KR20120086875A - A light emitting device - Google Patents

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나민규
주현승
추성호
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A light emitting device is provided to prevent a current from being centered a specific site of a light emitting structure by forming a current blocking layer on a partial area of a second conductivity type semiconductor layer. CONSTITUTION: A light emitting structure(120) is formed on a substrate(110). The light emitting structure comprises a first conductivity type semiconductor layer(122), an active layer(124), and a second conductivity type semiconductor layer(126). A conductive layer(130) is formed on the second conductivity type semiconductor layer. A first electrode is formed on a second portion of the first conductivity type semiconductor layer which is exposed by mesa etching. A second electrode(150) is formed on the conductive layer. The second electrode includes a second pad part(152) and a second branch electrode(154).

Description

발광 소자{A light emitting device}Light emitting device

본 발명은 발광 소자 및 발광 소자 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting device and a light emitting device package.

발광 다이오드(Light Emitting Diode : LED)는 화합물 반도체의 특성을 이용하여 전기를 적외선 또는 빛으로 변환시켜서 신호를 주고 받거나, 광원으로 사용되는 반도체 소자의 일종이다.A light emitting diode (LED) is a kind of semiconductor device that transmits and receives a signal by converting electricity into infrared light or light using characteristics of a compound semiconductor.

Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체(group Ⅲ-Ⅴ nitride semiconductor)는 물리적, 화학적 특성으로 인해 발광 다이오드(LED) 또는 레이저 다이오드(LD) 등의 발광 소자의 핵심 소재로 각광을 받고 있다.Group III-V nitride semiconductors are spotlighted as core materials of light emitting devices such as light emitting diodes (LEDs) or laser diodes (LDs) due to their physical and chemical properties.

이러한 발광 다이오드는 백열등과 형광등 등의 기존 조명기구에 사용되는 수은(Hg)과 같은 환경 유해물질이 포함되어 있지 않아 우수한 친환경성을 가지며, 긴 수명, 저전력 소비특성 등과 같은 장점이 있기 때문에 기존의 광원들을 대체하고 있다.These light emitting diodes do not contain environmentally harmful substances such as mercury (Hg) used in existing lighting equipment such as incandescent lamps and fluorescent lamps, and thus have excellent eco-friendliness and have advantages such as long life and low power consumption. It is replacing them.

실시예는 발광 효율 및 수율을 향상시킬 수 있는 발광 소자를 제공하고자 한다.Embodiments provide a light emitting device capable of improving luminous efficiency and yield.

실시예에 따른 발광 소자는 기판, 및 상기 기판 상에 제1 도전형 반도체층, 활성층, 및 제2 도전형 반도체층이 적층되는 발광 구조물을 포함하며, 상기 발광 구조물은 제1 모서리 부분들과 이와 접하는 제1 부측면들로 둘러싸인 제1 부분, 제2 모서리 부분들과 이와 접하는 제2 부측면들로 둘러싸인 제2 부분, 및 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 상기 제1 도전형 반도체층을 노출하도록 메사 식각된 제3 부분을 포함하며, 제1 거리는 제2 거리의 제곱과 제2 거리의 제곱의 합의 제곱근보다 크며, 여기서 상기 제1 거리는 상기 제1 모서리 부분들 중 어느 하나 및 이와 인접하는 제2 모서리 부분 사이의 거리이고, 상기 제2 거리는 상기 어느 하나의 제1 모서리 부분과 접하는 어느 하나의 제1 부측면과 이와 인접하는 제2 부측면 사이의 거리이고, 상기 제3 거리는 상기 어느 하나의 제1 모서리 부분과 접하는 나머지 다른 하나의 제1 부측면과 이와 인접하는 제2 부측면 사이의 거리이다.The light emitting device according to the embodiment includes a substrate and a light emitting structure in which a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer are stacked on the substrate, wherein the light emitting structure includes first corner portions and the first light emitting structure. A first portion surrounded by the first sub-sides which are in contact, a second portion surrounded by the second corner portions and the second side-sides which are in contact, and the first conductivity type semiconductor layer between the first portion and the second portion And a third portion mesa etched to expose, wherein the first distance is greater than the square root of the sum of the square of the second distance and the square of the second distance, wherein the first distance is adjacent to any one of the first corner portions and adjacent thereto. The second distance is a distance between the second corner portion, and the second distance is the distance between any one of the first side and the second side surface adjacent to the first one of the first corner portion, the third distance The distance between the one of the rest in contact with one edge of the other one of the first side portion and a second portion adjacent to this side.

상기 제2 부분은 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층, 및 상기 제1 도전형 반도체층 일부가 메사 식각되어 형성되는 메사 구조물일 수 있다. 상기 제2 모서리 부분들 중 적어도 하나는 2 이상의 절곡면들을 가지며, 상기 절곡면들 각각은 서로 접하며, 인접하는 절곡면들은 서로 수직일 수 있다. 상기 2 이상의 절곡면들 중 어느 하나는 상기 제2 모서리 부분들 중 적어도 하나와 접하는 어느 하나의 제2 부측면으로부터 절곡되고, 상기 2 이상 절곡면들 중 다른 어느 하나는 상기 제2 모서리 부분들 중 적어도 하나와 접하는 나머지 다른 하나의 제2 부측면으로부터 절곡될 수 있다.The second portion may be a mesa structure formed by mesa etching a portion of the second conductive semiconductor layer, the active layer, and the first conductive semiconductor layer. At least one of the second corner portions may have two or more bent surfaces, each of the bent surfaces abut each other, and adjacent bent surfaces may be perpendicular to each other. Any one of the at least two bent surfaces is bent from one second sublateral side that is in contact with at least one of the second corner portions, and another one of the at least two bent surfaces is one of the second corner portions. It may be bent from the other second sublateral side in contact with at least one.

상기 발광 소자는 상기 제2 도전형 반도체층 상의 전도층, 상기 노출되는 제1 도전형 반도체층 상의 제1 전극, 및 상기 전도층 상의 제2 전극을 더 포함할 수 있다.The light emitting device may further include a conductive layer on the second conductive semiconductor layer, a first electrode on the exposed first conductive semiconductor layer, and a second electrode on the conductive layer.

상기 제2 이격 거리 및 상기 제3 이격 거리 각각은 1 마이크로미터보다 크거나 같고, 100 마이크로미터보다 작거나 같을 수 있다.Each of the second separation distance and the third separation distance may be greater than or equal to 1 micrometer and less than or equal to 100 micrometer.

상기 제2 모서리 부분들 중 적어도 하나는 2 이상의 곡면부들을 가지며, 상기 곡면부들 각각은 서로 접하며, 일정한 곡률 반경을 가질 수 있다. 상기 곡면부들은 동일한 곡률 반경을 가질 수 있다. 상기 곡면부들 중 적어도 하나는 다른 곡률 반경을 가질 수 있다.At least one of the second corner portions may have two or more curved portions, and each of the curved portions may contact each other and have a constant radius of curvature. The curved portions may have the same radius of curvature. At least one of the curved portions may have a different radius of curvature.

실시 예에 따른 발광 소자는 발광 효율 및 수율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device according to the embodiment may improve luminous efficiency and yield.

도 1은 제1 실시예에 따른 발광 소자의 평면도를 나타낸다.
도 2는 도 1에 도시된 발광 소자의 AB 방향 단면도를 나타낸다.
도 3은 도 1에 도시된 발광 소자의 모서리 영역을 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 발광 소자의 모서리 영역을 나타내는 사시도이다.
도 5는 제2 실시예에 따른 발광 소자의 평면도를 나타낸다.
도 6은 도 5에 도시된 발광 소자의 모서리 영역을 나타내는 평면도이다.
도 7은 도 5에 도시된 발광 소자의 모서리 영역을 나타내는 사시도이다.
도 8은 제3 실시예에 따른 발광 소자의 평면도를 나타낸다.
도 9는 도 8에 도시된 발광 소자의 모서리 영역을 나타낸다.
도 10은 도 8에 도시된 발광 소자의 모서리 영역을 나타내는 사시도이다.
도 11은 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 나타낸다.
도 12a는 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 표시 장치를 나타낸다.
도 12b는 도 12a에 도시된 표시 장치의 광원 부분의 단면도이다.
도 13은 실시예에 따른 발광소자를 포함하는 조명 장치를 나타낸다.
1 is a plan view of a light emitting device according to a first embodiment.
FIG. 2 is a sectional view taken along the AB direction of the light emitting device illustrated in FIG. 1.
3 is a plan view illustrating a corner region of the light emitting device illustrated in FIG. 1.
4 is a perspective view illustrating a corner area of the light emitting device illustrated in FIG. 1.
5 is a plan view of a light emitting device according to a second embodiment.
6 is a plan view illustrating a corner area of the light emitting device illustrated in FIG. 5.
FIG. 7 is a perspective view illustrating a corner area of the light emitting device illustrated in FIG. 5.
8 is a plan view of a light emitting device according to a third embodiment.
9 illustrates a corner region of the light emitting device illustrated in FIG. 8.
FIG. 10 is a perspective view illustrating a corner area of the light emitting device illustrated in FIG. 8.
11 illustrates a light emitting device package according to an embodiment.
12A illustrates a display device including a light emitting device package according to an embodiment.
12B is a cross-sectional view of a light source portion of the display device illustrated in FIG. 12A.
13 illustrates a lighting device including a light emitting device according to the embodiment.

이하, 실시예들은 첨부된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 실시예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "하/아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. In the description of an embodiment, each layer, region, pattern or structure may be "under" or "under" the substrate, each layer, region, pad or pattern. In the case where it is described as being formed at, "up" and "under" include both "directly" or "indirectly" formed through another layer. do. In addition, the criteria for the top / bottom or bottom / bottom of each layer are described with reference to the drawings.

도면에서 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 또한 동일한 참조번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예에 따른 발광 소자, 및 발광 소자 패키지에 대하여 설명한다.In the drawings, dimensions are exaggerated, omitted, or schematically illustrated for convenience and clarity of illustration. In addition, the size of each component does not necessarily reflect the actual size. The same reference numerals denote the same elements throughout the description of the drawings. Hereinafter, a light emitting device and a light emitting device package according to an embodiment will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 실시예에 따른 발광 소자(100)의 평면도를 나타내고, 도 2는 도 1에 도시된 발광 소자(100)의 AB 방향 단면도를 나타낸다.1 illustrates a plan view of a light emitting device 100 according to an embodiment, and FIG. 2 illustrates a cross-sectional view along an AB direction of the light emitting device 100 illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 발광 소자(100)는 기판(110), 발광 구조물(120), 전류 차단층(125), 전도층(130), 제1 전극(140), 및 제2 전극(150)을 포함한다.1 and 2, the light emitting device 100 includes a substrate 110, a light emitting structure 120, a current blocking layer 125, a conductive layer 130, a first electrode 140, and a second electrode. And 150.

기판(110)은 사파이어 기판(Al203), GaN, SiC, ZnO, Si, GaP, InP, Ga203, 도전성 기판, 그리고 GaAs 등으로 이루어진 군에서 선택될 수 있다. 이러한 기판(110)의 상면에는 요철 패턴이 형성될 수 있다.The substrate 110 may be selected from the group consisting of sapphire substrate (Al 2 O 3 ), GaN, SiC, ZnO, Si, GaP, InP, Ga 2 O 3 , a conductive substrate, and GaAs. An uneven pattern may be formed on the upper surface of the substrate 110.

발광 구조물(120)은 제1 도전형 반도체층(122), 활성층(124), 및 제2 도전형 반도체층(126)을 포함하며, 기판(110) 상에 순차로 적층된 구조일 수 있다. 이때 제1 도전형은 n형이고, 제2 도전형은 p형일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.The light emitting structure 120 may include a first conductive semiconductor layer 122, an active layer 124, and a second conductive semiconductor layer 126, and may be sequentially stacked on the substrate 110. In this case, the first conductivity type may be n type and the second conductivity type may be p type, but is not limited thereto.

기판(110)과 발광 구조물(120) 사이에는 2족 내지 6족 원소의 화합물 반도체를 이용한 층 또는 패턴, 예컨대, ZnO층(미도시), 버퍼층(미도시), 언도프드 반도체층(미도시) 중 적어도 한 층이 형성될 수 있다. 버퍼층 또는 언도프드 반도체층은 3족-5족 원소의 화합물 반도체를 이용하여 형성될 수 있으며, 버퍼층은 기판(110)과의 격자 상수의 차이를 줄여주게 되며, 언도프드 반도체층은 도핑하지 않는 GaN계 반도체로 형성될 수 있다.Between the substrate 110 and the light emitting structure 120, a layer or pattern using a compound semiconductor of Group 2 to 6 elements, such as a ZnO layer (not shown), a buffer layer (not shown), and an undoped semiconductor layer (not shown) At least one of the layers may be formed. The buffer layer or the undoped semiconductor layer may be formed using a compound semiconductor of group III-V group elements, and the buffer layer may reduce the difference in lattice constant with the substrate 110, and the undoped GaN layer may not be doped. It may be formed of a system semiconductor.

제1 도전형 반도체층(122)은 질화물계 반도체층, 예컨대, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN, AlInN 등에서 선택될 수 있으며, n형 도펀트(예: Si, Ge, Sn 등)가 도핑될 수 있다.The first conductivity type semiconductor layer 122 may be selected from a nitride based semiconductor layer, for example, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN, AlInN, and the like, and an n-type dopant (eg, Si, Ge, Sn, etc.) may be Can be doped.

활성층(124)은 3족-5족 원소의 화합물 반도체 재료를 이용하여 단일 또는 다중 양자 우물 구조, 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 등으로 형성될 수 있다. 활성층(124)이 양자우물구조로 형성된 경우 예컨데, InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 우물층과 InaAlbGa1 -a- bN (0≤a≤1, 0≤b≤1, 0≤a+b≤1)의 조성식을 갖는 장벽층을 갖는 단일 또는 양자우물구조를 갖을 수 있다. 우물층은 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The active layer 124 may be formed of a single or multiple quantum well structure, a quantum-wire structure, a quantum dot structure, or the like using a compound semiconductor material of a group III-V group element. When the active layer 124 is formed of a quantum well structure, for example, a well layer having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1); It may have a single or quantum well structure having a barrier layer having a composition formula of In a Al b Ga 1 -a- b N (0 ≦ a ≦ 1 , 0 b 1 , 0 ≦ a + b 1 ). The well layer may be formed of a material having a band gap lower than the band gap of the barrier layer.

제2 도전형 반도체층(126)은 질화물계 반도체층, 예컨대, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN, AlInN 등에서 선택될 수 있으며, p형 도펀트(예: Mg, Zn,Ca,Sr,Ba)가 도핑될 수 있다.The second conductive semiconductor layer 126 may be selected from a nitride based semiconductor layer, for example, InAlGaN, GaN, AlGaN, InGaN, AlN, InN, AlInN, or the like, and may be a p-type dopant (eg, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba) may be doped.

도 1은 단위 발광 소자의 경계가 되는 경계선인 스크라이브 라인(scribe line, 105) 내에 발광 구조물(120)을 도시한다. 이때 스크라이브 라인(105)은 웨이퍼 상의 발광 구조물을 개별적인 단위 발광 소자로 분리하는 칩 분리 라인일 수 있다. 이하 스크라이브 라인(105)을 따라 분리되는 단위 발광 소자의 발광 구조물의 측면을 "발광 구조물(120)의 스크라이브 측면(도 4의 '405' 참조)"이라 한다.1 illustrates a light emitting structure 120 in a scribe line 105 which is a boundary line of a unit light emitting device. In this case, the scribe line 105 may be a chip separation line that separates the light emitting structure on the wafer into individual unit light emitting devices. Hereinafter, the side surface of the light emitting structure of the unit light emitting device separated along the scribe line 105 is referred to as the "scribing side surface of the light emitting structure 120 (see '405' of FIG. 4)".

발광 구조물(120)은 제1 도전형 반도체층(122), 활성층(124), 및 제2 도전형 반도체층(126)이 기판(110) 상에 순차로 적층된 형태일 수 있으며, 제1 도전형 반도체층(122)의 일부 영역이 노출될 수 있다.The light emitting structure 120 may have a form in which the first conductive semiconductor layer 122, the active layer 124, and the second conductive semiconductor layer 126 are sequentially stacked on the substrate 110. A portion of the type semiconductor layer 122 may be exposed.

이때 노출되는 제1 도전형 반도체층(122) 영역은 제1 영역(P1)과 제2 영역(P2)을 포함한다. 제1 영역(P1)은 스크라이브 측면과 인접하는 제1 도전형 반도체층(122)의 일 영역이고, 제2 영역(P2)은 제1 전극(140)이 형성될 제1 도전형 반도체층(122)의 다른 영역일 수 있다. 제2 영역(P2)은 스크라이브 측면의 어느 한 모서리(192)에 인접하는 제1 영역(P1) 내측에 위치할 수 있다.In this case, the exposed first conductive semiconductor layer 122 region includes a first region P1 and a second region P2. The first region P1 is a region of the first conductive semiconductor layer 122 adjacent to the scribe side, and the second region P2 is the first conductive semiconductor layer 122 on which the first electrode 140 is to be formed. May be another area of). The second region P2 may be located inside the first region P1 adjacent to one edge 192 of the scribe side.

예컨대, 제1 영역(P1)과 제2 영역(P2) 상의 제2 도전형 반도체층(126), 활성층(124), 및 제1 도전형 반도체층(122)의 일부분이 메사 식각되어 제1 도전형 반도체층(122)의 제1 영역(P1)과 제2 영역(P2)이 노출될 수 있다.For example, portions of the second conductive semiconductor layer 126, the active layer 124, and the first conductive semiconductor layer 122 on the first region P1 and the second region P2 are mesa-etched to form a first conductive layer. The first region P1 and the second region P2 of the type semiconductor layer 122 may be exposed.

이하, 제2 도전형 반도체층(122), 활성층(124), 및 제1 도전형 반도체층(122) 일부가 메사 식각되어 형성되는 메사 구조물(도 4의 '410' 참조)의 측면을 "메사 측면"이라 한다. 또한 메사 식각에 의하여 형성된 메사 구조물(410)의 경계선을 메사 라인(mesa line, 107)이라 하며, 메사 라인(107)은 스크라이브 라인(105)으로부터 이격한다.Hereinafter, a side of the mesa structure (see '410' of FIG. 4) in which the second conductive semiconductor layer 122, the active layer 124, and a portion of the first conductive semiconductor layer 122 are formed by mesa etching is referred to as "mesa." Side ". In addition, a boundary line of the mesa structure 410 formed by mesa etching is called a mesa line 107, and the mesa line 107 is spaced apart from the scribe line 105.

발광 구조물(120)의 스크라이브 측면(도 4의 '405' 참조)은 제1 부측면들(181 내지 184), 및 제1 모서리 부분들(191 내지 194)을 포함한다. 제1 모서리 부분들 중 어느 하나(예컨대, 191)는 인접하는 제1 부측면들(예컨대, 181 및 183) 사이에 위치하며, 인접하는 제1 부측면들(예컨대, 181 및 183)과 접한다.The scribe side (see 405 of FIG. 4) of the light emitting structure 120 includes first sublateral sides 181 to 184, and first corner portions 191 to 194. Any one of the first corner portions (eg, 191) is located between adjacent first sidewalls (eg, 181 and 183) and abuts adjacent first sidewalls (eg, 181 and 183).

또한 메사 구조물(410)의 메사 측면은 제2 부측면들, 및 제2 모서리 부분들을 포함한다. 제2 모서리 부분들 중 어느 하나는 인접하는 제2 부측면들 사이에 위치하며, 인접하는 제2 부측면들과 접한다. The mesa side of mesa structure 410 also includes second subsides, and second corner portions. One of the second corner portions is located between adjacent second subsides and abuts adjacent second subsides.

메사 측면의 제2 모서리 부분은 아래의 조건을 만족하는 형상을 갖는다.The second corner portion of the mesa side has a shape satisfying the following condition.

제1 모서리 부분과 이와 인접하는 제2 모서리 부분 사이의 제1 이격 거리는 제2 이격 거리의 제곱과 제3 이격 거리 제곱의 합의 제곱근보다 크다.The first separation distance between the first corner portion and the second corner portion adjacent thereto is greater than the square root of the sum of the square of the second separation distance and the square of the third separation distance.

여기서 제2 이격 거리는 제1 모서리 부분과 접하는 어느 하나의 제1 부측면과 제2 모서리 부분과 접하는 어느 하나의 제2 부측면 사이의 이격 거리이며, 제3 이격 거리는 제1 모서리 부분과 접하는 나머지 다른 하나의 제1 부측면과 제2 모서리 부분과 접하는 나머지 다른 하나의 제2 부측면 사이의 이격 거리일 수 있다.Here, the second separation distance is a separation distance between any one first side surface contacting the first corner portion and one second side surface contacting the second corner portion, and the third separation distance is another remaining side contacting the first corner portion. It may be a separation distance between one first sub-lateral side and the other second sub-lateral side in contact with the second corner portion.

도 3은 도 1에 도시된 발광 소자(100)의 모서리 영역(170)을 나타내는 평면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 발광 소자의 모서리 영역(170)을 나타내는 사시도이다.3 is a plan view illustrating a corner region 170 of the light emitting device 100 illustrated in FIG. 1, and FIG. 4 is a perspective view illustrating a corner region 170 of the light emitting device illustrated in FIG. 1.

도 3 및 도 4를 참조하면, 메사 구조물(410)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(301)은 라운딩되어진다. 즉 메사 구조물(410)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(301)은 제1 곡률 반경(R)을 갖는다. 여기서 제1 곡률 반경(R)은 제2 모서리 부분(301)과 접하는 제2 측면들(312,314)과 접하는 곡선의 반경일 수 있다. 3 and 4, the second corner portion 301 of the mesa side of the mesa structure 410 is rounded. That is, the second corner portion 301 of the mesa side of the mesa structure 410 has a first radius of curvature R. Here, the first radius of curvature R may be a radius of a curve contacting the second side surfaces 312 and 314 contacting the second corner portion 301.

제1 실시예에 따른 메사 구조물(410)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(301)은 상술한 조건을 만족한다. 즉 제1 이격 거리(C1)는 제2 이격 거리(A)의 제곱과 제3 이격 거리(B)의 제곱의 합(A2+B2)의 제곱근(√(A2 + B2)보다 크다.The second corner portion 301 of the mesa side of the mesa structure 410 according to the first embodiment satisfies the above condition. That is greater than the first clearance (C1) is a square root (√ (A 2 + B 2 ) of the second sum of the squares and the square of the third distance (B) of the spacing (A) (A 2 + B 2) .

여기서 제1 이격 거리(C1)는 제2 모서리 부분(301)과 이와 인접하는 제1 모서리 부분(194) 사이의 이격 거리이고, 제2 이격 거리(A)는 제1 모서리 부분(194)과 접하는 어느 하나의 제1 부측면(322)과 제2 모서리 부분(301)과 접하는 어느 하나의 제2 부측면(312) 사이의 이격 거리이고, 제3 이격 거리(B)는 제1 모서리 부분(194)과 접하는 나머지 다른 하나의 제1 부측면(324)과 제2 모서리 부분(301)과 접하는 나머지 다른 하나의 제2 부측면(314) 사이의 이격 거리일 수 있다.Here, the first separation distance C1 is a separation distance between the second corner portion 301 and the first corner portion 194 adjacent thereto, and the second separation distance A is in contact with the first corner portion 194. The separation distance between any one first subside 322 and any one second subside 312 in contact with the second corner portion 301, and the third separation distance B is the first corner portion 194. ) May be a distance between the other first side surface 324 in contact with the other side and the other second side surface 314 in contact with the second corner portion 301.

이때 제2 이격 거리(A) 및 제3 이격 거리(B) 각각은 1um보다 크거나 같고, 100um보다 작거나 같을 수 있다(1um≤A,B≤100um). 또한 제2 이격 거리(A) 및 제3 이격 거리(B) 각각이 20um보다 크거나 같고, 100um보다 작거나 같을 경우(20um≤A,B≤100um), 제2 모서리 부분(301)의 곡률 반경(R)은 1um보다 크거나 같고, 50um보다 작거나 같을 수 있다(1um≤R≤50um).In this case, each of the second separation distance A and the third separation distance B may be greater than or equal to 1 μm and less than or equal to 100 μm (1um ≦ A, B ≦ 100um). Further, when each of the second separation distance A and the third separation distance B is greater than or equal to 20 μm and less than or equal to 100 μm (20 μm ≦ A, B ≦ 100 μm), the radius of curvature of the second corner portion 301 (R) may be greater than or equal to 1 µm and less than or equal to 50 µm (1 µ ≦ R ≦ 50 µm).

또한 제2 이격 거리(A) 및 제3 이격 거리(B) 각각이 1um보다 크거나 같고, 20um보다 작거나 같을 경우(1um≤A,B≤20um), 제2 모서리 부분(301)의 곡률 반경(R)은 10um보다 크거나 같고, 100um보다 작거나 같을 수 있다(10um≤R≤100um).Further, when each of the second separation distance A and the third separation distance B is greater than or equal to 1 um and less than or equal to 20 um (1 um ≤ A, B ≤ 20 um), the radius of curvature of the second corner portion 301 (R) may be greater than or equal to 10 µm and less than or equal to 100 µm (10 µ ≦ R ≦ 100 µm).

일반적으로 메사 라인과 스크라이브 라인 사이의 간격(A,B)을 좁게 하여 발광 구조물(120)의 발광 면적을 높일 수 있다. 그러나 메사 라인과 스크라이브 라인 사이의 간격을 좁게 할수록 개별적인 단위 발광 소자로 분리하는 칩 분리 공정시 발생하는 칩 외곽 깨짐이 메사 라인 내의 발광 구조물 또는 제2 전극까지 침범하여 칩 수율이 감소할 수 있다.In general, the light emitting area of the light emitting structure 120 may be increased by narrowing the gaps A and B between the mesa line and the scribe line. However, as the spacing between the mesa line and the scribe line is narrower, chip outside cracks generated during the chip separation process of separating into individual unit light emitting devices may invade the light emitting structure or the second electrode in the mesa line, thereby reducing the chip yield.

그러나 제1 실시예는 칩 깨짐이 빈번히 발생하는 스크라이브 라인들이 만나는 제1 모서리 부분(194)과 인접하는 메사 구조물(410)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(301)을 제1 곡률(R)을 갖는 곡면으로 형성하여 제1 모서리 부분(194)과 제2 모서리 부분(301) 사이의 이격 거리(C1)를 충분히 확보함으로써, 칩 분리 과정에 발생하는 크랙(Crack)이 메사 라인 내의 발광 구조물(120)로 침범하는 것을 방지할 수 있어, 수율 저하를 방지할 수 있다. 즉 제1 실시예는 칩 분리 공정에 의하여 발생하는 크랙에 의한 발광 구조물(120)의 손상을 방지하여 수율을 향상시킬 수 있다.However, in the first exemplary embodiment, the first corner portion 194 and the second corner portion 301 of the mesa side of the mesa structure 410 adjacent to the scribe lines where the chip break occurs frequently meet the first curvature R. By forming a curved surface having a sufficient distance (C1) between the first corner portion 194 and the second corner portion 301, the cracks generated in the chip separation process is a light emitting structure 120 in the mesa line Invasion can be prevented, and a yield decrease can be prevented. That is, the first embodiment may improve the yield by preventing damage to the light emitting structure 120 due to cracks generated by the chip separation process.

또한 제1 실시예는 칩 분리 공정에 의하여 발생하는 크랙에 의한 발광 구조물(120)의 손상을 방지할 수 있는 한도 내에서 제2 이격 거리(A) 및 제3 이격 거리(B)를 작게 하여 발광 구조물(120)의 발광 면적을 상대적으로 증가할 수 있도록 설계될 수 있다.In addition, the first embodiment emits light by reducing the second separation distance A and the third separation distance B within a limit capable of preventing damage to the light emitting structure 120 due to cracks generated by the chip separation process. It may be designed to relatively increase the light emitting area of the structure 120.

전류 차단층(125)은 발광 구조물(120)의 어느 한 부위로 전류가 집중되는 것을 방지하기 위하여 제2 도전형 반도체층(126)의 일부 영역 상에 배치된다. 예컨대, 전류 차단층(125)은 메사 구조물(410)의 제2 도전형 반도체층(126) 상에 배치될 수 있다. 전류 차단층(125)은 추후에 설명할 제2 전극(150)과 수직 방향으로 오버랩될 수 있다. 여기서 수직 방향은 기판(110)으로부터 발광 구조물(120)로 향하는 방향일 수 있다. 전류 차단층(125)은 전류 차단을 위하여 산화막(oxide layer)과 같은 절연 물질로 형성될 수 있다. 예컨대, 전류 차단층(125)은 SiO2, SiNx, TiO2, Ta2O3, SiON, SiCN 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The current blocking layer 125 is disposed on a portion of the second conductivity-type semiconductor layer 126 to prevent the current from being concentrated at any part of the light emitting structure 120. For example, the current blocking layer 125 may be disposed on the second conductivity type semiconductor layer 126 of the mesa structure 410. The current blocking layer 125 may overlap the second electrode 150 in a vertical direction, which will be described later. The vertical direction may be a direction from the substrate 110 toward the light emitting structure 120. The current blocking layer 125 may be formed of an insulating material such as an oxide layer for blocking current. For example, the current blocking layer 125 may be formed of at least one of SiO 2 , SiNx, TiO 2 , Ta 2 O 3 , SiON, and SiCN.

전도층(130)은 제2 도전형 반도체층(126)의 상에 배치된다. 이때 전도층(130)은 메사 구조물(410)의 제2 도전형 반도체층(126) 상에 배치되며, 전류 차단층(125)을 덮는다. 전도층(130)은 발광 소자(100)의 광추출 효율을 높이는 역할을 한다. 전도층(130)은 발광 파장에 대해 투과율이 높은 투명한 산화물계 물질, 예컨대 ITO(Indium Tin Oxide), TO(Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 및 ZnO(Zinc Oxide) 등으로 이루어질 수 있다.The conductive layer 130 is disposed on the second conductive semiconductor layer 126. In this case, the conductive layer 130 is disposed on the second conductive semiconductor layer 126 of the mesa structure 410 and covers the current blocking layer 125. The conductive layer 130 serves to increase the light extraction efficiency of the light emitting device 100. The conductive layer 130 is a transparent oxide material having high transmittance with respect to the emission wavelength, such as indium tin oxide (ITO), tin oxide (TO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), and zinc (Zinc) Oxide) and the like.

제1 전극(140)은 메사 식각에 의하여 노출되는 제1 도전형 반도체층(122)의 제2 부분(P2) 상에 배치된다. 제1 전극(140)은 제1 패드부(142) 및 제1 가지 전극(144)을 포함한다. 이때 제1 패드부(142)는 제1 패드(pad)가 배치되는 제1 전극(140)의 일부분일 수 있다. 예컨대, 제1 패드부(142)는 외부로부터 제1 전원의 공급받기 위하여 와이어(wire)가 본딩되는 영역일 수 있다. 제1 가지 전극(144)은 제1 패드부(142)로부터 분기되는 제1 전극(140)의 나머지 부분일 수 있다.The first electrode 140 is disposed on the second portion P2 of the first conductivity type semiconductor layer 122 exposed by mesa etching. The first electrode 140 includes a first pad part 142 and a first branch electrode 144. In this case, the first pad part 142 may be a part of the first electrode 140 on which the first pad is disposed. For example, the first pad part 142 may be an area in which a wire is bonded to receive the first power from the outside. The first branch electrode 144 may be the remaining portion of the first electrode 140 branched from the first pad part 142.

제1 가지 전극(144)은 제1 패드부(142)로부터 분기하여 제1 방향으로 확장될 수 있다. 제1 방향은 발광 구조물(120)의 스크라이브 측면(405)의 제1 모서리(191)로부터 제4 모서리(194)로 향하는 방향일 수 있다. 또한 제1 방향은 발광 구조물(120)의 어느 하나의 스크라이브 측면과 수평일 수 있다.The first branch electrode 144 may branch from the first pad part 142 and extend in the first direction. The first direction may be a direction from the first edge 191 of the scribe side 405 of the light emitting structure 120 to the fourth edge 194. In addition, the first direction may be parallel to any one scribe side of the light emitting structure 120.

이때 노출되는 제1 도전형 반도체층(122)의 제2 부분(P2)은 발광 구조물(120)의 제1 모서리들(191 내지 194) 중 어느 하나의 제1 모서리(예컨대, 192)에 인접할 수 있다. 그리고 제1 패드부(142)는 어느 하나의 제1 모서리에 인접하여 제1 도전형 반도체층(122)의 제2 부분(P2) 상에 배치되고, 제1 가지 전극(144)은 제1 패드부(142)로 제1 방향으로 분기하여 제1 도전형 반도체층(122)의 제1 부분(P1) 상에 배치될 수 있다.In this case, the second portion P2 of the first conductive semiconductor layer 122 exposed may be adjacent to the first edge (eg, 192) of one of the first edges 191 to 194 of the light emitting structure 120. Can be. The first pad part 142 is disposed on the second portion P2 of the first conductivity-type semiconductor layer 122 adjacent to one of the first edges, and the first branch electrode 144 is disposed on the first pad. Branching in the first direction to the portion 142 may be disposed on the first portion P1 of the first conductivity-type semiconductor layer 122.

도 1에 도시된 실시 예는 제1 패드부(142)로부터 분기하는 하나의 제1 가지 전극(144)을 포함하지만, 실시 예에 이에 한정되는 것은 아니며, 2 이상의 제1 가지 전극들을 포함할 수 있다. 이때 제1 가지 전극(144)의 폭은 5.0um ~ 20um일 수 있다. Although the embodiment illustrated in FIG. 1 includes one first branch electrode 144 branching from the first pad part 142, the embodiment is not limited thereto and may include two or more first branch electrodes. have. At this time, the width of the first branch electrode 144 may be 5.0um ~ 20um.

제2 전극(150)은 전도층(130) 상에 배치된다. 제2 전극(150)은 제2 패드부(152), 및 제2 가지 전극(154)을 포함한다. 제2 패드부(152)는 제2 패드가 배치되는 제2 전극(150)의 일부분이다. 예컨대, 제1 패드부(152)는 외부로부터 제2 전원의 공급받기 위하여 와이어(wire)가 본딩되는 영역일 수 있다. 제2 가지 전극들(154)은 제2 패드부(152)로부터 분기되는 제2 전극(165)의 나머지 부분일 수 있다.The second electrode 150 is disposed on the conductive layer 130. The second electrode 150 includes a second pad part 152 and a second branch electrode 154. The second pad part 152 is a part of the second electrode 150 on which the second pad is disposed. For example, the first pad part 152 may be an area in which a wire is bonded to receive the second power from the outside. The second branch electrodes 154 may be the remaining part of the second electrode 165 branched from the second pad part 152.

제2 패드부(152)는 발광 구조물(120)의 제1 모서리들(191 내지 194) 중 다른 하나에 인접하는 전도층(130) 상에 배치될 수 있다. 제2 가지 전극(154)은 제2 패드부(152)의 일 측으로부터 분기하여 제2 방향으로 확장할 수 있다. 여기서 제2 방향은 제1 방향과 반대 방향일 수 있다. 전류 차단층(125)은 제2 패드부(152), 및 제2 가지 전극(154)과 수직 방향으로 오버랩되도록 제2 도전형 반도체층(126)과 전도층(130) 사이에 배치될 수 있다. 여기서 수직 방향은 기판(110)으로부터 발광 구조물(120)로 향하는 방향일 수 있다.The second pad part 152 may be disposed on the conductive layer 130 adjacent to the other one of the first edges 191 to 194 of the light emitting structure 120. The second branch electrode 154 may branch from one side of the second pad part 152 and extend in the second direction. Here, the second direction may be opposite to the first direction. The current blocking layer 125 may be disposed between the second conductive semiconductor layer 126 and the conductive layer 130 to overlap the second pad portion 152 and the second branch electrode 154 in a vertical direction. . The vertical direction may be a direction from the substrate 110 toward the light emitting structure 120.

도 5는 제2 실시예에 따른 발광 소자(200)의 평면도를 나타내고, 도 6은 도 5에 도시된 발광 소자(200)의 모서리 영역(210)을 나타내는 평면도이고, 도 7은 도 5에 도시된 발광 소자(200)의 모서리 영역(210)을 나타내는 사시도이다. 도 1, 및 도 4에 개시된 실시 예와 동일한 부분에 대해서는 동일 부호로 처리하며, 중복 설명은 생략한다. 제2 실시예에 따른 발광 소자(200)의 단면 구조는 도 2에서 설명한 바와 동일할 수 있다.5 is a plan view of a light emitting device 200 according to the second embodiment, FIG. 6 is a plan view showing a corner region 210 of the light emitting device 200 shown in FIG. 5, and FIG. 7 is shown in FIG. 5. It is a perspective view showing the edge area 210 of the light emitting device 200. The same parts as in the embodiment disclosed in FIGS. 1 and 4 are denoted by the same reference numerals and redundant descriptions thereof will be omitted. The cross-sectional structure of the light emitting device 200 according to the second embodiment may be the same as described with reference to FIG. 2.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 제2 실시예의 메사 구조물(510)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(501)은 인접하는 제2 부측면들(312,314)로부터 절곡되는 적어도 2 이상의 절곡면들(522,524)을 갖는다. 절곡면들(522,524) 각각은 서로 접하며, 인접하는 절곡면들은 서로 수직일 수 있다.5 to 7, the second corner portion 501 of the mesa side of the mesa structure 510 of the second embodiment may include at least two bent surfaces bent from adjacent second side surfaces 312 and 314. 522,524). Each of the bent surfaces 522 and 524 abuts each other, and adjacent bent surfaces may be perpendicular to each other.

2 이상의 절곡면들 중 어느 하나(예컨대, 522)는 제2 모서리 부분(501)과 접하는 어느 하나의 제2 부측면(예컨대, 312)으로부터 절곡된다. 또한 2 이상 절곡면들 중 다른 어느 하나(예컨대, 524)는 제2 모서리 부분(501)와 접하는 나머지 다른 하나의 제2 부측면(예컨대, 314)으로부터 절곡될 수 있다.Any one of the two or more bend surfaces (eg, 522) is bent from any second side surface (eg, 312) in contact with the second edge portion 501. Another one of the two or more bends (eg, 524) may be bent from the other second sublateral side (eg, 314) in contact with the second corner portion 501.

제2 실시예에 따른 메사 구조물(510)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(501)과 이와 인접하는 제1 모서리 부분(194) 사이의 제1 이격 거리(C2)는 제2 이격 거리(A)의 제곱과 제3 이격 거리(B)의 제곱의 합의 제곱근보다 크다(C2 > √(A2 + B2)). 이때 제1 이격 거리(C2)는 절곡면들(522,524) 각각과 제1 모서리 부분(194) 사이의 이격 거리일 수 있다. The first separation distance C2 between the second edge portion 501 of the mesa side of the mesa structure 510 and the first edge portion 194 adjacent thereto is the second separation distance A. Is greater than the square root of the sum of the square of and the square of the third spacing (B) (C2> √ (A 2 + B 2 )). In this case, the first separation distance C2 may be a separation distance between each of the bent surfaces 522 and 524 and the first edge portion 194.

제2 이격 거리(A) 및 제3 이격 거리(B) 각각은 1um보다 크거나 같고, 100um보다 작거나 같을 수 있다. 도 6에 도시된 제2 실시예는 제2 모서리 부분(501)이 2개의 절곡면들을 포함하지만, 이에 한정하는 것은 아니며, 제2 모서리 부분(501)은 3 이상의 절곡부들을 포함할 수 있다. Each of the second separation distance A and the third separation distance B may be greater than or equal to 1 μm and less than or equal to 100 μm. In the second embodiment shown in FIG. 6, the second corner portion 501 includes two bent surfaces, but is not limited thereto, and the second corner portion 501 may include three or more bent portions.

제2 실시예는 메사 구조물(510)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(501)이 절곡면들(522,524)을 갖기 때문에 제1 모서리 부분(194)과 제2 모서리 부분(501) 사이의 이격 거리(C1)가 충분히 확보될 수 있으며, 이로 인하여 칩 분리 과정에 발생하는 크랙(Crack)이 메사 라인 내의 발광 구조물(120)로 침범하는 것을 방지할 수 있어, 수율 저하를 방지할 수 있다.The second embodiment is the separation distance between the first corner portion 194 and the second corner portion 501 because the second corner portion 501 of the mesa side of the mesa structure 510 has the bent surfaces 522, 524. (C1) can be sufficiently secured, thereby preventing cracks generated in the chip separation process from invading into the light emitting structure 120 in the mesa line, thereby preventing a decrease in yield.

도 8은 제3 실시예에 따른 발광 소자(300)의 평면도를 나타내고, 도 9는 도 8에 도시된 발광 소자(300)의 모서리 영역(310)을 나타내는 평면도이고, 도 10은 도 8에 도시된 발광 소자(300)의 모서리 영역(310)을 나타내는 사시도이다. 도 1, 및 도 4에 개시된 실시 예와 동일한 부분에 대해서는 동일 부호로 처리하며, 중복 설명은 생략한다. 제3 실시예에 따른 발광 소자(300)의 단면 구조는 도 2에서 설명한 바와 동일할 수 있다.FIG. 8 is a plan view showing a light emitting device 300 according to the third embodiment, FIG. 9 is a plan view showing a corner region 310 of the light emitting device 300 shown in FIG. 8, and FIG. 10 is shown in FIG. 8. It is a perspective view showing the edge area 310 of the light emitting device 300. The same parts as in the embodiment disclosed in FIGS. 1 and 4 are denoted by the same reference numerals and redundant descriptions thereof will be omitted. The cross-sectional structure of the light emitting device 300 according to the third embodiment may be the same as described with reference to FIG. 2.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 제3 실시예의 메사 구조물(610)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(601)은 적어도 2 이상의 곡면부들(622,624,626)을 갖는다.8 to 10, the second corner portion 601 of the mesa side of the mesa structure 610 of the third embodiment has at least two curved portions 622, 624, 626.

곡면부들(622,624,626) 각각은 서로 접하며, 곡면부들 중 어느 하나(예컨대, 622)는 제2 모서리(601)와 접하는 어느 하나의 제2 부측면(예컨대, 312)과 접하며, 곡면부들 중 다른 하나(예컨대, 626)는 제2 모서리 부분(601)과 접하는 나머지 다른 하나의 제2 부측면(예컨대, 314)과 접한다.Each of the curved portions 622, 624, 626 abuts each other, and one of the curved portions (eg, 622) abuts any one second sublateral side (eg, 312) in contact with the second edge 601, and the other of the curved portions ( For example, 626 abuts the other second sublateral side (eg, 314) that abuts second edge portion 601.

곡면부들(622,624,626) 각각은 곡률 반경(R1,R2,R3)을 갖는다. 여기서 어느 하나의 곡면부는 인접하는 제2 부측면(312, 314) 또는/및 인접하는 곡면부에 접할 수 있다.Each of the curved portions 622, 624, 626 has a radius of curvature R1, R2, R3. One curved portion may contact the adjacent second subsides 312 and 314 or / and the adjacent curved portion.

예컨대, 제1 곡면부(622)는 어느 하나의 제2 부측면(312)과 제2 곡면부(624)에 접하며, 제1 곡률 반경(R1)을 가지는 곡면일 수 있다. 또한 제2 곡면부(624)는 제1 곡면부(622)와 제3 곡면부(626)에 접하며, 제2 곡률 반경(R2)을 가지는 곡면일 수 있다. 제3 곡면부(626)는 제2 곡면부(624)와 다른 하나의 제2 부측면(314)에 접하며, 제3 곡률 반경(R3)을 가지는 곡면일 수 있다. 여기서 제1 곡률 반경(R1), 제2 곡률 반경(R2), 및 제3 곡률 반경(R3)은 서로 동일하거나, 또는 적어도 하나는 다를 수 있다.For example, the first curved portion 622 may be in contact with one of the second sub-sides 312 and the second curved portion 624 and may have a curved surface having a first radius of curvature R1. In addition, the second curved portion 624 may be in contact with the first curved portion 622 and the third curved portion 626 and may have a curved surface having a second radius of curvature R2. The third curved portion 626 may be a curved surface having a third radius of curvature R3 in contact with the second sublateral surface 314 that is different from the second curved portion 624. Here, the first radius of curvature R1, the second radius of curvature R2, and the third radius of curvature R3 may be the same, or at least one may be different.

제3 실시예에 따른 메사 구조물(610)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(601)과 이와 인접하는 제1 모서리 부분(194) 사이의 제1 이격 거리(C3)는 제2 이격 거리(A)의 제곱과 제3 이격 거리(B)의 제곱의 합의 제곱근보다 크다(C2 > √(A2 + B2)). 이때 제1 이격 거리(C3)는 곡면부들(622,624,626) 각각과 제1 모서리 부분(194) 사이의 이격 거리일 수 있다. 제2 이격 거리(A) 및 제3 이격 거리(B)는 상술한 바와 동일할 수 있다.The first separation distance C3 between the second corner portion 601 of the mesa side of the mesa structure 610 according to the third embodiment and the first corner portion 194 adjacent thereto is the second separation distance A. Is greater than the square root of the sum of the square of and the square of the third spacing (B) (C2> √ (A 2 + B 2 )). In this case, the first separation distance C3 may be a separation distance between each of the curved portions 622, 624, and 626 and the first edge portion 194. The second separation distance A and the third separation distance B may be the same as described above.

제3 실시예는 메사 구조물(610)의 메사 측면의 제2 모서리 부분(601)이 곡면부들(622,624,626)을 갖도록 함으로써 제1 모서리 부분(194)과 제2 모서리 부분(501) 사이의 이격 거리(C3)를 충분히 확보할 수 있다. 이로 인하여 칩 분리 과정에 발생하는 크랙(Crack)이 메사 라인 내의 발광 구조물(120)로 침범하는 것을 방지할 수 있어, 수율 저하를 방지할 수 있다.The third embodiment provides a separation distance between the first corner portion 194 and the second corner portion 501 by having the second corner portion 601 of the mesa side of the mesa structure 610 with curved portions 622, 624, 626. C3) can be sufficiently secured. As a result, cracks generated in the chip separation process may be prevented from invading into the light emitting structure 120 in the mesa line, thereby preventing a decrease in yield.

도 11은 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 나타낸다. 도 11을 참조하면, 발광 소자 패키지는 패키지 몸체(710), 제1 금속층(712), 제2 금속층(714), 발광 소자(720), 제1 와이어(722), 제2 와이어(724), 반사판(730) 및 봉지층(740)을 포함한다.11 illustrates a light emitting device package according to an embodiment. Referring to FIG. 11, the light emitting device package may include a package body 710, a first metal layer 712, a second metal layer 714, a light emitting device 720, a first wire 722, a second wire 724, The reflective plate 730 and the encapsulation layer 740 are included.

패키지 몸체(710)는 일측 영역에 캐버티(cavity)가 형성된 구조이다. 이때 캐버티의 측벽은 경사지게 형성될 수 있다. 패키지 몸체(710)는 실리콘 기반의 웨이퍼 레벨 패키지(wafer level package), 실리콘 기판, 실리콘 카바이드(SiC), 질화알루미늄(aluminum nitride, AlN) 등과 같이 절연성 또는 열전도도가 좋은 기판으로 형성될 수 있으며, 복수 개의 기판이 적층되는 구조일 수 있다. 실시 예는 상술한 몸체의 재질, 구조, 및 형상으로 한정되지 않는다.The package body 710 has a structure in which a cavity is formed in one region. At this time, the side wall of the cavity may be formed to be inclined. The package body 710 may be formed of a substrate having good insulation or thermal conductivity, such as a silicon-based wafer level package, a silicon substrate, silicon carbide (SiC), aluminum nitride (AlN), or the like. It may have a structure in which a plurality of substrates are stacked. Embodiment is not limited to the material, structure, and shape of the body described above.

제1 금속층(712) 및 제2 금속층(714)은 열 배출이나 발광 소자의 장착을 고려하여 서로 전기적으로 분리되도록 패키지 몸체(710)의 표면에 배치된다. 발광 소자(720)는 제1 와이어(722) 및 제2 와이어(724)를 통하여 제1 금속층(712) 및 제2 금속층(714)과 전기적으로 연결된다. 이때 발광 소자(720)는 상술한 실시예들 중 어느 하나일 수 있다.The first metal layer 712 and the second metal layer 714 are disposed on the surface of the package body 710 to be electrically separated from each other in consideration of heat dissipation or mounting of a light emitting device. The light emitting device 720 is electrically connected to the first metal layer 712 and the second metal layer 714 through the first wire 722 and the second wire 724. In this case, the light emitting device 720 may be any one of the above-described embodiments.

예컨대, 제1 와이어(722)는 도 1, 도 5, 및 도 8에 도시된 발광 소자(100,200,300)의 제2 패드부(152)와 제1 금속층(712)을 전기적으로 연결하고, 제2 와이어(724)는 제1 패드부(142)와 제2 금속층(714)을 전기적으로 연결할 수 있다.For example, the first wire 722 electrically connects the second pad part 152 and the first metal layer 712 of the light emitting devices 100, 200, and 300 illustrated in FIGS. 1, 5, and 8, and the second wire. 724 may electrically connect the first pad part 142 and the second metal layer 714.

반사판(730)은 발광 소자(720)에서 방출된 빛을 소정의 방향으로 지향하도록 패키지 몸체(710)의 캐버티 측벽에 형성된다. 반사판(730)은 광반사 물질로 이루어지며, 예컨대, 금속 코팅이거나 금속 박편일 수 있다.The reflector 730 is formed on the sidewall of the cavity of the package body 710 to direct light emitted from the light emitting device 720 in a predetermined direction. The reflector plate 730 is made of a light reflective material, and may be, for example, a metal coating or a metal flake.

봉지층(740)은 패키지 몸체(710)의 캐버티 내에 위치하는 발광 소자(720)를 포위하여 발광 소자(720)를 외부 환경으로부터 보호한다. 봉지층(740)은 에폭시 또는 실리콘과 같은 무색 투명한 고분자 수지 재질로 이루어진다. 봉지층(740)은 발광 소자(720)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있도록 형광체가 포함될 수 있다. 발광 소자 패키지는 상기에 개시된 실시예들의 발광 소자들 중 적어도 하나를 탑재할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The encapsulation layer 740 surrounds the light emitting device 720 positioned in the cavity of the package body 710 to protect the light emitting device 720 from the external environment. The encapsulation layer 740 is made of a colorless transparent polymer resin material such as epoxy or silicon. The encapsulation layer 740 may include a phosphor to change the wavelength of light emitted from the light emitting device 720. The light emitting device package may include at least one of the light emitting devices of the embodiments disclosed above, but is not limited thereto.

실시예에 따른 발광 소자 패키지는 복수 개가 기판 상에 어레이되며, 발광 소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자 패키지, 기판, 광학 부재는 백라이트 유닛으로 기능할 수 있다. A plurality of light emitting device packages according to the embodiment may be arranged on a substrate, and a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, or the like, which is an optical member, may be disposed on an optical path of the light emitting device package. The light emitting device package, the substrate, and the optical member may function as a backlight unit.

또 다른 실시예는 상술한 실시 예들에 기재된 발광 소자 또는 발광 소자 패키지를 포함하는 표시 장치, 지시 장치, 조명 시스템으로 구현될 수 있으며, 예를 들어, 조명 시스템은 램프, 가로등을 포함할 수 있다.Another embodiment may be implemented as a display device, an indicator device, or a lighting system including the light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments, and for example, the lighting system may include a lamp or a street lamp.

도 12a는 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 표시 장치를 나타내고, 도 12b는 도 12a에 도시된 표시 장치의 광원 부분의 단면도이다.12A illustrates a display device including a light emitting device package according to an embodiment, and FIG. 12B is a cross-sectional view of a light source portion of the display device illustrated in FIG. 12A.

도 12a 및 도 12b를 참조하면, 표시 장치는 백라이트 유닛 및 액정 표시 패널(860), 탑 커버(Top cover, 870), 고정부재(850)를 포함한다.12A and 12B, the display device includes a backlight unit, a liquid crystal display panel 860, a top cover 870, and a fixing member 850.

백라이트 유닛은 바텀 커버(Bottom cover, 810)와, 바텀 커버(810)의 내부의 일측에 마련되는 발광 모듈(880)과, 바텀 커버(810)의 전면에 배치되는 반사판(820)과, 반사판(820)의 전방에 배치되며 발광 모듈(880)에서 발산되는 빛을 표시 장치 전방으로 안내하는 도광판(830)과, 도광판(830)의 전방에 배치되는 광학 부재(840)를 포함한다. 액정 표시 장치(860)는 광학 부재(840)의 전방에 배치되며, 탑 커버(870)는 액정 표시 패널(860)의 전방에 마련되며, 고정 부재(850)는 바텀 커버(810)와 탑 커버(870) 사이에 배치되어 바텀 커버(810)와 탑 커버(870)를 함께 고정시킨다.The backlight unit includes a bottom cover 810, a light emitting module 880 provided at one side of the bottom cover 810, a reflecting plate 820 disposed at the front of the bottom cover 810, and a reflecting plate ( The light guide plate 830 is disposed in front of the light guide module 880 to guide the light emitted from the light emitting module 880 to the front of the display device, and the optical member 840 is disposed in front of the light guide plate 830. The liquid crystal display 860 is disposed in front of the optical member 840, the top cover 870 is provided in front of the liquid crystal display panel 860, and the fixing member 850 is provided with the bottom cover 810 and the top cover. Disposed between 870 to fix bottom cover 810 and top cover 870 together.

도광판(830)은 발광 모듈(880)에서 방출되는 광이 면광원 형태로 출사되도록 안내하는 역할을 하고, 도광판(830)의 후방에 배치되는 반사판(820)은 발광 모듈(880)에서 방출된 광이 도광판(830)방향으로 반사되도록 하여 광 효율을 높이는 역할을 한다. 다만, 반사판(820)은 본 도면처럼 별도의 구성요소로 마련될 수도 있고, 도광판(830)의 후면이나, 바텀 커버(810)의 전면에 반사도가 높은 물질로 코팅되는 형태로 마련되는 것도 가능하다. 여기서, 반사판(820)은 반사율이 높고 초박형으로 사용 가능한 소재를 사용할 수 있고, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PolyEthylene Terephtalate; PET)를 사용할 수 있다.The light guide plate 830 serves to guide the light emitted from the light emitting module 880 to be emitted in the form of a surface light source, and the reflective plate 820 disposed behind the light guide plate 830 may emit light emitted from the light emitting module 880. The light guide plate 830 is reflected in the direction to increase the light efficiency. However, the reflective plate 820 may be provided as a separate component as shown in the figure, or may be provided in the form of a high reflectivity coating on the back of the light guide plate 830, or the front of the bottom cover 810. . Here, the reflection plate 820 can be made of a material having a high reflectance and can be used in an ultra-thin shape, and polyethylene terephthalate (PET) can be used.

그리고, 도광판(830)은 발광 모듈(880)에서 방출되는 빛을 산란시켜 그 빛이 액정 표시 장치의 화면 전영역에 걸쳐 균일하게 분포되도록 한다. 따라서, 도광판(830)은 굴절률과 투과율이 좋은 재료로 이루어지는데, 폴리메틸메타크릴레이트(PolyMethylMethAcrylate; PMMA), 폴리카보네이트(PolyCarbonate; PC), 또는 폴리에틸렌(PolyEthylene; PE) 등으로 형성될 수 있다.The light guide plate 830 scatters the light emitted from the light emitting module 880 so that the light is uniformly distributed over the entire screen of the liquid crystal display. Therefore, the light guide plate 830 is made of a material having a good refractive index and a high transmittance, and may be formed of polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), polyethylene (PE), or the like.

그리고, 광학 부재(840)가 도광판(830)의 상부에 구비되어 도광판(830)에서 출사되는 빛을 소정 각도로 확산시킨다. 광학 부재(840)는 도광판(830)에 의해 인도된 빛을 액정 표시 패널(860) 방향으로 균일하게 조사되도록 하다.In addition, an optical member 840 is provided on the light guide plate 830 to diffuse light emitted from the light guide plate 830 at a predetermined angle. The optical member 840 uniformly radiates the light guided by the light guide plate 830 toward the liquid crystal display panel 860.

광학 부재(840)로는 확산 시트, 프리즘 시트 또는 보호 시트 등의 광학 시트가 선택적으로 적층되거나, 마이크로 렌즈 어레이를 사용할 수도 있다. 이때, 복수 개의 광학 시트를 사용할 수도 있으며, 광학 시트는 아크릴 수지, 폴리우레탄 수지 또는 실리콘 수지 등과 같은 투명 수지로 이루어질 수 있다. 그리고, 상술한 프리즘 시트 내에 형광 시트가 포함될 수도 있음은 상술한 바와 동일하다.As the optical member 840, an optical sheet such as a diffusion sheet, a prism sheet, or a protective sheet may be selectively laminated, or a micro lens array may be used. In this case, a plurality of optical sheets may be used, and the optical sheets may be made of a transparent resin such as acrylic resin, polyurethane resin, or silicone resin. The fluorescent sheet may be included in the above-described prism sheet as described above.

그리고, 광학 부재(840)의 전면에는 액정 표시 패널(860)이 구비될 수 있다. 여기서, 액정 표시 패널(860) 외에 광원을 필요로 하는 다른 종류의 디스플레이 장치가 구비될 수 있음은 당연하다.The liquid crystal display panel 860 may be provided on the front surface of the optical member 840. Here, it is obvious that other types of display devices requiring a light source besides the liquid crystal display panel 860 may be provided.

바텀 커버(810) 상에는 반사판(820)이 놓이게 되고, 반사판(820)의 위에는 도광판(830)이 놓이게 된다. 그리하여 반사판(820)은 방열부재(미도시)와 직접 접촉될 수도 있다. 발광 모듈(880)은 발광 소자 패키지(882) 및 인쇄회로기판(881)을 포함한다. 발광 소자 패키지(882)는 인쇄회로기판(881) 상에 실장된다. 여기서 발광 소자 패키지(881)은 도 11에 도시된 실시예일 수 있다. The reflective plate 820 is placed on the bottom cover 810, and the light guide plate 830 is placed on the reflective plate 820. Thus, the reflector plate 820 may be in direct contact with the heat radiation member (not shown). The light emitting module 880 includes a light emitting device package 882 and a printed circuit board 881. The light emitting device package 882 is mounted on the printed circuit board 881. The light emitting device package 881 may be the embodiment shown in FIG. 11.

인쇄회로기판(881)은 브라켓(812) 상에 접합될 수 있다. 여기서, 브라켓(812)은 발광 소자 패키지(882)의 고정 외에 열방출을 위하여 열전도율이 높은 물질로 이루어질 있고, 도시되지는 않았으나, 브라켓(812)과 발광 소자 패키지(882) 사이에는 열 패드가 구비되어 열 전달을 용이하게 할 수 있다. 그리고, 브라켓(812)는 도시된 바와 같이 'ㄴ'자 타입으로 구비되어, 가로부(812a)는 바텀 커버(810)에 의하여 지지되고, 세로부(812b)는 인쇄회로기판(881)을 고정할 수 있다.The printed circuit board 881 may be bonded on the bracket 812. Here, the bracket 812 is made of a material having high thermal conductivity for heat dissipation in addition to the fixing of the light emitting device package 882, and although not shown, a thermal pad is provided between the bracket 812 and the light emitting device package 882. To facilitate heat transfer. In addition, the bracket 812 is provided as a 'b' type as shown, the horizontal portion 812a is supported by the bottom cover 810, the vertical portion 812b is fixed to the printed circuit board 881 can do.

도 13 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 조명 장치(900)를 나타낸다. 도 12를 참조하면, 조명 장치(900)는 전원 결합부(910), 열발산판(heat sink, 920), 발광 모듈(930), 반사경(reflector, 940), 및 커버 캡(cover cap, 950), 및 렌즈부(960)를 포함한다.13 illustrates a lighting apparatus 900 including a light emitting device package according to the embodiment. Referring to FIG. 12, the lighting device 900 includes a power coupling unit 910, a heat sink 920, a light emitting module 930, a reflector 940, and a cover cap 950. ), And the lens unit 960.

전원 결합부(910)는 상단이 외부의 전원 소켓(미도시)에 삽입되는 스크류 형상이며, 외부 전원 소켓에 삽입되어 발광 모듈(930)에 전원을 공급한다. 열발산판(920)은 측면에 형성되는 열발산핀 통하여 발광 모듈(930)로부터 발생하는 열을 외부로 방출한다. 열발산판(920)의 상단은 전원 결합부(910)의 하단과 스크루 결합된다.The power coupling unit 910 has a screw shape in which an upper end is inserted into an external power socket (not shown), and is inserted into an external power socket to supply power to the light emitting module 930. The heat dissipation plate 920 emits heat generated from the light emitting module 930 to the outside through the heat dissipation pins formed at the side surfaces. The upper end of the heat dissipation plate 920 is screwed with the lower end of the power coupling unit 910.

열발산판(920)의 밑면에는 회로 기판 상에 실장되는 발광 소자 패키지들을 포함하는 발광 모듈(840)이 고정된다. 이때 발광 소자 패키지들은 도 11에 도시된 실시예에 따른 발광 소자 패키지일 수 있다.A light emitting module 840 including light emitting device packages mounted on a circuit board is fixed to a bottom surface of the heat dissipation plate 920. In this case, the light emitting device packages may be light emitting device packages according to the exemplary embodiment shown in FIG. 11.

조명 장치는 발광 모듈(930) 하부에는 발광 모듈(930)을 전기적으로 보호하기 위한 절연 시트(932) 및 반사 시트(934) 등을 더 포함할 수 있다. 또한 발광 모듈(930)에 의하여 조사된 광의 진행 경로 상에 다양한 광학적 기능을 수행하는 광학 부재가 배치될 수 있다.The lighting apparatus may further include an insulating sheet 932 and a reflective sheet 934 for electrically protecting the light emitting module 930 under the light emitting module 930. In addition, an optical member that performs various optical functions may be disposed on a path of the light radiated by the light emitting module 930.

반사경(940)은 원뿔대 형상으로 열발산판(920)의 하단과 결합하며, 발광 모듈(930)로부터 조사되는 광을 반사시킨다. 커버 캡(950)은 원형의 링 형상을 가지며, 반사경(940) 하단에 결합된다. 렌즈부(960)는 커버 캡(950)에 끼워진다. 도 12에 도시된 조명 장치는 건물의 천장이나 벽체 내에 매입되어 다운라이트(downlight)로 이용할 수 있다.The reflector 940 is combined with the lower end of the heat dissipation plate 920 in the shape of a truncated cone and reflects light emitted from the light emitting module 930. The cover cap 950 has a circular ring shape and is coupled to the bottom of the reflector 940. The lens unit 960 is fitted to the cover cap 950. 12 may be embedded in a ceiling or a wall of a building and used as a downlight.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, and the like described in the above embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

110: 기판 120: 발광 구조물
122: 제1 도전형 반도체층 124: 활성층
126: 제2 도전형 반도체층 125: 전류 차단층
130: 전도층 135: 제1 절연층 140: 제1 전극 142: 제1 패드부
144: 제1 가지 전극 150: 제2 전극
152: 제2 패드부 154,156: 제2 가지 전극
191 내지 194: 모서리 181 내지 184: 측면들
710: 패키지 몸체 712,714: 제1, 제2 금속층
720: 발광 소자 722, 724: 제1,제2 와이어
730: 반사판 740: 봉지층
810: 바텀 커버 820: 반사판
830: 도광판 840: 광학 부재
850: 고정 부재 860: 액정 표시 패널
870: 탑 커버 880: 발광 모듈
910: 전원 결합부 920: 열발산판
930: 발광 모듈 940: 반사경
950: 커버 캡 960: 렌즈부
110 substrate 120 light emitting structure
122: first conductive semiconductor layer 124: active layer
126: second conductive semiconductor layer 125: current blocking layer
130: conductive layer 135: first insulating layer 140: first electrode 142: first pad portion
144: first branch electrode 150: second electrode
152: second pad portion 154, 156: second branch electrode
191-194: corners 181-184: sides
710: package body 712, 714: first, second metal layer
720: light emitting element 722, 724: first and second wires
730: reflector 740: encapsulation layer
810: bottom cover 820: reflector
830: light guide plate 840: optical member
850: Fixed member 860: Liquid crystal display panel
870: top cover 880: light emitting module
910: power coupler 920: heat dissipation plate
930: light emitting module 940: reflector
950: cover cap 960: lens unit

Claims (9)

기판; 및
상기 기판 상에 제1 도전형 반도체층, 활성층, 및 제2 도전형 반도체층이 적층되는 발광 구조물을 포함하며,
상기 발광 구조물은,
제1 모서리 부분들과 이와 접하는 제1 부측면들로 둘러싸인 제1 부분;
제2 모서리 부분들과 이와 접하는 제2 부측면들로 둘러싸인 제2 부분; 및
상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 상기 제1 도전형 반도체층을 노출하도록 메사 식각된 제3 부분을 포함하며,
제1 거리는 제2 거리의 제곱과 제2 거리의 제곱의 합의 제곱근보다 크며, 여기서 상기 제1 거리는 상기 제1 모서리 부분들 중 어느 하나 및 이와 인접하는 제2 모서리 부분 사이의 거리이고, 상기 제2 거리는 상기 어느 하나의 제1 모서리 부분과 접하는 어느 하나의 제1 부측면과 이와 인접하는 제2 부측면 사이의 거리이고, 상기 제3 거리는 상기 어느 하나의 제1 모서리 부분과 접하는 나머지 다른 하나의 제1 부측면과 이와 인접하는 제2 부측면 사이의 거리인 발광 소자.
Board; And
A light emitting structure in which a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer are stacked on the substrate,
The light emitting structure,
A first portion surrounded by the first corner portions and the first subsides in contact with the first corner portions;
A second portion surrounded by second corner portions and second subsides contacting the second corner portions; And
A third portion mesa-etched to expose the first conductivity type semiconductor layer between the first portion and the second portion,
The first distance is greater than the square root of the sum of the square of the second distance and the square of the second distance, wherein the first distance is the distance between any one of the first corner portions and the second corner portion adjacent thereto, and the second distance The distance is the distance between any one of the first sub-sides which are in contact with the first corner portion and the second sub-lateral side which is adjacent thereto, and the third distance is the other one made in contact with the one of the first corner portions. A light emitting device, wherein the distance is between the first subside and the second sublateral side adjacent thereto.
제1항에 있어서,
상기 제2 부분은 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 활성층, 및 상기 제1 도전형 반도체층 일부가 메사 식각되어 형성되는 메사 구조물인 발광 소자.
The method of claim 1,
And the second portion is a mesa structure formed by mesa etching the second conductive semiconductor layer, the active layer, and a portion of the first conductive semiconductor layer.
제2항에 있어서,
상기 제2 모서리 부분들 중 적어도 하나는 2 이상의 절곡면들을 가지며,
상기 절곡면들 각각은 서로 접하며, 인접하는 절곡면들은 서로 수직인 발광 소자.
The method of claim 2,
At least one of the second corner portions has two or more bent surfaces,
Each of the bent surfaces abuts each other, and adjacent bent surfaces are perpendicular to each other.
제3항에 있어서,
상기 2 이상의 절곡면들 중 어느 하나는 상기 제2 모서리 부분들 중 적어도 하나와 접하는 어느 하나의 제2 부측면으로부터 절곡되고, 상기 2 이상 절곡면들 중 다른 어느 하나는 상기 제2 모서리 부분들 중 적어도 하나와 접하는 나머지 다른 하나의 제2 부측면으로부터 절곡되는 발광 소자.
The method of claim 3,
Any one of the at least two bent surfaces is bent from one second sublateral side that is in contact with at least one of the second corner portions, and another one of the at least two bent surfaces is one of the second corner portions. A light emitting device is bent from the other second side surface of the other in contact with at least one.
제1항에 있어서, 상기 발광 소자는,
상기 제2 도전형 반도체층 상의 전도층;
상기 노출되는 제1 도전형 반도체층 상의 제1 전극; 및
상기 전도층 상의 제2 전극을 더 포함하는 발광 소자.
The method of claim 1, wherein the light emitting device,
A conductive layer on the second conductive semiconductor layer;
A first electrode on the exposed first conductive semiconductor layer; And
The light emitting device further comprises a second electrode on the conductive layer.
제1항에 있어서,
상기 제2 이격 거리 및 상기 제3 이격 거리 각각은 1 마이크로미터보다 크거나 같고, 100 마이크로미터보다 작거나 같은 발광 소자.
The method of claim 1,
Wherein each of the second separation distance and the third separation distance is greater than or equal to 1 micrometer and less than or equal to 100 micrometer.
제2항에 있어서,
상기 제2 모서리 부분들 중 적어도 하나는 2 이상의 곡면부들을 가지며,
상기 곡면부들 각각은 서로 접하며, 일정한 곡률 반경을 가지는 발광 소자.
The method of claim 2,
At least one of the second corner portions has two or more curved portions,
Each of the curved portions is in contact with each other, the light emitting device having a constant radius of curvature.
제6항에 있어서,
상기 곡면부들은 동일한 곡률 반경을 갖는 발광 소자.
The method of claim 6,
The curved parts have the same radius of curvature.
제6항에 있어서,
상기 곡면부들 중 적어도 하나는 다른 곡률 반경을 갖는 발광 소자.
The method of claim 6,
At least one of the curved portions has a different radius of curvature.
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