 형성된 체결홀(41) 및 상부바디(10)에 형성된 체결홀(11)을 차례로 관통하여 내측 보강부재(30)에 형성된 체결홈(31)에 삽입된다. 본 발명의 일 실시예에 따를 경우, 하나의 체결부재(50)에 의해 외측 보강부재(40) 및 내측 보강부재(30)가 상부바디(10)에 고정되어 결합된다. 즉, 내측 보강부재(30)의 상부에 외측 보강부재(40)를 배치함으로써, 하나의 체결부재(50)로서 내측 보강부재(30)와 외측 보강부재(40)를 상부바디(10)에 결합할 수 있다. 다시 말해, 내측 보강부재(30)를 상부바디(10)에 결합하는 체결부재(50)와 외측 보강부재(40)를 상부바디(10)에 결합하는 체결부재를 각각 별도로 구비하지 않고 하나의 체결부재(50)를 통해 두 보강부재(30)(40)를 상부바디(10)에 결합할 수 있다. 보다 안정적인 체결구조를 위해 체결부재(50)는 복수 개가 구비될 수 있으며, 바람직하게는 연결부(46)의 좌우측으로 2개의 체결부재(50)가 결합될 수 있다.Referring to FIG. 2, the outer reinforcing member 40 may include a lower flange 42, an upper flange 44, and a connecting portion 46 connecting the two flanges 42 and 44. When the upper lead 10 is lifted using a crane, a fork connected to one end of the crane may be inserted into both sides of the connecting portion 46 to lift the upper lead 10. The lower flange 42 and the upper body 10 are formed with fastening holes 41 and 11 through which the fastening member 50 passes. In addition, the inner reinforcing member 30 has a fastening groove 31 into which the fastening member 50 is inserted. The fastening member 50 sequentially penetrates the fastening hole 41 formed in the lower flange 42 and the fastening hole 11 formed in the upper body 10 to be inserted into the fastening groove 31 formed in the inner reinforcing member 30. do. According to one embodiment of the invention, the outer reinforcing member 40 and the inner reinforcing member 30 is fixed to the upper body 10 by one fastening member 50 is coupled. That is, by placing the outer reinforcing member 40 on the upper portion of the inner reinforcing member 30, the inner reinforcing member 30 and the outer reinforcing member 40 as one fastening member 50 to the upper body 10 can do. In other words, one fastening member 50 for coupling the inner reinforcing member 30 to the upper body 10 and one fastening member for coupling the outer reinforcing member 40 to the upper body 10 are not provided separately. Two reinforcing members 30 and 40 may be coupled to the upper body 10 through the member 50. For a more stable fastening structure, a plurality of fastening members 50 may be provided. Preferably, two fastening members 50 may be coupled to the left and right sides of the connection part 46.

한편, 상부바디(10)에 형성된 체결홀(11)을 통해 로드락 챔버 내부로 외부 공기가 유입되어 진공이 파괴되는 것을 방지하기 위해 내측 보강부재(30)와 상부바디(10) 사이에는 실링부재(60)가 구비되는 것이 바람직하다. 상기 실링부재(60)는 탄성재질로 마련되는 것이 바람직하며, 일 실시예로 고무부재일 수 있다. 실링부재(60)의 안정적인 결합을 위해 상부바디(10)의 내측면 및 내측 보강부재(30)의 상부면에는 실링부재(60)가 안착되는 안착홈(13)(33)이 각각 구비될 수 있다.
On the other hand, the sealing member between the inner reinforcing member 30 and the upper body 10 in order to prevent the vacuum is broken by the external air flow into the load lock chamber through the fastening hole 11 formed in the upper body 10 It is preferable that 60 is provided. The sealing member 60 is preferably provided with an elastic material, in one embodiment may be a rubber member. In order to ensure a stable coupling of the sealing member 60, the inner surface of the upper body 10 and the upper surface of the inner reinforcing member 30 may be provided with seating grooves 13, 33 on which the sealing member 60 is seated. have.

한편,상기 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 상기 상부바디(10) 또는 하부바디(20)에 의해 지지되는 것이 바람직하다. 즉, 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 상부바디(10) 또는 하부바디(20)의 양측면까지 연장되어 구비되는 것이 바람직하다.On the other hand, both ends 30a, 30b of the inner reinforcing member 30 is preferably supported by the upper body 10 or the lower body (20). That is, it is preferable that both ends 30a and 30b of the inner reinforcing member 30 extend to both sides of the upper body 10 or the lower body 20.

도 3을 참조하면, 상기 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 하부바디(20)에 의해 지지될 수 있다. 즉, 상부바디(10)가 플레이트 구조를 가지는 경우 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 하부바디(20)에 의해 지지된다. 하부바디(20)가 상부바디(10)와 접하는 부위에 로드락 챔버의 외측으로 요입된 요입부(25a)(25b)가 형성되며 상기 요입부(25a)(25b)에 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)이 각각 안착된다. 즉, 하부바디(20)의 양 측벽(25)의 내측면에 요입부(25a)(25b)가 각각 구비된다. 상기 하부바디(20)에 형성된 요입부(25a)(25b)는 'L'자로 형성된 단차일 수 있다. 더불어, 내측 보강부재(30)와 하부바디(20)의 안정적인 결합을 위해 내측 보강부재(30)는 볼트 등의 체결부재를 통해 하부바디(20)에 고정되어 결합될 수 있다.Referring to FIG. 3, both ends 30a and 30b of the inner reinforcing member 30 may be supported by the lower body 20. That is, when the upper body 10 has a plate structure, both ends 30a and 30b of the inner reinforcing member 30 are supported by the lower body 20. Concave portions 25a and 25b concaved to the outside of the load lock chamber are formed at a portion where the lower body 20 is in contact with the upper body 10 and an inner reinforcing member 30 is formed at the concave portions 25a and 25b. Both ends 30a and 30b are respectively seated. That is, recesses 25a and 25b are provided on the inner surfaces of both sidewalls 25 of the lower body 20, respectively. The concave inlets 25a and 25b formed on the lower body 20 may be a step formed of an 'L' shape. In addition, the inner reinforcing member 30 may be fixedly coupled to the lower body 20 through fastening members such as bolts for stable coupling of the inner reinforcing member 30 and the lower body 20.

도 4를 참조하면, 상기 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 상부바디(10)에 의해 지지될 수 있다. 즉, 상부바디(10)가 플레이트 구조가 아닌 'ㄷ'자 형태의 구조를 가질 때 상부바디(10)의 양 측벽(15)의 내측면에는 상기 내측 보강부재(30)가 결합되는 요입부(15a)(15b)가 형성될 수 있다. 도 3의 경우와 마찬가지로, 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)는 상부바디(10)의 양 측벽(15)에 형성된 요입부(15a)(15b)에 각각 안착된다. 상기 요입부(15a)(15b)의 형상은 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)의 형상과 대응되도록 형성된다. 본 발명의 일 실시예에 따를 경우 요입부(15a)(15b)는 'ㄷ'자 형태일 수 있다. 더불어, 내측 보강부재(30)와 상부바디(10)의 안정적인 결합을 위해 내측 보강부재(30)는 볼트 등의 체결부재를 통해 상부바디(10)에 고정되어 결합될 수 있다.Referring to FIG. 4, both ends 30a and 30b of the inner reinforcing member 30 may be supported by the upper body 10. That is, when the upper body 10 has a 'c'-shaped structure rather than a plate structure, the inlet portion to which the inner reinforcing member 30 is coupled to the inner side surfaces of both sidewalls 15 of the upper body 10 ( 15a) and 15b may be formed. As in the case of FIG. 3, both ends 30a and 30b of the inner reinforcing member 30 are respectively seated in the recesses 15a and 15b formed on both sidewalls 15 of the upper body 10. The concave portions 15a and 15b are formed to correspond to the shapes of both ends 30a and 30b of the inner reinforcing member 30. According to the exemplary embodiment of the present invention, the recesses 15a and 15b may have a 'c' shape. In addition, the inner reinforcing member 30 may be fixedly coupled to the upper body 10 through fastening members such as bolts for stable coupling of the inner reinforcing member 30 and the upper body 10.

도 5를 참조하면, 내측 보강부재(30)는 복수 개가 구비될 수 있으며, 복수 개의 내측 보강부재(30)는 서로 이격되어 평행하게 배치될 수 있다. 상부바디(10)에 작용하는 x축 방향의 벤딩 모멘트(bending moment)는 상부바디(10)의 내측면에 y축 방향으로 배치된 내측 보강부재(30)에 의해 상쇄된다. 더불어, y축 방향의 벤딩 모멘트는 내측 보강부재(30)의 양단이 상부바디(10) 또는 하부바디(20)에 지지되어 있으므로 상부바디(10) 또는 하부바디(20)에 의해 효과적으로 상쇄된다. 본 발명에서 언급하는 x축(또는 y축) 방향의 벤딩 모멘트는 벡터량이다.
Referring to FIG. 5, a plurality of inner reinforcing members 30 may be provided, and the plurality of inner reinforcing members 30 may be spaced apart from each other and arranged in parallel. The bending moment in the x-axis direction acting on the upper body 10 is offset by the inner reinforcing member 30 disposed in the y-axis direction on the inner surface of the upper body 10. In addition, the bending moment in the y-axis direction is effectively offset by the upper body 10 or the lower body 20 because both ends of the inner reinforcing member 30 are supported by the upper body 10 or the lower body 20. The bending moment in the x-axis (or y-axis) direction referred to in the present invention is a vector amount.

도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 내측 보강부재(30)의 배치를 나타낸 도면이다.6 is a view showing the arrangement of the inner reinforcing member 30 of the load lock chamber according to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따를 경우 로드락 챔버는 대각선 방향으로 배치되는 제1내측 보강부재(310)와 x축 또는 y축 방향으로 배치되는 제2내측 보강부재(330)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, in accordance with another embodiment of the present invention, the load lock chamber may include a first inner reinforcement member 310 disposed in a diagonal direction and a second inner reinforcement member 330 disposed in an x-axis or y-axis direction. ) May be included.

로드락 챔버의 상부바디(10)가 4각 평면구조를 가지는 경우, 상부바디(10)는 4개의 변(side)(10a)(10b)(10c)(10d)를 가지게 된다. 이때, 제1내측 보강부재(310)의 일단은 상기 상부바디(10)의 일변(one side)(10a)까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 상부바디(10)의 일변(10a)과 인접한 변(10c)까지 연장되어 있을 수 있다. 즉, 제1내측 보강부재(30)는 대각선 방향으로 배치될 수 있다. 제1내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 2개 모서리에 각각 2개가 배치될 수 있다. 더불어, 2개의 제1내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 중심을 기준으로 대칭적으로 배치될 수 있다.When the upper body 10 of the load lock chamber has a quadrangular planar structure, the upper body 10 has four sides 10a, 10b, 10c, and 10d. At this time, one end of the first inner reinforcing member 310 is extended to one side (10a) of the upper body 10, the other end is adjacent to the side (10a) of the upper body (10) May extend to 10c). That is, the first inner reinforcement member 30 may be disposed in a diagonal direction. Two first inner reinforcing members 30 may be disposed at two corners of the upper body 10. In addition, the two first inner reinforcing members 30 may be symmetrically disposed with respect to the center of the upper body 10.

더불어, 제2내측 보강부재(30)의 일단은 상부바디(10)의 일변(10a)까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 일변(10a)의 대향변(10b)까지 연장되어 있을 수 있다. 즉, 제2내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 서로 마주보는 두 대향변(10a)(10b)에 양단이 연장되어 있다.In addition, one end of the second inner reinforcing member 30 may extend to one side 10a of the upper body 10, and the other end may extend to the opposite side 10b of the one side 10a. That is, both ends of the second inner reinforcement member 30 are extended to two opposite sides 10a and 10b of the upper body 10 facing each other.

로드락 챔버의 내외부 압력차에 의해 상부바디(10)가 변형되는 경우 상부바디(10)에는 주로 x 및 y축 방향의 벤딩 모멘트가 작용하게 된다. 따라서, 상부바디(10)에 작용하는 모든 벤딩 모멘트를 상쇄하기 위해서는 내측 보강부재(30)는 적어도 2개의 독립된 축(axis)을 기준으로 배치되어야 한다. 가장 쉽게 접근할 수 있는 구조로서 x축 및 y축 방향으로 내측 보강부재를 배치할 수 있겠으나, 이 경우 x축 방향으로 배치되는 내측 보강부재와 y축 방향으로 배치되는 내측 보강부재가 교차하게 된다. 두 내측 보강부재를 교차되도록 배치할 경우 어느 하나의 내측 보강부재를 절단하여 연결하는 등 설치 및 구조가 복잡해지는 문제가 있다.When the upper body 10 is deformed by the pressure difference between the inside and the outside of the load lock chamber, the bending moments in the x and y axis directions mainly act on the upper body 10. Accordingly, in order to offset all bending moments acting on the upper body 10, the inner reinforcing member 30 should be disposed with respect to at least two independent axes. As the most easily accessible structure, the inner reinforcement member may be disposed in the x-axis and y-axis directions, but in this case, the inner reinforcement member disposed in the x-axis direction and the inner reinforcement member disposed in the y-axis direction cross each other. . When arranging the two inner reinforcing members to cross, there is a problem that the installation and structure is complicated, such as by cutting any one of the inner reinforcing members connected.

따라서, 본 발명에서는 적어도 2개의 독립된 모멘트 축을 따라 배치되는 구조를 가지면서, 복수 개의 내측 보강부재(30)가 교차되지 않는 구조를 제시한다.Accordingly, the present invention proposes a structure in which a plurality of inner reinforcing members 30 do not cross while having a structure disposed along at least two independent moment axes.

도 6을 참조하면, 대각선으로 배치된 제1내측 보강부재(310)와 y축 방향으로 배치된 제2내측 보강부재(330)는 서로 독립된 2개의 모멘트 축을 가지게 된다. 따라서, 제1내측 보강부재(30)와 제2내측 보강부재(30)는 상부바디(10)에 작용하는 x축 및 y축 방향의 벤딩 모멘트를 효과적으로 상쇄할 수 있다.
Referring to FIG. 6, the first inner reinforcement member 310 disposed diagonally and the second inner reinforcement member 330 disposed in the y-axis direction have two moment axes independent from each other. Therefore, the first inner reinforcement member 30 and the second inner reinforcement member 30 can effectively cancel the bending moments in the x-axis and y-axis directions acting on the upper body 10.

도 6에 도시된 내측 보강부재(310)(330)의 배치는 바람직한 일 실시예에 해당하며 반드시 이에 한정되지 않는다. 즉, 복수 개의 내측 보강부재가 적어도 2개의 독립된 모멘트 축을 가지도록 배치되면 족하다. 따라서, 상부바디(10)의 네 모서리에 대각선 방향으로 4개의 내측 보강부재를 배치할 수 있다. 이 경우, 4개의 내측 보강부재의 연장선은 전체적으로 마름모 형상을 이루게 된다.
The arrangement of the inner reinforcing members 310 and 330 shown in FIG. 6 corresponds to a preferred embodiment, but is not necessarily limited thereto. That is, it is sufficient if the plurality of inner reinforcing members are arranged to have at least two independent moment axes. Therefore, four inner reinforcing members may be disposed at four corners of the upper body 10 in a diagonal direction. In this case, the extension lines of the four inner reinforcing members form a rhombus shape as a whole.

상술한 내측 보강부재의 배치 구조는 외측 보강부재에도 동일하게 적용할 수 있음은 물론이다.The arrangement structure of the above inner reinforcing member can be applied to the outer reinforcing member in the same manner.

상술한 실시예 및 첨부된 도면에서 내측 보강부재와 외측 보강부재가 상부리드에 동시에 구비되는 실시예를 설명하였으나, 기판처리장치의 제작환경에 따라 어느 하나의 보강부재만이 구비될 수 있다.In the above-described embodiment and the accompanying drawings, an embodiment in which the inner reinforcing member and the outer reinforcing member are simultaneously provided on the upper lead has been described. However, only one reinforcing member may be provided according to the manufacturing environment of the substrate processing apparatus.

또한, 상기 실시예에서는 본 발명에 따른 챔버가 로드락 챔버임을 설명하였으나, 본 발명에 따른 챔버는 공정챔버 또는 반송챔버일 수 있다. 즉, 상부바디에 구비되는 내측 보강부재 및/또는 외측 보강부재는 공정챔버 또는 반송챔버의 상부바디에 그대로 적용될 수 있다.
In addition, in the above embodiment, the chamber according to the present invention has been described as a load lock chamber, but the chamber according to the present invention may be a process chamber or a transfer chamber. That is, the inner reinforcement member and / or the outer reinforcement member provided in the upper body may be applied to the upper body of the process chamber or the transfer chamber as it is.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It is to be understood that various modifications and changes may be made without departing from the scope of the appended claims.

1 챔버 10 상부바디
20 하부바디 30, 310, 330 내측 보강부재
40 외측 보강부재 50 체결부재
60 실링부재1 chamber 10 upper body
20 Lower Body 30, 310, 330 Inner Reinforcement
40 Outer reinforcement member 50 Fastening member
60 sealing member

Claims (9)

외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판을 외부로 내보내는 로드락 챔버 및 반송로봇을 이용하여 로드락 챔버의 기판을 공정챔버로 이송하거나 공정챔버에서 로드락 챔버로 기판을 이송하는 반송챔버 중 어느 하나의 챔버에 있어서,
상부에 개구면이 구비되는 하부바디;
상기 하부바디의 개구면에 결합되는 상부바디; 및
상기 상부바디의 상부 내측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 내측 보강부재를 포함하는 챔버.The transfer chamber which transfers the substrate of the load lock chamber to the process chamber or transfers the substrate from the process chamber to the load lock chamber by using a load lock chamber and a transfer robot that receive and store the unprocessed substrate from the outside or send the processed substrate to the outside. In either chamber,
A lower body having an opening surface at an upper portion thereof;
An upper body coupled to the opening surface of the lower body; And
A chamber including an inner reinforcing member coupled to an upper inner surface of the upper body to reinforce the rigidity of the upper body. 제1항에 있어서,
상기 상부바디는 다각 평면구조를 가지고,
상기 내측 보강부재의 양단은 상기 상부바디 또는 하부바디에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 챔버.The method of claim 1,
The upper body has a polygonal planar structure,
Both ends of the inner reinforcing member is supported by the upper body or the lower body chamber. 제2항에 있어서,
상기 내측 보강부재의 일단은 상기 상부바디의 일변(one side)까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 상부바디의 일변과 인접한 변까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버.The method of claim 2,
One end of the inner reinforcing member extends to one side of the upper body, and the other end is extended to the side adjacent to one side of the upper body. 제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 내측 보강부재의 일단은 상기 상부바디의 일변까지 연장되어 있으며,
타단은 상기 상부바디의 일변의 대향변까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버.The method according to claim 2 or 3,
One end of the inner reinforcing member is extended to one side of the upper body,
The other end of the chamber, characterized in that extending to the opposite side of one side of the upper body. 제1항에 있어서,
상기 상부바디의 상부 외측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 외측 보강부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버.The method of claim 1,
Is coupled to the upper outer surface of the upper body, the chamber characterized in that the outer reinforcing member is further provided to reinforce the rigidity of the upper body. 제5항에 있어서,
상기 내측 보강부재와 상기 상부바디 사이에는 실링부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버.The method of claim 5,
And a sealing member is provided between the inner reinforcing member and the upper body. 제6항에 있어서,
상기 외측 보강부재는 상기 내측 보강부재의 상부에 배치되며, 상기 외측 보강부재와 내측 보강부재는 하나의 체결부재를 통하여 상기 상부바디에 결합되는 것을 특징으로 하는 챔버.The method of claim 6,
The outer reinforcing member is disposed above the inner reinforcing member, wherein the outer reinforcing member and the inner reinforcing member is coupled to the upper body through one fastening member. 외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판을 외부로 내보내는 로드락 챔버 및 반송로봇을 이용하여 로드락 챔버의 기판을 공정챔버로 이송하거나 공정챔버에서 로드락 챔버로 기판을 이송하는 반송챔버 중 어느 하나의 챔버에 있어서,
상부에 개구면이 구비되는 하부바디;
상기 하부바디의 개구면에 결합되는 상부바디; 및
상기 상부바디의 상부 내측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 내측 보강부재 및 상기 상부바디의 상부 외측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 외측 보강부재 중 적어도 하나를 포함하는 챔버.The transfer chamber which transfers the substrate of the load lock chamber to the process chamber or transfers the substrate from the process chamber to the load lock chamber by using a load lock chamber and a transfer robot that receive and store the unprocessed substrate from the outside or send the processed substrate to the outside. In either chamber,
A lower body having an opening surface at an upper portion thereof;
An upper body coupled to the opening surface of the lower body; And
A chamber including at least one of an inner reinforcement member coupled to the upper inner surface of the upper body and reinforcing the rigidity of the upper body and an outer reinforcement member coupled to the upper outer surface of the upper body to reinforce the rigidity of the upper body . 제8항에 있어서,
상기 내측 보강부재 및 외측 보강부재는 복수 개가 구비되며, 상기 복수 개의 내측 보강부재 및 외측 보강부재는 적어도 2개의 독립된 벤딩 모멘트 축을 가지며, 복수 개의 내측 보강부재 및 외측 보강부재는 서로 교차하지 않는 것을 특징으로 하는 챔버.The method of claim 8,
The inner reinforcing member and the outer reinforcing member is provided with a plurality, the plurality of inner reinforcing member and the outer reinforcing member has at least two independent bending moment axis, the plurality of inner reinforcing member and the outer reinforcing member does not cross each other. Chamber.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100564044B1 (en) * 2004-10-06 2006-03-29 주식회사 에이디피엔지니어링 Apparatus for vacuum processing
JP4767574B2 (en) * 2005-03-31 2011-09-07 東京エレクトロン株式会社 Processing chamber and processing apparatus
KR100803726B1 (en) * 2005-08-12 2008-02-15 주식회사 아이피에스 Structure of Transfer Module
KR101101757B1 (en) * 2005-11-07 2012-01-05 주성엔지니어링(주) Vacuum chamber which economizes manufacturing cost

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210048628A (en) * 2019-10-23 2021-05-04 세메스 주식회사 Apparatus for treating substrate

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