KR20120098253A - Multi-head high speed laser engraving device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A multi-head high speed laser machining device is provided to process a work piece at high efficiency through laser generators and multi-joint laser beam transmission units which are arranged in pairs into multiple layers. CONSTITUTION: A multi-head high speed laser machining device comprises two laser generators(100,100a) and multi-joint laser beam transmission units. The multi-joint laser beam transmission units are respectively coupled to the laser generators, are installed at the same height, and have different operating ranges. The laser generators and the multi-joint laser beam transmission units are arranged in pairs on a layer, and multiple layers of the same configuration are provided.

Description

멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치{multi-head high speed laser engraving device.}Multi-head high speed laser engraving device.

본 발명은 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저 빔을 이용한 대면적 스크라이빙 장치에 적용되는 레이저 발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 결합시켜 한 층에 좌우로 각각 배열하되, 상기 레이저 발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 여러 층으로 배열하여 특정 가공대상물을 복수개의 레이저 빔을 이용하여 가공하도록 하여 생산성을 레이저 발생기 갯수만큼 향상시키는 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a multi-head high speed laser beam processing apparatus, and more particularly, to combine a laser generator and an articulated laser beam transmission means applied to a large-area scribing apparatus using a laser beam, respectively, from side to side on a layer. Multi-head high speed laser beam processing apparatus for arranging the laser generator and the articulated laser beam transmission means in multiple layers to process a specific object using a plurality of laser beams, thereby improving productivity by the number of laser generators. It is about.

종래의 레이저 가공장치는 일반적으로 레이저 발생장치(30)와 빔전송광학계(40), 레이저 전원장치(20) 및 가공대상물(10)을 이동시키는 기계구동부(50) 등의 하드웨어로 구성되어 있으며, 컴퓨터나 PLC 등의 제어장치(60)에 의해 레이저 전원장치, 레이저 발생장치, 기계구동부를 제어하게 된다.Conventional laser processing apparatus is generally composed of hardware such as the laser generator 30, the beam transmission optical system 40, the laser power supply device 20 and the mechanical drive unit 50 for moving the object 10, The control unit 60, such as a computer or a PLC, controls the laser power supply unit, the laser generation unit, and the mechanical drive unit.

레이저 마킹장치를 예를 들자면, 도 1과 같이, 레이저 발생장치(30)와 스캐너를 포함한 빔전송광학계(40), 레이저 전원장치(20) 및 가공대상물(10)을 이동시키는 기계구동부(50)와 제어장치(60)를 포함하여 구성되어 진다.For example, a laser marking apparatus, as shown in FIG. 1, a machine driving unit 50 for moving a beam transmission optical system 40 including a laser generator 30 and a scanner, a laser power supply 20, and an object to be processed 10. And the control device 60 is configured.

상기와 같이, 종래에는 생산성을 향상시키기 위하여 레이저 출력을 높이거나 빔전송광학계 및 기계구동부의 성능을 향상시키게 되는데, 상기한 방법으로는 생산성을 향상시키는데 한계가 있을 수밖에 없었다.As described above, conventionally, in order to improve the productivity, the laser output is increased or the performance of the beam transmission optical system and the mechanical driving unit is improved. However, there is a limit in improving the productivity by the above method.

따라서, 종래의 생산성을 향상시키는 방법으로는 도 2에 도시한 바와 같이, 멀티 헤드 고속 가공장치들이 사용되는데, 여러 개의 레이저 발생장치 및 빔전송광학계를 기계구동부와 결합하여 구성하게 된다.Therefore, as a conventional method of improving productivity, as shown in FIG. 2, multi-head high speed processing apparatuses are used, and a plurality of laser generating apparatuses and beam transmission optical systems are combined with a mechanical driving unit.

같은 가공대상물에 구역을 나누어 여러 개의 레이저 빔을 이용하여 동시에 가공하거나 여러 개의 가공대상물을 늘여 놓고 여러 개의 레이저 빔을 이용하여 동시에 가공하는 것이다.By dividing the area into the same object to be processed simultaneously by using several laser beams or by extending several objects to be processed simultaneously by using multiple laser beams.

실제 대면적의 레이저 패터닝 장치(마킹장치 혹은 에칭 장치 등)들은 상기한 멀티 헤드 고속 가공장치를 사용하고 있다.Actually large area laser patterning devices (marking device or etching device, etc.) use the above-mentioned multi-head high speed processing device.

한편, 레이저 빔을 전송하는 빔전송광학계로는 도 3a와 같은 광케이블 전송 방식, 도 3b와 같은 직교 이송기계장치를 이용한 직교 거울 반사방식, 도 3c와 같은 회전운동기계 장치를 이용한 회전 운동 기계 방식, 도 3d와 같은 다관절 빔전송장치를 이용한 다관절 빔전송 방식 등이 대표적이다.On the other hand, as a beam transmission optical system for transmitting a laser beam, an optical cable transmission method as shown in FIG. 3a, an orthogonal mirror reflection method using an orthogonal conveying machine device as shown in FIG. 3b, a rotary motion machine method using a rotary motion machine device as shown in FIG. 3c, A multi-joint beam transmission method using a multi-joint beam transmitting apparatus as shown in FIG. 3d is representative.

도 3a와 같은 광케이블 전송 방식은 광케이블 내부로 입사되는 레이저 빔의 굴절율 차이에 의한 전반사 현상으로 레이저 빔을 전송하는 방식이다.The optical cable transmission method as shown in FIG. 3A is a method of transmitting a laser beam as a total reflection phenomenon due to a difference in refractive index of the laser beam incident into the optical cable.

도 3b와 같은 직교 이송기계장치를 이용한 직교 거울 반사방식은 반사경(38)을 직교 이송기계장치(37)로 움직여서 레이저 빔의 위치를 조절하는 방식으로서, flying optic 방식이라고도 한다.The orthogonal mirror reflection method using the orthogonal transport mechanism as shown in FIG. 3b is a method of adjusting the position of the laser beam by moving the reflector 38 to the orthogonal transport mechanism 37, also called a flying optic method.

도 3c와 같은 회전운동기계 장치를 이용한 회전 운동 기계 방식은 반사경(38)을 회전운동기계 장치(39)로 회전시켜 레이저 빔의 방향을 조절하는 방식이다.The rotary motion machine method using the rotary motion machine device as shown in FIG. 3C is a method of adjusting the direction of the laser beam by rotating the reflector 38 to the rotary motion machine device 39.

도 3d와 같은 다관절 빔전송장치를 이용한 다관절 빔전송 방식은 직교 이송기계장치를 복수개를 구성하여 반사경을 회전시키는 것으로서, Articulated Arm 방식이라고도 한다.The articulated beam transmission method using the articulated beam transmission device as shown in FIG. 3D is configured to rotate a reflector by configuring a plurality of orthogonal transfer machinery, also referred to as an articulated arm method.

결론적으로, 상기한 방식과 같이 생산성을 향상시키기 위하여 레이저 출력을 높이거나 빔전송광학계 및 기계구동부의 성능을 향상시키게 되는데, 상기한 방식으로는 생산성을 향상시키는데 한계가 있을 수밖에 없었다.
In conclusion, in order to improve the productivity as described above, the laser output is increased or the performance of the beam transmission optical system and the mechanical driving unit is improved. However, there is a limit in improving the productivity.

앞에 기술한 각각의 빔전송광학계는 각각의 장치가 가지는 장단점 때문에 각기 사용용도(적용되는 경우)가 한정된다.Each beam transmission optical system described above is limited in its use (if applicable) because of its advantages and disadvantages.

즉, 도3a와 같은 광케이블 전송방식은 전송거리의 제한이 거의 없고 멀티헤드를 구성하기도 용이하나 광케이블로 전송되는 레이저의 종류와 특성이 제한적인 단점이 있다. That is, the optical cable transmission method as shown in FIG. 3a has almost no limitation on the transmission distance and is easy to configure a multihead, but has a disadvantage in that the type and characteristics of the laser transmitted through the optical cable are limited.

도3b와 같은 flying optic 방식은 전송하는 레이저의 종류나 특성에 거의 무관하게 상당한 거리까지 사용이 가능한 장점이 있으나 레이저빔의 발산특성 때문에 전송거리에 따라 조금 다른 레이저 집속 특성을 나타내는 점과 광경로를 먼지나 습기 등 외부 환경과 완전히 격리시키기가 어려운 단점 등이 있다. The flying optic method as shown in FIG. 3B has the advantage that it can be used to a considerable distance almost irrespective of the type or characteristics of the transmitting laser. There are disadvantages such as difficulty in being completely isolated from the external environment such as dust or moisture.

Articulated arm 방식은 기계적으로 다소 복잡은 하나 전송되는 레이저의 종류와 특성에 무관하며 전송거리가 항상 일정하므로 레이저빔 집속 특성이 일정한 장점이 있다. The articulated arm method is mechanically somewhat complicated, but irrespective of the type and characteristics of the transmitted laser, the transmission distance is always constant, so the laser beam focusing characteristic is constant.

본 발명은 대면적 스크라이빙 장비와 같은 경우에 탁월한 생산성과 레이저빔 전송 특성을 가지는 articulated arm 방식의 레이저빔 전송장치를 구성 배열하여 고성능의 멀티헤드 레이저 가공기를 구현하느냐에 있다.The present invention is to implement a high-performance multi-head laser processing machine by arranging an articulated arm laser beam transmission device having excellent productivity and laser beam transmission characteristics in the case of a large area scribing equipment.

따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 감안하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 레이저 빔을 이용한 대면적 스크라이빙 장치에 적용되는 레이저 발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 결합시켜 한 층에 좌우로 각각 배열하되, 상기 레이저 발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 여러 층으로 배열하여 특정 가공대상물을 복수개의 레이저 빔을 이용하여 가공하도록 하여 생산성을 레이저 발생기 갯수만큼 향상시키는데 있다.
Therefore, the present invention has been proposed in view of the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to combine a multi-joint laser beam transmission means and a laser generator applied to a large-area scribing apparatus using a laser beam. Each of the laser generators and the articulated laser beam transmission means is arranged in layers so that the specific object can be processed using a plurality of laser beams, thereby improving productivity by the number of laser generators.

본 발명이 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치는,In order to achieve the problem to be solved by the present invention, a multi-head high speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention,

레이저 빔을 발생시키는 두 개의 레이저발생기와;Two laser generators for generating a laser beam;

상기 레이저발생기에 각각 결합된 다관절형레이저빔전송수단;을 포함하여 구성되되, 상기 다관절형레이저빔전송수단은 각각 동일한 높이에 설치되며, 각각의 다관절형레이저빔전송수단은 작동 범위가 서로 다르게 좌우 구분되어 충돌이 방지되는 것을 특징으로 한다.And articulated laser beam transmission means respectively coupled to the laser generator, wherein the articulated laser beam transmission means are installed at the same height, and each of the articulated laser beam transmission means has an operating range. Differentiated left and right differently characterized in that the collision is prevented.

즉, articulated arm 전송장치의 관절들은 arm의 끝이 움직이는 것에 따라 각 관절들이 특정한 궤적을 그리며 움직이게 되는데 좌/우로 근접 배열된 두개의 articulated arm의 관절들이 충돌하지 않는 영역들이 계산될 수 있다. In other words, the joints of the articulated arm transmitter move each joint with a specific trajectory as the end of the arm moves, and the areas where the joints of two articulated arms closely arranged to the left and right do not collide.

예를 들면 도7과 같이 2단 관절 articulated arm을 이용하여 2개의 레이저빔을 동시에 1차원적인 이동을 할 경우 레이저 소스들을 1차원 이동경로의 중간 부근에서 수직방향으로 이동경로의 절반정도 되는 거리에 위치하고 각 관절들의 길이를 이동길이의 0.5배를 초과하지 않고 약 0.36배보다 짧지 않게 하면 좌/우 두 관절들이 충돌하지 않고 동시에 작동이 가능하다. For example, when two laser beams are moved simultaneously in one dimension using a two-stage articulated arm as shown in FIG. 7, the laser sources are positioned at a distance of about half of the movement path in the vertical direction from the middle of the one-dimensional movement path. If the position of each joint is not more than 0.5 times the movement length and less than about 0.36 times, the left and right joints can operate simultaneously without collision.

관절의 길이가 이동거리의 0.5에 가까울수록 운동저항이 적어지므로 실제로는 거의 그 값에 가까이 설계한다.
The closer the joint is to 0.5 of the moving distance, the less the movement resistance.

본 발명인 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치는, The multihead high speed laser beam processing apparatus of the present invention,

레이저 빔을 이용한 대면적 스크라이빙 장치에 적용되는 레이저 발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 결합시켜 한 층에 좌우로 각각 배열하되, 상기 레이저 발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 여러 층으로 배열하여 특정 가공대상물을 복수개의 레이저 빔을 이용하여 가공하도록 하여 생산성을 레이저 발생기 갯수만큼 향상시키는 효과를 제공하게 된다.
The laser generator and the articulated laser beam transmission means, which are applied to a large area scribing apparatus using a laser beam, are arranged side by side in a single layer, and the laser generator and the articulated laser beam transmission means are arranged in multiple layers. By arranging a specific object to be processed using a plurality of laser beams, the productivity is increased by the number of laser generators.

도 1은 종래의 레이저 빔을 이용한 레이저 마킹장치의 예를 나타낸 예시도이다.
도 2는 종래의 멀티 헤드 고속 가공장치의 예를 나타낸 예시도이다.
도 3a는 종래의 광케이블 전송 방식을 이용한 가공장치의 예를 나타낸 예시도이다.
도 3b는 직교 이송기계장치를 구성하고 있는 직교 거울 반사방식을 이용한 가공장치의 예를 나타낸 예시도이다.
도 3c는 회전운동기계 장치를 구성하고 있는 회전 운동 기계 방식을 이용한 가공장치의 예를 나타낸 예시도이다.
도 3d는 다관절 빔전송장치를 구성하고 있는 다관절 빔전송 방식을 이용한 가공장치의 예를 나타낸 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치를 개략적으로 나타낸 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치가 다수 층에 배열되어 특정 가공대상물을 가공하는 예를 나타낸 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치가 다수 층에 배열되어 특정 가공대상물을 두 쌍(4대)으로 가공하는 예를 나타낸 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치가 좌우로 구성될 경우에 좌우 충돌 방지를 위한 작동 범위 구분의 예를 나타낸 예시도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치를 나타낸 도면이다.1 is an exemplary view showing an example of a laser marking apparatus using a conventional laser beam.
2 is an exemplary view showing an example of a conventional multi-head high speed processing apparatus.
Figure 3a is an exemplary view showing an example of a processing apparatus using a conventional optical cable transmission method.
3B is an exemplary view showing an example of a processing apparatus using an orthogonal mirror reflection method constituting an orthogonal conveying machine.
Figure 3c is an exemplary view showing an example of a processing apparatus using a rotary motion machine system constituting a rotary motion machine device.
3D is an exemplary view showing an example of a processing apparatus using the articulated beam transmission system constituting the articulated beam transmission apparatus.
4 is a schematic view showing a multi-head high speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is an exemplary view showing an example in which a multi-head high speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention is arranged in multiple layers to process a specific object.
6 is an exemplary view showing an example in which a multi-head high speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention is arranged in a plurality of layers to process a specific object into two pairs (four units).
Figure 7 is an exemplary view showing an example of the operating range for preventing left and right collision when the multi-head high-speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention is configured from side to side.
8 is a view showing a multi-head high speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명인 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치에 대하여 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, a multihead high speed laser beam processing apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명인 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치는,The multihead high speed laser beam processing apparatus of the present invention,

광반사를 이용한 다관절형레이저빔전송수단을 포함하여 구성되는 레이저 빔 가공 장치에 있어서,In the laser beam processing apparatus comprising a multi-joint laser beam transmission means using light reflection,

레이저 빔을 발생시키는 두 개의 레이저발생기와;Two laser generators for generating a laser beam;

상기 레이저발생기에 각각 결합된 다관절형레이저빔전송수단;을 포함하여 구성하되, It comprises a; multi-joint laser beam transmission means respectively coupled to the laser generator;

상기 다관절형레이저빔전송수단은 각각 동일한 높이에 설치되며, 각각의 다관절형레이저빔전송수단은 작동 범위가 서로 다르게 좌우 구분되어 충돌이 방지되는 것을 특징으로 한다.Each of the articulated laser beam transmission means is installed at the same height, and each of the articulated laser beam transmission means is distinguished from each other in the operating range is characterized in that the collision is prevented.

이때, 상기 두 개의 레이저발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 한 쌍으로 하되, 한 쌍을 한 층으로 배열하여 다수의 층으로 구성하는 것을 특징으로 한다.At this time, the two laser generator and the articulated laser beam transmission means are a pair, characterized in that the pair is arranged in one layer to constitute a plurality of layers.

이때, 상기 레이저발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 좌우뿐만 아니라, 전후로 배열하여 한 층에 두 쌍으로 구성하는 것을 특징으로 한다.At this time, the laser generator and the articulated laser beam transmission means are arranged not only to the left and right, but also to the front and rear to constitute two pairs in one layer.

이때, 상기 다관절형 레이저빔전송수단들의, At this time, of the articulated laser beam transmission means,

끝점을 직선 운동시키는 고정장치를 구성하되, 레이저발생기들을 직선운동의 중간지점에서 수직으로 이동거리의 0.5배 지점 부근에 위치시키고, 다관절형 레이저빔전송수단의 팔길이를 상기 이동 직선거리의 0.36배 내지 0.5배 범위로 설정하는 것을 특징으로 한다.A fixed device for linearly moving the end point is provided, wherein the laser generators are positioned about 0.5 times the moving distance vertically from the midpoint of the linear motion, and the arm length of the articulated laser beam transmission means is 0.36 of the moving linear distance. It is characterized by setting in the range of fold to 0.5-fold.

다만, 이하 본 발명의 바람직한 실시예에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니고, 당업자 수준에서 쉽게 변형 가능한 어떠한 구조라도 본 발명의 권리범위에 속함은 자명하다.However, the scope of the present invention is not limited to the preferred embodiments of the present invention below, and any structure that can be easily modified at the level of ordinary skill in the art belongs to the scope of the present invention.

본 발명인 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치는,The multihead high speed laser beam processing apparatus of the present invention,

레이저 빔을 발생시키는 두 개의 레이저발생기(100, 100a)와;Two laser generators 100 and 100a for generating a laser beam;

상기 레이저발생기에 각각 결합된 다관절형레이저빔전송수단;을 포함하여 구성되되, 상기 다관절형레이저빔전송수단은 각각 동일한 높이에 설치되며, 각각의 다관절형레이저빔전송수단은 작동 범위가 서로 다르게 좌우 구분되어 충돌이 방지되는 것을 특징으로 한다.And articulated laser beam transmission means respectively coupled to the laser generator, wherein the articulated laser beam transmission means are installed at the same height, and each of the articulated laser beam transmission means has an operating range. Differentiated left and right differently characterized in that the collision is prevented.

이때, 본 발명인 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치는 다관절 아암형 로봇에 장착되어 관절부의 원주 운동 궤적 내에서 가공 대상물을 가공하게 된다.At this time, the multi-head high-speed laser beam processing apparatus of the present invention is mounted on the articulated arm robot to process the object within the circumferential motion trajectory of the joint.

또한, 상기 레이저발생기와 다관절 아암형 로봇을 제어하기 위한 컨트롤러가 일반적으로 구성되어 있게 된다.In addition, a controller for controlling the laser generator and the articulated arm robot is generally configured.

즉, 컨트롤러의 제어에 의해 다관절 아암형 로봇을 가공대상물의 가공 영역으로 이동시키고, 상기 레이저발생기에 레이저 출사 신호를 전송하여 작업을 진행하는 것이다.That is, by controlling the controller, the articulated arm robot is moved to the processing region of the object to be processed, and the laser emission signal is transmitted to the laser generator to perform the work.

작업 영역은 컨트롤러에 이해 이미 설정되어 있게 된다.The working area is already set up in the controller.

상기 다관절형레이저빔전송수단은 도 4에 도시한 바와 같이, 반사경(220, 220a)을 포함한 부재와 경통(210, 210a)이 결합된 구조를 의미하며, 반사경을 포함하고 있는 부재에 경통을 결합시키게 되어 상기 경통 내부로 레이저 빔을 출사되어 반사경에 의해 반사된 레이저 빔이 가공헤드(300, 300a)를 통해 가공대상물을 가공하게 되는 것이다.As shown in FIG. 4, the articulated laser beam transmitting means refers to a structure in which a member including reflectors 220 and 220a and a barrel 210 and 210a are coupled to each other. By combining the laser beam is emitted into the barrel and the laser beam reflected by the reflector to process the object through the processing head (300, 300a).

상기 다관절형레이저빔전송수단은 각각 동일한 높이에 설치되며, 각각의 다관절형레이저빔전송수단은 작동 범위가 서로 다르게 좌우 구분되어 충돌이 방지되어야 한다.Each of the articulated laser beam transmission means is installed at the same height, and each of the articulated laser beam transmission means has a different operating range from right to left to prevent collision.

이를 위하여 컨트롤러에서는 각각의 다관절 아암형 로봇이 움직이는 작동 범위를 충돌되지 않도록 지정하게 되면, 상기 다관절 아암형 로봇에 결합된 관절형레이저빔전송수단의 작동 범위(동작 영역)가 서로 다르게 되어 동일 높이(동일 층)에서 서로 충돌하지 않게 되는 것이다.To this end, when the controller specifies that each of the articulated arm robots does not collide with the moving range, the operating range (operation area) of the articulated laser beam transmission means coupled to the articulated arm robot is different from each other. They will not collide with each other at the same height.

즉, 다관절 아암형 로봇 1개와, 레이저발생기 1개와, 다관절형레이저빔전송수단 1개와, 가공헤드 1개를 한 세트로 하여 두 세트를 구성하되, 컨트롤러에서는 서로 충돌되지 않는 동작 영역을 지정하게 되면 절대 충돌하지 않게 된다.That is, two sets of armed arm robot, one laser generator, one articulated laser beam transmission means, and one set of processing heads constitute two sets, but the controller designates an operating area that does not collide with each other. If you do, it will never collide.

결론적으로 본 발명은 고속으로 가공할 경우에 좌우로 각각 배열된 다관절형레이저빔전송수단이 충돌하지 않도록 설계하는 것이 핵심사항이다.In conclusion, in the present invention, it is important to design the articulated laser beam transmission means arranged so as not to collide with each other when processing at a high speed.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치가 다수 층에 배열되어 특정 가공대상물을 가공하는 예를 나타낸 예시도이다.5 is an exemplary view showing an example in which a multi-head high speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention is arranged in multiple layers to process a specific object.

도 5에 도시한 바와 같이, 두 개의 레이저발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 한 쌍으로 하되, 한 쌍을 한 층으로 배열하여 다수의 층으로 구성할 수 있다.As shown in FIG. 5, two laser generators and a multi-joint laser beam transmission means are provided in pairs, and a pair may be arranged in one layer to constitute a plurality of layers.

도 5에서는 2 층을 예를 들어 도시하고 있다.In FIG. 5, two layers are shown as an example.

이럴 경우, 가공대상물을 가공하는 생산성은 레이저발생기 갯수만큼 혁신적으로 증가시킬 수 있는 효과를 제공하게 된다.In this case, the productivity of processing the workpiece will provide an effect that can be innovatively increased by the number of laser generators.

예를 들어, 한 개의 레이저발생기를 통해 가공되는 생산성이 1이라면, 두 개의 레이저발생기를 통해 가공되는 생산성은 2가 되는 것이고, 세 개의 레이저발생기를 통해 가공되는 생산성은 3이 되는 것이다.For example, if the productivity processed through one laser generator is 1, the productivity processed through two laser generators is 2, and the productivity processed through three laser generators is 3.

종래 방식 중 레이저발생기에서 출사된 레이저 빔을 빔스플리터를 통해 나누어 복수의 가공헤드에 제공하여 멀티로 작업하는 방식이 개시되어 있지만, 상기 방식의 경우에는 레이저 빔의 출력이 급격히 떨어져 고출력을 요구하는 산업용에는 부적합할 수밖에 없었다.Although a conventional method has been disclosed in which a laser beam emitted from a laser generator is divided through a beam splitter and provided to a plurality of processing heads to work in a multi operation, in the case of the above method, an industrial laser that requires a high output due to a sharp drop in the output of the laser beam. There was no choice but to be inadequate.

따라서, 본 발명과 같이 복수개의 레이저발생기를 이용하여 동일한 출력을 동시에 제공하게 된다면 그동안 고출력용에서는 사용할 수 없는 장기간 미해결 과제를 일거에 해결할 수 있게 되어 고출력용에서 사용이 가능하게 되어 고출력을 요구하는 산업용 레이저 발생장치에 적용이 부수적으로 가능한 더 나은 효과도 제공할 수 있게 될 것이다.Therefore, if the same output is provided simultaneously by using a plurality of laser generators as in the present invention, it is possible to solve the long-term unsolved problem that cannot be used in the high power at a time, so that it can be used in the high power and the industrial demands high power. The application to the laser generator will also be able to provide a better effect as a side event.

한편, 도 5에서는 층을 달리하여 2개의 가공헤드, 4개의 가공헤드, 6개의 가공헤드 등 2배수 개의 멀티헤드 고속 레이저 가공장치를 구성하게 된다.Meanwhile, in FIG. 5, the multi-layered high-speed laser processing apparatus including two processing heads, four processing heads, and six processing heads is configured with different layers.

본 발명에서 설명하고 있는 멀티헤드란 가공헤드가 2개 이상을 의미하는 것이다.The multihead described in the present invention means two or more processing heads.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치가 다수 층에 배열되어 특정 가공대상물을 두 쌍(4대)으로 가공하는 예를 나타낸 예시도이다.6 is an exemplary view showing an example in which a multi-head high speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention is arranged in a plurality of layers to process a specific object into two pairs (four units).

도 6에 도시한 바와 같이, 레이저발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 좌우뿐만 아니라, 전후로 배열하여 한 층에 두 쌍으로 구성하여 하나의 가공대상물을 여러대로 가공할 수 있게 된다.As shown in FIG. 6, the laser generator and the articulated laser beam transmission means may be arranged not only to the left and right, but also arranged back and forth to form two pairs in one layer to process one object to be processed in multiple ways.

점선은 해당 영역의 가공 범위를 나타낸 것이다.The dotted line shows the machining range of the area.

이는 가공대상물 전, 후에 4개의 가공헤드, 8개의 가공헤드, 12개의 가공헤드 등 4배수 개의 멀티헤드 고속 레이저 가공장치를 구성하는 것이다.This constitutes four times the multihead high speed laser processing apparatus including four processing heads, eight processing heads, and 12 processing heads before and after the object to be processed.

요약하자면, 가공헤드의 갯수만큼 생산성이 향상되므로 동일한 패턴을 가공해야 하는 대상물이라던가, 대면적의 대상물에 적용한다면 생산성을 혁신적으로 높아질 것이다.In summary, productivity is improved by the number of machining heads, so if the same pattern is processed or applied to a large-area object, productivity will be increased.

간단히 설명하자면, 만약 반복되는 단어인 '레이저'를 연필 하나로 쓰는 것보다는 두 개의 연필로 쓰는 것이, 두 개의 연필로 쓰는 것보다는 네 개의 연필로 쓰는 것이 훨씬 생산성이 좋다는 것을 의미한다.To put it simply, if you use the repeated word 'laser' with two pencils rather than one pencil, four pencils are more productive than two pencils.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치가 좌우로 구성될 경우에 좌우 충돌 방지를 위한 작동 범위 구분의 예를 나타낸 예시도이다.Figure 7 is an exemplary view showing an example of the operating range for preventing left and right collision when the multi-head high-speed laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention is configured from side to side.

도 7에 도시한 바와 같이, 가공대상물에 두 대의 가공헤드(300, 300a)가 작동 범위를 달리하여 서로 충돌되지 않도록 작동 범위를 구분짓는 것이다.As shown in FIG. 7, the two working heads 300 and 300a on the object are distinguished from each other so as not to collide with each other by varying their operating ranges.

즉, 컨트롤러에서는 각각의 다관절 아암형 로봇이 움직이는 작동 범위를 충돌되지 않도록 지정하게 되는데, 관절부위의 원주 운동 궤적을 참조하여 지정하는 것이다.In other words, the controller specifies that each of the articulated arm robots does not collide with the moving range of motion, by referring to the circumferential motion trajectory of the joint.

이럴 경우에 다관절 아암형 로봇에 결합된 관절형레이저빔전송수단의 작동 범위(동작 영역)가 서로 다르게 되어 동일 높이(동일 층)에서 서로 충돌하지 않게 되는 것이며, 이에 결합된 가공헤드의 가공 영역이 서로 충돌하지 않게 되는 것이다.In this case, the operating range (operation area) of the articulated laser beam transmission means coupled to the articulated arm robot is different so that they do not collide with each other at the same height (same layer), and the machining area of the machining head coupled thereto. This will not conflict with each other.

도 7의 점선은 좌측부위를 가공시에 가공헤드의 위치를 나타낸 것이며, 실선은 우측부위를 가공시에 가공헤드의 위치를 나타낸 것이다.The dotted line of FIG. 7 shows the position of the processing head at the time of machining the left side, and the solid line shows the position of the processing head at the time of machining the right side.

이때, 좌우 이동 범위는 관절부위의 원주 운동 궤적에 의해 결정되는 것이다.At this time, the horizontal movement range is determined by the circumferential motion trajectory of the joint region.

한편, 본 발명의 다관절형레이저빔전송수단들의 끝점을 직선 운동시키는 고정장치(500)를 구성하되, 레이저발생기들을 직선운동의 중간지점에서 수직으로 이동거리의 0.5배 지점 부근에 위치시키고, 다관절형 레이저빔전송수단의 팔길이를 상기 이동 직선거리의 0.36배 내지 0.5배 범위로 설정하는 것을 특징으로 하고 있다.On the other hand, it comprises a fixing device 500 for linearly moving the end points of the articulated laser beam transmission means of the present invention, the laser generators are positioned in the vicinity of 0.5 times the movement distance vertically from the middle point of the linear motion, The arm length of the articulated laser beam transmission means is set in a range of 0.36 times to 0.5 times the moving linear distance.

즉, 상기 고정장치에 의해 두 개의 다관절형레이저빔전송수단을 고정시켜 함께 움직이도록 잡아주게 된다.In other words, the two articulated laser beam transmission means are fixed by the fixing device to hold them together.

구체적으로 설명하자면, articulated arm 전송장치의 관절들은 arm의 끝이 움직이는 것에 따라 각 관절들이 특정한 궤적을 그리며 움직이게 되는데 좌/우로 근접 배열된 두개의 articulated arm의 관절들이 충돌하지 않는 영역들이 계산될 수 있다. Specifically, the joints of the articulated arm transmitter move each joint with a specific trajectory as the end of the arm moves, and the areas where the joints of two articulated arms closely arranged to the left and right do not collide. .

예를 들면 도7과 같이 2단 관절 articulated arm을 이용하여 2개의 레이저빔을 동시에 1차원적인 이동을 할 경우 레이저 소스들을 1차원 이동경로의 중간 부근에서 수직방향으로 이동경로의 절반정도 되는 거리에 위치하고 각 관절들의 길이를 이동길이의 0.5배를 초과하지 않고 약 0.36배보다 짧지 않게 하면 좌/우 두 관절들이 충돌하지 않고 동시에 작동이 가능하다. For example, when two laser beams are moved simultaneously in one dimension using a two-stage articulated arm as shown in FIG. 7, the laser sources are positioned at a distance of about half of the movement path in the vertical direction from the middle of the one-dimensional movement path. If the position of each joint is not more than 0.5 times the movement length and less than about 0.36 times, the left and right joints can operate simultaneously without collision.

이는 최대거리를 확보하기 위한 구성이기도 하다.This is also a configuration to secure the maximum distance.

관절의 길이가 이동거리의 0.5에 가까울수록 운동저항이 적어지므로 실제로는 거의 그 값에 가까이 설계한다. The closer the joint is to 0.5 of the moving distance, the less the movement resistance.

도 8은 실제 본 발명의 장치를 설계하여 샘플로 만든 사진이며, 사진에는 하나의 다관절형레이저빔전송수단만을 나타내고 있지만, 반대 방향의 동일한 높이에 다른 다관절형레이저빔전송수단을 설치하고, 고정장치를 통해 두 개의 다관절형레이저빔전송수단을 고정하게 된다.8 is a photograph made by designing an apparatus of the present invention as a sample, and shows only one articulated laser beam transmission means in the photograph, but installs another articulated laser beam transmission means at the same height in the opposite direction, The fixing device fixes the two articulated laser beam transmission means.

또한, 상기 고정장치가 움직이기 위한 이동스테이지(사진상에 검은색으로 표시된 장치)에 결합되어 좌우로 움직이게 된다.In addition, the fixing device is coupled to a moving stage (the device shown in black on the picture) for movement and is moved left and right.

본 발명의 실제 실시예를 이동스테이지로 적용하고 있으나, 로봇팔에 부착되어 적용할 수 있음은 당연한 것이다.Although the actual embodiment of the present invention is applied as a moving stage, it is natural that it can be applied to the robot arm.

상기와 같은 구성을 통해 레이저 빔을 이용한 대면적 스크라이빙 장치에 적용되는 레이저 발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 결합시켜 한 층에 좌우로 각각 배열하되, 상기 레이저 발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 여러 층으로 배열하여 특정 가공대상물을 복수개의 레이저 빔을 이용하여 가공하도록 하여 생산성을 레이저 발생기 갯수만큼 향상시키는 효과를 제공하게 된다.By combining the laser generator and the articulated laser beam transmission means applied to the large-area scribing apparatus using the laser beam as described above, the laser generator and the articulated laser beam are arranged side by side, respectively. By arranging the transmission means in several layers, a specific object to be processed may be processed using a plurality of laser beams, thereby providing an effect of improving productivity by the number of laser generators.

본 발명과 관련된 구체적인 실시예에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며, 당해 기술 분야의 통상의 지식과 기술을 가진 자 수준에서 용이하게 변형 가능한 발명으로서 균등 수준인 것은 모두 본 발명의 권리범위에 속한다.
The scope of the present invention is not limited to the specific embodiments related to the present invention, and any equivalent level of the invention can be easily modified on the level of those skilled in the art and within the scope of the present invention. Belong.

100, 100a : 레이저발생기
210, 210a : 경통
220, 220a : 반사경
300, 300a : 가공헤드
500 : 고정장치100, 100a: laser generator
210, 210a: barrel
220, 220a: reflector
300, 300a: machining head
500: fixing device

Claims (4)

광반사를 이용한 다관절형레이저빔전송수단을 포함하여 구성되는 레이저 빔 가공 장치에 있어서,
레이저 빔을 발생시키는 두 개의 레이저발생기와;
상기 레이저발생기에 각각 결합된 다관절형레이저빔전송수단;을 포함하여 구성하되,
상기 다관절형레이저빔전송수단은 각각 동일한 높이에 설치되며, 각각의 다관절형레이저빔전송수단은 작동 범위가 서로 다르게 좌우 구분되어 충돌이 방지되는 것을 특징으로 하는 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치.
In the laser beam processing apparatus comprising a multi-joint laser beam transmission means using light reflection,
Two laser generators for generating a laser beam;
It comprises a; multi-joint laser beam transmission means respectively coupled to the laser generator;
The articulated laser beam transmitting means is installed at the same height, and each of the articulated laser beam transmitting means is a multi-head high-speed laser beam processing apparatus, characterized in that the operating range is different from each other left and right to prevent collision.
제 1항에 있어서,
상기 두 개의 레이저발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 한 쌍으로 하되, 한 쌍을 한 층으로 배열하여 다수의 층으로 구성하는 것을 특징으로 하는 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치.
The method of claim 1,
Multi-head high speed laser beam processing apparatus characterized in that the two laser generator and the articulated laser beam transmission means in a pair, one pair in a layer arranged in a plurality of layers.
제 1항에 있어서,
상기 레이저발생기와 다관절형레이저빔전송수단을 좌우뿐만 아니라, 전후로 배열하여 한 층에 두 쌍으로 구성하는 것을 특징으로 하는 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치.
The method of claim 1,
Multi-head high speed laser beam processing apparatus characterized in that the laser generator and the articulated laser beam transmission means are arranged not only left and right, but also rearward and rearward, so that the pair is formed in two layers.
제 1항에 있어서,
상기 다관절형 레이저빔전송수단들의,
끝점을 직선 운동시키는 고정장치를 구성하되, 레이저발생기들을 직선운동의 중간지점에서 수직으로 이동거리의 0.5배 지점 부근에 위치시키고, 다관절형 레이저빔전송수단의 팔길이를 상기 이동 직선거리의 0.36배 내지 0.5배 범위로 설정하는 것을 특징으로 하는 멀티헤드 고속 레이저 빔 가공장치.
The method of claim 1,
Of the articulated laser beam transmission means,
A fixed device for linearly moving the end point is provided, wherein the laser generators are positioned about 0.5 times the moving distance vertically from the midpoint of the linear motion, and the arm length of the articulated laser beam transmission means is 0.36 of the moving linear distance. Multihead high speed laser beam processing apparatus, characterized in that the setting in the range of times to 0.5 times.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CN105689897A (en) * 2016-03-31 2016-06-22 中国科学院西安光学精密机械研究所 Laser marking rapid precision machining device and method

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100257097B1 (en) * 1998-01-14 2000-12-01 기쿠치 요시노리 Multi robot system
KR200324786Y1 (en) 2003-05-27 2003-08-27 (주)코리아레이저테크 Laser machine for engraving pattern on a light guide plate

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104148482A (en) * 2014-07-21 2014-11-19 苏州璟瑜自动化科技有限公司 Multi-head punching device based on film-covering positioning and protection
CN105689897A (en) * 2016-03-31 2016-06-22 中国科学院西安光学精密机械研究所 Laser marking rapid precision machining device and method

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