KR20120083093A - 입자측정장치 및 이를 이용한 입자측정방법 - Google Patents

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KR20120083093A
KR20120083093A KR1020110004545A KR20110004545A KR20120083093A KR 20120083093 A KR20120083093 A KR 20120083093A KR 1020110004545 A KR1020110004545 A KR 1020110004545A KR 20110004545 A KR20110004545 A KR 20110004545A KR 20120083093 A KR20120083093 A KR 20120083093A
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김태수
이종건
장석우
윤철호
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삼성전자주식회사
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Abstract

직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐가 마련된 입자측정장치 및 이를 이용하여 하나의 입자가 복수의 어퍼쳐를 통과할 때 발생하는 복수의 신호를 통계적으로 분석하여 보다 정확한 입자의 정보를 획득할 수 있는 입자측정방법을 제공한다. 입자측정장치는 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐 부재, 어퍼쳐 부재에 전기장을 형성하는 복수의 전극 및 입자가 복수의 어퍼쳐 부재를 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하는 분석부를 포함한다.

Description

입자측정장치 및 이를 이용한 입자측정방법{Particle measuring apparatus and measuring method using the same}
시료 내의 입자의 크기 및 개수를 측정하는 입자측정장치 및 이를 이용한 입자측정방법에 관한 것이다. 
유체 속의 입자, 특히 혈구의 크기 및 개수를 측정하는 방법으로 전기적인 방법이 있다. 전기적인 방법은 측정하고자 하는 입자가 포함된 유체에 전기장을 인가하여 입자가 미세구멍(aperture, 이하 어퍼쳐라 함)을 통과할 때 변화하는 전압, 전류 또는 저항에 따른 전기적 신호의 변화를 측정한다. 이 전기적 신호는 어퍼쳐를 통과하는 입자의 크기에 따라 달라진다. 따라서 이를 분석하여 유체 속의 입자를 그 크기별로 정량하게 된다.
그러나 입자가 어퍼쳐를 통과할 때, 어퍼쳐의 중심에서 벗어난 정도가 크거나 입자의 형태가 이상적인 구체의 형태가 아닌 경우 동일한 입자라 하더라도 전기적 신호에 편차가 발생하게 된다.
따라서 동일한 종류의 입자임에도 다른 종류의 입자로 분류하게 되는 문제가 발생할 수 있고 이로 인해 입자의 크기별 정량의 정확도가 떨어지는 문제가 발생할 수 있다. 
본 발명의 일 측면은 이와 같은 문제를 해결하기 위해 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐가 마련된 입자측정장치 및 이를 이용하여 하나의 입자가 복수의 어퍼쳐를 통과할 때 발생하는 복수의 신호를 통계적으로 분석하여 보다 정확한 입자의 정보를 획득할 수 있는 입자측정방법을 제공한다.
 
본 발명의 일 측면에 의한 입자측정장치는 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐 부재; 상기 어퍼쳐 부재에 전기장을 형성하는 복수의 전극; 및 입자가 상기 복수의 어퍼쳐 부재를 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하는 분석부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 어퍼쳐 부재는 적어도 하나의 어퍼쳐를 포함할 수 있다.
상기 어퍼쳐는 서로 다른 직경을 가질 수 있다.
상기 복수의 어퍼쳐 부재는 서로 다른 직경의 어퍼쳐를 포함할 수 있다.
상기 복수의 어퍼쳐 부재는 서로 이격되어 배열될 수 있다.
상기 복수의 전극은 상기 어퍼쳐 부재를 사이에 두고 위치하여 상기 어퍼쳐에 전기장을 형성할 수 있다.
상기 복수의 전극은 상기 복수의 어퍼쳐 부재 사이에 위치하여 전기장을 형성할 수 있다.
상기 분석부는 상기 복수의 전기적 신호의 통계적 분석결과를 이용하여 입자정보를 획득할 수 있다.
상기 입자정보는 입자의 크기와 입자의 개수 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 의한 입자측정장치는 복수의 어퍼쳐가 직렬로 형성된 어퍼쳐 부재; 상기 어퍼쳐 부재에 전기장을 형성하는 복수의 전극; 및 입자가 상기 복수의 어퍼쳐를 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하는 분석부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 어퍼쳐는 상기 어퍼쳐 부재의 내부에 터널 형태로 형성될 수 있다.
상기 복수의 어퍼쳐는 서로 이격되어 형성될 수 있다.
상기 복수의 어퍼쳐는 서로 다른 직경을 가질 수 있다.
상기 복수의 전극은 상기 어퍼쳐 부재를 사이에 두고 위치하여 상기 어퍼쳐에 전기장을 형성할 수 있다.
상기 복수의 전극은 상기 복수의 어퍼쳐 사이에 위치하여 전기장을 형성할 수 있다.
상기 분석부는 상기 복수의 전기적 신호의 통계적 분석결과를 이용하여 입자의 정보를 획득할 수 있다.
상기 입자의 정보는 입자의 크기와 입자의 개수 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 의한 입자측정방법은 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐를 입자가 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 측정하고; 상기 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하고; 상기 분석결과를 통해 입자의 정보를 획득하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하는 것은, 상기 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐를 입자가 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호의 평균을 산출하는 것일 수 있다.
상기 분석결과를 통해 입자의 정보를 획득하는 것은, 상기 복수의 전기적 신호의 통계적 분석결과를 이용하여 입자의 크기 및 입자의 개수를 포함하는 입자 정보를 획득하는 것일 수 있다.
 
본 발명의 일 측면에 따르면, 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐를 이용하여 입자를 분석함으로써 입자측정의 정확도를 향상시킬 수 있다. 
도 1a, 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자측정장치의 구성을 나타낸 개념도이다.
도 2a, 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 입자측정장치의 구성을 나타낸 개념도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입자측정장치의 구성을 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자측정방법을 나타내는 순서도이다.
 
이하, 본 발명의 이점들과 특징들 및 이를 수행하는 방법들이 하기 바람직한 예시적 구체예들에 대한 상세한 설명 및 첨부된 도면들을 참조함으로써 더욱 용이하게 이해될 수 있을 것이다. 하지만, 본 발명의 하나 이상의 예시적 구체예들은 많은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 여기서 언급한 예시적 구체예들로만 한정되어 구성되는 것은 아니다.
도면에서 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 나타낸다.
 
도 1a 및 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자측정장치의 구성을 나타낸 개념도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 입자측정장치는 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐 부재(1), 복수의 어퍼쳐 부재(1)를 사이에 두고 배치된 한 쌍의 전극(3) 및 입자(a)가 복수의 어퍼쳐 부재(1)를 통과할 때 발생하는 전기적 신호를 분석하는 분석부(미도시)를 포함한다.
어퍼쳐 부재(1)는 어퍼쳐가 형성된 구조물이다. 복수의 어퍼쳐 부재(1)는 상호간에 일정 거리만큼 이격되어 어퍼쳐 부재(1) 사이에 이격공간을 형성한 채 직렬로 배열될 수 있다.
어퍼쳐(2)는 유체시료 내의 입자(a)가 통과할 수 있는 미세구멍이다.
각 어퍼쳐 부재(1)에 마련된 어퍼쳐(2)는 그 직경이 서로 다를 수 있다. 예를 들면 첫번 째 어퍼쳐 부재(1)에 마련된 어퍼쳐의 직경은 90μm, 두 번째 어퍼쳐 부재(1)에 마련된 어퍼쳐의 직경은 80μm, 세 번째 어퍼쳐 부재(1)에 마련된 어퍼쳐의 직경은 70μm일 수 있으나 이는 일 예일 뿐 이에 한정되는 것은 아니다. 도면 상에는 각 어퍼쳐 부재(1)에 하나의 어퍼쳐(2)가 형성되어 있으나 이는 일 예일 뿐, 하나의 어퍼쳐 부재(1)에 각기 직경이 다른 복수의 어퍼쳐(2)가 형성될 수 있다.
도면 상에는 어퍼쳐 부재(1)를 일정한 직경을 가진 디스크 형상으로 도시하였으나 이는 일 예일 뿐 이에 한정되는 것은 아니다. 어퍼쳐 부재(1)는 입자(a)가 어퍼쳐 부재(1)로 유입될 때 어퍼쳐(2)를 통과해야만 유입면의 후면으로 이동할 수 있는 구조로 형성되는 것은 모두 포함할 수 있다. 예를 들면, 어퍼쳐 부재(1)는 어퍼쳐(2)가 마련된 복수의 장벽이 서로 일정한 이격거리를 둔 채 직렬로 배열되고 유체의 흐름방향에 수직으로 형성된 것일 수 있다.
 
전극(3)은 복수의 어퍼쳐 부재(1)를 사이에 두고 한 쌍으로 배치될 수 있고, 이 한 쌍의 전극(3)에 전압이 인가되면 어퍼쳐 부재(1)가 배치된 공간에 전기장이 형성된다.
전기장은 미세구멍인 어퍼쳐(2)를 통과하여 형성된다. 따라서 측정대상인 입자(a)가 어퍼쳐(2)를 통과하면 어퍼쳐(2)를 통과하여 형성된 전기장에 변화가 발생하게 되고, 입자측정장치는 이를 측정하여 입자(a)의 정보를 획득할 수 있다.
복수의 어퍼쳐 부재(1)가 직렬로 배열되므로, 입자(a)가 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐 각각을 통과하게 되면 어퍼쳐 부재(1)의 개수만큼 변화된 전기적 신호가 발생하게 된다.
 
분석부는 입자(a)가 복수의 어퍼쳐 부재(1)를 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 검출하고 이를 통계적으로 분석하여 입자(a)에 대한 정보를 산출한다.
예를 들어, 혈구가 직렬로 배열된 세 개의 어퍼쳐 부재(1)를 통과하면 어퍼쳐(2)의 통과 시마다 어퍼쳐(2)에 형성된 전기장에 변화가 발생하여 세 개의 변화된 전기적 신호가 발생하게 된다. 분석부는 이 세 개 신호의 평균을 통해 입자(a)의 크기를 결정하고 입자(a)의 크기별로 입자(a)의 개수를 결정할 수 있다.
입자(a)가 어퍼쳐(2)를 통과할 때 정확히 어퍼쳐(2)의 중심축을 따라 통과하지 못하고 중심축에서 벗어난 채로 통과하거나, 입자(a)가 이상적인 구체의 형태가 아니어서 어퍼쳐(2)를 통과할 때 입자(a)가 차지하는 어퍼쳐(2)의 면적이 어퍼쳐(2) 통과 시 입자(a)의 모양에 따라 달라지게 되면 단일의 어퍼쳐를 통과하여 발생한 하나의 전기적 신호만으로 입자(a)의 크기 및 개수를 결정할 경우 정확한 입자(a)의 정보를 산출하기 어렵다.
따라서 복수의 전기적 신호의 통계적 분석을 통해 입자(a)의 정보를 산출하게 되면 보다 정확한 입자(a)의 정보를 산출할 수 있고, 그로 인해 기기의 측정 정확도를 향상시킬 수 있다.
 
도 2a 및 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 입자측정장치의 구성을 나타낸 개념도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 입자측정장치는 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐 부재(1), 복수의 어퍼쳐 부재(1)를 사이에 두고 배치되고 복수의 어퍼쳐 부재(1)의 사이 공간에 배치되는 복수의 전극(3) 및 입자(a)가 복수의 어퍼쳐 부재(1)를 통과할 때 발생하는 전기적 신호를 분석하는 분석부(미도시)를 포함한다.
 
전극(3)은 복수의 어퍼쳐 부재(1)를 사이에 두고 배치된 한 쌍의 전극(3)과 복수의 어퍼쳐 부재(1) 사이의 공간에 배치된 복수의 전극(3)을 포함할 수 있다.
어퍼쳐 부재(1) 사이의 공간에 배치되는 전극(3)에 의해 발생하는 전기장을 통해 입자(a)가 어퍼쳐 부재(1) 사이의 공간을 지나갈 때에도 변화된 전기적 신호의 발생을 유도할 수 있다. 따라서 입자(a)가 어퍼쳐(2)를 통과할 때와 어퍼쳐 부재(1) 사이의 공간을 통과할 때에도 전기적 신호가 발생할 수 있고 입자측정장치는 이를 통해 입자(a)의 정보를 획득할 수 있다.
 
분석부는 입자(a)가 어퍼쳐(2)를 통과할 때와 어퍼쳐 부재(1) 사이의 공간을 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 검출하고 이를 통계적으로 분석하여 입자(a)에 대한 정보를 산출한다.
예를 들어, 혈구가 직렬로 배열된 세 개의 어퍼쳐 부재(1)를 통과하면 어퍼쳐(2)의 통과 시마다 어퍼쳐(2)에 형성된 전기장에 변화가 발생하여 세 개의 변화된 전기적 신호가 발생하게 되고, 어퍼쳐 부재(1) 사이의 공간을 통과할 때 또한 어퍼쳐 부재(1) 사이의 공간에 형성된 전기장에 변화가 발생하여 두 개의 변화된 전기적 신호가 발생하게 된다. 분석부는 필요에 따라 전술한 세 개의 전기적 신호에 전술한 어퍼쳐 부재(1) 사이의 공간에서 발생한 두 개의 전기적 신호를 추가하여 이 신호들의 평균을 산출함으로써, 입자(a)의 크기를 결정하고 해당 크기의 입자(a)의 개수를 결정할 수 있다.
나머지 구성에 대한 설명은 도 1에 대한 설명과 동일하므로 생략한다.
 
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입자측정장치의 구성을 나타낸 개념도이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입자측정장치는 복수의 어퍼쳐(5)가 직렬로 형성된 어퍼쳐 부재(4), 어퍼쳐 부재(4)에 전기장을 형성하는 복수의 전극(3) 및 입자(a)가 어퍼쳐 부재(4)를 통과할 때 발생하는 전기적 신호를 분석하는 분석부(미도시)를 포함한다.
어퍼쳐 부재(4)는 그 내부에 미세구멍인 어퍼쳐(5)가 직렬로 형성된 구조물로, 하나의 구조물에 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐(5)를 구현한 것이다. 즉, 복수의 어퍼쳐(5)가 터널 형태로 어퍼쳐 부재(4)의 내부를 관통하여 형성된 구조물이다. 각 어퍼쳐(5)가 구분될 수 있도록 어퍼쳐(5)는 상호간에 일정한 거리만큼 이격된 채 형성되고 그 이격 공간은 어퍼쳐(5)보다 큰 직경을 가지도록 형성될 수 있다. 그리고 그 이격 공간에는 전기장이 형성될 수 있도록 전극(3)이 배치될 수 있다.
어퍼쳐 부재(4) 내부에 마련된 복수의 어퍼쳐(5)는 그 직경이 서로 다를 수 있다.
 
전극(3)은 어퍼쳐 부재(4)를 사이에 두고 배치된 한 쌍의 전극(3)과 어퍼쳐 부재(4) 내부에 형성된 복수의 어퍼쳐(5) 사이의 공간에 전기장을 인가할 수 있도록 배치되는 복수의 전극(3)을 포함할 수 있다.
복수의 어퍼쳐(5) 사이의 공간에 배치된 전극(3)에 의해 발생하는 전기장을 통해, 입자(a)가 어퍼쳐(5) 사이의 공간을 지나갈 때에도 전기적 신호의 발생을 유도할 수 있다. 따라서 입자(a)가 어퍼쳐(5)를 통과할 때와 어퍼쳐(5) 사이의 공간을 통과할 때에도 전기적 신호가 발생할 수 있고 입자측정장치는 이를 통해 입자(a)의 정보를 획득할 수 있다.
 
분석부는 입자(a)가 어퍼쳐(5)를 통과할 때와 어퍼쳐(5) 사이의 공간을 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 검출하고 이를 통계적으로 분석하여 입자(a)에 대한 정보를 산출한다.
예를 들어, 직렬로 배열된 네 개의 어퍼쳐(5)가 내부에 형성된 어퍼쳐 부재(4)를 혈구가 통과하면 어퍼쳐(5)의 통과 시마다 어퍼쳐(5)에 형성된 전기장에 변화가 발생하여 네 개의 변화된 전기적 신호가 발생하게 되고, 어퍼쳐(5) 사이의 공간을 통과할 때 또한 어퍼쳐(5) 사이의 공간에 형성된 전기장에 변화가 발생하여 세 개의 변화된 전기적 신호가 발생하게 된다. 분석부는 필요에 따라 전술한 네 개의 전기적 신호에 전술한 어퍼쳐(5) 사이의 공간에서 발생한 세 개의 전기적 신호를 추가하여 이 신호들의 평균을 산출함으로써, 입자(a)의 크기를 결정하고 해당 크기의 입자(a)의 개수를 결정할 수 있다.
 
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 입자측정방법을 나타내는 순서도이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 분석하고자 하는 입자(a)를 포함하는 유체에 전기장을 인가한다(10).
어퍼쳐 부재(1, 4)를 사이에 두고 배치되어 있는 한 쌍의 전극(3)에 전압을 인가하고, 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐 부재(1) 사이에 배치되는 복수의 전극(3) 또는 어퍼쳐 부재(4) 내부에 직렬로 형성된 복수의 어퍼쳐(5) 사이 공간에 배치되는 복수의 전극(3)에 전압을 인가하여 어퍼쳐(2, 5)에 전기장이 형성되도록 한다.
어퍼쳐(2, 5)에 전기장이 형성되면, 유체가 어퍼쳐 부재(1, 4)를 통과하도록 한다(11).
유체가 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐 부재(1) 또는 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐(5)가 내부에 마련된 어퍼쳐 부재(4)를 통과함으로써, 유체 내에 존재하는 입자(a)가 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐(2, 5)를 차례로 통과한다.
입자(a)가 어퍼쳐(2, 5)를 통과할 때 발생하는 전기적 신호를 측정한다(13).
입자(a)가 전기장이 형성된 어퍼쳐(2, 5)를 통과하면, 어퍼쳐(2, 5)에 형성된 전기장이 변하게 되고 이에 대응하는 전기적 신호가 발생한다. 그리고 어퍼쳐 부재(1) 사이 또는 어퍼쳐(5) 사이에 전극(3)이 추가로 배치되는 경우에는 입자(a)가 어퍼쳐(2, 5) 사이를 지나갈 때 추가적인 전기적 신호가 발생한다. 즉 하나의 입자(a)가 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐(2, 5)를 통과함으로써 복수의 전기적 신호가 발생하게 되고 입자측정장치의 분석부는 이러한 복수의 전기적 신호를 측정한다.
입자측정장치의 분석부는 측정된 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하여 입자(a)의 정보를 획득한다(14).
분석부는, 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐(2, 5)를 입자(a)가 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 측정하여 그 평균을 산출한다. 산출된 평균을 통해 입자(a)의 크기를 산출하며, 산출된 입자(a)의 크기별로 입자(a)의 개수를 산출한다.
 
 첨부된 도면에 도시되어 설명된 특정의 실시 예들은 단지 본 발명의 예로서 이해되어 지고, 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 본 발명에 기술된 기술적 사상의 범위에서도 다양한 다른 변경이 발생될 수 있으므로, 본 발명은 보여지거나 기술된 특정의 구성 및 배열로 제한되지 않는 것은 자명하다. 
1, 4 : 어퍼쳐 부재 2, 5 : 어퍼쳐
3 : 전극

Claims (20)

  1. 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐 부재;
    상기 어퍼쳐 부재에 전기장을 형성하는 복수의 전극; 및
    입자가 상기 복수의 어퍼쳐 부재를 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하는 분석부를 포함하는 입자측정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 어퍼쳐 부재는 적어도 하나의 어퍼쳐를 포함하는 입자측정장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 어퍼쳐는 서로 다른 직경을 가지는 입자측정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 어퍼쳐 부재는 서로 다른 직경의 어퍼쳐를 포함하는 입자측정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 어퍼쳐 부재는 서로 이격되어 배열되는 입자측정장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 전극은 상기 어퍼쳐 부재를 사이에 두고 위치하여 상기 어퍼쳐에 전기장을 형성하는 입자측정장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 전극은 상기 복수의 어퍼쳐 부재 사이에 위치하여 전기장을 형성하는 입자측정장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 분석부는 상기 복수의 전기적 신호의 통계적 분석결과를 이용하여 입자정보를 획득하는 입자측정장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 입자정보는 입자의 크기와 입자의 개수 중 적어도 하나를 포함하는 입자측정장치.
  10. 복수의 어퍼쳐가 직렬로 형성된 어퍼쳐 부재;
    상기 어퍼쳐 부재에 전기장을 형성하는 복수의 전극; 및
    입자가 상기 복수의 어퍼쳐를 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하는 분석부를 포함하는 입자측정장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 어퍼쳐는 상기 어퍼쳐 부재의 내부에 터널 형태로 형성되는 입자측정장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 어퍼쳐는 서로 이격되어 형성되는 입자측정장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 어퍼쳐는 서로 다른 직경을 가지는 입자측정장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 전극은 상기 어퍼쳐 부재를 사이에 두고 위치하여 상기 어퍼쳐에 전기장을 형성하는 입자측정장치.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 전극은 상기 복수의 어퍼쳐 사이에 위치하여 전기장을 형성하는 입자측정장치.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 분석부는 상기 복수의 전기적 신호의 통계적 분석결과를 이용하여 입자의 정보를 획득하는 입자측정장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 입자의 정보는 입자의 크기와 입자의 개수 중 적어도 하나를 포함하는 입자측정장치.
  18. 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐를 입자가 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호를 측정하고;
    상기 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하고;
    상기 분석결과를 통해 입자의 정보를 획득하는 입자측정방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 복수의 전기적 신호를 통계적으로 분석하는 것은,
    상기 직렬로 배열된 복수의 어퍼쳐를 입자가 통과할 때 발생하는 복수의 전기적 신호의 평균을 산출하는 것인 입자측정방법.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 분석결과를 통해 입자의 정보를 획득하는 것은,
    상기 복수의 전기적 신호의 통계적 분석결과를 이용하여 입자의 크기 및 입자의 개수를 포함하는 입자 정보를 획득하는 것인 입자측정방법.
KR1020110004545A 2011-01-17 2011-01-17 입자측정장치 및 이를 이용한 입자측정방법 KR20120083093A (ko)

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KR20210075746A (ko) * 2019-12-13 2021-06-23 (주)셀라바이오텍 나노 잉크를 이용한 전위 측정 기반 수직 방향 입자 정량 측정 장치 및 그 방법

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