KR20120086207A - Mixture of carbon and silicon carbide and method for the same, and method for manufacturing silicon carbide sintered body - Google Patents

Mixture of carbon and silicon carbide and method for the same, and method for manufacturing silicon carbide sintered body Download PDF

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Abstract

PURPOSE: A carbon-silicon carbide mixture, a manufacturing method thereof, a manufacturing method of silicon carbide sintered materials are provided to simplify processes by omitting the addition of a separate sintering aid. CONSTITUTION: A manufacturing method of silicon carbide sintered materials comprises the following steps: forming a mixed raw material by mixing Si sources with carbon sources; heating the mixed raw material(ST10); forming a carbon - silicon carbide mixture which includes residual carbon and silicon carbide; and hot-press forming the carbon - silicon carbide mixture(ST20). In the raw material formation step, a molar ratio of carbon to silicon is 3.1-4. 2-20 parts by weight of the residual carbon based on 100.0 parts by weight of the carbon - silicon carbide mixture. The residual carbon functions as a sintering gradient material.

Description

탄소-탄화규소 혼합물 및 이의 제조 방법, 그리고 탄화규소 소결체의 제조 방법{MIXTURE OF CARBON AND SILICON CARBIDE AND METHOD FOR THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING SILICON CARBIDE SINTERED BODY}MIXTURE OF CARBON AND SILICON CARBIDE AND METHOD FOR THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING SILICON CARBIDE SINTERED BODY}

본 기재는 탄소-탄화규소 혼합물 및 이의 제조 방법, 그리고 탄화규소 소결체의 제조 방법에 관한 것이다. The present disclosure relates to a carbon-silicon carbide mixture, a method for producing the same, and a method for producing a silicon carbide sintered body.

탄화규소(silicon carbide, SiC)는 물리, 화학적으로 안정하고 내열성과 열전도성이 좋아 고온 안정성, 고온 강도 및 내마모성이 우수하다. 이에 따라 탄화규소는 고온 재료, 고온 반도체, 내마모성 재료, 자동차 부품 등의 제조에 널리 사용된다. Silicon carbide (SiC) is physically and chemically stable, has good heat resistance and thermal conductivity, and is excellent in high temperature stability, high temperature strength and wear resistance. Accordingly, silicon carbide is widely used in the manufacture of high temperature materials, high temperature semiconductors, wear resistant materials, automobile parts, and the like.

이러한 탄화규소는 규소원과 탄소원 등의 원료를 혼합한 후 가열하는 방법 등에 의해 제조될 수 있다. 이렇게 제조된 탄화규소는 소결 공정 등에 의하여 탄화규소 소결체로 제조될 수 있다. 탄화규소를 단독으로 소결하면 소결이 잘 이루어지지 않아 소결체의 밀도가 낮으므로, 탄화규소에 비금속 소결 조제를 혼합하여 과립화한 후 소결하는 것이 일반적이다. 그런데, 비금속 소결 조제와 탄화규소의 혼합 공정 및 과립화 공정에 의하여 공정이 복잡해지고, 이 공정 중에 오염물이 유입되어 탄화규소 소결체의 순도가 저하될 수 있다. Such silicon carbide may be manufactured by a method of mixing a raw material such as a silicon source and a carbon source, followed by heating. The silicon carbide thus produced may be manufactured into a silicon carbide sintered body by a sintering process or the like. When silicon carbide is sintered alone, sintering is not performed well and the density of the sintered compact is low. Therefore, it is common to sinter after mixing and granulating a nonmetal sintering aid with silicon carbide. By the way, the process becomes complicated by the mixing process and granulation process of a nonmetal sintering aid and a silicon carbide, and contaminants may flow in during this process, and the purity of a silicon carbide sintered compact may fall.

실시예는 공정을 단순화하고 순도 및 밀도를 향상할 수 있는 탄화규소 소결체의 제조 방법, 그리고 이에 사용되는 탄소-탄화규소 혼합물 및 이의 제조 방법을 제공하고자 한다.The embodiment is intended to provide a method for producing a silicon carbide sintered body that can simplify the process and improve purity and density, and a carbon-silicon carbide mixture and a method for producing the same.

실시예에 따른 탄화규소 소결체의 제조 방법은, 규소원과 탄소원을 혼합하여 혼합된 원료를 형성하는 원료 혼합 단계; 상기 혼합된 원료를 가열하여, 잔류 탄소와 탄화규소를 포함하는 탄소-탄화규소 혼합물을 형성하는 가열 단계; 및 상기 탄소-탄화규소 혼합물을 열간 가압하는 소결 단계를 포함한다. Method for producing a silicon carbide sintered body according to the embodiment, the raw material mixing step of forming a mixed raw material by mixing a silicon source and a carbon source; Heating the mixed raw material to form a carbon-silicon carbide mixture comprising residual carbon and silicon carbide; And a sintering step of hot pressing the carbon-silicon carbide mixture.

상기 원료 혼합 단계에서, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 3.1~4일 수 있다. In the raw material mixing step, the molar ratio of carbon contained in the carbon source to the silicon contained in the silicon source may be 3.1 to 4.

상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~20 중량부만큼 포함될 수 있다. The residual carbon may be included by 2 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

상기 원료 혼합 단계에서, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 3.1 내지 3.5일 수 있다. In the raw material mixing step, the molar ratio of carbon included in the carbon source to silicon contained in the silicon source may be 3.1 to 3.5.

상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~10 중량부만큼 포함될 수 있다. The residual carbon may be included by 2 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

상기 잔류 탄소가 소결 조제로 기능할 수 있다. The residual carbon may function as a sintering aid.

상기 탄화규소가 베타상을 가질 수 있다. The silicon carbide may have a beta phase.

상기 탄소원이 고체 탄소원 및 유기 탄소 화합물 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The carbon source may include at least one of a solid carbon source and an organic carbon compound.

상기 고체 탄소원이 흑연(graphite), 카본 블랙(carbon black), 카본 나노 튜브(carbon nano tube, CNT) 및 풀러렌(fullerene, C60)으로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함할 수 있다. The solid carbon source may include at least one material selected from the group consisting of graphite, carbon black, carbon nanotubes (CNTs), and fullerenes (C 60 ).

상기 유기 탄소 화합물이 페놀(phenol) 수지, 프랑(franc) 수지, 자일렌(xylene) 수지, 폴리이미드(polyimide), 폴리우레탄(polyunrethane), 폴리비닐알콜(polyvinyl alcohol), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile) 및 폴리비닐아세테이트(poly (vinyl acetate)), 셀룰로오스(cellulose), 제당, 피치(pitch), 타르(tar)로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함할 수 있다. The organic carbon compound is a phenol resin, a franc resin, a xylene resin, a polyimide, a polyurethane, a polyunrethane, a polyvinyl alcohol, a polyacrylonitrile ) And polyvinyl acetate (poly (vinyl acetate)), cellulose (cellulose), sugar, pitch (tar) may include at least one material selected from the group consisting of.

상기 규소원이 실리카(silica) 분말, 실리카 솔(silica sol), 실리카 겔(silica gel) 및 석영 분말로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. The silicon source may include at least one selected from the group consisting of silica powder, silica sol, silica gel, and quartz powder.

실시예에 따른 탄소-탄화규소 혼합물은, 탄화규소 소결체를 제조하는데 사용되는 탄소-탄화규소 혼합물로서, 상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~20 중량부만큼 포함된다. The carbon-silicon carbide mixture according to the embodiment is a carbon-silicon carbide mixture used to prepare a silicon carbide sintered body, and includes 2 to 20 parts by weight of the residual carbon with respect to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~10 중량부만큼 포함될 수 있다.The residual carbon may be included by 2 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

실시예에 따른 탄소-탄화규소 혼합물의 제조 방법은, 탄화규소 소결체를 제조하는데 사용되는 탄소-탄화규소 혼합물의 제조 방법에 관한 것으로서, 규소원과 탄소원을 혼합하여 혼합된 원료를 형성하는 원료 혼합 단계; 및 상기 혼합된 원료를 가열하여, 잔류 탄소와 탄화규소를 포함하는 탄소-탄화규소 혼합물을 형성하는 가열 단계를 포함한다. 상기 원료 혼합 단계에서, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 3.1~4이고, 상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~20 중량부만큼 포함된다.The method for producing a carbon-silicon carbide mixture according to the embodiment relates to a method for producing a carbon-silicon carbide mixture used to prepare a silicon carbide sintered body, and a raw material mixing step of mixing a silicon source and a carbon source to form a mixed raw material ; And heating the mixed raw material to form a carbon-silicon carbide mixture comprising residual carbon and silicon carbide. In the raw material mixing step, the molar ratio of carbon contained in the carbon source to the silicon contained in the silicon source is 3.1 to 4, by 2 to 20 parts by weight of the residual carbon with respect to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture Included.

상기 원료 혼합 단계에서, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 3.1 내지 3.5일 수 있다. 상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~10 중량부만큼 포함될 수 있다. In the raw material mixing step, the molar ratio of carbon included in the carbon source to silicon contained in the silicon source may be 3.1 to 3.5. The residual carbon may be included by 2 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

실시예에 의한 탄화규소 소결체의 제조 방법에 따르면, 탄화규소와 잔류 탄소가 혼합된 탄소-탄화규소 혼합물을 소결하여 탄화규소 소결체를 형성하므로 별도의 소결 조제를 첨가하여 혼합 및 과립화하는 공정을 생략할 수 있다. 이에 따라 공정을 단순화할 수 있으며, 별도의 소결 조제 첨가 시 발생할 수 있는 오염을 원천적으로 방지할 수 있다. According to the method for producing a silicon carbide sintered body according to the embodiment, the silicon carbide sintered body is formed by sintering a carbon-silicon carbide mixture in which silicon carbide and residual carbon are mixed, so that a step of mixing and granulating by adding a separate sintering aid is omitted. can do. As a result, the process can be simplified, and it is possible to fundamentally prevent contamination that may occur when a separate sintering aid is added.

도 1은 실시예에 따른 탄화규소 소결체의 제조 방법을 도시한 공정 흐름도이다. 1 is a process flowchart showing a method of manufacturing a silicon carbide sintered body according to an embodiment.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 탄화-탄화규소 혼합물을 이용한 탄화규소 소결체의 제조 방법을 상세하게 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a method of manufacturing a silicon carbide sintered body using the carbide-silicon carbide mixture according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 실시예에 따른 탄화규소 소결체의 제조 방법을 도시한 공정 흐름도이다. 1 is a process flowchart showing a method of manufacturing a silicon carbide sintered body according to an embodiment.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 탄화규소 소결체의 제조 방법은, 원료 혼합 단계(ST10), 가열 단계(ST20) 및 소결 단계(ST30)를 포함한다. 이때, 원료 혼합 단계(ST10) 및 가열 단계(ST20)에 의해 탄소-탄화규소 혼합물을 제조한 다음, 이렇게 제조된 탄소-탄화규소 혼합물을 열간 가압하는 소결 단계(ST30)를 수행하여 탄화규소 소결체를 제조할 수 있다. Referring to FIG. 1, the method of manufacturing the silicon carbide sintered body according to the present embodiment includes a raw material mixing step ST10, a heating step ST20, and a sintering step ST30. At this time, the carbon-silicon carbide mixture is prepared by the raw material mixing step (ST10) and the heating step (ST20), and then a sintering step (ST30) is performed to hot pressurize the carbon-silicon carbide mixture thus prepared to obtain a silicon carbide sintered body. It can manufacture.

각 단계를 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다. Each step is described in more detail as follows.

원료 혼합 단계(ST10)에서는, 규소원(Si source)과 탄소원(C source)을 준비하여 이를 혼합하여 혼합된 원료를 형성한다. In the raw material mixing step (ST10), a silicon source (Si source) and a carbon source (C source) are prepared and mixed to form a mixed raw material.

규소원은 규소를 제공할 수 있는 다양한 물질을 포함할 수 있다. 일례로, 규소원은 실리카(silica)를 포함할 수 있다. 이러한 규소원으로는 실리카 분말, 실리카 솔(sol), 실리카 겔(gel), 석영 분말 등을 들 수 있다. 그러나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 규소를 포함하는 유기 규소 화합물을 규소원으로 사용할 수 있다. The silicon source can include various materials that can provide silicon. In one example, the silicon source may comprise silica. Examples of such silicon sources include silica powder, silica sol, silica gel, and quartz powder. However, the embodiment is not limited thereto, and an organosilicon compound including silicon may be used as the silicon source.

탄소원은 고체 탄소원 또는 유기 탄소 화합물을 포함할 수 있다. The carbon source may comprise a solid carbon source or an organic carbon compound.

고체 탄소원으로는 흑연(graphite), 카본 블랙(carbon black), 카본 나노 튜브(carbon nano tube, CNT), 풀러렌(fullerene, C60) 등을 들 수 있다. Examples of the solid carbon source include graphite, carbon black, carbon nano tube (CNT), and fullerene (C 60 ).

유기 탄소 화합물로는 페놀(phenol) 수지, 프랑(franc) 수지, 자일렌(xylene) 수지, 폴리이미드(polyimide), 폴리우레탄(polyunrethane), 폴리비닐알콜(polyvinyl alcohol), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile), 또는 폴리비닐아세테이트 (poly (vinyl acetate)) 등을 들 수 있다. 그 외에도 셀룰로오스(cellulose), 제당, 피치(pitch), 타르(tar) 등을 사용할 수 있다. The organic carbon compound includes phenol resin, franc resin, xylene resin, polyimide, polyurethane, polyvinyl alcohol, polyacrylonitrile ), Or polyvinyl acetate (poly (vinyl acetate)) and the like. In addition, cellulose, sugar, pitch, tar and the like can be used.

이러한 규소원과 탄소원은 볼 밀(ball mill), 어트리션 밀(attrition mill), 3롤 밀(3 roll mill) 등의 방법으로 혼합하여 혼합 분말을 회수한다. 혼합 분말은 체(sieve)에 의해 걸려져서 회수될 수 있다. 유기 탄소 화합물을 사용한 경우에는 회수된 혼합 분말이 스프레이 건조기(spray dryer) 등에서 건조될 수 있다. The silicon source and the carbon source are mixed by a ball mill, an attrition mill, a 3 roll mill, or the like to recover the mixed powder. The mixed powder can be caught and recovered by a sieve. When the organic carbon compound is used, the recovered mixed powder can be dried in a spray dryer or the like.

이어서, 가열 단계(ST20)에서는 혼합 분말(즉, 혼합된 원료)을 가열한다. 그러면, 아래의 반응식 1 및 2의 단계에 의하여 반응식 3의 전체 반응식에 의하여 탄화규소가 형성된다. Subsequently, in the heating step ST20, the mixed powder (that is, mixed raw materials) is heated. Then, silicon carbide is formed by the overall scheme of Scheme 3 by the steps of Schemes 1 and 2 below.

[반응식 1][Reaction Scheme 1]

SiO2(s) + C(s) -> SiO(g) + CO(g) SiO 2 (s) + C (s)-> SiO (g) + CO (g)

[반응식 2]Scheme 2

SiO(g) + 2C(s) -> SiC(s) + CO(g)SiO (g) + 2C (s)-> SiC (s) + CO (g)

[반응식 3]Scheme 3

SiO2(s) + 3C(s) -> SiC(s) + 2CO(g) SiO 2 (s) + 3C (s)-> SiC (s) + 2CO (g)

상술한 바와 같은 반응이 원활하게 일어날 수 있도록 가열 온도는 1300℃ 이상일 수 있다. 이때, 가열 온도를 1400~1800℃로 하여 제조된 탄화규소가 저온 안정상인 베타상을 가지도록 할 수 있다. 이러한 베타상은 미세한 입자로 이루어져서 탄화규소의 강도 등을 향상할 수 있다. 그러나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 가열 온도를 1800℃를 초과하도록 하여 탄화규소가 고온 안정상인 알파상을 가질 수도 있음은 물론이다. The heating temperature may be 1300 ° C. or more so that the reaction as described above may occur smoothly. At this time, the silicon carbide produced at a heating temperature of 1400 to 1800 ° C. may have a beta phase which is a low temperature stable phase. The beta phase is made of fine particles can improve the strength and the like of silicon carbide. However, the embodiment is not limited thereto. Therefore, it is a matter of course that the silicon carbide may have an alpha phase which is a high temperature stable phase by allowing the heating temperature to exceed 1800 ° C.

가열 단계(ST20)에서의 가열 시간은 30분 이상, 예를 들어, 1 시간 내지 7 시간일 수 있다. 그러나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 가열 시간은 탄화규소를 형성하기에 적합하도록 선택될 수 있다. The heating time in the heating step ST20 may be 30 minutes or more, for example, 1 hour to 7 hours. However, the embodiment is not limited thereto, and the heating time may be selected to be suitable for forming silicon carbide.

이러한 가열 단계(ST20)는 고순도(일례로, 5N 이상)의 비활성 분위기 또는 진공에서 이루어질 수 이다. 이는 탄화규소의 합성 시 원하지 않는 부반응이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 분위기에서 가열이 이루어질 수 있다. This heating step ST20 may be performed in an inert atmosphere or vacuum of high purity (for example, 5N or more). This is to prevent unwanted side reactions from occurring during the synthesis of silicon carbide. However, the present invention is not limited thereto, and heating may be performed in various atmospheres.

본 실시예에서는 원료 혼합 단계(ST10)에서 규소원에 포함된 규소에 대한 탄소원에 포함된 탄소의 몰(mole)비(이하 “규소에 대한 탄소의 몰비”)를 3.1~4로 하여, 가열 단계(ST20) 이후에도 탄소가 잔류하여 탄소-탄화규소 혼합물을 형성한다. 이에 대해서는 추후에 좀더 상술하게 설명한다. In the present embodiment, the mole ratio of carbon included in the carbon source to silicon contained in the silicon source (hereinafter referred to as “mole ratio of carbon to silicon”) in the raw material mixing step (ST10) is 3.1 to 4, and the heating step Carbon remains after (ST20) to form a carbon-silicon carbide mixture. This will be described in more detail later.

이어서, 소결 단계(ST30)에서는 제조된 탄소-탄화규소 혼합물을 소결하여 원하는 형상의 탄화규소 소결체를 형성한다. 이러한 소결 단계(ST30)는 핫 프레스(hot press) 등과 같은 열간 가압 소결 장치에서 수행될 수 있다. 일례로, 2100~2400℃의 온도에서 10~50 MPa의 압력으로 가압하여 소결이 이루어질 수 있다. 기체 분위기는 비활성 기체 분위기 또는 진공일 수 있다. 그러나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 온도, 압력 및 기체 분위기에서 소결이 이루어질 수 있다. Subsequently, in the sintering step ST30, the manufactured carbon-silicon carbide mixture is sintered to form a silicon carbide sintered body having a desired shape. This sintering step ST30 may be performed in a hot press sintering apparatus such as a hot press. For example, sintering may be performed by pressing at a pressure of 10 to 50 MPa at a temperature of 2100 to 2400 ° C. The gas atmosphere may be an inert gas atmosphere or a vacuum. However, the embodiment is not limited thereto, and sintering may be performed at various temperatures, pressures, and gas atmospheres.

본 실시예에서는 탄소-탄화규소 혼합물 내에 잔류한 탄소가 소결 조제로서의 역할을 수행하여, 별도로 비금속 소결 조제를 첨가하여 이를 혼합 및 과립화하는 단계를 수행하지 않아도 된다. 이에 의하여 공정을 단순화할 수 있으며 비금속 소결 조제에 의한 오염을 원천적으로 방지할 수 있다. 이를 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다. In this embodiment, the carbon remaining in the carbon-silicon carbide mixture serves as a sintering aid, and it is not necessary to separately add a nonmetal sintering aid to mix and granulate it. Thereby, the process can be simplified and contamination by the nonmetal sintering aid can be prevented at the source. This will be described in more detail as follows.

상술한 반응식 1 내지 3만을 고려하면 규소에 대한 탄소의 몰비는 3인 것이 바람직하다. 그런데, 반응식 1에서와 같이 SiO 가스가 형성되어 휘발되어 규소의 일부가 반응에 관여하지 않는 것을 함께 고려하여, 종래에는 규소에 대한 탄소의 몰비를 3보다 작도록 하는 것이 일반적이었다. Considering only the reaction schemes 1 to 3 described above, the molar ratio of carbon to silicon is preferably 3. However, in consideration of the fact that SiO gas is formed and volatilized so that a part of silicon does not participate in the reaction as in Scheme 1, the molar ratio of carbon to silicon is generally less than three.

본 실시예에서는 이와 반대로 규소에 대한 탄소의 몰비를 3보다 크게 하여, 가열 단계(ST20) 이후에 탄화규소와 함께 일정 함량 이상의 잔류 탄소를 가지는 탄소-탄화규소 혼합물을 형성한다. 그리고 이 잔류 탄소를 열간 가압하는 단계에서 소결 조제로 사용하여, 탄화규소 소결체가 높은 밀도를 가질 수 있도록 한다. In the present embodiment, on the contrary, the molar ratio of carbon to silicon is greater than 3 to form a carbon-silicon carbide mixture having a predetermined amount or more of residual carbon together with silicon carbide after the heating step ST20. The residual carbon is used as a sintering aid in the step of hot pressing, so that the silicon carbide sintered body can have a high density.

이때, 상술한 바와 같이, 규소에 대한 탄소의 몰비를 3.1~4로 하여 소결 조제로 작용하는 잔류 탄소의 양을 적절하게 조절할 수 있다. 일례로, 규소에 대한 탄소의 몰비가 3.1~4일 경우, 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 잔류 탄소는 2~20 중량부만큼 포함될 수 있다. 상기 몰비가 4 이상이면 잔류 탄소가 20 중량부를 초과하여, 소결 단계 이후에도 탄소가 잔류하여 탄화규소 소결체의 밀도를 오히려 감소시킬 수 있다. 상기 몰비가 3.1 미만이면, 잔류 탄소가 2 중량부 미만으로 소결 조제로서의 역할을 충분히 수행할 수 없다. At this time, as described above, the molar ratio of carbon to silicon is 3.1 to 4, so that the amount of residual carbon acting as a sintering aid can be appropriately adjusted. For example, when the molar ratio of carbon to silicon is 3.1 to 4, the residual carbon may be included by 2 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture. When the molar ratio is 4 or more, the residual carbon is more than 20 parts by weight, and carbon remains after the sintering step, so that the density of the silicon carbide sintered body may be rather reduced. If the molar ratio is less than 3.1, the residual carbon may not fully serve as the sintering aid at less than 2 parts by weight.

이때, 규소에 대한 탄소의 몰비를 3.1 내지 3.5로 하여, 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 잔류 탄소가 2~10 중량부만큼 포함되도록 할 수 있다. 잔류 탄소가 대략 10 중량부 이상인 경우에 탄화규소 소결체의 밀도가 더 이상 높아지지 않으므로, 잔류 탄소가 10 중량부 이하가 되도록 하여 탄화규소의 양을 최대화하면서 밀도 향상 효과를 최대화할 수 있다.
At this time, the molar ratio of carbon to silicon may be 3.1 to 3.5, so that 2 to 10 parts by weight of residual carbon may be included with respect to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture. Since the density of the silicon carbide sintered body is no longer increased when the residual carbon is about 10 parts by weight or more, the residual carbon may be 10 parts by weight or less, thereby maximizing the amount of silicon carbide and maximizing the density improving effect.

이하, 제조예들 및 비교예들에 따른 탄화규소 소결체의 제조 방법을 통하여 본 발명을 좀더 상세하게 설명한다. 이러한 제조예는 본 발명을 좀더 상세하게 설명하기 위하여 예시로 제시한 것에 불과하다. 따라서 본 발명이 이러한 제조예에 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail through the manufacturing method of the silicon carbide sintered body according to the production examples and the comparative examples. These preparations are merely presented by way of example in order to explain the invention in more detail. Therefore, the present invention is not limited to these preparation examples.

제조예Manufacturing example 1 One

실리카 분말과 카본 블랙을 볼밀로 혼합하였다. 이때, 실리카 분말에 포함된 규소에 대한 카본 블랙에 포함된 탄소의 몰비는 3.2이었다. 체를 이용하여 혼합 분말을 회수하고, 아르곤 분위기의 흑연로에 넣고 1800℃에서 3시간 동안 가열하여 탄소-탄화규소 혼합물을 제조하였다. 이때, 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 잔류 탄소가 2 중량부만큼 포함되었다. The silica powder and carbon black were mixed by ball mill. At this time, the molar ratio of carbon contained in carbon black to silicon contained in silica powder was 3.2. The mixed powder was collected using a sieve, placed in an argon atmosphere graphite furnace, and heated at 1800 ° C. for 3 hours to prepare a carbon-silicon carbide mixture. At this time, 2 parts by weight of residual carbon was included based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

이어서, 열간 가압 소결 장치에 혼합된 원료를 장입한 후 2200℃의 온도에서 40MPa의 압력으로 열간 가압하여 탄화규소 소결체를 형성하였다. Subsequently, the raw material mixed in the hot pressurizing sintering apparatus was charged, and it hot-pressed at the pressure of 40 Mpa at the temperature of 2200 degreeC, and the silicon carbide sintered compact was formed.

제조예Manufacturing example 2 2

규소에 대한 탄소의 몰비가 3.3이고, 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 잔류 탄소가 6 중량부만큼 포함되었다는 점을 제외하고는, 제조예 1과 동일한 방법에 의하여 탄화규소 소결체를 형성하였다. A silicon carbide sintered body was formed in the same manner as in Production Example 1, except that the molar ratio of carbon to silicon was 3.3 and the residual carbon was included by 6 parts by weight based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

제조예Manufacturing example 3 3

규소에 대한 탄소의 몰비가 3.4이고, 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 잔류 탄소가 10 중량부만큼 포함되었다는 점을 제외하고는, 제조예 1과 동일한 방법에 의하여 탄화규소 소결체를 형성하였다. A silicon carbide sintered body was formed in the same manner as in Production Example 1, except that the molar ratio of carbon to silicon was 3.4 and the residual carbon was included by 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

제조예Manufacturing example 4 4

규소에 대한 탄소의 몰비가 3.5이고, 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 잔류 탄소가 15 중량부만큼 포함되었다는 점을 제외하고는, 제조예 1과 동일한 방법에 의하여 탄화규소 소결체를 형성하였다. A silicon carbide sintered body was formed in the same manner as in Production Example 1, except that the molar ratio of carbon to silicon was 3.5 and 15 parts by weight of residual carbon was included based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

비교예Comparative example 1 One

규소에 대한 탄소의 몰비가 2.8이고, 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 잔류 탄소가 1 중량부만큼 포함되었다는 점을 제외하고는, 제조예 1과 동일한 방법에 의하여 탄화규소 소결체를 형성하였다. A silicon carbide sintered body was formed in the same manner as in Production Example 1, except that the molar ratio of carbon to silicon was 2.8 and the residual carbon was included by 1 part by weight based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

비교예Comparative example 2 2

규소에 대한 탄소의 몰비가 4.2이고, 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 잔류 탄소가 25 중량부만큼 포함되었다는 점을 제외하고는, 제조예 1과 동일한 방법에 의하여 탄화규소 소결체를 형성하였다.
A silicon carbide sintered body was formed in the same manner as in Production Example 1, except that the molar ratio of carbon to silicon was 4.2 and 25 parts by weight of residual carbon was included with respect to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.

제조예 1 내지 4, 그리고 비교예 1 및 2에 의해 제조된 탄화규소 소결체의 밀도를 측정하여 표 1에 나타내었다. The density of the silicon carbide sintered bodies prepared in Preparation Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 was measured and shown in Table 1 below.

밀도 [g/cm3]Density [g / cm 3 ] 제조예 1Preparation Example 1 2.42.4 제조예 2Production Example 2 3.03.0 제조예 3Production Example 3 3.143.14 제조예 4Production Example 4 3.163.16 비교예 1Comparative Example 1 2.42.4 비교예 2Comparative Example 2 2.32.3

표 1을 참조하면, 비교예 1 및 2에 비하여 제조예 1 내지 4에 따른 탄화규소 소결체의 밀도가 우수한 것을 알 수 있다. 따라서, 잔류 탄소를 2~20 중량부만큼 포함한 탄소-탄화규소 혼합물을 사용하여 탄화규소 소결체의 밀도를 향상할 수 있음을 알 수 있다. Referring to Table 1, it can be seen that the density of the silicon carbide sintered body according to Production Examples 1 to 4 is superior to Comparative Examples 1 and 2. Therefore, it can be seen that the density of the silicon carbide sintered body can be improved by using a carbon-silicon carbide mixture containing 2 to 20 parts by weight of residual carbon.

또한, 잔류 탄소를 10 중량부만큼 포함한 탄소-탄화규소 혼합물을 사용한 제조예 3과, 잔류 탄소를 15 중량부만큼 포함한 탄소-탄화규소 혼합물을 사용한 제조예 4의 밀도가 유사한 것을 알 수 있다. 이로부터 잔류 탄소가 10 중량부 이상일 경우에는 밀도 증가 폭이 크지 않으므로 잔류 탄소를 2~10 중량부만큼 포함하는 것이 바람직하다는 것을 알 수 있다.
In addition, it can be seen that the density of Production Example 3 using the carbon-silicon carbide mixture containing 10 parts by weight of residual carbon and Production Example 4 using the carbon-silicon carbide mixture containing 15 parts by weight of residual carbon are similar. From this, when the residual carbon is 10 parts by weight or more, it can be seen that it is preferable to include the residual carbon by 2 to 10 parts by weight since the density increase range is not large.

상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. The features, structures, effects and the like described in the foregoing embodiments are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to one embodiment. In addition, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
In addition, the above description has been made with reference to the embodiments, which are merely examples and are not intended to limit the invention. It will be appreciated that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments may be modified and implemented. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

Claims (15)

규소원과 탄소원을 혼합하여 혼합된 원료를 형성하는 원료 혼합 단계;
상기 혼합된 원료를 가열하여, 잔류 탄소와 탄화규소를 포함하는 탄소-탄화규소 혼합물을 형성하는 가열 단계; 및
상기 탄소-탄화규소 혼합물을 열간 가압하는 소결 단계
를 포함하는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
A raw material mixing step of forming a mixed raw material by mixing the silicon source and the carbon source;
Heating the mixed raw material to form a carbon-silicon carbide mixture comprising residual carbon and silicon carbide; And
Sintering step of hot pressing the carbon-silicon carbide mixture
Method for producing a silicon carbide sintered body comprising a.
제1항에 있어서,
상기 원료 혼합 단계에서, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 3.1~4인 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 1,
The method of producing a silicon carbide sintered body in the raw material mixing step, the molar ratio of carbon contained in the carbon source to the silicon contained in the silicon source is 3.1 to 4.
제1항에 있어서,
상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~20 중량부만큼 포함되는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 1,
A method for producing a silicon carbide sintered body containing 2 to 20 parts by weight of the residual carbon based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.
제2항에 있어서,
상기 원료 혼합 단계에서, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 3.1 내지 3.5인 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 2,
In the raw material mixing step, the silicon carbide sintered body manufacturing method of the molar ratio of carbon contained in the carbon source to the silicon contained in the silicon source is 3.1 to 3.5.
제4항에 있어서,
상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~10 중량부만큼 포함되는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 4, wherein
A method for producing a silicon carbide sintered body containing 2 to 10 parts by weight of the residual carbon based on 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.
제1항에 있어서,
상기 잔류 탄소가 소결 조제로 기능하는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 1,
A method for producing a silicon carbide sintered compact in which the residual carbon functions as a sintering aid.
제6항에 있어서,
상기 탄화규소가 베타상을 가지는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 6,
A method for producing a silicon carbide sintered body in which the silicon carbide has a beta phase.
제1항에 있어서,
상기 탄소원이 고체 탄소원 및 유기 탄소 화합물 중 적어도 하나를 포함하는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 1,
A method for producing a silicon carbide sintered compact in which the carbon source comprises at least one of a solid carbon source and an organic carbon compound.
제8항에 있어서,
상기 고체 탄소원이 흑연(graphite), 카본 블랙(carbon black), 카본 나노 튜브(carbon nano tube, CNT) 및 풀러렌(fullerene, C60)으로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함하는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 8,
Manufacture of silicon carbide sintered body comprising at least one material selected from the group consisting of graphite, carbon black, carbon nanotube (CNT) and fullerene (C 60 ) Way.
제8항에 있어서,
상기 유기 탄소 화합물이 페놀(phenol) 수지, 프랑(franc) 수지, 자일렌(xylene) 수지, 폴리이미드(polyimide), 폴리우레탄(polyunrethane), 폴리비닐알콜(polyvinyl alcohol), 폴리아크릴로니트릴(polyacrylonitrile) 및 폴리비닐아세테이트(poly (vinyl acetate)), 셀룰로오스(cellulose), 제당, 피치(pitch) 및 타르(tar)로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함하는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 8,
The organic carbon compound is a phenol resin, a franc resin, a xylene resin, a polyimide, a polyurethane, a polyunrethane, a polyvinyl alcohol, a polyacrylonitrile ) And polyvinyl acetate (poly (vinyl acetate)), cellulose (cellulose), sugar, pitch (tar) and at least one material selected from the group consisting of tar (tar).
제1항에 있어서,
상기 규소원이 실리카(silica) 분말, 실리카 솔(silica sol), 실리카 겔(silica gel) 및 석영 분말로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 탄화규소 소결체의 제조 방법.
The method of claim 1,
And the silicon source comprises at least one selected from the group consisting of silica powder, silica sol, silica gel, and quartz powder.
탄화규소 소결체를 제조하는데 사용되는 탄소-탄화규소 혼합물로서,
상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~20 중량부만큼 포함되는 탄소-탄화규소 혼합물.
As a carbon-silicon carbide mixture used to prepare a silicon carbide sintered body,
A carbon-silicon carbide mixture containing 2 to 20 parts by weight of the residual carbon relative to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.
제12항에 있어서,
상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~10 중량부만큼 포함되는 탄소-탄화규소 혼합물.
The method of claim 12,
A carbon-silicon carbide mixture containing 2 to 10 parts by weight of the residual carbon relative to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.
탄화규소 소결체를 제조하는데 사용되는 탄소-탄화규소 혼합물의 제조 방법에 있어서,
규소원과 탄소원을 혼합하여 혼합된 원료를 형성하는 원료 혼합 단계; 및
상기 혼합된 원료를 가열하여, 잔류 탄소와 탄화규소를 포함하는 탄소-탄화규소 혼합물을 형성하는 가열 단계
를 포함하고,
상기 원료 혼합 단계에서, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 3.1~4이고,
상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~20 중량부만큼 포함되는 탄소-탄화규소 혼합물의 제조 방법.
In the method for producing a carbon-silicon carbide mixture used to prepare a silicon carbide sintered body,
A raw material mixing step of forming a mixed raw material by mixing the silicon source and the carbon source; And
Heating the mixed raw material to form a carbon-silicon carbide mixture comprising residual carbon and silicon carbide;
Including,
In the raw material mixing step, the molar ratio of carbon contained in the carbon source to silicon contained in the silicon source is 3.1 to 4,
Method for producing a carbon-silicon carbide mixture containing 2 to 20 parts by weight of the residual carbon relative to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.
제14항에 있어서,
상기 원료 혼합 단계에서, 상기 규소원에 포함된 규소에 대한 상기 탄소원에 포함된 탄소의 몰비가 3.1 내지 3.5이고,
상기 탄소-탄화규소 혼합물 100 중량부에 대하여 상기 잔류 탄소가 2~10 중량부만큼 포함되는 탄소-탄화규소 혼합물의 제조 방법.
15. The method of claim 14,
In the raw material mixing step, the molar ratio of carbon contained in the carbon source to silicon contained in the silicon source is 3.1 to 3.5,
Method for producing a carbon-silicon carbide mixture containing 2 to 10 parts by weight of the residual carbon with respect to 100 parts by weight of the carbon-silicon carbide mixture.
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