KR20120074793A - 기판이송장치 진단시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판이송장치의 각 설비요소의 진단시스템 및 진단방법에 관한 것으로서, 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 센서를 부착하여 기판이송장치의 각 설비요소의 이상유무를 확인하는 진단시스템 및 진단방법에 관한 것이다.
보다 더 구체적으로 본 발명에 의하면, 기판 이송장치에 있어서, 이송되는 기판상에 적어도 하나 이상 부착되며, 상기 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 센서, 상기 센서와 무선통신을 통해 상기 충격량의 데이터를 수신받는 수신부 및 상기 수신부로부터 상기 충격량 데이터를 전달받아 처리하고 이를 사용자에 현시하는 단말기;를 포함하는 기판이송장치 진단시스템을 제공한다.

Description

기판이송장치 진단시스템 {Diagnosis System of Wafer Transfer Apparatus}
본 발명은 기판이송장치의 각 설비요소의 진단시스템 및 진단방법에 관한 것으로서, 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 센서를 부착하여 기판이송장치의 각 설비요소의 이상유무를 확인하는 진단시스템 및 진단방법에 관한 것이다.
최근, 각종 정보처리 기기는 더욱 빠른 정보처리 속도와 저전력 설계 및 다양한 기능을 수행할 수 있도록 급속도로 발전하고 있으며, 이에 대한 연구도 활발해 지고 있다. 상기 정보처리 기기는 소정의 정보를 현시하기 위해 디스플레이 장치가 필수적으로 구비된다.
최근에는 디스플레이 장치로 브라운관 대신 반도체 기술의 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있는데, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD)가 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 소정의 패턴 형성을 위해 식각, 세정, 또는 건조 등과 같은 일련의 공정이 진행되어야 한다. 상기의 공정들은 당해 공정을 수행하기 위한 공정 챔버에서 이루어지며, 각각의 공정 챔버로 기판을 이동시키기 위한 기판이송장치가 구비되어야 한다.
이러한 기판이송장치는 기판의 파손을 방지하기 위하여 기판이송장치의 안정성 여부를 판별하는 진단장치를 구비하고 있는 것이 통상적이다.
종래의 기판이송장치의 진단장치에 의하면, 기판이송장치의 설비상태를 확인하기 위해, 설비의 각각의 부품에 진동센서 또는 온도센서를 직접 부착하여, 각각의 부품에서 발생하는 데이터를 수집하여 주파수분석법에 의해 설비의 상태를 모니터링하거나 진단하는 것이 일반적이었다. 즉, 기판이송장치 설비의 각각의 요소부품에 대한 상태에 관한 데이터를 수집하여, 설비의 상태를 종합적으로 분석하는 시스템을 채용하고 있었다.
그러나, 이러한 종래기술에 의하면, i) 기판이송장치는 수십개 내지 수백개의 요소부품으로 이루어져 있는데, 이러한 요소부품 각각을 모니터링하고 진단하기 위해서는 수십개 이상의 센서가 필요하여 진단시스템 구축이 복잡하였고, ii) 다량의 센서가 필요한 만큼 진단시스템 구축에 고비용이 소요되었으며, iii) 기판이 직접 받는 충격량을 정밀하게 측정할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 기판이송장치의 각 설비요소에 소정의 센서를 부착하지 않고, 기판자체에 센서를 부착하고 이동시 기판에 가해지는 충격량을 분석?진단하여 기판이송장치의 각 설비요소의 이상유무를 확인할 수 있는 진단시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은 기판이송장치의 진단시스템에 있어서, 소요되는 센서의 개수를 획기적으로 줄여줌에 따라 저비용으로 구성될 수 있는 진단시스템을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
또한 본 발명은 기판에 가해지는 충격량을 직접 분석?진단하여 기판의 파손여부를 확인함으로써 고품질의 기판 생산에 조력하는 진단시스템을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 본 발명의 기재로부터 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일측면에 의하면, 기판 이송장치에 있어서, 이송되는 기판상에 적어도 하나 이상 부착되며, 상기 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 센서, 상기 센서와 무선통신을 통해 상기 충격량의 데이터를 수신받는 수신부 및 상기 수신부로부터 상기 충격량 데이터를 전달받아 처리하고 이를 사용자에 현시하는 단말기;를 포함하는 기판이송장치 진단시스템을 제공한다.
본 발명에서 상기 센서는, 상기 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 가속도 측정부,상기 가속도 측정부의 측정치를 전달받고 이를 데이터로 처리하는 마이크로 컨트롤러 유닛(Micro Controller Unit), 상기 마이크로 컨트롤러 유닛의 테이터를 전송받아 이를 무선으로 송신하기 위한 무선통신 인터페이스부 및 상기 무선통신 인터페이스부를 통해 나온 데이터를 상기 수신부에 전송하는 안테나를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 센서는, 상기 가속도 측정부, 마이크로 컨트롤러 유닛, 무선통신 인터페이스부 및 안테나에 전원을 공급하는 전원공급부를 더 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 센서는, 상기 마이크로 컨트롤러 유닛에 소정의 주기적인 클럭 신호를 송신하는 클럭신호 발생부를 더 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 센서는, 가로, 세로 및 높이가 각각 50mm, 50mm 및 10mm인 직육면체인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 센서는, 그 상부에 작동여부를 나타내는 적어도 하나 이상의 LED를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 센서는, 상기 기판 상부의 모서리마다 부착되는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 무선통신은 지그비(Zigbee)통신, 블루투스(Blutooth) 통신 또는 와이파이(Wi-Fi)통신 중에서 선택되는 어느 하나의 통신방법을 이용하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 단말기는, 상기 충격량 데이터를 사용자에 현시할 수 있는 디스플레이부를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 단말기는, 컴퓨터(Computer), 노트북(Note-Book), 타블렛 PC 또는 스마트폰(Smart Phone) 중에서 선택되는 어느 하나의 기기인 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 단말기는, 상기 충격량 데이터를 처리하고, 사용자에 이를 현시하기 위한 알고리즘부를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 알고리즘부는, 상기 수신부와 시리얼(Serial) 통신으로 데이터를 수신하기 위한 인터페이스부, 상기 수신부로부터 수신되는 데이터를 처리하고 관리하기 위한 데이터관리부 및 상기 데이터관리부의 데이터를 사용자에 현시하는 데이터 디스플레이부를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 충격량 데이터는, 상기 기판의 x축, y축 및 z축의 가속도 값을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 충격량 데이터는, 상기 센서의 전원공급부의 전압치를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 기판은 FDP(Flat Display Panel)인 것이 바람직하다.
상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 타측면에 의하면, (a) 기판에 센서를 부착하는 단계, (b) 기판이송장치를 구동하여 상기 기판을 이송하는 단계, (c) 상기 센서에서 기판에 작용하는 충격량을 센싱하는 단계, (d) 상기 센서에서 센싱된 충격량 데이터를 수신부로 송신하는 단계, (e) 상기 수신부로부터 단말기에 상기 충격량 데이터를 전달하는 단계 및 (f) 상기 단말기에서 상기 충격량 데이터를 처리하고, 이를 사용자에 디스플레이하는 단계를 포함하는 기판이송장치의 진단방법을 제공한다.
본 발명에서 상기 (d)단계는, 상기 센서가 지그비(Zigbee)통신, 블루투스(Blutooth) 통신 또는 와이파이(Wi-Fi)통신 중에서 선택되는 어느 하나의 무선통신방법을 이용하여 상기 충격량 데이터를 수신부에 송신하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 (f)단계는 상기 단말기가 포함하는 알고리즘부에서 수행되되, 상기 알고리즘부가 포함하는 인터페이스부에서 상기 수신부와 시리얼(Serial) 통신으로 데이터를 수신하는 단계, 상기 알고리즘부가 포함하는 데이터관리부에서 상기 데이터를 처리하고 관리하는 단계 및 상기 알고리즘부가 포함하는 데이터 디스플레이부에서 상기 상기 데이터를 사용자에 현시하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의해, 기판자체에 센서를 부착하고 기판에 가해지는 충격량을 분석?진단하여 간편하고 정확하게 기판이송장치의 각 설비요소의 이상유무를 확인할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의해, 기판이송장치의 진단시스템에 소요되는 센서의 개수를 획기적으로 줄여줌에 따라 저비용으로 진단시스템을 구성할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의해, 기판자체에 가해지는 충격량을 정밀하게 측정하는 것이 가능하고, 파손된 기판을 확인할 수 있으므로, 생산되는 기판의 고품질을 보장할 수 있는 효과가 있다.
도 1 내지 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송장치 진단시스템의 구성도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송장치 진단시스템이 포함하는 센서의 구성도.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 단말기가 포함하는 알고리즘부의 일예시도.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송장치 진단시스템이 포함하는 센서의 일예시도.
도 7a 내지 도 7b 본 발명의 일실시예에 따른 단말기의 디스플레이부 현시화면의 일예시도.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송장치 진단방법의 순서도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 내지 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송장치 진단시스템의 구성도이다.
본 발명에 의한 기판이송장치 진단시스템에 의하면, 기판 이송장치(150)에 있어서, 이송되는 기판상에 적어도 하나 이상 부착되며, 상기 기판(100)에 가해지는 충격량을 센싱하는 센서(110), 상기 센서와 무선통신을 통해 상기 충격량의 데이터를 수신받는 수신부(120) 및 상기 수신부로부터 상기 충격량 데이터를 전달받아 처리하고 이를 사용자에 현시하는 단말기(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 센서(110)는 기판(100)상에 부착되며, 기판(100)의 이송중 기판에 가해지는 충격량을 데이터화하여 수신부(120)에 전송하는 역할을 수행한다.
상기 수신부(120)는 상기 센서(110)와 무선통신을 통해 상기 충격량 데이터를 수신받아 상기 단말기(130)로 전달하게 된다. 이 때, 상기 무선통신은 지그비(Zigbee)통신, 블루투스(Blutooth) 통신 또는 와이파이(Wi-Fi)통신 중에서 선택되는 어느 하나의 통신방법일 수 있다.
예컨대, 상기 무선통신 중 지그비(Zigbee)통신을 이용하여 충격량 데이터를 수신하는 경우에는 상기 수신부(120)를 지그비 동글(Dongle)로 형성할 수 있으며, 상기 수신부(120)와 단말기(130)간은 시리얼(Serial)통신을 이용하여 상기 충격량 데이터를 전송할 수 있을 것이다.
발명의 필요에 따라서는 상기 수신부(120)에서 충격량 데이터를 USB를 이용하여 저장한 후, 상기 단말기(130)에 충격량 데이터를 전달할 수 있을 것이다.
상기 단말기(130)는 충격량 데이터를 사용자에 현시할 수 있는 디스플레이부(160)를 구비할 수 있으며, 사용자에 편리한 인터페이스 화면을 채용할 수 있다. 또한, 상기 단말기(130)는, 상기 수신부(120)와 시리얼 통신이 가능한 컴퓨터(Computer), 노트북(Note-Book), 타블렛 PC 또는 스마트폰(Smart Phone) 중에서 선택될 수 있다.
상기 기판(100)은 FDP(Flat Display Panel)을 포함하는 것이 바람직하다.
이러한 FPD(Flat Panel Display)는 전자기기와 사람과의 인터페이스로써, 각종 전자기기로부터 출력되는 전기적 정보신호를 광정보 신호로 변환하여, 인간이 시각을 통해 인식할 수 있는 숫자, 문자, 도형, 화상 등의 패턴화된 정보로 표시하는 장치라고 할 수 있다.
FPD(Flat Panel Display)는 두께가 수 cm, 작게는 수 mm에 불과하여 경량, 박형 설계가 용이하고 고화질, 저소비 전력 등의 장점을 가지고 있어 LCD(Liquid Crystal Display) 또는 PDP(Plasma Display Panel)와 같이 다양한 표시장치로 출시될 수 있다.
상기 LCD(Liquid Crystal Display) 또는 PDP(Plasma Display Panel)를 포함하는 FPD(Flat Panel Display)는 두께가 박형인 정육면체 또는 직육면체로 기판이송장치(150)에 의해 이송 또는 반송되게 되므로, 상기 센서(110)를 그 상면에 부착하기 용이한 이점이 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송장치 진단시스템이 포함하는 센서의 구성도이다.
본 발명은 이송 또는 반송되는 기판에서 발생하는 충격량을 수집하기 위하여, 무선 데이터 송신 기능을 구비하는 소형/박형의 센서(110)를 채택하게 되었다. 상기 센서(110)는 저전력설계를 채용하여 약 2시간 내지 3시간 정도의 연속구동을 가능하게 하는 것이 바람직할 것이다.
상기 센서는, 상기 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 가속도 측정부(320),상기 가속도 측정부의 측정치를 전달받고 이를 데이터로 처리하는 마이크로 컨트롤러 유닛(310), 상기 마이크로 컨트롤러 유닛의 테이터를 전송받아 이를 무선으로 송신하기 위한 무선통신 인터페이스부(340) 및 상기 무선통신 인터페이스부를 통해 나온 데이터를 상기 수신부에 전송하는 안테나(350)를 포함하여 형성될 수 있다.
또한, 상기 센서는, 상기 마이크로 컨트롤러 유닛에 소정의 주기적인 클럭 신호를 송신하는 클럭신호 발생부(330) 및 상기 가속도 측정부, 마이크로 컨트롤러 유닛, 무선통신 인터페이스부 및 안테나에 전원을 공급하는 전원공급부(360)를 구비할 수 있다.
상기 가속도 측정부(320)는 기판의 이동시에 상기 기판의 x축, y축 및 z축의 가속도 값을 획득하여 충격량으로 환산하고 이를 마이크로 컨트롤러 유닛(310)에 전달하면, 상기 마이크로 컨트롤러 유닛(310)는 상기 충격량을 데이터화하여 무선통신 인터페이스부(340)를 통해 외부로 송출하게 된다.
이 때 상기 마이크로 컨트롤러 유닛(310)은 상기 전원공급부(360)의 전압치를 데이터화하여 상기 충격량 데이터에 포함시켜 전송할 수 있다. 이렇게 충격량 데이터에 전원공급부(360)의 전압치가 포함되게 되면, 센서의 연속구동가능시간을 산정할 수 있어, 센서의 배터리(Battery) 교체시기를 확인할 수 있는 장점이 있다.
즉, 상기 전원공급부(360)는 리튬이온전지 등으로 구성될 수 있을 것이다.
상기 센서는 클럭신호 발생부(330)의 클럭펄스에 의해 초당 10회의 속도로 상기 충격량 데이터를 수신부에 전송하는 것이 가능하다.
상기 센서는, FPD(Flat Panel Display)에 부착하기 용이하도록 가로, 세로 및 높이가 각각 50mm, 50mm 및 10mm인 직육면체로 형성할 수 있으며, 그 상부에 센서의 작동여부를 나타내는 적어도 하나 이상의 LED(미도시)를 구비할 수 있다. 즉 상기 LED는 전원공급부(360)와 연결되어 구동되게 되는데, 전원공급부(360)의 전원공급이 끊기게 되면 발광이 중지되므로, 센서의 작동여부를 육안으로 판별할 수 있는 효과가 있다.
상기 센서는, 상기 기판 상부의 모서리마다 부착되는 것이 바람직한데, 사각형의 패널의 경우에는 4개의 센서가 부착될 수 있을 것이다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 단말기가 포함하는 알고리즘부의 일예시도이다.
본 발명에서 센서에서 획득되는 충격량 데이터는, 무선통신을 통해 수신부로 전송되게 되며, 상기 수신부와 단말기간에는 시리얼통신을 통해 상기 충격량 데이터가 전송되게 된다.
상기 단말기는, 상기 충격량 데이터를 관리/처리하고, 이를 사용자에 이를 현시하기 위해서 알고리즘부(400)를 구비하게 된다. 즉, 상기 알고리즘부(400)는 시간 또는 위치의 변화에 따른 기판의 충격량 데이터를 비교?분석하기 쉽도록 디스플레이하는 역할을 수행하게 된다.
이러한 알고리즘부(400)는, 수신부와 시리얼(Serial) 통신으로 데이터를 수신하기 위한 인터페이스부(410), 상기 수신부로부터 수신되는 데이터를 처리하고 관리하기 위한 데이터관리부(420) 및 상기 데이터관리부의 데이터를 사용자에 현시하는 데이터 디스플레이부(430)를 포함하여 구성될 수 있다.
즉, 상기 인터페이스부(410)는 무선통신데이터를 시리얼통신으로 수신하기 위해 구비되며, 상기 데이터관리부(420)는 변환된 충격량 데이터를 시간 또는 위치의 변화에 따른 기판의 충격량 데이터들을 분류, 저장, 처리하게 되며, 상기 데이터 디스플레이부(430)는 사용자 인터페이스에 알맞도록 상기 충격량 데이터를 단말기의 디스플레이부에 현시하는 역할을 수행하게 된다.
도 5는 이러한 알고리즘부(400)가 단말기 내에서 구동하는 블록 다이아그램을 도시하고 있는데, 인터페이스부(510)는 데이터관리부(520)의 구동과 비례하여 동작할 수 있으며, 상기 인터페이스부(510)를 통해 수신된 충격량 데이터는 저장과정과 로딩되는 과정을 거쳐서 데이터 디스플레이부(550)를 통해 사용자에게 현시되게 된다.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송장치 진단시스템이 포함하는 센서의 일예시도이다.
도 6a를 참조하면, 센서의 분해 사시도를 도시하고 있는데, 센서의 충격방지 및 부착용이성을 고려하여 Mock-Up 형태의 케이스(610)를 구비할 수 있으며, 상기 케이스(610) 내부에 가속도 측정부(320), 마이크로 컨트롤러 유닛(310), 무선통신 인터페이스부(340), 안테나(350), 클럭신호 발생부(330) 및 전원공급부(360)가 형성되는 회로기판(620)을 구비할 수 있다.
상기 센서는, FPD(Flat Panel Display) 기판에 부착하기 용이하도록 가로, 세로 및 높이가 각각 50mm, 50mm 및 10mm인 직육면체로 형성할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 발명의 필요에 따라 그 형태를 다양하게 적용할 수 있을 것이다.
상기 센서의 상부에는 적어도 하나 이상의 LED(미도시)를 구비할 수 있는데, 이러한 LED(Light Emitting Diode)를 이용하여 해당 센서의 주소(IP)를 육안으로 확인할 수도 있으며, 조이스틱 버튼을 이용하여 상기 센서의 주소(IP)를 용이하게 수정할 수도 있을 것이다.
도 6c 내지 도 6d는 센서의 회로기판(620)의 실제 디자인 형태를 도시하고 있다.
도 7a 내지 도 7b 본 발명의 일실시예에 따른 단말기의 디스플레이부 현시화면의 일예시도이다.
도 7a는 충격량 데이터들을 수집하여 분류하여 도시한 화면을 나타내고 있고, 도 7b는 충격량 데이터들을 분석한 화면을 나태내고 있다.
이렇듯 본 발명에서는 사용자가 편리하도록 사용자 인터페이스를 채용하고 있는데, 알고리즘부의 인터페이스부는 센서의 상태값과 충격량 데이터 수집여부를 결정할 수 있고, 저장될 충격량 데이터 파일을 저장할 수 있다.
또한, 알고리즘부의 데이터 디스플레이부는 3차원 디스플레이를 이용하여,기판의 특정부위에서 발생하는 충격을 보다 용이하게 확인할 수 있게 해준다. 또한, 다양한 기능을 채용할 수 있는데, 예컨대, 플레이(Play) 기능을 추가하여 0.1초단위로 기판의 상태를 리플레이(Re-play)하여 문제가 발생하는 공정구간에 대해서 사용자가 쉽게 인지할 수 있도록 할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송장치 진단방법의 순서도이다.
먼저, 기판에 센서를 부착하는 단계를 거치게 된다(S801). 본 발명은 Mock-Up 형태의 케이스를 구비한 센서를 이용하여 기판상에 용이하게 부착할 수 있으며, 사각형 형태의 기판의 경우 모서리마다 4개의 센서를 부착하는 것이 바람직할 것이다.
센서 부착단계 이후, 기판이송장치에 의해 기판을 이송하는 단계를 거치게 되며(S802), 기판의 이송시 소정의 시간간격에 의해 상기 센서에서 기판에 작용하는 충격량을 센싱하는 단계를 거치게 된다(S803).
상기 센서에서 센싱된 충격량 데이터는 수신부로 송신하게 되는데(S804), 지그비(Zigbee)통신, 블루투스(Blutooth) 통신 또는 와이파이(Wi-Fi)통신 중에서 선택되는 어느 하나의 무선통신방법을 이용하여 충격량 데이터를 수신부에 송신할 수 있을 것이다.
이후, 상기 수신부로부터 단말기에 상기 충격량 데이터를 전달하는 단계를 거치게 되는데(S805), 무선통신데이터를 시리얼통신이 가능하도록 변환하여 전송되게 된다.
그리고, 상기 단말기에서 상기 충격량 데이터를 처리하고, 이를 사용자에 디스플레이하는 단계를 거치게 된다(S806). 이러한 디스플레이 단계는 상기 단말기가 포함하는 알고리즘부에서 수행되되, 상기 알고리즘부가 포함하는 인터페이스부에서 상기 수신부와 시리얼(Serial) 통신으로 데이터를 수신하는 단계, 상기 알고리즘부가 포함하는 데이터관리부에서 상기 데이터를 처리하고 관리하는 단계 및 상기 알고리즘부가 포함하는 데이터 디스플레이부에서 상기 상기 데이터를 사용자에 현시하는 단계를 거쳐서 수행될 수 있을 것이다.
이와 같이 본 발명에 의하면, 기판이송장치에 의한 기판의 이송에 있어서, 시간의 변화와 기판의 위치변화에 따른 기판의 충격량을 각각 감지하고 이를 분석/비교함으로써, 기준을 넘어서는 충격량 발생시 해당 위치에 속하는 기판이송장치 설비의 요소에 이상이 있음을 확인할 수 있다.
따라서, 기판이송장치의 설비요소 각각에 센서를 부착할 필요없이 기판에 센서를 부착하고 이를 이송하여, 기판의 이송위치에 따른 충격량을 센싱하므로, 간편하고 용이하게 기판이송장치의 불량상태를 진단하고 모니터링할 수 있는 효과가 있다.
이상 본 발명의 구체적 실시형태와 관련하여 본 발명을 설명하였으나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 설명된 실시형태를 변경 또는 변형할 수 있으며, 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
100: 기판 110: 센서
120: 수신부 130: 단말기
150: 기판이송장치 160: 디스플레이부
170: 충격량의 표시 310: 마이크로 컨트롤러 유닛
320: 가속도 측정부 330: 클럭 신호부
340: 무선통신 인터페이스부 350: 안테나
360: 전원공급부 400: 알고리즘부
410, 510: 인터페이스부 420, 520: 데이터관리부
430, 550: 데이터 디스플레이부 610: 센서의 케이스
620: 센서의 회로기판 611: 센서의 가로길이
612: 센서의 세로길이 613: 센서의 높이

Claims (18)

  1. 기판 이송장치에 있어서,
    이송되는 기판상에 적어도 하나 이상 부착되며, 상기 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 센서;
    상기 센서와 무선통신을 통해 상기 충격량의 데이터를 수신받는 수신부; 및
    상기 수신부로부터 상기 충격량 데이터를 전달받아 처리하고 이를 사용자에 현시하는 단말기;
    를 포함하는 기판이송장치 진단시스템.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 센서는,
    상기 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 가속도 측정부;
    상기 가속도 측정부의 측정치를 전달받고 이를 데이터로 처리하는 마이크로 컨트롤러 유닛(Micro Controller Unit);
    상기 마이크로 컨트롤러 유닛의 테이터를 전송받아 이를 무선으로 송신하기 위한 무선통신 인터페이스부; 및
    상기 무선통신 인터페이스부를 통해 나온 데이터를 상기 수신부에 전송하는 안테나;
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 센서는,
    상기 가속도 측정부, 마이크로 컨트롤러 유닛, 무선통신 인터페이스부 및 안테나에 전원을 공급하는 전원공급부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 센서는,
    상기 마이크로 컨트롤러 유닛에 소정의 주기적인 클럭 신호를 송신하는 클럭신호 발생부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 센서는,
    가로, 세로 및 높이가 각각 50mm, 50mm 및 10mm인 직육면체인 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 센서는,
    그 상부에 작동여부를 나타내는 적어도 하나 이상의 LED를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 센서는,
    상기 기판 상부의 모서리마다 부착되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 무선통신은 지그비(Zigbee)통신, 블루투스(Blutooth) 통신 또는 와이파이(Wi-Fi)통신 중에서 선택되는 어느 하나의 통신방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 단말기는,
    상기 충격량 데이터를 사용자에 현시할 수 있는 디스플레이부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 단말기는,
    컴퓨터(Computer), 노트북(Note-Book), 타블렛 PC 또는 스마트폰(Smart Phone) 중에서 선택되는 어느 하나의 기기인 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 단말기는,
    상기 충격량 데이터를 처리하고, 사용자에 이를 현시하기 위한 알고리즘부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  12. 제 10항에 있어서, 상기 알고리즘부는,
    상기 수신부와 시리얼(Serial) 통신으로 데이터를 수신하기 위한 인터페이스부;
    상기 수신부로부터 수신되는 데이터를 처리하고 관리하기 위한 데이터관리부; 및
    상기 데이터관리부의 데이터를 사용자에 현시하는 데이터 디스플레이부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  13. 제 1항에 있어서, 상기 충격량 데이터는,
    상기 기판의 x축, y축 및 z축의 가속도 값을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  14. 제 1항에 있어서, 상기 충격량 데이터는,
    상기 센서의 전원공급부의 전압치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  15. 제 1항에 있어서, 상기 기판은
    FDP(Flat Display Panel)인 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템.
  16. (a) 기판에 센서를 부착하는 단계;
    (b) 기판이송장치를 구동하여 상기 기판을 이송하는 단계;
    (c) 상기 센서에서 기판에 작용하는 충격량을 센싱하는 단계;
    (d) 상기 센서에서 센싱된 충격량 데이터를 수신부로 송신하는 단계;
    (e) 상기 수신부로부터 단말기에 상기 충격량 데이터를 전달하는 단계; 및
    (f) 상기 단말기에서 상기 충격량 데이터를 처리하고, 이를 사용자에 디스플레이하는 단계;
    를 포함하는 기판이송장치의 진단방법.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 (d)단계는,
    상기 센서가 지그비(Zigbee)통신, 블루투스(Blutooth) 통신 또는 와이파이(Wi-Fi)통신 중에서 선택되는 어느 하나의 무선통신방법을 이용하여 상기 충격량 데이터를 수신부에 송신하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치의 진단방법.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 (f)단계는 상기 단말기가 포함하는 알고리즘부에서 수행되되,
    상기 알고리즘부가 포함하는 인터페이스부에서 상기 수신부와 시리얼(Serial) 통신으로 데이터를 수신하는 단계;
    상기 알고리즘부가 포함하는 데이터관리부에서 상기 데이터를 처리하고 관리하는 단계; 및
    상기 알고리즘부가 포함하는 데이터 디스플레이부에서 상기 상기 데이터를 사용자에 현시하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치의 진단방법.
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